JPH11121684A - 電力用トランジスタの実装構造 - Google Patents

電力用トランジスタの実装構造

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JPH11121684A
JPH11121684A JP28336897A JP28336897A JPH11121684A JP H11121684 A JPH11121684 A JP H11121684A JP 28336897 A JP28336897 A JP 28336897A JP 28336897 A JP28336897 A JP 28336897A JP H11121684 A JPH11121684 A JP H11121684A
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良雄 下井田
Tetsuya Hayashi
林  哲也
Toshiaki Shinohara
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Abstract

(57)【要約】 【課題】電力用トランジスタ・チップヘの通常の実装構
造では、スイッチング時に主電流用配線を流れる電流の
急激な変化が、隣接する制御信号用配線に誤動作や故障
の原因となる電圧変化を誘導する可能性があった。本発
明は主電流の変化に伴う誘導がトランジスタの制御に影
響しない実装構造を提供する。 【解決手段】一主面に制御信号用のベース電極2と主電
極のうち少なくとも1方の電極(たとえばエミッタ電極
1)とを有する電力用トランジスタのチップの前記主面
に、ベース電極2と接続する制御信号配線10と、エミ
ッタ電極1と接続する主配線11とを有し、主配線11
を流れる電流の方向と、少なくともトランジスタのスイ
ッチング時に制御信号配線10を流れる電流の方向とが
直交するように、制御信号配線10と主配線11とを直
交した構造とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電力用トランジス
タの実装構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来技術として、図9と図10に示す実
装構造を紹介する。これは一般の電力用半導体モジュー
ルの内部構造である。図9は実装構造の上面図、図9は
構造全体の斜視図である。これらの図中、10は縦型電
力用トランジスタのチップで、ここでは以下電力用バイ
ポーラトランジスタのチップとする。60は絶縁板、8
0はモジュールの基板である。チップ10の表面にはエ
ミッタ・パッド(エミッタ電極に接続)1とベース・パ
ッド(ベース電極に接続)2とがあり、また図示してい
ないがチップ裏面は全面がコレクタ電極になっている。
11は前記エミッタ・パッド1に接続するエミッタ・ワ
イヤ、12は前記べース・パッド2に接続するベース・
ワイヤである。エミッタ・ワイヤ11、ベース・ワイヤ
12の他端はそれぞれ、絶縁板60上に固定されたモジ
ュールのエミッタ端子31、ベース端子32に接続され
ている。13はコレクタ配線板で、チップ10の裏面の
コレクタ電極に半田で接続されている。また、モジュー
ルのコレクタ端子33も他端でコレクタ配線板13に接
続されている。この構造全体は、通常、31、32、3
3の各端子のネジ孔(図中に×印で記載)のある端部を
除いて絶縁性の外殻に覆われているが、ここでは説明の
ために割愛してある。また、一般にチップ10の上に接
続するエミッタ・ワイヤ11とベース・ワイヤ12は、
図9、図10に示すように、チップの対向する面に振り
分けて接続される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
従来の実装構造では、エミッタ・ワイヤ11とベース・
ワイヤ12の間に相互インダクタンスが存在し、エミッ
タ・ワイヤ11を流れる大きな電流値が急激に変化した
時、その影響が隣接するベース・ワイヤ12中の電荷に
及ぶ。例えば前記トランジスタがnpn型の電力用バイ
ポーラトランジスタであり、駆動する負荷としてモータ
などの誘導負荷が接続されているものとすると、主電流
のターンオフはベース・ワイヤ12を介してベースに供
給していた電流を逆転させて、逆に電流を引き抜くよう
に操作することによって実現する。誘導負荷には自身を
流れる電流をなるべく保つように働く性質があるので、
チップ10内の過剰少数キャリアがあらかた引き抜かれ
るまで主電流値を保持する。そして、いよいよ主電流が
ターンオフする際には、主電流値は急激に低下する。こ
の変化はエミッタ・ワイヤ11に平行して隣接するベー
ス・ワイヤ12の中の電荷に影響し、ベース・ワイヤ1
2中の電荷はさらに電流を引き抜く方向へ加速される。
するとベース・パッド(ベース電極)にはその瞬間に不
必要な負電位が誘起されることになり、これによってベ
ース電位がベース・エミッタ間逆耐圧を越えて素子が壊
れる可能性がある。
【0004】また、ベース・ワイヤ12の接続する外部
回路に高周波成分が重畳して不必要な発振を誘発せし
め、場合によってはベース・パッドの電位が再び正に転
じてトランジスタが誤動作する可能性がある。このよう
な現象はスイッチング速度の遅い通常の電力用バイポー
ラトランジスタにおいては問題にならないが、高速スイ
ッチングが可能な特殊なトランジスタでは問題になる。
さらに上記の説明は一例としてバイポーラトランジスタ
について説明したが、同様の現象はMOS型トランジス
タにおいても発生しうる。
【0005】本発明は上記のような問題点を解決し、主
電流の変化に伴う誘導がトランジスタの制御に影響しな
い実装構造の実現を目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明においては特許請求の範囲に記載するような
構成をとる。すなわち、まず請求項1においては、この
実装構造を適用する電力用トランジスタが、例えばバイ
ポーラトランジスタであるとすると、一主面に制御信号
用の電極(例えばベース電極〉と、少なくとも一方の電
極(例えばエミッタ電極)と、を有する電力用トランジ
スタ・チップ(例えばバイポーラトランジスタ・チッ
プ)の前記主面に臨み、前記制御信号用の電極(ここで
はベース電極)と接続する制御信号配線と、前記主電極
(ここではエミッタ電極)と接続する主配線とを有す
る。ちなみにこの配線とは、例えばアルミ製や金製のボ
ンディング・ワイヤなどである。そして、前記主配線を
流れる電流の方向(すなわちここではエミッタ・ワイヤ
の方向)と、少なくとも前記トランジスタのスイッチン
グ時に前記制御信号配線を流れる電流の方向(すなわち
ここではベース・ワイヤの方向)とが直交するべく、前
記2種類の配線が配置された構成とする。
【0007】なお、これは例えば後記図1〜図2に示す
実施の形態に相当する。
【0008】このような構成、すなわち、ここでは上記
のベース・ワイヤとエミッタ・ワイの張られた領域方向
が直交するように配置されていると、前記従来技術の問
題の原因であった両者の間の相互インダクタンスは理論
的にはゼロになる。よって、トランジスタのスイッチン
グ時に前記エミッタ・ワイヤを流れる大電流が急激に変
化し、それに伴ってワイヤの周囲の空間の磁界が変化し
ても、前記ベース・ワイヤには誘導起電力を生じること
がなく、エミッタ電流の変化がベース電極に影響しな
い。なお、上記の「直交」の意味は、上記の説明から判
るように、両者間の相互インダクタンスがデバイス設計
時に必要とされる程度に小さくなるように、実質的に直
交しておればよい。
【0009】また、請求項2に記載の発明においては、
請求項1に記載の構成をより具体化する構成として、一
主面に制御信号用の電極(例えばベース電極)と、主電
極のうち一方の電極(例えばエミッタ電極)と、を有す
る電力用トランジスタ・チップ(例えばバイポーラトラ
ンジスタ・チップ)の前記主面に臨み、互いに絶縁され
て平行し重なり合うように配置された第1と第2の金属
板を有し、前記第1の金属板は前記トランジスタ・チッ
プの前記主面に隣接して前記2種類の電極の一方(どち
らでも構わないが、例えばエミッタ電極)と接続し、前
記第1の金属板(すなわちここではエミッタ配線にな
る)の所定の箇所に貫通孔を有し、前記第2の金属板
(ここではベース配線)は前記貫通孔を通して前記トラ
ンジスタ・チップ上の前記2つの電極の他方(ここでは
ベース電極)と接続し、前記第1と第2の金属板のいず
れかを流れる(ここではエミッタ配線たる第1の金属板
を流れる)前記主電流の方向と、少なくとも前記トラン
ジスタのスイッチング時に流れる(ここではベース配線
たる第2の金属板を流れる)前記制御信号を構成する電
流の方向とが直交すべく、前記第1の金属板と第1の外
部端子との接続箇所と、前記第2の金属板と第2の外部
端子との接続箇所とが、配置されている構成とする。な
お、これは例えば後記図3〜図7に示す実施の形態に相
当する。
【0010】上記のように構成することにより、電力用
トランジスタ・チップの主面に二つの電極(例えばエミ
ッタ電極とベース電極)を有する電力用トランジスタに
おいて、請求項1に記載の構成を容易かつ堅牢に実現す
ることが出来る。また、上記のように相互に絶縁された
2枚の金属板で構成することにより、通常のボンディン
グ・ワイヤを用いたものに比べて、後記の効果の欄に記
載するごとき種々の効果が得られる。
【0011】また、請求項3に記載の発明は、請求項1
に記載の構成をより具体化する構成の他の例を示すもの
であり、チップ表面にコレクタ電極をも有するラテラル
型電力用デバイスのように、主面に三つの電極を有する
ものに本発明を適用した構成を示すものである。この構
成は、基本的には、請求項2の金属板を3枚重ねた構造
を有し、効果は請求項2と同様である。
【0012】
【発明の効果】上記のような構成とすることにより、主
配線と制御配線との間の相互インダクタンスがほぼなく
なり、主電流値の変化が制御配線に流れる電流に影響せ
ず誤動作やスイッチング特性の劣化を誘導しない、とい
う効果がある。
【0013】また、請求項2と請求項3においては、こ
れらに加えて、 (1)金属板間に絶縁膜が配置された構成なので、配線
間にキャパシタンスが自動的に形成され、トランジスタ
・チップを高周波ノイズから保護できる。 (2)裸線のボンディングワイヤのように接触や変形の
おそれがないので、デバイス表面の電極配置の自由度が
高くなる。 (3)金属板なので配線の電流路断面積が大きく取れ、
実装抵抗を小さくできる。 (4)平板状の金属板なので、その上に温度センサを設
置することができ、チップに近接した位置で、迅速かつ
正確なチップ温度の検出が可能になる。 (5)板状なので、主配線、信号用配線とも自已インダ
クタンスが小さい。 (6)多数のワイヤをボンディングするのに比べて、配
線にかかわる工数を大幅に削減することができ、簡便に
なる。 (7)ボンディング工程に比べて、配線接続時のチップ
ヘの衝撃がなく、かつ接続信頼性が向上する。などの、
さらなる効果がある。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
を用いて詳細に説明する。図1は本発明第1の実施の形
態を示す上面図であり、前記従来例の図9に対応する。
同じく図2はこの実装構造全体の斜視図であり、前記従
来例の図10に対応する。なお、これは前記請求項1に
記載の構成に対応する。これらの図中、10は縦型電力
用トランジスタのチップで、ここでは以下電力用バイポ
ーラトランジスタのチップとして説明する。60は絶縁
板、80はモジュールの基板である。チップ10の表面
にはエミッタ・パッド(エミッタ電極に接続)1とベー
ス・パッド(ベース電極に接続)2とがある。これらは
前記請求項1で、それぞれ「主電極」、「制御信号用の
電極」と呼んでいたものである。また図示していないが
チップ裏面は全面がコレクタ電極になっている。11は
前記エミッタ・パッド1に接続するエミッタ・ワイヤ、
12は前記ベース・パッド2に接続するベース・ワイヤ
である。エミッタ・ワイヤ11、ベース・ワイヤ12の
他端はそれぞれ、絶縁板60上に固定された、モジュー
ルのエミッタ端子31、ベース端子32に接続されてい
る。なお、これらのワイヤはエミッタ端子31やベース
端子32の一部に直接ワイヤボンディングしているが、
端子とワイヤの間に他の構成要素が介在して電気信号を
伝える構成でも構わない。13はコレクタ配線板で、チ
ップ10の裏面のコレクタ電極に半田で接続されてい
る。また、モジュールのコレクタ端子33も他端でコレ
クタ配線板13に接続されている。この構造全体は、通
常、31、32、33の端子のネジ孔(図中×印で記
載)のある端部を除いて絶縁性の外殻に覆われている
が、ここでは説明のために割愛してある。
【0015】図1の構成では、ベース・ワイヤ12はエ
ミッタ・ワイヤ11に直角になるように配線されてい
る。なお、図1ではワイヤ11とワイヤ12が立体的に
交差している様子を表現するために、各ワイヤを曲線で
描いているが、実際にはほぼ直線的に配置することが可
能である。このように配線することにより、原理的には
ベース・ワイヤ12とエミッタ・ワイヤ11の間の相互
インダクタンスはゼロになり、たとえエミッタ・ワイヤ
11を流れる電流が急激に変化したとしても、それによ
る磁界の変化がベース・ワイヤ12中を流れる電流に影
響することは、事実上無視しうる程度になる。前記図9
に示したような従来例の構成では、エミッタ・ワイヤ1
1とベース・ワイヤ12とが併走していたので、配線間
の相互インダクタンスが大きかったが、図1のように構
成することにより、その影響をほぼなくすことが出来
る。
【0016】次に、図3〜図6は本発明第2の実施の形
態を示す図である。前記の実施の形態では配線にワイヤ
を使っていたが、ワイヤの本数が増加してくるとチップ
上で混み合って来て実装が難しくなり、また工数が嵩
む。そこで本例ではチップの電極に接続する配線として
ワイヤの代わりに二重の金属板を採用した。図3は実装
構造の斜視図で、前記図2、図10などに対応するもの
である。なお、図中、本実施の形態の本質を見やすくす
るために、コレクタ端子33の一部を削って描いたが、
本来のコレクタ端子33の形状は図2中と同じである。
また、チップ10の上で2つの配線板が重なっている部
分の断面は、図4の断面図に示すようになっている。す
なわち、ベース配線板22とエミッタ配線板21とは絶
縁膜61にて絶縁されているが、エミッタ配線板21に
開いた貫通孔91を通してベース配線板22の突起92
が半田50を介してチップ上のベースパッド2と接続し
ている。
【0017】図5はこの二重金属板の、トランジスタ・
チップに面する側の面を眺めた斜視図、そして図6はト
ランジスタ・チップの表面を眺めた斜視図である。本実
施の形態ではベース配線板22とチップとの接続のため
に、孔91を貫通する接続用の突起92をベース配線板
22に形成した構成を示している。これらの配線板とチ
ップ上の電極との接続は、ここでは半田50を用い、い
わゆる半田バンプと呼ばれる方法で接続した構成を示し
た。すなわち、図6においては、エミッタ電極用の半田
9個とベース電極用の半田4個との合計13個の半田5
0が示されている。
【0018】また、図4と図5に示すように、エミッタ
配線板21のチップに面する面には、半田が所定の領域
から外へ広がらないように、エミッタ電極の位置に対応
した領域にだけエミッタ配線板21が露出(図5に白丸
で示した個所)するように形成したレジスト膜70があ
る。さらにチップ10上にも、エミッタ電極用とベース
電極用の半田が短絡しないように、エミッタ電極とベー
ス電極の部分だけが抜けた同様のレジスト膜71が形成
されている。
【0019】このような二重金属板を用い、図5に示す
ようにエミッタ配線板21の端子接続部(モジュールの
エミッタ端子31と接続する箇所)41と、同じくベー
ス配線板22の端子接続部(ベース端子32と接続する
箇所)42とを直角に配置しておくことにより、請求項
1に記載した構成と同様の効果を生むことが出来る。す
なわち、エミッタ配線板21を流れる電流の方向は、ベ
ース配線板22を流れる電流の方向とほぼ直角になり、
双方の配線板を流れる電流は互いに影響を及ぼし合わな
い。この時、突起92の高さや、配線板とチップとを結
ぶ半田の厚さは、接続部の直径より大きくなければ、配
線板に垂直な電流成分のインダクタンスは無視しうる。
【0020】なお、本発明の本質とは直接関係ないが、
図3中の81はエミッタ配線板21とエミッタ端子31
を電気的に接続するエミッタ・コネクタ、82はベース
配線板22とベース端子32とを電気的に接続するベー
ス・コネクタである。これは例えば厚みを調節した金属
ブロックであり、配線板と端子の双方と例えば半田で接
続している。
【0021】また、本構成にはさらに以下のような効果
がある。まず、このようにワイヤの代わりに金属板を配
線として使うことにより、配線の電流路断面積が大きく
取れて実装抵抗を小さくでき、かつ、配線の自已インダ
クタンスが小さくなる。すなわち、一般にワイヤボンデ
ィングに用いられる金属線の太さは決まっているので、
任意の断面積にするのは困難であるが、本構成では板状
なので、厚さと幅で断面積を容易に大きくすることが出
来る。
【0022】また、ワイヤを使った場合、接続点数はワ
イヤの本数の2倍あり、接続には多くの工数を要する
が、本実施の形態では電極板とチップを接続するために
は1回の溶接工程で済み、接続点数もワイヤの半分にな
って接続信頼性が向上する。
【0023】また、ワイヤは裸線を用いるので周囲と接
触して短絡するおそれがあり、かつ金線やアルミ線は軟
らかいので、容易に変形し、直交性を保たせにくいが、
本構成では2つの配線板の間が絶縁されているので、絶
縁性を確保することができ、かつ形状も安定である。
【0024】また、従来のようなワイヤボンディングに
よる方法では、チップ上のパッド領域はボンディングの
位置精度やワイヤの潰れシロなど考慮して、例えばワイ
ヤの太さの3倍×5倍の長方形の領域を必要とした。ワ
イヤ同士の距離もボンディング装置と特性から制限を受
け、一定以上には密に実装できなかった。しかし、本実
施の形態のような構成では、これらの問題点は大幅に軽
減もしくは解消され、エミッタ・パッドやベース・パッ
ドの形状や配置の自由度が高まる。したがってデバイス
の電気的特性が最適となるように(例えば電流が流れや
すいように)チップ上の配線位置を決定することが出来
る。
【0025】また、ワイヤボンディングでは、加圧と超
音波印加によってワイヤを溶接するが、半田バンプに似
たこの方法ではこれらチップヘの衝撃はなく、信頼性が
向上する。
【0026】また、板状の配線間に絶縁膜(誘電体)が
挾まれた構造なので、エミッタとベース間に自動的に静
電容量が挿入された形となり、高周波ノイズが吸収、制
限される。そのためトランジスタ・チップを高周波ノイ
ズから保護できるという効果も期待できる。
【0027】また、チップの温度の異常な上昇を検知す
る必要があるような場合、図10のような従来例ではチ
ップ上にはワイヤがあるため、チップに直接温度センサ
を触れさせる余地がない。そこで、例えばチップ近傍の
絶縁板60上に温度センサを設置していた。しかし、そ
れでは温度センサの検知する温度と実際のチップ温度と
の誤差が大きく、不都合があった。しかし、本発明のよ
うな構造であれば、例えば図8に示すように、温度セン
サ5をベース配線板22の上に設置することにより、は
るかに正確に、かつ速やかにチップ温度を検知すること
ができる。
【0028】次に、本実装構造の実現方法の一例を説明
する。まず、ベース配線板22をつくる。例えば、厚さ
0.7ミリの銅板に、半田濡れ性を良くするためにニッ
ケルなどをメッキする。次に、後に実装する時にチップ
10上のベース・パッド2に対応する箇所に、高さ0.
4ミリの突起92を形成する。これはウエットエッチン
グもしくは放電加工などの方法による。すると、前記の
メッキ領域は突起の頂上のみに残り、溶融半田が突起の
麓まで流れ出すことを抑制できる。
【0029】エミッタ配線板21は、まず厚さ0.3ミ
リの銅板に上記と同様のメッキを施す。さらに、後に突
起92が貫通する孔91を設ける。次に、チップ10と
対面する側には、チップ上のエミッタ・パッド1に対応
する場所以外に半田が流れないように、図5に示すよう
なレジスト膜70を塗布しパターニングしておく。次
に、反対側のベース配線板22と対面する側に、接着剤
としても機能する絶縁材61を塗布し、突起92が孔9
1に填合するように重ね合わせて2つの金属板を接着す
る。この時、エミッタ配線板のレジスト膜70のある側
とベース配線板22の突起92の頂上とがほぼ同じ高さ
になるように軽く圧着する。はみ出た絶縁材61は孔と
突起の隙間に出てこれを埋める。これで図5の構造が完
成する。
【0030】一方、図6に示すようにチップ10の表面
のエミッタ・パッド、ベース・パッドの表面領域に、高
さを均一に形成した半田50を形成しておく。その他の
部分には半田が流れ出さないようにレジスト膜71が設
けられている。
【0031】次に、先の配線板の結合体を前記突起92
が上になるように置き、おもて面を下にしてチップ10
を重ね合わせる。これをこのままの状態で加熱すると半
田が溶け出し、チップ上の電極(パッド)と配線板と接
続される。
【0032】次に、あらかじめモジュール基板80上に
絶縁板60とコレクタ配線板13や端子類を固定した構
造の上に、上記のチップ10と配線板の結合体を、チッ
プ裏面などに半田箔もしくは半田ペーストを付けて置
き、加熱して接着する。この時、配線板21、22の他
端も、モジュールのエミッタ端子31、ベース端子32
と溶接されるようにする。この時、チップ10と金属板
との間の半田50が再度溶け出さないよう、金属板とチ
ップの間の半田は融点が比較的高いものを使い、チップ
をダイボンディングする際には融点が比較的低いものを
使う。
【0033】図7はさらに別の実施の形態を示す斜視図
である。この実施の形態は、突起92を用いないで実装
する構造を示す。これは前記図5に対応するものである
が、少なくとも孔の開く側の金属板が薄くて済む場合
は、図7のようにベース配線板22に突起92を形成せ
ず、さらにエミッタ配線板21上のレジスト膜70の存
在しない領域(図7中の白抜きの部分)の面積を、チッ
プ側の半田バンプの面積よりも広くしておくとよい。こ
のようにすると板の上にチップを乗せて半田を溶かした
とき、最初はエミッタ配線板21に接するエミッタ・パ
ッド上の半田が溶け、これが広がることで高さが低くな
り、次にベース・パッド上の半田がベース配線板に触れ
て接合される。このとき、エミッタ電極は広い範囲で接
続してもよいが、エミッタ電極用半田がベース電極用半
田の接合部をすっかり取り囲んでしまうと、内部の気体
の逃げ場がなくなり、接合が不完全になるおそれがある
ので、接合部を設計する際には、こうした点に留意する
必要がある。以上、配線板21と22は、エミッタ用と
ベース用の用途を入れ替えても本発明に関する効果は同
じである。
【0034】次に、本発明は、チップ表面にコレクタ電
極を有するラテラル型電力用デバイスについても適用す
ることが出来る。この実施の形態は図示を省略するが、
3枚の金属板を重ね合わせて図3〜図7と同様の構造を
実現することが可能である。例えば、図3〜図7の構造
において、相互に絶縁された金属板3枚を重ね合わせた
構造とし、最上層の金属板の突起が中間層と最下層の金
属板に開けた貫通孔を介して第1の電極(例えばエミッ
タ電極)に接続され、中間層の金属板からは最下層の金
属板に開けた貫通孔を介して第2の電極(例えばコレク
タ電極)に接続され、最下層の電極は第3の電極(例え
ばベース電極)に接続され、2枚の金属板(上記の例で
は最上層と中間層)を流れる主電流と、残りの1枚の金
属板(上記の例では最下層)を流れる制御信号電流の流
れる方向とが直交するように、上記3枚の金属板の端子
接続部を設定すればよい。例えば図5において、エミッ
タ配線板21の端子接続部41の反対側(図面右端)に
コレクタ配線板の端子接続部(図示せず)を配置すれ
ば、エミッタ配線板とコレクタ配線板を流れる主電流の
方向がベース配線板22を流れる制御信号電流の流れる
方向と直交するように構成することが出来る。
【0035】なお、これまでの説明では、電力用トラン
ジスタのチップ10は、縦型バイポーラトランジスタを
例にとって説明してが、もちろん本発明はMOS型トラ
ンジスタにも適用できる。
【0036】また、主電流と制御信号電流との流れる方
向が直交するものとして説明したが、この「直交」の意
味は、両者間の相互インダクタンスがデバイス設計時に
必要とされる程度に小さくなるように、実質的に直交し
ておればよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明第1の実施の形態を示す上面図。
【図2】図1の斜視図。
【図3】本発明第2の実施の形態を示す斜視図。
【図4】図3の断面図。
【図5】図3の配線板の構造を示す斜視図。
【図6】図3のトランジスタチップの表面構造を示す
図。
【図7】本発明の別の実施の形態を示す斜視図。
【図8】本発明の別の実施の形態を示す斜視図。
【図9】従来技術の一例の上面図。
【図10】図9の斜視図。
【符号の説明】
10…トランジスタのチップ 1…エミッタ電極 2…ベース電極 5…温度センサ 11…エミッタ・ワイヤ 12…ベース・ワイヤ 13…コレクタ配線板 21…エミッタ配線板 22…ベース配線板 31…エミッタ端子 32…ベース端子 33…コレクタ端子 41…エミッタ配線板の端子接続部 42…ベース配線板の端子接続部 50…半田 60…絶縁板 61…絶縁膜 70…レジスト膜 71…レジスト膜 80…モジュールの基板 81…エミッタ配線の接続部材 82…ベース配線板の接続部材 91…エミッタ配線板21の孔 92…ベース配線板22上の突起
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 篠原 俊朗 神奈川県横浜市神奈川区宝町2番地 日産 自動車株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一主面に制御信号用の電極と、少なくとも
    一方の主電極と、を有する電力用トランジスタ・チップ
    の前記主面に臨み、前記制御信号用の電極と接続する制
    御信号配線と、前記主電極と接続する主配線とを有し、
    前記主配線を流れる電流の方向と、少なくとも前記トラ
    ンジスタのスイッチング時に前記制御信号配線を流れる
    電流の方向とが概ね直交するべく、前記2種類の配線が
    配置されたことを特徴とする電力用トランジスタの実装
    構造。
  2. 【請求項2】一主面に制御信号用の電極と、少なくとも
    一方の主電極と、を有する電力用トランジスタ・チップ
    の前記主面に臨み、互いに絶縁されて平行し重なり合う
    ように配置された第1と第2の金属板を有し、前記第1
    の金属板は前記トランジスタ・チップの前記主面に隣接
    して前記2種類の電極の一方と接続し、前記第1の金属
    板の所定の箇所に貫通孔を有し、前記第2の金属板は前
    記貫通孔を通して前記トランジスタ・チップ上の前記2
    種類の電極の他方と接続し、前記第1と第2の金属板の
    いずれか一方を流れる前記主電流の方向と、少なくとも
    前記トランジスタのスイッチング時に他方の金属板を流
    れる前記制御信号を構成する電流の方向とが直交すべ
    く、前記第1の金属板と第1の外部端子との接続箇所
    と、前記第2の金属板と第2の外部端子との接続箇所と
    が、配置されていることを特徴とする請求項1に記載の
    電力用トランジスタの実装構造。
  3. 【請求項3】一主面に制御信号用の電極と、二つの主電
    極と、を有する電力用トランジスタ・チップの前記主面
    に臨み、互いに絶縁されて平行し重なり合うように配置
    された第1と第2と第3の金属板を有し、前記第1の金
    属板は前記トランジスタ・チップの前記主面に隣接して
    前記三つの電極の一つと接続し、前記第1の金属板の所
    定の箇所に貫通孔を有し、前記第2の金属板は前記貫通
    孔を通して前記トランジスタ・チップ上の前記三つの電
    極の他の一つと接続し、前記第2の金属板の所定の箇所
    に貫通孔を有し、前記第3の金属板は前記第1と第2の
    金属板の貫通孔を通して前記トランジスタ・チップ上の
    前記三つの電極の残りの一つと接続し、前記第1と第2
    と第3の金属板のいずれか二つを流れる前記主電流の方
    向と、少なくとも前記トランジスタのスイッチング時に
    残りの一つの金属板を流れる前記制御信号を構成する電
    流の方向とが直交すべく、前記第1の金属板と第1の外
    部端子との接続箇所と、前記第2の金属板と第2の外部
    端子との接続箇所と、前記第3の金属板と第3の外部端
    子との接続箇所とが、配置されていることを特徴とする
    請求項1に記載の電力用トランジスタの実装構造。
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