JPH11121586A - ウェーハボート管理システム - Google Patents
ウェーハボート管理システムInfo
- Publication number
- JPH11121586A JPH11121586A JP9286327A JP28632797A JPH11121586A JP H11121586 A JPH11121586 A JP H11121586A JP 9286327 A JP9286327 A JP 9286327A JP 28632797 A JP28632797 A JP 28632797A JP H11121586 A JPH11121586 A JP H11121586A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- slot
- boat
- lot
- Prior art date
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェーハボートのウェーハを種類別に色分け
表示でき、該当するロットのみを表示でき、移載される
前のカセットスロットも表示できるウェーハボート管理
システムを提供する。 【解決手段】 半導体製造装置１０においてウェーハボ
ートを管理する主制御部２０は、表示部２１からウェー
ハボートステータス情報を要求されると、ウェーハボー
トに収納されているウェーハの種別に関するデータを搬
送制御部２５から入手し、そのデータに基づいてウェー
ハボートのボートスロットの位置に対応して色分け表示
する。さらに特定の色が選択されると、選択された色に
対応する種類のウェーハのみを色表示し、さらなる要求
があるとその要求に従って、色表示されている各ウェー
ハのボートスロット番号、ロット番号、移載される前の
カセットおよびそのカセットのカセットスロット番号を
対応付けて表示部に表示する。
表示でき、該当するロットのみを表示でき、移載される
前のカセットスロットも表示できるウェーハボート管理
システムを提供する。 【解決手段】 半導体製造装置１０においてウェーハボ
ートを管理する主制御部２０は、表示部２１からウェー
ハボートステータス情報を要求されると、ウェーハボー
トに収納されているウェーハの種別に関するデータを搬
送制御部２５から入手し、そのデータに基づいてウェー
ハボートのボートスロットの位置に対応して色分け表示
する。さらに特定の色が選択されると、選択された色に
対応する種類のウェーハのみを色表示し、さらなる要求
があるとその要求に従って、色表示されている各ウェー
ハのボートスロット番号、ロット番号、移載される前の
カセットおよびそのカセットのカセットスロット番号を
対応付けて表示部に表示する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、各カセットスロ
ットに一枚ずつウェーハを収納しているカセットが受け
渡しステーションに設置され、移載装置が前記カセット
スロットからウェーハを順次にウェーハボートのボート
スロットに移載し、ウェーハが移載されたウェーハボー
トのウェーハの収納状態を各ボートスロットの位置に対
応してウェーハの種類毎に色分けし表示器に表示するウ
ェーハボート管理システムに関する。
ットに一枚ずつウェーハを収納しているカセットが受け
渡しステーションに設置され、移載装置が前記カセット
スロットからウェーハを順次にウェーハボートのボート
スロットに移載し、ウェーハが移載されたウェーハボー
トのウェーハの収納状態を各ボートスロットの位置に対
応してウェーハの種類毎に色分けし表示器に表示するウ
ェーハボート管理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体製造装置に使用されるウェ
ーハボート管理システムにおいては、ウェーハボートに
搭載されたウェーハの管理状況を示す情報をウェーハボ
ートステータス情報（以降、ウェーハボートステータス
情報と記す）として保有している。ウェーハボート管理
システムは、このウェーハボートステータス情報に基づ
いて、ウェーハの種類別に色分けして表示器に表示し、
視覚的に分かるようにオペレータに提供している。した
がって、オペレータは、ウェーハボートの所定のスロッ
トに格納されているウェーハの種別（例えば、生産ウェ
ーハあるいはテストウェーハ等）を表示された色によっ
て知ることができる。
ーハボート管理システムにおいては、ウェーハボートに
搭載されたウェーハの管理状況を示す情報をウェーハボ
ートステータス情報（以降、ウェーハボートステータス
情報と記す）として保有している。ウェーハボート管理
システムは、このウェーハボートステータス情報に基づ
いて、ウェーハの種類別に色分けして表示器に表示し、
視覚的に分かるようにオペレータに提供している。した
がって、オペレータは、ウェーハボートの所定のスロッ
トに格納されているウェーハの種別（例えば、生産ウェ
ーハあるいはテストウェーハ等）を表示された色によっ
て知ることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウェー
ハボート管理システムは、ウェーハボートに搭載された
ウェーハを種類別に色を変えて表示するようにしている
ので、ウェーハボートの所定のスロットに格納されてい
るウェーハの種別は表示器に表示された色によって知る
ことができるが、ロット識別表示（ＬＯＴ ＩＤ表示）
がないために、そのウェーハがどのロットに属するかは
判断できないという問題がある。このようにロットを判
断できないために、例えば、ウェーハ搬送トラブル等に
より、ウェーハボートの上にあるウェーハを手動でロッ
トの決められたカセットに戻さなければならない場合
に、ウェーハの種別については正しく該当カセットに戻
すことが可能であるが、ロットについて正しく該当する
カセットに戻すことは非常に困難である。
ハボート管理システムは、ウェーハボートに搭載された
ウェーハを種類別に色を変えて表示するようにしている
ので、ウェーハボートの所定のスロットに格納されてい
るウェーハの種別は表示器に表示された色によって知る
ことができるが、ロット識別表示（ＬＯＴ ＩＤ表示）
がないために、そのウェーハがどのロットに属するかは
判断できないという問題がある。このようにロットを判
断できないために、例えば、ウェーハ搬送トラブル等に
より、ウェーハボートの上にあるウェーハを手動でロッ
トの決められたカセットに戻さなければならない場合
に、ウェーハの種別については正しく該当カセットに戻
すことが可能であるが、ロットについて正しく該当する
カセットに戻すことは非常に困難である。
【０００４】この発明は、上記の問題に鑑み、ウェーハ
ボートに搭載されたウェーハを種類別に色を変えて表示
できるとともに、それぞれのウェーハの属するロットも
分かるようにロット別に表示できるウェーハボート管理
システムを提供することを目的とする。
ボートに搭載されたウェーハを種類別に色を変えて表示
できるとともに、それぞれのウェーハの属するロットも
分かるようにロット別に表示できるウェーハボート管理
システムを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ために、この発明は、各カセットスロットに一枚ずつウ
ェーハを収納しているカセットが受け渡しステーション
に設置され、移載装置が前記カセットスロットからウェ
ーハを順次にウェーハボートの各ボートスロットに一枚
ずつ移載し、ウェーハが移載されたウェーハボートのウ
ェーハの収納状態を各ボートスロットの位置に対応して
ウェーハの種類毎に色分けし表示器に表示するウェーハ
ボート管理システムにおいて、前記各ボートスロットに
格納されたウェーハが属するロットの番号とどのカセッ
トのどのカセットスロット番号から移載されたものかを
記憶するロット番号およびカセットスロット番号記憶手
段と、前記表示器に色分けして表示されたウェーハの種
類のうちから所望の種類が指示されると、指示された種
類に対応する色以外の色を消去するとともに、指示され
た種類に含まれているロットの番号を前記表示器に表示
する選択表示手段と、前記表示器に表示されたロット番
号のうち所望のものが指示されると、指示されたロット
番号に属する色以外の色を消去するロットグループ選択
手段と、前記ロットグループ選択手段によって選択され
残っている色の部分が指示されると、前記ロット番号お
よびカセットスロット番号記憶手段のデータを参照し
て、その残っている色の部分に対応するボートスロット
に収納されたウェーハがどのカセットのどのカセットス
ロット番号から移載されたものかを表示するカセットス
ロット番号表示手段とを有する。
ために、この発明は、各カセットスロットに一枚ずつウ
ェーハを収納しているカセットが受け渡しステーション
に設置され、移載装置が前記カセットスロットからウェ
ーハを順次にウェーハボートの各ボートスロットに一枚
ずつ移載し、ウェーハが移載されたウェーハボートのウ
ェーハの収納状態を各ボートスロットの位置に対応して
ウェーハの種類毎に色分けし表示器に表示するウェーハ
ボート管理システムにおいて、前記各ボートスロットに
格納されたウェーハが属するロットの番号とどのカセッ
トのどのカセットスロット番号から移載されたものかを
記憶するロット番号およびカセットスロット番号記憶手
段と、前記表示器に色分けして表示されたウェーハの種
類のうちから所望の種類が指示されると、指示された種
類に対応する色以外の色を消去するとともに、指示され
た種類に含まれているロットの番号を前記表示器に表示
する選択表示手段と、前記表示器に表示されたロット番
号のうち所望のものが指示されると、指示されたロット
番号に属する色以外の色を消去するロットグループ選択
手段と、前記ロットグループ選択手段によって選択され
残っている色の部分が指示されると、前記ロット番号お
よびカセットスロット番号記憶手段のデータを参照し
て、その残っている色の部分に対応するボートスロット
に収納されたウェーハがどのカセットのどのカセットス
ロット番号から移載されたものかを表示するカセットス
ロット番号表示手段とを有する。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて添付図面に基づいて説明する。図１は、この発明に
係わるウェーハボート管理システムが使用されている半
導体製造装置を示すブロック図、図２は、ウェーハボー
トステータス情報が表示部に表示されるまでの動作を説
明する図、図３は、ウェーハボートの各ボートスロット
に格納されているウェーハに関して記憶部に記憶されて
いる状態を示す図、図４は、ウェーハボートの各ボート
スロットに格納されているウェーハに関する情報が表示
部に表示される状態を示す図である。
いて添付図面に基づいて説明する。図１は、この発明に
係わるウェーハボート管理システムが使用されている半
導体製造装置を示すブロック図、図２は、ウェーハボー
トステータス情報が表示部に表示されるまでの動作を説
明する図、図３は、ウェーハボートの各ボートスロット
に格納されているウェーハに関して記憶部に記憶されて
いる状態を示す図、図４は、ウェーハボートの各ボート
スロットに格納されているウェーハに関する情報が表示
部に表示される状態を示す図である。
【０００７】図１の半導体製造装置１０において、表示
部２１（ＬＣＤあるいはブラウン管等）は、主制御部２
０から送られてくる情報を表示面に表示し、あるいは、
表示面上の表示に対するオペレータからの指示を受け、
その指示を主制御部２０に伝達する。この例において
は、オペレータからの指示は、表示面上のＧＵＩ（grap
hical user interface）を用いてメニュー選択、所定の
画像区域の選択（例えば、所定のアイコンの選択）によ
り実行に移されるものとする。操作部２２は、キースイ
ッチやマウスを備え、メニュー選択およびアイコン選択
に関する所定の指示を主制御部２０に伝達することがで
きるようにされている。もちろん、オペレータが表示面
における上述の選択部分にタッチすることによりメニュ
ー選択等を行えるようにしてもよい。
部２１（ＬＣＤあるいはブラウン管等）は、主制御部２
０から送られてくる情報を表示面に表示し、あるいは、
表示面上の表示に対するオペレータからの指示を受け、
その指示を主制御部２０に伝達する。この例において
は、オペレータからの指示は、表示面上のＧＵＩ（grap
hical user interface）を用いてメニュー選択、所定の
画像区域の選択（例えば、所定のアイコンの選択）によ
り実行に移されるものとする。操作部２２は、キースイ
ッチやマウスを備え、メニュー選択およびアイコン選択
に関する所定の指示を主制御部２０に伝達することがで
きるようにされている。もちろん、オペレータが表示面
における上述の選択部分にタッチすることによりメニュ
ー選択等を行えるようにしてもよい。
【０００８】温度制御部２３は、半導体製造装置１０の
各部の温度を検出し、主制御部２０に伝達するととも
に、主制御部２０からの指示に従って各部の温度を制御
する。また、ガス制御部２４は、半導体製造装置１０の
各部のガス流量等を検出し、主制御部２０に伝達すると
ともに、主制御部２０からの指示に従って各部のガス流
を制御する。搬送制御部２５は、搬送装置（不図示）の
各部の速度等を検出したり、ウェーハボートの収容状況
を検出し、記憶部２６に記憶し、それらのデータを主制
御部２０に伝達するとともに、主制御部２０からの指示
に従って搬送装置やウェーハボートを制御する。
各部の温度を検出し、主制御部２０に伝達するととも
に、主制御部２０からの指示に従って各部の温度を制御
する。また、ガス制御部２４は、半導体製造装置１０の
各部のガス流量等を検出し、主制御部２０に伝達すると
ともに、主制御部２０からの指示に従って各部のガス流
を制御する。搬送制御部２５は、搬送装置（不図示）の
各部の速度等を検出したり、ウェーハボートの収容状況
を検出し、記憶部２６に記憶し、それらのデータを主制
御部２０に伝達するとともに、主制御部２０からの指示
に従って搬送装置やウェーハボートを制御する。
【０００９】さらに、搬送制御部２５は、搬送装置を駆
動して、所定枚数（例えば、２５枚）のウェーハがそれ
ぞれのカセットスロットに１枚ずつ収納されたウェーハ
カセットを、一旦、受け渡しステーション（不図示）に
載置させ、受け渡しステーションのカセットに収納され
たウェーハを、順次にウェーハボートの各スロットに移
載する。主制御部２０は、上述の表示部２１や操作部２
２からオペレータの指示を受け取ったり、半導体製造装
置１０の各部からそれぞれの検出するデータを受け取っ
たりするとともに、予め与えられたプログラムに従っ
て、それらの指示やデータを用いて新たな指示を決定
し、決定した指示を適宜に各部に伝達する。
動して、所定枚数（例えば、２５枚）のウェーハがそれ
ぞれのカセットスロットに１枚ずつ収納されたウェーハ
カセットを、一旦、受け渡しステーション（不図示）に
載置させ、受け渡しステーションのカセットに収納され
たウェーハを、順次にウェーハボートの各スロットに移
載する。主制御部２０は、上述の表示部２１や操作部２
２からオペレータの指示を受け取ったり、半導体製造装
置１０の各部からそれぞれの検出するデータを受け取っ
たりするとともに、予め与えられたプログラムに従っ
て、それらの指示やデータを用いて新たな指示を決定
し、決定した指示を適宜に各部に伝達する。
【００１０】次に、上述のように主制御部２０が各部と
指示やデータの授受を行う際にウェーハボートを管理す
る内容について図２，図３，図４を参照しつつ説明す
る。図２に示されるように、オペレータが表示部２１に
表示されたメインメニューの中からウェーハボートステ
ータス情報表示を選択すると、表示部２１は、主制御部
２０に対して、ウェーハボートステータス情報を送るよ
うに要求する。この要求を受けた主制御部２０は、搬送
制御部２５に対して、ウェーハボートステータス情報を
送るように要求する。
指示やデータの授受を行う際にウェーハボートを管理す
る内容について図２，図３，図４を参照しつつ説明す
る。図２に示されるように、オペレータが表示部２１に
表示されたメインメニューの中からウェーハボートステ
ータス情報表示を選択すると、表示部２１は、主制御部
２０に対して、ウェーハボートステータス情報を送るよ
うに要求する。この要求を受けた主制御部２０は、搬送
制御部２５に対して、ウェーハボートステータス情報を
送るように要求する。
【００１１】搬送制御部２５は、図３に示されるよう
に、ウェーハボートの各スロットに格納している各ウェ
ーハについてスロット１情報，スロット２情報，〜，ス
ロット２００情報を記憶部２６に記憶している。これら
の各スロット情報には、ウェーハ種別情報、ロット番号
を示すＬＯＴ ＩＤ、カセットに収納されていたときの
スロット位置を示すカセットスロットＮＯが組になるよ
うに編集され記憶されている。主制御部２０からウェー
ハボートステータス情報を送信すべき要求を受けた搬送
制御部２５は、記憶しているスロット１情報，スロット
２情報，〜，スロット２００情報を主制御部に送信す
る。主制御部２０は、搬送制御部２５から受け取った情
報を表示部２１に送信する。
に、ウェーハボートの各スロットに格納している各ウェ
ーハについてスロット１情報，スロット２情報，〜，ス
ロット２００情報を記憶部２６に記憶している。これら
の各スロット情報には、ウェーハ種別情報、ロット番号
を示すＬＯＴ ＩＤ、カセットに収納されていたときの
スロット位置を示すカセットスロットＮＯが組になるよ
うに編集され記憶されている。主制御部２０からウェー
ハボートステータス情報を送信すべき要求を受けた搬送
制御部２５は、記憶しているスロット１情報，スロット
２情報，〜，スロット２００情報を主制御部に送信す
る。主制御部２０は、搬送制御部２５から受け取った情
報を表示部２１に送信する。
【００１２】表示部２１は、主制御部２０から受け取っ
たスロット１情報，スロット２情報，〜，スロット２０
０情報に基づいて、データの編集を行い、図４（ａ）の
ようなウェーハボートステータス情報に関するウェーハ
ボート全体の画面を表示する。ウェーハボート全体の画
面においては、ウェーハの種別は、左上の“Color Lege
nd”における色分けによってボートスロット毎に区分さ
れる。例えば、通常の生産ウェーハであれば“Produc
t”の下に示された色（例えば、黄色）で、テストウェ
ーハであれば“Test”の下に示された色（例えば、赤
色）で、ダミー用であれば“Fill Dummy”の下に示され
た色（例えば、青色と緑色）で示される。
たスロット１情報，スロット２情報，〜，スロット２０
０情報に基づいて、データの編集を行い、図４（ａ）の
ようなウェーハボートステータス情報に関するウェーハ
ボート全体の画面を表示する。ウェーハボート全体の画
面においては、ウェーハの種別は、左上の“Color Lege
nd”における色分けによってボートスロット毎に区分さ
れる。例えば、通常の生産ウェーハであれば“Produc
t”の下に示された色（例えば、黄色）で、テストウェ
ーハであれば“Test”の下に示された色（例えば、赤
色）で、ダミー用であれば“Fill Dummy”の下に示され
た色（例えば、青色と緑色）で示される。
【００１３】次に、表示部２１において、“Product”
の下に示された黄色が選択されると、他の色の着いた部
分は消え、黄色の部分のみが残るとともに、これらのロ
ット番号がＬｏｔ１，Ｌｏｔ２，Ｌｏｔ３のように表示
される。Ｌｏｔ１を選択すると、Ｌｏｔ１以外の黄色の
部分は消え、図４（ａ）のようにウェーハボートのＬｏ
ｔ１の部分の黄色のみが残る。したがって、残った黄色
の部分が生産ウェーハでＬｏｔ１に属するウェーハが収
納されているボートスロットの個所を示すものとなる。
そこで、さらに、残った黄色の部分を選択すると、図４
（ｂ）に示されるように収納の状態がさらに詳細に表示
される。
の下に示された黄色が選択されると、他の色の着いた部
分は消え、黄色の部分のみが残るとともに、これらのロ
ット番号がＬｏｔ１，Ｌｏｔ２，Ｌｏｔ３のように表示
される。Ｌｏｔ１を選択すると、Ｌｏｔ１以外の黄色の
部分は消え、図４（ａ）のようにウェーハボートのＬｏ
ｔ１の部分の黄色のみが残る。したがって、残った黄色
の部分が生産ウェーハでＬｏｔ１に属するウェーハが収
納されているボートスロットの個所を示すものとなる。
そこで、さらに、残った黄色の部分を選択すると、図４
（ｂ）に示されるように収納の状態がさらに詳細に表示
される。
【００１４】すなわち、黄色い部分に対応するボートス
ロットＮｏ．（Ｓ０１，Ｓ０２，〜，Ｓ２００のうちの
例えば、Ｓ３１，Ｓ３２，〜，Ｓ５５）と、そのボート
スロットに入っているウェーハのロット番号（Ｌｏｔ
１）と、ウェーハがボートスロットに移載される前に収
納されていたカセット（Ａ，Ｂ，〜，ＮのうちのＡ）
と、そのカセットＡのカセットスロットＮｏ．（０１，
０２，〜，２５）が対応するように表示部に表示され
る。したがって、この場合、ボートスロットＳ３１から
Ｓ５５には、ロット番号１でカセットＡのカセットスロ
ットＮｏ．１からＮｏ．２５までに入っていたウェーハ
が移載されていることが分かる。
ロットＮｏ．（Ｓ０１，Ｓ０２，〜，Ｓ２００のうちの
例えば、Ｓ３１，Ｓ３２，〜，Ｓ５５）と、そのボート
スロットに入っているウェーハのロット番号（Ｌｏｔ
１）と、ウェーハがボートスロットに移載される前に収
納されていたカセット（Ａ，Ｂ，〜，ＮのうちのＡ）
と、そのカセットＡのカセットスロットＮｏ．（０１，
０２，〜，２５）が対応するように表示部に表示され
る。したがって、この場合、ボートスロットＳ３１から
Ｓ５５には、ロット番号１でカセットＡのカセットスロ
ットＮｏ．１からＮｏ．２５までに入っていたウェーハ
が移載されていることが分かる。
【００１５】このように図１の実施例によれば、ウェー
ハボートの各ボートスロットに格納されているウェーハ
の種類やロットが一目で分かるとともに、ウェーハが移
載されてくる前に収納されていたカセットおよびそのカ
セットのどのカセットスロット番号に収納されていたか
も明確にできる。したがって、何らかの必要があって、
ボートスロットに収納されているウェーハを元のカセッ
トに手で戻す場合にも、誤り無く実行できる。また、こ
のデータを用いて、移載装置が指示に従ってウェーハを
カセットに戻すことも可能になる。
ハボートの各ボートスロットに格納されているウェーハ
の種類やロットが一目で分かるとともに、ウェーハが移
載されてくる前に収納されていたカセットおよびそのカ
セットのどのカセットスロット番号に収納されていたか
も明確にできる。したがって、何らかの必要があって、
ボートスロットに収納されているウェーハを元のカセッ
トに手で戻す場合にも、誤り無く実行できる。また、こ
のデータを用いて、移載装置が指示に従ってウェーハを
カセットに戻すことも可能になる。
【００１６】
【発明の効果】以上に詳述したように、この発明に係わ
るウェーハボート管理システムは、移載装置を用いてカ
セットのカセットスロットからウェーハをウェーハボー
トのボートスロットに適切に移載し管理するために、前
記各ボートスロットに格納されたウェーハが属するロッ
トの番号とどのカセットのどのカセットスロット番号か
ら移載されたものかを記憶するロット番号およびカセッ
トスロット番号記憶手段と、前記表示器に色分けして表
示されたウェーハの種類のうちから所望の種類が指示さ
れると、指示された種類に対応する色以外の色を消去す
るとともに、指示された種類に含まれているロットの番
号を前記表示器に表示する選択表示手段と、前記表示器
に表示されたロット番号のうち所望のものが指示される
と、指示されたロット番号に属する色以外の色を消去す
るロットグループ選択手段と、前記ロットグループ選択
手段によって選択され残っている色の部分が指示される
と、前記ロット番号およびカセットスロット番号記憶手
段のデータを参照して、その残っている色の部分に対応
するボートスロットに収納されたウェーハがどのカセッ
トのどのカセットスロット番号から移載されたものかを
表示するカセットスロット番号表示手段とを有すること
により、ウェーハの種類や属するロットが一目で分か
り、また、ウェーハが収容されているボートスロット
と、移載される前のカセットスロットの対応が表示部に
おいて簡単に確認できる効果があり、ひいては、何らか
の必要によってボートスロットから元のカセットスロッ
トにウェーハを戻そうとする場合に、手動によっても自
動によっても、これらの表示に基づいてウェーハの種類
および移載される前の元のカセットのカセットスロット
に関して誤りを発生させることなく正確に戻すことがで
きる。
るウェーハボート管理システムは、移載装置を用いてカ
セットのカセットスロットからウェーハをウェーハボー
トのボートスロットに適切に移載し管理するために、前
記各ボートスロットに格納されたウェーハが属するロッ
トの番号とどのカセットのどのカセットスロット番号か
ら移載されたものかを記憶するロット番号およびカセッ
トスロット番号記憶手段と、前記表示器に色分けして表
示されたウェーハの種類のうちから所望の種類が指示さ
れると、指示された種類に対応する色以外の色を消去す
るとともに、指示された種類に含まれているロットの番
号を前記表示器に表示する選択表示手段と、前記表示器
に表示されたロット番号のうち所望のものが指示される
と、指示されたロット番号に属する色以外の色を消去す
るロットグループ選択手段と、前記ロットグループ選択
手段によって選択され残っている色の部分が指示される
と、前記ロット番号およびカセットスロット番号記憶手
段のデータを参照して、その残っている色の部分に対応
するボートスロットに収納されたウェーハがどのカセッ
トのどのカセットスロット番号から移載されたものかを
表示するカセットスロット番号表示手段とを有すること
により、ウェーハの種類や属するロットが一目で分か
り、また、ウェーハが収容されているボートスロット
と、移載される前のカセットスロットの対応が表示部に
おいて簡単に確認できる効果があり、ひいては、何らか
の必要によってボートスロットから元のカセットスロッ
トにウェーハを戻そうとする場合に、手動によっても自
動によっても、これらの表示に基づいてウェーハの種類
および移載される前の元のカセットのカセットスロット
に関して誤りを発生させることなく正確に戻すことがで
きる。
【図１】この発明に係わるウェーハボート管理システム
が使用されている半導体製造装置を示すブロック図であ
る。
が使用されている半導体製造装置を示すブロック図であ
る。
【図２】ウェーハボートステータス情報が表示部に表示
されるまでの動作を説明する図である。
されるまでの動作を説明する図である。
【図３】ウェーハボートの各ボートスロットに格納され
ているウェーハに関して記憶部に記憶されている状態を
示す図である。
ているウェーハに関して記憶部に記憶されている状態を
示す図である。
【図４】（ａ）は、ウェーハボートの各ボートスロット
に格納されているウェーハに関する情報が表示部に表示
される状態を示す図である。（ｂ）は、（ａ）で選択さ
れたロットの内容をさらに詳細に表示部に表示されてい
る状態を示す図である。
に格納されているウェーハに関する情報が表示部に表示
される状態を示す図である。（ｂ）は、（ａ）で選択さ
れたロットの内容をさらに詳細に表示部に表示されてい
る状態を示す図である。
１０ 半導体製造装置 ２０ 主制御部 ２１ 表示部 ２２ 操作部 ２３ 温度制御部 ２４ ガス制御部 ２５ 搬送制御部 ２６ 記憶部
Claims (1)
- 【請求項１】 各カセットスロットに一枚ずつウェーハ
を収納しているカセットが受け渡しステーションに設置
され、移載装置が前記カセットスロットからウェーハを
順次にウェーハボートの各ボートスロットに一枚ずつ移
載し、ウェーハが移載されたウェーハボートのウェーハ
の収納状態を各ボートスロットの位置に対応してウェー
ハの種類毎に色分けし表示器に表示するウェーハボート
管理システムにおいて、 前記各ボートスロットに格納されたウェーハが属するロ
ットの番号とどのカセットのどのカセットスロット番号
から移載されたものかを記憶するロット番号およびカセ
ットスロット番号記憶手段と、 前記表示器に色分けして表示されたウェーハの種類のう
ちから所望の種類が指示されると、指示された種類に対
応する色以外の色を消去するとともに、指示された種類
に含まれているロットの番号を前記表示器に表示する選
択表示手段と、 前記表示器に表示されたロット番号のうち所望のものが
指示されると、指示されたロット番号に属する色以外の
色を消去するロットグループ選択手段と、 前記ロットグループ選択手段によって選択され残ってい
る色の部分が指示されると、前記ロット番号およびカセ
ットスロット番号記憶手段のデータを参照して、その残
っている色の部分に対応するボートスロットに収納され
たウェーハがどのカセットのどのカセットスロット番号
から移載されたものかを表示するカセットスロット番号
表示手段とを有することを特徴とするウェーハボート管
理システム。
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