JPH11102861A5 - - Google Patents
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- JPH11102861A5 JPH11102861A5 JP1997260303A JP26030397A JPH11102861A5 JP H11102861 A5 JPH11102861 A5 JP H11102861A5 JP 1997260303 A JP1997260303 A JP 1997260303A JP 26030397 A JP26030397 A JP 26030397A JP H11102861 A5 JPH11102861 A5 JP H11102861A5
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- JP
- Japan
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- thin film
- silicon thin
- substrate
- amorphous silicon
- deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
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Publications (2)
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Family
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Family Applications (1)
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