JPH1072668A5 - - Google Patents
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- JPH1072668A5 JPH1072668A5 JP1996231712A JP23171296A JPH1072668A5 JP H1072668 A5 JPH1072668 A5 JP H1072668A5 JP 1996231712 A JP1996231712 A JP 1996231712A JP 23171296 A JP23171296 A JP 23171296A JP H1072668 A5 JPH1072668 A5 JP H1072668A5
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23171296A JPH1072668A (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 基板支持具ならびに該支持具を用いた薄膜の製造方法およびその製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23171296A JPH1072668A (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 基板支持具ならびに該支持具を用いた薄膜の製造方法およびその製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1072668A JPH1072668A (ja) | 1998-03-17 |
| JPH1072668A5 true JPH1072668A5 (enExample) | 2004-09-16 |
Family
ID=16927838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23171296A Pending JPH1072668A (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 基板支持具ならびに該支持具を用いた薄膜の製造方法およびその製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1072668A (enExample) |
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|---|---|---|---|---|
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-
1996
- 1996-09-02 JP JP23171296A patent/JPH1072668A/ja active Pending
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