JPH10512071A - 流量コントローラ、流量コントローラの部品および関連方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 質量流体流量コントローラは、コントローラロッド構造体により制御されるバルブを有し、コントローラロッド構造体は、このロッド構造体の運動に従って伸びたり伸びなかったりする金属ダイヤフラムにほぼ枢着されている。このロッドの作動は加熱されると膨張し、冷却されると収縮するアクチュエータワイヤの膨張および収縮によって生じる。コントローラを貫通する主要流体流路は直線状であり、平行センサ流体流路を形成するセンサ導管が金属シーラー部材を使用して所定位置に接続されており、シーラー部材は開口部内で主要流体流路まで延び、かかる開口部を貫通する方向に沿って丸くされている。センサ導管を通過する流れを生じさせるための主要流体流路に沿った圧力低下は、流体流量制限器によって発生される。この流体流量制限器はコアと、コアに沿ったワイヤとを有する。ワイヤはセンサ導管の入力および出力接続部の近くでコアとテーパ付き流体流路との間に圧縮されるようになっている。コアの形状は球形または円形とすることができる。ブッシングの運動を阻止しながらブッシングの端面に力を加え、端面を変形し、ブッシングの外側壁をパイプ構造体の内側壁に押圧し、ブッシングをパイプ構造体内に固定することにより、主要流体流路を形成するようにパイプ構造体内にバルブシートブッシングが取り付けられる。コントローラロッド構造体とバルブに対するゲート部材として働くボールとの間の関係では、ボールをコントローラロッド構造体に固定する際に周辺にスリーブを有する細長いステムロッドを使用できる。コントローラロッド構造体のゲート部材側からボールの位置が離間する距離よりも実質的に長く、コントローラロッド構造体のゲート部材側から離間させて細長いスリーブにステムロッドを固定することにより、ステムロッドを取り付けできる。

Description

【発明の詳細な説明】 流量コントローラ、流量コントローラの部品および関連方法 関連出願 本願は１９９４年１２月２９日に出願された米国特許出願第０８／３６５８６ １号の一部継続出願である。 発明の分野 本発明の分野は、流量コントローラ、流量コントローラの部品およびかかる物 品を製造する方法に関する。 発明の背景 ガスの質量流量コントローラはガスの温度または圧力とほぼ無関係にガスの質 量流量を検出し、測定値を出力し、よってかかる流量を計測し、かかる検出およ び計測に基づき、所望どおり質量流量を調節するようになっている。熱交換の原 理に基づき作動するかかるタイプのコントローラはこれまで広く採用されてきた 。 一般的な業務用タイプのガス用質量流量センサは小径チューブを内蔵し、この 小径チューブの外側には互いに接近した状態で２つのワイヤコイルが巻かれてい る。これらコイルは抵抗値が温度によって影響を受ける金属材料から形成される 。 センサに組み込まれるブリッジタイプの電気回路では、ガス流がない場合に抵 抗値を等しくし、ブリッジタイプの回路のためのバランスのとれた状態すなわち ゼロ出力信号を発生するように電流によってこれらコイルを加熱できる。 次に、チューブ内をガスが流れるとセンサの対応する測定レンジ内でガスの冷 却効果により上流側コイルの温度は低下し、流体によって伝達される上流側コイ ルからの熱により下流側コイルの温度は上昇する。このような温度差はチューブ を通過して流れる単位時間当たりの分子数に比例する。従って、温度によるコイ ルの抵抗値の既知の変化に基づき、ブリッジ回路の出力信号はガス流量の測定値 すなわちメータ信号を出力する。 一般にこの小径チューブはコントローラを通る主要流体流路と平行になってい る。この平行流路は主要流路に沿って圧力低下を生じさせるある種の部分的な流 体流ブロックを使用して設定される。 所定レベルでの流量測定値および異なるレベルに設定される所望流量により差 を除くことができる。すなわち主要流量流路内のバルブにより質量流量を制御で きる。 一般に、質量流量コントローラでは主要流体流路は多少屈曲しており、リニア 状に開閉されるバルブスリーブ内にバルブシート（弁座）を取り付けできるよう になっている。従って、バルブにより流体流量を増減するように移動される部材 は一般に流体流の方向（バルブシートの開口部を貫通する方向）に沿って加えら れる力により移動される。バルブシートに抗して作用する部材はソレノイドまた はピエゾ電気機構によって位置が制御される構造体によって移動され、金属ダイ ヤフラムに取り付けられることが多い。かかる屈曲した流路およびリニア機構は 、特別注文の導管部品や、好ましい機構よりもより大きな、および／またはより 強力な機構を必要とする傾向がある。これら機構は主要流路内の背圧効果の影響 を受け易く、これによりバルブの機械的動作が複雑となることがある。 これらすべてに多少関連するが、このことが主要流体流路内にバルブシートを 含むスリーブの取り付けに関連して生じ得る製造上の条件である。特にスリーブ を所定位置に押し込む際、主要流体流路に沿って引っ掻き傷ができないようにす ることが必要である。例えば圧入作業を行う場合、流体が流れる間に流体と接触 しない壁の表面に沿って必ず不可避的な引っ掻き傷が生じるはずである。 小径チューブセンサを貫通する平行流路を設けることに関連し、主要流体流路 をある程度ブロックする必要があることに関連し、これまで種々のブロック素子 が使用され、試みられてきた。この必要条件としては、例えばテーパを有する主 要流体流路およびスプリング状取り付け機構により所定位置に位置決めし、保持 できる、テーパ付きブロック構造を使用することが挙げられる。すべてが重要で あるが、センサチューブに平行な流路の位置の近くにでかなりスムーズで、一般 に層流状態を維持すること、および主要流路を通る流量に対するセンサチューブ を通る流量の比を調節するよう、ブロック量を調節する能力を有することが必要 である。このような調節能力により所定センサ信号が表示する流量を所定レンジ 内で較正できるようになる。かかる較正のフレキシビリティは種々の用途および 個別化された条件を満たす上で重要である。 これによれば、流体流のブロックおよび調節に関連し、ブロック装置として長 手方向に沿ってワイヤ状構造体を有するほぼ円筒形のプラグ部分を備えた、ほぼ 円筒形の流路部分が知られている。同じような形状の流路部分内に配置される円 筒形ブロック部分の長手方向部分は、ブロックの程度を制御する手段として使用 できる。 上記一般的タイプの質量流量コントローラでは、別の領域での試みおよび関心 は小径センサチューブと主要流体流路とをインターフェース化することにあった 。当然ながら、このインターフェース化は主要流体流路内のブロック素子の近く で行われる。かかるインターフェース化を行うには小径チューブが必要であり、 かついずれかの端部で主要流体流路に対する開口部とシールされた状態で連通す る必要がある。このような条件に対する従来の対応例は、センサハウジングと、 この近くにおいて主要流体流路が孔開けされている金属導管ブロックとの間に金 属取り付けブロックを組み込むことである。かかるブロックは内部に形成された ほぼ円筒形の開口部を有し、センサチューブが主要流体流路に接続する導管ブロ ック内の開口部の直前で、その両端において円筒形開口部を通過するようになっ ている。次にこれら開口部に一対の金属部品を圧入する。かかる部品には入力ま たは出力の小径センサチューブ端部に対する中間部を貫通する小径開口部が孔開 けされている。形状がほぼ円筒形となっているかかる金属部品は、導管ブロック 側の面に形成された、例えば円形エッジを有することができる。インターフェー ス取り付けブロックとセンサチューブの両端近くにおいてセンサチューブの周り にある導管ブロックとの間に流体を密閉するシールを形成するよう、協働する円 形エッジを有するワッシャー状の素子を圧縮できる。金属インターフェース部品 はセンサパイプの両端を部品に溶接するための好ましい形状となるように、同じ 面に沿って高くされた構造を有することができる。例えばインターフェース構造 の細部およびインターフェース取り付けブロックによる空間の使用は、注目すべ き 事柄である。 質量流量コントローラに関し、流量コントローラバルブを通過する流量を制御 するのにピエゾ電気またはソレノイド機構よりも熱機構を使用したい要望がある 場合、充分な力を発生する必要があることが一般に条件となっていた。これによ れば、ワイヤを電気的に加熱し、その周辺のチューブを加熱することは、過去の 試みおよび開発の主題となっていた。熱を加えることにより膨張する際の、また は熱を除去することにより収縮する際のチューブの質量を、必要な大きさの力の 発生源とすることができたが、他方、応答時間が低速となる要因ともなっていた 。 本発明は作動を容易にし、かつ効率的にするだけでなく、多数の領域に関連し 、製造を容易にし、かつ効率的にするものである。これらとしてバルブ作動の機 構、主要流体流路の指向性特性、センサ流路に対する主要流路の流量の制限、セ ンサハウジングの取り付け、およびセンサ流路と主要流路との間の関連するイン ターフェース、並びに主要流体流路にバルブシートを取り付けることが挙げられ る。 発明の概要 本発明のバルブ機構の特徴によれば、流体流量を測定するためのセンサおよび センサに応答するアクチュエータを有する流体流量コントローラが提供される。 この流体流量コントローラは入力パイプ構造体と、中間パイプ構造体と、出力パ イプ構造体とを含む。このコントローラは中間パイプ構造体に取り付けられたバ ルブシートと、バルブシートに連動するバルブゲート部材と、ゲート部材コント ローラも含む。入力パイプ構造体は所定の流量を有する流体を受けるための入り 口を構成し、更にこの構造体を貫通する流体流開口部を構成する。中間パイプ構 造体は、入力パイプ構造体から下流で流体を受け、この構造体を貫通する流体流 開口を構成する。出力パイプ構造体は中間パイプ構造体から下流で流体を受け、 同じようにかかる構造体を貫通する流体流開口部を形成する。ゲート部材コント ローラはコントローラロッド構造体と、ダイヤフラムを含む取り付け構造体とを 含む。コントローラロッド構造体はゲート部材制御部分と、取り付け部分と、作 動部分とを有する。コントローラロッド構造体の取り付け部分に沿ってダイヤフ ラムにコントローラロッド構造体が接続され、ロッド構造体の作動部分およびゲ ート部材に接触する部分は流量コントローラアクチュエータに応答して、取り付 け構造体の位置を基準に対向する方向に多数の別の位置へ移動でき、流体流量を 多数の別の流体流量に調節でき、ダイヤフラムはコントローラロッド構造体の構 造的に支持された重量のほぼすべてを支持する。 コントローラロッド構造体は実質的に枢着されており、コントローラロッド構 造体の作動部分およびゲート部材制御部分が対向する方向に移動する際に、ダイ ヤフラムは伸びたり伸びなかったりする。このダイヤフラムは金属ダイヤフラム であり、実質的に曲げられていない形状でほぼ円形となっている。 コントローラロッド構造体の取り付け部分はダイヤフラムの作動部分側に設け られた部分と、ダイヤフラムのゲート部材制御側に設けられた別の部分とを備え 、これら部分は円筒形であり、一方の部分に対する他方の部分の曲げを容易にす るよう、曲げに対する強度が異なっている。 中間パイプ構造に取り付けられたバルブシートは入力および出力パイプ構造体 を貫通する流体流開口部にほぼ整合する流体流開口部を構成する。 本発明の別のバルブ機構の特徴によれば、流体流量を測定するセンサおよびセ ンサに応答するアクチュエータを有する流体流量コントローラは、最初に説明し たように、入力パイプ構造体と、中間パイプ構造体と、出力パイプ構造体と、バ ルブシートと、バルブゲート部材とを含む。ゲート部材コントローラはコントロ ーラロッドと、取り付け構造体と、細長いステムロッドとを含む。コントローラ ロッド構造体はゲート部材制御部分と、取り付け部分と、作動部分とを有する。 コントローラロッド構造体はコントローラロッド構造体の取り付け部分に沿って 取り付け構造体に接続されており、コントローラロッド構造体の作動部分および ゲート部材接触部分は流量コントローラのアクチュエータに応答し、取り付け構 造体の位置を基準に対向する方向に多数の別の位置へ移動自在であり、流体流量 を多数の別々の流量に調節でき、ダイヤフラムはコントローラロッド構造体の構 造的に支持された重量のほぼすべてを支持する。ゲート部材には細長いステムロ ッドが接続されており、このロッドはコントローラロッド構造体の制御部分の側 であってゲート部材から離れた側にも取り付けられている。 この細長いステムロッドはコントローラロッド構造体のゲート部材側から離間 するゲート部材の位置の距離の２倍よりも長い距離だけ制御ロッド構造体のゲー ト部材側から離間して取り付けられている。細長いステムロッドを中心とし、コ ントローラロッド構造体の作動部分および細長いステムロッドに固定されたスリ ーブは、制御ロッド構造体のゲート部材制御部分のゲート部材と反対側まで伸び る。 本発明のバルブアクチュエータ兼バルブコントローラの特徴によれば、流体流 量制御バルブのゲート部材のためのアクチュエータ兼コントローラ機構は、作動 部分およびゲート部材を有するゲート部材コントローラロッド構造体と、感温性 アクチュエータワイヤ構造体と、アクチュエータワイヤ構造体の温度を制御する アクチュエータ制御回路とを含む。アクチュエータワイヤ構造体はコントローラ ロッド構造体の作動部分に連動するように接続されており、温度変化に応答して 膨張したり収縮したりし、ロッド構造体のゲート部材制御部分を移動させ、実質 的にかかる膨張および収縮のみに応答してバルブを通る流体流量を調節する。 ワイヤ構造体には、このワイヤ構造体のあたりに配置され、コントローラロッ ド構造体の作動部分の一方の側まで伸びるチューブ状構造体が接続されており、 このチューブ状構造体はワイヤ構造体の膨張および収縮によってほぼ移動するこ とはない。コントローラロッド構造体にはワイヤ構造体のあたりに配置され、コ ントローラロッド構造体の作動部分の反対側まで伸びる別のチューブ状構造体が 固定されており、このチューブ状構造体はワイヤ構造体に連動自在に接続され、 ワイヤ構造体の膨張および収縮に応答してコントローラロッド構造体の作動部分 を移動させる。コントローラロッド構造体の作動部分は開口部を有し、ワイヤ構 造体はコントローラロッド構造体に接触することなく開口部を貫通するように取 り付けられている。コントローラロッド構造体に加えられる力を発生するように スプリングが取り付けられている。 本発明の主要およびセンサ流体流路の特徴によれば、流体流量計は測定すべき 流量を有する流体のための入口および出口を有するパイプ構造体と、かかる構造 体を貫通するテーパ付き主要流体流路開口部とを含む。更にこの流量計は、開口 部に沿って流体の圧力低下を生じるよう、かかる開口部内に設けられた流量制限 器と、主要流体流路開口部と平行なセンサ流体流路開口部と、圧力低下に応答す るセンサ導管流体流量を発生するように設けられた入口および出口開口部を有す るセンサ導管を内蔵する流体流量センサも含む。この流量制限器はコア構造体と 、テーパ付き開口部内のコア構造体とパイプ構造体との間に位置するコア構造体 に沿って配置されたワイヤ構造体とを含む。 ワイヤ構造体の長さは、コア構造体とパイプ構造体との間で変化する。コア構 造体は例えば球形構造体または円錐形構造体でよく、種々の選択例として３本ま たは４本のワイヤ構造体を含むことができる。 本発明の他の主要およびセンサ流体流路の特徴によれば、流体流量計は入口お よび出口を有し、更にここを貫通するセンサ流体流路を有する流体流量センサ導 管を内蔵する流体流路センサと、測定すべき流量を有する流体のための入口およ び出口を有しセンサ流体流路開口部と平行な主要流体流路開口部を有するパイプ 構造体を含む。パイプ構造体はセンサ導管の入口端部のためのセンサ導管入口開 口部と、センサ導管の出口端部のセンサ導管出口開口部も有する。センサ導管入 口開口部内には入口金属シーラー構造体が延び、センサ導管出口開口部内には出 口金属シーラー構造体が延びる。シーラー構造体の各々は、シーラー構造体が進 入するセンサ導管開口部を貫通する方向に沿って丸くされており、各々はセンサ 導管の連動する端部のためのシーラー構造体を貫通する開口部を有する。 入口および出口シーラー構造体の各々はパイプ構造体の関連するセンサ導管開 口部内を延びる球状の表面部分を含み、各々は平らな表面部分も含む。シーラー 構造体の各々にはセンサ導管が取り付けられている。 パイプ構造体がセンサ導管入口開口部近くに一対の入口コーナーを有すること ができ、センサ導管出口開口部近くに一対の出口コーナーを有することができる 。入口シーラー構造体と、かかる入口コーナーとの間で入口ワッシャー構造体を 曲げ、出口シーラー構造体とかかる出口コーナーとの間で出口ワッシャー構造体 を曲げることができる。 本発明のバルブシート取り付けの特徴によれば、パイプ構造体内にバルブシー トを取り付ける方法が提供される。流体流のためのブッシングを貫通する開口部 を有し、ブッシングを貫通する方向に対して横方向の端面と別の端面を有し、別 の端面の近くにバルブシートの取り付けられたバルブシートブッシングを設ける 。このブッシングをパイプ構造体内に挿入し、ブッシングを貫通する方向へのブ ッシングの移動を阻止する。第１端面には１つの構造体が当接し、この端面を変 形し、ブッシングの外側壁表面をパイプ構造体の内側壁表面に対して押圧し、ブ ッシングをパイプ構造体内に固定する力をこの構造体に加える。 横方向の第１端面は変形前には円錐形を含む形状となっており、かかる変形後 は球形を含む形状となる。変形中、かかる端面に当接する構造体は球形を含む。 ブッシングによる移動を阻止する際に端面の間のブッシング表面をアンビル構造 体に当接する。 図面の簡単な説明 図１は、コントローラの内外への流体流接続部を備えた本発明に係わる流量コ ントローラの斜視図である。 図２は、図１の２−２線に沿った図１の流量コントローラの横断面図である。 図３は、流量コントローラのセンサの種々の部品を示す、図１の３−３線に沿 った横断面図である。 図４は、図２の種々のバルブ制御およびアクチュエータ部品を示す、一部破断 拡大横断面図である。 図５は、図２の種々のバルブ制御部品を更に示す破断拡大横断面図である。 図６は、主要流体流路内の流量制限器の取り付けを示す、図２の６−６線に沿 った一部破断拡大横断面図である。 図７は、流量制限器の斜視図である。 図８は、流量制限器の一部を示す一部破断斜視図である。 図９は、センサ導管と接続用シーラー構造体を含む主要流体流路との間の接続 部を示す、図２の９−９線に沿った一部破断拡大横断面図である。 図１０は、シーラー構造体を含む、図９の部品のうちの一部を示す拡大破断図 である。 図１１は、図面に示したブリッジタイプの測定回路における、図１のセンサの コイルを示す略図である。 図１２は、図示された温度変動回路内で抵抗器としての作動する流量コントロ ーラのアクチュエータワイヤを示す略図である。 図１３は、大きな回路内に図１１および１２の回路の部品をどのように取り付 けるかを示す。 図１４および１５は、図１の流量コントローラのバルブシートの制御コントロ ーラ内の所定位置への取り付けを示す。 図１６は、図２に示されたバルブ制御およびアクチュエータの種々の部品の別 の実施例であり、図１６は常開バルブの実施例であり、図２は常閉バルブの実施 例である。 図１７は、図７の流量制限器の別の実施例の斜視図である。 図１８は、図１７の流量制限器の一部を示す一部破断斜視図である。 図１９は、主要流体流路内の所定位置に設けられた、図１７の流路制限器の横 断面図である。図６と対比できる。 図２０は、センサ導管と主要流体流路との間の接続部の別の実施例を示す破断 横断面図である。図１０と対比できる。 図２１は、種々のパイプ部分、流量制限器およびセンサ導管シーラー部品の別 の実施例を示す横断面図である。図２と対比できる。 図２２は、シーラー構造体を含む、図２１の部品の一部を示す、図２１の２２ −２２線に沿った一部破断拡大横断面図である。 図２３は、図２１の流量制限器の斜視図である。 図２４は、図２に示された種々のバルブ制御およびアクチュエータ部品の別の 常閉実施例である。 図２５は、細長いステムロッドおよびステムロッドスリーブを含む、図２４の 部品の一部を示す破断拡大図である。 図２６は、図１６に示されたバルブ制御およびアクチュエータの種々の部品の 別の常開実施例である。 図２７は、組み立て位置に挿入する前の、図２２のシーラー構造の横断面図で ある。 詳細な説明 本明細書の導入部および概要により、図１には流体流システムへの入力側接続 部３４および出力側接続部３６を備えた質量流量コントローラ３２が示されてい る。図１および２に示されるようにこの流量コントローラは入力パイプ部分４０ と中間パイプ部分４２と出力パイプ部分４４とを有する。図２に示されるように 、ブッシングにバルブシート４８が圧入されたバルブシートブッシング４６が中 間パイプ部分４２に取り付けられている。ボール５０はバルブシートと連動して バルブに対するゲート部材として働き、バルブを通過する流体流量を調節するよ うになっている。 図示するように、例えば図２および５では金属ダイヤフラム５４に実質的に枢 着されたコントローラロッド５２によりゲート部材のボール５０の位置が制御さ れる。次に、所望の流量に従って変化する温度を有するアクチュエータワイヤ５ ６の膨張と収縮により、このコントローラロッド５２の位置調節が完了する。（ 例えば図４も参照のこと）。 図２を参照し続ける。流量コントローラ３２の入力パイプ部分４０は流体入口 ６０と、この部分を貫通する入力部分流体流開口部６２とを有する。同様に、中 間パイプ部分は中間部分の流体流開口部６４を有し、出力パイプ部分４４は出力 部分の流体流開口部６５を有する。 入力部分の流体流開口部６２には球状をした流量制限器６６が密に設けられて いる（図６も参照）。図２、７および８に示されるようにこの流量制限器はコア ７０と、このコアに沿って配置された細長いワイヤ７２を有する。このワイヤ７ ２は制限器が所定位置にある時に入力パイプ部分４０の内壁とコアとの間に圧縮 されるようになっている。 この流量制限器６６は当然ながらその両端で圧力を低下させる。図２に示され るように、入力部分の流体流開口部６２に対して横方向の入口センサ導管開口部 ７４が入口パイプ部分を貫通し、流量制限器６６の上流側に設けられている。同 様に、流量制限器の下流側には入口パイプ部分を貫通する連動する横方向センサ 導管出口開口部７６が設けられている。 図２ではセンサ導管の入口端部８０はこの入口開口部７４と連通し、センサ導 管の出口端部８２は出口開口部７６と連通していることが理解できる。図９には 入口端部８０の構造が拡大して示されており、当然ながら出口端部８２の構造も 同様な外観となっている。 図３にはセンサ導管８４の本体がセンサハウジング８６内に配置された状態に 示されている。図３に示されるように、この質量流量センサは上流側の感温性抵 抗ワイヤコイル９０と下流側の感温性抵抗ワイヤコイル９２に対する、センサ導 管を通過するガス流の効果を利用し、センサ導管を通過する流体流量を測定する 周知のタイプのものとなっている。このセンサ導管は当該流体流量レンジで主流 体流路を通過する流体流量はほぼ一定となっている。 回路素子として上流側センサコイル９０と下流側センサコイル９２とを備えた 、図１１のブリッジタイプの回路は、マス流体流量を示す出力電圧を発生する電 子センサ回路となっている。図１に示されるように種々の電子部品が設けられた プリント回路基板９４は必要なセンサ回路を内蔵している。回路基板は従来の他 の回路素子と共に図１２に略図で示されるように、アクチュエータワイヤ５６の 温度を変えるアクチュエータ回路も内蔵し、従来の他の回路素子は電子センサお よびアクチュエータ素子と相互作用したり、および／または流量コントローラ３ ２が外部電子回路と相互作用することを求めることができる。 既に述べたように、センサ導管８４の入口端部８０および出口端部８２とセン サ導管の入口開口部７４および出口開口部との間を連通させるのに、同様な金属 製シーラー部材が使用されている。このことは上記図９以外に、図１０に示され ている。図１０では入口開口部７４内の所定位置に入口シーラー部材９６が設け られている。このシーラー部材は球状の表面部分１００を有することが理解でき よう。当然ながら図２にも同様な出口シーラー部材９８が示されている。 流体流路内のガスの流れを効率的にし、純粋な状態とするため中間パイプ部分 ４２内にバルブシート（弁座）ブッシング４６を取り付ける際には、このパイプ 部分の内壁表にスクラッチができるのを防止することが重要である。例えば図２ にはブッシングにバルブシート４８が圧入されたブッシングを見ることができる 。図１４および１５にはこのスクラッチを回避するための取り付け方法が示され て いる。この方法はラジアル膨張嵌合方法と称すことができる。より詳細に説明す れば、取り付け前にバルブシートブッシング４６は円錐形を含む形状を有するブ ッシングを通過する方向に、横方向の上流側端面１０２を有する。特に円錐形の 端面部分１０４を有する。ブッシング４６を取り付ける際にアンビル１０６に対 向して中間パイプ部分４２にこのブッシングを挿入する。アンビルが上流側端面 １０２と下流側端面１１０の間に形成されたブッシングの環状表面１０８に当接 した状態で、上流側端面の円錐形表面部分１０４に抗して変形ボール１１２を設 置し、番号１１６で示される変形装置を介して加えられる矢印１１４で示される 変形力を、この変形ボール１１２に加える。この結果、図１５に示されるように 円錐形表面部分は球状表面部分に変形する。この変形中のこの表面部分は図１５ では番号１２０で示されている。例えば図２には、最終結果であるブッシング４ ６が所定位置に位置した球面部分１２２が示されている。当然ながら、力を加え 、変形することによりブッシングの外側壁に沿う力が中間パイプ部分４２の内壁 に加えられる。このような拡大およびこれに関連する変形によって変形が生じる 結果、放射状に膨張することによってブッシングはパイプ部分内にきつく、かつ 安定に冠号される。 当然ながらマス流体流量コントローラ３２はガス状の流体の流量の制御に特に 適す。既に述べたように、主要流体流路を通過する非転向流体流量に対するセン サ導管８４を通過する転向流体流量の比をほぼ一定に維持するには、制限器はこ れに沿う流体の流れをスムーズに維持しなければならない。このことは、一般的 には制限器に沿って層状タイプの流体流が発生しなければならないことを意味し ている。これに関連し、図２および６〜８に示されるように、球状流量制限器６ ６は特に比較的低いレンジの流量に適す。他方、図１７に示されるような円錐形 の流量制限器１２４はより高いレンジの流体流量の特に適す。この図１７の特定 の実施例では円錐形（切頭円錐）のコア１２６のテーパ角は入口部分の流体流開 口部６２（図２）のテーパ角と同じである。 流量コントローラ３２ではセンサハウジング８６は、入口パイプ部分４０に層 脚部１３０とハウジングの下方の脚部１３２を有するＬ字形ブラケット１２８に 従来どおり取り付けられている（例えば図１、２および９参照）。このパイプ部 分の脚部１３０は図１および１０に示されるようにシーラー部材９６および１０ ０に対してきつく取り付けられている。しかしながら、流量コントローラ３２で はこのようなきつい取り付けはシーラー部材を所定位置に保持する上で実際には 必要でない。シーラー部材の形状に関連して行われる圧入により、ブラケットの 脚部１２８から別の力を加えることなく、きつく、かつ安定な嵌合が行われる。 しかしながら、他の組み立ておよび安定性の理由からブラケット脚部をきつく嵌 合することが好ましい。 他方、図１０と対比される図２０に示される変形例では、図２および１０の入 口シーラー部材９６および出口シーラー部材１００と同じになっているシーラー 部材が入口パイプ部分に沿って設けられたＬ字形ブラケットの脚部１２８の保持 力を必要とするように使用されている。かかる入口シーラー部分１３４は図２０ では入口ワッシャー部材１３６に押し付けられるように示されており、入口ワッ シャー部材１３６は力によりシーラー部材のためのセンサ導管入口開口部７４に 対する入口にて一対の入口コーナー１４０のまわりに曲げられている。 図２および４に示されるような、図１の流量コントローラ３６のバルブコント ローラおよびアクチュエータ構造は、バルブを常閉作動させるようになっている 。図１６に示される別の構造は、常開タイプの別の構造となっている。 図２１には所定位置に設けられた別の円錐形流量制限器１５０と一対の同様な 別の入口シーラー部材１５２および出口シーラー部材１５４と共に、別の入力パ イプ部分の実施例１４６が示されており、入口シーラー部分１５２と出口シーラ ー部分１５４は図１の入口開口部７４および出口開口部７６と多少形状の異なる センサ導管の入口開口部１５６および出口開口部１５８内に嵌合されている。従 って、これら別の部品は図１に示された相当する部品と置換できる。図２７は組 み立て位置に挿入する前のこれら対のシーラー構造のうちの１つを示す。 図２４には、図１、２および４の相当する部品と置換できる別の常閉バルブ制 御部品およびアクチュエータ部品が示されている。フローティングゲート部材ボ ール構造ではないこれら別の部品は取り付けられたゲート部材ボール１６０と、 この部材ボールに固定された細長いステムロッド１６２と、コントローラのロッ ド構造およびステムロッドに固定されたステムロッドスリーブ１６４を内蔵する 。 ステムロッドはコントローラロッド構造体の上流側からから離間するゲート部材 ボールの位置の距離よりもほぼ長く距離だけコントローラロッド構造の上流側の ゲート部材から離間してスリーブの下流側端部１６６に取り付けられている。こ のような取り付け構造により、取り付け位置の近くを除きスリーブに接触しない ステムロッドは、実際にバルブシートに対しボールを位置決めするための補助部 材として曲がることが可能となっている。ステムロッドおよびそのスリーブを備 えたこのような取り付けボール構造は図２５により詳細に示されている。 図２６には図１６の相当する部品と置換できる別の常閉バルブ制御部品および アクチュエータ部品が示されている。この装置は図２４のボール取付装置の常開 タイプのものである。 図面と関連した上記導入部および発明の概要の説明は流量コントローラ３２、 その部品および作動ならびにかかる部品および作動の変形例についてのかなりに わたる細部を述べている。 更に別の詳細な特徴に関し、とりわけ部品のうちでもセンサハウジング８６と 、例えば図３に示されるようなセンサ導管８４と、図１１に略図で示されるよう なセンサ電気回路を含む質量流量センサは「姿勢の影響を少なくした流体の質量 流量メータ装置」を発明の名称とする米国特許第5,191,793号の要旨となってい る一般的なタイプのものである。１９９３年３月９日に発行されたこの特許をこ こに参考例として引用する。 この特許に実質的に説明されているように、ハウジング８６は金属製ハウジン グであり、このハウジングはセンサ導管８４およびこの導管のまわりの上流側コ イル９０および下流側コイル９２のための、ハウジングを貫通する開口部１４２ を有する。このハウジングは２つの部品すなわち図３から判るような本体と、所 定位置に圧入するように形成された、本体のためのカバーとから形成されている 。 センサコイル９０および９２からの４本のリード線１７０は、ハウジング内の コネクタリード線１７２に接続され、図１１に示されるようなセンサ回路にコイ ルを電気的に接続している。図１１の電気回路例に関してコイル９０および９２ はこのようなブリッジタイプの回路となるように接続されている。このようなブ リッジタイプの回路および他の種々のブリッジタイプの回路の動作は、当業者に 周知であり、よく理解されている。直流電流源１７４はスイッチ１７６を閉じた 後に、センサ導管をガス流が流れていない場合、回路の２つの出力ターミナル１ ８０と１８２との間にベース出力電圧を発生する。コイル９０および９２を通る 電流は、コイルのワイヤを同じレベルまで加熱し、２つのコイルの温度を同一温 度とする。２つのブリッジ抵抗器１８４および１８６が同一の抵抗値を有してい る場合、当然ながら、ベース出力電圧はゼロであり、ブリッジタイプの回路はバ ランスする。 しかしながらガス流がある場合、上流側センサコイル９０はガス流によって冷 却され、その熱の一部をガス流に与え、下流側接続コイル９２はガスに与えられ た熱の一部を取り込んで加熱される。従って、コイル９０と９２との間に温度差 が発生し、この結果、出力ターミナル１８０と１８２との間に電圧が生じる。当 然ながらこの電圧は温度によるコイルの抵抗値の変化に起因するものである。 装置のレンジ内でのコイル間の温度差は、ガス分子の数の尺度すなわち導管を 通過して流れるガスの質量の尺度となる。同様に、コイルの抵抗値の差はコイル 間の温度差の尺度となる。このような抵抗差によって出力電圧が決定される場合 、出力電圧はガスの質量流量の尺度となる。 コイル間の抵抗値の差に比例する出力電圧を発生するには２つのブリッジ抵抗 器１８４および１８６の抵抗値はコイルの抵抗値よりもかなり大きい値でなけれ ばならない。更に、広範な温度でブリッジ回路を正確にするには電流源１７４お よびブリッジ抵抗器は温度変化から独立していなければならない。 これまで述べたように、種々の環境条件からの独立性を実現する種々の変形例 を含むブリッジタイプの回路は周知であり、よく理解されている。当然ながら温 度に抵抗値が比例する回路用のコイル材料および質量流量に比例する温度差を生 じるこの材料から成るコイルとの関連性もある。この点に関し、一般にセンサの レンジの充分外側ではガスの流れは上流側コイル９０および下流側コイル９２の 双方を充分急速に冷却する。 上記説明および参考例として引用した特許は、センサに関する細部が述べられ ているが、センサ自体およびその作動の詳細は本発明の一部を構成するものでは ない。 図１の流量コントローラ３２の入力部分の流体流開口部６２内の流体の流量制 限に説明を戻す。圧力低下を生じるように所定位置に設けられた球形の流量制限 器６６により、センサ導管８４を通過する質量流量と入口部分の流体流開口部を 含む主要流体流路を通過する質量流量との比が決まる。このような一般的な技術 については周知であり、よく理解されているものである。このような一般的事実 に従い、制限器は主要流体流路内の圧力低下と流体流量との間の特性と、センサ 導管内における圧力低下と流体流量との間の特性とが類似するようになっていな ければならない。大きな部品では、このことは制限器に沿う主要流体流路内、更 にセンサ導管内で（乱流とは異なる）層流が維持されることを一般に意味してい る。 球形流量制限器６６はこれら条件を満たすようになっており、更にあるレンジ 内では２つの流路の間で決まる流体流量を変えることができるようにしたいとい う要求も満たすようになっている。更に、この制限器は好ましく、かつ効率的に このことを達成するようになっている。 より詳細に説明すれば、制限器のコア７０は、例えば包括名称３１６の付いた ステンレススチール材料から成るボールベアリング構造体から形成できる。かか るボールベアリング構造体は高品位の公差となるように大量生産されている。コ アの上流端に、例えば同じ材料の同様な形状の制限器把手１８０を溶接し、下流 端に例えば同じ材料の小さい突起１９０を溶接することができる。当然ながらコ ア、把手および突起は１つの一体的ユニットとして形成してもよいし、溶接以外 の方法で取り付けてもよい。この把手は制限器を入力パイプ部分の流体流開口部 ６２内に移動させる装置により制限器を保持する手段、または制限器を所定位置 に移動するための装置によって叩くことができる部品として使用できる。この把 手および突起は共にワイヤを所定位置に設置し、コア７０に沿って３本のワイヤ ７２を設けるのにも使用できる。例えば把手１８８とコア７０との接合部のまわ りを包み、この接合部を数回突起１９０に溶接し、更に例えば１回上記接合部領 域に溶接する十分な長さのワイヤを使用できる。しかしながら当然、所望のワイ ヤ配置とする多数の代替例が容易に明らかとなろう。更に、所望するとおり、ま たは実際的に、ワイヤの数を１本と少なくしたり、それよりも多くしたりするこ とが可能である。 入力部分の流体流開口部６２は入口部６０からスタートして大径から次第に小 径となるようにテーパが付いている（図２）。１度のテーパが代表的な例である が、特定の条件に応じて種々の変形例を採用できる。当然ながらこのテーパをつ けた結果、ワイヤ７２と開口部の内壁との最初の接触点を越えてテーパ付き開口 部内に流量制限器６６を挿入するにつれ、嵌合が次第にきつくなり、ワイヤもそ の長手方向の部分に沿って次第に圧縮される。当然ながらかかる圧縮により、図 ６に示されるようにワイヤがコア７０と開口部の壁との間に圧縮されるワイヤ部 分の横断面が次第に引き延ばされる。圧縮によるかかる引き延ばしとは別に、当 然ながらワイヤの横断面は円形である。制限器が内側に押し込まれるにつれて、 コア７０がきつく嵌合され、更にワイヤの横断面が変化することによって生じる 変化は、当然センサ導管８４の近くの流体の流れ特性に影響を与える。従って、 入口部分の開口部６２における流体流量すなわち開口部が一部となっている主要 流路における流体流量に対するセンサ導管内の流量の比に影響がある。従って、 流れ制限器を内側に押したり外側に引いたりする操作を、この流量比を調節する 機構およびあるレンジ内でのターミナル１８０および１８２（図１１）の両端の センサ電圧の較正を調節する手段としてある程度使用できる。このような機能お よびそのレンジに影響するように、開口部のテーパ、コアの大きさ対開口部の関 係およびワイヤの径を変えることができる。しかしながらこれに関連し、０.０ ０６の径を有する、例えば３１６ステンレスから成るワイヤは、球形の流れ制限 器６６に対して好ましく、かつ効率的であると見なされている。 図１９では、図１の入口パイプ部分４０に対する別の円錐形流量制限器１２４ が球形流量制限器６６の代替物として所定位置に示されている。図１７の円錐形 流量制限器の斜視図および図１８のコア単独の図では、かなり拡大されている。 従って、図示された特定のコア１２６の長さは入力パイプ構造体４０のセンサ導 管入口開口部７４とセンサ導管出口開口部７６との空間に容易に嵌合するような 値となっている。しかしながら、このようなケースとする必要はない。変形例に よれば、コアは入口開口部と出口開口部との間の距離より長くてもよく、かかる 開口部の一方または双方を越えて延びていてもよい。図６の横断面と類似して図 １９の円錐形流量制限器の場合の横断面は、コア１２６に沿ったワイヤがコアと 入口パイプ構造体の内側壁との間に圧縮される点に位置する。 図１７および１８に示されるように、円錐形流量制限器１２４は球形流量制限 器６６の類似構造と類似する目的のために働く把手１９２および突起１９４を有 する。例として円錐形流量制限器と同じように把手および突起を使用して取り付 けできる４本のワイヤ１９６を有する円錐形制限器が示されているが、この制限 器は３本でなく４本のワイヤに対して変形されている。好ましくは、円錐形コア １２６のテーパは入力パイプ部分の開口部６２の場合と同じにできる。例えば１ 度とすることができる。別の機能を提供するために流量制限器のテーパを変えて もよい。いずれのケースにせよ球形制限器に関して説明したのと同じように、セ ンサ導管８４と入力パイプ部分の流体流開口部６２との間の流体流量比を設定し 、従ってターミナル１８０と１８２（図１１）との間のセンサ電圧の較正値を設 定する際に円錐形流量制限器を使用できる。球形流れ制限器と同じように、円錐 形流量制限器を所定位置に挿入したり抜き出したりする際に把手１９２を装置に よって保持したり、装置によって叩くことができる。円錐形流量制限器を使用す る場合、約０．１５ｍｍ（０.００６インチ）または約０．０３ｍｍ（０.００１ ２インチ）の径を有する、例えば３１６ステンレススチールのワイヤが便利で、 かつ効率的であると考えられている。ここで再びワイヤの本数は所望するように 、かつ実際的であるように、１本と少なくしてもよいし、それより多くてもよい 。 球形流量制限器６６は、一般に例えば標準毎分約５００立方センチまでの比較 的低いマス流体流量レンジに適す。しかしながら変動値に応じ、この値は例えば 毎分約２００標準立方センチまで低くてもよいし、または例えば標準毎分約８０ ０立方センチまで高くてもよい。他方、図１７の円錐形流量制限器は特に中間の マス流体流量レンジ、例えば球形流量制限器の上限から種々の設計上の選択に応 じた標準毎分約２５００立方センチから標準毎分約５０００立方センチの範囲内 の上限までの範囲に適合する。 これら比較的低いレンジおよび中間レンジを越えるマス流体流量が問題となる 場合、かかる高いレートに適した、当業者によりこれまで実現されていた形状を 容易に利用することができる。 次に、バルブゲート部材５０のためのアクチュエータおよびコントローラ機構 について説明をする。図１、２、４および５には図１の流量コントローラ３２の 常閉バルブ機構の機械部品が最良に示されている。かかる図を参照すると、コン トローラロッド５２は作動部分２００と、取り付け部分２０２と、ゲート部材制 御部分２０４とを有する。作動部分の周辺の詳細は図面からほぼ明らかであるが 、これについては後により詳細に説明する。この目的のため、制御ロッドの作動 部分はアクチュエータワイヤの温度上昇およびそれによって生じるワイヤの膨張 によって反時計回りに枢動することを理解しなければならない。他方、ワイヤが 冷却されることによってワイヤが収縮すると、枢動は時計回り方向に行われる。 かかる枢動は本質的にはこのような膨張および収縮にのみ応答するものである 。この点に関し、このバルブは完全に熱により作動されるバルブとなっている。 更に、膨張したり収縮したりする必要があるのはほぼワイヤだけであるというこ とが重要である。当然ながらかかるワイヤは質量が小さいので、大きな質量より も急速に加熱または冷却できる。このような小質量であるという特徴により応答 時間が比較的高速となっている。質量が１０倍または１００倍大きくなると応答 時間は一般に１０倍または１００倍遅くなる。 コントローラロッド５２の作動部分２００が反時計回り方向または時計回り方 向に移動する場合、ゲート部材制御部分２０４も同じように反時計回り方向また は時計回り方向に移動する。理解できるように、反時計回り方向に移動するとゲ ート部材のボール５０はより広く開いた位置に調節され、流体流量を大きくでき る。時計回りの移動によりゲート部材ボールはより密の状態に位置決めされ、流 体流量を小さくするように働く。図２には完全に閉じた静止位置が示されており 、この位置は図４では破線によって示されている。多少開いた位置は図４の連続 線で示されている。 制御ロッドを取り付けるため金属ダイヤフラム５４には取り付け部分２０２に 沿った制御ロッド５２が取り付けられている。この金属製ダイヤフラムの形状は ほぼ円形である。このダイヤフラムは曲がった形状、例えば波形形状とはなって いない。このダイヤフラムは広がったり、しぼんだりして流体流量を調節するた めの制御ロッドの反時計回りの運動および時計回りの運動に対する実質的な枢着 部となっている。 コントローラロッド５２の取り付け部分２０２に沿ってダイヤフラム５２の作 動部分側まで延びる取り付け部分の円筒形部分２０６が設けられている。ダイヤ フラムを貫通する取り付け開口部２１０内にはダイヤフラムのゲート部材側まで 延びる円筒形部分２０８が設けられている。図５から最良に理解できるように、 これら部分のうちの円筒形部分２０６は円筒形部分２０８よりも径が大きく、よ って曲げに対する強度も大きくなっている。これに関連し、ダイヤフラム５４に はダイヤフラムの作動側面に沿って環状ステップ部分２１２も形成されており、 このステップ部分２１２はダイヤフラムに沿ってダイヤフラムの開口部２１０か ら外側に延びている。コントローラロッド５２およびダイヤフラム５４は、例え ば３１６ステンレススチールから構成し、溶接または鑞付けにより取り付けるこ とが好ましく、かつ効率的である。 径が異なり、よって曲げ強度の異なるコントローラロッド５２の円筒形部分２ ０６および２０８は特定の目的に役立つ。コントローラロッド５２が取り付けら れているダイヤフラムが、例えば中間パイプ構造体４２とダイヤフラムより上に あるコントローラロッド部分のためのチューブ状ケーシング２１４との間の所定 位置に溶接されている場合、制御ロッド、特にゲート部材制御部分２０４の位置 が常閉構造に好ましい位置から若干ずれることがある。しかしながらコントロー ラロッドのゲート部材収縮部分および／または作動部分２００の種々の部品に沿 って正しく力が加えられると、ダイヤフラムより下にあるコントローラロッド部 分はダイヤフラムおよびコントローラロッドの他の部分に対し若干その角度を変 えるよう、若干屈曲できる。 図５から理解できるように、ダイヤフラム５４を貫通する取り付け開口部２１ ０はダイヤフラムにコントローラロッド５２を取り付ける際に上方円筒形部分２ ０６によって設けられたショルダーがダイヤフラムに載るような大きさとなって いる。しかしながら、当業者には容易に明らかであり、かつ図２４および２６を 参照すれば明らかとなるように、所望の構造にし、所望の結果が得られるように コントローラロッドおよびダイヤフラムの別の種々の形態も可能である。例えば ダイヤフラムの近くを含む外側の構造を同一にしながら、コントローラロッドと ダイヤフラムとを一体的に形成できる。同様に、ダイヤフラムに開口部を設けず 、例えば開口部の位置を通るステップ部分を設けることも可能である。これに関 連し、コントローラロッドはダイヤフラムの両側に２つの別個の部品を有しても よく、これら別個の部品はロッド構造体を不連続にするものと見なされるか、ま たはダイヤフラムの中心部分と共にロッド構造体となる。このような構造では、 下方の円筒形部分はダイヤフラムの下面に溶接または鑞付けされた円形端部を有 し、上方円筒形部分はダイヤフラム構造体に同じように溶接または鑞付けされた 下端部を有する。従って、種々の容易に明らかな別の実施例も存在する。 次に図１、２および４を参照し、常閉バルブ動作に焦点を合わせてアクチュエ ータについて更に詳細に説明する。アクチュエータワイヤ５６はコントローラロ ッド５２の作動部分２００を貫通するねじ切りされた開口部２１６を通っている 。一端部に雄ネジを有するチューブ２２０をねじ切りされた開口部２１６にねじ 込むと、コントローラロッドの作動部分にチューブ２２０が取り付けられる。主 要流体流路を通る流体の流れの方向を基準にすると、このチューブはワイヤ構造 を中心に配置されており、コントローラロッドの作動部分の入力側まで延びてい る。他方、作動部分の出力側にはワイヤ５６の他の部分に沿って別のチューブ２ ２２が同様に配置されている。この出力側のチューブは雄ネジを有し、雄ネジは ダイヤフラム５４の上にあるコントローラロッド部分のためのチューブ状ケーシ ング２１４に沿ったある位置に設けられた開口部２２４に設けられた雌ネジにね じ込まれるようになっている。この出力側のチューブ２２２にはケーシングにき つく締められるロックナット２２６も設けられている。 出力側チューブ２２２の出力端には電気絶縁を良好にするよう、例えばセラミ ックまたはマイカ材料から構成された圧入ワッシャー２２８を受けるためのソケ ットが形成されている。本明細書ではこのような圧入が行われるが、ワイヤにか かる張力によってワッシャーは所定位置に維持されるので、このような圧入は必 要ではない。アクチュエータワイヤ５６は出力側の金属製接点ボール２３０を貫 通する開口部を通っている。ワイヤはこの開口部を通った後に、例えば溶接また はハンダ付けにより接点ボールに取り付けられている。同様に、図１２に示され るような作動回路にワイヤ５６の出力側を接続するため、ボールに電気リード線 ２３２が取り付けられている。入力側チューブ２２０の入力端の構造も同じであ り、同様な絶縁圧入ワッシャー（図示せず）が設けられている。しかしながらこ のワッシャーは圧入する必要はない。更にアクチュエータワイヤ５６の他端を図 ２に示されるようなアクチュエータ回路に接続するため、同様な金属製接点ボー ル２３４および同様なリード線２３６も設けられている。 再度、流体の流れ方向を基準にすると、アクチュエータワイヤ５６の出力端は 出力側接点ボール２３０に固定されており、接点ボール２３０は出力側チューブ ２２２に対して固定位置にきつく保持されている。このような保持はワイヤの張 力だけで行うことが可能となっている。この出力側チューブは流量コントローラ が作動する間、基本的には移動できないコントローラロッドの上方部分の周りの ケーシング２１４に固定されているので、ワイヤのこの端部の位置はワイヤが膨 張したり収縮しても変わらない。他方、入力側チューブ２２０はコントローラロ ッド５２の移動自在な作動部分２００に固定されているので、ワイヤが膨張した り収縮したりするとワイヤのこの端部およびその接点ボール２３４は移動し、コ ントローラロッドの作動部分はワイヤの膨張に対しては反時計回り方向、ワイヤ の収縮に対しては時計回り方向に移動される。このようなコントローラロッドの 作動中およびゲート部材制御部分の反時計回り方向の移動または時計回り方向の 移動中には、当然ながらこれら部分は実質的な枢着部によって、ダイヤフラム５ ４の位置に対して反対方向に移動する。しかしながら、図示されているようにア クチュエータワイヤの張力によりそれぞれの絶縁ワッシャーに対し各接点ボール を固定することは必要ではない。 図１、２および４を参照すると、バルブのためのアクチュエータ機構にはスプ リングアセンブリ２４０が含まれる。実際にこのスプリングアセンブリはアクチ ュエータワイヤ５６の膨張に応答してコントローラロッド５２の移動に抗してロ ッドにスプリング力を加え、ワイヤの収縮によって可能となる運動を助けるよう なスプリング力を与える。作動中、ワイヤには張力がかかっているので、このよ うなスプリングアセンブリは必要ではないが、このスプリングアセンブリは運動 および作動をスムーズにするのに役立つ。より重要なことは、組み立て中にアク チュエータワイヤの長さを設定する際に、このスプリング力は組み立てを容易に するように働く力となる。これに関連し注目すべきことは、組み立て中、正しい 位置決めの通常のばらつき、部品のはめ込み、例えば溶接の作用およびその他の 要因のために、コントローラロッド５２の常閉静止位置は垂直方向に整合した正 しい位置とならないことがあるが、このようなスプリングアセンブリ２４０が設 けられていることにより組み立て中の所望位置の設定が容易となる。 理解できるように、スプリングアセンブリ２４０は従来のタイプのものとなっ ている。雄ネジが切られたスプリングケース２４２が設けられており、この雄ネ ジは回転して開口部の雌ネジに螺合し、コントローラロッド５２の上方部分を中 心とするチューブ状ケーシング２１４内に進入する。次にアクチュエータスプリ ング２４４はスプリングの力によりコントローラロッド５２の作動部分２００に 当接するノーズ２４６を押圧する。当然、このスプリングはケーシングの後方端 近くに収容されている。次にスプリングのケース２４２を内側にねじ込むと、コ ントローラロッドを押圧するスプリングの力が増す。逆に、スプリングケースの ネジを外側に外すと当然スプリングの力は減少する。こうしてスプリングの力を 所望の大きさに調節できる。 ワイヤ５６に張力がかかっていることに関連し組み立て中にこれを行うために 入力側チューブ２２０を反時計回り方向に回転し、低温時にバルブを完全に閉じ るにはワイヤの張力は不十分である。ワイヤを加熱すると、バルブが最大限解放 された位置にあるか、完全に閉じた位置にあるか、または両者の間の任意の位置 にあるかによらず、張力がワイヤに残った状態で、ワイヤはバルブを解放するよ うに働く。 図１２に示したアクチュエータ回路内のアクチュエータワイヤ５６は電気的に 抵抗器として働く。必要なタイプのワイヤはこれまで入手できたものである。基 本的にはワイヤの長さの条件は加熱および冷却による膨張および収縮に対しワイ ヤの両端の電圧またはワイヤを通る電力を予想できる長さとなっているというこ とである。よって図２のアクチュエータ回路例ではスイッチ２５２が閉じている 場合の可変ＤＣ電源２５０の電圧は所望の流体流量レベルを表示するオペレータ のコマンドと共に、図１１のターミナル１８０と１８２との間の、マス流体流量 を示す電圧によって制御できる。図１３におけるブロック２５４は単に説明のた め図１１のターミナル１８０および１８２、および図１２の可変ＤＣ電源２５０ とは別に、流量コントローラの電気回路全体を示している。更に説明するため、 ブロック２１６には特定の素子、例えばポテンショメータ２５６も示されている 。ターミナル１８０と１８２との間の電圧と所望の流量を示すオペレータからの コマンドとの関係に応答するかかるポテンショメータは、電源２５０の可変電圧 出力を制御できる。例えばＡＣ電源またはパルス幅変調を行う電源に基づく回路 以外の可変ＤＣ電源に基づく回路の使用を含むかかる回路の特徴は、これまで容 易に実現されており、特定の条件、要素または選択に従って可変できる流量コン トローラ３２の電気的特徴を示している。例えば図示された説明上の回路のため の、可変電源から利用できる特定の電圧レベル機能を除く、かかる回路の詳細は 、現在質量流量コントローラで一般に使用されているか、または質量流量コント ローラでの使用に適した回路と異なるものではなく、かかる詳細は本発明の一部 を形成するものではない。アクチュエータワイヤ５６に使用できるワイヤの一例 として、ニッケル−クロム材料から製造され、カリフォルニアファインワイヤカ ンパニーによりステーブルオーム（Stable Ohm）なる名称で販売されているワイ ヤがある。 図１６では図１の流量コントローラ３２のアクチュエータ部品は変更されてい るが、他は同じものである。これらアクチュエータ部品はバルブが常閉状態で作 動するように変更されている。従って、このケースではアクチュエータワイヤ２ ６２の一部の周りに変更された入力側チューブ２５８および変更された出力側チ ューブ２６０が設けられている。この場合、出力側チューブ２６０はコントロー ラロッド５２の作動部分２００に固定され、その雄ネジはかかる作動部分２００ を貫通するねじ切りされた開口部の雌ネジに螺合される。他方、入力側チューブ ２５８はコントローラロッドの上方部分のためのチューブ状ケーシング２６４に 取り付けられており、その雌ネジはケーシングの入力側のケーシング開口部２６ ６の雌ネジに螺合されている。絶縁ワイヤ、金属接点ボールおよび電気リード線 を使用することによるチューブ２５８および２６０の両端でのアクチュエータワ イヤの接続は、図４を参照して説明した場合と同じである。更に図４に示される ように、図示された実施例ではワッシャーの圧入取り付けを行っているが、作動 中、ワイヤには張力がかかるので、このようなワッシャーの圧入取り付けは必要 ではない。図４に示されるように、スプリングアセンブリ２７０も設けられてお り、コントローラロッドの作動部分２００の出力側に作用するようになっている 。このケースではスプリングアセンブリは常開バルブの時計回り方向の閉鎖運動 に関する力を加えるが、ワイヤには張力がかかるのでこのような力を加えること は不要である。更に重要なことは、図４に示されるように、スプリングおよびス プリングアセンブリはバルブの常開位置の初期調節を容易にするのに使用できる 。更に図１６では、図４の出力側ロックナットと異なり入力側チューブ２５８の ねじ切りされたアタッチメントをロックする際に当然ロックナット２７２が使用 される。 図１６を参照し、更に図４の常閉動作の従来の説明を参照する。図１６ではア クチュエータワイヤ２６２が膨張すると、出力側チューブ２６０は時計回り方向 に移動するコントローラロッド５２の作動部分２００と共にこれに沿って移動し 、バルブをより閉じた状態にし、流量を小さくするように働くことが容易に理解 できよう。他方、アクチュエータワイヤが収縮すると、作動部分２００は反時計 回り方向に移動でき、バルブに逆の作用をする。このタイプの動作によれば、当 然ながら信号すなわち所望する設定流量を示す電圧レベルと実際の流量を示す信 号との相互作用は、図１２の可変ＤＣ電源２５０の出力がアクチュエータワイヤ ２６２を収縮するように流量の所望する増加分に従って増加し、アクチュエータ ワイヤを膨張するように流体流量の所望する減少分に従って増加するような関係 となっている。これに関連し、図１２および１３よりも詳細な従来の詳細なレベ ルで、実施の際に完全な従来の変更をしながら図１２および１３の電気略図を適 用できる。 図１６のアクチュエータワイヤ２６２に張力が加えられていることに関連し、 図４の状況類似させれば、組み立て中にこれを行うには、出力側チューブ２６０ を反時計回り方向に回転し、冷却時にバルブを通過する流量を最大にできるよう にするには張力は不充分である。次に、バルブが完全に閉じるか、最大の開放位 置にあるか、またはその中間の任意の場所にあるかいずれにせよ張力がワイヤに 加えられたままの状態でワイヤを加熱すると、バルブが閉じられるように働く。 常閉または常開のいずれかによらず、これまで説明し図示したバルブアクチュ エータおよびコントローラ機能に関し、種々の有利な結果に注目すべきである。 まず第１に、バルブの枢動作動により直線状の主要流体流路を実現することが容 易となる。従って、入力パイプ部分４０を貫通する流体流開口部６２と、バルブ シート４８を貫通する流体流開口部３２と、中間パイプ部分４２を貫通する流体 流開口部６４と、出力パイプ部分４４を貫通する流体流開口部６６とが整合され る。このことはバルブ動作の背圧による影響を少なくしたり、または解消する上 で重要である。このことは例えば、入力パイプ部分４０、中間パイプ部分４２お よび出力パイプ部分４４のための主要流体流路を設ける場合に溶接される在庫部 品の活用も促進でき、これにより製造効率を大幅に高めることができる。 第２に、直線状動作と異なる枢動動作を利用していることにより、一般にアク チュエータが可能にすべき力の大きさを低減できる。このことはアクチュエータ ワイヤを使用する熱動作を採用する上で重要である。当然ながら当業者には容易 に明らかなように、従来の変形例に従い枢着されたコントローラロッドと共に従 来のソレノイドおよびピエゾ電気タイプのアクチュエータを容易に使用すること も可能となる。実際にレバーアームを変えることによりゲート部材の制御端部に てコントローラロッドを所定量移動させるのに必要なアクチュエータの移動量を 変えることができる。例えばピエゾ電気アクチュエータは一般に、移動量が比較 的小さいが、ピエゾ電気アクチュエータを枢着点の近くに接続すると、その小さ い移動でもコントローラロッドのゲート部材端部でより大きな移動量が生じ得る 。当然、従来理解されている機械的な原理によれば、これがすべてである。 図１の質量流量コントローラ３２では、図２、９および１０に例示されるよう に、入口パイプ部分の流体流開口部６２へのセンサ導管入口開口部７４およびセ ンサ導管出口開口部７６と連通するようにセンサ導管８６を接続することは、従 来技術の説明および図面から実質的に容易に明らかである。しかしながら、注目 に値する多数の別の特徴がある。このことは、まずセンサ導管の入口開口部７４ に圧入された入口金属シーラー部材９６が示されている図１０を参照することに よって行うことができる。これに関し既に示したように、出口金属シーラー部材 １００は入口金属部材と同一であり、出口センサ導管開口部７６内へのその取り 付けは入口開口部への入口金属部材の取り付けに類似しており、センサ導管８６ の出口端部８２におけるこの取り付けはセンサ導管の入口端部８０における入口 金属部材の取り付けに類似している。 図１０に焦点を合わせると、既に説明したように入口部材９６はその構造体を 所定位置に保持するのに、圧入取り付けにより実際にはＬ字形ブラケットの脚部 １３０の力は必要としない。部材９６は例えば３１６ステンレススチール製の在 庫のボールベアリングから好ましくかつ効率的に形成できる。この部材は圧力嵌 合するようにセンサ導管入口開口部７４内まで延びる球面部分９８を有する。セ ンサ導管８６の入口端部８０のための開口部２７４がこの部材を貫通するように 形成されている。この開口部は導管の端部近くで狭くなっている。更に部材の２ つのステップ領域を提供するように、導管の端部近くには３つの平らな環状表面 部分が形成されている。従って、平らなベース表面部分２７６と、平らな中間表 面部分２７８と、平らなピーク表面部分２８０が設けられ、中間ステップ領域２ ８２およびピークステップ領域２８４が形成されている。このタイプの形状はセ ンサ導管の入口端部８０の強度および取り付けの双方の点で好ましく、かつ効率 的である。従って、センサ導管の端部をシーラー部材９６に溶接する場所として ピークステップ領域２８４を好ましくかつ効率的に使用できる。 次に図２０を参照する。既に説明したように、この図はセンサ導管８の入口端 部を示す図１０に相当する別の実施例の図である。図１０のシーラー部材１３４ は図１０のシーラー部材９６と同じである。図１０に示されているように、セン サ導管の端部は同じ溶接場所に溶接されている。しかしながらこのケースでは、 入口センサ導管開口部７４の入口コーナー１４０の周りに曲げられた入口ワッシ ャー部材１３６に対して強固にシーラー部材を所定場所に保持するにはＬ字形ブ ラケットの脚部１３０の力が必要である。よってこのケースでは、流体シールを 行うのにワッシャー部材１３６が必要である。 図１の質量流量コントローラではこれまでの説明および図面、特に図１４およ び１５から中間パイプ部分４２内にバルブシートブッシング４６を取り付けるラ ジアル膨張嵌合方法が明らかである。しかしながら注目すべき別の特徴がある。 特に図１４および１５では円錐形表面部分１０４に力を加えることによってブッ シング４６の球形表面部分１２０が形成されている。しかしながらこのような円 錐形表面部分１０４がなく、変形前のブッシングの上流側端面１０２はかかる表 面部分を有しないが、ブッシングを通過する方向に垂直な全面に沿っている場合 、変形ボール１１２の形状からこのような球形への変形が生じる。しかしながら 力を大きくするか、および／またはより長い時間にわたって力を加えることが必 要となり得る。 図１の質量流量コントローラ３２に関連し、図２１に示された連動するプリ入 力パイプ部分３００を備えた別の入力パイプ部分１４６は、図１の入力パイプ部 分の代替部品となり得る。この場合、図２１および２３の別の円錐形流量制限器 １５０は、図１、６〜８および１７〜１９に示された球形制限器６６および円錐 形制限器１７４の替わりとなり得る。図２１に示された入口シーラー部材１５２ と出口シーラー部材１５４の別の同様な対は、図１、９および１０に示された入 口シーラー部材８０および出口シーラー部材８２の同様な対の代替部品となり得 る。 この別の入口パイプ部分１４６を貫通する流体流開口部３０２は、中間均一テ ーパ付き部分３０４と、前方の無テーパの円筒形部分３０６と、後方の無テーパ の円筒形部分３１０とを有する。例えばドリルビットを使用することにより単に 加工の便宜上、前方または後方部分と中間部分との間に極めて小さいテーパの付 いた移行部分を設けてもよい。図２１には後方部分のためのかかる小さい移行部 分３１２が示されている。図２１から理解できるように、流体流開口部３０２の 前方の無テーパ部分３０６はセンサ導管８６のための入口開口部１５６に沿って 延び、後方の無テーパ部分３１０はセンサ導管のための出口開口部１５８に沿っ て延びる。入口および出口開口部に関して、入口パイプ部分１４６を通る角度位 置は当然ながらセンサ部分８４の入口端部８０および出口端部８２をどこに位置 させるかに応じて決まるにすぎない。当然ながらこの角度位置と共にセンサ導管 ８４を支持するセンサハウジング８６の入力パイプの構造も特定の条件または都 合に従って容易に変えることができる。 図２１および２３に示された別の円錐形流量制限器１３８は、他の円錐形流量 制限器１２６と同じようにそのコア３１６に沿って延びる４本のワイヤ３１４を 有する。同様に、入口パイプ部分を貫通する流体流開口部３０２内のこの流量制 限器の位置決め、すなわち圧縮される場所のワイヤの横断面の延びおよび圧縮力 が増しながら制限器が押し込まれる程度を流体流量コントローラの較正に使用で きる。また、制限器がセンサ導管のための入口開口部１５６または出口開口部１ ５８に沿って延びるかどうかとは関係ない制限器の長さ、そのテーパおよび流体 流開口部の中間部分３０４のテーパのいずれも特定のニーズに従って変えること ができる。双方のためのテーパは１度が一般的である。しかしながらこの別の実 施例の円錐形流量制限器およびそれに連動する入力パイプ部分の構造は、それら の入力パイプ部分の構造における球形の流量制限器６６および他の円錐形流量制 限器１２４の双方によってカバーされる流量レンジにほぼ匹敵する流量レンジを カバーするようになっているので、例えば制限器のテーパを２度とする本ケース では係数を更に変えることが予想される。 この別の実施例の円錐形流量制限器のコア３１６に４本のワイヤ３１４を設け るようワイヤの一部をラッピングすることは、当然ながらこれまで他の円錐形流 量制限器１２６に対して説明されたのとほぼ同じように達成できる。しかしなが らここでは適用することも可能な変形例としてコアのより小さい端部（図示せず ）に直接ワイヤが溶接またはハンダ付けされ、突起は設けられていない。図２１ および２３から理解できるように、流量制限器の把手３１８は他の円錐形流量制 限器のための把手１９２と多少異なり、テーパ付き形状を含む。 図２１の別の実施例の流体流入力装置における同様なシーラー部材１５２およ び１５４の対およびセンサ導管のための同様な入口開口部１５６および出口開口 部１５８の対の形状は、先に説明した構造の変形例であることが図２１、２２お よび２７から容易に明らかであろう。図２２に詳細に示されている入口シーラー 部材１５２および入口開口部１５６を参照すると、このケースでは入口シーラー 部材は同じような外側部分を除いた球形の基本的な形態の中心部分を有する。セ ンサ導管８６の入口端部８０のための部材を貫通するように入口開口部３２０が 形成されている。この開口部は導管の端部近くで狭くなりステップ領域３２２を 貫通している。このステップ領域はセンサ導管の端部の溶接場所として好ましく 、かつ効率的に使用される。当然ながら、他のシーラー部材形状と同じように、 ２ つのステップ領域を設けることも可能である。 入力シーラー部材１５２はこの部材の球形外側表面が開口部の外側部分の壁に 密着するように、入口開口部１５６の拡大外側部分３２４に圧入されている。こ のシーラー部材および開口部の外側部分は図２２に示されるようにシーラー部材 が入口開口部の外側部分の壁に圧入された状態にて、シーラー部材の外側環状表 面３２６が入力パイプ部分１４６の外側壁と面一となるような寸法および形状に なっている。パイプ部分の脚部１３０は入口パイプ部分およびシーラー部材と面 一にできるが、シーラー部材を圧入することにより、このシーラー部材はこの脚 部を用いることなく所定位置に保持される。当然ながらこのような面一であると いう特徴は必要でなく、シーラー部材の外側の環状表面は入口開口部の外側部分 の内部にあってもよいし、これより突出していてもよい。 図２７には、組み立て状態となるように挿入される前の入口シーラー部材１５ ２が示されている。図２７の部材と図２２の挿入後の部材とを比較すると、シー ラー部材１５２および１５４に関連した特定の特徴が理解できよう。 これら図２２および入口部材ならびに入口開口部１５６を参照すると、入口開 口部の外側部分３２４は円筒形側壁３２７と入口開口部の内側部分の円筒形壁３ ２８との間の移行部としてテーパの付いた切頭円錐形壁部分３２５を有する。こ のことは、ドリルビットによる孔開けにより入口開口部の外側部分を形成するこ とと一貫している。入口開口部にシーラー部材を圧入する際、シーラー部材の内 側コーナー形成部３２９（図２７）は入口開口部のテーパ付き壁部分に対して圧 縮され、シーラー部材の小さいほぼ切頭円錐形の当接壁部分３３０を形成する。 挿入力はシーラー部材の円錐形表面部分を外側に押圧し、圧入部の密着性を高め るようにも働く。バルブシートブッシングの取り付けと同じように、このことも ラジアル膨張嵌合取り付けと称すことができる。しかしながら当然、組み立て後 もシーラー部材のためのほぼ球形をした表面部分が残る。 既に述べたように、組み立て部分に挿入する前後の別の出口シーラー部材１５ ４は、別の入口シーラー部材１５２とほぼ同一であり、この別の入力パイプ構造 における出口開口部１５８は入口開口部１５６とほぼ同一である。従って、入口 部材および開口部の説明は出口シーラー部材および開口部にも同じように当ては まる。シーラー部材の他の対と同じように、この対も例えば３１６ステンレスス チールから成る在庫品であるボールベアリングから形成できる。 図１の流量コントローラ３２内の中間パイプ部分４２および出口パイプ部分４ ４と置換できるように、図２４の別の常閉バルブおよびアクチュエータ部品が示 されている。このことは、部品の多数が図２４の部品と同じとなっている図２５ の別の常閉バルブおよびアクチュエータ部品についても言える。しかしながら当 然、図１と異なる図２１に示された流体流入力と関連してこれまで説明した上記 別の実施例も図２４または２５のバルブおよびアクチュエータ部品と共に容易に 使用できる。 次に図２４の常閉タイプの別の実施例を説明すると、この実施例の構造および 作動はこれまで説明した他の常閉構造と多くの点で類似している。 このケースにおける別のコントローラロッド構造体３３２には、ダイヤフラム ３３４が一体的に形成されている。このダイヤフラムはダイヤフラムの上方のコ ントローラロッド構造体の部品を中心に配置されたチューブ状ケーシング３３６ と中間パイプ部分４４との間の所定位置に溶接される。コントローラロッド構造 体は作動部分３３８と、ダイヤフラムのすぐ近くに位置する取り付け部分３４０ と、ゲート部材の制御部分３４２とを有する。 アクチュエータワイヤ３４４と、コントローラロッド構造体の作動部分を貫通 するように設けられた雌ネジの切られた開口部３５０に螺合された入力側チュー ブ３４６と、例えばセラミックまたはマイカ製であり、ボールを貫通後ハンダ付 けまたは溶接されたアクチュエータワイヤ３５２を有する金属製の入口側接点ボ ール３５４と共にチューブの端部に圧入された入力側ワッシャー３５２は、これ まで説明した図１、２および４の他の常閉構造における類似する部品と同じよう な役割を果たす。連動するロックナット３６０と共にチューブ状ケーシングの開 口部３５８に螺合され、よってケーシングに固定された比較的短い出力側チュー ブ３５６と、例えばセラミックまたはマイカ製であって出力側チューブの端部に 圧入された出力側ワッシャー３６２と、アクチュエータワイヤ３４２が貫通しこ のワイヤは溶接またはハンダ付けされた金属製出力側接点ボール３６４について も同じ類似が当てはまる。従って、コントローラロッド構造体に接触しないアク チュエータワイヤが加熱により膨張すると、この常閉バルブのアクチュエータお よびバルブ部品は更に開かれた位置へ移動され、冷却によりワイヤが収縮すると アクチュエータおよびバルブ部品は更に閉じた位置に向かって移動される。 図２４におけるスプリング装置は図１、２および４の他の常閉構造における機 能と類似する初期組み立ておよび整合機能を果たすことができる。しかしながら これに関し、スプリング装置のかかる機能のみならず、他の作動上の機能は常閉 バルブを閉じるように押圧する装置として常閉バルブが開くように押圧するスプ リング力を発生する装置によって容易に満足できることも重要である。実際にこ のような別の例は図２４内に含まれている。 より詳細に説明すれば、スプリング装置３６６は開口部に螺合され、ナット３ ７２によって保持されたコントローラロッド構造体３３２の作動部分３３８に固 定されたスタッド３７０を含む。ケーシングを貫通する開口部に雄ネジを螺合す ることによりチューブ状ケーシング３３６には大きな中空ナット３７４が固定さ れている。この中空ナットに関連してロッキングナット３７６が使用されており 、スプリング装置の入力側においてスタッドの端部にはワッシャー３７９に当接 する端部ナット３７８が螺合されている。ワッシャーと中空ナットの内側端部と の間にて、スタッドを中心にして配置されたスプリング３８０は、常閉バルブ装 置を開状態に押圧するように働く。 図２４の一体的コントローラロッド構造体３３２とダイヤフラム３３４では、 ダイヤフラムが形成されている場所のすぐ上およびすぐ下のコントローラロッド 構造体の取り付け部分３４０は、径が異なっていない円筒形状となっている。従 って、ここでは初期の組み立て時の整合の補助手段として他の常閉装置における より小さい径の部分に沿って曲げやすいようにする強度差は設けられていない。 更に図２４の常閉装置、特に図２５に拡大して示されたゲート部材ボール１６ ０のための取り付け構造を説明する。当初説明したものよりもより詳細な特徴に ついて留意すべきである。 これに関し細長いステムロッド１６０と同じように、ホルダの他端からボール ホルダ３８２内にゲート部材ボール１６０を好ましく圧入できる。次にコントロ ーラロッド構造体３３２のゲート部材制御部分３４２を貫通するスリーブ取り付 け開口部３８４にステムロッドスリーブ１６４を圧入できる。これとは異なりス リーブ取り付け開口部内に溶接することにより、コントローラロッド部分にスリ ーブを固定することもできる。スリーブの出力端部１６６にてステムロッドはロ ッド用のスリーブ端部開口部３８６内にスライドし、スリーブ端部開口部の後部 にてその出力端部が溶接される。スリーブの出力端部側にはスリーブを貫通する 一組の出口開口部３８７が設けられており、ガスがスリーブを通って流れること ができるようになっている。 先に判断したように、この装置はステムロッド１６２およびゲート部材ボール １６０を含む、ステムロッドが支持する部品の屈曲タイプの運動を可能にし、コ ントローラロッド構造体３３２がバルブを開閉するようほぼ枢動状の前後への移 動を行う際に、バルブシート３８８に対するバルブの適性な位置決めを促進する 。このほかにこの装置は、ボール１６０をコントローラロッド構造体の軸線近く に維持し、この軸線の垂直に近い運動を維持できる。コントローラロッド構造体 のゲート部材の制御部分のゲート部材側面３９０を基準点として使用する場合、 代表的な構造におけるボール１６０の位置（すなわちその中心）は、このゲート 部材側面３９０の約３．８ｍｍ（約０．１５０インチ）前方にあり、スリーブ１ ６０の出力端はゲート部材側面の約１２．７ｍｍ（約０．５００インチ）後方に 位置する。このようにいずれのケースにおいても、このゲート部材側面とボール １６０との間の距離の２倍より長い距離だけ、このゲート部材側面３９０から離 間させて細長いロッドを取り付けると有利である。ロッドの取り付けのための開 始点がこれを満足する場合、ステムロッドをスリーズ端部の開口部３８６に挿入 し始める時にもこのことは確かに当てはまる。 更に図２４および２５を参照し続ける。バルブシート３９２は先に述べたバル ブシートブッシング４６と同じ形状を有し、同一の方法を使って取り付けられて いるが、バルブシート３８８は他の常閉装置に示されたバルブシート４８と異な る形状となっている。当然ながらこのことはこれまで図示し、説明した構造に類 似した構造で多数の異なる変形されたバルブシートを使用したり、ここで使用で きるように適合できることを示している。同様に、図２４および２５の構造のケ ースではないが、バルブが作動する際にボールホルダが実際にバルブシートに当 接できる構造を実現できる。 細長いステムロッド１６２のための代表的な寸法例は長さが約１５．２４ｍｍ （約０.６００インチ）であり、径が約０．５８ｍｍ（約０.０２３インチ）であ る。しかしながら当然、特定の条件に従って広く種々の値を採用できる。 図２６に示された別の常開タイプの実施例では、図２４の別の常開タイプの実 施例と同じコントローラロッド構造体３３２およびダイヤフラム３３４と、同じ 細長いステムロッド１６２と、ゲート部材ボール１６０と、ボールホルダ３８２ と、ブッシング３９２内の同じバルブシート３８８を使用し、存在している。同 様に、スタッド３９４とこれに連動するナット３９６と、中空ナット３９８と、 それに連動するロックナット４００と、連動するワッシャー４０３を備えた端部 ナット４０２と、スプリング４０４とを含む図２４内の部品と多数の部品が同一 となっている。コントローラロッド構造体３３２の作動部分およびチューブ状ケ ーシング４０６と関連するこれら部品の取り付けおよび関係は、実質的には別の 常閉タイプの構造と逆であり、常閉タイプの構造のこれまでの説明および図２５ から容易に明らかであろう。ここで、初期の組み立ておよび整合に使用され、バ ルブが機能する間にも作動するスプリング４０４は、バルブを閉じるように働く 力を発生する。 図２５の常開装置では、アクチュエータワイヤ４１０、入力側接点ボール４１ ２、出力側接点ボール４１４、所定位置に圧入される入力側ワッシャー４１６お よび出力側ワッシャー４１８は、図２４の相当する部品と同一である。しかしな がら常開動作によれば、雄ネジを有する入力側チューブ４２０はケーシングを貫 通する雌ネジの切られた開口部４２１に螺合することによりチューブ状ケーシン グ４０６に固定され、出力側チューブ４２２はコントローラロッド構造体内のチ ューブ取り付け開口部４２４に螺合され、チューブをコントローラ構造体に固定 し、アクチュエータワイヤの膨張および収縮によってコントローラ構造体を前後 に移動させるようになっている。 これまで図示し、説明した構造の更なる細部および／またはその変形例に関し 、流量コントローラの多数の部品に対し、例えば３１６ステンレススチール材料 を使用することを指摘した。この材料は他の種々の部品、例えばゲート部材ボー ル、 アクチュエータチューブ、主要流体流路パイプ部分、ダイヤフラムより上のコン トローラロッド部分を中心とするケーシング、細長いステムロッド、ステムロッ ド用スリーブ、ボールホルダ並びにコントローラロッドおよびダイヤフラム構造 体に対しても使用できる。当然ながら他の種々のこれまで利用でき使用されてい る金属製材料も使用できる。例としては、ハステロイおよびインコネルなる名称 で販売されている金属合金がある。流体流路部品の伝統的な販売業者、例えばパ ーカーハニファンおよびケイジョンがある種のパイプ部分の供給源となっている 。アクチュエータチューブに関連するワッシャーと同じように、バルブシートは ゲート部材ボールの別の材料例でもあるセラミックまたはマイカ材料から好まし く製造できる。 図４および１６の構造における低レベルの流量に対しては、約０．７６ｍｍ（ 約０.０３０インチ）のダイヤフラムの厚みが代表的なものであり、これより高 いレベルの流量に対しては約０．３５ｍｍ（０.０１４インチ）の厚みが代表的 なものである。これら構造のためのロッドの取り付け部分に沿うコントローラロ ッドの２つの円筒形部分の横断面の代表的な径は、約２.３ｍｍ〜約２.５ｍｍ（ 約０.０９０〜０.１００インチ）とすることができ、特定の用途および条件に応 じたばらつきは約１.１４ｍｍおよび１.２７ｍｍ（約０.０４５および０.０５イ ンチ）から約４.６ｍｍおよび約５.１ｍｍ（約０.１８０および０.２００インチ ）となる。センサ導管の代表的な外径は約０.２５ｍｍ〜１.２７ｍｍ（０.０１ ０インチ〜０.０５０インチ）の範囲内とすることができる。アクチュエータワ イヤを加熱するには例えば空気中では１インチ当たり約０.３〜３ワットの範囲 の利用可能な電力が必要となる。単なる例として示したこれらの材料および変形 例は、すベて当業者の従来の実施能力の範囲内にある。 これまでいくつかのコントローラロッドとダイヤフラムの構造および関係につ いて示し、種々の容易に明らかな別の実施例を利用できることについて言及した 。しかしながらこれらに関する更に別の見解も可能である。 まず、各ケースにおいてダイヤフラムはコントローラロッド構造体の単独の構 造的な支持体を実質的に構成するものであることが、アクチュエータおよびバル ブ部品の種々の実施例の図面およびそれらの説明から明らかである。しかしなが ら、作動中は当然付随的な結果として生じるガス流の力がダイヤフラムのこの構 造上の支持体にも加わることがある。更に各ケースではダイヤフラムは曲げられ ておらず、かつ波形となっていない。これにより製造および作動上の双方の見地 から有利となっている。 第２に、図２４および２６を参照すると、ダイヤフラム３３４はダイヤフラム を取り付ける際の補助手段として薄くされた円周方向の突起を有するように形成 されている。これに関する変形例、例えば溶接中に補助手段としてダイヤフラム が当接するチューブ状ケーシングのアングル付きエッジに一致するよう、外側エ ッジにおけるアングル付き形状を容易に採用することも可能である。図５に示さ れているような外側エッジ以外のエッジにて厚さを変えることも、製造、取り付 けまたは作動上の理由から有効である。一般的には約１.０ｍｍ（約０.０４０イ ンチ）の最大ダイヤフラムの厚みおよび約０.３３ｍｍ（約０.０１３インチ）の 最小厚みが適当である。 第３に、図面（例えば図４および１６）に示されたコントローラロッドとダイ ヤフラムの構造の１つには、コントローラロッド構造体の取り付け部分の片側に 設けられたコントローラロッド構造体のテーパが付けられている。図面（図２４ および２６）に示された別の構造では、両側においてかかるテーパが付けられて いる。 従って、当業者には特定の製造または作動上の条件または要求を満たすため、 コントローラロッドとダイヤフラムの構造に関連する多数の実施例および変形例 が明らかとなろう。 常閉バルブ構造および常開バルブ構造、並びにそれらの作動に関し、図４およ び１６のそれぞれによれば、スプリングアセンブリ２４０および２７０の主目的 は各ケースにおいて組み立て中のコントローラロッド５２の調節を容易にするこ とにあることが既に判っている。しかしながらこの結果、これら構造では既に述 ベたようにスプリングアセンブリはコントローラロッドの一方向への移動に抗す る多少の抵抗力を発生するように作動中に作用し、更にコントローラの他方向へ の移動を助ける多少の推進力を発生するようにも働く。アクチュエータワイヤ５ ６および２６２には張力がかけられているので、実際にはこのような機能は不要 である。 主目的によりかつ副次的に生じる機能の必要性がないことにより、これらケー スのいずれにおいてもスプリングアセンブリは実際にはダイヤフラムより上のコ ントローラロッド部分のためにそれぞれチューブ状ケーシング２１４または２６ ４のいずれかの側に実際に取り付けできる。従って、各ケースではスプリングア センブリはチューブ状ケーシングの反対側に鏡像と同じように取り付けでき、こ の場合、図示するよりもむしろかかる反対側にアセンブリのための開口部が設け られる。当然ながら副次的な結果として、図示される抵抗力と反対にある程度の 抵抗力および図示されている推進力と反対の推進力が発生するが、この結果生じ る機能は、ワイヤに張力がかかっているので、不要である。実際に既に述べたよ うに、図２４および２６の別の常閉構造および常開構造において、このような逆 の解決案も採用されている。このような反対の方法では、抵抗力はアクチュエー タワイヤの収縮によって生じた運動に反するように働き、推進力はアクチュエー タワイヤの膨張によって生じた運動を助ける。 枢着されたコントローラロッド構造、例えば本明細書では該当する形状と共に 熱アクチュエータでなく従来のソレノイドおよびピエゾ電気タイプのアクチュエ ータを使用することは、既に本説明の要旨となっている。例えばかかるソレノイ ドの作動に関し、制御ロッドに接触することなくコントローラロッド内の作動部 分の開口部を貫通する細いロッドを使用することは、従来の方法の一部である。 このロッドの両端はボールに固定することができ、これらボールはコントローラ ロッドを含む他のアクチュエータ部品に当接できる。当然ながら、選択できる多 数の方法のうちの１つにすぎない。 明細書の説明全体にわたって図面で繰り返し示されるが、特に示され、ここに 説明された調節自在なバルブは当然ながら流量を制御し、多数の流量能力を制御 するアクチュエータおよびバルブ部品に対する多数の位置を有するタイプとなっ ていると明示的に述べることも可能である。 本発明の精神または範囲から逸脱することなく、これまで詳細に述べた実施例 において多数の変形、変更を行うことができることは、当然、当業者には明らか となる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ， ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，Ｕ Ｇ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，Ｂ Ｙ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＨＵ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ， ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，Ｌ Ｖ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ， ＳＫ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，Ｖ Ｎ 【要約の続き】 シングの外側壁をパイプ構造体の内側壁に押圧し、ブッ シングをパイプ構造体内に固定することにより、主要流 体流路を形成するようにパイプ構造体内にバルブシート ブッシングが取り付けられる。コントローラロッド構造 体とバルブに対するゲート部材として働くボールとの間 の関係では、ボールをコントローラロッド構造体に固定 する際に周辺にスリーブを有する細長いステムロッドを 使用できる。コントローラロッド構造体のゲート部材側 からボールの位置が離間する距離よりも実質的に長く、 コントローラロッド構造体のゲート部材側から離間させ て細長いスリーブにステムロッドを固定することによ り、ステムロッドを取り付けできる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．流体流量を測定するためのセンサおよびこのセンサに応答するアクチュエ ータを有する流体流量コントローラであって、 所定流量の流体を受ける入口を構成し、更にここを貫通する流体流開口部を構 成する入力パイプ構造体と、 前記入力パイプ構造体から下流側で前記流体を受け、ここを貫通する流体流開 口部を構成する中間パイプ構造体と、 前記中間パイプ構造体から下流側で前記流体を受け、ここを貫通する流体流開 口部を構成する出力パイプ構造体と、 前記中間パイプ構造体に取り付けられたバルブシートと、 前記バルブシートに連動するバルブゲート部材と、 ゲート部材コントローラとを備え、該ゲート部材コントローラは、 ゲート部材制御部分、取り付け部分および作動部分を有するコントローラロッ ド構造体と、 ダイヤフラムを含む前記コントローラロッド構造体のための取り付け構造体と を備え、前記コントローラロッド構造体が前記コントローラロッド構造取り付け 部分に沿って前記ダイヤフラムに接続され、前記コントローラロッド構造体の前 記作動部分およびゲート部材制御部分が前記アクチュエータに応答して前記取り 付け構造体の位置を基準に対向する方向の多数の別の位置に移動し、前記流体流 量を多数の別の流量に調節でき、前記ダイヤフラムが前記コントローラロッド構 造体の構造的に支持された全重さを実質的に支持するようになっている流体流量 コントローラ。 ２．前記ダイヤフラムが金属ダイヤフラムである、請求項１記載の流体流量コ ントローラ。 ３．前記ダイヤフラムが実質的に曲げられていない、請求項２記載の流体流量 コントローラ。 ４．前記ダイヤフラムがほぼ円形である、請求項２記載の流体流量コントロー ラ。 ５．前記コントローラロッド構造体の前記作動部分および前記ゲート部材制御 部分が前記対向する方向に移動する際に、前記ダイヤフラムが伸びたり伸びなか ったりする、請求項１記載の流体流量コントローラ。 ６．前記コントローラロッド構造体が実質的に枢着されている、請求項１記載 の流体流量コントローラ。 ７．前記コントローラロッド構造体の前記枢着部分が前記ダイヤフラムの作動 部分側に位置する第１部分と、前記ダイヤフラムのゲート部材制御側に位置する 第２部分とを含み、前記第１部分と第２部分とは前記部分の一方よりも他方の曲 げを容易にするよう、曲げに対する強度が異なっている、請求項１記載の流体流 量コントローラ。 ８．前記第１部分と第２部分とがほぼ円筒形である、請求項７記載の流体流量 コントローラ。 ９．前記バルブシートが前記入力パイプ構造体を貫通する前記流体流開口部と ほぼ整合する流体流開口部を構成する、請求項１記載の流体流量コントローラ。 １０．前記バルブシートが、前記入力パイプ構造体および前記出力パイプ構造 体を貫通する前記流体流量開口部とほぼ整合する流体流開口部を構成する、請求 項１記載の流体流量コントローラ。 １１．前記コントローラロッド構造体と前記ダイヤフラムとが一体である、請 求項１記載の流体流コントローラ。 １２．流体流量制御バルブのゲート部材のためのアクチュエータおよびコント ローラ機構であって、 アクチュエータ部分、ゲート部材制御部分および取り付け部分を有するゲート 部材コントローラロッド構造体と、 前記コントローラロッド構造体のための取り付け構造体とを備え、前記コント ローラロッド構造体が前記コントローラロッド構造体取り付け部分に沿って前記 取り付け構造体に接続されており、前記コントローラロッド構造体の前記作動部 分およびゲート部材制御部分が前記取り付け構造体の位置を基準にして対向する 方向に移動自在であり、 前記ワイヤ構造体の温度変化に応答して膨張、収縮し、この膨張、収縮に応答 してバルブを通過する流体流量を調節するよう、前記コントローラロッド構造体 の前記ゲート部材制御部分を移動するよう、前記コントローラロッド構造体の前 記作動部分に連動自在に接続された、感温性アクチュエータワイヤ構造体と、 前記アクチュエータワイヤ構造体の温度を制御するためのアクチュエータ制御 回路とを備えた、アクチュエータ兼コントローラ機構。 １３．前記ワイヤ構造体を中心とし、前記コントローラロッド構造体の前記作 動部分の一方の側まで延び、該ワイヤ構造体に連動するように接続され、このワ イヤ構造体の前記膨張および収縮によっては実質的に移動できない第１チューブ 状構造体と、 前記ワイヤ構造体を中心とし、前記コントローラロッド構造体の前記作動部分 の反対側まで延び、前記ワイヤ構造体の前記膨張および収縮に応答して前記コン トローラロッド構造体の前記作動部分を移動するように、前記コントローラロッ ド構造体に固定され、前記ワイヤ固定に連動するように接続された第２チューブ 状構造体とを更に含む、請求項１２記載のアクチュエータ兼コントローラ機構。 １４．前記コントローラロッド構造体に加えられる力を発生するように取り付 けられたスプリングを更に含む、請求項１１記載のアクチュエータ兼コントロー ラ機構。 １５．前記コントローラロッド構造体の前記作動部分が開口部を構成し、 前記アクチュエータワイヤ構造体が前記コントローラロッド構造体に接触する ことなく前記開口部を貫通するように取り付けられた、請求項１２記載のアクチ ュエータ兼コントローラ機構。 １６．流体流量制御バルブのゲート部材のためのアクチュエータ兼コントロー ラ機構であって、 作動部分およびゲート部材制御部分を有するゲート部材コントローラロッド構 造体と、 前記ワイヤ構造体の温度変化に応答して膨張、収縮し、実質的に前記膨張およ び収縮のみに応答して前記バルブを通過する流体流量を調節するように前記ゲー ト部材制御部分を移動させるよう、前記コントローラロッド構造体の前記作動部 分に連動するように接続された感温性アクチュエータワイヤ構造体と、 前記アクチュエータワイヤ構造体の温度を制御するためのアクチュエータ制御 回路とを備えた、アクチュエータ兼コントローラ機構。 １７．前記ワイヤ構造体を中心とし、前記コントローラロッド構造体の前記作 動部分の一方の側まで延び、該ワイヤ構造体に連動するように接続され、このワ イヤ構造体の前記膨張および収縮によっては実質的に移動できない第１チューブ 状構造体と、 前記ワイヤ構造体を中心とし、前記コントローラロッド構造体の前記作動部分 の反対側まで延び、前記ワイヤ構造体の前記膨張および収縮に応答して前記コン トローラロッド構造体の前記作動部分を移動するように、前記コントローラロッ ド構造体に固定され、前記ワイヤ固定に連動するように接続された第２チューブ 状構造体とを更に含む、請求項１６記載のアクチュエータ兼コントローラ機構。 １８．前記コントローラロッド構造体に加えられる力を発生するように取り付 けられたスプリングを更に含む、請求項１６記載のアクチュエータ兼コントロー ラ機構。 １９．前記コントローラロッド構造体の前記作動部分が開口部を構成し、 前記アクチュエータワイヤ構造体が前記コントローラロッド構造体に接触する ことなく前記開口部を貫通するように取り付けられた、請求項１６記載のアクチ ュエータ兼コントローラ機構。 ２０．測定すべき所定の流量を有する流体のための入口および出口を構成し、 更にここを貫通するテーパ付き主要流体流路開口部を構成するパイプ構造体と、 コア構造体およびこのコア構造体と前記パイプ構造体との間で前記テーパ付き 開口部内に設けられた前記コア構造体に沿って配置されたワイヤ構造体とを含み 、前記開口部に沿って流体の圧力低下を生じるように、前記テーパ付き開口部内 に設けられた流量制限器と、 前記圧力低下に応答するセンサ導管の流体流量を生じるように配置された入口 開口部および出口開口部を有する、前記主要流体流路開口部に平行なセンサ流体 流路開口部を構成する流体流量センサ導管を含む流体流量センサとを含む流体流 量計。 ２１．前記コア構造体が球形の構造体を含む、請求項２０記載の流体流量計。 ２２．前記コア構造体が円錐形の構造体を含む、請求項２０記載の流体流量計 。 ２３．前記ワイヤ構造体が３本のワイヤ構造体を含む、請求項２０記載の流体 流量計。 ２４．前記ワイヤ構造体が４本のワイヤ構造体を含む、請求項２０記載の流体 流量計。 ２５．前記ワイヤ構造体が前記コア構造体と前記パイプ構造体との間で変形さ れる、請求項２０記載の流体流量計。 ２６．入口および出口を有する流体流量センサ導管を含み、該導管を貫通する センサ流体流路開口部を構成する流体流量センサと、 測定すべき流量を有する流体のための入口および出口を構成し、更に前記セン サ流体流路開口部と平行に貫通する主要流体流路開口を構成し、前記センサ導管 の入口端部のためのセンサ導管入口開口部および前記センサ導管の出口端部のた めのセンサ導管出口開口部を有するパイプ構造体と、 前記開口部を貫通する方向に沿って丸くされた前記センサ導管入口開口部内で 延び、前記センサ導管の入口端部のために前記構造体を貫通する開口部を構成す る入口金属シーラー構造体と、 前記開口部を貫通する方向に沿って丸くされた前記センサ導管出口開口部内で 延び、前記センサ導管の出口端部のために前記構造体を貫通する開口部を構成す る出口金属シーラー構造体とを備えた流体流量計。 ２７．前記入口および出口シーラー構造体の各々が前記連動するセンサ導管開 口部内で延びる球形の表面部分を含む、請求項２６記載の流体流量計。 ２８．前記入口および出口シーラー構造体の各々が平らな表面部分を含む、請 求項２７記載の流体流量計。 ２９．前記入口および出口シーラー構造体に前記センサ導管が取り付けられて いる、請求項２６記載の流体流量計。 ３０．前記入口および出口シーラー構造体の各々が前記関連するセンサ導管開 口部内に摩擦嵌合された、請求項２６記載の流体流量計。 ３１．前記パイプ構造体が前記センサ導管の入口開口部の近くに設けられた一 対の入口コーナーと、前記センサ導管の出口開口部近くに設けられた一対の出口 コーナーとを有し、更に本流体流量計が、 前記入口シーラー構造体と前記入口コーナーとの間で曲げられた入口ワッシャ ー構造体と、 前記出口シーラー構造体と前記出口コーナーとの間で曲げられた出口ワッシャ ー構造体とを更に含む請求項２６記載の流体流量計。 ３２．流体流のためのバルブシートブッシングを貫通する開口部を構成し、該 ブッシングを貫通する方向に対して横方向の第１の端面、および第２端面を有し 、前記第２端面近くに取り付けられたバルブシートを有するバルブシートブッシ ングを設ける工程と、 パイプ構造体に前記ブッシングを挿入する工程と、 前記ブッシングを貫通する方向への前記ブッシングの移動を阻止する工程と、 前記第１端面に構造体を当接し、前記端面を変形し、ブッシングの外側壁表面 をパイプ構造体の内側壁表面に対して押圧し、前記ブッシングをパイプ構造体に 固定するような力を加える工程とを備えた、パイプ構造体にバルブシートを取り 付ける方法。 ３３．前記阻止工程が前記端面の間の前記ブッシングの表面をアンビル構造体 に当接することを含む、請求項３２記載の取り付け方法。 ３４．前記横方向の第１端面が前記変形前には円錐形を含む形状となっており 、前記変形後は球形を含む形状となる、請求項３２記載の取り付け方法。 ３５．前記当接して変形する工程の前記構造体が球形を含む形状となっている 、請求項３４記載の取り付け方法。 ３６．流体流量を測定するためのセンサおよびこのセンサに応答するアクチュ エータを有する流体流量コントローラであって、 所定流量の流体を受ける入口を構成する入力パイプ構造体であって、更に該構 造体を貫通する流体流開口部を構成する入力パイプ構造体と、 前記入力パイプ構造体から下流側で前記流体を受ける中間パイプ構造体であっ て、該中間パイプ構造体を貫通する流体流開口部を構成する中間パイプ構造体と 、 前記中間パイプ構造体から下流側で前記流体を受ける出力パイプ構造体であっ て、該出力パイプ構造体を貫通する流体流開口部を構成する出力パイプ構造体と 、 前記中間パイプ構造体に取り付けられたバルブシートと、 前記バルブシートに連動するバルブゲート部材と、 ゲート部材コントローラとを備え、該ゲート部材コントローラが、 ゲート部材制御部分、取り付け部分および作動部分を有するコントローラロッ ド構造体と、 前記コントローラロッド構造体のための取り付け構造体とを備え、前記コント ローラロッド構造体が前記コントローラロッド構造体取り付け部分に沿って前記 取り付け構造体に接続されており、前記コントローラロッド構造体の前記作動部 分およびゲート部材制御部分が前記流体流量を調節するよう前記アクチュエータ に応答して前記取り付け構造体の位置を基準として対向する方向に移動自在であ り、 更に前記ゲート部材に接続され、前記コントローラロッド構造体の前記制御部 分の側であって、前記ゲート部材から離れた側に取り付けられた細長いステムロ ッドとを含む、流体流量を測定するためのセンサおよびセンサに応答するアクチ ュエータを有する流体流量コントローラ。 ３７．前記ゲート部材コントローラが、 前記細長いステムロッドを中心とし、前記コントローラロッド構造体の前記制 御部分の側であって、前記ゲート部材から離れた側まで延び、前記コントローラ ロッド構造体の前記制御部分に固定され、更に前記細長いステムロッドに固定さ れたステムロッドスリーブを更に含む、請求項３６記載の流体流量コントローラ 。 ３８．前記ゲート部材の位置と前記コントローラロッド構造体のゲート部材側 との間の距離の２倍よりも長い距離だけ、前記コントローラロッド構造体のゲー ト部材側から離間して前記細長いステムロッドが取り付けられた、請求項３６記 載の流体流量コントローラ。 ３９．前記コントローラロッド構造体と前記取り付け構造体が一体的である、 請求項３６記載の流体流量コントローラ。