JPS6224088A - 制御弁 - Google Patents
制御弁Info
- Publication number
- JPS6224088A JPS6224088A JP60163386A JP16338685A JPS6224088A JP S6224088 A JPS6224088 A JP S6224088A JP 60163386 A JP60163386 A JP 60163386A JP 16338685 A JP16338685 A JP 16338685A JP S6224088 A JPS6224088 A JP S6224088A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve body
- fluid
- valve seat
- flow path
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/025—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic actuated by thermo-electric means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/32—Details
- F16K1/34—Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K39/00—Devices for relieving the pressure on the sealing faces
- F16K39/02—Devices for relieving the pressure on the sealing faces for lift valves
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Lift Valve (AREA)
- Temperature-Responsive Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、気体、液体等各種の流体の流通量を制御する
例えば、マスフローコントローラ、２ｉ！１制御バルブ
等熱膨張力又は電磁力によって弁の制ａｌを行う制御弁
に関する。
例えば、マスフローコントローラ、２ｉ！１制御バルブ
等熱膨張力又は電磁力によって弁の制ａｌを行う制御弁
に関する。
この種制御弁として、例えば特公昭５９−２８７９号公
報に示すものがある。その弁口は円形で、それに対応す
る弁体頭部は円錐形成いは円錐台形に形成されていて、
該弁体頭部が前記弁口内に一部入り込んで弁口を閉しる
よう構成されている。
報に示すものがある。その弁口は円形で、それに対応す
る弁体頭部は円錐形成いは円錐台形に形成されていて、
該弁体頭部が前記弁口内に一部入り込んで弁口を閉しる
よう構成されている。
ところで、この種制御弁においては、流体の圧力及び−
次圧力と二次圧力との何れかが一定条件にあるときの上
記−次圧力と二次圧力との差（以下、差圧と云う）と流
量とが略リニアに比例するのが好ましいのであるが、上
述のように構成した制御弁にあっては、第３図の差圧−
流量特性図において曲線へで示すように、差圧がある値
を越えると流量が減少するという欠点があった。
次圧力と二次圧力との何れかが一定条件にあるときの上
記−次圧力と二次圧力との差（以下、差圧と云う）と流
量とが略リニアに比例するのが好ましいのであるが、上
述のように構成した制御弁にあっては、第３図の差圧−
流量特性図において曲線へで示すように、差圧がある値
を越えると流量が減少するという欠点があった。
このような欠点を除去せんとすれば、弁体のリフト量を
大きくすればよいが、弁体駆動部として熱膨張可能部材
を用いたものにあっては、ｉｆｆ ２膨張可能部材を長
大にしない限りは、前記リフｌｉｔを大きくすることが
出来ないと言う致命的な制約があった。
大きくすればよいが、弁体駆動部として熱膨張可能部材
を用いたものにあっては、ｉｆｆ ２膨張可能部材を長
大にしない限りは、前記リフｌｉｔを大きくすることが
出来ないと言う致命的な制約があった。
又、制御弁の開閉動作の応答性を向上するには、熱膨張
可能部材の熱容量を出来るだけ小さくする必要があるが
、このようにすると該熱膨張可能部材の剛性力が小さく
なり、大流量の流体を制御することが出来なくなる。
可能部材の熱容量を出来るだけ小さくする必要があるが
、このようにすると該熱膨張可能部材の剛性力が小さく
なり、大流量の流体を制御することが出来なくなる。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、流体
の制御量の大小に係わりなく制御特性並びに応答性に優
れ、かつ、コンパクトな制御弁を提供することを目的と
する。
の制御量の大小に係わりなく制御特性並びに応答性に優
れ、かつ、コンパクトな制御弁を提供することを目的と
する。
上記目的を達成するため、本発明に係る制御弁は、弁体
に近い側の弁座部表面を平坦に形成すると共に、前記流
体流通路を環状にし、該流体流通路に対応する弁体頭部
に、前記流体流通路の内側及び外側において前記弁座部
表面に夫々当接する環状の内突条及び外突釜を形成する
と共に、前記弁体頭部の弁体駆動部側と前記内突条を含
む弁座部表面側との間を連通ずるべく該弁体頭部に流通
路を形成した点に特徴がある。
に近い側の弁座部表面を平坦に形成すると共に、前記流
体流通路を環状にし、該流体流通路に対応する弁体頭部
に、前記流体流通路の内側及び外側において前記弁座部
表面に夫々当接する環状の内突条及び外突釜を形成する
と共に、前記弁体頭部の弁体駆動部側と前記内突条を含
む弁座部表面側との間を連通ずるべく該弁体頭部に流通
路を形成した点に特徴がある。
流体流通路の流入側においてはその外側のみならず、内
側からも流体が流入するので、大量の流体を通過させる
ことが出来る。そして、流通路が弁体頭部に設けられて
いるので、該弁体頭部の弁体駆動部側の圧力と、前記内
突条を含む弁座部表面側の圧力とが互いに等しくなり、
弁体頭部における面圧の影響を無視し得る程に低減する
ことが出来る。
側からも流体が流入するので、大量の流体を通過させる
ことが出来る。そして、流通路が弁体頭部に設けられて
いるので、該弁体頭部の弁体駆動部側の圧力と、前記内
突条を含む弁座部表面側の圧力とが互いに等しくなり、
弁体頭部における面圧の影響を無視し得る程に低減する
ことが出来る。
以下、本発明の一実施例を第１図、第２図を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第１図は所謂ノルマルオーブンタイプの制御弁を示し、
１はバルブ基体である。２，３は流体流入口、流体流出
口であり、これら両口２．３の間には弁座部４が設けら
れている。５．６は流路である。
１はバルブ基体である。２，３は流体流入口、流体流出
口であり、これら両口２．３の間には弁座部４が設けら
れている。５．６は流路である。
前記弁座部４はバルブ基体１に嵌め込まれた外ブロック
７と、核外ブロック７内に嵌め込まれた内ブロック８と
から成り、両ブロック７．８の間には環状の流体ＱＲ連
通路が形成されている。そして、この弁座部４の弁体１
０に近い表面４ａは平坦に形成されている。１１は前記
流路５と弁座部表面側とを連通させる流通路で、外ブロ
ック７に形成されている。又、１２は前記流路６と流体
流通路９とを連通させる流通路で、内ブロック８に形成
されている。
７と、核外ブロック７内に嵌め込まれた内ブロック８と
から成り、両ブロック７．８の間には環状の流体ＱＲ連
通路が形成されている。そして、この弁座部４の弁体１
０に近い表面４ａは平坦に形成されている。１１は前記
流路５と弁座部表面側とを連通させる流通路で、外ブロ
ック７に形成されている。又、１２は前記流路６と流体
流通路９とを連通させる流通路で、内ブロック８に形成
されている。
前記弁体１０は前記弁座部表面４ａと当接、非当接する
ことにより前記流体流通路９を開閉する弁体頭部１０ａ
と、弁体駆動部としての熱膨張可能部材１３に接続され
た弁体胴部１０ｂとから成る。第２同はこの弁体１０の
外観を示し、弁体頭部１０ａの弁座部表面４ａに近い表
面には、前記流体流通路９の内側と外側において該弁座
部表面４ａに夫々当接する環状の内突条１４．外突条１
５が形成されている。１６は弁体頭部１０ａの熱膨張可
能部材１３側と前記内突条１４を含む弁座部表面４ａ側
との間を連通ずるべく該弁体頭部１０ａに形成された流
通路であ前記熱膨張可能部材１３はカバ一体１７の上部
に螺着されたナツト状体１８によって保持され、その外
周にはヒータ１９が巻設されており、ヒータ１９によっ
て加熱されると膨張し、前記弁体１０を下方に変位させ
、両突条１４．１５と弁座部表面４ａとの間の隙間を狭
めるように作用する。２０はリート’％１である。 ２
１．２２．２３はＯリング等のシール部材である。
ことにより前記流体流通路９を開閉する弁体頭部１０ａ
と、弁体駆動部としての熱膨張可能部材１３に接続され
た弁体胴部１０ｂとから成る。第２同はこの弁体１０の
外観を示し、弁体頭部１０ａの弁座部表面４ａに近い表
面には、前記流体流通路９の内側と外側において該弁座
部表面４ａに夫々当接する環状の内突条１４．外突条１
５が形成されている。１６は弁体頭部１０ａの熱膨張可
能部材１３側と前記内突条１４を含む弁座部表面４ａ側
との間を連通ずるべく該弁体頭部１０ａに形成された流
通路であ前記熱膨張可能部材１３はカバ一体１７の上部
に螺着されたナツト状体１８によって保持され、その外
周にはヒータ１９が巻設されており、ヒータ１９によっ
て加熱されると膨張し、前記弁体１０を下方に変位させ
、両突条１４．１５と弁座部表面４ａとの間の隙間を狭
めるように作用する。２０はリート’％１である。 ２
１．２２．２３はＯリング等のシール部材である。
上述のように構成された制御弁において、通常時間弁じ
ており、流体流入口２から流体を導入すると、該流体は
流路５、流通路１１、外突釜１５と外ブロック表面７ａ
との間の隙間を経て流体流通路９に至ると共に、前記流
通路１１を経た流体は流通路１６を経て内突条１４と内
ブロック表面８ａとの間の隙間を経て流体流通路９に至
る。該流体流通路９を経た流体は流通路１２、流路６を
経て流体流出口３に導出される。
ており、流体流入口２から流体を導入すると、該流体は
流路５、流通路１１、外突釜１５と外ブロック表面７ａ
との間の隙間を経て流体流通路９に至ると共に、前記流
通路１１を経た流体は流通路１６を経て内突条１４と内
ブロック表面８ａとの間の隙間を経て流体流通路９に至
る。該流体流通路９を経た流体は流通路１２、流路６を
経て流体流出口３に導出される。
この場合、流体流通路９の流入側においてはその外側の
みならず、内側からも流体が流入するので、大量の流体
を通過させることが出来る。そして、流通路１１が弁体
頭部１０ａに設けられているので、該弁体頭部１０ａの
弁体駆動部側の圧力Ｐ１と、前記内突条を含む弁座部表
面側の圧力Ｐ２とが互いに等しくなり、弁体頭部１０ａ
における面圧の影響を無視し得る稈に低減することが出
来る。特に、弁体頭部１０ａにおける内突条１４内の平
面１０ｃの面積が大きい程その効果が大きい。従って、
差圧が大きくなっても、差圧と流量とはリニアに比例し
、流体の制御量に関わりなく良好に制御することが出来
る。又、熱膨張可能部材１３の熱容量を小さくすること
が出来るので、優れた応答性を得ることが出来る。
みならず、内側からも流体が流入するので、大量の流体
を通過させることが出来る。そして、流通路１１が弁体
頭部１０ａに設けられているので、該弁体頭部１０ａの
弁体駆動部側の圧力Ｐ１と、前記内突条を含む弁座部表
面側の圧力Ｐ２とが互いに等しくなり、弁体頭部１０ａ
における面圧の影響を無視し得る稈に低減することが出
来る。特に、弁体頭部１０ａにおける内突条１４内の平
面１０ｃの面積が大きい程その効果が大きい。従って、
差圧が大きくなっても、差圧と流量とはリニアに比例し
、流体の制御量に関わりなく良好に制御することが出来
る。又、熱膨張可能部材１３の熱容量を小さくすること
が出来るので、優れた応答性を得ることが出来る。
本発明に係る制御弁の差圧−流量特性は、第３図におい
て、略直線に近い曲線Ｂで示すように、差圧と流量とは
略比例している。
て、略直線に近い曲線Ｂで示すように、差圧と流量とは
略比例している。
以上の説明から明らかなように、本発明に係る制御弁に
おいては、弁座部の流体流通路にはその流入側において
、外側のみならず内側からも流体が流入するので、弁体
のリフトｉや弁座部の太きさが同しであれば、流星の制
御範囲が増大するし、制御範囲が同じであれば、弁体の
リフトａや弁座部を小さくして、全体をコンパクトにす
ることが出来る。更に、閉弁に際しては、弁体頭部を平
坦な弁座部表面に当接させるだけで良いので、弁体の製
作が極めて容易となり、それだけ制御弁のコストを低減
することが出来る。
おいては、弁座部の流体流通路にはその流入側において
、外側のみならず内側からも流体が流入するので、弁体
のリフトｉや弁座部の太きさが同しであれば、流星の制
御範囲が増大するし、制御範囲が同じであれば、弁体の
リフトａや弁座部を小さくして、全体をコンパクトにす
ることが出来る。更に、閉弁に際しては、弁体頭部を平
坦な弁座部表面に当接させるだけで良いので、弁体の製
作が極めて容易となり、それだけ制御弁のコストを低減
することが出来る。
第１図は本発明に係る制御弁を示す断面図、第２白は弁
体の外観を示す斜視図、第３図は差圧−流量特性図であ
る。 ２・・・流体流入口、３・・・流体流出口、４・・・弁
座部、４ａ・・・弁座部表面、９・・・流体流通路、１
０・・・弁体、１０ａ・・・弁体頭部、１３・・・弁体
駆動部、１４・・・内突条、１５・・・外突条、１６・
・・流通路。
体の外観を示す斜視図、第３図は差圧−流量特性図であ
る。 ２・・・流体流入口、３・・・流体流出口、４・・・弁
座部、４ａ・・・弁座部表面、９・・・流体流通路、１
０・・・弁体、１０ａ・・・弁体頭部、１３・・・弁体
駆動部、１４・・・内突条、１５・・・外突条、１６・
・・流通路。
Claims (1)
- 流体流入口と流体流出口との間に設けられる弁座部に前
記流体流入口、流体流出口と夫々連通するべく形成され
た流体流通路を、弁体駆動部の駆動力を受けて変位する
弁体により開閉する制御弁において、前記弁体に近い側
の弁座部表面を平坦に形成すると共に、前記流体流通路
を環状にし、該流体流通路に対応する弁体頭部に、前記
流体流通路の内側及び外側において前記弁座部表面に夫
々当接する環状の内突条及び外突条を形成すると共に、
前記弁体頭部の弁体駆動部側と前記内突条を含む弁座部
表面側との間を連通するべく該弁体頭部に流通路を形成
したことを特徴とする制御弁。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60163386A JPS6224088A (ja) | 1985-07-23 | 1985-07-23 | 制御弁 |
| US06/817,255 US4666126A (en) | 1985-07-23 | 1986-01-08 | Control valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60163386A JPS6224088A (ja) | 1985-07-23 | 1985-07-23 | 制御弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6224088A true JPS6224088A (ja) | 1987-02-02 |
Family
ID=15772901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60163386A Pending JPS6224088A (ja) | 1985-07-23 | 1985-07-23 | 制御弁 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4666126A (ja) |
| JP (1) | JPS6224088A (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US4836342A (en) * | 1987-08-07 | 1989-06-06 | Lord Corporation | Controllable fluid damper assembly |
| US5108071A (en) * | 1990-09-04 | 1992-04-28 | South Bend Controls, Inc. | Laminar flow valve |
| JP3305515B2 (ja) * | 1994-10-06 | 2002-07-22 | 日本エム・ケー・エス株式会社 | 流量制御弁 |
| US5660207A (en) * | 1994-12-29 | 1997-08-26 | Tylan General, Inc. | Flow controller, parts of flow controller, and related method |
| DE19802723A1 (de) * | 1998-01-24 | 1999-08-12 | Kuesters Beloit Gmbh & Co Kg | Walze |
| KR100649852B1 (ko) * | 1999-09-09 | 2006-11-24 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기화기 및 이것을 이용한 반도체 제조 시스템 |
| US6679476B2 (en) | 2000-08-08 | 2004-01-20 | Puregress, Inc. | Control valves |
| US8844901B2 (en) * | 2009-03-27 | 2014-09-30 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Flow control valve |
| DE202014011333U1 (de) * | 2013-01-08 | 2019-06-07 | Illinois Tool Works Inc. | Kraftgesteuertes Steuerventil |
| US9454158B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-09-27 | Bhushan Somani | Real time diagnostics for flow controller systems and methods |
| CN105144013B (zh) * | 2013-10-21 | 2019-03-08 | 株式会社堀场Stec | 流体控制阀 |
| US10983537B2 (en) | 2017-02-27 | 2021-04-20 | Flow Devices And Systems Inc. | Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller |
| JP7240515B2 (ja) * | 2019-09-11 | 2023-03-15 | 愛三工業株式会社 | バルブ装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US158296A (en) * | 1874-12-29 | Improvement in globe-valves | ||
| US2253460A (en) * | 1938-04-11 | 1941-08-19 | Franz Braun A G | Injection molding machine |
| US3099432A (en) * | 1960-07-18 | 1963-07-30 | Edward J Zeitlin | Valve construction of the o-ring poppet type |
| US3207171A (en) * | 1962-05-09 | 1965-09-21 | R E Chapin Mfg Works Inc | Back-flow preventing valve |
| US3892384A (en) * | 1974-04-12 | 1975-07-01 | Honeywell Inc | Double seated cage valve with flexible plug seat |
| US4500070A (en) * | 1981-08-25 | 1985-02-19 | Alsthom-Atlantique | Valve for adjusting the rate of flow of a gaseous fluid |
| US4477056A (en) * | 1983-02-28 | 1984-10-16 | Martin Marietta Corporation | High force-gain valve |
-
1985
- 1985-07-23 JP JP60163386A patent/JPS6224088A/ja active Pending
-
1986
- 1986-01-08 US US06/817,255 patent/US4666126A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4666126A (en) | 1987-05-19 |
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