JPH10506204A

JPH10506204A - Ｏｅｉｃモジュールおよび光ファイバを光学的に相互結合するための結合装置

Info

Publication number: JPH10506204A
Application number: JP8511265A
Authority: JP
Inventors: アックリンブルーノ; ベラーマンヤン; シーンレマインラート; ホンスベルクマルティン; ミュラーグスタフ
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1994-09-26
Filing date: 1995-09-21
Publication date: 1998-06-16
Also published as: US5907649A; EP0783714B1; EP0783714A1; DE59509887D1; WO1996010199A1

Abstract

(57)【要約】ＯＥＩＣモジュール（１）の入力側および／または出力側（１１）と光フアイバ（２１）の端面（２１０）とを自動調心により光学的に相互結合するための結合装置である。この場合、前記モジュール（１）は平坦な載置面（１３）の部分で、ファイバを保持する支持体（３）の平坦な支承面（３３）の上に平坦に配置されている。さらにストッパ装置（３１１，１３１）が設けられている。このストッパ装置により、対応し合う端面と入力側および／または出力側とが対向している個所で、モジュールと支持体との間の相対的なずれが制限される。なお、モジュールの電気的な接触接続は、支持体の貫通開口部（３７）を通して支持体の背面（３４）から行われる。さらに、支持体に関する有利な実施形態についても示されている。

Description

【発明の詳細な説明】ＯＥＩＣモジュールおよび光ファイバを光学的に相互結合するための結合装置 W.Hunziker，W.Vogt，H.Melchior:″Self-aligned optical flip-chip OEIC p ackaging technologies″in Proceedings ECOC'93(Montreux，Switzerland)，Vo l.1 p.84-91 から、ＯＥＩＣモジュールの光学的入／出力側と光ファイバの端面を自己調心（セルフアライメント）により光学的に結合するための結合装置が公知である。この公知の結合装置の場合、ＯＥＩＣモジュールの入／出力側は、そのモジュールの少なくとも１つの平坦な端部面で１つの直線上に並置されている。ファイバは支持体上で溝の中に配置されて保持されており、入力側または出力側に個別に対応づけられているそれらのファイバの端面は、１つの共通の平面内の１つの直線上で同じ方向に配向されて並置されている。ＯＥＩＣモジュールは、その端部面に垂直であり入／出力側の直線に対し平行な表面を有している。支持体は、端面の平面に対し垂直であり端面の直線に平行な表面を有しており、その中に溝が配置されている。ＯＥＩＣモジュールは支持体上に、そのモジュールの平坦な表面が支持体の平坦な表面と向き合うように配置されている。支持体上にＯＥＩＣモジュールを配置させるために、モジュールの平坦な表面上に１つまたは複数の突出部が形成されており、それらの各々は支持体の１つの溝に対応づけられている。モジュールは次のように支持体上に載置される。すなわち、突出部が対応づけられた溝に突出し、互いに対向し斜めの角度で位置する溝の側方制限面に当接するよう、支持体上に載置されていて、モジュールの平坦な表面は支持体の平坦な表面から間隔をおいて配置されている。このように支持体上に載置されるモジュールの場合、互いに対応づけられている光ファイバ端面とモジュール入／出力側とが自動的に適切な位置に相互に配置されるようになり、つまり軸線方向で互いに対向して位置するようになる。ＯＥＩＣモジュールの電気的な接触接続のために、支持体の平坦な平面上に弾性的にはんだ付けされた電気的な接点が設けられている。本発明の課題は、ＯＥＩＣモジュールの光学的入／出力側と光ファイバの端面とを上記のものとは異なる形式で自動調心により光学的に相互結合すること、および光ファイバが溝に配置されて保持されている支持体上に前記モジュールを上記のものとは異なる形式で電気的に接触接続させることである。上記のものとは異なる形式で自動調心により光学的な相互結合を行うことは、請求項１に記載された本発明による結合装置により達成される。この場合に本質的な点は、ＯＥＩＣモジュールは平坦な載置面を有し、支持体は平坦な支承面を有し、この支承面上にモジュールの載置面が平坦に載置され、さらにモジュールと支持体との間における側方の相対的なずれを制限するためのストッパ装置が設けられていることである。これにより、互いに対応する端面と入力側および／または出力側との相互間における自己調心による適正な配置が可能となる。支持体上にモジュールを平坦に載置するためにたいして精確な位置決めをあらかじめ行う必要がなく、また、そのような載置は著しく安定しており、さらに支承面に対する光ファイバの位置をきわめて精確に調節することができる。請求項２〜５には、請求項１に記載された本発明による結合装置の有利な実施形態が示されている。別の形式の電気的な接触接続は、請求項６に記載された本発明による結合装置により達成される。この場合に本質的な点は、電気的な接触接続は支持体の背面から行われることであり、このことによってワイヤボンディングによる簡単な接触接続構成が可能となる。本発明による接触接続構成は請求項１〜５に記載の結合装置に限定されるものではなく、光学的な結合装置において汎用的に利用できるものである。請求項７〜１４には、請求項１〜５に記載の結合装置のために有利であるがそれらの装置構成に限定されない有利な支持体について示されている。この場合、支持体には溝が設けられており、それらの溝にファイバが配置されて固定される。次に、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。図１は、背面接触を行う本発明による自己調心による結合装置の支持体の平面図であり、この図ではＯＥＩＣモジュールの位置が破線で示されている。図２は、ＯＥＩＣモジュールの１つの実例を示す平面図であり、この下側にスイッチング可能な４つの光学的方向性結合器が形成されている。図３は、図２によるモジュールの端部面を示す平面図である。図４は、図１のラインＩ−Ｉに沿って切り取られ支持体の支承面に対し垂直な断面を示す部分拡大図であり、この場合、本発明によるストッパ装置のために特別に溝が設けられていることが示されている。図５は、図１のラインＩＩＩ−ＩＩＩに沿って切り取られ支承面に対し垂直な支持体断面を示す図であり、この場合、図２および図３によるＯＥＩＣモジュールが載置されており電気的に接触接続されている。図６は、図１のラインＩＩ−ＩＩに沿って切り取られ支承面に対し垂直な支持体断面を示す図であり、この場合、この断面は支持体の溝を横切って分断するトレンチに沿って延在しており、このトレンチは溝にファイバを固定する接着剤を取り込むためのものである。図７は、図６による断面図に相応する支持体の断面とファイバを保持する補助支持体の断面を示す図であり、この場合、支持体に対し補助支持体は、ファイバが支持体の溝に配置されるように載置される。図８ａおよび図８ｂは、支持体表面における一貫した１つの溝ないしは複数のセクションに分割された溝と、この溝ないし溝セクションに対し所定の角度で延在するマスクないしマスクセクションを部分的に示す図である。図１の平面図には、ＯＥＩＣモジュールの光学的入／出力側と光ファイバの端面とを自動調心で光学的に相互結合するための本発明による結合装置が示されている。この結合装置はたとえば図平面内に位置する平坦な支承面３３を有しており、これはたとえば支持体３の凹部３６により互いに分離されている２つの支承面セクション３３０により構成されている。各支承面セクション３３０には互いに平行に延在する溝３１から成る列３０が形成されており、それらの溝には結合すべきファイバ２１が次のように配置されて保持されている。すなわち、それらのファイバ２１の端面２１０が同じ方向に配向され、支承面３３の平面に対し垂直な１つの共通の面２２内で１つの直線２２０上に並置されている（図４参照）。各支承面部分３３０のファイバの端面２１０は、それらの支承面部分３３０を境界付けたとえば端面２１０の直線２２０に対し平行な凹部３６の周縁３６０から、間隔ｄ₁をおいて配置されている。支承面部分３３０の溝は上記の周縁部３６０まで延びている。各支承面部分３３０は平坦な平面ストリップ３３１を有しており、これらの平面ストリップは図平面内に位置し、隣り合う溝３１を互いに分離している。ＯＥＩＣモジュール１はその載置面１３（図３および図５参照）で、図１に破線で示されているように支承面３３上に平坦に配置されている。つまり、互いに対向して位置する２つの端面１２を有するモジュール１がその載置面１３で、一方の端面１２と隣接するこの載置面１３の部分が対応づけられた支承面セクション３３０上に載置され、他方の端面１２と隣接する載置面１３の部分は他方の支承面セクション３３０に平坦に載置される。モジュール１の載置面に対し垂直であり互いに平行な各端部面１２は、モジュール１がこのように支持体３上に載置されている場合、支持体３の支承面３３に対し垂直に位置している。さらにモジュール１は、各端部面１２と対応づけられて対置されているファイバ端部２１０の存在する平面２２に対しそれらの端部面２２が平行になるよう配置されている。しかもモジュール１は、ファイバ端部２１０と対応づけられたそのモジュール１の端部面１２内に位置する入／出力側１１が各ファイバ端部２１０と精確に対置するように配置されている。これは本発明によればストッパ装置により達成される。このストッパ装置により、載置面１３で支承面３３上に平面的に載置されたＯＥＩＣモジュール１と支持体３との間の相対的なずれを、対応づけられたファイバ端面２１０の平面２２ならびに支承面３３と平行な方向で、互いに対応づけられた端面２１０と入力側および／または出力側１１が対置している個所において制限可能である。この場合に前提とするのは、端部面１２に配置されたＯＥＩＣモジュール１の入力側および／または出力側１１が、その載置面１３に対し平行な直線１２０（図３参照）上に並置されていることであり、この直線１２０と載置面１３との間隔ａは、端面２１０の直線２２０と支持体３の支承面３３との間隔に等しいことである。ストッパ装置はたとえば溝３１および突出部１３１から成り、この突出部１３１はモジュール１の載置面１３上に形成されていて、あそびを伴って溝３１に適合している。このようなストッパ１３１は溝３１に対し相対的に次のように設計されて配置されている。すなわち、ファイバ２１の端面２１０の平面２２に対し平行なモジュール１と支持体３との間の相対的なずれが生じたとき、このストッパ１３１が上記の溝３１の側方限界面３１１と接触し、その際にモジュール１の入力側および／または出力側１１が対応づけられたファイバ２１の端面２１０とそれぞれ精確に対置している個所で、そのような相対運動が止まるように設計され配置されている。図２および図３には、ＯＥＩＣモジュールの１つの実例を上から見た平面図ないしは端部面１２を表す図が示されている。この実施例の場合、載置面１３はモジュール１の裏側である。このモジュール１の場合、たとえば載置面１３には一般的に知られた４つのスイッチング可能な光学的方向性結合器１０が形成されており、図２の場合には上側とは反対側のモジュール１の下側にそれが存在しているので、そのような方向性結合器１０は各々に対応づけられた制御電極１１２といっしよに破線で示されている。各方向性結合器１０は、モジュール１上に集積された２つの光学的なストリップ導波体１１０，１１１から成る。これらのストリップ導波体１１０，１１１は、モジュール１の互いに対向する両方の端部面１２で終端しており、これら２つのストリップ導波体１１０と１１１の一方に案内される光の波が他方の導波体に結合可能なよう、それらの導波体は中間部分では間隔が狭められて互いに平行に延在している。この場合、上記の結合は、その中間部分において導波体１１０，１１１の隣りに配置された制御電極１１２へ印加される制御電圧に応じて行わせることができる。モジュール１の両方の端部面１２の一方に位置するストリップ導波体１１０および１１１の各端面によって、モジュール１の入力側および／または出力側１１が規定される。これらの端面１１は、支承面１３および該当する端部面１２に対し平行な線１２０上に配置されている。この線１２０と載置面１３との垂直方向の間隔ａは、ストリップ導波体１１０および１１１がこの載置面１３上にじかに設けられているため、著しく小さく、μｍないしはサブμｍの範囲である。基本的に、間隔ａをゼロとすることもできる。入／出力側１１とファイバ２１の端面２１０の相互間の精確な調整に関して重要なことは、線２２０（図６参照、この線上にファイバ２１の端面２１０におけるファイバ中央軸がある）と支持体３の支承面３３との間隔ｂが間隔ａと等しいことである。なぜならば、既述のようにモジュール１を支持体３上に平坦に載置する場合、それら両方の線１２０と２２０は、支承面３３に関して同じ高さに位置するからである。モジュール１が既述のようにして支持体３上に取り付けられ、突出部１３１が対応づけられた溝３１の側方制限面３１１に当接するようになると、互いに対応づけられた入力側および／または出力側１１と端面２１０が自動的に調節され、モジュール１を支持体３上のその位置に固定することができる。支持体３上に固定されたモジュール１の接触接続を行うため、支持体には貫通開口部３７が設けられている。この貫通開口部はモジュール１の領域で、たとえば凹部３６の領域で、モジュール１とは反対側の支持体３の背面３４まで延びていて、この貫通開口部を通して背面３４の方からモジュール１の接触接続を行うことができ、これはたとえばワイヤボンディングにより行える。図５に示されている縦断面図の場合にはたとえば、方向性結合器１０の電極１１２はボンディングワイヤ７０を介して配線板７と電気的に接続されており、この配線板の上にたとえば支持体３が配置されている。モジュール１の載置面１３上の突出部１３１は、図１に示されているようにファイバ２１が保持されている溝３１内に配置可能である。しかしながら、ファイバ２１の端面２１０と対応づけられた入力側および／または出力側１１との間において、障害のない光の伝播を行わせるために好適であるのは、ファイバ２１が配置されておらず保持されていない別個の溝６１内に、上記のような突出部１３１を配置することである。そのような溝６１はたとえば隣り合う各溝３１の間に配置させることができ、それらの溝３１よりも小さい横断面寸法を有するように構成することができる。重要なのは、突出部１３１があそびを伴って上記の溝６１と適合するようにし、ずらすことによりその溝６１の側方制限面６１１と接触するよう動かせるようにすることである。ファイバ２１を支持体３の溝３１に固定するために好適であるのは、支承面３３に溝３１を横切って分断するトレンチ５０を形成することであり、このトレンチ５０はファイバ２１を溝３１に固定する接着剤６０（図６参照）を取り込むためのものであって、溝３１よりも深い深さｔ₂まで支承面３３から延びている。この場合、溝３１はそれよりも浅い深さｔ₁を有している。このようなトレンチ５０によって、毛管現象による接着剤６０の自動的な取り込みと均一な分布が可能となる。接着剤６０はたとえばエポキシ接着剤とすることができる。トレンチ５０自体は鋸引きによって形成することができる。また、隣り合う各溝３１の間においてトレンチ５０を横切って延在する別のトレンチ５１を支承面３３に設けるのも好適である。この別のトレンチ５１には前記のトレンチ５０が連通していて、この別のトレンチ５１は前記のトレンチ５０よりもさらに深い深さｔ₃まで支承面３３から延びている。このような別のトレンチによって、接着剤６０がこの別のトレンチよりも向こう側にある溝３１まで流れすぎるのが阻止される。向こう側にあるそれらの溝内にもたしかにファイバ２１を取り付けるべきであるが、それはたとえば別のトレンチ５１のこちら側で取り付けるべきファイバ２１とは同時には取り付けられないようなものである。別のトレンチ５１を、ファイバ２１を取り付ける複数の平行な溝３１を有する支持体セクションを互いに分離するために用いることもでき、そのような支持体セクションは、図１による支持体３を形成するため別のトレンチ５１の領域でその支持体から分離される。また、ファイバ２１を補助支持体４の溝４１に配置して取り付けるようにしても、さらに好適である。それらの溝４１は、補助支持体４の平坦な表面４３に次のように形成され設計されたものである。すなわち図７に示されているように、それらの溝４１内に配置されたファイバ２１がその周囲面２１２で溝４１の側方制限面４１１と接触し、補助支持体４の平坦な表面４３から突出するように構成されている。補助支持体４の溝４１を支持体３の１つの平面内に配置された溝３１と、以下のように重ね合わせることができる。すなわち、各ファイバ２１が支持体３における対応づけられた溝３１においてその周囲面２１２で溝３１に突入して、その溝３１の側方制限面３１１と接触するようにして行える。この場合、補助支持体４を支持体３と同一に形成することができ、別のトレンチ５１において大きい方の支持体から分離されたその支持体の１つのセクションとすることができる。相応に、補助支持体４が接着剤を取り込むためのトレンチ５０を有するように構成することもできる。補助支持体４上でファイバ２１をまえもって別個に組み立てることによって生産量が高まり、さらにファイバ２１を両側で固定できるようになる。すべての溝３１，４１，６１を、ならびに別のトレンチ５１も、それらがそれぞれ斜めに角度をなして互いに配置されて向き合っている側方制限面３１１，４１１，６１１ないし５１１を有するように構成するのが有利である。このような制限面はたとえば、シリコンにおける選択性エッチングにより溝を形成することで得られる。したがって、支持体３がシリコンから成ると有利であり、他方、モジュール１は電気光学的な材料たとえばＩｎＰから成る基板を有するのが有利である。互いに斜めに角度をなして配置されている側方制限面を備えた溝は、Ｖ字形またはＵ字形とすることができる。シリコンから成り、Ｖ字形またはＵ字形の溝３１ないし４１および別のトレンチ５１を異方性エッチングにより形成するようにした、本発明による結合装置のための支持体３ないし補助支持体４の実施例を実現するにあたり、溝３１ないし４１は約１５３μｍの開口幅ｓと約１０８μｍ深さｔ₁ を有するようにし、別のトレンチは約１５０μｍの深さｔ₃を有するようにした。また、鋸引きされたトレンチ５０は約１３０μｍの深さｔ₂を有するようにした。さらにファイバ２１には、コア２１５（図４参照）の直径が典型的には３〜８μｍでありクラッド２１２の直径が典型的には約１００〜１５０μｍである周知の単一モードのグラスファイバを用いた。取り付けるべきファイバ２１は通常、保護外被２５で覆われている。この保護外被２５は、溝３１の領域ではファイバ２１から取り除かれている。保護外被２５の除かれた脆いファイバ２１に対し機械的に負荷が加わらないようにする目的で、溝３１においてモジュール１とは反対側に、保護外被２５で被覆されたファイバ２１を収容し固定するための槽状の凹部３２が設けられており、これは溝３１と交差して延在しており、その中に保護外被２５を配置したとえば接着剤で固定することができる。実現された実施例では、この凹部３２は約１５０μｍの深さを有するものであった。溝３１，４１または６１の選択性エッチングにおいて、ストリップ状の縦長のマスクがシリコンの結晶軸に対して平行に位置していない場合には、溝３１の実例として図８ａに示されているように、長い溝の選択性エッチングにおいて幅が広がる可能性がある。幅Ｓ₁ であり長さＬのマスク８は、支持体３における表面３３の選択性エッチングによりシリコンから溝３１が形成される方向ｒに対し、角度αをなしている。この溝３１の開口幅ｓは、方向ｒに対し垂直に測定されたマスク８の左下の角８１と右上の角８３との間の間隔により規定されている。マスク８の長さＬが長くなればなるほど、生じる溝３１の幅ｓは大きくなる。溝３１の幅ｓを小さく抑えるために、マスク８を用いるのではなく図８ｂに示されているような１つまたは複数の分断されたマスクを用いる。そのようなマスクは、中央軸３８の方向で互いに間隔ｅをおいて配置されたマスクセクション８₁ ，８₂，８₃，８₄，８₅により構成されている。これらのマスクセクション８₁〜８₅の各々によって溝セクション３１₁、３₁１₂、３１₃、３１₄、３１₅が生成され、これはマスクセクションの長さｌが短いため、図８ａに示された長いマスク８により生成された溝３１よりも狭い幅ｓを有している。生成された溝セクション３１₁〜３１₅は、方向ｒで相前後して側方が互いに平行にずらされて配置されていて、方向ｒに対し角度αを成して延在しているマスクセクション８₁〜８₅の中央軸３８上にそれぞれ配置されている。隣り合うマスクセクション８₁と８₂ないし８₂と８₃ないし８₃と８₄ないし８₄と８₅は、溝セクションと交差して延在するウェブ８₁₂ ，８₂₃，８₃₄ないし８₄₅によりそれぞれ分離されている。ファイバ２１を挿入できるようにする目的で、隣り合う溝セクション８₁と８₂ないし８₂と８₃ないし８₃ と８₄ないし８₄と８₅は、それらの間に位置し方向ｒおよび軸３８と交差して延在するトレンチ状の凹部３９により互いに分離され、その際、それらの凹部３９によりウェブ８₁₂，８₂₃，８₃₄ないし８₄₅が取り除かれ、それらは図８ｂに破線で示されている。このようなトレンチ状の凹部３９は鋸引きによって形成できる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者マインラートシーンレドイツ連邦共和国Ｄ−81735 ミュンヘンシュトレーレランガー 13 (72)発明者マルティンホンスベルクドイツ連邦共和国Ｄ−83359 フーフシュラークゲオルギシュトラーセ 26 (72)発明者グスタフミュラードイツ連邦共和国Ｄ−80993 ミュンヘンフェルトモヒンガーシュトラーセ 41 デー

Claims

【特許請求の範囲】１．ＯＥＩＣモジュール（１）の光学的入力側および／または出力側（１１）と光ファイバ（２１）の端面（２１０）を自動調心により光学的に相互結合するための結合装置において、前記ＯＥＩＣモジュール（１）の入力側および／または出力側（１１）は、該ＯＥＩＣモジュール（１）の少なくとも１つの平坦な端部面（１２）内で１つの直線（１２０）上に並置されており、前記ファイバ（２１）は支持体（３）上で溝（３１）内に配置されて保持されており、前記入力側および／または出力側（１１）に個別に対応づけられている前記ファイバ（２１）の端面（２１０）は、同じ配向で１つの共通の平面（２２）内において１つの直線（２２０）上に並置されており、前記ＯＥＩＣモジュール（１）は、該モジュールの端部面（１２）に対し垂直かつ前記入力側および／または出力側（１１）の直線（１２０）に対し平行な載置面（１３）を有しており、前記支持体（３）は前記端面（２１０）の前の領域（３５）に、該端面（２１０）の平面（２２）に対し垂直かつ該端面の直線（２２０）に対し平行な支承面（３３）を有しており、該支承面（３３）は、前記ＯＥＩＣモジュール（１）の載置面（１３）が該支承面（３３）上に平坦に載置され前記モジュール（１）の端部面（１２）が前記端面（２１０）に平面（２２）対し平行に対置するよう、該ＯＥＩＣモジュール（１）を配置させるために設けられており、前記入力側および／または出力側（１１）の直線（１２０）と前記ＯＥＩＣモジュール（１）の載置面（１３）との垂直方向の間隔（ａ）は、前記端面（２１０）の直線（２２０）と前記支持体（３）の支承面（３３）との垂直方向の間隔（ｂ）と等しく、ストッパ装置（３１１，１３１）が設けられており、該ストッパ装置（３１１，１３１）により、互いに対応づけられた端面（２１０）と入力側および／または出力側（１１）とが対向する個所で、載置面（１３）により前記支承面（３３）上に平坦に載置されているＯＥＩＣモジュール（１）と前記支持体（３）との間において、前記入力側および／または出力側（１１）と前記端面（２１０）の直線（１２０，２２０）の方向で生じる相対的なずれが制限されることを特徴とする、ＯＥＩＣモジュールの光学的入力側および／または出力側と光ファイバの端面を自動調心により光学的に相互結合するための結合装置。２．前記支承面（３３）は、支持体（３）の凹部（３６）により互いに分離された２つの支承面セクション（３３０）を有しており、該支承面セクションは前記ＯＥＩＣモジュール（１）の互いに対向する各端部面（１２）に対応づけられており、一方の端部面（１２）と隣接する前記ＯＥＩＣモジュール（１）の載置面（１３）のセクションは一方の支承面セクション上に平坦に載置されており、対向する端部面（１２）と隣接する載置面（１３）のセクションは他方の支承面セクション上に平坦に載置されている、請求項１記載の結合装置。３．前記ストッパ装置（３１１，１３１）は、前記支承面（３３）に形成された溝（３１，６１）の側方制限面（３１１，６１１）と、前記ＯＥＩＣモジュール（１）の載置面（１３）上に形成され前記溝（３１、６１）内に配置される突出部（１３１）とから成り、入力側および／または出力側（１１）と端面（２１０）の直線（１２０，２２０）の方向におけるＯＥＩＣモジュール（１）と支持体（３）の相対的なずれにより、前記の制限面（３１１，６１１）と突出部（１３１）とが互いに接触するようになる、請求項１または２記載の結合装置。４．補助支持体（４）の溝（４１）内にファイバ（２１）が配置されて固定されており、該溝（４１）は前記補助支持体（４）の平坦な表面（４３）に、該溝（４１）内に配置されたファイバ（２１）がその周囲面（２１２）で該溝（４１）の側方制限面（４１１）と接触し補助支持体（４）の平坦な表面から突出するよう、設計されて形成されており、前記補助支持体（４）の溝（４１）は１つの平面内に配置された前記支持体（３）の溝（３１）と重ね合わせられ、各ファイバ（２１）が前記支持体（３）の対応づけられた溝（３１）においてその周囲面（２１２）で該溝（３１）へ突出し、該溝（３１）の側方制限面（３１１）と接触するよう重ね合わせられる、請求項１〜３のいずれか１項記載の結合装置。５．溝（３１，４１，６１）は、斜めに角度を成して互いに配置された対向する側方制限面（３１１，４１１，６１１）を有している、請求項１〜４のいずれか１項記載の結合装置。６．ＯＥＩＣモジュール（１）の光学的入力側および／または出力側（１１）と光ファイバ（２１）の端面（２１０）とを光学的に相互結合するための結合装置において、前記ＯＥＩＣモジュール（１）の入力側および／または出力側（１１）は、該ＯＥＩＣモジュール（１）の少なくとも１つの平坦な端部面（１２）内で１つの直線（１２０）上に並置されており、前記ファイバ（２１）は支持体（３）上に配置されて保持されており、前記入力側および／または出力側（１１）に個別に対応づけられている該ファイバ（２１）の端面（２１０）は、同じ配向で１つの共通な面（２２）において１つの直線（２２０）上に並置されており、前記ＯＥＩＣモジュール（１）は、互いに対応づけられた端面（２１０）と入力側および／または出力側（１１）が対向して位置するよう、前記支持体（３）上に配置されており、前記支持体（３）は前記ＯＥＩＣモジュール（１）の領域で、該ＯＥＩＣモジュール（１）とは反対側の支持体（３）の背面（３４）まで延在する貫通開口部（３７）を有しており、該貫通開口部（３７）を通して前記背面（３４）からＯＥＩＣモジュール（１）の接触接続が行われることを特徴とする、ＯＥＩＣモジュールの光学的入力側および／または出力側と光ファイバの端面とを光学的に相互結合するための結合装置。７．支持体において、該支持体（３，４）の１つの平面内に互いに隣り合って延在する１つまたは複数の溝（３１，４１）が形成されており、該溝にファイバ（２１）が配置されて固定され、表面（３３，４３）に前記溝（３１，４１）を横切って分断するトレンチ（５０）が形成されており、該トレンチ（５０）は前記溝（３１，４１）にファイバ（２１）を固定する接着剤（６０）を取り込むために設けられており、前記トレンチ（５０）は、前記溝（３１，４１）よりも深い深さまで前記表面（３３，４３）から延在していることを特徴とする、支持体。８．前記トレンチ（５０）は鋸引きにより形成されたトレンチである、請求項７記載の支持体。９．前記表面（３３，４３）に、隣り合う溝（３１，４１）の間において前記トレンチ（５０）と交差して延在する別のトレンチ（５１）が形成されており、該別のトレンチ（５１）に前記トレンチ（５０）が連通しており、該別のトレンチ（５１）は前記トレンチ（５０）よりも深い深さまで前記表面（３，４３）から延在している、請求項７または８記載の支持体。 10．前記別のトレンチ（５１）は、溝の形で斜めに角度を成して対置された対向する側方制限面（５１１）により形成されている、請求項８記載の支持体。 11．前記表面（３３，４３）に前記溝（３１，４１）を横切って延在する槽状の凹部（３２）が形成されており、該凹部（３２）は、保護外被（２５）により被覆されたファイバ（２１）を収容して固定するために設けられており、前記保護外被（２５）は前記溝（３１，４１）の領域ではファイバから除去されている、請求項７〜１０のいずれか１項記載の支持体。 12．支持体において、該支持体（３，４）の１つの平坦な表面（３３，４３）内に隣り合って延在する２つまたはそれ以上の溝（３１，４１）が形成されており、該溝内にファイバ（２１）が配置されて固定され、溝（３１，４１）は、所定の方向（ｒ）に配向され該方向（ｒ）で相前後して側方に互いに平行にずらされて配置された２つまたはそれ以上の溝セクション（３１₁，３１₂，３１₃）から成り、該溝セクションは、前記所定の方向（ｒ）に対し角度（α）を成して延在する１つの直線（３８）上に配置されていることを特徴とする、支持体。 13．隣り合う溝セクション（３１₁，３１₂，３１₃）は、それらの間に位置し前記の所定の方向（ｒ）および直線（３８）を横切って延在するトレンチ状の凹部（３９）により互いに分離されている、請求項１２記載の支持体。 14．トレンチ状の凹部（３９）は鋸引きにより形成されたトレンチから成る、請求項１３記載の支持体。