JPH06169135A - 矩形状光部品の位置決め構造 - Google Patents
矩形状光部品の位置決め構造Info
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- JPH06169135A JPH06169135A JP4320823A JP32082392A JPH06169135A JP H06169135 A JPH06169135 A JP H06169135A JP 4320823 A JP4320823 A JP 4320823A JP 32082392 A JP32082392 A JP 32082392A JP H06169135 A JPH06169135 A JP H06169135A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡易かつ高精度に位置決めが行える矩形状光
部品の位置決め構造を提供する。 【構成】 ＬＤチップ等の矩形状光部品１１には複数の
突起部１１ａが形成されており、ベース板１２には平行
なＶ溝１２ａが形成されている。これら各突起部１１ａ
がベース板１２に形成された各Ｖ溝１２ａに係合させら
れることにより、矩形状光部品１１のベース板１２に対
する相対位置は自ずと定まる。
部品の位置決め構造を提供する。 【構成】 ＬＤチップ等の矩形状光部品１１には複数の
突起部１１ａが形成されており、ベース板１２には平行
なＶ溝１２ａが形成されている。これら各突起部１１ａ
がベース板１２に形成された各Ｖ溝１２ａに係合させら
れることにより、矩形状光部品１１のベース板１２に対
する相対位置は自ずと定まる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は矩形状の光部品が基板に
対して所定位置に位置決めされる矩形状光部品の位置決
め構造に関するものである。
対して所定位置に位置決めされる矩形状光部品の位置決
め構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバや球レンズといった円柱状、
球状の光部品は、従来、基板に対して次のように位置決
めされていた。つまり、図１３（ａ）に示すように、ベ
ース板１に断面がＶ字状のＶ溝１ａが形成され、このＶ
溝１ａに球状光部品２が係合されることにより、ベース
板１に対する球状光部品２の位置が定められていた。
球状の光部品は、従来、基板に対して次のように位置決
めされていた。つまり、図１３（ａ）に示すように、ベ
ース板１に断面がＶ字状のＶ溝１ａが形成され、このＶ
溝１ａに球状光部品２が係合されることにより、ベース
板１に対する球状光部品２の位置が定められていた。
【０００３】また、半導体レーザ（ＬＤ）チップ、ホト
ダイオード（ＰＤ）チップや導波路基板のような矩形状
の光部品は、従来、同図（ｂ）に示すように位置決めさ
れていた。つまり、球状光部品の場合と同様にベース板
３にＶ溝３ａが形成され、このＶ溝３ａの側壁に矩形状
光部品４の両下端部が当接されることにより、ベース板
３に対する矩形状光部品４の位置が定められていた。ま
た、同図（ｃ）に示すように、ベース板５に断面が台形
状の台形溝５ａが形成され、この台形溝５ａの底部に矩
形状光部品４が嵌め込まれることによっても、ベース板
５に対する矩形状光部品４の位置が定められていた。
ダイオード（ＰＤ）チップや導波路基板のような矩形状
の光部品は、従来、同図（ｂ）に示すように位置決めさ
れていた。つまり、球状光部品の場合と同様にベース板
３にＶ溝３ａが形成され、このＶ溝３ａの側壁に矩形状
光部品４の両下端部が当接されることにより、ベース板
３に対する矩形状光部品４の位置が定められていた。ま
た、同図（ｃ）に示すように、ベース板５に断面が台形
状の台形溝５ａが形成され、この台形溝５ａの底部に矩
形状光部品４が嵌め込まれることによっても、ベース板
５に対する矩形状光部品４の位置が定められていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、同図
（ｂ）に示す矩形状光部品の位置決め構造においては、
矩形状光部品４の底面がベース板３の底面に平行になる
ように、言い換えれば、矩形状光部品４の両下端部がＶ
溝３ａの各側壁に接する高さが等しくなるように、矩形
状光部品４をベース板３に当接させる必要がある。矩形
状光部品４の両下端部が異なる高さでＶ溝３ａの各側壁
に接すると、矩形状光部品４の底面はベース板３の底面
に対して傾いてしまい、例えば、このベース板３上に搭
載される他の光部品との光結合が不完全に行われたりす
る。すなわち、上記従来の位置決め構造においては、矩
形状光部品４の各側壁に対する当接位置の調整に手間が
かかり、簡易にかつ精度良く位置決めを行えなかった。
（ｂ）に示す矩形状光部品の位置決め構造においては、
矩形状光部品４の底面がベース板３の底面に平行になる
ように、言い換えれば、矩形状光部品４の両下端部がＶ
溝３ａの各側壁に接する高さが等しくなるように、矩形
状光部品４をベース板３に当接させる必要がある。矩形
状光部品４の両下端部が異なる高さでＶ溝３ａの各側壁
に接すると、矩形状光部品４の底面はベース板３の底面
に対して傾いてしまい、例えば、このベース板３上に搭
載される他の光部品との光結合が不完全に行われたりす
る。すなわち、上記従来の位置決め構造においては、矩
形状光部品４の各側壁に対する当接位置の調整に手間が
かかり、簡易にかつ精度良く位置決めを行えなかった。
【０００５】また、同図（ｃ）に示す矩形状光部品の位
置決め構造においては、矩形状光部品４の厚さが異なる
と、ベース板５に形成する台形溝５ａの底部の深さをそ
の厚さに合わせて調整する必要があった。
置決め構造においては、矩形状光部品４の厚さが異なる
と、ベース板５に形成する台形溝５ａの底部の深さをそ
の厚さに合わせて調整する必要があった。
【０００６】また、上記従来のいずれの位置決め構造に
おいても、矩形状光部品の外形寸法の加工精度は、球状
光部品の光ファイバ径や球レンズ径といった外形寸法精
度よりも悪い。従って、ベース板の溝深さが精度良く形
成されても、矩形状光部品の外形寸法精度の悪さのた
め、矩形状光部品のベース板に対する垂直位置は精度よ
く定まらなかった。
おいても、矩形状光部品の外形寸法の加工精度は、球状
光部品の光ファイバ径や球レンズ径といった外形寸法精
度よりも悪い。従って、ベース板の溝深さが精度良く形
成されても、矩形状光部品の外形寸法精度の悪さのた
め、矩形状光部品のベース板に対する垂直位置は精度よ
く定まらなかった。
【０００７】本発明はこのような課題を解消するために
なされたもので、矩形状光部品が基板に対して所定位置
に簡易かつ高精度に位置決めされる矩形状光部品の位置
決め構造を提供することを目的とする。
なされたもので、矩形状光部品が基板に対して所定位置
に簡易かつ高精度に位置決めされる矩形状光部品の位置
決め構造を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、矩形状の光部
品が基板に対して所定位置に位置決めされる矩形状光部
品の位置決め構造において、基板に複数の溝が形成さ
れ、矩形状の光部品に複数の突起部が形成され、これら
各突起部が基板に形成された各溝に係合させられて矩形
状の光部品が基板に対して位置決めされているものであ
る。
品が基板に対して所定位置に位置決めされる矩形状光部
品の位置決め構造において、基板に複数の溝が形成さ
れ、矩形状の光部品に複数の突起部が形成され、これら
各突起部が基板に形成された各溝に係合させられて矩形
状の光部品が基板に対して位置決めされているものであ
る。
【０００９】また、上記の位置決め構造において、基板
に形成される溝は断面がＶ字状または台形状に形成さ
れ、矩形状の光部品に形成される突起部は断面が四角形
に形成されているものである。
に形成される溝は断面がＶ字状または台形状に形成さ
れ、矩形状の光部品に形成される突起部は断面が四角形
に形成されているものである。
【００１０】また、矩形状の光部品が基板に対して所定
位置に位置決めされる矩形状光部品の位置決め構造にお
いて、基板に複数の溝が形成され、矩形状の光部品に複
数の溝が形成され、基板に形成された各溝および矩形状
の光部品に形成された各溝に球または円柱状のピンが係
合させられて矩形状の光部品が基板に対して位置決めさ
れているものである。
位置に位置決めされる矩形状光部品の位置決め構造にお
いて、基板に複数の溝が形成され、矩形状の光部品に複
数の溝が形成され、基板に形成された各溝および矩形状
の光部品に形成された各溝に球または円柱状のピンが係
合させられて矩形状の光部品が基板に対して位置決めさ
れているものである。
【００１１】また、上記の位置決め構造において、基板
に形成される各溝および矩形状の光部品に形成される各
溝は、断面がＶ字状または台形状に形成されているもの
である。
に形成される各溝および矩形状の光部品に形成される各
溝は、断面がＶ字状または台形状に形成されているもの
である。
【００１２】また、上記の位置決め構造において、基板
に形成される各溝は断面がＶ字状または台形状に形成さ
れ、矩形状の光部品に形成される各溝は、錐状または頭
部が裁断された錐状に掘られているものである。
に形成される各溝は断面がＶ字状または台形状に形成さ
れ、矩形状の光部品に形成される各溝は、錐状または頭
部が裁断された錐状に掘られているものである。
【００１３】
【作用】矩形状光部品に形成された各突起部は基板に形
成された各溝に複数箇所で係合するため、突起部の高さ
および溝の深さが定まれば、矩形状光部品の基板に対す
る位置調整は何等必要とされず、矩形状光部品の基板に
対する相対位置は自ずと定まる。同様に、矩形状光部品
に形成された各溝および基板に形成された各溝は球また
は円柱状ピンを介して複数箇所で位置決めされるため、
溝の深さおよび球または円柱状ピンの径が定まれば、矩
形状光部品の基板に対する位置調整は何等必要とされ
ず、矩形状光部品の基板に対する相対位置は自ずと定ま
る。
成された各溝に複数箇所で係合するため、突起部の高さ
および溝の深さが定まれば、矩形状光部品の基板に対す
る位置調整は何等必要とされず、矩形状光部品の基板に
対する相対位置は自ずと定まる。同様に、矩形状光部品
に形成された各溝および基板に形成された各溝は球また
は円柱状ピンを介して複数箇所で位置決めされるため、
溝の深さおよび球または円柱状ピンの径が定まれば、矩
形状光部品の基板に対する位置調整は何等必要とされ
ず、矩形状光部品の基板に対する相対位置は自ずと定ま
る。
【００１４】また、突起部の高さおよび溝の深さが所定
値に設定されれば、または、溝の深さおよび球もしくは
円柱状ピンの径が所定値に設定されれば、矩形状光部品
の厚さにかかわらず矩形状光部品の基板に対する相対位
置は定まる。従って、基板に搭載される他の光部品とこ
の矩形状光部品とは、上記各部の寸法を所定値に設定す
れば、基板表面において簡易に垂直位置が合わせられ
る。
値に設定されれば、または、溝の深さおよび球もしくは
円柱状ピンの径が所定値に設定されれば、矩形状光部品
の厚さにかかわらず矩形状光部品の基板に対する相対位
置は定まる。従って、基板に搭載される他の光部品とこ
の矩形状光部品とは、上記各部の寸法を所定値に設定す
れば、基板表面において簡易に垂直位置が合わせられ
る。
【００１５】また、球もしくは円柱状ピンを用いる位置
決め構造においては、球もしくは円柱状ピンの径を変え
ることにより、自在に垂直位置が変更される。
決め構造においては、球もしくは円柱状ピンの径を変え
ることにより、自在に垂直位置が変更される。
【００１６】また、突起部の高さ，溝の深さおよび球も
しくは円柱状ピンの径は基板の厚さに比較して精度良く
加工される。
しくは円柱状ピンの径は基板の厚さに比較して精度良く
加工される。
【００１７】
【実施例】図１は本発明の第１の実施例による矩形状光
部品の位置決め構造を示す斜視図である。
部品の位置決め構造を示す斜視図である。
【００１８】矩形状光部品１１には断面が四角形の突起
部１１ａが四箇所に形成されており、ベース板１２には
断面がＶ字状のＶ溝１２ａが線状に形成されている。各
Ｖ溝１２ａは平行になっており、矩形状光部品１１の突
起部１１ａはそれぞれ各Ｖ溝１２ａに対向する位置に形
成されている。ベース板１２はステンレス材料またはシ
リコン（Ｓｉ）材料からなり、各Ｖ溝１２ａは機械加工
またはＳｉ材料のエッチング異方性を用いて形成されて
いる。矩形状光部品１１は例えば以下の製造プロセスを
経て形成される。
部１１ａが四箇所に形成されており、ベース板１２には
断面がＶ字状のＶ溝１２ａが線状に形成されている。各
Ｖ溝１２ａは平行になっており、矩形状光部品１１の突
起部１１ａはそれぞれ各Ｖ溝１２ａに対向する位置に形
成されている。ベース板１２はステンレス材料またはシ
リコン（Ｓｉ）材料からなり、各Ｖ溝１２ａは機械加工
またはＳｉ材料のエッチング異方性を用いて形成されて
いる。矩形状光部品１１は例えば以下の製造プロセスを
経て形成される。
【００１９】まず、Ｓｉ基板１１１上にアンダークラッ
ド層１１２が形成され（図２（ａ）参照）、このアンダ
ークラッド層１１２上にコア層１１３が形成される（同
図（ｂ）参照）。次に、コア層１１３上にオーバークラ
ッド層１１４が形成され（同図（ｃ）参照）、このオー
バークラッド層１１４の上層部が例えば反応性イオンエ
ッチング（ＲＩＥ）によってパターニングされ、突起部
１１ａが形成される（同図（ｄ）参照）。図３はこのよ
うに形成された矩形状光部品１１を示しており、同図
（ａ）は平面図，同図（ｂ）は側面図を表している。各
突起部１１ａの高さは等しく形成されている。
ド層１１２が形成され（図２（ａ）参照）、このアンダ
ークラッド層１１２上にコア層１１３が形成される（同
図（ｂ）参照）。次に、コア層１１３上にオーバークラ
ッド層１１４が形成され（同図（ｃ）参照）、このオー
バークラッド層１１４の上層部が例えば反応性イオンエ
ッチング（ＲＩＥ）によってパターニングされ、突起部
１１ａが形成される（同図（ｄ）参照）。図３はこのよ
うに形成された矩形状光部品１１を示しており、同図
（ａ）は平面図，同図（ｂ）は側面図を表している。各
突起部１１ａの高さは等しく形成されている。
【００２０】このような構成において、矩形状光部品１
１の各突起部１１ａがベース板１２の各Ｖ溝１２ａに係
合され、矩形状光部品１１が図４に示すようにベース板
１２上に載置されることにより、矩形状光部品１１のベ
ース板１２に対する相対位置は自ずと定まる。すなわ
ち、本実施例においては、矩形状光部品１１に形成され
た各突起部１１ａはベース板１２に形成された各Ｖ溝１
２ａに４箇所で係合するため、突起部１１ａの高さおよ
び溝１２ａの深さが定まれば、従来のように矩形状光部
品１１のベース板１２に対する位置調整は何等必要とさ
れず、矩形状光部品１１のベース板１２に対する相対位
置は自ずと定まる。
１の各突起部１１ａがベース板１２の各Ｖ溝１２ａに係
合され、矩形状光部品１１が図４に示すようにベース板
１２上に載置されることにより、矩形状光部品１１のベ
ース板１２に対する相対位置は自ずと定まる。すなわ
ち、本実施例においては、矩形状光部品１１に形成され
た各突起部１１ａはベース板１２に形成された各Ｖ溝１
２ａに４箇所で係合するため、突起部１１ａの高さおよ
び溝１２ａの深さが定まれば、従来のように矩形状光部
品１１のベース板１２に対する位置調整は何等必要とさ
れず、矩形状光部品１１のベース板１２に対する相対位
置は自ずと定まる。
【００２１】また、突起部１１ａの高さおよび溝１２ａ
の深さが所定値に設定されれば、矩形状光部品１１の厚
さｔにかかわらず矩形状光部品１１のベース板１２に対
する相対位置は定まる。従って、ベース板１２に搭載さ
れる他の光部品とこの矩形状光部品１１とは、上記各部
の寸法を所定値に設定すれば、ベース板１２の表面にお
いて簡易に垂直位置が合わせられる。
の深さが所定値に設定されれば、矩形状光部品１１の厚
さｔにかかわらず矩形状光部品１１のベース板１２に対
する相対位置は定まる。従って、ベース板１２に搭載さ
れる他の光部品とこの矩形状光部品１１とは、上記各部
の寸法を所定値に設定すれば、ベース板１２の表面にお
いて簡易に垂直位置が合わせられる。
【００２２】また、突起部１１ａの高さの精度はエッチ
ング精度により、溝１２ａの深さは機械加工精度または
エッチング精度によって定まるため、光部品の厚みによ
って位置決め精度が定まる従来の位置決め構造に比較
し、本実施例による位置決め構造においては極めて精度
良く位置決めが行える。
ング精度により、溝１２ａの深さは機械加工精度または
エッチング精度によって定まるため、光部品の厚みによ
って位置決め精度が定まる従来の位置決め構造に比較
し、本実施例による位置決め構造においては極めて精度
良く位置決めが行える。
【００２３】また、上記第１実施例の説明においては、
矩形状光部品１１の４箇所に突起部１１ａを設けた構造
について説明したが、図５に示すように、ベース板１２
のＶ溝１２ａに対応する位置に長細い突起部１１ｂを設
けても良い。なお、同図において、図１と同一部分につ
いては同符号を用いてその説明は省略する。この突起部
１１ｂは、図２に示される製造プロセスの最終工程にお
いて、オーバークラッド層１１４層の上層部をエッチン
グするためのパターン形状を変更することによって形成
される。図６はこのようにして形成された矩形状光部品
１１を示し、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面図
を表している。等しい高さの各突起部１１ｂは断面がそ
れぞれ四角形になっており、Ｖ溝１２ａに対応して平行
に形成されている。矩形状光部品１１にこのような突起
部１１ｂを設けることによっても、上記実施例と同様な
効果が奏される。
矩形状光部品１１の４箇所に突起部１１ａを設けた構造
について説明したが、図５に示すように、ベース板１２
のＶ溝１２ａに対応する位置に長細い突起部１１ｂを設
けても良い。なお、同図において、図１と同一部分につ
いては同符号を用いてその説明は省略する。この突起部
１１ｂは、図２に示される製造プロセスの最終工程にお
いて、オーバークラッド層１１４層の上層部をエッチン
グするためのパターン形状を変更することによって形成
される。図６はこのようにして形成された矩形状光部品
１１を示し、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は側面図
を表している。等しい高さの各突起部１１ｂは断面がそ
れぞれ四角形になっており、Ｖ溝１２ａに対応して平行
に形成されている。矩形状光部品１１にこのような突起
部１１ｂを設けることによっても、上記実施例と同様な
効果が奏される。
【００２４】なお、上記実施例では突起部１１ａ，１１
ｂをＲＩＥによって形成したが、蒸着等によって形成し
てもよく、上記実施例と同様な効果が奏される。また、
ベース板１２に形成する溝１２ａは上記実施例では断面
がＶ字状の場合について説明したが、断面が台形状でも
よく、上記実施例と同様な効果が奏される。
ｂをＲＩＥによって形成したが、蒸着等によって形成し
てもよく、上記実施例と同様な効果が奏される。また、
ベース板１２に形成する溝１２ａは上記実施例では断面
がＶ字状の場合について説明したが、断面が台形状でも
よく、上記実施例と同様な効果が奏される。
【００２５】次に、本発明の第２の実施例による矩形状
光部品の位置決め構造について図７の斜視図を参照して
説明する。
光部品の位置決め構造について図７の斜視図を参照して
説明する。
【００２６】矩形状光部品２１には断面がＶ字状のＶ溝
２１ａが線状に形成されており、ベース板２２にも同様
に断面がＶ字状のＶ溝２２ａが線状に形成されている。
各Ｖ溝２１ａ，２２ａは等しい間隔でそれぞれ平行にな
っており、矩形状光部品２１の各溝２１ａおよびベース
板２２の各溝２２ａは相互に対向する位置に形成されて
いる。ベース板２２は上記第１実施例と同様にステンレ
ス材料またはシリコン（Ｓｉ）材料からなり、各Ｖ溝２
２ａは機械加工またはＳｉ材料のエッチング異方性を用
いて形成されている。矩形状光部品２１は例えば以下の
製造プロセスを経て形成される。
２１ａが線状に形成されており、ベース板２２にも同様
に断面がＶ字状のＶ溝２２ａが線状に形成されている。
各Ｖ溝２１ａ，２２ａは等しい間隔でそれぞれ平行にな
っており、矩形状光部品２１の各溝２１ａおよびベース
板２２の各溝２２ａは相互に対向する位置に形成されて
いる。ベース板２２は上記第１実施例と同様にステンレ
ス材料またはシリコン（Ｓｉ）材料からなり、各Ｖ溝２
２ａは機械加工またはＳｉ材料のエッチング異方性を用
いて形成されている。矩形状光部品２１は例えば以下の
製造プロセスを経て形成される。
【００２７】まず、Ｓｉ基板２１１上にアンダークラッ
ド層２１２が形成され（図８（ａ）参照）、このアンダ
ークラッド層２１２上にコア層２１３が形成される（同
図（ｂ）参照）。次に、コア層２１３上にオーバークラ
ッド層２１４が形成され（同図（ｃ）参照）、このオー
バークラッド層２１４の上層部が例えばＲＩＥによって
パターニングされ、断面がＶ字状の溝２１ａが形成され
る（同図（ｄ）参照）。図９はこのようにして形成され
た矩形状光部品２１を示しており、同図（ａ）は平面
図，同図（ｂ）は矢示断面図を表している。各溝２１ａ
の深さは等しく形成されている。
ド層２１２が形成され（図８（ａ）参照）、このアンダ
ークラッド層２１２上にコア層２１３が形成される（同
図（ｂ）参照）。次に、コア層２１３上にオーバークラ
ッド層２１４が形成され（同図（ｃ）参照）、このオー
バークラッド層２１４の上層部が例えばＲＩＥによって
パターニングされ、断面がＶ字状の溝２１ａが形成され
る（同図（ｄ）参照）。図９はこのようにして形成され
た矩形状光部品２１を示しており、同図（ａ）は平面
図，同図（ｂ）は矢示断面図を表している。各溝２１ａ
の深さは等しく形成されている。
【００２８】このような構成において、矩形状光部品２
１に形成された平行な各Ｖ溝２１ａおよびベース板２２
に形成された平行な各Ｖ溝２２ａ間に径の等しい円柱状
のガイドピン２３が係合され、矩形状光部品２１が図１
０に示すようにベース板２２上に載置されることによ
り、矩形状光部品２１のベース板２２に対する相対位置
は自ずと定まる。すなわち、本実施例においては、矩形
状光部品２１に形成された各Ｖ溝２１ａおよびベース板
２２に形成された各Ｖ溝２２ａはガイドピン２３を介し
て２箇所で位置決めされるため、Ｖ溝２１ａ，２２ａの
深さおよびガイドピン２３の径が定まれば、矩形状光部
品２１のベース板２２に対する位置調整は何等必要とさ
れず、矩形状光部品２１のベース板２２に対する相対位
置は自ずと定まる。
１に形成された平行な各Ｖ溝２１ａおよびベース板２２
に形成された平行な各Ｖ溝２２ａ間に径の等しい円柱状
のガイドピン２３が係合され、矩形状光部品２１が図１
０に示すようにベース板２２上に載置されることによ
り、矩形状光部品２１のベース板２２に対する相対位置
は自ずと定まる。すなわち、本実施例においては、矩形
状光部品２１に形成された各Ｖ溝２１ａおよびベース板
２２に形成された各Ｖ溝２２ａはガイドピン２３を介し
て２箇所で位置決めされるため、Ｖ溝２１ａ，２２ａの
深さおよびガイドピン２３の径が定まれば、矩形状光部
品２１のベース板２２に対する位置調整は何等必要とさ
れず、矩形状光部品２１のベース板２２に対する相対位
置は自ずと定まる。
【００２９】また、Ｖ溝２１ａ，２２ａの深さおよびガ
イドピン２３の径が所定値に設定されれば、矩形状光部
品２１の厚さｔにかかわらず矩形状光部品２１のベース
板２２に対する相対位置は定まる。従って、ベース板２
１に搭載される他の光部品とこの矩形状光部品とは、上
記各部の寸法を所定値に設定すれば、ベース板２１の表
面において簡易に垂直位置が合わせられる。
イドピン２３の径が所定値に設定されれば、矩形状光部
品２１の厚さｔにかかわらず矩形状光部品２１のベース
板２２に対する相対位置は定まる。従って、ベース板２
１に搭載される他の光部品とこの矩形状光部品とは、上
記各部の寸法を所定値に設定すれば、ベース板２１の表
面において簡易に垂直位置が合わせられる。
【００３０】また、各Ｖ溝２１ａ，２２ａの深さはエッ
チングまたは機械加工によって精度良く定まり、さら
に、ガイドピン２３の径も極めて精度良く定まるため、
光部品の厚みによって位置決め精度が定まる従来の位置
決め構造に比較し、本実施例による位置決め構造におい
ては極めて精度良く位置決めが行える。
チングまたは機械加工によって精度良く定まり、さら
に、ガイドピン２３の径も極めて精度良く定まるため、
光部品の厚みによって位置決め精度が定まる従来の位置
決め構造に比較し、本実施例による位置決め構造におい
ては極めて精度良く位置決めが行える。
【００３１】また、上記第１実施例の説明においては、
矩形状光部品２１の２箇所に線状のＶ溝２１ａを設けた
構造について説明したが、図１１に示すように、矩形状
光部品２１の平行溝２２ａに沿う４箇所に、正四角錐状
の溝２１ｂを掘って次のように構成しても良い。なお、
同図において、図７と同一部分については同符号を用い
てその説明は省略する。これら各溝２１ｂは、図８に示
される製造プロセスの最終工程において、オーバークラ
ッド層２１４の上層部をエッチングせず、Ｓｉ基板２１
１を以下のようにエッチングすることによって形成され
る。
矩形状光部品２１の２箇所に線状のＶ溝２１ａを設けた
構造について説明したが、図１１に示すように、矩形状
光部品２１の平行溝２２ａに沿う４箇所に、正四角錐状
の溝２１ｂを掘って次のように構成しても良い。なお、
同図において、図７と同一部分については同符号を用い
てその説明は省略する。これら各溝２１ｂは、図８に示
される製造プロセスの最終工程において、オーバークラ
ッド層２１４の上層部をエッチングせず、Ｓｉ基板２１
１を以下のようにエッチングすることによって形成され
る。
【００３２】つまり、オーバークラッド層２１４を形成
した後、反対側のＳｉ基板２１１を異方性エッチングす
ることによって正四角錐状の溝２２ｂが形成される。例
えば、Ｓｉ基板２１１の主表面が（１，０，０）面の場
合にＫＯＨをエッチャントに用いると、＜０，１，／１
＞方向および＜０，／１，／１＞方向は異方性エッチン
グにおいて順メサ方向になる。エッチングマスク材料に
はＳｉＯ2 またはＳｉＮが用いられ、エッチングマスク
には各溝２１ｂの頂点に対応する点を中心とする円形窓
が形成される。円形窓に露出するＳｉ基板２１１がＫＯ
Ｈ溶液に浸されると、Ｓｉ基板２１１は結晶方向によっ
てエッチング速度が異なるため、直交する上記の２方向
に順メサ状のＶ溝が形成される。この結果、円形窓の中
心に頂点がある正四角錐状の溝２１ａが掘られる。この
正四角錐の底面はＳｉ基板２１１の表面に正方形となっ
て開口し、円形窓に内接する。この正方形の一辺は＜
０，１，／１＞方向に一致し、この一辺に垂直な他の辺
の方向は＜０，／１，／１＞方向に一致する。
した後、反対側のＳｉ基板２１１を異方性エッチングす
ることによって正四角錐状の溝２２ｂが形成される。例
えば、Ｓｉ基板２１１の主表面が（１，０，０）面の場
合にＫＯＨをエッチャントに用いると、＜０，１，／１
＞方向および＜０，／１，／１＞方向は異方性エッチン
グにおいて順メサ方向になる。エッチングマスク材料に
はＳｉＯ2 またはＳｉＮが用いられ、エッチングマスク
には各溝２１ｂの頂点に対応する点を中心とする円形窓
が形成される。円形窓に露出するＳｉ基板２１１がＫＯ
Ｈ溶液に浸されると、Ｓｉ基板２１１は結晶方向によっ
てエッチング速度が異なるため、直交する上記の２方向
に順メサ状のＶ溝が形成される。この結果、円形窓の中
心に頂点がある正四角錐状の溝２１ａが掘られる。この
正四角錐の底面はＳｉ基板２１１の表面に正方形となっ
て開口し、円形窓に内接する。この正方形の一辺は＜
０，１，／１＞方向に一致し、この一辺に垂直な他の辺
の方向は＜０，／１，／１＞方向に一致する。
【００３３】図１２はこのようにして形成された矩形状
光部品を示し、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）はｂ−
ｂ線断面図、同図（ｃ）はｃ−ｃ線断面図を表してい
る。上述した正四角錐状の溝２１ｂが４箇所に形成され
ていることが理解される。
光部品を示し、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）はｂ−
ｂ線断面図、同図（ｃ）はｃ−ｃ線断面図を表してい
る。上述した正四角錐状の溝２１ｂが４箇所に形成され
ていることが理解される。
【００３４】矩形状光部品２１に形成された各溝２１ｂ
とベース板２２に形成されたＶ溝２２ａとの間にステン
レス等からなる径の等しい球２４を挟み、この球２４を
各溝２１ｂ，２２ａに係合させることにより、矩形状光
部品２１のベース板２２に対する相対位置は自ずと定ま
る。すなわち、矩形状光部品２１に形成された正四角錐
状の各溝２１ｂおよびベース板２２に形成された各Ｖ溝
２２ａは球２４を介して４箇所で位置決めされるため、
溝２１ｂ，２２ａの深さおよび球２４の径が定まれば、
矩形状光部品２１のベース板２２に対する位置調整は何
等必要とされず、矩形状光部品２１のベース板２２に対
する相対位置は自ずと定まる。また、溝２１ｂ，２２ａ
の深さおよび球２４の径が所定値に設定されれば、矩形
状光部品２１の厚さにかかわらず矩形状光部品２１のベ
ース板２２に対する相対位置は定まる。従って、ベース
板２２に搭載される他の光部品とこの矩形状光部品と
は、上記各部の寸法を所定値に設定すれば、上記の第２
実施例と同様にベース板２２の表面において簡易に垂直
位置が合わせられ、上記実施例と同様な効果が奏され
る。また、各溝２１ｂ，２２ａの深さはエッチングまた
は機械加工によって精度良く定まり、さらに、球２４の
径も極めて精度良く定まるため、光部品の厚みによって
位置決め精度が定まる従来の位置決め構造に比較し、極
めて精度良く位置決めが行える。
とベース板２２に形成されたＶ溝２２ａとの間にステン
レス等からなる径の等しい球２４を挟み、この球２４を
各溝２１ｂ，２２ａに係合させることにより、矩形状光
部品２１のベース板２２に対する相対位置は自ずと定ま
る。すなわち、矩形状光部品２１に形成された正四角錐
状の各溝２１ｂおよびベース板２２に形成された各Ｖ溝
２２ａは球２４を介して４箇所で位置決めされるため、
溝２１ｂ，２２ａの深さおよび球２４の径が定まれば、
矩形状光部品２１のベース板２２に対する位置調整は何
等必要とされず、矩形状光部品２１のベース板２２に対
する相対位置は自ずと定まる。また、溝２１ｂ，２２ａ
の深さおよび球２４の径が所定値に設定されれば、矩形
状光部品２１の厚さにかかわらず矩形状光部品２１のベ
ース板２２に対する相対位置は定まる。従って、ベース
板２２に搭載される他の光部品とこの矩形状光部品と
は、上記各部の寸法を所定値に設定すれば、上記の第２
実施例と同様にベース板２２の表面において簡易に垂直
位置が合わせられ、上記実施例と同様な効果が奏され
る。また、各溝２１ｂ，２２ａの深さはエッチングまた
は機械加工によって精度良く定まり、さらに、球２４の
径も極めて精度良く定まるため、光部品の厚みによって
位置決め精度が定まる従来の位置決め構造に比較し、極
めて精度良く位置決めが行える。
【００３５】また、上記第２実施例においては、ガイド
ピン２３もしくは球２４の径を変えることにより、自在
に矩形状光部品２１の垂直位置が変更される。従って、
ベース板２２に対する矩形状光部品２１の高さが容易に
所望値に設定でき、ベース板２２に搭載される他の光部
品の種類に対応して簡易に位置決めが行える。
ピン２３もしくは球２４の径を変えることにより、自在
に矩形状光部品２１の垂直位置が変更される。従って、
ベース板２２に対する矩形状光部品２１の高さが容易に
所望値に設定でき、ベース板２２に搭載される他の光部
品の種類に対応して簡易に位置決めが行える。
【００３６】なお、ベース板２２に形成する溝２２ａは
上記実施例では断面がＶ字状の場合について説明した
が、断面が台形状でもよく、上記実施例と同様な効果が
奏される。
上記実施例では断面がＶ字状の場合について説明した
が、断面が台形状でもよく、上記実施例と同様な効果が
奏される。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、矩
形状光部品に形成された各突起部は基板に形成された各
溝に複数箇所で係合するため、突起部の高さおよび溝の
深さが定まれば、矩形状光部品の基板に対する相対位置
は自ずと定まる。同様に、矩形状光部品に形成された各
溝および基板に形成された各溝は球または円柱状ピンを
介して複数箇所で位置決めされるため、溝の深さおよび
球または円柱状ピンの径が定まれば、矩形状光部品の基
板に対する相対位置は自ずと定まる。従って、従来必要
とされた矩形状光部品の基板に対する位置調整は何等必
要とされない。
形状光部品に形成された各突起部は基板に形成された各
溝に複数箇所で係合するため、突起部の高さおよび溝の
深さが定まれば、矩形状光部品の基板に対する相対位置
は自ずと定まる。同様に、矩形状光部品に形成された各
溝および基板に形成された各溝は球または円柱状ピンを
介して複数箇所で位置決めされるため、溝の深さおよび
球または円柱状ピンの径が定まれば、矩形状光部品の基
板に対する相対位置は自ずと定まる。従って、従来必要
とされた矩形状光部品の基板に対する位置調整は何等必
要とされない。
【００３８】また、突起部の高さおよび溝の深さが所定
値に設定されれば、または、溝の深さおよび球もしくは
円柱状ピンの径が所定値に設定されれば、矩形状光部品
の厚さにかかわらず矩形状光部品の基板に対する相対位
置は定まる。従って、基板に搭載される他の光部品とこ
の矩形状光部品とは、上記各部の寸法を所定値に設定す
れば、基板表面において簡易に垂直位置が合わせられ
る。さらに、球もしくは円柱状ピンを用いる位置決め構
造においては、球もしくは円柱状ピンの径を変えること
により、自在に垂直位置が変更される。
値に設定されれば、または、溝の深さおよび球もしくは
円柱状ピンの径が所定値に設定されれば、矩形状光部品
の厚さにかかわらず矩形状光部品の基板に対する相対位
置は定まる。従って、基板に搭載される他の光部品とこ
の矩形状光部品とは、上記各部の寸法を所定値に設定す
れば、基板表面において簡易に垂直位置が合わせられ
る。さらに、球もしくは円柱状ピンを用いる位置決め構
造においては、球もしくは円柱状ピンの径を変えること
により、自在に垂直位置が変更される。
【００３９】また、突起部の高さ，溝の深さおよび球も
しくは円柱状ピンの径は基板の厚さに比較して精度良く
加工される。従って、矩形状光部品は精度良く基板に対
して位置決めされる。
しくは円柱状ピンの径は基板の厚さに比較して精度良く
加工される。従って、矩形状光部品は精度良く基板に対
して位置決めされる。
【００４０】このため、本発明によれば、簡易かつ高精
度に位置決めが行える矩形状光部品の位置決め構造が提
供される。
度に位置決めが行える矩形状光部品の位置決め構造が提
供される。
【図１】本発明の第１の実施例による矩形状光部品の位
置決め構造の概略を示す斜視図である。
置決め構造の概略を示す斜視図である。
【図２】第１の実施例による矩形状光部品の製造工程断
面図である。
面図である。
【図３】第１の実施例による矩形状光部品を示す図であ
る。
る。
【図４】第１の実施例による矩形状光部品がベース板上
に搭載された状態を示す図である。
に搭載された状態を示す図である。
【図５】第１の実施例の変形例による矩形状光部品の位
置決め構造の概略を示す斜視図である。
置決め構造の概略を示す斜視図である。
【図６】第１の実施例の変形例による矩形状光部品を示
す図である。
す図である。
【図７】本発明の第２の実施例による矩形状光部品の位
置決め構造の概略を示す斜視図である。
置決め構造の概略を示す斜視図である。
【図８】第２の実施例による矩形状光部品の製造工程断
面図である。
面図である。
【図９】第２の実施例による矩形状光部品を示す図であ
る。
る。
【図１０】第２の実施例による矩形状光部品がベース板
上に搭載された状態を示す図である。
上に搭載された状態を示す図である。
【図１１】第２の実施例の変形例による矩形状光部品の
位置決め構造の概略を示す斜視図である。
位置決め構造の概略を示す斜視図である。
【図１２】第２の実施例の変形例による矩形状光部品を
示す図である。
示す図である。
【図１３】従来の光部品の位置決め構造を示す断面図で
ある。
ある。
１１，２１…矩形状光部品、１１ａ，１１ｂ…突起部、
２１ａ…Ｖ溝，２１ｂ…正四角錐状の溝、１２，２２…
ベース板、１２ａ，２２ａ…Ｖ溝、２３…ガイドピン、
２４…球。
２１ａ…Ｖ溝，２１ｂ…正四角錐状の溝、１２，２２…
ベース板、１２ａ，２２ａ…Ｖ溝、２３…ガイドピン、
２４…球。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 31/02 33/00 Ｍ 7376−4Ｍ
Claims (5)
- 【請求項１】 矩形状の光部品が基板に対して所定位置
に位置決めされる矩形状光部品の位置決め構造におい
て、 前記基板に複数の溝が形成され、 矩形状の前記光部品に複数の突起部が形成され、 これら各突起部が基板に形成された前記各溝に係合させ
られて矩形状の前記光部品が前記基板に対して位置決め
されていることを特徴とする矩形状光部品の位置決め構
造。 - 【請求項２】 前記基板に形成される溝は断面がＶ字状
または台形状に形成され、 矩形状の前記光部品に形成される突起部は断面が四角形
に形成されていることを特徴とする請求項１記載の矩形
状光部品の位置決め構造。 - 【請求項３】 矩形状の光部品が基板に対して所定位置
に位置決めされる矩形状光部品の位置決め構造におい
て、 前記基板に複数の溝が形成され、 矩形状の前記光部品に複数の溝が形成され、 基板に形成された前記各溝および矩形状の光部品に形成
された前記各溝に球または円柱状のピンが係合させられ
て矩形状の前記光部品が前記基板に対して位置決めされ
ていることを特徴とする矩形状光部品の位置決め構造。 - 【請求項４】 基板に形成される前記各溝および矩形状
の光部品に形成される前記各溝は、断面がＶ字状または
台形状に形成されていることを特徴とする請求項３記載
の矩形状光部品の位置決め構造。 - 【請求項５】 基板に形成される前記各溝は断面がＶ字
状または台形状に形成され、 矩形状の光部品に形成される前記各溝は、錐状または頭
部が裁断された錐状に掘られていることを特徴とする請
求項３記載の矩形状光部品の位置決め構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4320823A JPH06169135A (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | 矩形状光部品の位置決め構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4320823A JPH06169135A (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | 矩形状光部品の位置決め構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06169135A true JPH06169135A (ja) | 1994-06-14 |
Family
ID=18125637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4320823A Pending JPH06169135A (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | 矩形状光部品の位置決め構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06169135A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08139344A (ja) * | 1994-11-14 | 1996-05-31 | Nec Corp | 光半導体装置 |
| JPH10506204A (ja) * | 1994-09-26 | 1998-06-16 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | Ｏｅｉｃモジュールおよび光ファイバを光学的に相互結合するための結合装置 |
| JP2004079168A (ja) * | 1995-04-13 | 2004-03-11 | Denso Corp | 光学的記録再生装置用光学ヘッド |
| JP2006043972A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Seiko Epson Corp | ラインヘッド及びこれを備えた画像形成装置 |
| JP2008299295A (ja) * | 2007-06-04 | 2008-12-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光部品 |
| JP2013068828A (ja) * | 2011-09-22 | 2013-04-18 | Tdk Corp | レンズ駆動装置 |
| CN105834636A (zh) * | 2016-04-14 | 2016-08-10 | 哈尔滨工业大学 | 大口径曲面光学元件表面微缺陷修复用快速装夹随行夹具装置 |
-
1992
- 1992-11-30 JP JP4320823A patent/JPH06169135A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10506204A (ja) * | 1994-09-26 | 1998-06-16 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | Ｏｅｉｃモジュールおよび光ファイバを光学的に相互結合するための結合装置 |
| JPH08139344A (ja) * | 1994-11-14 | 1996-05-31 | Nec Corp | 光半導体装置 |
| JP2004079168A (ja) * | 1995-04-13 | 2004-03-11 | Denso Corp | 光学的記録再生装置用光学ヘッド |
| JP2006043972A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Seiko Epson Corp | ラインヘッド及びこれを備えた画像形成装置 |
| JP2008299295A (ja) * | 2007-06-04 | 2008-12-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光部品 |
| JP2013068828A (ja) * | 2011-09-22 | 2013-04-18 | Tdk Corp | レンズ駆動装置 |
| CN105834636A (zh) * | 2016-04-14 | 2016-08-10 | 哈尔滨工业大学 | 大口径曲面光学元件表面微缺陷修复用快速装夹随行夹具装置 |
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