KR970013495A - 섬유에 평면 도파관을 결합하는 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

섬유에 평면 도파관을 결합하는 장치 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR970013495A
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waveguide
core
shaped groove
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waveguide core
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KR1019960036952A
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Inventor
마크 안소니 카푸조
에드워드 존 라스코우스키
로날드 에드워드 스카티
조셉 슈멀로비치
Original Assignee
하만 존 엠
에이티앤드티 코포레이션(AT＆T Corp.)
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Abstract

본 발명은 섬유대 평면 도파관의 결합 장치와, 단일 마스크가 동일한 제조과정동안에 도파관 코어 및 섬유 V자형 홈을 형성 및 측방향으로 정렬하는 장치를 제조하기 위한 방법에 관한 것이다. 상기 장치는 우선 하부 피복재 층을 실리콘 웨이퍼 기재 위 또는 내에 종래의 방식으로 형성하므로써 제조되며, 그후 두 표면 사이의 차이를 최소화하도록 코어 유리 층을 그 위에 균일하게 침착한다. 그후 측방향으로 정렬된 도파관과 V자형 홈 부분을 갖는 단일 마스크는 도파관 코어를 형성하며 V자형 홈의 위치를 형성하기 위하여 코어 유리 층 패턴화에 사용된다. 다음에 V자형 홈은 종래의 에칭 기술을 사용하여 완전하게 형성된다. 상부 피복재는 도파관 코어상에 형성되며, 부분적인 톱 절취부가 결합 광섬유를 보다 잘 수용하기 위하여 도파관 코어와 V자형 홈 사이에 만들어진다. 단일 마스크가 도파관 및 V자형 홈의 위치를 형성하는데 사용되기 때문에, 정확한 측방향 정렬이 쉽게 추정된다. 또한 웨이퍼 표면과 하부 피복재 상면 사이의 수직 관계는 공지되거나 종래의 방법으로 결정될 수 있기 때문에, 도파관 코어 및 V자형 홈 내에 배치된 광섬유사이의 수직 정렬은 손상되지 않는다.

Description

섬유에 평면 도파관을 결합하는 장치 및 그 제조 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
도1은 본 발명의 한 실시예에 따른 도파관에 섬유를 결합한 장치를 부분 절단한 사시도.

Claims (3)

  1. 기재(14)의 적어도 일 부분에 하부 피복재(16)를 형성하여, 상기 하부 피복재가 상기 기재에 의해 지지되며 상기 하부 피복재는 상기 기재와 결정가능한 수직관계를 이루게 하는 형성 단계와; 상기 기재의 적어도 일 부분이 상기 하부 피복재에 의해 지지되도록 코어 층(52)을 형성하는 단계와; 마스크(56)를 사용하여 상기 코어 층의 적어도 일 부분을 패턴화하여, 도파관코어(18)을 형성하고 상기 코어 층과 광섬유(26)을 수직으로 정렬하기 위해 함께 측 방향으로 정렬된 영역(70)을 형성하는 패턴화 단계와; 상기 기재의 일 부분으로부터 상기 수직으로 정렬되어 있는 영역을 형성하여, 상기 광섬유가 상기 수직 정렬 영역에 의하여 위치되는 경우 상기 광섬유는 상기 도파관 코어와 측방향 및 수직으로 정렬되도록 결정가능한 수직 관계가 상기 수직 정렬 영역과 상기 기재 사이에 설정되는 형성 단계와; 상기 도파관 코어상에 상부 피복재(20)를 형성하여, 도파관을 형성하는 단계를 포함하는 광 장치 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 코어 층은 상기 도파관 코어와 관련된 제1영역과 상기 수직 정렬 수단과 관련된 제2영역을 구비하며; 상기 패터링 단계가, 상기 코어 층에 마스크를 위치시키는 단계와, 상기 도파관 및 V자형 홈의 위치가 형성되는 방법으로 상기 마스크에 의하여 보호되지 않는 상기 코어내의 상기 제1영역을 에칭하는 단계와, 상기 마스크에 의하여 보호되지 않는 상기 코어 층내의 상기 제2영역을 에칭하여, 상기 수직 정렬 수단의 위치는 상기 코어층에 형성되는 단계를 더 포함하는 광학 장치 제조 방법.
  3. 광섬유(26)와 함께 사용하여 광 동력을 연결하기 위한 장치에 있어서, 표면(34)을 갖는 실리콘 기재(14)와, 상기 기재의 제1측면의 적어도 일 부분에 의하여 지지되며, 상기 기재 표면에 대해 결정가능한 수직 관계를 갖는 하부 피복재(16)와, 상기 하부 피복재에 의하여 지지되는 도파관 코어(18)와, 상기 도파관 코어 및 하부 피복재를 커버하는 상부 피복재(20)와, 상기 기재의 제2측면의 적어도 일부분내에 형성된 V자형 홈(24)을 포함하며; 상기 하부 피복재, 도파관 코어 및 상부 피복재는 상기 기재의 상기 제1측면상에 도파관을 형성하며, 상기 V자형 홈은 상기 도파관과 측방향으로 정렬되며 상기 기재 표면에 대해 결정가능한 수직 관계 되어, 상기 광섬유가 상기 V자형 홈 내에 배치되는 경우 상기 광섬유는 상기 도파관 코어와 측방향 및 수직으로 정렬되는 광 동력을 연결하기 위한 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960036952A 1995-08-31 1996-08-30 섬유에 평면 도파관을 결합하는 장치 및 그 제조 방법 KR970013495A (ko)

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