JPH1043701A - 除塵装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 粘着ロール等ではシャドーマスクのμ単位の
極微小孔やプリント基板等のスルーホールに付着した塵
芥を十分に除去できない。 【解決手段】 低周波振動発生装置から発生する低周波
振動により被除塵体を振動させて、搬送体で搬送される
被除塵体又はそれに付着している塵芥を除去するように
した。低周波振動発生装置から発生した低周波空気振動
を拡散するためのホーンを低周波振動発生装置に設け
た。低周波振動発生装置の他に圧縮エアーを噴出するエ
アー装置を設けた。低周波振動発生装置からの低周波振
動により被除塵体から分離された塵芥を吸引排出するた
めの吸引装置を設けた。塵芥除去用の除塵ブラシを搬送
体の近くに設けた。低周波振動発生装置、エアー装置、
吸引装置、除塵ブラシのうち所望のものをを外部から区
画された区画室内に設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はシャドーマスク、プ
リント基板、リードフレーム、ガラス板等の生産ライン
とか加工ラインにおいて、それらに付着している塵芥を
除去するための除塵装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】シャドーマスクには数μ単位の極微小孔
が多数形成されているため、生産ラインや加工ラインに
おいて塵芥が付着するとその極微小孔が閉塞されること
がある。プリント基板、リードフレーム、ガラス板等は
生産ラインや加工ラインにおいて塵芥が付着すると、そ
れらに印刷されている文字や配線パターン等が欠けた
り、表面に傷が付いたり、その部分から錆が発生した
り、他の部品との電気的導通が不十分になったりするこ
とがある。そこで、シャドーマスクやプリント基板等に
付着した塵芥は確実に除去する必要がある。そのため従
来は回転する粘着ロールを直接、シャドーマスクやプリ
ント基板等の被除塵体に接着させて、粘着ロールに塵芥
を付着させて塵芥を除去していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記の塵芥除去方法は
次のような問題があった。 ．粘着ロールでは被除塵体（例えばプリント基板）の
凹凸に追従して外径変形し切れないため、被除塵体のス
ルーホールの中に入り込んでいる塵芥や、突部の陰に付
着している塵芥を十分に除去することは難しかった。 ．粘着ロールは使用により徐々に粘着力が低下するた
め、定期的な交換が必要であり、手間やコストがかか
る。 ．粘着ロールが汚れ過ぎると、その汚れが被除塵体に
付着して、かえって被除塵体が汚れてしまうことがあ
る。 ．被除塵体のスルーホールの中に水分が残っている
と、その水分の表面張力によりスルーホール内の塵芥が
被覆されてしまうため、粘着ロールに塵芥が付着しにく
くなり、塵芥の除去が不十分となる。

【０００４】本発明の目的はシャドーマスクに貫通され
ている数μ単位の極微小孔や、プリント基板、リードフ
レーム、ガラス板などのスルーホールに付着したり、入
り込んでいる塵芥を確実に除去することができる除塵装
置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明のうち請求項１の
除塵装置は図１に示す様に、被除塵体１を搬送する搬送
体２と、その搬送体２で搬送される被除塵体１又はそれ
に付着している塵芥を振動可能な低周波振動を発生させ
る低周波振動発生装置３を備えたものである。

【０００６】本発明のうち請求項２の除塵装置は図２、
図３に示す様に、低周波振動発生装置３から発生した低
周波振動を拡散するためのホーン４を、低周波振動発生
装置３に連設又は近設したものである。

【０００７】本発明のうち請求項３の除塵装置は図２に
示す様に、低周波振動発生装置３よりも搬送体２の搬送
方向後方に、被除塵体１に付着している塵芥を飛散除去
するための圧縮エアーを噴出するエアー装置５を設けた
ものである。

【０００８】本発明のうち請求項４の除塵装置は図２に
示す様に、低周波振動発生装置３からの低周波振動によ
り被除塵体１から分離された塵芥を吸引排出するための
吸引装置６を設けたものである。

【０００９】本発明のうち請求項５の除塵装置は図２に
示す様に、低周波振動発生装置３から発生される低周波
振動によっては、又は同低周波振動とエアー装置４から
噴出される圧縮エアーとによっては除去しきれなかった
塵芥を除去するための除塵ブラシ７を、搬送体２の近く
に設けたものである。

【００１０】本発明のうち請求項６の除塵装置は図２に
示す様に、請求項１乃至請求項５の夫々における低周波
振動発生装置３、ホーン４、エアー装置５、吸引装置
６、除塵ブラシ７を、外部から区画された区画室８内に
設けたものである。

【００１１】

【発明の実施の形態１】本発明の除塵装置の実施の形態
の第１の例を図１に基づいて詳細に説明する。図１に示
すものはシャドーマスク、プリント基板、リードフレー
ム（ＩＣ）、ガラス板などの被除塵体１を、それらの生
産ラインとか加工ラインにおけるロールコンベア等の搬
送体２により搬送している状態であり、この搬送体２の
上方に近接させて低周波振動発生装置３を配置してあ
る。低周波振動発生装置３は低周波振動を発生させるこ
とにより、その近傍の空気を振動させて、被除塵体１そ
のものを振動させたり、被除塵体１の表面に付着してい
る塵芥や、被除塵体１に貫通されている極微小孔に付着
したり、入り込んだりしている塵芥を振動させて、それ
ら塵芥を被除塵体１から分離除去するものである。

【００１２】低周波振動発生装置３の出口１０と搬送体
２の上の被除塵体１との間の距離は同発生装置から発生
される低周波振動によって振動する範囲、例えば１ｍｍ
乃至３ｍｍとしてある。この距離が長くなり過ぎると被
除塵体１に付着している塵芥が低周波振動発生装置３か
ら発生される低周波振動により除去されにくくなり、ま
た近過ぎても同様である。低周波振動発生装置３として
は例えばスピーカーが使用され、そのスピーカーは重低
音域から低音域（例えば１ＫＨｚ程度）の周波数振動を
発生するものが望ましい。

【００１３】

【発明の実施の形態２】本発明の除塵装置の実施の形態
の第２の例を図２、図３に基づいて詳細に説明する。こ
の実施の形態は低周波振動発生装置３の下にホーン４を
連結したものである。このホーン４は低周波振動発生装
置３から発生される低周波振動を広範囲に拡散するため
のものであり、上端部１１を低周波振動発生装置３の出
口１０に連結し、上端部１１から下方開口部１２に向け
て次第に横広がりとして、同下方開口部１２を搬送体２
の搬送方向に横長としてある。これにより、低周波振動
発生装置３から発生される低周波振動がホーン４を通過
することにより横に拡散されて、図２のように搬送体２
の上を搬送される被除塵体１を長い距離に亙って振動さ
せることが可能となり、除塵効果が高まるようにしてあ
る。なお、この場合はホーン４の下方開口部１２と被除
塵体１との間の距離は低周波振動発生装置３から発生さ
れる低周波振動によって振動する範囲、例えば１ｍｍ乃
至３ｍｍの位置になるように設置されている

【００１４】図１に示すものは搬送体２の上方であり且
つ低周波振動発生装置３よりも搬送体２の搬送方向後方
にエアー装置５を設け、更に、エアー装置５より後方に
除塵ブラシ７を設けてある。

【００１５】エアー装置５は被除塵体１に対し圧縮エア
ーを噴出することにより、被除塵体１に付着している塵
芥を飛散除去するためのものである。エアー装置５の構
造は種々考えられるが、その一例として図４に示したも
のは多数本のノズル１３を均一間隔で２列平行に配置し
てある。このエアー装置５からの圧縮エアーの噴出は全
てのノズル１３から同時に且つ連続的に行ってもよく、
間欠的に行ってもよい。また、多数あるノズル１３のう
ち、被除塵体１の搬送方向前方（図２の左側）のノズル
１３から、搬送方向後方（図２の右側）のノズル１３の
順に１本づつ噴出するようにしてもよい。

【００１６】ノズル１３の径は被除塵体１の表裏面に貫
通されている極微小孔の径と同じ程度に小さくするのが
望ましく、このようにすることによってノズル１３から
噴出される圧縮エアーが被除塵体１の極微小孔を通過し
易くなり、同極微小孔に付着したり、入り込んだりして
いる塵芥を効率よく除去できるようになる。

【００１７】前記の除塵ブラシ７は低周波振動発生装置
３からの低周波振動及びエアー装置５から噴出される圧
縮エアーによっては除去しきれなかった塵芥を除去する
ためのものである。除塵ブラシ７は搬送体２の上方に回
転自在に取付けられており、時計方向に回転しながら先
端が被除塵体１に接触するようにしてある。除塵ブラシ
７の細毛の太さは被除塵体１に貫されている極微小孔の
径よりも細いのものが望ましく、これにより細毛が前記
極微小孔内に入り込んで、極微小孔内の除塵を効果的に
掻き出すことができるようにしてある。

【００１８】図２に示すものは搬送体２の下方であり且
つ低周波振動発生装置３及びエアー装置５の下の位置に
吸引装置６をも設けてある。吸引装置６は低周波振動或
は圧縮エアーにより被除塵体１から分離された塵芥を吸
引排出するためのものである。そのため吸引装置６には
吸引用のブロワー等が連結されている。

【００１９】また、図２に示す除塵装置は、低周波振動
発生装置３、ホーン４、エアー装置５、吸引装置６、除
塵ブラシ７を、外部から区画されたクリーンルーム等の
区画室８内に設けてある。この区画室８は低周波振動を
吸収しにくい材質で作って、低周波振動発生装置３から
発生される低周波振動が無駄なく被除塵体１に伝わるよ
うにするのが望ましい。区画室８内に設けるのは、低周
波振動発生装置３のみ、或は低周波振動発生装置３とホ
ーン４とエアー装置５であってもよく、吸引装置６や除
塵ブラシ７は、区画室８の外に設けてもよい。

【００２０】

【発明の他の実施形態】本発明における低周波振動発生
装置３は必ずしも図示した位置に設ける必要はなく、被
除塵体１を振動可能な位置であれば何処でもよい。また
エアー装置５を設ける場合は同エアー装置５に連結して
或は近くに設けてもよい。また、低周波振動発生装置３
は一つではなく、１本の搬送体２の２箇所以上に設けて
もよく、例えば、エアー装置５を複数設ける場合は夫々
のエアー装置５と対にしてそれと同数設けてもよい。エ
アー装置５、吸引装置６、除塵ブラシ７の配置位置も図
示された個所以外の個所であってもよく、被除塵体１に
付着している塵芥を効率よく除去できる個所に配置する
のが望ましい。

【００２１】ホーン４は被除塵体１が搬送体２の幅方向
に複数配列された状態で搬送される場合には、被除塵体
１の搬送方向に縦長とせずに被除塵体１の配列方向に横
長としてもよい。ホーン４は必ずしも低周波振動発生装
置３の先端に取付ける必要はなく、同低周波振動発生装
置３により発生し当該ホーン４から出る低周波振動が被
除塵体１を振動可能であれば何処でもよく、低周波振動
発生装置３に連結せず多少離して設けてもよい。

【００２２】ノズル１３は塵芥除去効果を高めるために
は多数本設けるのが望ましいがその配列方法は前後左右
に連続的に設けず、例えば千鳥配列にすることもでき
る。本実施例ではノズル１３はエアー装置５に固定して
あるが、これは前後或は左右又は前後及び左右への振幅
運動させることもできる。またエアー装置５自体を振幅
運動させることもできる。振幅運動させることにより被
除塵体１に貫通された数μ単位の極微小孔に付着した
り、入り込んでいる塵芥に間欠的に圧縮エアーを当てる
ことができ、圧縮エアーが当る度に徐々に被除塵体１か
ら塵芥を分離し、最終的には完全に塵芥を除去すること
ができる。これにより連続的に圧縮エアーを当てたので
は除去できない塵芥の除去も可能となる。

【００２３】吸引装置６は一つのみでなく複数設けるこ
ともでき、低周波振動発生装置３、エアー装置５、除塵
ブラシ７を複数設けた場合にはこれらの夫々に対応した
数の吸引装置６を、これら低周波振動発生装置３、エア
ー装置５、除塵ブラシ７に連結して或は近くに設けても
よい。一つの吸引装置６に複数の吸引用ノズルを設け、
これら複数の吸引用ノズルを複数の低周波振動発生装置
３、エアー装置５に連結して或は近くに設けてもよい。

【００２４】

【発明の効果】本発明のうち請求項１の除塵装置には、
次のような効果がある。 ．低周波振動発生装置３により発生した低周波振動に
より塵芥を除去できるため、被除塵体１のスルーホール
の中に入り込んでいる塵芥や、突部の陰に付着している
塵芥を確実に除去することができる。 ．低周波振動により被除塵体１の極微小孔内に表面張
力により残存している水分も低周波振動により除去され
るため、その水分により被覆されている除塵をも除去す
ることができる。 ．被除塵体１に非接触で塵芥を除去できるので粘着ロ
ールにより除塵する場合のように、粘着ロールの汚れが
被除塵体１に付着するようなことがない。 ．粘着ロール等を使用しないのでこれらの交換のため
の手間やコストがかからない。

【００２５】本発明のうち請求項２の除塵装置は前記効
果の他に更に次のような効果もある。 ．低周波振動発生装置３から発生した低周波振動がホ
ーン４により広範囲に拡散されるため、搬送体２上を搬
送される被除塵体１を長い間振動させることができ、低
周波振動発生装置３のみの場合に比して除塵効果が高
い。

【００２６】本発明のうち請求項３の除塵装置には前記
効果の他に更に次のような効果もある。 ．エアー装置５から噴出される圧縮エアーによっても
除塵されるので低周波振動のみでは除去できない塵芥を
も除去することができる。

【００２７】本発明のうち請求項４の除塵装置には前記
効果の他に更に次のような効果もある。 ．被除塵体１から分離された塵芥が吸引装置５により
吸引除去されるため、一旦被除塵体１から分離された塵
芥が再び被除塵体１に付着することがない。

【００２８】本発明のうち請求項５の除塵装置には前記
効果の他に更に次のような効果もある。 ．低周波振動、圧縮エアーのみによっては除去しきれ
ない塵芥を除塵ブラシ７により除去することができるの
で、特に低周波振動、圧縮エアー等の非接触の除塵方法
では除去の困難な被除塵体にこびりついた除塵の除去が
可能となる。

【００２９】本発明のうち請求項６の除塵装置には前記
効果の他に更に次のような効果もある。 ．外部から区画された区画室８内に低周波振動発生装
置３が設けられているため同低周波振動発生装置３によ
り発生した低周波振動が周囲に拡散せず同低周波振動を
効率良く被除塵体１に伝えることができるので、区画室
８外に低周波振動発生装置３を設ける場合に比して除塵
効果が高まる。また低周波振動発生装置以外の機器をも
設けてあるので、それらによる除塵効果も高まる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の除塵装置の第一の実施形態を示す説明
図。

【図２】本発明の除塵装置の第二の実施形態を示す説明
図。

【図３】（ａ）は低周波振動発生装置３及びホーン４の
正面図、（ｂ）は（ａ）の側面図、（ｃ）は（ａ）の底
面図。

【図４】圧縮ノズル１３を取り付けたエアー装置５の正
面図、（ｂ）は（ａ）の側面図、（ｃ）は（ａ）の底面
図。

【符号の説明】

１ 被除塵体 ２ 搬送体 ３ 低周波振動発生装置 ４ ホーン ５ エアー装置 ６ 吸引装置 ７ 除塵ブラシ ８ 区画室

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被除塵体（１）を搬送する搬送体（２）
   と、搬送体（２）で搬送される被除塵体（１）又はそれ
   に付着している塵芥を振動可能な低周波振動を発生させ
   る低周波振動発生装置（３）を備えた除塵装置。
2. 【請求項２】低周波振動発生装置（３）から発生した低
   周波振動を拡散するためのホーン（４）を、低周波振動
   発生装置（３）に連設又は近設した請求項１記載の除塵
   装置。
3. 【請求項３】被除塵体（１）に付着している塵芥を飛散
   除去するための圧縮エアーを噴出するエアー装置（５）
   を搬送体（２）の近くに設けた請求項１又請求項２記載
   の除塵装置。
4. 【請求項４】低周波振動発生装置（３）からの低周波振
   動により被除塵体（１）から分離された塵芥を吸引排出
   するための吸引装置（６）を設けた請求項１乃至請求項
   ３の夫々に記載の除塵装置。
5. 【請求項５】被除塵体（１）に付着している塵芥を除去
   するための除塵ブラシ（７）を、搬送体（２）の近くに
   設けた請求項１乃至請求項４の夫々に記載の除塵装置。
6. 【請求項６】請求項１乃至請求項５の夫々における低周
   波振動発生装置（３）、エアー装置（５）、吸引装置
   （６）、除塵ブラシ（７）を、外部から区画された区画
   室（８）内に設けた請求項１乃至請求項５の夫々に記載
   の除塵装置。