JPH1040821A - プラズマディスプレイパネルの電極形成方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの電極形成方法Info
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- JPH1040821A JPH1040821A JP8215324A JP21532496A JPH1040821A JP H1040821 A JPH1040821 A JP H1040821A JP 8215324 A JP8215324 A JP 8215324A JP 21532496 A JP21532496 A JP 21532496A JP H1040821 A JPH1040821 A JP H1040821A
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- Japan
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- photosensitive
- black
- coating film
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高精細あるいは大面積のプラズマディスプレ
イパネルにおいても高い表示品質が可能な電極を形成す
るための電極形成方法を提供する。 【解決手段】 黒色顔料を含有した感光性黒色導電性ペ
ーストを絶縁基板の透明電極上に塗布し乾燥した後、さ
らに、この感光性黒色導電性ペースト塗膜上に感光性導
電性ペーストを塗布して乾燥し、次いで、所定のパター
ンを有するマスクを介して感光性黒色導電性ペースト塗
膜および感光性導電性ペースト塗膜を一括して露光し現
像した後、焼成して黒色導電層と主導電層の２層構造か
らなる電極を形成する。
イパネルにおいても高い表示品質が可能な電極を形成す
るための電極形成方法を提供する。 【解決手段】 黒色顔料を含有した感光性黒色導電性ペ
ーストを絶縁基板の透明電極上に塗布し乾燥した後、さ
らに、この感光性黒色導電性ペースト塗膜上に感光性導
電性ペーストを塗布して乾燥し、次いで、所定のパター
ンを有するマスクを介して感光性黒色導電性ペースト塗
膜および感光性導電性ペースト塗膜を一括して露光し現
像した後、焼成して黒色導電層と主導電層の２層構造か
らなる電極を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はプラズマディスプレ
イパネルの電極形成方法に係り、特に透明電極の低抵抗
化を図るためのバス電極を簡便に形成するためのプラズ
マディスプレイパネルの電極形成方法に関する。
イパネルの電極形成方法に係り、特に透明電極の低抵抗
化を図るためのバス電極を簡便に形成するためのプラズ
マディスプレイパネルの電極形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、プラズマディスプレイパネルの開
発が進んでいる。プラズマディスプレイパネルには、直
流型プラズマディスプレイパネルと交流型プラズマディ
スプレイパネルとがある。両表示パネルとも、前面板に
形成された電極と、この電極に直交するように背面板に
形成された電極との間の放電空間におけるプラズマ放電
を利用するものであり、また、放電空間に所定のガスを
封入し、ガス放電により発生する紫外線によって放電空
間内面に塗布された蛍光体を発光させてカラー表示を行
うものである。
発が進んでいる。プラズマディスプレイパネルには、直
流型プラズマディスプレイパネルと交流型プラズマディ
スプレイパネルとがある。両表示パネルとも、前面板に
形成された電極と、この電極に直交するように背面板に
形成された電極との間の放電空間におけるプラズマ放電
を利用するものであり、また、放電空間に所定のガスを
封入し、ガス放電により発生する紫外線によって放電空
間内面に塗布された蛍光体を発光させてカラー表示を行
うものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、前面板に形成さ
れる電極（表示電極）は、酸化インジウムスズ（ＩＴ
Ｏ）等の透明電極であり、この透明電極は金属導電物質
に比べて電気抵抗が大きく、特に高精細のプラズマディ
スプレイパネルあるいは大面積のプラズマディスプレイ
パネルでは、透明電極の電気抵抗が大幅に増大し、表示
品質に支障を来したり、高い印加電圧が必要になるとい
う問題があった。
れる電極（表示電極）は、酸化インジウムスズ（ＩＴ
Ｏ）等の透明電極であり、この透明電極は金属導電物質
に比べて電気抵抗が大きく、特に高精細のプラズマディ
スプレイパネルあるいは大面積のプラズマディスプレイ
パネルでは、透明電極の電気抵抗が大幅に増大し、表示
品質に支障を来したり、高い印加電圧が必要になるとい
う問題があった。
【０００４】このような問題を解決するために、透明電
極上に銀ペースト層を形成して表示電極の抵抗を減少さ
せることが行われているが、銀ペーストが白っぽいため
表示コントラストが低下するという問題があった。そこ
で、透明電極上に黒色導電層を形成して表示電極の抵抗
を減少させるとともに、前面板側から表示パネルを見た
場合のコントラストと色純度を高めることがなされてい
る。しかしながら、現状では高い表示品質を維持できる
程の十分な黒さを有し、かつ、電気抵抗の低い黒色導電
層は得られておらず、表示品質への悪影響と電気抵抗の
増大のいずれかが避けられないという問題がある。
極上に銀ペースト層を形成して表示電極の抵抗を減少さ
せることが行われているが、銀ペーストが白っぽいため
表示コントラストが低下するという問題があった。そこ
で、透明電極上に黒色導電層を形成して表示電極の抵抗
を減少させるとともに、前面板側から表示パネルを見た
場合のコントラストと色純度を高めることがなされてい
る。しかしながら、現状では高い表示品質を維持できる
程の十分な黒さを有し、かつ、電気抵抗の低い黒色導電
層は得られておらず、表示品質への悪影響と電気抵抗の
増大のいずれかが避けられないという問題がある。
【０００５】本発明は、上述のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、高精細あるいは大面積のプラズマディ
スプレイパネルにおいても高い表示品質が可能な電極を
形成するための電極形成方法を提供することを目的とす
る。
れたものであり、高精細あるいは大面積のプラズマディ
スプレイパネルにおいても高い表示品質が可能な電極を
形成するための電極形成方法を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、第１の発明は絶縁基板上に形成した透明電極
上に、黒色顔料を含有した感光性黒色導電性ペーストを
塗布し乾燥した後、さらに、該感光性黒色導電性ペース
ト塗膜上に感光性導電性ペーストを塗布して乾燥し、次
いで、所定のパターンを有するマスクを介して感光性黒
色導電性ペースト塗膜および感光性導電性ペースト塗膜
を露光し、現像した後、焼成して黒色導電層と主導電層
の２層構造からなる電極を形成するような構成とした。
るために、第１の発明は絶縁基板上に形成した透明電極
上に、黒色顔料を含有した感光性黒色導電性ペーストを
塗布し乾燥した後、さらに、該感光性黒色導電性ペース
ト塗膜上に感光性導電性ペーストを塗布して乾燥し、次
いで、所定のパターンを有するマスクを介して感光性黒
色導電性ペースト塗膜および感光性導電性ペースト塗膜
を露光し、現像した後、焼成して黒色導電層と主導電層
の２層構造からなる電極を形成するような構成とした。
【０００７】また、第２の発明は、絶縁基板上に形成し
た透明電極上に、黒色顔料を含有した感光性黒色導電性
ペーストを塗布し乾燥した後、所定のパターンを有する
マスクを介して露光し、次いで、該感光性黒色導電性ペ
ースト塗膜上に感光性導電性ペーストを塗布して乾燥し
た後、所定のパターンを有するマスクを介して露光し、
その後、感光性黒色導電性ペースト塗膜および感光性導
電性ペースト塗膜を現像し焼成して黒色導電層と主導電
層の２層構造からなる電極を形成するような構成とし
た。
た透明電極上に、黒色顔料を含有した感光性黒色導電性
ペーストを塗布し乾燥した後、所定のパターンを有する
マスクを介して露光し、次いで、該感光性黒色導電性ペ
ースト塗膜上に感光性導電性ペーストを塗布して乾燥し
た後、所定のパターンを有するマスクを介して露光し、
その後、感光性黒色導電性ペースト塗膜および感光性導
電性ペースト塗膜を現像し焼成して黒色導電層と主導電
層の２層構造からなる電極を形成するような構成とし
た。
【０００８】さらに、第３の発明は、絶縁基板上に形成
した透明電極上に、黒色顔料を含有した感光性黒色導電
性ペーストを塗布し乾燥した後、所定のパターンを有す
るマスクを介して露光し現像して黒色導電層を形成し、
次いで、該黒色導電層を覆うように感光性導電性ペース
トを塗布して乾燥した後、所定のパターンを有するマス
クを介して露光し現像して前記黒色導電層上に主導電層
を形成して２層構造の電極とするような構成とした。
した透明電極上に、黒色顔料を含有した感光性黒色導電
性ペーストを塗布し乾燥した後、所定のパターンを有す
るマスクを介して露光し現像して黒色導電層を形成し、
次いで、該黒色導電層を覆うように感光性導電性ペース
トを塗布して乾燥した後、所定のパターンを有するマス
クを介して露光し現像して前記黒色導電層上に主導電層
を形成して２層構造の電極とするような構成とした。
【０００９】このような本発明では、感光性のペースト
を用いて透明電極上に形成された黒色導電層と主導電層
の２層構造からなる電極は、主導電層により透明電極の
電気抵抗が下げられ、黒色導電層により主導電層と透明
電極間の接続と、表示パネルのコントラストと色純度が
高められる。
を用いて透明電極上に形成された黒色導電層と主導電層
の２層構造からなる電極は、主導電層により透明電極の
電気抵抗が下げられ、黒色導電層により主導電層と透明
電極間の接続と、表示パネルのコントラストと色純度が
高められる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の最良の実施形態に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００１１】図１は第１の発明のプラズマディスプレイ
パネルの電極形成方法の実施形態を示す工程図である。
図１において、まず、絶縁基板１上に形成した透明電極
２を覆うように、黒色顔料を含有した感光性黒色導電性
ペーストを塗布し乾燥して感光性黒色導電性ペースト塗
膜３を形成する（図１（Ａ））。この感光性黒色導電性
ペースト塗膜３の形成は、スクリーン印刷、ブレードコ
ート、ロールコート、ダイコート、フィルム転写法等の
方法により行うことができ、感光性黒色導電性ペースト
塗膜３の膜厚は０．１〜１０μｍ程度が好ましい。ま
た、透明電極２は、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸
化スズ（ＳｎＯ2 ）等の公知の透明導電性材料により形
成することができる。
パネルの電極形成方法の実施形態を示す工程図である。
図１において、まず、絶縁基板１上に形成した透明電極
２を覆うように、黒色顔料を含有した感光性黒色導電性
ペーストを塗布し乾燥して感光性黒色導電性ペースト塗
膜３を形成する（図１（Ａ））。この感光性黒色導電性
ペースト塗膜３の形成は、スクリーン印刷、ブレードコ
ート、ロールコート、ダイコート、フィルム転写法等の
方法により行うことができ、感光性黒色導電性ペースト
塗膜３の膜厚は０．１〜１０μｍ程度が好ましい。ま
た、透明電極２は、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸
化スズ（ＳｎＯ2 ）等の公知の透明導電性材料により形
成することができる。
【００１２】次に、感光性黒色導電性ペースト塗膜３上
に感光性導電性ペーストを塗布し乾燥して感光性導電性
ペースト塗膜４を形成し、所定のパターンを有するマス
ク１０を介して感光性黒色導電性ペースト塗膜３および
感光性導電性ペースト塗膜４を一括して露光する（図１
（Ｂ））。この感光性導電性ペースト塗膜４の形成は、
スクリーン印刷、ブレードコート、ロールコート、ダイ
コート、フィルム転写法等の方法により行うことがで
き、感光性導電性ペースト塗膜４の膜厚は１〜２０μｍ
程度が好ましい。また、この露光では、マスク１０を通
過し感光性導電性ペースト塗膜４に照射された光は、こ
の感光性導電性ペースト塗膜４を露光するとともに、感
光性導電性ペースト塗膜４を透過して感光性黒色導電性
ペースト塗膜３を露光する。このような露光は、例え
ば、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、中高圧水銀ラン
プ、超高圧水銀ランプ、キセノンランプ、水銀ショート
アークランプ、メタルハライドランプ、Ｘ線、電子ビー
ム等の光源を使用して行うことができる。
に感光性導電性ペーストを塗布し乾燥して感光性導電性
ペースト塗膜４を形成し、所定のパターンを有するマス
ク１０を介して感光性黒色導電性ペースト塗膜３および
感光性導電性ペースト塗膜４を一括して露光する（図１
（Ｂ））。この感光性導電性ペースト塗膜４の形成は、
スクリーン印刷、ブレードコート、ロールコート、ダイ
コート、フィルム転写法等の方法により行うことがで
き、感光性導電性ペースト塗膜４の膜厚は１〜２０μｍ
程度が好ましい。また、この露光では、マスク１０を通
過し感光性導電性ペースト塗膜４に照射された光は、こ
の感光性導電性ペースト塗膜４を露光するとともに、感
光性導電性ペースト塗膜４を透過して感光性黒色導電性
ペースト塗膜３を露光する。このような露光は、例え
ば、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、中高圧水銀ラン
プ、超高圧水銀ランプ、キセノンランプ、水銀ショート
アークランプ、メタルハライドランプ、Ｘ線、電子ビー
ム等の光源を使用して行うことができる。
【００１３】次いで、感光性黒色導電性ペースト塗膜３
および感光性導電性ペースト塗膜４を一括して現像した
後、焼成して感光性ペーストの樹脂成分を除去すること
により、黒色導電層６と主導電層７の２層構造からなる
電極５を透明電極２上に形成する（図１（Ｃ））。
および感光性導電性ペースト塗膜４を一括して現像した
後、焼成して感光性ペーストの樹脂成分を除去すること
により、黒色導電層６と主導電層７の２層構造からなる
電極５を透明電極２上に形成する（図１（Ｃ））。
【００１４】このプラズマディスプレイパネルの電極形
成に使用する感光性黒色導電性ペーストは、感光性導電
性ペーストに黒色顔料を含有したものである。使用する
黒色顔料としては、カーボンブラック、チタンブラック
等の導電性黒色顔料、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｆｅ，Ｃｏ−Ｍｎ−
Ｆｅ，Ｃｏ−Ｆｅ−Ｍｎ−Ａｌ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ−Ｆ
ｅ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｆｅ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ａｌ
−Ｃｒ−Ｆｅ，Ｃｏ−Ｍｎ−Ａｌ−Ｃｒ−Ｆｅ−Ｓｉ等
を挙げることができる。このような黒色顔料は、平均粒
径が０．０１〜５μｍ程度であり、感光性導電性ペース
トに含有される導電性粉体１００重量部に対して０．１
〜５０重量部の範囲で含有させることができる。上記の
黒色顔料の平均粒径が０．０１μｍ未満であると、この
ような微細粒子の製造が困難であるとともに、感光性黒
色導電性ペーストのチクソトロピー性が大きくなりす
ぎ、一方、平均粒径が５μｍを超えると色ムラを生じ易
くなり好ましくない。また、黒色顔料の含有量が０．１
重量部未満であると着色が不足し、５０重量部を超える
と抵抗が高くなるとともに、光透過性が大幅に低下して
感光性黒色導電性ペースト塗膜３の露光箇所に硬化不良
が生じることになり好ましくない。
成に使用する感光性黒色導電性ペーストは、感光性導電
性ペーストに黒色顔料を含有したものである。使用する
黒色顔料としては、カーボンブラック、チタンブラック
等の導電性黒色顔料、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｆｅ，Ｃｏ−Ｍｎ−
Ｆｅ，Ｃｏ−Ｆｅ−Ｍｎ−Ａｌ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ−Ｆ
ｅ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｍｎ−Ｃｒ−Ｆｅ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ａｌ
−Ｃｒ−Ｆｅ，Ｃｏ−Ｍｎ−Ａｌ−Ｃｒ−Ｆｅ−Ｓｉ等
を挙げることができる。このような黒色顔料は、平均粒
径が０．０１〜５μｍ程度であり、感光性導電性ペース
トに含有される導電性粉体１００重量部に対して０．１
〜５０重量部の範囲で含有させることができる。上記の
黒色顔料の平均粒径が０．０１μｍ未満であると、この
ような微細粒子の製造が困難であるとともに、感光性黒
色導電性ペーストのチクソトロピー性が大きくなりす
ぎ、一方、平均粒径が５μｍを超えると色ムラを生じ易
くなり好ましくない。また、黒色顔料の含有量が０．１
重量部未満であると着色が不足し、５０重量部を超える
と抵抗が高くなるとともに、光透過性が大幅に低下して
感光性黒色導電性ペースト塗膜３の露光箇所に硬化不良
が生じることになり好ましくない。
【００１５】感光性黒色導電性ペーストに使用する感光
性導電性ペースト、および、感光性導電性ペースト塗膜
４を形成するために使用する感光性導電性ペーストは、
少なくとも導電性粉体と感光性樹脂成分を含み、必要に
応じて基板との密着性を向上させる目的等により無機粉
体を含んでもよい。
性導電性ペースト、および、感光性導電性ペースト塗膜
４を形成するために使用する感光性導電性ペーストは、
少なくとも導電性粉体と感光性樹脂成分を含み、必要に
応じて基板との密着性を向上させる目的等により無機粉
体を含んでもよい。
【００１６】導電性粉体は、Ａｕ粉体、Ａｇ粉体、Ｃｕ
粉体、Ｎｉ粉体、Ａｌ粉体等の１種または２種以上を使
用することができる。この導電性粉体の形状は、球状、
板状、塊状、円錐状、棒状等の種々の形状であってよい
が、凝集がなく分散性が良好な球状の導電性粉体が好ま
しく、その平均粒径は０．０５〜１０μｍの範囲が好ま
しい。導電性粉体の平均粒径が０．０５μｍ未満である
と感光性導電性ペーストの構造粘性（チクソトロピー
性）が大きくなり好ましくない。一方、導電性粉体の平
均粒径が１０μｍを超えると、感光性導電性ペースト塗
膜４に照射された光の透過性が不十分となり、感光性黒
色導電性ペースト塗膜３の露光に支障を来すことにな
る。また、導電性粉体としては、パターンエッジ精度の
点から比表面積が０．１〜３ｍ2 ／ｇのものが好まし
い。このような導電性粉体は、感光性導電性ペーストに
４５〜９３重量％の範囲で含有させることができる。
粉体、Ｎｉ粉体、Ａｌ粉体等の１種または２種以上を使
用することができる。この導電性粉体の形状は、球状、
板状、塊状、円錐状、棒状等の種々の形状であってよい
が、凝集がなく分散性が良好な球状の導電性粉体が好ま
しく、その平均粒径は０．０５〜１０μｍの範囲が好ま
しい。導電性粉体の平均粒径が０．０５μｍ未満である
と感光性導電性ペーストの構造粘性（チクソトロピー
性）が大きくなり好ましくない。一方、導電性粉体の平
均粒径が１０μｍを超えると、感光性導電性ペースト塗
膜４に照射された光の透過性が不十分となり、感光性黒
色導電性ペースト塗膜３の露光に支障を来すことにな
る。また、導電性粉体としては、パターンエッジ精度の
点から比表面積が０．１〜３ｍ2 ／ｇのものが好まし
い。このような導電性粉体は、感光性導電性ペーストに
４５〜９３重量％の範囲で含有させることができる。
【００１７】感光性導電性ペーストに必要に応じて加え
られる無機粉体としては、例えば、軟化温度が４００〜
６５０℃であり、熱膨張係数α300 が７０×１０-7〜９
０×１０-7／℃であるガラスフリットを使用することが
できる。ガラスフリットの軟化温度が６５０℃を超える
と焼成温度を高くする必要があり、例えば、絶縁基板の
耐熱性が低い場合には焼成段階で絶縁基板に熱変形を生
じることになり好ましくない。また、ガラスフリットの
軟化温度が４００℃未満では、感光性黒色導電性ペース
トや感光性導電性ペーストの樹脂成分が完全に分解、揮
発する前にガラスフリットが融着するため、空隙を生じ
やすく好ましくない。さらに、ガラスフリットの熱膨張
係数α300 が７０×１０-7／℃未満、あるいは、９０×
１０-7／℃を超えると、ガラス基板の熱膨張係数との差
が大きくなりすぎ、歪み等を生じることになり好ましく
ない。このようなガラスフリットの平均粒径は０．１〜
５μｍの範囲が好ましい。
られる無機粉体としては、例えば、軟化温度が４００〜
６５０℃であり、熱膨張係数α300 が７０×１０-7〜９
０×１０-7／℃であるガラスフリットを使用することが
できる。ガラスフリットの軟化温度が６５０℃を超える
と焼成温度を高くする必要があり、例えば、絶縁基板の
耐熱性が低い場合には焼成段階で絶縁基板に熱変形を生
じることになり好ましくない。また、ガラスフリットの
軟化温度が４００℃未満では、感光性黒色導電性ペース
トや感光性導電性ペーストの樹脂成分が完全に分解、揮
発する前にガラスフリットが融着するため、空隙を生じ
やすく好ましくない。さらに、ガラスフリットの熱膨張
係数α300 が７０×１０-7／℃未満、あるいは、９０×
１０-7／℃を超えると、ガラス基板の熱膨張係数との差
が大きくなりすぎ、歪み等を生じることになり好ましく
ない。このようなガラスフリットの平均粒径は０．１〜
５μｍの範囲が好ましい。
【００１８】また、感光性導電性ペーストを構成する感
光性樹脂成分は、少なくともアルカリ現像型バインダー
ポリマー、モノマーおよび開始剤を含有するものであ
り、焼成によって揮発、分解して、パターン中に炭化物
を残存させることのないものである。
光性樹脂成分は、少なくともアルカリ現像型バインダー
ポリマー、モノマーおよび開始剤を含有するものであ
り、焼成によって揮発、分解して、パターン中に炭化物
を残存させることのないものである。
【００１９】アルカリ現像型バインダーポリマーとして
は、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸の二量体
（例えば、東亜合成化学（株）製Ｍ−５６００）、イタ
コン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢
酸、これらの酸無水物の１種以上と、メチルアクリレー
ト、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチ
ルメタクリレート、ｎ−プロピルアクリレート、ｎ−プ
ロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イ
ソプロピルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、
ｎ−ブチルメタクリレート、sec-ブチルアクリレート、
sec-ブチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、
イソブチルメタクリレート、tert−ブチルアクリレー
ト、tert−ブチルメタクリレート、ｎ−ペンチルアクリ
レート、ｎ−ペンチルメタクリレート、ｎ−ヘキシルア
クリレート、ｎ−ヘキシルメタクリレート、２−エチル
ヘキシルアクリレート、２−エチルヘキシルメタクリレ
ート、ｎ−オクチルアクリレート、ｎ−オクチルメタク
リレート、ｎ−デシルアクリレート、ｎ−デシルメタク
リレート、スチレン、α−メチルスチレン、１−ビニル
−２−ピロリドンの１種以上とからなるコポリマー等が
挙げられる。
は、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸の二量体
（例えば、東亜合成化学（株）製Ｍ−５６００）、イタ
コン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢
酸、これらの酸無水物の１種以上と、メチルアクリレー
ト、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチ
ルメタクリレート、ｎ−プロピルアクリレート、ｎ−プ
ロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イ
ソプロピルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、
ｎ−ブチルメタクリレート、sec-ブチルアクリレート、
sec-ブチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、
イソブチルメタクリレート、tert−ブチルアクリレー
ト、tert−ブチルメタクリレート、ｎ−ペンチルアクリ
レート、ｎ−ペンチルメタクリレート、ｎ−ヘキシルア
クリレート、ｎ−ヘキシルメタクリレート、２−エチル
ヘキシルアクリレート、２−エチルヘキシルメタクリレ
ート、ｎ−オクチルアクリレート、ｎ−オクチルメタク
リレート、ｎ−デシルアクリレート、ｎ−デシルメタク
リレート、スチレン、α−メチルスチレン、１−ビニル
−２−ピロリドンの１種以上とからなるコポリマー等が
挙げられる。
【００２０】また、上記のコポリマーにグリシジル基ま
たは水酸基を有するエチレン性不飽和化合物を付加させ
たポリマー等が挙げられるが、これらに限定されるもの
ではない。
たは水酸基を有するエチレン性不飽和化合物を付加させ
たポリマー等が挙げられるが、これらに限定されるもの
ではない。
【００２１】尚、上記のアルカリ現像型バインダーポリ
マーに非アルカリ現像型のポリマーを混合してもよい。
非アルカリ現像型のポリマーとしては、ポリビニルアル
コール、ポリビニルブチラール、アクリル酸エステル重
合体、メタクリル酸エステル重合体、ポリスチレン、α
−メチルスチレン重合体、１−ビニル−２−ピロリドン
重合体、および、これらの共重合体等を挙げることがで
きる。
マーに非アルカリ現像型のポリマーを混合してもよい。
非アルカリ現像型のポリマーとしては、ポリビニルアル
コール、ポリビニルブチラール、アクリル酸エステル重
合体、メタクリル酸エステル重合体、ポリスチレン、α
−メチルスチレン重合体、１−ビニル−２−ピロリドン
重合体、および、これらの共重合体等を挙げることがで
きる。
【００２２】感光性樹脂成分を構成する反応性モノマー
としては、少なくとも１つの重合可能な炭素−炭素不飽
和結合を有する化合物を用いることができる。具体的に
は、アリルアクリレート、ベンジルアクリレート、ブト
キシエチルアクリレート、ブトキシエチレングリコール
アクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ジシクロ
ペンタニルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレ
ート、グリセロールアクリレート、グリシジルアクリレ
ート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロ
キシプロピルアクリレート、イソボニルアクリレート、
イソデキシルアクリレート、イソオクチルアクリレー
ト、ラウリルアクリレート、２−メトキシエチルアクリ
レート、メトキシエチレングリコールアクリレート、フ
ェノキシエチルアクリレート、ステアリルアクリレー
ト、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレング
リコールジアクリレート、１，４−ブタンジオールジア
クリレート、１，５−ペンタンジオールジアクリレー
ト、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、１，３
−プロパンジオールアクリレート、１，４−シクロヘキ
サンジオールジアクリレート、２，２−ジメチロールプ
ロパンジアクリレート、グリセロールジアクリレート、
トリプロピレングリコールジアクリレート、グリセロー
ルトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアク
リレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパン
トリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレ
ート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリ
エチレングリコールジアクリレート、ポリオキシプロピ
ルトリメチロールプロパントリアクリレート、ブチレン
グリコールジアクリレート、１，２，４−ブタントリオ
ールトリアクリレート、２，２，４−トリメチル−１，
３−ペンタンジオールジアクリレート、ジアリルフマレ
ート、１，１０−デカンジオールジメチルアクリレー
ト、ペンタエリスリトールヘキサアクリレート、およ
び、上記のアクリレートをメタクリレートに変えたも
の、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、
１−ビニル−２−ピロリドン等が挙げられる。本発明で
は、上記の反応性モノマーを１種または２種以上の混合
物として、あるいは、その他の化合物との混合物として
使用することができる。
としては、少なくとも１つの重合可能な炭素−炭素不飽
和結合を有する化合物を用いることができる。具体的に
は、アリルアクリレート、ベンジルアクリレート、ブト
キシエチルアクリレート、ブトキシエチレングリコール
アクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ジシクロ
ペンタニルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレ
ート、グリセロールアクリレート、グリシジルアクリレ
ート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロ
キシプロピルアクリレート、イソボニルアクリレート、
イソデキシルアクリレート、イソオクチルアクリレー
ト、ラウリルアクリレート、２−メトキシエチルアクリ
レート、メトキシエチレングリコールアクリレート、フ
ェノキシエチルアクリレート、ステアリルアクリレー
ト、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレング
リコールジアクリレート、１，４−ブタンジオールジア
クリレート、１，５−ペンタンジオールジアクリレー
ト、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、１，３
−プロパンジオールアクリレート、１，４−シクロヘキ
サンジオールジアクリレート、２，２−ジメチロールプ
ロパンジアクリレート、グリセロールジアクリレート、
トリプロピレングリコールジアクリレート、グリセロー
ルトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアク
リレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパン
トリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレ
ート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリ
エチレングリコールジアクリレート、ポリオキシプロピ
ルトリメチロールプロパントリアクリレート、ブチレン
グリコールジアクリレート、１，２，４−ブタントリオ
ールトリアクリレート、２，２，４−トリメチル−１，
３−ペンタンジオールジアクリレート、ジアリルフマレ
ート、１，１０−デカンジオールジメチルアクリレー
ト、ペンタエリスリトールヘキサアクリレート、およ
び、上記のアクリレートをメタクリレートに変えたも
の、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、
１−ビニル−２−ピロリドン等が挙げられる。本発明で
は、上記の反応性モノマーを１種または２種以上の混合
物として、あるいは、その他の化合物との混合物として
使用することができる。
【００２３】感光性樹脂成分を構成する光重合開始剤と
しては、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチ
ル、４，４−ビス（ジメチルアミン）ベンゾフェノン、
４，４−ビス（ジエチルアミン）ベンゾフェノン、α−
アミノ・アセトフェノン、４，４−ジクロロベンゾフェ
ノン、４−ベンゾイル−４−メチルジフェニルケトン、
ジベンジルケトン、フルオレノン、２，２−ジエトキシ
アセトフォノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルア
セトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフ
ェノン、ｐ−tert−ブチルジクロロアセトフェノン、チ
オキサントン、２−メチルチオキサントン、２−クロロ
チオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、ジ
エチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、ベ
ンジルメトキシエチルアセタール、ベンゾインメチルエ
ーテル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキノン、
２−tert−ブチルアントラキノン、２−アミルアントラ
キノン、β−クロルアントラキノン、アントロン、ベン
ズアントロン、ジベンズスベロン、メチレンアントロ
ン、４−アジドベンジルアセトフェノン、２，６−ビス
（ｐ−アジドベンジリデン）シクロヘキサン、２，６−
ビス（ｐ−アジドベンジリデン）−４−メチルシクロヘ
キサノン、２−フェニル−１，２−ブタジオン−２−
（ｏ−メトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−
プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキ
シム、１，３−ジフェニル−プロパントリオン−２−
（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−
３−エトキシ−プロパントリオン−２−（ｏ−ベンゾイ
ル）オキシム、ミヒラーケトン、２−メチル−［４−
（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プ
ロパン、ナフタレンスルホニルクロライド、キノリンス
ルホニルクロライド、ｎ−フェニルチオアクリドン、
４，４−アゾビスイソブチロニトリル、ジフェニルジス
ルフィド、ベンズチアゾールジスルフィド、トリフェニ
ルホスフィン、カンファーキノン、四臭素化炭素、トリ
ブロモフェニルスルホン、過酸化ベンゾイン、エオシ
ン、メチレンブルー等の光還元性の色素とアスコルビン
酸、トリエタノールアミン等の還元剤の組み合わせ等が
挙げられる。本発明では、これらの光重合開始剤を１種
または２種以上使用することができる。
しては、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチ
ル、４，４−ビス（ジメチルアミン）ベンゾフェノン、
４，４−ビス（ジエチルアミン）ベンゾフェノン、α−
アミノ・アセトフェノン、４，４−ジクロロベンゾフェ
ノン、４−ベンゾイル−４−メチルジフェニルケトン、
ジベンジルケトン、フルオレノン、２，２−ジエトキシ
アセトフォノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルア
セトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフ
ェノン、ｐ−tert−ブチルジクロロアセトフェノン、チ
オキサントン、２−メチルチオキサントン、２−クロロ
チオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、ジ
エチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、ベ
ンジルメトキシエチルアセタール、ベンゾインメチルエ
ーテル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキノン、
２−tert−ブチルアントラキノン、２−アミルアントラ
キノン、β−クロルアントラキノン、アントロン、ベン
ズアントロン、ジベンズスベロン、メチレンアントロ
ン、４−アジドベンジルアセトフェノン、２，６−ビス
（ｐ−アジドベンジリデン）シクロヘキサン、２，６−
ビス（ｐ−アジドベンジリデン）−４−メチルシクロヘ
キサノン、２−フェニル−１，２−ブタジオン−２−
（ｏ−メトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−
プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキ
シム、１，３−ジフェニル−プロパントリオン−２−
（ｏ−エトキシカルボニル）オキシム、１−フェニル−
３−エトキシ−プロパントリオン−２−（ｏ−ベンゾイ
ル）オキシム、ミヒラーケトン、２−メチル−［４−
（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プ
ロパン、ナフタレンスルホニルクロライド、キノリンス
ルホニルクロライド、ｎ−フェニルチオアクリドン、
４，４−アゾビスイソブチロニトリル、ジフェニルジス
ルフィド、ベンズチアゾールジスルフィド、トリフェニ
ルホスフィン、カンファーキノン、四臭素化炭素、トリ
ブロモフェニルスルホン、過酸化ベンゾイン、エオシ
ン、メチレンブルー等の光還元性の色素とアスコルビン
酸、トリエタノールアミン等の還元剤の組み合わせ等が
挙げられる。本発明では、これらの光重合開始剤を１種
または２種以上使用することができる。
【００２４】上記の感光性樹脂成分の揮発、分解温度が
６００℃を超えると、感光性黒色導電性ペースト塗膜３
および感光性導電性ペースト塗膜４の露光・現像後に樹
脂成分を除去する際の焼成温度が高くなり、例えば、絶
縁基板１の耐熱性が低い場合、基板に熱変形が生じるこ
とになり好ましくない。一方、感光性樹脂成分の揮発、
分解温度の下限は特に制限はないが、揮発、分解温度が
低くなるほど完全に揮発または分解する樹脂の種類が少
なくなり材料選択の幅が狭くなるので、例えば、感光性
樹脂成分の揮発、分解温度の下限を２００℃程度に設定
することが好ましい。
６００℃を超えると、感光性黒色導電性ペースト塗膜３
および感光性導電性ペースト塗膜４の露光・現像後に樹
脂成分を除去する際の焼成温度が高くなり、例えば、絶
縁基板１の耐熱性が低い場合、基板に熱変形が生じるこ
とになり好ましくない。一方、感光性樹脂成分の揮発、
分解温度の下限は特に制限はないが、揮発、分解温度が
低くなるほど完全に揮発または分解する樹脂の種類が少
なくなり材料選択の幅が狭くなるので、例えば、感光性
樹脂成分の揮発、分解温度の下限を２００℃程度に設定
することが好ましい。
【００２５】このような感光性樹脂成分の感光性導電性
ペースト中の含有量は、５〜４０重量％が好ましい。
ペースト中の含有量は、５〜４０重量％が好ましい。
【００２６】本発明で使用する感光性導電性ペーストに
は、添加剤として、増感剤、重合停止剤、連鎖移動剤、
レベリング剤、分散剤、可塑剤、安定剤、消泡剤等が必
要に応じて用いられる。
は、添加剤として、増感剤、重合停止剤、連鎖移動剤、
レベリング剤、分散剤、可塑剤、安定剤、消泡剤等が必
要に応じて用いられる。
【００２７】また、感光性導電性ペーストに用いる溶剤
としては、例えば、メタノール、エタノール、ｎ−プロ
パネール、ｉ−プロパノール、エチレングリコール、プ
ロピレングリコール等のアルコール類、α−もしくはβ
−テルピネオール等のテルペン類等、アセトン、メチル
エチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエ
ン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水
素類、セロソルブ、メチルセロソルブ、エチルセロソル
ブ、カルビトール、メチルカルビトール、エチルカルビ
トール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエ
ーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、
ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチ
レングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリ
コールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類、
酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、エチ
ルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテー
ト、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセ
テート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレング
リコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレング
リコールモノエチルエーテルアセテート等の酢酸エステ
ル類等が挙げられる。
としては、例えば、メタノール、エタノール、ｎ−プロ
パネール、ｉ−プロパノール、エチレングリコール、プ
ロピレングリコール等のアルコール類、α−もしくはβ
−テルピネオール等のテルペン類等、アセトン、メチル
エチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエ
ン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水
素類、セロソルブ、メチルセロソルブ、エチルセロソル
ブ、カルビトール、メチルカルビトール、エチルカルビ
トール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエ
ーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、
ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチ
レングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリ
コールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類、
酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、エチ
ルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテー
ト、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセ
テート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレング
リコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレング
リコールモノエチルエーテルアセテート等の酢酸エステ
ル類等が挙げられる。
【００２８】図２は第２の発明のプラズマディスプレイ
パネルの電極形成方法の実施形態を示す工程図である。
図２において、まず、絶縁基板１上に形成した透明電極
２を覆うように、黒色顔料を含有した感光性黒色導電性
ペーストを塗布し乾燥して感光性黒色導電性ペースト塗
膜３を形成し、所定のパターンを有するマスク１１を介
して感光性黒色導電性ペースト塗膜３を露光する（図２
（Ａ））。ここで使用する感光性黒色導電性ペースト、
感光性黒色導電性ペースト塗膜３の形成方法、感光性黒
色導電性ペースト塗膜３の厚みは、上述の第１の発明の
電極形成方法と同様である。また、使用できる光源も上
述の第１の発明の電極形成方法と同様である。
パネルの電極形成方法の実施形態を示す工程図である。
図２において、まず、絶縁基板１上に形成した透明電極
２を覆うように、黒色顔料を含有した感光性黒色導電性
ペーストを塗布し乾燥して感光性黒色導電性ペースト塗
膜３を形成し、所定のパターンを有するマスク１１を介
して感光性黒色導電性ペースト塗膜３を露光する（図２
（Ａ））。ここで使用する感光性黒色導電性ペースト、
感光性黒色導電性ペースト塗膜３の形成方法、感光性黒
色導電性ペースト塗膜３の厚みは、上述の第１の発明の
電極形成方法と同様である。また、使用できる光源も上
述の第１の発明の電極形成方法と同様である。
【００２９】次に、露光の完了した感光性黒色導電性ペ
ースト塗膜３上に感光性導電性ペーストを塗布し乾燥し
て感光性導電性ペースト塗膜４を形成し、所定のパター
ンを有するマスク１２を介して感光性導電性ペースト塗
膜４を露光する（図２（Ｂ））。ここで使用する感光性
導電性ペースト、感光性導電性ペースト塗膜４の形成方
法、感光性導電性ペースト塗膜４の厚みは、上述の第１
の発明の電極形成方法と同様である。また、この露光で
は、マスク１２を通過し感光性導電性ペースト塗膜４に
照射された光は、この感光性導電性ペースト塗膜４を露
光するとともに、感光性導電性ペースト塗膜４を透過し
て感光性黒色導電性ペースト塗膜３にも照射されるが、
図示のようにマスク１２はマスク１１の開口部に重なる
ような開口部を有しているので、感光性黒色導電性ペー
スト塗膜３に対して不必要な露光が行われることはな
い。尚、使用できる光源も上述の第１の発明の電極形成
方法と同様である。
ースト塗膜３上に感光性導電性ペーストを塗布し乾燥し
て感光性導電性ペースト塗膜４を形成し、所定のパター
ンを有するマスク１２を介して感光性導電性ペースト塗
膜４を露光する（図２（Ｂ））。ここで使用する感光性
導電性ペースト、感光性導電性ペースト塗膜４の形成方
法、感光性導電性ペースト塗膜４の厚みは、上述の第１
の発明の電極形成方法と同様である。また、この露光で
は、マスク１２を通過し感光性導電性ペースト塗膜４に
照射された光は、この感光性導電性ペースト塗膜４を露
光するとともに、感光性導電性ペースト塗膜４を透過し
て感光性黒色導電性ペースト塗膜３にも照射されるが、
図示のようにマスク１２はマスク１１の開口部に重なる
ような開口部を有しているので、感光性黒色導電性ペー
スト塗膜３に対して不必要な露光が行われることはな
い。尚、使用できる光源も上述の第１の発明の電極形成
方法と同様である。
【００３０】次いで、感光性黒色導電性ペースト塗膜３
および感光性導電性ペースト塗膜４を一括して現像した
後、焼成して感光性ペーストの樹脂成分を除去すること
により、黒色導電層６と主導電層７の２層構造からなる
電極５を透明電極２上に形成する（図２（Ｃ））。
および感光性導電性ペースト塗膜４を一括して現像した
後、焼成して感光性ペーストの樹脂成分を除去すること
により、黒色導電層６と主導電層７の２層構造からなる
電極５を透明電極２上に形成する（図２（Ｃ））。
【００３１】図３は第３の発明のプラズマディスプレイ
パネルの電極形成方法の実施形態を示す工程図である。
図３において、まず、絶縁基板１上に形成した透明電極
２を覆うように、黒色顔料を含有した感光性黒色導電性
ペーストを塗布し乾燥して感光性黒色導電性ペースト塗
膜３を形成し、所定のパターンを有するマスク１１を介
して感光性黒色導電性ペースト塗膜３を露光する（図３
（Ａ））。ここで使用する感光性黒色導電性ペースト、
感光性黒色導電性ペースト塗膜３の形成方法、感光性黒
色導電性ペースト塗膜３の厚みは、上述の第１の発明の
電極形成方法と同様である。また、使用できる光源も上
述の第１の発明の電極形成方法と同様である。
パネルの電極形成方法の実施形態を示す工程図である。
図３において、まず、絶縁基板１上に形成した透明電極
２を覆うように、黒色顔料を含有した感光性黒色導電性
ペーストを塗布し乾燥して感光性黒色導電性ペースト塗
膜３を形成し、所定のパターンを有するマスク１１を介
して感光性黒色導電性ペースト塗膜３を露光する（図３
（Ａ））。ここで使用する感光性黒色導電性ペースト、
感光性黒色導電性ペースト塗膜３の形成方法、感光性黒
色導電性ペースト塗膜３の厚みは、上述の第１の発明の
電極形成方法と同様である。また、使用できる光源も上
述の第１の発明の電極形成方法と同様である。
【００３２】次に、露光の完了した感光性黒色導電性ペ
ースト塗膜３を現像して黒色導電層６のパターンを形成
し（図３（Ｂ））、その後、このパターンを覆うように
感光性導電性ペーストを塗布し乾燥して感光性導電性ペ
ースト塗膜４を形成し、所定のパターンを有するマスク
１２を介して感光性導電性ペースト塗膜４を露光する
（図３（Ｃ））。ここで使用する感光性導電性ペース
ト、感光性導電性ペースト塗膜４の形成方法、感光性導
電性ペースト塗膜４の厚みは、上述の第１の発明の電極
形成方法と同様である。また、使用できる光源も上述の
第１の発明の電極形成方法と同様である。
ースト塗膜３を現像して黒色導電層６のパターンを形成
し（図３（Ｂ））、その後、このパターンを覆うように
感光性導電性ペーストを塗布し乾燥して感光性導電性ペ
ースト塗膜４を形成し、所定のパターンを有するマスク
１２を介して感光性導電性ペースト塗膜４を露光する
（図３（Ｃ））。ここで使用する感光性導電性ペース
ト、感光性導電性ペースト塗膜４の形成方法、感光性導
電性ペースト塗膜４の厚みは、上述の第１の発明の電極
形成方法と同様である。また、使用できる光源も上述の
第１の発明の電極形成方法と同様である。
【００３３】次いで、感光性導電性ペースト塗膜４を現
像してと主導電層７のパターンを形成した後、焼成して
黒色導電層６のパターンおよび主導電層７のパターンか
ら樹脂成分を除去することにより、黒色導電層６と主導
電層７の２層構造からなる電極５を透明電極２上に形成
する（図３（Ｄ））。
像してと主導電層７のパターンを形成した後、焼成して
黒色導電層６のパターンおよび主導電層７のパターンか
ら樹脂成分を除去することにより、黒色導電層６と主導
電層７の２層構造からなる電極５を透明電極２上に形成
する（図３（Ｄ））。
【００３４】
【実施例】次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。
明する。
【００３５】まず、下記の組成の感光性導電性ペースト
を調製した。
を調製した。
【００３６】 （感光性導電性ペーストの組成） ・メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体に グリシジルメタクリレートを付加したポリマー …１００重量部 ・エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリアクリレート … ６０重量部 ・重合開始剤（チバガイギ（株）製イルガキュア 907） … １５重量部 ・ジプロピレングリコールモノメチルエーテル …１００重量部 ・Ａｇ粉体 …６５０重量部 ・ガラスフリット （軟化点５５０℃、熱膨張係数８０×１０-7／℃） …４０重量部 また、上記の感光性導電性ペースト１００重量部にチタ
ンブラック（平均粒径１．３μｍ）５重量部を添加して
感光性黒色導電性ペーストを調製した。
ンブラック（平均粒径１．３μｍ）５重量部を添加して
感光性黒色導電性ペーストを調製した。
【００３７】次に、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）から
なる透明電極をパターニング（線幅１５０μｍ）したガ
ラス基板上に、上記の感光性黒色導電性ペーストをスク
リーン印刷法により塗布し乾燥して、厚み３μｍの感光
性黒色導電性ペースト塗膜を形成した（図１（Ａ）に相
当）。次いで、この感光性黒色導電性ペースト塗膜上
に、上記の感光性導電性ペーストをスクリーン印刷法に
より塗布し乾燥して、厚み１２μｍの感光性導電性ペー
スト塗膜を形成した。その後、線幅５０μｍの開口部を
有するマスクを介して紫外線を照射して、感光性黒色導
電性ペースト塗膜と感光性導電性ペースト塗膜を一括し
て露光した（図１（Ｂ）に相当）。
なる透明電極をパターニング（線幅１５０μｍ）したガ
ラス基板上に、上記の感光性黒色導電性ペーストをスク
リーン印刷法により塗布し乾燥して、厚み３μｍの感光
性黒色導電性ペースト塗膜を形成した（図１（Ａ）に相
当）。次いで、この感光性黒色導電性ペースト塗膜上
に、上記の感光性導電性ペーストをスクリーン印刷法に
より塗布し乾燥して、厚み１２μｍの感光性導電性ペー
スト塗膜を形成した。その後、線幅５０μｍの開口部を
有するマスクを介して紫外線を照射して、感光性黒色導
電性ペースト塗膜と感光性導電性ペースト塗膜を一括し
て露光した（図１（Ｂ）に相当）。
【００３８】次に、１％Ｎａ2 ＣＯ3 水溶液を使用して
現像を行い、ピーク温度５７０℃にて焼成して黒色導電
層と主導電層の２層構造からなる電極（線幅４０μｍ、
厚み９μｍ）をＩＴＯ透明電極上に形成した（図１
（Ｃ）に相当）。
現像を行い、ピーク温度５７０℃にて焼成して黒色導電
層と主導電層の２層構造からなる電極（線幅４０μｍ、
厚み９μｍ）をＩＴＯ透明電極上に形成した（図１
（Ｃ）に相当）。
【００３９】上記のようにＩＴＯ透明電極上に２層構造
の電極を形成したガラス基板を使用してプラズマディス
プレイパネルを作製した結果、表示コントラストと色純
度が高く表示品質に優れたプラズマディスプレイパネル
が得られた。
の電極を形成したガラス基板を使用してプラズマディス
プレイパネルを作製した結果、表示コントラストと色純
度が高く表示品質に優れたプラズマディスプレイパネル
が得られた。
【００４０】尚、上述の実施例は第１の本発明の電極形
成方法にしたがったものであるが、第２の本発明の電極
形成方法および第３の本発明の電極形成方法において
も、同様にＩＴＯ透明電極の大幅な電気抵抗の減少と、
表示コントラストと色純度が高く表示品質に優れたプラ
ズマディスプレイパネルが得られることは勿論である。
成方法にしたがったものであるが、第２の本発明の電極
形成方法および第３の本発明の電極形成方法において
も、同様にＩＴＯ透明電極の大幅な電気抵抗の減少と、
表示コントラストと色純度が高く表示品質に優れたプラ
ズマディスプレイパネルが得られることは勿論である。
【００４１】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば黒
色顔料を含有した感光性黒色導電性ペーストおよび感光
性導電性ペーストを用いて、絶縁基板の透明電極上に黒
色導電層と主導電層の２層構造からなる電極（バス電
極）を形成するものであり、この２層構造の電極の主導
電層により透明電極の電気抵抗が下げられ、黒色導電層
により主導電層と透明電極間の接続がなされるととも
に、表示パネルのコントラストと色純度が高められ、こ
のようにして電極を形成することにより、高精細あるい
は大面積のプラズマディスプレイパネルにおいても高い
表示品質が可能となり、さらに、本発明は、フォトレジ
ストを使用する必要がなく工程が簡便であるとともに、
印刷法に比べて電極の形成精度が高いという効果も奏す
る。
色顔料を含有した感光性黒色導電性ペーストおよび感光
性導電性ペーストを用いて、絶縁基板の透明電極上に黒
色導電層と主導電層の２層構造からなる電極（バス電
極）を形成するものであり、この２層構造の電極の主導
電層により透明電極の電気抵抗が下げられ、黒色導電層
により主導電層と透明電極間の接続がなされるととも
に、表示パネルのコントラストと色純度が高められ、こ
のようにして電極を形成することにより、高精細あるい
は大面積のプラズマディスプレイパネルにおいても高い
表示品質が可能となり、さらに、本発明は、フォトレジ
ストを使用する必要がなく工程が簡便であるとともに、
印刷法に比べて電極の形成精度が高いという効果も奏す
る。
【図１】本発明のプラズマディスプレイパネルの電極形
成方法の一実施形態を示す工程図である。
成方法の一実施形態を示す工程図である。
【図２】本発明のプラズマディスプレイパネルの電極形
成方法の他の実施形態を示す工程図である。
成方法の他の実施形態を示す工程図である。
【図３】本発明のプラズマディスプレイパネルの電極形
成方法の他の実施形態を示す工程図である。 １…絶縁基板 ２…透明電極 ３…感光性黒色導電性ペースト ４…感光性導電性ペースト ５…電極 ６…黒色導電層 ７…主導電層 １０，１１，１２…マスク
成方法の他の実施形態を示す工程図である。 １…絶縁基板 ２…透明電極 ３…感光性黒色導電性ペースト ４…感光性導電性ペースト ５…電極 ６…黒色導電層 ７…主導電層 １０，１１，１２…マスク
Claims (3)
- 【請求項１】 絶縁基板上に形成した透明電極上に、黒
色顔料を含有した感光性黒色導電性ペーストを塗布し乾
燥した後、さらに、該感光性黒色導電性ペースト塗膜上
に感光性導電性ペーストを塗布して乾燥し、次いで、所
定のパターンを有するマスクを介して感光性黒色導電性
ペースト塗膜および感光性導電性ペースト塗膜を露光
し、現像した後、焼成して黒色導電層と主導電層の２層
構造からなる電極を形成することを特徴とするプラズマ
ディスプレイパネルの電極形成方法。 - 【請求項２】 絶縁基板上に形成した透明電極上に、黒
色顔料を含有した感光性黒色導電性ペーストを塗布し乾
燥した後、所定のパターンを有するマスクを介して露光
し、次いで、該感光性黒色導電性ペースト塗膜上に感光
性導電性ペーストを塗布して乾燥した後、所定のパター
ンを有するマスクを介して露光し、その後、感光性黒色
導電性ペースト塗膜および感光性導電性ペースト塗膜を
現像し焼成して黒色導電層と主導電層の２層構造からな
る電極を形成することを特徴とするプラズマディスプレ
イパネルの電極形成方法。 - 【請求項３】 絶縁基板上に形成した透明電極上に、黒
色顔料を含有した感光性黒色導電性ペーストを塗布し乾
燥した後、所定のパターンを有するマスクを介して露光
し現像して黒色導電層を形成し、次いで、該黒色導電層
を覆うように感光性導電性ペーストを塗布して乾燥した
後、所定のパターンを有するマスクを介して露光し現像
して前記黒色導電層上に主導電層を形成して２層構造の
電極とすることを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ルの電極形成方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8215324A JPH1040821A (ja) | 1996-07-26 | 1996-07-26 | プラズマディスプレイパネルの電極形成方法 |
| US08/787,744 US6156433A (en) | 1996-01-26 | 1997-01-24 | Electrode for plasma display panel and process for producing the same |
| US09/675,056 US6333140B1 (en) | 1996-01-26 | 2000-09-29 | Electrode for plasma display panel and process for producing the same |
| US09/985,107 US7011931B2 (en) | 1996-01-26 | 2001-11-01 | Electrode for plasma display panel and process for producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8215324A JPH1040821A (ja) | 1996-07-26 | 1996-07-26 | プラズマディスプレイパネルの電極形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1040821A true JPH1040821A (ja) | 1998-02-13 |
Family
ID=16670423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8215324A Pending JPH1040821A (ja) | 1996-01-26 | 1996-07-26 | プラズマディスプレイパネルの電極形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1040821A (ja) |
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-
1996
- 1996-07-26 JP JP8215324A patent/JPH1040821A/ja active Pending
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