JPH10332354A - 干渉測定装置 - Google Patents
干渉測定装置Info
- Publication number
- JPH10332354A JPH10332354A JP10142728A JP14272898A JPH10332354A JP H10332354 A JPH10332354 A JP H10332354A JP 10142728 A JP10142728 A JP 10142728A JP 14272898 A JP14272898 A JP 14272898A JP H10332354 A JPH10332354 A JP H10332354A
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- JP
- Japan
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- deflector
- partial
- beam splitter
- partial beam
- splitter
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 短単色光源１、第１部分ビーム３が測定面７
に配向され、第２部分ビーム４が光路を周期的に変える
ための、反射エレメントを備えている装置に配向されて
る、第１ビームスプリッタＳＴ１、測定面と前記装置と
から到来するビームを干渉させる重畳エレメント、ビー
ムを検出するホト検出器１１を備えている測定物体の粗
面における形状を測定する干渉測定装置を、構成を簡単
にし、測定精度が高められるようにする。 【解決手段】 光路を周期的に変える装置は、ビーム路
中に配置された、第２部分ビームを平行に移動させる装
置８，９と、その後ろの定置の反射エレメント１０とか
ら成る。
に配向され、第２部分ビーム４が光路を周期的に変える
ための、反射エレメントを備えている装置に配向されて
る、第１ビームスプリッタＳＴ１、測定面と前記装置と
から到来するビームを干渉させる重畳エレメント、ビー
ムを検出するホト検出器１１を備えている測定物体の粗
面における形状を測定する干渉測定装置を、構成を簡単
にし、測定精度が高められるようにする。 【解決手段】 光路を周期的に変える装置は、ビーム路
中に配置された、第２部分ビームを平行に移動させる装
置８，９と、その後ろの定置の反射エレメント１０とか
ら成る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、測定物体の粗面の
形状を測定するための干渉測定装置であって、短コヒー
レントなビームを放射するためのビーム発生ユニットを
備え、第１の部分ビームおよび第２の部分ビームを形成
するための第１のビームスプリッタを備え、該２つの部
分ビームのうち一方の部分ビームは前記測定すべき表面
に配向されておりかつ他方の部分ビームは光路を周期的
に変えるために反射エレメントを備えた装置に配向され
ており、前記表面および前記装置から到来するビームが
そこで干渉される重畳エレメントを備え、かつビームを
検出するホト検出器を備えている形式のものに関する。
形状を測定するための干渉測定装置であって、短コヒー
レントなビームを放射するためのビーム発生ユニットを
備え、第１の部分ビームおよび第２の部分ビームを形成
するための第１のビームスプリッタを備え、該２つの部
分ビームのうち一方の部分ビームは前記測定すべき表面
に配向されておりかつ他方の部分ビームは光路を周期的
に変えるために反射エレメントを備えた装置に配向され
ており、前記表面および前記装置から到来するビームが
そこで干渉される重畳エレメントを備え、かつビームを
検出するホト検出器を備えている形式のものに関する。
【０００２】
【従来の技術】この形式の干渉測定装置は、T. Dresel,
G. Haeusler, H. Venzke 著の刊行物“Three-Dimensio
nal sensing of rough surfaces by coherence radar”
（Appl. Opt., Vol.3, No.7、１９９２年３月１日）に
おいて公知として示されている。この刊行物において、
粗面の形状を測定するために短単色光源と圧電式移動鏡
とを有する干渉計が提案される。測定装置において、測
定物体から反射された光波の形の第１の部分ビームと基
準波の形の第２の部分ビームとが重畳される。２つの光
波は非常に短いコヒーレント長（数μｍ）を有している
ので、光路差が零であるとき、干渉コントラストは最大
値に達する。基準波の光路を変えるために、圧電式移動
鏡の形の反射エレメントが設けられている。圧電式移動
鏡の位置と干渉最大値の発生時点との比較によって、測
定物体に対する距離が突き止められる。干渉最大値の正
確な検出および干渉最大値を光路に対応付けることは比
較的煩雑である。
G. Haeusler, H. Venzke 著の刊行物“Three-Dimensio
nal sensing of rough surfaces by coherence radar”
（Appl. Opt., Vol.3, No.7、１９９２年３月１日）に
おいて公知として示されている。この刊行物において、
粗面の形状を測定するために短単色光源と圧電式移動鏡
とを有する干渉計が提案される。測定装置において、測
定物体から反射された光波の形の第１の部分ビームと基
準波の形の第２の部分ビームとが重畳される。２つの光
波は非常に短いコヒーレント長（数μｍ）を有している
ので、光路差が零であるとき、干渉コントラストは最大
値に達する。基準波の光路を変えるために、圧電式移動
鏡の形の反射エレメントが設けられている。圧電式移動
鏡の位置と干渉最大値の発生時点との比較によって、測
定物体に対する距離が突き止められる。干渉最大値の正
確な検出および干渉最大値を光路に対応付けることは比
較的煩雑である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、構造
が簡単化されかつ測定精度が高めらた、冒頭に述べた形
式の干渉測定装置を提供することである。
が簡単化されかつ測定精度が高めらた、冒頭に述べた形
式の干渉測定装置を提供することである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この課題は、冒頭に述
べた形式の干渉測定装置において、請求項１の特徴部分
に記載の構成によって解決される。即ちこれによれば、
光路を変えるための装置が、ビーム路中に配置された平
行に移動する装置とその後ろに定置に配置されている反
射エレメントとを有している。この構成によって、機械
的に移動されるエレメントが回避され、ひいては簡単
な、一層正確な評価が可能になる。
べた形式の干渉測定装置において、請求項１の特徴部分
に記載の構成によって解決される。即ちこれによれば、
光路を変えるための装置が、ビーム路中に配置された平
行に移動する装置とその後ろに定置に配置されている反
射エレメントとを有している。この構成によって、機械
的に移動されるエレメントが回避され、ひいては簡単
な、一層正確な評価が可能になる。
【０００５】
【発明の実施の形態】その際有利な構成によれば、平行
移動させる装置は、ビーム路に配置された音響光学偏向
器装置と、その後ろに定置に配置されて反射するないし
第２の部分ビームを戻し偏向するエレメントとを有して
おりかつ該偏向器装置は周波数変調されて制御されかつ
到来する部分ビーム並びに反射エレメントに関連して、
重畳エレメントに導かれる第２の部分ビームが偏向器装
置において偏向されて光路を変えるようになっている。
その後ろに定置に配置されて反射エレメントと接続され
た音響光学偏向器装置によって、機械的な移動なしに、
即ち単に偏向器装置の制御周波数を変調することによっ
て、光路の変化が行われる。同時に、変調周波数がわか
っていれば、光路の簡単な検出、ひいては干渉最大値を
検出することによって測定物体までの距離を突き止める
ことができる。
移動させる装置は、ビーム路に配置された音響光学偏向
器装置と、その後ろに定置に配置されて反射するないし
第２の部分ビームを戻し偏向するエレメントとを有して
おりかつ該偏向器装置は周波数変調されて制御されかつ
到来する部分ビーム並びに反射エレメントに関連して、
重畳エレメントに導かれる第２の部分ビームが偏向器装
置において偏向されて光路を変えるようになっている。
その後ろに定置に配置されて反射エレメントと接続され
た音響光学偏向器装置によって、機械的な移動なしに、
即ち単に偏向器装置の制御周波数を変調することによっ
て、光路の変化が行われる。同時に、変調周波数がわか
っていれば、光路の簡単な検出、ひいては干渉最大値を
検出することによって測定物体までの距離を突き止める
ことができる。
【０００６】偏向器装置がビーム路に前後に配置されて
いる２つの偏向器を有し、該２つの偏向器のうち第１の
偏向器が到来する部分ビームを周波数に依存して時間的
に変化する角度だけ偏向しかつ第２の偏向器が該角度偏
向を戻し、その結果第２の部分ビームが再び第１の偏向
器に関する入射方向において平行にシフトされて更に延
び、かつ反射エレメントが回折格子として実現されてお
り、該回折格子が、第２の偏向器から出射する部分ビー
ムに関して、該部分ビームが入射方向に戻されるように
斜めに配向されているようにすれば、測定装置の簡単な
構造が実現される。この構成によって、回折格子の形の
反射エレメントに到来する第２の部分ビームはその都度
の変調周波数において、即ちその都度の偏向角度でそれ
自体で戻り、その際その光路は変調周波数と共に変化す
る。
いる２つの偏向器を有し、該２つの偏向器のうち第１の
偏向器が到来する部分ビームを周波数に依存して時間的
に変化する角度だけ偏向しかつ第２の偏向器が該角度偏
向を戻し、その結果第２の部分ビームが再び第１の偏向
器に関する入射方向において平行にシフトされて更に延
び、かつ反射エレメントが回折格子として実現されてお
り、該回折格子が、第２の偏向器から出射する部分ビー
ムに関して、該部分ビームが入射方向に戻されるように
斜めに配向されているようにすれば、測定装置の簡単な
構造が実現される。この構成によって、回折格子の形の
反射エレメントに到来する第２の部分ビームはその都度
の変調周波数において、即ちその都度の偏向角度でそれ
自体で戻り、その際その光路は変調周波数と共に変化す
る。
【０００７】偏向器装置が１つの共通の偏向器ドライバ
によって制御され、かつ変調周波数に関する情報が評価
回路に送出され、該評価回路にはホト検出器の出力信号
も供給され、かつ評価回路において変調周波数に関する
情報およびホト検出器の出力信号に基づいて測定物体の
測定点に対する距離を突き止めることができるようにす
れば、簡単な有利な実施例が実現される。
によって制御され、かつ変調周波数に関する情報が評価
回路に送出され、該評価回路にはホト検出器の出力信号
も供給され、かつ評価回路において変調周波数に関する
情報およびホト検出器の出力信号に基づいて測定物体の
測定点に対する距離を突き止めることができるようにす
れば、簡単な有利な実施例が実現される。
【０００８】測定装置の配置は次のようにすれば有利に
実現することができる。即ち、ビーム発生ユニットと第
１のビームスプリッタとの間に１つのコリメータが配置
されており、第１のビームスプリッタと測定物体との間
に、第１の部分ビームを集束レンズを介して測定物体に
導きかつ該測定物体によって反射された第１の部分ビー
ムを別のビームスプリッタの形の重畳装置に導くための
第２のビームスプリッタが整合配置されており、かつ第
１のビームスプリッタと第１の偏向器との間に、第３の
ビームスプリッタが配置されており、これにより第１の
偏向器を介して戻ってくる第２の部分ビームが別のビー
ムスプリッタに配向されて、測定物体によって反射され
た第１の部分ビームと干渉されるようにするのである。
実現することができる。即ち、ビーム発生ユニットと第
１のビームスプリッタとの間に１つのコリメータが配置
されており、第１のビームスプリッタと測定物体との間
に、第１の部分ビームを集束レンズを介して測定物体に
導きかつ該測定物体によって反射された第１の部分ビー
ムを別のビームスプリッタの形の重畳装置に導くための
第２のビームスプリッタが整合配置されており、かつ第
１のビームスプリッタと第１の偏向器との間に、第３の
ビームスプリッタが配置されており、これにより第１の
偏向器を介して戻ってくる第２の部分ビームが別のビー
ムスプリッタに配向されて、測定物体によって反射され
た第１の部分ビームと干渉されるようにするのである。
【０００９】
【実施例】次に本発明を図示の実施例につき図面を用い
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１０】光源１、例えばレーザダイオードの形の短
コヒーレントビーム発生ユニットのコリメートされたビ
ームは、第１のビームスプリッタＳＴ１において第１の
部分ビーム３ないし第２の部分ビーム４に分割される。
第１の部分ビーム３は音響光学変調器５を介して第２の
ビームスプリッタＳＴ２および集束レンズ６を介して測
定物体７の表面に指向される。戻り反射後、第１の部分
ビーム３は第４のビームスプリッタＳＴ４に達する。
コヒーレントビーム発生ユニットのコリメートされたビ
ームは、第１のビームスプリッタＳＴ１において第１の
部分ビーム３ないし第２の部分ビーム４に分割される。
第１の部分ビーム３は音響光学変調器５を介して第２の
ビームスプリッタＳＴ２および集束レンズ６を介して測
定物体７の表面に指向される。戻り反射後、第１の部分
ビーム３は第４のビームスプリッタＳＴ４に達する。
【００１１】第１のビームスプリッタＳＴ１で分岐され
た第２の部分ビーム４は第３のビームスプリッタＳＴ３
および引き続いて２つの音響光学偏向器８，９を通過す
る。これら音響光学偏向器は１つの共通の偏向器ドライ
バ１２によって周波数変調されて制御される。周波数変
調によって、第２の部分ビーム４の偏向角度は第１の音
響光学偏向器８において角度αだけ変化される。第２の
音響光学偏向器９において第２の部分ビーム４は引き続
いて再び、それが第１の音響光学偏向器８に当たる方向
に偏向される。このようにして、第２の音響光学偏向器
９から出て行く第２の部分ビーム４の平行移動が生じ
る。この第２の部分ビームは引き続き回折格子の形の反
射エレメントを照射する。回折格子１０は、戻し回折さ
れた第２の部分ビーム４がこの平行移動に無関係に、干
渉装置において、ビームスプリッタＳＴ３を介して戻り
かつビームスプリッタＳＴ４において測定物体７から到
来する第１の部分ビーム３と重畳されるように、所定の
角度で傾けられている。２つの部分ビーム３および４が
同じ光学距離を通ってきたとき、干渉コントラストは最
大値に達している。
た第２の部分ビーム４は第３のビームスプリッタＳＴ３
および引き続いて２つの音響光学偏向器８，９を通過す
る。これら音響光学偏向器は１つの共通の偏向器ドライ
バ１２によって周波数変調されて制御される。周波数変
調によって、第２の部分ビーム４の偏向角度は第１の音
響光学偏向器８において角度αだけ変化される。第２の
音響光学偏向器９において第２の部分ビーム４は引き続
いて再び、それが第１の音響光学偏向器８に当たる方向
に偏向される。このようにして、第２の音響光学偏向器
９から出て行く第２の部分ビーム４の平行移動が生じ
る。この第２の部分ビームは引き続き回折格子の形の反
射エレメントを照射する。回折格子１０は、戻し回折さ
れた第２の部分ビーム４がこの平行移動に無関係に、干
渉装置において、ビームスプリッタＳＴ３を介して戻り
かつビームスプリッタＳＴ４において測定物体７から到
来する第１の部分ビーム３と重畳されるように、所定の
角度で傾けられている。２つの部分ビーム３および４が
同じ光学距離を通ってきたとき、干渉コントラストは最
大値に達している。
【００１２】２つの音響光学偏光器８，９は、第１の偏
向器８の偏向が第２の偏向器９において元に戻されかつ
第２の部分ビーム４が平行移動しかしないように配置さ
れているので、第２の部分ビーム４の光路、ないし光学
距離（走行時間）は変調される。２つの部分ビーム３，
４の光路差が零であるとき、第４のビームスプリッタＳ
Ｔ４の後ろの光路に配置されているホト検出器１１も干
渉最大値を観測する。干渉最大値ないしホト検出器１１
の信号最大値の発生時点と偏向器ドライバ１２の瞬時の
周波数を評価回路１４において比較することによって、
測定物体７に対する距離が正確に突き止められる。その
際第１のビームスプリッタＳＴ１と第２のビームスプリ
ッタＳＴ２との間に配置されている音響光学変調器５が
第１の部分ビームの周波数をシフトために制御されると
き、ホト検出器１１は、音響光学変調器５を変調器ドラ
イバ１３を用いて制御する周波数を有する交流信号の形
の干渉最大値を検出する。
向器８の偏向が第２の偏向器９において元に戻されかつ
第２の部分ビーム４が平行移動しかしないように配置さ
れているので、第２の部分ビーム４の光路、ないし光学
距離（走行時間）は変調される。２つの部分ビーム３，
４の光路差が零であるとき、第４のビームスプリッタＳ
Ｔ４の後ろの光路に配置されているホト検出器１１も干
渉最大値を観測する。干渉最大値ないしホト検出器１１
の信号最大値の発生時点と偏向器ドライバ１２の瞬時の
周波数を評価回路１４において比較することによって、
測定物体７に対する距離が正確に突き止められる。その
際第１のビームスプリッタＳＴ１と第２のビームスプリ
ッタＳＴ２との間に配置されている音響光学変調器５が
第１の部分ビームの周波数をシフトために制御されると
き、ホト検出器１１は、音響光学変調器５を変調器ドラ
イバ１３を用いて制御する周波数を有する交流信号の形
の干渉最大値を検出する。
【図１】測定物体の粗面の形状を測定するための干渉測
定装置の構成の概略図である。
定装置の構成の概略図である。
【符号の説明】 １ ビーム発生ユニット、 ２ コリメータ、 ３ 第
１の部分ビーム、 ４第２の部分ビーム、 ５ 音響光
学変調器、 ７ 測定物体、 ８，９ 音響光学偏向
器、 １０ 反射エレメント、 １１ ホト検出器、
１２ 偏向器ドライバ、 １３ 変調器ドライバ、 １
４ 評価回路、 ＳＴ１〜ＳＴ４ ビームスプリッタ
１の部分ビーム、 ４第２の部分ビーム、 ５ 音響光
学変調器、 ７ 測定物体、 ８，９ 音響光学偏向
器、 １０ 反射エレメント、 １１ ホト検出器、
１２ 偏向器ドライバ、 １３ 変調器ドライバ、 １
４ 評価回路、 ＳＴ１〜ＳＴ４ ビームスプリッタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ゲッツ キューンレ ドイツ連邦共和国 ヘミンゲン シューバ ルトシュトラーセ ２
Claims (5)
- 【請求項１】 測定物体の粗面の形状を測定するための
干渉測定装置であって、短コヒーレントビームを放射す
るためのビーム発生ユニットを備え、第１の部分ビーム
および第２の部分ビームを形成するための第１のビーム
スプリッタを備え、該２つの部分ビームのうち一方の部
分ビームは前記測定すべき表面に配向されておりかつ他
方の部分ビームは光路を周期的に変えるために反射エレ
メントを備えた装置に配向されており、前記表面および
前記装置から到来するビームがそこで干渉される重畳エ
レメントを備え、かつビームを検出するホト検出器を備
えている形式のものにおいて、前記光路を変えるための
装置は、ビーム路中に配置された平行に移動する装置
（８，９）とその後ろに定置に配置されている前記反射
エレメントとを有していることを特徴とする干渉測定装
置。 - 【請求項２】 前記平行移動する装置は、ビーム路に配
置された音響光学偏向器装置（８，９）を有しておりか
つ該偏向器装置（８，９）は周波数変調されて制御され
かつ前記到来する部分ビーム並びに前記反射エレメント
（１０）に関連して、前記重畳エレメント（ＳＴ４）に
導かれる第２の部分ビーム（４）が前記偏向器装置
（８，９）において偏向されて（∝）光路を変える請求
項１記載の干渉測定装置。 - 【請求項３】 前記偏向器装置（８，９）はビーム路に
前後に配置されている２つの偏向器（８，９）を有して
おり、該２つの偏向器のうち第１の偏向器（８）は到来
する部分ビームを周波数に依存して時間的に変化する角
度だけ偏向しかつ第２の偏向器（９）は該角度偏向を戻
し、その結果部分ビームが再び前記第１の偏向器（８）
に対する入射方向において延在し、かつ前記反射エレメ
ントは回折格子として実現されており、該回折格子は、
前記第２の偏向器（９）から出射する部分ビームに関し
て、該部分ビームが入射方向に戻されるように斜めに配
向されている請求項２記載の干渉測定装置。 - 【請求項４】 前記偏向器装置（８，９）は１つの共通
の偏向器ドライバ（１２）によって制御され、かつ変調
周波数に関する情報が評価回路（１４）に送出され、該
評価回路にはホト検出器（１１）の出力信号も供給さ
れ、かつ前記評価回路（１４）において前記変調周波数
に関する情報およびホト検出器の出力信号に基づいて前
記測定物体（７）の測定点に対する距離を求めることが
できる請求項３記載の干渉測定装置。 - 【請求項５】 前記ビーム発生ユニット（１）と前記第
１のビームスプリッタ（ＳＴ１）との間に１つのコリメ
ータ（２）が配置されており、該前記第１のビームスプ
リッタ（ＳＴ１）と測定物体（７）との間に、前記第１
の部分ビーム（３）を集束レンズ（６）を介して測定物
体（７）に導きかつ該測定物体（７）によって反射され
た第１の部分ビーム（３）を別のビームスプリッタ（Ｓ
Ｔ４）の形の前記重畳装置に導くための第２のビームス
プリッタ（ＳＴ２）が整合配置されており、かつ該前記
第１のビームスプリッタ（ＳＴ１）と前記第１の偏向器
（８）との間に、第３のビームスプリッタ（ＳＴ３）が
配置されており、これにより前記第１の偏向器（８）を
介して戻ってくる第２の部分ビーム（ＳＴ４）が前記別
のビームスプリッタ（ＳＴ４）に配向されて、測定物体
（７）によって反射された第１の部分ビーム（３）と干
渉されるようにした請求項１から４までのいずれか１項
記載の干渉測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19721842A DE19721842C2 (de) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | Interferometrische Meßvorrichtung |
| DE19721842.3 | 1997-05-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10332354A true JPH10332354A (ja) | 1998-12-18 |
Family
ID=7830441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10142728A Pending JPH10332354A (ja) | 1997-05-26 | 1998-05-25 | 干渉測定装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6243169B1 (ja) |
| JP (1) | JPH10332354A (ja) |
| DE (1) | DE19721842C2 (ja) |
| GB (1) | GB2325737B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013224845A (ja) * | 2012-04-20 | 2013-10-31 | Astro Design Inc | 距離計測システム |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19721842C2 (de) | 1997-05-26 | 1999-04-01 | Bosch Gmbh Robert | Interferometrische Meßvorrichtung |
| DE19738900B4 (de) * | 1997-09-05 | 2005-07-14 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Meßvorrichtung zur Formvermessung an rauhen Oberflächen |
| FR2769091B1 (fr) * | 1997-09-30 | 1999-12-17 | Univ Joseph Fourier | Detecteur optique actif |
| DE10047495B4 (de) * | 1999-10-09 | 2005-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische Messvorrichtung zur Formvermessung |
| WO2001027558A1 (de) * | 1999-10-09 | 2001-04-19 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische messvorrichtung zur formvermessung |
| DE10039239A1 (de) | 2000-08-11 | 2002-03-07 | Bosch Gmbh Robert | Optische Messvorrichtung |
| DE10123844A1 (de) | 2001-04-09 | 2002-10-17 | Bosch Gmbh Robert | Interferometrische Messvorrichtung |
| EP1272811A1 (de) * | 2001-04-09 | 2003-01-08 | Robert Bosch Gmbh | Interferometrische messvorrichtung |
| US7474407B2 (en) * | 2003-02-20 | 2009-01-06 | Applied Science Innovations | Optical coherence tomography with 3d coherence scanning |
| DE102004017232A1 (de) | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Bosch Gmbh Robert | Interferometrische Messvorrichtung |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4848908A (en) * | 1983-10-24 | 1989-07-18 | Lockheed Missiles & Space Company, Inc. | Optical heterodyne roughness measurement system |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19721842A1 (de) | 1998-12-03 |
| GB9811282D0 (en) | 1998-07-22 |
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| US6243169B1 (en) | 2001-06-05 |
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