JPH10303470A - 熱電冷却装置 - Google Patents
熱電冷却装置Info
- Publication number
- JPH10303470A JPH10303470A JP9108632A JP10863297A JPH10303470A JP H10303470 A JPH10303470 A JP H10303470A JP 9108632 A JP9108632 A JP 9108632A JP 10863297 A JP10863297 A JP 10863297A JP H10303470 A JPH10303470 A JP H10303470A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- solder
- cooling device
- thermoelectric semiconductor
- thermoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 70
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 52
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims description 10
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 46
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 28
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 4
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006071 cream Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 230000005679 Peltier effect Effects 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
ず、性能が良好であり、かつ信頼性も向上させること。 【解決手段】 p型熱電半導体4a、4b、4cと、n
型熱電半導体5a、5b、5cと、p型熱電半導体4
a、4b、4c及びn型熱電半導体5a、5b、5cと
が半田6により半田接合された電極3a−1、3a−
2、3a−3、3a−4、3b−1、3b−2、3b−
3とを備えた熱電冷却装置100において、電極3a−
2、3a−3、3b−1、3b−2、3b−3の表面に
は凹部7が形成されていることを特徴とする熱電冷却装
置としたこと。
Description
熱電冷却装置に関するものであり、特に、熱電冷却装置
内の電極形状に係るものである。
し、冷熱を発生する熱電冷却装置において、熱電冷却装
置内の熱電冷却素子を形成する熱電半導体チップと電極
との半田付けは、相対向する電極のそれぞれの対向面に
半田を塗布し、その間に熱電半導体チップを挟み込み、
この状態で加熱して半田を溶融させ、さらに冷却するこ
とにより半田付けを完了させていた。しかし、この方法
では、加熱して半田が溶融したときに熱電半導体チップ
が半田の表面張力により移動し、チップズレ不良を起こ
すという問題があった。
973号公報に記載されたものでは、図12に示す如く
電極51の中間部分51aを狭くし、溶融半田による表
面張力が電極51における熱電素子接合部の中心に向け
て働くように構成し、熱電素子52、53を図示矢印方
向に移動させて正規の位置に固定することができるよう
にしている。
方法では溶融半田の余剰部分が逃げる場所が少なく、そ
の結果、図11に示すように熱電半導体チップ間に余分
な半田がたまってしまう。このように熱電半導体チップ
間に半田がたまると、熱電半導体チップの側部から半田
が拡散されたり、加熱溶融半田の熱により熱電半導体チ
ップに熱応力が発生したりして、熱電半導体の性能低
下、熱電冷却装置の信頼性の低下につながるという問題
点がある。
たものであり、熱電冷却装置において、チップズレを起
こさず、性能が良好であり、かつ信頼性も向上させるこ
とを技術的課題とするものである。
るために、請求項1において講じた発明は、p型熱電半
導体と、n型熱電半導体と、前記p型熱電半導体及び前
記n型熱電半導体とが半田付けにより接合された電極と
を備えた熱電冷却装置において、前記電極の表面には凹
部が形成されていることを特徴とする熱電冷却装置とし
たことである。
れる電極には凹部が形成されているので、p型熱電半導
体及びn型熱電半導体を半田付けにより電極に半田接合
する際に、余剰の半田が加熱溶融時に凹部に流れる。こ
のため熱電半導体の近傍に半田のたまりができず、溶融
半田の表面張力が熱電半導体にほとんど作用しなくなる
とともに、半田成分が熱電半導体内に拡散することを防
止でき、さらに半田の熱が熱電半導体に伝達されて熱応
力が発生することもなくなるものである。
り、請求項2の発明において講じたように、前記凹部は
前記p型熱電半導体が前記電極に接合される部位と前記
n型熱電半導体が前記電極に接合される部位との間に形
成されることが好ましい。これによれば、凹部はp型熱
電半導体が電極に接合される部位とn型熱電半導体が電
極に接合される部位との間に形成されているので、p型
熱電半導体及びn型熱電半導体を半田付けにより電極に
半田接合する際に、余剰の半田が凹部の両側から凹部へ
と流れる。つまり、p型熱電半導体を接合するときに使
用する半田の余剰分とn型熱電半導体を接合するときに
使用する半田の余剰分とを同一の凹部に流すことができ
る。これにより、限られた電極スペースを有効に使用す
ることができ、装置全体のコンパクト化を図ることがで
きる。
により電極に凹部を形成する方法、エッチング等の化学
的処理により凹部を形成する方法等が挙げられる。
図面に基づいて説明する。
における熱電冷却装置の全体斜視図である。
て配置された基板1、2を備える。基板1、2は、例え
ばアルミナセラミックス基板よりなる。基板2の下面に
は所定形状にパターニングされた銅電極3aが配置され
ている。同様に、基板1の下面にも所定形状にパターニ
ングされた図示せぬ銅電極3bが配置されている。基板
2の上に配置された一枚の銅電極3aと基板1の下面に
配置された図示せぬ一枚の銅電極3bとは部分的に対向
しており、この対向部分にp型熱電半導体チップ4また
はn型熱電半導体チップ5が介在して両電極を導通関係
としている。尚、図示符号11は、熱電冷却装置100
に電流を供給するためのリード線である。
た銅電極3a−1の表面には、p型熱電半導体チップ4
aの一端が半田6により半田接合されている。p型熱電
半導体チップ4aの他端は基板2に配置した銅電極3b
−1に半田6により半田接合されている。銅電極3b−
1にはさらにn型熱電半導体チップ5aの一端と半田6
により半田接合されており、このn型熱電半導体チップ
5aの他端は基板2側の銅電極3a−2とやはり半田6
により半田接合されている。以下同様に、p型熱電半導
体チップ4bの一端が銅電極3a−2に、他端が銅電極
3b−2に、n型熱電半導体チップ5bの一端が銅電極
3b−2に、他端が銅電極3a−3に、p型熱電半導体
チップ4cの一端が銅電極3a−3に、他端が銅電極3
b−3に、n型熱電半導体チップ5cの一端が銅電極3
b−3に、他端が銅電極3a−4に、それぞれ半田6に
より半田接合されている。
記説明の如きなので、通電した場合に各銅電極間に介設
されているp型熱電半導体チップとn型熱電半導体チッ
プとに順番に電流が流れ、ペルチェ効果により一方の基
板側で発熱を、他方の基板側で吸熱を行うものである。
b−2、3b−3、即ち、p型熱電半導体チップとn型
熱電半導体チップとが両方とも半田接合された電極に
は、凹部7がそれぞれ形成されている。この凹部7は、
本例においては、p型熱電半導体チップが電極に接合さ
れる部位とn型熱電半導体チップが電極に接合される部
位との間の電極中央部に形成されている。
定の銅電極に凹部7が形成されているので、熱電半導体
チップ4、5を半田付けにより銅電極に接合する際に余
分な半田が凹部7に流れ込み、熱電半導体チップの側面
が余分な半田に接触することはない。このため、半田成
分が熱電半導体チップ4、5の側面から拡散して熱電半
導体チップ4、5の熱電性能が劣化することを防止でき
るとともに、熱電半導体チップ4、5が半田の表面張力
により移動することがなく、さらに、半田の熱応力も受
けることがないものである。
は、銅電極に形成されている凹部7がp型熱電半導体チ
ップ4が銅電極に接合される部位とn型熱電半導体チッ
プ5が銅電極に接合される部位との間の電極中央部に形
成されているので、p型熱電半導体チップ4を半田接合
する際に発生する余剰半田とn型熱電半導体チップ5を
半田接合する際に発生する余剰半田とが、同一の凹部7
に両側から流れこむ。このため、限られた電極スペース
を有効に使用することができ、装置全体のコンパクト化
を図ることができるものである。
法について説明する。
に銅電極3a−1〜3a−4が任意にパターニングされ
た基板2を作成した。ここでは、基板材質がアルミナセ
ラミックスで、電極が厚さ0.3mmの銅を用いたDB
C(ダイレクト・ボンディング・サーキット)基板を使
用した。次に、図4に示すように凹部を形成すべき銅電
極(3a−2、3a−3)上の、凹部を形成しない部分
にレジストインク8を塗布した。次に、周知の方法でエ
ッチング処理を施し、その後にレジストインク8を除去
することにより、図5に示すように所定の銅電極に凹部
7を形成した。
された電極3b−1〜3b−3に対しても上記説明した
処理を施し、所定の電極に凹部を形成した。
ーン印刷にてクリーム半田を塗布し、熱電半導体チップ
を所定の順序で電極上に配置した。そして、熱電半導体
チップを両側から電極で挟み込んだ状態でプレートヒー
タ等の加熱手段により加熱し、半田を溶融させた。この
とき半田の溶融部分が電極に形成された凹部7に流れ込
み、この凹部7に滞留した。この状態で冷却して半田を
固化させ、半田接合を完了し、図2に示すような熱電冷
却装置100を製造した。
について説明する。
の全体斜視図であり、図7は、断面概略図である。図6
と図1を比較して明らかなように、本例の熱電冷却装置
200は第1実施形態例で説明した熱電冷却装置100
(図1参照)から上下の基板を除いた構成であり、その
他の部分は同一である。従って、本例についての個々の
構成について、第1実施形態例と同一部分に同一符号を
付し、その具体的説明は省略する。
製造方法について説明する。
レス法で打ち抜き、図8に示すような電極3を作製し
た。次に、電極3のうち、図7の電極3a−2、3a−
3に対応する電極を、同じく周知のプレス法で、図9に
示されるように変形させ、凹部7を形成した。このよう
にして作製した電極3a−1〜3a−4を、図10に示
されるように両面テープ11にてアルミ基板2上に電極
パターンとなるように配列させた。
された電極3b−1〜3b−3に対しても上記説明した
処理を施し、各電極に凹部7を形成した。
印刷にて電極の所定部分にクリーム半田を塗布し、熱電
半導体チップを配して加熱し、半田を溶融させた。この
とき半田の溶融部分が電極に形成された凹部7に流れ込
み、この凹部7に滞留した。この状態で冷却して半田を
固化させ、半田接合を完了させた。その後、両面テープ
8を剥がして図6に示すような熱電冷却装置200を製
造した。
概略断面図を図11に示す。この熱電冷却装置300
は、第1実施形態例と同様な方法で作製したものであ
り、第1実施形態例と同一部分については同一符号で示
した。ただし、電極3a−1〜3a−4、3b−1〜3
b−3についてはエッチング処理を施しておらず、フラ
ットな形状のものを使用した。図11よりわかるよう
に、比較例においては電極に凹部が設けられていないの
で、電極と熱電半導体チップを半田接合する際の余剰半
田が熱電半導体チップ間に溜まっているものである。
比較例で説明した方法により製造した熱電冷却装置にお
いて、チップズレ不良数と、冷熱衝撃試験による信頼性
を評価した。ここで、チップズレ不良は、熱電半導体チ
ップが隣接する電極と接触しているものを不良とした。
また、冷熱衝撃試験は、−50℃の雰囲気温度内に1時
間放置し、次いで120℃の雰囲気温度内に1時間放置
することを1サイクルとし、これを200サイクル実施
した前後の、熱電冷却装置の内部抵抗の変化が10%以
下のものを合格とした。
例、第2実施形態例の熱電冷却装置、つまり、電極に凹
部が形成されたものを用いた熱電冷却装置は、チップズ
レ不良数が皆無であり、一方、比較例の熱電冷却装置、
つまり、電極に凹部が形成されていないフラットなもの
を用いた熱電冷却装置は、チップズレ不良数が20個中
8個もあった。これにより、本例における熱電冷却装置
は、チップズレ不良を起こさず、製造歩留りが極めて良
いことがわかる。また、第1実施形態例、第2実施形態
例の熱電冷却装置は、冷熱衝撃試験での不合格数も皆無
であり、一方、比較例の熱電冷却装置は冷熱衝撃試験で
の不合格数が全体の半数以上(16/20)である。こ
れにより、本例における熱電冷却装置は、信頼性も非常
に良好なことがわかる。
起こさず、性能が良好であり、かつ信頼性も向上した熱
電冷却装置とすることができるものである。
の全体斜視図である。
の断面概略図である。
の製造方法を示す図であり、基板に電極をパターニング
した工程を示す。
の製造方法を示す図であり、電極の所定位置にレジスト
インクを塗布する工程を示す。
の製造方法を示す図であり、所定の電極に凹部が形成さ
れる工程を示す図である。
の全体斜視図である。
の断面概略図である。
の製造方法を示す図であり、電極を作製する工程を示す
図である。
の製造方法を示す図であり、所定の電極に凹部を形成す
る工程を示す図である。
置の製造方法を示す図であり、両面テープにより電極と
基板を貼りつける工程を示す図である。
ある。
示す図である。
−4、3b−1、3b−2、3b−3・・・銅電極(電
極) 4、4a、4b、4c・・・p型熱電半導体チップ(p
型熱電半導体) 5、5a、5b、5c・・・n型熱電半導体チップ(n
型熱電半導体) 6・・・半田 7・・・凹部 100、200、300・・・熱電冷却装置
Claims (2)
- 【請求項1】 p型熱電半導体と、n型熱電半導体と、
前記p型熱電半導体及び前記n型熱電半導体とが半田付
けにより接合された電極とを備えた熱電冷却装置におい
て、前記電極の表面には凹部が形成されていることを特
徴とする熱電冷却装置。 - 【請求項2】 請求項1において、前記凹部は前記p型
熱電半導体が前記電極に接合される部位と前記n型熱電
半導体が前記電極に接合される部位との間に形成される
ことを特徴とする熱電冷却装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9108632A JPH10303470A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 熱電冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9108632A JPH10303470A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 熱電冷却装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10303470A true JPH10303470A (ja) | 1998-11-13 |
Family
ID=14489730
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9108632A Pending JPH10303470A (ja) | 1997-04-25 | 1997-04-25 | 熱電冷却装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10303470A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000244026A (ja) * | 1999-02-17 | 2000-09-08 | Seiko Instruments Inc | 熱電変換素子とその製造方法 |
US20100154854A1 (en) * | 2008-12-19 | 2010-06-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Thermoelectric module comprising spherical thermoelectric elements and method of manufacturing the same |
WO2017130461A1 (ja) * | 2016-01-29 | 2017-08-03 | 日立化成株式会社 | 熱電変換モジュールおよびその製造方法 |
CN111133596A (zh) * | 2017-09-26 | 2020-05-08 | Lg伊诺特有限公司 | 热电装置 |
-
1997
- 1997-04-25 JP JP9108632A patent/JPH10303470A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000244026A (ja) * | 1999-02-17 | 2000-09-08 | Seiko Instruments Inc | 熱電変換素子とその製造方法 |
US20100154854A1 (en) * | 2008-12-19 | 2010-06-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Thermoelectric module comprising spherical thermoelectric elements and method of manufacturing the same |
WO2017130461A1 (ja) * | 2016-01-29 | 2017-08-03 | 日立化成株式会社 | 熱電変換モジュールおよびその製造方法 |
JP2017135309A (ja) * | 2016-01-29 | 2017-08-03 | 日立化成株式会社 | 熱電変換モジュールおよびその製造方法 |
CN111133596A (zh) * | 2017-09-26 | 2020-05-08 | Lg伊诺特有限公司 | 热电装置 |
CN111133596B (zh) * | 2017-09-26 | 2023-10-31 | Lg伊诺特有限公司 | 热电装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3918279B2 (ja) | 多段電子冷却装置及びその製造方法 | |
JP3333409B2 (ja) | 半導体モジュール | |
US4687879A (en) | Tiered thermoelectric unit and method of fabricating same | |
JPH11265976A (ja) | パワー半導体モジュールおよびその製造方法 | |
JP2000022224A (ja) | 熱電素子及びその製造方法 | |
JP3569836B2 (ja) | 熱電装置 | |
JPH10303470A (ja) | 熱電冷却装置 | |
JPH10144967A (ja) | 冷却用熱電素子モジュール | |
JPH07321379A (ja) | 熱電装置の製造方法 | |
JPH01235261A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US10236430B2 (en) | Thermoelectric module | |
JP2003017763A (ja) | 熱電モジュール用基板およびその製造方法並びに熱電モジュール用基板を用いた熱電モジュール | |
KR20140042683A (ko) | 반도체 유닛 및 그의 제조 방법 | |
JP3813180B2 (ja) | 電力半導体素子のための電流接続部 | |
JP4100685B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2583142B2 (ja) | 熱電モジュールの製造方法 | |
JP2004119833A (ja) | 熱電素子モジュール及びその製造方法 | |
JP3549426B2 (ja) | 熱電素子、及びその製造方法 | |
JP2903331B2 (ja) | 熱電装置の製造方法 | |
JP4329187B2 (ja) | 半導体素子 | |
JP4294965B2 (ja) | 熱電変換モジュール | |
JP3377944B2 (ja) | 熱電素子、及びその製造方法 | |
JPH11163424A (ja) | 熱電モジュールの作製方法 | |
JP3865179B2 (ja) | パワー電子回路装置及びその製造方法 | |
JPH0846248A (ja) | 熱電素子及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040402 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050304 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061031 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061208 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070731 |