JPH10289939A - 無人搬送台車 - Google Patents
無人搬送台車Info
- Publication number
- JPH10289939A JPH10289939A JP9096153A JP9615397A JPH10289939A JP H10289939 A JPH10289939 A JP H10289939A JP 9096153 A JP9096153 A JP 9096153A JP 9615397 A JP9615397 A JP 9615397A JP H10289939 A JPH10289939 A JP H10289939A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- unit
- opening
- transfer
- attached
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 移動を繰り返しながら安全確実且つ高速に移
載作業を実行することができる無人搬送台車を提供す
る。 【解決手段】 上面１１ａの端部１１ｂ-1〜１１ｂ-4の
内の２つ以上に有しウェハカセット１０２の移載作業が
可能である開口部の各々に取り付けられ外周から侵入す
る物体を検知する光センサによる検知結果に基づいて制
御部１２がマニピュレータ１０３の動作状態を制御し、
およびまたは走行手段を制御する。このとき制御部１２
は、移載作業を行う開口部以外に取り付けられた光セン
サの何れかによって侵入する物体が検知された場合にマ
ニピュレータ１０３を非動作状態に制御するか、または
移載作業を行う開口部に取り付けられた光センサのみを
非動作状態に制御し、動作状態の光センサの何れかによ
って侵入する物体が検知された場合にマニピュレータ１
０３を非動作状態に制御する。
載作業を実行することができる無人搬送台車を提供す
る。 【解決手段】 上面１１ａの端部１１ｂ-1〜１１ｂ-4の
内の２つ以上に有しウェハカセット１０２の移載作業が
可能である開口部の各々に取り付けられ外周から侵入す
る物体を検知する光センサによる検知結果に基づいて制
御部１２がマニピュレータ１０３の動作状態を制御し、
およびまたは走行手段を制御する。このとき制御部１２
は、移載作業を行う開口部以外に取り付けられた光セン
サの何れかによって侵入する物体が検知された場合にマ
ニピュレータ１０３を非動作状態に制御するか、または
移載作業を行う開口部に取り付けられた光センサのみを
非動作状態に制御し、動作状態の光センサの何れかによ
って侵入する物体が検知された場合にマニピュレータ１
０３を非動作状態に制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、アームやマニピ
ュレータを有し、搬送物の搬送ならびに移載を行う無人
搬送台車に関する。
ュレータを有し、搬送物の搬送ならびに移載を行う無人
搬送台車に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、半導体素子の製造工場ではロボッ
ト等の機械と人間とが同時に作業する場合も珍しくな
い。そこで例えば、ウェハカセットを移載する無人搬送
台車と人間とが混在する場合、ウェハの大型化や重量化
に伴って安全面の問題がクローズアップされてきてい
る。
ト等の機械と人間とが同時に作業する場合も珍しくな
い。そこで例えば、ウェハカセットを移載する無人搬送
台車と人間とが混在する場合、ウェハの大型化や重量化
に伴って安全面の問題がクローズアップされてきてい
る。
【０００３】上述した、ウェハカセットを移載するため
のマニピュレータを搭載した無人搬送台車に対する安全
策としては、一例として、マニピュレータと人間との間
に光式カーテンを設けるものが挙げられる。
のマニピュレータを搭載した無人搬送台車に対する安全
策としては、一例として、マニピュレータと人間との間
に光式カーテンを設けるものが挙げられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図６は、従来の無人搬
送台車１００の構成の一例を示す斜視図である。この図
において、１０１は制御部や車輪（図示省略）を有し、
矢示のＡＡ'方向に走行可能な台車部である。
送台車１００の構成の一例を示す斜視図である。この図
において、１０１は制御部や車輪（図示省略）を有し、
矢示のＡＡ'方向に走行可能な台車部である。
【０００５】この台車部１０１の上面１０１ａには、複
数のウェハカセット１０２、１０２・・・を載置可能で
あるとともに、多関節アームのマニピュレータ１０３が
取り付けられている。
数のウェハカセット１０２、１０２・・・を載置可能で
あるとともに、多関節アームのマニピュレータ１０３が
取り付けられている。
【０００６】また、台車部１０１の上面１０１ａにおい
ては、１つの端部（１０１ｂ-1）を除く各端部（１０１
ｂ-2〜１０１ｂ-4）上に防護柵１０４が設けられてい
る。図７は、図６に示す無人搬送台車１００が適用され
る工場の概略構成を示す斜視図である。
ては、１つの端部（１０１ｂ-1）を除く各端部（１０１
ｂ-2〜１０１ｂ-4）上に防護柵１０４が設けられてい
る。図７は、図６に示す無人搬送台車１００が適用され
る工場の概略構成を示す斜視図である。
【０００７】図７に示すように、工場には複数の装置１
１０-1、１１０-2・・・（以降、必要に応じて１１０-n
と称する）が設置されている。これら各装置１１０
-nは、特定の面に上述のウェハカセット１０２、１０２
・・・を載置する載置部１１１を有している（なお１０
２は、ウェハカセットに限定されず、半導体ウェハ自体
や、これを格納した箱でもよい）。
１０-1、１１０-2・・・（以降、必要に応じて１１０-n
と称する）が設置されている。これら各装置１１０
-nは、特定の面に上述のウェハカセット１０２、１０２
・・・を載置する載置部１１１を有している（なお１０
２は、ウェハカセットに限定されず、半導体ウェハ自体
や、これを格納した箱でもよい）。
【０００８】この工場内において無人搬送台車１００
は、各装置１１０-nの載置部１１１を有する面に沿って
自走するが、通常各装置は走行通の両側にある。装置と
の関係が同じ側で走れるとは限らない。
は、各装置１１０-nの載置部１１１を有する面に沿って
自走するが、通常各装置は走行通の両側にある。装置と
の関係が同じ側で走れるとは限らない。
【０００９】しかしながら、上述したようにマニピュレ
ータ１０３が移載作業を実施できるのは、無人搬送台車
１００の上面１０１ａにおいて防護柵１０４が設けられ
ていない１つの端部１０１ｂ-1側のみである。即ち、端
部１０１ｂ-1を常に各装置１１０-n側に向けて走行する
必要がある。
ータ１０３が移載作業を実施できるのは、無人搬送台車
１００の上面１０１ａにおいて防護柵１０４が設けられ
ていない１つの端部１０１ｂ-1側のみである。即ち、端
部１０１ｂ-1を常に各装置１１０-n側に向けて走行する
必要がある。
【００１０】従ってたとえばＢでスピンターン（Ｂ-2）
を余儀なくされ場合がある。このスピンターンは、走行
そのものを一時的に停止しなければならないので、移載
作業の高速化の妨げになっていた。
を余儀なくされ場合がある。このスピンターンは、走行
そのものを一時的に停止しなければならないので、移載
作業の高速化の妨げになっていた。
【００１１】さらに、一般に半導体ウェハを扱うクリー
ンルームは狭い場合が多い反面、上述のような動作には
広い空間を必要としている場合には広い場所まで移動す
る必要もあるため、大きな時間の無駄を生じる原因にも
なっていた。
ンルームは狭い場合が多い反面、上述のような動作には
広い空間を必要としている場合には広い場所まで移動す
る必要もあるため、大きな時間の無駄を生じる原因にも
なっていた。
【００１２】この発明は、このような背景の下になされ
たもので、移動を繰り返しながら安全確実且つ高速に移
載作業を実行することができる無人搬送台車を提供する
ことを目的としている。
たもので、移動を繰り返しながら安全確実且つ高速に移
載作業を実行することができる無人搬送台車を提供する
ことを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、請求項１に記載の発明にあっては、走行手段を
有し、載置部に１つ以上の搬送物を載置して搬送する搬
送手段と、前記載置部に設けられ前記搬送物を移載する
移載手段とを具備し、前記載置部の複数の側部の内の２
つ以上が開口部として前記搬送物の移載作業が可能であ
る無人搬送台車であって、前記開口部の各々に取り付け
られ前記載置部の外周から当該載置部内に侵入する物体
を検知する光センサと、前記光センサによる検知結果に
基づいて前記移載手段の動作状態を制御し、およびまた
は前期走行手段を制御する制御手段とを有していること
を特徴とする。また、請求項２に記載の発明にあって
は、走行手段を有し、載置部に１つ以上の搬送物を載置
して搬送する搬送手段と、前記載置部に設けられ前記搬
送物を移載する移載手段とを具備し、複数の側部の内の
２つ以上が開口部として前記搬送物の移載作業が可能で
ある無人搬送台車であって、前記開口部の各々に取り付
けられ前記載置部の外周から当該載置部内に侵入する物
体を検知する光センサと、前記光センサによる検知結果
に基づいて前記移載手段の動作状態を制御する制御手段
とを有していることを特徴とする。また、請求項３に記
載の発明にあっては、請求項１または請求項２の何れか
に記載の無人搬送台車では、前記制御手段は、前記移載
作業を行う開口部以外に取り付けられた前記光センサの
何れかによって侵入する物体が検知された場合には前記
移載手段を非動作状態に制御することを特徴とする。ま
た、請求項４に記載の発明にあっては、請求項１または
請求項２の何れかに記載の無人搬送台車では、前記制御
手段は、前記移載作業を行う開口部に取り付けられた前
記光センサのみを非動作状態に制御し、動作状態の前記
光センサの何れかによって侵入する物体が検知された場
合には前記移載手段を非動作状態に制御することを特徴
とする。また、請求項５に記載の発明にあっては、請求
項１ないし請求項４の何れかに記載の無人搬送台車で
は、前記光センサは、前記開口部の開口面内において対
向する２つの端部に取り付けられ複数の発光素子の配
列からなる発光手段と当該複数の発光素子の各々と対
向する複数の受光素子の配列からなる受光手段とから構
成され、前記発光素子の各々が出射し対応する前記受光
素子に入射する光の何れかが遮断されることで侵入する
物体を検知することを特徴とする。また、請求項６に記
載の発明にあっては、請求項１ないし請求項４の何れか
に記載の無人搬送台車では、前記光センサは、前記開口
部の開口面内において対向する２つの端部に取り付けら
れ発光素子と受光素子と複数の反射手段の配列からな
るセンサ部と前記センサ部が出射する光を反射して当
該センサ部に入射させる複数の前記反射手段の配列から
なる反射部とから構成され、前記発光素子が出射し前記
開口面の全面に亙って前記センサ部と前記反射部との間
で繰り返し反射され前記受光素子に入射する光が遮断さ
れることで侵入する物体を検知することを特徴とする。
また、請求項７に記載の発明にあっては、請求項１ない
し請求項４の何れかに記載の無人搬送台車では、前記光
センサは、前記開口部の開口面内の１カ所に取り付けら
れ当該開口面内にビームを走査する光走査手段を有し、
前記光走査手段が何れかの走査角において出射し前記開
口面内で反射して再び当該光走査手段に入射するビーム
の伝播距離が、当該走査角の各々に応じて予め決定され
る所定の距離より短くなることで侵入する物体を検知す
ることを特徴とする。
ために、請求項１に記載の発明にあっては、走行手段を
有し、載置部に１つ以上の搬送物を載置して搬送する搬
送手段と、前記載置部に設けられ前記搬送物を移載する
移載手段とを具備し、前記載置部の複数の側部の内の２
つ以上が開口部として前記搬送物の移載作業が可能であ
る無人搬送台車であって、前記開口部の各々に取り付け
られ前記載置部の外周から当該載置部内に侵入する物体
を検知する光センサと、前記光センサによる検知結果に
基づいて前記移載手段の動作状態を制御し、およびまた
は前期走行手段を制御する制御手段とを有していること
を特徴とする。また、請求項２に記載の発明にあって
は、走行手段を有し、載置部に１つ以上の搬送物を載置
して搬送する搬送手段と、前記載置部に設けられ前記搬
送物を移載する移載手段とを具備し、複数の側部の内の
２つ以上が開口部として前記搬送物の移載作業が可能で
ある無人搬送台車であって、前記開口部の各々に取り付
けられ前記載置部の外周から当該載置部内に侵入する物
体を検知する光センサと、前記光センサによる検知結果
に基づいて前記移載手段の動作状態を制御する制御手段
とを有していることを特徴とする。また、請求項３に記
載の発明にあっては、請求項１または請求項２の何れか
に記載の無人搬送台車では、前記制御手段は、前記移載
作業を行う開口部以外に取り付けられた前記光センサの
何れかによって侵入する物体が検知された場合には前記
移載手段を非動作状態に制御することを特徴とする。ま
た、請求項４に記載の発明にあっては、請求項１または
請求項２の何れかに記載の無人搬送台車では、前記制御
手段は、前記移載作業を行う開口部に取り付けられた前
記光センサのみを非動作状態に制御し、動作状態の前記
光センサの何れかによって侵入する物体が検知された場
合には前記移載手段を非動作状態に制御することを特徴
とする。また、請求項５に記載の発明にあっては、請求
項１ないし請求項４の何れかに記載の無人搬送台車で
は、前記光センサは、前記開口部の開口面内において対
向する２つの端部に取り付けられ複数の発光素子の配
列からなる発光手段と当該複数の発光素子の各々と対
向する複数の受光素子の配列からなる受光手段とから構
成され、前記発光素子の各々が出射し対応する前記受光
素子に入射する光の何れかが遮断されることで侵入する
物体を検知することを特徴とする。また、請求項６に記
載の発明にあっては、請求項１ないし請求項４の何れか
に記載の無人搬送台車では、前記光センサは、前記開口
部の開口面内において対向する２つの端部に取り付けら
れ発光素子と受光素子と複数の反射手段の配列からな
るセンサ部と前記センサ部が出射する光を反射して当
該センサ部に入射させる複数の前記反射手段の配列から
なる反射部とから構成され、前記発光素子が出射し前記
開口面の全面に亙って前記センサ部と前記反射部との間
で繰り返し反射され前記受光素子に入射する光が遮断さ
れることで侵入する物体を検知することを特徴とする。
また、請求項７に記載の発明にあっては、請求項１ない
し請求項４の何れかに記載の無人搬送台車では、前記光
センサは、前記開口部の開口面内の１カ所に取り付けら
れ当該開口面内にビームを走査する光走査手段を有し、
前記光走査手段が何れかの走査角において出射し前記開
口面内で反射して再び当該光走査手段に入射するビーム
の伝播距離が、当該走査角の各々に応じて予め決定され
る所定の距離より短くなることで侵入する物体を検知す
ることを特徴とする。
【００１４】この発明によれば、載置部の複数の側部の
内の２つ以上に有し搬送物の移載作業が可能である開口
部の各々に取り付けられ載置部の外周から当該載置部内
に侵入する物体を検知する光センサによる検知結果に基
づいて制御手段が移載手段の動作状態を制御し、および
または走行手段を制御する。このとき制御手段は、移載
作業を行う開口部以外に取り付けられた光センサの何れ
かによって侵入する物体が検知された場合に移載手段を
非動作状態に制御するか、または移載作業を行う開口部
に取り付けられた光センサのみを非動作状態に制御し、
動作状態の光センサの何れかによって侵入する物体が検
知された場合に移載手段を非動作状態に制御する。光セ
ンサにあっては、開口部の開口面内において対向する２
つの端部に取り付けられ複数の発光素子の配列からな
る発光手段と当該複数の発光素子の各々と対向する複
数の受光素子の配列からなる受光手段とによって構成
し、発光素子の各々が出射し対応する受光素子に入射す
る光の何れかが遮断されることで侵入する物体を検知す
るか、または開口部の開口面内において対向する２つの
端部に取り付けられ発光素子と受光素子と複数の反射
手段の配列からなるセンサ部とセンサ部が出射する光
を反射して当該センサ部に入射させる複数の反射手段の
配列からなる反射部とによって構成し、発光素子が出射
し開口面の全面に亙ってセンサ部と反射部との間で繰り
返し反射され受光素子に入射する光が遮断されることで
侵入する物体を検知するか、あるいは開口部の開口面内
の１カ所に取り付けられ当該開口面内にビームを走査す
る光走査手段を備え、光走査手段が何れかの走査角にお
いて出射し開口面内で反射して再び当該光走査手段に入
射するビームの伝播距離が、当該走査角の各々に応じて
予め決定される所定の距離より短くなることで侵入する
物体を検知する。
内の２つ以上に有し搬送物の移載作業が可能である開口
部の各々に取り付けられ載置部の外周から当該載置部内
に侵入する物体を検知する光センサによる検知結果に基
づいて制御手段が移載手段の動作状態を制御し、および
または走行手段を制御する。このとき制御手段は、移載
作業を行う開口部以外に取り付けられた光センサの何れ
かによって侵入する物体が検知された場合に移載手段を
非動作状態に制御するか、または移載作業を行う開口部
に取り付けられた光センサのみを非動作状態に制御し、
動作状態の光センサの何れかによって侵入する物体が検
知された場合に移載手段を非動作状態に制御する。光セ
ンサにあっては、開口部の開口面内において対向する２
つの端部に取り付けられ複数の発光素子の配列からな
る発光手段と当該複数の発光素子の各々と対向する複
数の受光素子の配列からなる受光手段とによって構成
し、発光素子の各々が出射し対応する受光素子に入射す
る光の何れかが遮断されることで侵入する物体を検知す
るか、または開口部の開口面内において対向する２つの
端部に取り付けられ発光素子と受光素子と複数の反射
手段の配列からなるセンサ部とセンサ部が出射する光
を反射して当該センサ部に入射させる複数の反射手段の
配列からなる反射部とによって構成し、発光素子が出射
し開口面の全面に亙ってセンサ部と反射部との間で繰り
返し反射され受光素子に入射する光が遮断されることで
侵入する物体を検知するか、あるいは開口部の開口面内
の１カ所に取り付けられ当該開口面内にビームを走査す
る光走査手段を備え、光走査手段が何れかの走査角にお
いて出射し開口面内で反射して再び当該光走査手段に入
射するビームの伝播距離が、当該走査角の各々に応じて
予め決定される所定の距離より短くなることで侵入する
物体を検知する。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に、本発明について説明す
る。図１は、本発明の一実施の形態にかかる無人搬送台
車１０の外観ならびに無人搬送台車１０が適用される工
場内の概略を示す斜視図である。なお図１において、図
６あるいは図７に示す各部と対応する部分には同一の符
号を付し、その詳細な説明は省略する。
る。図１は、本発明の一実施の形態にかかる無人搬送台
車１０の外観ならびに無人搬送台車１０が適用される工
場内の概略を示す斜視図である。なお図１において、図
６あるいは図７に示す各部と対応する部分には同一の符
号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００１６】図１において、１１は無人搬送台車１０の
台車部である。この台車部１１は、モータによって回転
駆動される車輪や操舵装置、ならびにこれらを含む各部
の動作を制御する制御装置（何れも図示省略）を有し、
矢示のＣＣ'方向に走行可能である(なお、図１では無人
搬送台車１０はＣＣ'方向に走行することを示している
が、ＣＣ'以外の斜め方向や横方向に走行可能なもので
あってよい）。
台車部である。この台車部１１は、モータによって回転
駆動される車輪や操舵装置、ならびにこれらを含む各部
の動作を制御する制御装置（何れも図示省略）を有し、
矢示のＣＣ'方向に走行可能である(なお、図１では無人
搬送台車１０はＣＣ'方向に走行することを示している
が、ＣＣ'以外の斜め方向や横方向に走行可能なもので
あってよい）。
【００１７】台車部１１の上面１１ａには、複数のウェ
ハカセット１０２、１０２・・・を載置可能であるとと
もに、水平多関節アーム様のマニピュレータ１０３が取
り付けられている。
ハカセット１０２、１０２・・・を載置可能であるとと
もに、水平多関節アーム様のマニピュレータ１０３が取
り付けられている。
【００１８】台車部１１の上面１１ａにおいて、走行方
向ＣＣ'側の各々端部１１ｂ-4、１１ｂ-2には、各々そ
の上方に支持部材１４-1、１４-2が取り付けられてい
る。また、これら支持部材１４-1、１４-2の上方には、
上部ユニット２０が取り付けられている。一方、上面１
１ａにおける走行方向ＣＣ'に対する側方の端部１１ｂ
-1、１１ｂ-3は、開口している。
向ＣＣ'側の各々端部１１ｂ-4、１１ｂ-2には、各々そ
の上方に支持部材１４-1、１４-2が取り付けられてい
る。また、これら支持部材１４-1、１４-2の上方には、
上部ユニット２０が取り付けられている。一方、上面１
１ａにおける走行方向ＣＣ'に対する側方の端部１１ｂ
-1、１１ｂ-3は、開口している。
【００１９】上部ユニット２０には、例えばＨＥＰＡフ
ィルタ（Ｈigh Ｅfficiency Ｐarticulate Ａir-filte
r)やＵＬＰＡフィルタ（Ｕltra Ｌow Ｐenetration Ａi
r-filter)等のフィルタとファンユニット（図示省略）
が取り付けられる。これらによって塵埃等を取り除いた
空気を上部ユニット２０の下方に吹き出し、半導体ウェ
ハを格納するウェハカセット１０２の清浄度を確保す
る。
ィルタ（Ｈigh Ｅfficiency Ｐarticulate Ａir-filte
r)やＵＬＰＡフィルタ（Ｕltra Ｌow Ｐenetration Ａi
r-filter)等のフィルタとファンユニット（図示省略）
が取り付けられる。これらによって塵埃等を取り除いた
空気を上部ユニット２０の下方に吹き出し、半導体ウェ
ハを格納するウェハカセット１０２の清浄度を確保す
る。
【００２０】図２は、図１に示す無人搬送台車１０の詳
細な構成を示す斜視図である。１２は、台車部１１に内
蔵され、この無人搬送台車１０の搬送路を記憶したり、
この無人搬送台車１０の針路やマニピュレータ１０３の
動作あるいは後述する受光部の動作状態／非動作状態を
制御するための制御部である。
細な構成を示す斜視図である。１２は、台車部１１に内
蔵され、この無人搬送台車１０の搬送路を記憶したり、
この無人搬送台車１０の針路やマニピュレータ１０３の
動作あるいは後述する受光部の動作状態／非動作状態を
制御するための制御部である。
【００２１】２４-1は支持部材１４-1における端部１１
ｂ-3側に取り付けられた発光部であり、複数の発光素子
２４ａ、２４ａ・・・が配列されている。一方２４-2は
支持部１４-2の端部１１ｂ-3側に取り付けられた受光部
であり、複数の受光素子２４ｂ、２４ｂ・・・が配列さ
れている。
ｂ-3側に取り付けられた発光部であり、複数の発光素子
２４ａ、２４ａ・・・が配列されている。一方２４-2は
支持部１４-2の端部１１ｂ-3側に取り付けられた受光部
であり、複数の受光素子２４ｂ、２４ｂ・・・が配列さ
れている。
【００２２】なお、支持部１４-1および１４-2の各々端
部１１ｂ-1側にも、それぞれ発光部２４-1、受光部２４
-2が取り付けられているが、上述と同様であるので図示
ならびに説明は省略する。
部１１ｂ-1側にも、それぞれ発光部２４-1、受光部２４
-2が取り付けられているが、上述と同様であるので図示
ならびに説明は省略する。
【００２３】また図１では、各装置１１０-nが有する載
置部１１１と対向する端部１１ｂ-1あるいは１１ｂ-3側
の受光部２４-2は動作状態にあり、載置部１１１と対向
しない端部１１ｂ-1あるいは１１ｂ-3側の受光部２４-2
は非動作状態にある。
置部１１１と対向する端部１１ｂ-1あるいは１１ｂ-3側
の受光部２４-2は動作状態にあり、載置部１１１と対向
しない端部１１ｂ-1あるいは１１ｂ-3側の受光部２４-2
は非動作状態にある。
【００２４】図１に示す構成の無人搬送台車１０は、走
行時には端部１１ｂ-1側および端部１１ｂ-3側の何れの
受光部２４-2も動作状態となっている。このとき制御部
１２は、受光部２４-2が有する受光素子２４ｂ、２４ｂ
・・・の各々が発光部２４-1の発する光が受光できるか
否かを監視し、受光できない受光素子２４ｂが存在する
場合には、無人搬送台車１０を停止させる。
行時には端部１１ｂ-1側および端部１１ｂ-3側の何れの
受光部２４-2も動作状態となっている。このとき制御部
１２は、受光部２４-2が有する受光素子２４ｂ、２４ｂ
・・・の各々が発光部２４-1の発する光が受光できるか
否かを監視し、受光できない受光素子２４ｂが存在する
場合には、無人搬送台車１０を停止させる。
【００２５】この無人搬送台車１０がウェハカセット１
０２、１０２・・・の移載を行うときは、目的の装置１
１０-nが有する載置部１１１の前面に停止した後、この
載置部１１１と対向する端部１１ｂ-1あるいは１１ｂ-3
側の受光部２４-2を非動作状態にする。
０２、１０２・・・の移載を行うときは、目的の装置１
１０-nが有する載置部１１１の前面に停止した後、この
載置部１１１と対向する端部１１ｂ-1あるいは１１ｂ-3
側の受光部２４-2を非動作状態にする。
【００２６】しかる後、マニピュレータ１０３によっ
て、台車部１１の上面１１ａにおける開放された端部１
１ｂ-1あるいは１１ｂ-3を介して、ウェハカセット１０
２、１０２・・・の移載を行う。
て、台車部１１の上面１１ａにおける開放された端部１
１ｂ-1あるいは１１ｂ-3を介して、ウェハカセット１０
２、１０２・・・の移載を行う。
【００２７】このとき制御部１２は、動作状態となって
いる受光部２４-2が有する受光素子２４ｂ、２４ｂ・・
・の各々が発光部２４-1の発する光が受光できるか否か
を監視し、受光できない受光素子２４ｂが存在する場合
には、マニピュレータ１０３の動作を停止させる。
いる受光部２４-2が有する受光素子２４ｂ、２４ｂ・・
・の各々が発光部２４-1の発する光が受光できるか否か
を監視し、受光できない受光素子２４ｂが存在する場合
には、マニピュレータ１０３の動作を停止させる。
【００２８】ウェハカセット１０２、１０２・・・の移
載が終了した後、先般非動作状態にした受光部２４-2を
再び動作状態とし、次の目的たる装置１１０-nが有する
載置部１１１の正面に向けて走行する。
載が終了した後、先般非動作状態にした受光部２４-2を
再び動作状態とし、次の目的たる装置１１０-nが有する
載置部１１１の正面に向けて走行する。
【００２９】こうのように本実施の形態では、マニピュ
レータ１０３によるウェハカセット１０２、１０２・・
・の移載作業中に、このマニピュレータ１０３の動作範
囲内に作業員等が侵入すると、動作状態となっている受
光部２４-2に対して発光部２４-1が発する光が遮断され
る。制御部１２はこれを検知すると、マニピュレータ１
０３の動作を停止する。従って、作業員等とマニピュレ
ータ等との接触を防止することができる。
レータ１０３によるウェハカセット１０２、１０２・・
・の移載作業中に、このマニピュレータ１０３の動作範
囲内に作業員等が侵入すると、動作状態となっている受
光部２４-2に対して発光部２４-1が発する光が遮断され
る。制御部１２はこれを検知すると、マニピュレータ１
０３の動作を停止する。従って、作業員等とマニピュレ
ータ等との接触を防止することができる。
【００３０】なお上述の実施の形態では、無人搬送台車
１０の走行中には、端部１１ｂ-1側および端部１１ｂ-3
側の何れの受光部２４-2も動作状態とする例を示した
が、走行中にはこれらを非動作状態としてもよい。
１０の走行中には、端部１１ｂ-1側および端部１１ｂ-3
側の何れの受光部２４-2も動作状態とする例を示した
が、走行中にはこれらを非動作状態としてもよい。
【００３１】図３は、本発明にかかる無人搬送台車の別
の構成の例を示す斜視図である。図３において、図１あ
るいは図２に示す各部と対応する部分には同一の符号を
付し、その説明は省略する。
の構成の例を示す斜視図である。図３において、図１あ
るいは図２に示す各部と対応する部分には同一の符号を
付し、その説明は省略する。
【００３２】図３において、３４-1および３４-2は各々
台車部１１の端部１１ｂ-4あるいは１１ｂ-2の上方に取
り付けられた側壁である。側壁３４-1において、端部１
１ｂ-3側には発光部２５-1が、端部１１ｂ-1側には発光
部２５-2が、また上端側には発光部２５-3が取り付けら
れている。これら発光部２５-1、２５-2および２５
-3は、各々複数の発光素子２４ａの配列から構成されて
いる。
台車部１１の端部１１ｂ-4あるいは１１ｂ-2の上方に取
り付けられた側壁である。側壁３４-1において、端部１
１ｂ-3側には発光部２５-1が、端部１１ｂ-1側には発光
部２５-2が、また上端側には発光部２５-3が取り付けら
れている。これら発光部２５-1、２５-2および２５
-3は、各々複数の発光素子２４ａの配列から構成されて
いる。
【００３３】一方側壁３４-2において、端部１１ｂ-3側
には受光部２６-1が、端部１１ｂ-1側には受光部２６-2
が、また上端側には受光部２６-3が取り付けられてい
る。これら受光部２６-1、２６-2および２６-3は、各々
複数の受光素子２４ｂの配列から構成されている。
には受光部２６-1が、端部１１ｂ-1側には受光部２６-2
が、また上端側には受光部２６-3が取り付けられてい
る。これら受光部２６-1、２６-2および２６-3は、各々
複数の受光素子２４ｂの配列から構成されている。
【００３４】上述した発光部２５-1と受光部２６-1、発
光部２５-2と受光部２６-2ならびに発光部２５-3と受光
部２６-3とは、台車部１１上において各々対向するよう
に取り付けられている。
光部２５-2と受光部２６-2ならびに発光部２５-3と受光
部２６-3とは、台車部１１上において各々対向するよう
に取り付けられている。
【００３５】即ち制御部１２は、上述と同様に受光部が
非動作状態となっている側で移載作業を行うとともに、
動作状態となっている受光部に対応する発光部が発する
光が受光できるか否かを監視する。
非動作状態となっている側で移載作業を行うとともに、
動作状態となっている受光部に対応する発光部が発する
光が受光できるか否かを監視する。
【００３６】こうして制御部１２は、発光部が発する光
が遮断されたことを検知すると、マニピュレータ１０３
の動作を停止する。従って、作業員等とマニピュレータ
等との接触を防止することができる。
が遮断されたことを検知すると、マニピュレータ１０３
の動作を停止する。従って、作業員等とマニピュレータ
等との接触を防止することができる。
【００３７】図４は、上述の実施の形態における発光素
子２４ａおよび受光素子２４ｂの配置の詳細を示した構
成図であり、図４（ａ）は図１ないし図３に示したもの
と同等の構成である。
子２４ａおよび受光素子２４ｂの配置の詳細を示した構
成図であり、図４（ａ）は図１ないし図３に示したもの
と同等の構成である。
【００３８】図４（ａ）に示す構成では、発光部２
４-1、２５-1、２５-2および２５-3は、光を発する発光
素子２４ａ、２４ａ・・・の配列によって構成される。
受光部２４-2、２６-1、２６-2および２６-3は、発光素
子２４ａが発する光を受ける受光素子２４ｂ、２４ｂ・
・・の配列によって構成され、発光部２４-1、２５-1、
２５-2あるいは２５-3と対応する受光部２４-2、２
６-1、２６-2あるいは２６-3とは対向して取り付けられ
る。
４-1、２５-1、２５-2および２５-3は、光を発する発光
素子２４ａ、２４ａ・・・の配列によって構成される。
受光部２４-2、２６-1、２６-2および２６-3は、発光素
子２４ａが発する光を受ける受光素子２４ｂ、２４ｂ・
・・の配列によって構成され、発光部２４-1、２５-1、
２５-2あるいは２５-3と対応する受光部２４-2、２
６-1、２６-2あるいは２６-3とは対向して取り付けられ
る。
【００３９】一方図４（ｂ）は、発光部および受光部の
別の構成を示す構成図である。上述の実施の形態では、
発光部２４-1、２５-1、２５-2あるいは２５-3の各々を
図４（ｂ）に示す光センサ部２７に置き換えることがで
き、受光部２４-2、２６-1、２６-2あるいは２６-3の各
々を反射部２８に置き換えることができる。
別の構成を示す構成図である。上述の実施の形態では、
発光部２４-1、２５-1、２５-2あるいは２５-3の各々を
図４（ｂ）に示す光センサ部２７に置き換えることがで
き、受光部２４-2、２６-1、２６-2あるいは２６-3の各
々を反射部２８に置き換えることができる。
【００４０】上述の光センサ２７は、光を発する発光素
子２４ａとこの光を受ける受光素子２４ｂ、そして光を
反射させる複数のミラー２４ｃ、２４ｃ・・・とから構
成されている。また反射部２８は、複数のミラー２４
ｃ、２４ｃ・・・の配列によって構成されている。
子２４ａとこの光を受ける受光素子２４ｂ、そして光を
反射させる複数のミラー２４ｃ、２４ｃ・・・とから構
成されている。また反射部２８は、複数のミラー２４
ｃ、２４ｃ・・・の配列によって構成されている。
【００４１】上述の発光素子２４ａが発する光は、反射
部２８において対向する位置のミラー２４ｃに入射す
る。各ミラー２４ｃは、例えば図４（ｃ）に示すように
入射した光の光軸を９０°曲げるように反射する。
部２８において対向する位置のミラー２４ｃに入射す
る。各ミラー２４ｃは、例えば図４（ｃ）に示すように
入射した光の光軸を９０°曲げるように反射する。
【００４２】これによって、例えば反射部２８のミラー
２４ｃでは、発光素子２４ａあるいは光センサ部２７の
ミラー２４ｃから光が入射した場合には、この光を隣接
するミラー２４ｃに入射させ、隣接するミラー２４ｃか
ら光が入射するミラー２４は、この光を光センサ部２７
において対向するミラー２４ｃあるいは受光素子２４ｂ
に入射させる。なおこれは、光センサ部２７のミラー２
４ｃについても同様である。
２４ｃでは、発光素子２４ａあるいは光センサ部２７の
ミラー２４ｃから光が入射した場合には、この光を隣接
するミラー２４ｃに入射させ、隣接するミラー２４ｃか
ら光が入射するミラー２４は、この光を光センサ部２７
において対向するミラー２４ｃあるいは受光素子２４ｂ
に入射させる。なおこれは、光センサ部２７のミラー２
４ｃについても同様である。
【００４３】このような構成によれば、発光素子２４ａ
が発した光は、各ミラー２４ｃ、２４ｃ・・・間を反射
して、受光素子２４ｂに入射する。そして、光センサ部
２７と反射部２８との間で対向するミラー２４ｃの内の
何れかの間に光を遮断するものがあれば、受光素子２４
ｂに光は入射しない。
が発した光は、各ミラー２４ｃ、２４ｃ・・・間を反射
して、受光素子２４ｂに入射する。そして、光センサ部
２７と反射部２８との間で対向するミラー２４ｃの内の
何れかの間に光を遮断するものがあれば、受光素子２４
ｂに光は入射しない。
【００４４】即ち、発光素子２４ａならびに受光素子２
４ｂが１つずつあれば、光センサ部２７と反射部２８と
の間に作業員等が侵入したことを有効に検知することが
でき、制御部１２がこれを検知して、マニピュレータ１
０３の動作を停止させればよい。
４ｂが１つずつあれば、光センサ部２７と反射部２８と
の間に作業員等が侵入したことを有効に検知することが
でき、制御部１２がこれを検知して、マニピュレータ１
０３の動作を停止させればよい。
【００４５】さらに図５は、作業員等の侵入を検知する
センサの別の例を示す側面図である。図５において、２
９はレーザビーム等を走査し、その反射により距離を測
定するスキャナである。
センサの別の例を示す側面図である。図５において、２
９はレーザビーム等を走査し、その反射により距離を測
定するスキャナである。
【００４６】図５に示す例では、スキャナ２９は台車部
１１と支持部１４-1、１４-2、および上部ユニット２０
とで囲まれた監視領域の左下端に取り付けられ、θ＝０
〜９０°の間をスキャンする。
１１と支持部１４-1、１４-2、および上部ユニット２０
とで囲まれた監視領域の左下端に取り付けられ、θ＝０
〜９０°の間をスキャンする。
【００４７】このとき、距離Ｒは走査角θによって決定
される。そこで制御部１２は、ある走査角θのとき、測
定された距離が予め設定された値Ｒより短い場合に、監
視領域内に作業員等が侵入したと判断して、マニピュレ
ータの動作を停止させる。
される。そこで制御部１２は、ある走査角θのとき、測
定された距離が予め設定された値Ｒより短い場合に、監
視領域内に作業員等が侵入したと判断して、マニピュレ
ータの動作を停止させる。
【００４８】なお、図５に示したスキャナ２９におい
て、レーザビームを走査する形態としては、振動ミラー
を用いたものや、ポリゴンミラーを用いたもの等が挙げ
られる。
て、レーザビームを走査する形態としては、振動ミラー
を用いたものや、ポリゴンミラーを用いたもの等が挙げ
られる。
【００４９】上述の実施の形態では、ウェハカセットの
移載を行う側の受光部２４-2、２６ -1、２６-2あるいは
２６-3を非動作状態にするものを例に挙げて説明した
が、移載を行う側の受光部２４-2、２６-1、２６-2ある
いは２６-3による検出結果を制御部が無視するものであ
ってもよい。また、受光部２４-2、２６-1、２６-2ある
いは２６-3を非動作状態としてもよい。
移載を行う側の受光部２４-2、２６ -1、２６-2あるいは
２６-3を非動作状態にするものを例に挙げて説明した
が、移載を行う側の受光部２４-2、２６-1、２６-2ある
いは２６-3による検出結果を制御部が無視するものであ
ってもよい。また、受光部２４-2、２６-1、２６-2ある
いは２６-3を非動作状態としてもよい。
【００５０】また上述の実施の形態では、発光部２
４-1、２５-1、２５-2、２５-3ならびに受光部２４-2、
２６-1、２６-2、２６-3、光センサ部２７あるいは反射
部２８等を１列だけ設けた例を示したが、これらを２列
以上設けることで、より確実に作業員等の侵入の有無を
監視することができる。
４-1、２５-1、２５-2、２５-3ならびに受光部２４-2、
２６-1、２６-2、２６-3、光センサ部２７あるいは反射
部２８等を１列だけ設けた例を示したが、これらを２列
以上設けることで、より確実に作業員等の侵入の有無を
監視することができる。
【００５１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、載置部の複数の側部の内の２つ以上に有し搬送物の
移載作業が可能である開口部の各々に取り付けられ載置
部の外周から当該載置部内に侵入する物体を検知する光
センサによる検知結果に基づいて制御手段が移載手段の
動作状態を制御し、およびまたは走行手段を制御する。
このとき制御手段は、移載作業を行う開口部以外に取り
付けられた光センサの何れかによって侵入する物体が検
知された場合に移載手段を非動作状態に制御するか、ま
たは移載作業を行う開口部に取り付けられた光センサの
みを非動作状態に制御し、動作状態の光センサの何れか
によって侵入する物体が検知された場合に移載手段を非
動作状態に制御するので、移動を繰り返しながら安全確
実且つ高速に移載作業を実行することができる無人搬送
台車が実現可能であるという効果が得られる。
ば、載置部の複数の側部の内の２つ以上に有し搬送物の
移載作業が可能である開口部の各々に取り付けられ載置
部の外周から当該載置部内に侵入する物体を検知する光
センサによる検知結果に基づいて制御手段が移載手段の
動作状態を制御し、およびまたは走行手段を制御する。
このとき制御手段は、移載作業を行う開口部以外に取り
付けられた光センサの何れかによって侵入する物体が検
知された場合に移載手段を非動作状態に制御するか、ま
たは移載作業を行う開口部に取り付けられた光センサの
みを非動作状態に制御し、動作状態の光センサの何れか
によって侵入する物体が検知された場合に移載手段を非
動作状態に制御するので、移動を繰り返しながら安全確
実且つ高速に移載作業を実行することができる無人搬送
台車が実現可能であるという効果が得られる。
【図１】 本発明の一実施の形態にかかる無人搬送台車
１０の外観ならびに無人搬送台車１０が適用される工場
内の概略を示す斜視図である。
１０の外観ならびに無人搬送台車１０が適用される工場
内の概略を示す斜視図である。
【図２】 動実施の形態における無人搬送台車１０の詳
細な構成を示す斜視図である。
細な構成を示す斜視図である。
【図３】 本発明にかかる無人搬送台車の別の構成の例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図４】 本発明にかかる発光素子２４ａおよび受光素
子２４ｂの配置の詳細を示した構成図である。
子２４ｂの配置の詳細を示した構成図である。
【図５】 本発明にかかる作業員等の侵入を検知するセ
ンサの別の例を示す側面図である。
ンサの別の例を示す側面図である。
【図６】 従来の無人搬送台車１００の構成の一例を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図７】 図６に示す無人搬送台車１００が適用される
工場の概略構成を示す斜視図である。
工場の概略構成を示す斜視図である。
１１ 台車部（搬送手段） １１ａ 上面（載置部） １１ｂ-1 端部（側部） １１ｂ-2 端部（側部） １１ｂ-3 端部（側部） １１ｂ-4 端部（側部） １２ 制御部（制御手段） ２４-1 発光部（発光手段） ２４-2 受光部（受光手段） ２４ａ 発光素子 ２４ｂ 受光素子 ２４ｃ ミラー（反射手段） ２７ センサ部 ２８ 反射部 ２９ スキャナ（光走査手段） １０２ ウェハカセット（搬送物） １０３ マニピュレータ（移載手段）
Claims (7)
- 【請求項１】 走行手段を有し、載置部（１１ａ）に１
つ以上の搬送物（１０２）を載置して搬送する搬送手段
（１１）と、 前記載置部に設けられ前記搬送物を移載する移載手段
（１０３）とを具備し、前記載置部の複数の側部（１１
ｂ-1〜１１ｂ-4）の内の２つ以上が開口部として前記搬
送物の移載作業が可能である無人搬送台車であって、 前記開口部の各々に取り付けられ前記載置部の外周から
当該載置部内に侵入する物体を検知する光センサと、 前記光センサによる検知結果に基づいて前記移載手段の
動作状態を制御し、およびまたは前期走行手段を制御す
る制御手段（１２）とを有していることを特徴とする無
人搬送台車。 - 【請求項２】 走行手段を有し、載置部に１つ以上の搬
送物を載置して搬送する搬送手段と、 前記載置部に設けられ前記搬送物を移載する移載手段と
を具備し、複数の側部の内の２つ以上が開口部として前
記搬送物の移載作業が可能である無人搬送台車であっ
て、 前記開口部の各々に取り付けられ前記載置部の外周から
当該載置部内に侵入する物体を検知する光センサと、 前記光センサによる検知結果に基づいて前記移載手段の
動作状態を制御する制御手段とを有していることを特徴
とする無人搬送台車。 - 【請求項３】 前記制御手段は、 前記移載作業を行う開口部以外に取り付けられた前記光
センサの何れかによって侵入する物体が検知された場合
には前記移載手段を非動作状態に制御することを特徴と
する請求項１または請求項２の何れかに記載の無人搬送
台車。 - 【請求項４】 前記制御手段は、 前記移載作業を行う開口部に取り付けられた前記光セン
サのみを非動作状態に制御し、 動作状態の前記光センサの何れかによって侵入する物体
が検知された場合には前記移載手段を非動作状態に制御
することを特徴とする請求項１または請求項２の何れか
に記載の無人搬送台車。 - 【請求項５】 前記光センサは、 前記開口部の開口面内において対向する２つの端部に取
り付けられ複数の発光素子（２４ａ）の配列からなる
発光手段（２４-1）と当該複数の発光素子の各々と対
向する複数の受光素子（２４ｂ）の配列からなる受光手
段（２４-2）とから構成され、 前記発光素子の各々が出射し対応する前記受光素子に入
射する光の何れかが遮断されることで侵入する物体を検
知することを特徴とする請求項１ないし請求項４の何れ
かに記載の無人搬送台車。 - 【請求項６】 前記光センサは、 前記開口部の開口面内において対向する２つの端部に取
り付けられ発光素子と受光素子と複数の反射手段（２
４ｃ）の配列からなるセンサ部（２７）と前記センサ
部が出射する光を反射して当該センサ部に入射させる複
数の前記反射手段の配列からなる反射部（２８）とから
構成され、 前記発光素子が出射し前記開口面の全面に亙って前記セ
ンサ部と前記反射部との間で繰り返し反射され前記受光
素子に入射する光が遮断されることで侵入する物体を検
知することを特徴とする請求項１ないし請求項４の何れ
かに記載の無人搬送台車。 - 【請求項７】 前記光センサは、 前記開口部の開口面内の１カ所に取り付けられ当該開口
面内にビームを走査する光走査手段（２９）を有し、 前記光走査手段が何れかの走査角において出射し前記開
口面内で反射して再び当該光走査手段に入射するビーム
の伝播距離が、当該走査角の各々に応じて予め決定され
る所定の距離より短くなることで侵入する物体を検知す
ることを特徴とする請求項１ないし請求項４の何れかに
記載の無人搬送台車。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9615397A JP3959778B2 (ja) | 1997-04-14 | 1997-04-14 | 無人搬送台車 |
| TW88213642U TW437727U (en) | 1997-04-14 | 1998-02-24 | Robottic cart |
| KR1019980012715A KR100563456B1 (ko) | 1997-04-14 | 1998-04-10 | 무인반송대차 및 그 장치 |
| US09/059,361 US6019563A (en) | 1997-04-14 | 1998-04-14 | Automated guided vehicle |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9615397A JP3959778B2 (ja) | 1997-04-14 | 1997-04-14 | 無人搬送台車 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10289939A true JPH10289939A (ja) | 1998-10-27 |
| JP3959778B2 JP3959778B2 (ja) | 2007-08-15 |
Family
ID=14157432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9615397A Expired - Lifetime JP3959778B2 (ja) | 1997-04-14 | 1997-04-14 | 無人搬送台車 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3959778B2 (ja) |
| TW (1) | TW437727U (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1113214A1 (en) * | 1999-12-28 | 2001-07-04 | Infineon Technologies AG | Light curtain system for establishing a protective light curtain, tool and system for processing objects and method for loading/unloading a tool |
| KR100563456B1 (ko) * | 1997-04-14 | 2006-05-25 | 아시스트 신꼬, 인코포레이티드 | 무인반송대차 및 그 장치 |
| JP2013021166A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Murata Mach Ltd | 搬送車 |
| JP2021091029A (ja) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | トヨタ自動車株式会社 | 搬送ロボットシステム |
| JP2021091027A (ja) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | トヨタ自動車株式会社 | 搬送ロボットシステム及び搬送ロボットの制御方法 |
| JP2021091028A (ja) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | トヨタ自動車株式会社 | 搬送ロボットシステム及び搬送ロボットの制御方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8918230B2 (en) * | 2011-01-21 | 2014-12-23 | Mitre Corporation | Teleoperation of unmanned ground vehicle |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62299470A (ja) * | 1986-06-20 | 1987-12-26 | 株式会社東芝 | 停止位置補正量検出方法 |
| JPH0285056A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-26 | Shinko Electric Co Ltd | 自己クリーン機能付搬送車 |
| JPH03152005A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-28 | Daifuku Co Ltd | 入出庫用コンベヤ装置 |
| JPH042035U (ja) * | 1990-04-19 | 1992-01-09 | ||
| JPH04116093A (ja) * | 1990-09-05 | 1992-04-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | コンテナ位置検出装置 |
| JPH0633210U (ja) * | 1992-10-02 | 1994-04-28 | 神鋼電機株式会社 | 無人搬送車車載安全装置 |
| JPH06188301A (ja) * | 1992-12-17 | 1994-07-08 | Kawasaki Steel Corp | 半導体ウェハ無塵搬送装置 |
| JPH06249957A (ja) * | 1993-02-23 | 1994-09-09 | S K S Kk | エリアセンサ |
| JPH0677232U (ja) * | 1993-04-08 | 1994-10-28 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置の安全装置 |
| JPH08161047A (ja) * | 1994-12-02 | 1996-06-21 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 無人搬送車走行システムの安全装置 |
-
1997
- 1997-04-14 JP JP9615397A patent/JP3959778B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-02-24 TW TW88213642U patent/TW437727U/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62299470A (ja) * | 1986-06-20 | 1987-12-26 | 株式会社東芝 | 停止位置補正量検出方法 |
| JPH0285056A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-26 | Shinko Electric Co Ltd | 自己クリーン機能付搬送車 |
| JPH03152005A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-28 | Daifuku Co Ltd | 入出庫用コンベヤ装置 |
| JPH042035U (ja) * | 1990-04-19 | 1992-01-09 | ||
| JPH04116093A (ja) * | 1990-09-05 | 1992-04-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | コンテナ位置検出装置 |
| JPH0633210U (ja) * | 1992-10-02 | 1994-04-28 | 神鋼電機株式会社 | 無人搬送車車載安全装置 |
| JPH06188301A (ja) * | 1992-12-17 | 1994-07-08 | Kawasaki Steel Corp | 半導体ウェハ無塵搬送装置 |
| JPH06249957A (ja) * | 1993-02-23 | 1994-09-09 | S K S Kk | エリアセンサ |
| JPH0677232U (ja) * | 1993-04-08 | 1994-10-28 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置の安全装置 |
| JPH08161047A (ja) * | 1994-12-02 | 1996-06-21 | Hitachi Kiden Kogyo Ltd | 無人搬送車走行システムの安全装置 |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100563456B1 (ko) * | 1997-04-14 | 2006-05-25 | 아시스트 신꼬, 인코포레이티드 | 무인반송대차 및 그 장치 |
| EP1113214A1 (en) * | 1999-12-28 | 2001-07-04 | Infineon Technologies AG | Light curtain system for establishing a protective light curtain, tool and system for processing objects and method for loading/unloading a tool |
| WO2001048416A1 (en) * | 1999-12-28 | 2001-07-05 | Infineon Technologies Sc300 Gmbh & Co. Kg | Light curtain system for establishing a protective light curtain, tool and system for processing objects and method for loading/unloading a tool |
| US6791074B2 (en) | 1999-12-28 | 2004-09-14 | Infineon Technologies Sc300 Gmbh & Co. Kg | Light curtain system for establishing a protective light curtain, tool and system for processing objects and method for loading/unloading a tool |
| JP2013021166A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Murata Mach Ltd | 搬送車 |
| JP2021091029A (ja) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | トヨタ自動車株式会社 | 搬送ロボットシステム |
| JP2021091027A (ja) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | トヨタ自動車株式会社 | 搬送ロボットシステム及び搬送ロボットの制御方法 |
| JP2021091028A (ja) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | トヨタ自動車株式会社 | 搬送ロボットシステム及び搬送ロボットの制御方法 |
| US11642782B2 (en) | 2019-12-09 | 2023-05-09 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Conveyance robot system, method for controlling conveyance robot and non-transitory computer readable storage medium storing a robot control program |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW437727U (en) | 2001-05-28 |
| JP3959778B2 (ja) | 2007-08-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100563456B1 (ko) | 무인반송대차 및 그 장치 | |
| JP3375907B2 (ja) | 天井走行搬送装置 | |
| KR100729986B1 (ko) | 자동반송시스템 | |
| US6677690B2 (en) | System for safeguarding integrated intrabay pod delivery and storage system | |
| US7784606B2 (en) | Belt conveyor transporting containers used in semiconductor fabrication | |
| US20080128374A1 (en) | Overhead traveling and transporting apparatus | |
| JP3371897B2 (ja) | 天井走行搬送装置 | |
| KR20040004064A (ko) | 반송차, 제조장치 및 반송시스템 | |
| JP2006323435A (ja) | 搬送台車の障害物検出装置 | |
| US20220013392A1 (en) | Ceiling traveling vehicle, ceiling traveling vehicle system, and method for detecting obstacle | |
| JP2018136844A (ja) | 物品搬送車 | |
| JP3959778B2 (ja) | 無人搬送台車 | |
| KR102535709B1 (ko) | 검사 시스템 | |
| JPH1124750A (ja) | 無人搬送装置 | |
| JP4465415B2 (ja) | 天井走行搬送装置 | |
| JP7099367B2 (ja) | 検査システム | |
| US11915958B2 (en) | Apparatus and method for automated wafer carrier handling | |
| JP4314780B2 (ja) | 無人搬送車システム | |
| JP2002347618A (ja) | 無人搬送車および物品搬送設備 | |
| KR100636601B1 (ko) | 천정주행 반송장치 | |
| JP2530431B2 (ja) | 無人搬送車 | |
| WO2024070303A1 (ja) | 天井搬送車 | |
| JPH0333903A (ja) | 無人搬送系の移載位置決め方法 | |
| US20240051747A1 (en) | Overhead storage system | |
| TW202101146A (zh) | 物體檢測系統、搬送台車及物體檢測裝置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040413 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070122 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070130 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070402 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070424 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070507 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100525 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110525 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110525 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120525 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120525 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130525 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130525 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140525 Year of fee payment: 7 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |