JP2530431B2 - 無人搬送車 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、自動的に物品の搬送を行う無人搬送車に関
する。

（従来の技術） 一般に物品の搬送を行う無人搬送車では、走行制御系
に万一障害が生じた場合、あるいは搬送路上に障害物あ
るいは作業員等が位置していた場合には、衝突の危険性
があり、これらの障害物は破損したり作業員等を傷つけ
る恐れがある。

そこで、安全のため進行方向に突出して設けられ、衝
突時の衝撃を緩和するとともに、この衝突を検知して無
人搬送車を停止させる衝突センサを有するバンパを備え
ているものが多い。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、このような無人搬送車では、安全のた
めにはバンパの突出長さを長くする必要があり、一方、
突出長さを長くすると狭い場所、例えばクリーン度の高
い半導体製造のためのクリーンルーム等のように、多数
の大型製造装置の並ぶ装置間での走行および積み下ろし
作業等が困難となるという問題がある。このような問題
は、床面積あたりの建設コストの高い無塵室内等での搬
送を行う無人搬送車では特に重要となる。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもの
で、安全性の向上と、狭い場所での作業性（高速性な
ど）の向上とを同時に図ることのできる無人搬送を提供
しようとするものである。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） すなわち本発明の無人搬送車は、無塵室内で半導体ウ
エハ等の搬送を行う無人搬送車であって、走行用駆動装
置を有する無人搬送車本体と、この無人搬送車本体の進
行方向側に配設されたバンパと、このバンパと障害物と
の接触を検知する衝突センサと、この衝突センサからの
検知信号に応じて、前記無人搬送車本体を停止させる制
御装置と、前記バンパの前記無人搬送車本体からの進行
方向への突出長さを、低速走行時には短く、高速走行時
には長く速度に応じて変化させ、各走行速度において前
記衝突センサが障害物との接触を検知してから、前記無
人搬送車本体が停止するまでに要する距離よりやや長く
する突出長さ調節装置と、を備えている。

（作用） 本発明の無人搬送車では、突出長さ調節装置によりバ
ンパの無人搬送車本体からの突出長さが停止距離の短い
低速走行時には短く、停止距離の長くなる高速走行時に
は長く調節される。

（実施例） 以下本発明の無人搬送車用突出量可変型バンパの実施
例を図面を参照して説明する。

第１図は、本発明の一実施例の無人搬送車用突出量可
変型バンパを配置され、無塵室内で半導体ウエハの搬送
を行う無人搬送車を示すもので、この実施例では、無人
搬送車本体１は、伸縮する搬送物積み下ろし作業用アー
ム２により半導体ウエハ収納キャリヤ３を、天上部に設
けられたフアン４とHEPAフィルタ５により清浄化された
空気を満たされた搬送物収容部６に収容し、制御装置７
によって制御された走行用駆動装置８により図示矢印方
向に走行する。なお、無人搬送車本体１の下部には、HE
PAフィルタ９を介して外部へ排気する排気ファン10が設
けられており、無人搬送車本体１内で発生した塵が外部
へ排出されないよう構成されている。

そして、無人搬送車本体１の進行方向には、制御装置
７に接続された衝突センサ11、突出長さ調節装置12を備
えたバンパ13が配設されている。

上記構成のこの実施例の無人搬送車用突出量可変型バ
ンパでは、バンパ13が障害物と接触すると、衝突センサ
11が検知して制御装置７から走行用駆動装置８を停止さ
せ、無人搬送車本体１を停止させる。

また、突出長さ調節装置12は、制御装置７から入力さ
れる速度信号に応じて、第２図（ａ）に示すように無人
搬送車本体１停止時には、バンパ13の突出長さを最短と
し、第２図（ｂ）に示すように高速走行時には、突出長
さを長く調節する。

この突出長さは、走行速度のほぼ２乗に比例するよう
制御され、各走行速度において衝突センサ11が障害物と
の接触を検知してから、無人搬送車本体１が停止するま
でに要する距離の実測値よりやや長く設定される。

また、バンパ13は、障害物との接触時には、瞬時にそ
の突出長さを最短とするかもしくは障害物に押されて自
在に縮むことができるようにし、障害物に対しての衝突
の衝撃が加わらないよう制御される。

上記説明のこの実施例では、その走行速度における必
要とされる停止距離に応じて、バンパ13の突出長さを可
変とされているので、例べば、低速とされる交叉路等で
の旋回時等にはバンパ13の突出長さが短くされ、狭い場
所における旋回を可能ならしめ、作業性が向上する。ま
た、常に必要な停止距離より長い突出長さに制御され障
害物との接触時には、瞬時にその突出長さを最短とする
かもしくは障害物に押されて自在に縮む状態とされるの
で、障害物を破損したり作業員を傷つける等の危険性は
減少し、安全性を確保することができる。

なお、バンパの突出長さは、縦軸をバンパの突出長
さ、横軸を走行速度とした第３図のグラフおよび第４図
のグラフにそれぞれ実線ｃおよび実線ｄで示すように、
連続的に変化させても、ステップ状に変化させる等、用
途に応じて制御方法を選択できる。また、これらの制御
は速度信号により、バンパの突出長さを制御するアクチ
ュエータの駆動量等を制御することにより実現できる。

第５図は、他の実施例の要部を示すもので、この実施
例の無人搬送車では、無人搬送車本体１の進行方向側の
両端に棒状のバンパ13aと、このバンパ13aを回転させる
ことによってその突出長さを変化させる突出長さ調節装
置12a、およびバンパ13aに対して前方方向から加わる圧
力を検知する衝突センサ11aが配設されている。

上記構成のこの実施例では、突出長さ調節装置12a
は、バンパ13aに前方から加わる圧力により生じる一定
値以上の回転力に対しては、すべりを生じ回転するよう
構成されており、接触の衝撃を吸収する。

また、バンパ13aの突出長さは、前述の実施例と同様
に、衝突センサ11aによりバンパ13aと障害物の接触を検
知してから無人搬送車本体１が停止するまでに要する実
測された距離よりやや長い長さに調節され、前述の実施
例と同様な効果を得ることができる。

［発明の効果］ 上述のように本発明の無人搬送車では、安全性の向上
と狭い場所における作業性の向上とを同時に図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の無人搬送車用突出量可変型
バンパを配置された無人搬送車を示す縦断面図、第２図
は第１図の上面図、第３図および第４図はバンパ突出量
の制御例を示すグラフ、第５図は他の実施例の無人搬送
車を示す横断面図である。 １……無人搬送車本体、７……制御装置、８……走行用
駆動装置、11……衝突センサ、12……突出長さ調節装
置、13……バンパ。

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】無塵室内で半導体ウエハ等の搬送を行う無
   人搬送車であって、 走行用駆動装置を有する無人搬送車本体と、 この無人搬送車本体の進行方向側に配設されたバンパ
   と、 このバンパと障害物との接触を検知する衝突センサと、 この衝突センサからの検知信号に応じて、前記無人搬送
   車本体を停止させる制御装置と、 前記バンパの前記無人搬送車本体からの進行方向への突
   出長さを、低速走行時には短く、高速走行時には長く速
   度に応じて変化させ、各走行速度において前記衝突セン
   サが障害物との接触を検知してから、前記無人搬送車本
   体が停止するまでに要する距離よりやや長くする突出長
   さ調節装置と、 を備えたことを特徴とする無人搬送車。
2. 【請求項２】前記無人搬送車本体には、上部から取り入
   れた空気を清浄化する機構が配設されていることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の無人搬送車。
3. 【請求項３】前記バンパは、棒状に形成され、一端側が
   前記無人搬送車本体に係止され、この一端側を中心に当
   該バンパを回転させることによって、他端側の前記無人
   搬送車本体からの突出長さを変更可能に構成されたこと
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の無人搬送車。