JPS62299470A - 停止位置補正量検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 ［発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、例えば生産ラインに配線された誘導線に従っ
て移動する搬送車の停止位置補正量検出方法に関する。

（従来の技術） この種の搬送車は、生産ラインの床に配線された誘導線
を検出しながらこの誘導線の配線に従って移動し、この
移動の途中に有る各ステーションつまり加工装置等のｉ
Ｑ置された位置で停止して物品例えば半導体生産ライン
ではウェハーの積み下ろしを行なっている。なお、物品
の積み下ろし作業は搬送車に載置されたマニプレータ（
ロボット）によって行なわれている。ところで、各ステ
ーションで停止するとき、この停止位置が所定の停止位
置からずれてしまうと、マニプレータは所定の停止位置
における作業として教示されているので定められ位置に
確実に物品を積み下ろし出来なくなる。このため、停止
位置のずれ艮を検出してマニプレータの作業指令等を補
正して確実に物品の積み下ろしが出来るようにしている
。従って、停止位置のずれ最検出には高精度が要求され
る。

そこで、停止位置のずれ邑検出は次のような方法により
行われている。第１の方法は第５図に示すように搬送車
（不図示）の底面に各ジヤツキ１．２を設け、また床に
各ジヤツキ１．２と対応する位置関係で各円錐ガイド３
．４を配置する。そして、搬送車が停止位置に到達した
ところで各ジヤツキ１．２を下降させて各円錐ガイド３
．４と嵌合させて位置ずれを検出し、位置ずれがあれば
各ジヤツキ１．２と各円錐ガイド３．４とが完全に嵌合
されるまでこの作業を行なって位置ずれを無くしている
。また、第２の方法として第６図に示すように搬送車に
工業用テレビジョンカメラ５を設け、このカメラ５でス
テーションにおける所定のワーク６を撮像してその画像
データからワーク６の位置を［しずれ量を求め、そして
このずれ量からマニプレータに対する補正量を求めてい
る。

しかしながら第１の方法では床に円錐ガイド３．４を配
置しなければならず、これら円錐３．４が歩行者にとっ
て邪魔となる。また、金属からなる各ジヤツキ１．２と
各円錐ガイド３．４とを嵌合させるので発塵する。一方
、第２の方法では位置ずれ検出用としての専用の工業用
テレビジョンカメラを設け、さらに認識回路やワーク６
を精度高く認識するために照度および照明角度を考慮し
た照明等をも設けなければならず構成が複雑化する。

これにより搬送車として価格が高くなってしまう。

（発明が解決しようとする問題点） このように搬送車を正確な位置に停止させるためには歩
行者に対して邪魔となったり、また停止位置を０識する
ために複雑な回路構成を必要としている。

そこで本発明は上記問題点を解決するために、簡単な構
成で正確に停止位置ずれ量を検出して高精度な位置ずれ
に対する補正量を求めることができる停止位置補正量検
出方法を提供することを目的とする。

［発明の構成１ （問題点を解決するための手段） 本発明は、搬送車の移動可能な方向およびその垂直方法
に対してそれぞれ一次元センサを配置しかつ搬送車の停
止位置の基準とする停止位置補正符号を誘導線近傍に付
し、少なくとも移動している方向に配置された一次元セ
ンサを誘導線検出用として機能させるとともに他の一次
元センサを停止位置補正符号検出用として機能させて上
記目的を達成しようとする停止位置補正量検出方法であ
る。

（作用） このような手段を備えたことにより、搬送車停止時には
、少なくとも停止位置補正符号検出用として機能してい
る一次元センサによる停止位置補正符号の検出位置から
停止位置のずれ母が求められ、さらにこの位置ずれ昌か
ら停止位置補正母が求められる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図は停止位置補正量検出方法を適用した搬送システ
ムの全体構成図であり、第２図は第１図における一部分
を示す外観図である。倉庫１０および生産ラインの流れ
に従って配置された各加工装置１１．１２．１３の間に
は、物品を生産工程に従って搬送する搬送車１４の誘導
線１５−１．１５−２．１５−３．１５−４がそれぞれ
配線されている。なお、これら誘導線１５−１．１５−
２．１５−３．１５−４は例えはビニールテープを床に
粘着したものである。また、第２図においては加工１置
１１．１２の各物品載置台１１ａ、１２ａを示しである
。そして、これら誘導線１５−１．１５−２．１５−３
．１５−４には、搬送車１４がそれぞれ倉庫１０、各加
工装置１１．１２．１３に対して積み下ろし作業を行な
うに最適とする停止位置で停止させるための停止マーク
１６−１．１６−２．１６−３．１６−４がビニールテ
ープ等で形成されている。

さて、本方法では搬送＄１４が各停止マーク１６−１〜
１６−４を検出して停止しても停止位置がずれるため積
み下ろし作業するうえに最適な位置とならないため、こ
の停止位置ずれ固を検出して搬送車１４に載置されたマ
ニプレータ１７の作業指令に対する停止位置補正由を求
めるための停止位置補正符号１８−１．１８−２．１８
−’３．１８−４がビニールテープ等で形成されている
。

一方、搬送車１４の各移動可能方向に対する各側面には
ＣＯＤ　（固体石像素子）等から構成される一次元セン
サ１９−１．１９−２．１９−３．１９−４がそれぞれ
配置されている。ところで、この搬送車１４には次のよ
うな機能が備えられている。すなわち、移動している方
向に配置された一次元センサを誘導線１５−１〜１５−
４の検出用として機能させるとともに他の一次元センサ
を停止位！ｉｆ？１１１正符号１８−１〜１８−４の検
出用として機能させて搬送車１４の停止時に停止位置補
正符号１８−１〜１８−４の検出位置から停止位置補正
量を求める機能である。具体的な構成は第４図に示す如
くとなっている。−次元センサ１９−１．１９−２から
出力される各検出信号はそれぞれ切替スイッチＳ１、Ｓ
２を通して搬送制御部２０および補正量算出部２１に送
られるように構成され、また−次元センサ１９−３．１
９−４から出力される各検出信号はそれぞれ切替スイッ
チｓ３、Ｓ４を通して搬送制御部２０および補正量算出
部２１に送られるように構成されている。ところで、こ
れら切替スイッチ３１〜Ｓ４は、切替スイッチＳ１、Ｓ
２および切替スイッチＳ３、Ｓ４がそれぞれ同期して切
替わり、例えば−次元センサ１９−１．１９−２から出
力される各検出信号が共に搬送制御部２０に送られてい
る場合、他方の一次元センサ１９−３．１９−４から出
力される各検出信号は共に補正量算出部２１に送られる
ように構成されている。搬送制御部２０は、搬送プログ
ラム２２のプログラムに従って例えば−次元センサ１９
−１．１９−２からの検出信号により誘導ｆ！１５−１
〜１５−４の位置を判断して誘導１ｆ１１５−１〜１５
−４から搬送車１４の移動方向がずれないような操舵信
号を操舵制御部２３に送出し、かつ停止マーク１６−２
〜１６−４を検出したときには停止信号を送出するもの
である。この操舵制御部２３は操舵信号を受けて各車輪
の方向を制御する操舵モータ２４を駆動するものである
。また、搬送制御部２０からは搬送車１４の移動方向が
判別されてその判別結果が切替制御部２５へ送出する機
能を有している。従って、前記各切替スイッチ５１〜Ｓ
４はこの切替制御部２５によって移動方向の変化の毎に
切替られるようになっている。一方、補正量算出部２１
は一次元センサ１９−３．１９−４からの検出信号を受
けて基準位置メモリ２６に記憶されている停止位置補正
符号１８−１〜１８−４に対する基準位置と比較してそ
のずれ量を求め、このずれ量からマニプレータ１７の作
業指令に対する停止位置補正ｍを算出して移載制御部２
７に送出する凍能を持ったものである。この移載制御部
２７は予め教示された作業動作を補正量算出部２１から
の停止位置補正量によりその座標位置等を補正してマニ
プレータ１７のサーボモータ２８を駆動するものである
。

次に搬送車の停止時の作用について説明する。

先ず、実際に搬送作業を行なう前に搬送車１４を倉庫１
０から誘導線１５−１．１５−２．１５−３．１５−４
の配線に従って移動させ、この移動の途中にある各加工
装置１１．１２．１２でマニプレータ１７に対して物品
積み下ろしの教示を行なう。そして、倉ｊ［１０および
各加工装置１１．１２．１３に停止する毎に一次元セン
サ１９−１〜１９−４により各停止位置補正量＠１８−
１〜１８−４を検出し、この検出位置を基準位置として
基準位置メモリ２６に記憶する。この後、搬送作業が実
行される。

搬送車１４が誘導線１５−２に従って移動している場合
、−次元センサ１９−４．１９−３から出力される各検
出信号はそれぞれ切替スイッチｓ４、Ｓ３を通して搬送
１ｔｉＩＩ　１１１部２０に送られ、一方、−次元セン
サ１９−１．１９−２から出力される各検出信号は切替
スイッチＳ１、ｓ２を通して補正量算出部２１に送られ
る。従って、搬送車１４の操舵方向は一次元センサ１９
−４．１つ−３の検出信号により制御されている。この
ようにして搬送車１４が移動して一次元センサ１９−４
により停止マーク１６−２が検出されると、搬送車１４
は停止するとともに、このとき−次元センサ１９−２に
より停止位置補正符号１８−２が検出される。

従って、この検出信号は補正ｍ算出部２１に送られ、基
準位置とのずれ量が求められる。なお、このずれ量は一
次元センサを構成する各ＣＯＤ素子の羅列素子数から容
易に求められる。このようにずれ量が求められると、こ
のずれｍからマニプレータ１７の作業指令に対する停止
位置補正量が算出されて移載制御部２７に送られる。従
って、マニプレータ１７は補正量に従って補正された座
標位置の作業指令に従って物品の積み下ろし作業を実行
することになる。

この積み下ろし作業が終了すると、再び搬送車１４は誘
導線１５−２に従って移動し、ｙ、ｓ線１５−３と交差
する位置に達すると、各切替スイッチ８１〜Ｓ４は切替
制罪部２５からの指令により切替わる。従って、−次元
センサ１９−Ｌ　１９−２から出力される各検出信号が
共に搬送制御部２０に送られ、他方の一次元センサ１９
−３．１９−４から出力される各検出信号は共に補正量
算出部２１に送られる。従って、搬送車１４は−次元セ
ンサ１９−１，１９−２の検出信号により操舵方向が制
御されて誘導線１５−３に従って移動する。このように
して搬送車１４が移動して一次元センサ１９−１により
停止マーク１６−２が検出されると、搬送車１４は停止
するとともに、このとき−次元センサ１９−４により停
止位置補正符号１８−３が検出される。従って、この検
出信号は補正量算出部２１に送られ、この補正８３出部
２１において基準位置とのずれ量が求められ、さらにこ
のずれ農からマニプレータ１７の作業指令に対する補正
量が算出され又移載制御部２７に送られる。従って、上
記同様にマニプレータ１７は停止位置補正量に従って補
正された座標位置の作業指令に従って物品の積み下ろし
作業を実行することになる。

このように上記一実施例においては、停止位置補正符号
１８−１〜１８−４を付し、搬送車１４の移動している
方向に配置されている一次元センサを誘導線検出用とし
て機能させるとともに他の一次元センサを停止位置補正
符号検出用として機能さているので、作業すべき最適停
止位置とのずれ量を求めるにしても一次元センサ１９−
１〜１９−４の検出信号の信号処理となってその信号処
理が簡単である。そして、ずれ量も橢械的な検出手段と
違って精度高く求められ、各−次元センサ１９−１〜１
９−４のＣＯＤ素子数を増加することで精度をより高く
することが容易である。従って、補正量を求めるために
回路が複雑化することなく価格も安価となる。

なお、本発明は上記一実施例に限定されるものでなくそ
の主旨を逸脱しない範囲で変形してもよい。例えば、停
止位置補正量は停止位置補正符号のずれ量にさらに誘導
線に対する搬送車１４の位置ずれ量を検出し、これらず
れ量から補正量を算出する構成としてもよい。また、補
正する対東をマニプレータ１７でなく各加工装置の位置
補正陽として各加工装置を移動して積み下ろし作業が確
実に実行されるようにしてもよい。また、停止位置補正
符号の設置によっては、誘導線を検出している一次元セ
ンサと同一方向になる他の一次元センサに検出指令を与
えて検出するようにしてもよい。

［発明の効果］ 以上詳記したように本発明によれば、簡単な構成で正確
に停止位置ずれ量を検出して高精度な位置ずれに対する
補正ｍを求めることができる停止位置補正量検出方法を
提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の停止位置補正量検出方法を適用した搬
送システムの全体構成図、第２図は搬送システムの外観
図、第３図および第４図は本発明方法を適用した搬送車
の具体的な構成２、第５図および第６図は従来方法を説
明するための図である。 １０・・・倉庫、１１．１２．１３・・・加工装置、１
４・・・搬送車、１５−１〜１５−４・・・誘導線、１
６−１〜１６−４・・・停止マーク、１７・・・マニプ
レータ、１８−１〜１８−４・・・停止位置補正符号、
１９−１〜１９−４・・・−次元センサ、２０・・・搬
送制御部、２１・・・補正５算出部、２２・・・搬送プ
ログラム、２３・・・操舵制御部、２４・・・操舵モー
タ、２５・・・切替制御部、２６・・・基準位置メモリ
、２７・・・移載制御部、２８・・・サーボモータ、８
１〜Ｓ４・・・切替スイッチ。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 誘導線の配線に従って移動する搬送車が停止信号を検出
   した際の停止位置補正量検出方法において、前記搬送車
   の移動可能な各方向に対してそれぞれ一次元センサを配
   置しかつ前記搬送車の停止位置の基準とする停止位置補
   正符号を誘導線近傍に付し、少なくとも移動している方
   向に配置されている一次元センサを前記誘導線検出用と
   して機能させるとともに他の一次元センサを前記停止位
   置補正符号検出用として機能させ、前記搬送車停止時に
   少なくとも前記停止位置補正符号の検出位置から停止位
   置補正量を求めることを特徴とする停止位置補正量検出
   方法。