JPH10235351A - コロイダルシリカ含有廃水からの水回収方法 - Google Patents
コロイダルシリカ含有廃水からの水回収方法Info
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- JPH10235351A JPH10235351A JP9041170A JP4117097A JPH10235351A JP H10235351 A JPH10235351 A JP H10235351A JP 9041170 A JP9041170 A JP 9041170A JP 4117097 A JP4117097 A JP 4117097A JP H10235351 A JPH10235351 A JP H10235351A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】化学的機械研磨の洗浄工程から排出されるコロ
イダルシリカ含有廃水から水を効率よく回収する方法を
確立する。 【解決手段】コロイダルシリカを含有する廃水を、主と
してクロスフロー濾過処理して、得られた濾過水を純水
の生成原液として使用することを特徴とするものであ
り、クロスフロー濾過処理により、極めて微小な状態で
懸濁しているコロイダルシリカを効率よく分離できる。
イダルシリカ含有廃水から水を効率よく回収する方法を
確立する。 【解決手段】コロイダルシリカを含有する廃水を、主と
してクロスフロー濾過処理して、得られた濾過水を純水
の生成原液として使用することを特徴とするものであ
り、クロスフロー濾過処理により、極めて微小な状態で
懸濁しているコロイダルシリカを効率よく分離できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、化学的機械研磨の
洗浄工程から排出されるコロイダルシリカを含有する廃
水等、コロイダルシリカ含有廃水から水を回収する水回
収方法に関する。
洗浄工程から排出されるコロイダルシリカを含有する廃
水等、コロイダルシリカ含有廃水から水を回収する水回
収方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】コロイダルシリカを含有する廃水（コロ
イダルシリカ含有廃水）は、各種の製造工程における洗
浄処理により排出されるが、廃水の種類によっては、含
有するコロイダルシリカを水と分離して、分離された水
を洗浄用水の生成原液として使用することが有利である
場合がある。
イダルシリカ含有廃水）は、各種の製造工程における洗
浄処理により排出されるが、廃水の種類によっては、含
有するコロイダルシリカを水と分離して、分離された水
を洗浄用水の生成原液として使用することが有利である
場合がある。
【０００３】例えば、半導体の製造方法には、１つのデ
バイス上で縦方向に多層に回路設計を施す工法があり、
１層目の回路配線の上に酸化膜の絶縁層を設け、その表
面をさらに研磨して平坦化した上に２層目の回路配線を
施し、これを繰り返し行って４層、５層の多層の回路配
線が施されたデバイスを製造する方法があり、この製造
工程でなされる表面の平坦化のための研磨を化学的機械
研磨（ＣＭＰ）と称し、この研磨工程の洗浄水として比
抵抗が１７．５ＭΩ・ｃｍ以上の超純水を使用した洗浄
が行われ、この洗浄工程にから排出される廃水中には相
当量のコロイダルシリカが含有されている。
バイス上で縦方向に多層に回路設計を施す工法があり、
１層目の回路配線の上に酸化膜の絶縁層を設け、その表
面をさらに研磨して平坦化した上に２層目の回路配線を
施し、これを繰り返し行って４層、５層の多層の回路配
線が施されたデバイスを製造する方法があり、この製造
工程でなされる表面の平坦化のための研磨を化学的機械
研磨（ＣＭＰ）と称し、この研磨工程の洗浄水として比
抵抗が１７．５ＭΩ・ｃｍ以上の超純水を使用した洗浄
が行われ、この洗浄工程にから排出される廃水中には相
当量のコロイダルシリカが含有されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような特殊な超純
水では、洗浄工程から排出される廃水中に含有するコロ
イダルシリカを水とは分離して、分離後の水を超純水の
製造原液の一部または全てに利用することが有利であ
る。
水では、洗浄工程から排出される廃水中に含有するコロ
イダルシリカを水とは分離して、分離後の水を超純水の
製造原液の一部または全てに利用することが有利であ
る。
【０００５】従って、本発明の目的は、化学的機械研磨
の洗浄工程から排出されるコロイダルシリカ含有廃水
等、コイダルシリカを含有する廃水から水を効率よく回
収する方法を確立することを目的とする。
の洗浄工程から排出されるコロイダルシリカ含有廃水
等、コイダルシリカを含有する廃水から水を効率よく回
収する方法を確立することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、コロイダルシ
リカ含有廃水からの水の回収方法であり、コロイダルシ
リカを含有する廃水を被処理液としてクロスフロー濾過
処理して、得られた濾過水を純水の生成原液として使用
することを特徴とするものである。
リカ含有廃水からの水の回収方法であり、コロイダルシ
リカを含有する廃水を被処理液としてクロスフロー濾過
処理して、得られた濾過水を純水の生成原液として使用
することを特徴とするものである。
【０００７】本発明に係る水回収方法においては、前記
クロスフロー濾過に限外濾過膜を採用して限外濾過膜に
よる第１の濾過処理を行い、次いで逆浸透濾過膜または
イオン交換樹脂による第２の濾過処理を行うことがで
き、前記クロスフロー濾過の濾過膜として、セラミック
質フイルタを採用することができる。
クロスフロー濾過に限外濾過膜を採用して限外濾過膜に
よる第１の濾過処理を行い、次いで逆浸透濾過膜または
イオン交換樹脂による第２の濾過処理を行うことがで
き、前記クロスフロー濾過の濾過膜として、セラミック
質フイルタを採用することができる。
【０００８】また、本発明に係る水回収方法において
は、前記被処理液をクロスフロー濾過処理した後の残余
の濃縮液を、フイルタプレスまたはスプレードライヤ処
理することができ、前記被処理液として、コロイダルシ
リカ含有の化学的機械研磨の洗浄工程から排出される廃
水を使用することができる。
は、前記被処理液をクロスフロー濾過処理した後の残余
の濃縮液を、フイルタプレスまたはスプレードライヤ処
理することができ、前記被処理液として、コロイダルシ
リカ含有の化学的機械研磨の洗浄工程から排出される廃
水を使用することができる。
【０００９】
【発明の作用・効果】本発明に係る水回収方法は、クロ
スフロー濾過処理を主体とするものであって、被処理液
を濾過膜の一側に沿って流動させつつ濾過するものであ
り、濾過膜の一側に堆積する微粒子のケークを被処理液
の平行流による剪断力にて最小に保持し、安定した濾過
状態を長時間維持するもである。従って、被処理液とし
てコロイダルシリカ含有廃水を採用した場合には、極め
て微小な状態で懸濁していて、フィルタプレス等の従来
の濾過方法では十分には分離できなかったコロイダルシ
リカと懸濁媒体である水とを十分に分離することができ
るため、回収された水は極めて清澄であって、洗浄水の
調製用の原水の一部または全部として十分に使用可能で
ある。
スフロー濾過処理を主体とするものであって、被処理液
を濾過膜の一側に沿って流動させつつ濾過するものであ
り、濾過膜の一側に堆積する微粒子のケークを被処理液
の平行流による剪断力にて最小に保持し、安定した濾過
状態を長時間維持するもである。従って、被処理液とし
てコロイダルシリカ含有廃水を採用した場合には、極め
て微小な状態で懸濁していて、フィルタプレス等の従来
の濾過方法では十分には分離できなかったコロイダルシ
リカと懸濁媒体である水とを十分に分離することができ
るため、回収された水は極めて清澄であって、洗浄水の
調製用の原水の一部または全部として十分に使用可能で
ある。
【００１０】本発明に係る水回収方法においては、被処
理液として、コロイダルシリカを含有する化学的機械研
磨の洗浄工程から排出される廃水を採用することがで
き、かかる廃水から回収された水は上記洗浄工程での洗
浄用純水の生成原液として使用し得るという利点があ
る。
理液として、コロイダルシリカを含有する化学的機械研
磨の洗浄工程から排出される廃水を採用することがで
き、かかる廃水から回収された水は上記洗浄工程での洗
浄用純水の生成原液として使用し得るという利点があ
る。
【００１１】本発明に係る水回収方法において、限外濾
過膜を採用したクロスフロー濾過処理を行った後、逆浸
透膜またはイオン交換樹脂による第２の濾過処理を行え
ば、コロイダルシリカの分離を一層確実に行うことがで
き、回収された水は洗浄水である超純水の調製用の原水
として一層良好なものである。この場合、限外濾過膜と
してセラミック膜フィルタを好適に採用することがで
き、また逆浸透膜としては有機質の半透膜を採用するこ
とができる。
過膜を採用したクロスフロー濾過処理を行った後、逆浸
透膜またはイオン交換樹脂による第２の濾過処理を行え
ば、コロイダルシリカの分離を一層確実に行うことがで
き、回収された水は洗浄水である超純水の調製用の原水
として一層良好なものである。この場合、限外濾過膜と
してセラミック膜フィルタを好適に採用することがで
き、また逆浸透膜としては有機質の半透膜を採用するこ
とができる。
【００１２】また、本発明に係る水回収方法において、
クロスフロー濾過処理、または限外濾過膜によるクロス
フロー濾過処理、および逆浸透膜またはイオン交換樹脂
による濾過処理を行った後、濾過処理後の残余の濃縮液
を、フイルタプレスまたはスプレードライヤー処理をす
ることにより、廃水中の固形物を高い効率で回収するこ
とができる。
クロスフロー濾過処理、または限外濾過膜によるクロス
フロー濾過処理、および逆浸透膜またはイオン交換樹脂
による濾過処理を行った後、濾過処理後の残余の濃縮液
を、フイルタプレスまたはスプレードライヤー処理をす
ることにより、廃水中の固形物を高い効率で回収するこ
とができる。
【００１３】
（回収装置）以下本発明を図面に基づいて説明するに、
図１には本発明の水回収方法を実施するための第１の回
収装置１０が概略的に示されている。当該回収装置１０
は、廃水を貯溜する貯溜タンク１１、循環ポンプ１２、
および濾過器１３を備え、これらは循環管路１４にて互
いに連結されている。貯溜タンク１１には廃水の供給管
路１５が連結され、循環管路１４における濾過器１３と
貯溜タンク１１間には第１流出管路１６が連結され、か
つ濾過器１３における循環系路の下流側には第２流出管
路１７が連結されている。
図１には本発明の水回収方法を実施するための第１の回
収装置１０が概略的に示されている。当該回収装置１０
は、廃水を貯溜する貯溜タンク１１、循環ポンプ１２、
および濾過器１３を備え、これらは循環管路１４にて互
いに連結されている。貯溜タンク１１には廃水の供給管
路１５が連結され、循環管路１４における濾過器１３と
貯溜タンク１１間には第１流出管路１６が連結され、か
つ濾過器１３における循環系路の下流側には第２流出管
路１７が連結されている。
【００１４】貯溜タンク１１は、供給管路１５を通し
て、コロイダルシリカを含有する廃水を供給されるもの
で、液面センサ１１ａを備えている。液面センサ１１ａ
は、貯溜タンク１１内の廃水の液面を検出するもので、
液面が所定の高さに達した際にこれを検出し、この検出
信号を供給管路１５の途中に介装されている電磁弁１５
ａに出力して電磁弁１５ａを開閉制御し、貯溜タンク１
１の廃水を一定の液面に保持する。
て、コロイダルシリカを含有する廃水を供給されるもの
で、液面センサ１１ａを備えている。液面センサ１１ａ
は、貯溜タンク１１内の廃水の液面を検出するもので、
液面が所定の高さに達した際にこれを検出し、この検出
信号を供給管路１５の途中に介装されている電磁弁１５
ａに出力して電磁弁１５ａを開閉制御し、貯溜タンク１
１の廃水を一定の液面に保持する。
【００１５】各管路においては、循環管路１４における
循環ポンプ１２と濾過器１３との間、および第１流出管
路１６の連結部と貯溜タンク１１との間にそれぞれ流量
調整弁１４ａ，１４ｂが介装され、また第１流出管路１
６および第２流出管路１７には流量調整弁１６ａ，１７
ａが介装されている。
循環ポンプ１２と濾過器１３との間、および第１流出管
路１６の連結部と貯溜タンク１１との間にそれぞれ流量
調整弁１４ａ，１４ｂが介装され、また第１流出管路１
６および第２流出管路１７には流量調整弁１６ａ，１７
ａが介装されている。
【００１６】濾過器１３は、ケーシング内に多数本のパ
イプ状フイルタを収容してなるもので、各フィルタはセ
ラミック質の多孔質支持体の内周にセラミック質のフイ
ルタ膜である限外濾過膜を備えており、フィルタ膜の細
孔の平均細孔径は、多孔質支持体の細孔の平均細孔径に
比較して極めて小さい微小な細孔径となっている。
イプ状フイルタを収容してなるもので、各フィルタはセ
ラミック質の多孔質支持体の内周にセラミック質のフイ
ルタ膜である限外濾過膜を備えており、フィルタ膜の細
孔の平均細孔径は、多孔質支持体の細孔の平均細孔径に
比較して極めて小さい微小な細孔径となっている。
【００１７】当該回収装置１０においては、循環ポンプ
１２の駆動により、貯溜タンク１１内の廃水が濾過器１
３内に供給され、濾過器１３内にて各フィルタの内周側
１３ａを各フィルタ膜に沿って流動する。定常の運転状
態では、廃水は循環管路１４を循環し、この間廃水中の
一部の水は各フイルタの内周側１３ａから外周側１３ｂ
へ透過し、清澄な濾液となって第２流出管路１７を通し
て流出して回収される。
１２の駆動により、貯溜タンク１１内の廃水が濾過器１
３内に供給され、濾過器１３内にて各フィルタの内周側
１３ａを各フィルタ膜に沿って流動する。定常の運転状
態では、廃水は循環管路１４を循環し、この間廃水中の
一部の水は各フイルタの内周側１３ａから外周側１３ｂ
へ透過し、清澄な濾液となって第２流出管路１７を通し
て流出して回収される。
【００１８】一方、循環する廃水は漸次濃縮され、濃縮
されて循環する廃水の一部は、必要により第１流出管路
１６を通して流出される。この間、循環する廃水の減量
に対応する量の廃水が貯溜タンク１１に供給され、貯溜
タンク１１内の廃水の液面を一定に保持する。
されて循環する廃水の一部は、必要により第１流出管路
１６を通して流出される。この間、循環する廃水の減量
に対応する量の廃水が貯溜タンク１１に供給され、貯溜
タンク１１内の廃水の液面を一定に保持する。
【００１９】図２には、本発明の水回収方法を実施する
第２の回収装置２０が概略的に示されている。当該回収
装置２０は、第１の回収装置１０を基本として構成され
ているもので、これにフィルタプレス器２８および逆浸
透濾過器２９を付加して構成されている。
第２の回収装置２０が概略的に示されている。当該回収
装置２０は、第１の回収装置１０を基本として構成され
ているもので、これにフィルタプレス器２８および逆浸
透濾過器２９を付加して構成されている。
【００２０】当該回収装置２０は、廃水を貯溜する第１
貯溜タンク２１ａ、循環ポンプ２２、濾過器２３、フィ
ルタプレス器２８、および逆浸透濾過器２９を備え、貯
溜タンク２１、第１循環ポンプ２２ａ、および濾過器２
３は循環管路２４にて互いに連結されている。貯溜タン
ク２１には廃水の供給管路２５が連結され、循環管路２
４における濾過器２３と貯溜タンク２１間には第１流出
管路２６が連結され、かつ濾過器２３における循環系路
の下流側には第１貯溜タンク２１ｂが連結されている。
貯溜タンク２１ａ、循環ポンプ２２、濾過器２３、フィ
ルタプレス器２８、および逆浸透濾過器２９を備え、貯
溜タンク２１、第１循環ポンプ２２ａ、および濾過器２
３は循環管路２４にて互いに連結されている。貯溜タン
ク２１には廃水の供給管路２５が連結され、循環管路２
４における濾過器２３と貯溜タンク２１間には第１流出
管路２６が連結され、かつ濾過器２３における循環系路
の下流側には第１貯溜タンク２１ｂが連結されている。
【００２１】第１貯溜タンク２１ｂには第２流出管路２
７ａが連結されていて、第２流出管路２７ａには第２循
環ポンプ２２ｂと、逆浸透濾過器２９が介装されてい
る。また、逆浸透濾過器２９には、第３流出管路２７ｂ
と第４流出管路２７ｃが連結されており、第４流出管路
２７ｃは第２貯溜タンク２１ｂに連結されている。
７ａが連結されていて、第２流出管路２７ａには第２循
環ポンプ２２ｂと、逆浸透濾過器２９が介装されてい
る。また、逆浸透濾過器２９には、第３流出管路２７ｂ
と第４流出管路２７ｃが連結されており、第４流出管路
２７ｃは第２貯溜タンク２１ｂに連結されている。
【００２２】しかして、逆浸透濾過器２９は、酢酸セル
ロースからなる逆浸透膜を採用したクロスフロー濾過方
式のもので、限外濾過膜を採用している濾過器２３から
流出する濾液は、濾過膜の内周側２９ａを濾過膜に沿っ
て流動して、第４流出管路２７ｃを通って第２貯溜タン
ク２１ｂに還流する。この間、濾液の多くが濾過膜の内
周側２９ａから外周側２９ｂへ透過し、一層清澄な濾液
となって第２流出管路２７ａを通して流出して回収され
る。
ロースからなる逆浸透膜を採用したクロスフロー濾過方
式のもので、限外濾過膜を採用している濾過器２３から
流出する濾液は、濾過膜の内周側２９ａを濾過膜に沿っ
て流動して、第４流出管路２７ｃを通って第２貯溜タン
ク２１ｂに還流する。この間、濾液の多くが濾過膜の内
周側２９ａから外周側２９ｂへ透過し、一層清澄な濾液
となって第２流出管路２７ａを通して流出して回収され
る。
【００２３】一方、当該回収装置２０においては、第１
流出管路２６にフィルタプレス器２８が配設されてい
る。濃縮されて循環する廃水の一部は、必要により第１
流出管路２６を通して流出されるが、この際、濃縮され
たシリカ成分はフィルタプレス器２８にて分離捕捉さ
れ、第１流出管路２６からは大部分のシリカ成分を除去
された濾液が流出される。
流出管路２６にフィルタプレス器２８が配設されてい
る。濃縮されて循環する廃水の一部は、必要により第１
流出管路２６を通して流出されるが、この際、濃縮され
たシリカ成分はフィルタプレス器２８にて分離捕捉さ
れ、第１流出管路２６からは大部分のシリカ成分を除去
された濾液が流出される。
【００２４】なお、第２の回収装置２０においては、逆
浸透濾過器２９に換えて、図２の２点鎖線で示すように
イオン交換樹脂塔３９Ａを採用することができ、イオン
交換樹脂塔２９Ａを採用することによっても、逆浸透濾
過器２９を採用した場合と同様の作用効果を奏する。
浸透濾過器２９に換えて、図２の２点鎖線で示すように
イオン交換樹脂塔３９Ａを採用することができ、イオン
交換樹脂塔２９Ａを採用することによっても、逆浸透濾
過器２９を採用した場合と同様の作用効果を奏する。
【００２５】（水回収実験）図２に示す第２の回収装置
２０を使用して、コロイダルシリカ含有廃水から水の回
収実験を行った。廃水としては、半導体の化学的機械研
磨での純水による洗浄工程から排出される下記の廃水を
採用し、濾過器１３のフィルタとしては、下記に示す形
状のセラミック質のモノリス構造体を採用し、かつ回収
装置の運転条件として下記に示す条件を採用した。
２０を使用して、コロイダルシリカ含有廃水から水の回
収実験を行った。廃水としては、半導体の化学的機械研
磨での純水による洗浄工程から排出される下記の廃水を
採用し、濾過器１３のフィルタとしては、下記に示す形
状のセラミック質のモノリス構造体を採用し、かつ回収
装置の運転条件として下記に示す条件を採用した。
【００２６】廃水の組成：ＳｉＯ2５，０００ｐｐｍ〜
２０，００００ｐｐｍ、廃水の特性： コロイド状で濁
質物の沈澱なし。
２０，００００ｐｐｍ、廃水の特性： コロイド状で濁
質物の沈澱なし。
【００２７】濾過器１３のフィルタ：アルミナ質の円柱
状の支持体の各貫通孔の内周にチタニア質のフイルタ膜
を備えたモノリス構造体で、直径３０ｍｍ、長さ１００
０ｍｍ、貫通孔の直径３ｍｍ、貫通孔の孔数３７個、フ
ィルタ膜の平均細孔径０．００５μｍ〜０．０１μｍ。
状の支持体の各貫通孔の内周にチタニア質のフイルタ膜
を備えたモノリス構造体で、直径３０ｍｍ、長さ１００
０ｍｍ、貫通孔の直径３ｍｍ、貫通孔の孔数３７個、フ
ィルタ膜の平均細孔径０．００５μｍ〜０．０１μｍ。
【００２８】運転条件：廃水の温度２５℃、循環速度６
２Ｌ／ｍｉｎ、膜面線速４ｍ／ｓｅｃ。
２Ｌ／ｍｉｎ、膜面線速４ｍ／ｓｅｃ。
【００２９】かかる水回収実験におけるクロスフロー濾
過における濾液および濃縮液の組成、逆浸透濾過膜濾過
における濾液および濃縮液の組成、逆浸透濾過に換えた
イオン交換樹脂処理による処理液の組成を表１に示す。
過における濾液および濃縮液の組成、逆浸透濾過膜濾過
における濾液および濃縮液の組成、逆浸透濾過に換えた
イオン交換樹脂処理による処理液の組成を表１に示す。
【００３０】
【表１】
【００３１】但し、表中の（ａ）は化学的機械研磨から
の廃水、（ｂ）はクロスフロー濾過における濾液、
（ｃ）はクロスフロー濾過における濃縮液、（ｄ）は逆
浸透濾過膜の濾過における濾液、（ｅ）は逆浸透濾過膜
濾過における濃縮液、（ｆ）はイオン交換述処理におけ
る処理液を意味し、かつＳＳは懸濁物質を意味する。ま
た、これらの成分の単位はｍｇ／Ｌであり、かつ導電率
の単位はμＳ／ｃｍである。
の廃水、（ｂ）はクロスフロー濾過における濾液、
（ｃ）はクロスフロー濾過における濃縮液、（ｄ）は逆
浸透濾過膜の濾過における濾液、（ｅ）は逆浸透濾過膜
濾過における濃縮液、（ｆ）はイオン交換述処理におけ
る処理液を意味し、かつＳＳは懸濁物質を意味する。ま
た、これらの成分の単位はｍｇ／Ｌであり、かつ導電率
の単位はμＳ／ｃｍである。
【図１】本発明に係る水回収方法を実施するための第１
の回収装置の概略構成図である。
の回収装置の概略構成図である。
【図２】本発明に係る水回収方法を実施するための第２
の回収装置の概略構成図である。
の回収装置の概略構成図である。
１０，２０…回収装置、１１，２１ａ，２１ｂ…貯溜タ
ンク、１２，２２ａ，２２ｂ…循環ポンプ、１３，２３
…濾過器、１４，２４…循環管路、１５，２５…供給管
路、１６，２６…第１流出管路、１７，２７ａ…第２流
出管路、２７ｂ…第３流出管路、２７ｃ…第４流出管
路、２８…フィルタプレス器、２９…逆浸透濾過器、２
９Ａ…イオン交換塔。
ンク、１２，２２ａ，２２ｂ…循環ポンプ、１３，２３
…濾過器、１４，２４…循環管路、１５，２５…供給管
路、１６，２６…第１流出管路、１７，２７ａ…第２流
出管路、２７ｂ…第３流出管路、２７ｃ…第４流出管
路、２８…フィルタプレス器、２９…逆浸透濾過器、２
９Ａ…イオン交換塔。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｂ０１Ｄ 61/02 ５００ Ｂ０１Ｄ 71/02 61/14 ５００ Ｃ０２Ｆ 1/42 Ｅ 61/58 Ｂ０１Ｄ 37/06 71/02 Ｃ０２Ｆ 1/42
Claims (5)
- 【請求項１】コロイダルシリカを含有する廃水を被処理
液としてクロスフロー濾過処理して、得られた濾過水を
純水の生成原液として使用することを特徴とするコロイ
ダルシリカ含有廃水からの水回収方法。 - 【請求項２】請求項１に記載の水回収方法において、前
記クロスフロー濾過に限外濾過膜を採用して限外濾過膜
による第１の濾過処理を行い、次いで逆浸透濾過膜また
はイオン交換樹脂による第２の濾過処理を行うことを特
徴とするコロイダルシリカ含有廃水からの水回収方法。 - 【請求項３】請求項１または２に記載の水回収方法にお
いて、前記クロスフロー濾過の濾過膜として、セラミッ
ク質フイルタを採用することを特徴とするコロイダルシ
リカ含有廃水からの水回収方法。 - 【請求項４】請求項１，２または３に記載の水回収方法
において、前記被処理液をクロスフロー濾過処理した後
の残余の濃縮液を、フイルタプレスまたはスプレードラ
イヤ処理することを特徴とするコロイダルシリカ含有廃
水からの水回収方法。 - 【請求項５】請求項１，２，３または４に記載の水回収
方法において、前記被処理液がコロイダルシリカ含有の
化学的機械研磨の洗浄工程から排出される廃水であるこ
とを特徴とするコロイダルシリカ含有廃水からの水回収
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04117097A JP3569605B2 (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | コロイダルシリカ含有廃水からの水回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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