JPH10221400A - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置の構造を簡略化することができるととも
に接続端子部の被検査基板に対する位置決めを容易に行
うことができること。 【解決手段】 ヘッド４８および５０に支持される導体
板２８もしくは絶縁板２６が、試験電流もしくは試験電
圧が供給されるプリント配線基板７８に電気的に接続さ
れる相対向する二つの電極面を有する被検査基板１０の
一方の電極面１０Ａに選択的に当接されて電気的な導通
性もしくは絶縁性の検査が行われるもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路な
どが接続される基板の内部配線に対する電気的試験を行
う基板検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子機器などに実装される半導体集積回
路が配線されるべきフラットパッケージは、実装される
以前の段階で種々の試験が行われその潜在的欠陥が除去
される。被検査基板としてのフラットパッケージに対し
ての試験は、例えば、そのフラットパッケージの一方の
電極面部における各電極間の電気的な絶縁性、および、
フラットパッケージの一方の電極面部と他方の電極面部
との間における電気的な導通性について行われる。

【０００３】相対向する一対の電極面部を有する薄板状
のフラットパッケージの一方の電極面部の周縁部には、
例えば、半導体集積回路が配線される各電極が所定の微
小な間隔で形成され、また、フラットパッケージの他方
の電極面部全体には、一方の電極面部に電気的に導通状
態とされ、かつ、外部の端子部に接続される電極が縦横
に所定の間隔で複数形成されている。

【０００４】そのようなフラットパッケージについての
検査装置においては、フラットパッケージの一方の電極
面部に対向して配され、その一方の電極面部の各電極ご
とに個別に接触する接触子を複数有する第１の接続端子
部と、フラットパッケージの他方の電極面部に対向して
配され、その他方の電極面部の各電極毎に個別に接触す
る接触子を複数有する第２の接続端子部と、第１の接続
端子部および第２の接続端子部を互いにそれぞれの電極
面部に近接させ、もしくは、離隔させる移動手段とを含
んで構成されている。

【０００５】このような構成のもとで、移動手段により
フラットパッケージにおける双方の電極面部にそれぞれ
第１の接続端子部と第２の接続端子部とが接続されると
き、例えば、第１の接続端子部と第２の接続端子部との
間に試験電流が供給されて電極面相互間における導通試
験が行われることとなる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述のような検査装置
においては、フラットパッケージにおける各電極面部間
において電極数および配列が異なるのでそれぞれ接触子
数および配列の異なる第１の接続端子部と第２の接続端
子部とが設けられている。しかし、このように第１の接
続端子部と第２の接続端子部とが設けられることにより
装置の構造が複雑となる。また、フラットパッケージの
各電極面部における電極の相互間隔が微小となり電極数
が増大するにつれて第１の接続端子部および第２の接続
端子部の接触子のフラットパッケージの電極に対する位
置決めが困難となる虞がある。

【０００７】以上の問題点を考慮し、本発明は、半導体
集積回路が接続される基板の内部配線に対する電気的試
験を行う基板検査装置であって、装置の構造を簡略化す
ることができるとともに接続端子部の被検査基板に対す
る位置決めを容易に行うことができる基板検査装置を提
供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、本発明に係る基板検査装置は、一対の対向する配
線部にそれぞれ互いに電気的に導通状態とされる電極面
を有する被検査基板における一方の配線部の電極面が接
続される端子部が設けられ、供給される検査信号を一方
の配線部の電極面に選択的に送出する基板と、被検査基
板における他方の配線部の電極面に選択的に当接し電極
面に接続される検査回路を導通状態とする第１の部材、
および、電極面に選択的に当接し電極面の電極相互間に
おける電路を電気的に絶縁状態とする第２の部材と、第
１の部材および第２の部材を選択的に被検査基板におけ
る他方の配線部の電極面に対して当接状態もしくは離隔
状態をとらせる移動手段と、移動手段に、被検査基板に
対する第１の検査が行われるとき、第１の部材を被検査
基板における他方の配線部の電極面に対して当接する動
作を行わせ、被検査基板に対する第２の検査が行われる
とき、第２の部材を被検査基板における他方の配線部の
電極面に対して当接する動作を行わせる制御部とを備え
て構成される。

【０００９】また、基板の端子部と被検査基板における
一方の配線部の電極面との間に配され基板の端子部およ
び被検査基板の電極面に対応して設けられる接続部を有
し、接続部を介して端子部と電極面とを選択的に導通状
態とする異方性導電性シートが加えて備えられてもよ
い。

【００１０】

【発明の実施の形態】図１および図２は、本発明に係る
基板検査装置の一例を示す。

【００１１】本発明に係る基板検査装置の一例により検
査される被検査基板１０は、例えば、図７の（Ａ）およ
び（Ｂ）に示されるように、薄板で略正方形に作られ、
相対向する一対の電極面部１０Ａおよび１０Ｂを有して
いる。

【００１２】電極面部１０Ａにおける略中央部には、図
７の（Ａ）に一点鎖線で示されるように、被検査基板１
０自体が検査され良品と判断された後、半導体集積回路
１２が設けられる。電極面部１０Ａにおける半導体集積
回路１２が設けられる部分を取り囲む各辺の周縁部に
は、半導体集積回路１２にそれぞれ接続される電極１０
ａが所定の間隔、例えば、０．２５ｍｍの間隔で配列さ
れている。略長方形とされる電極１０ａの短辺および長
辺は、例えば、それぞれ、０．１、０．２ｍｍとされ
る。

【００１３】電極面部１０Ｂには、電極面部１０Ａの各
電極１０ａにそれぞれ接続される円形状の電極１０ｂが
所定の間隔、例えば、１．０ｍｍで縦横に格子状に設け
られている。電極１０ａの直径は、例えば、直径０．５
ｍｍとされる。

【００１４】図１および図２において示される検査装置
は、被検査基板１０が収容される支持台１６が固定され
る平坦部を有する基台部１４Ａと基台部１４Ａに連なり
上下方向に伸びベッド部１８が固定される支持面を有す
る支持部１４Ｂとを含んでなるコラム部１４と、昇降動
可能に支持されるピストンロッド部２４を有し、ベッド
部１８の一方の端面に固定されるエアシリンダ２０と、
エアシリンダ２０のピストンロッド部２４における一方
の端部に連結され選択的に被検査基板１０の電極面部１
０Ａに対して当接する第１の部材および第２の部材とし
ての絶縁板２６および導体板２８を有するヘッド機構部
２２とを含んで構成されている。

【００１５】コラム部１４における支持部１４Ｂの支持
面の位置は、ヘッド機構部２２および支持台１６に対し
て臨む位置とされている。ベッド部１８の他方の端面
は、コラム部１４における支持部１４Ｂの支持面に座金
３０を介して２本のボルトＢａにより固定されている。
ベッド部１８の一方の端面には、エアシリンダ２０が４
本のボルトＢｂにより固定されている。図２において
は、２本のボルトＢｂのみを示す。

【００１６】エアシリンダ２０のピストンロッド部２４
は、下端部にヘッド機構部２２が連結される連結部２４
ｂを有している。既知の構造を有するエアシリンダ２０
におけるピストンロッド部２４は、図示が省略される作
動空気供給部からの作動空気圧が供給されるとき、昇降
動せしめられる。

【００１７】ヘッド機構部２２は、図３に示されるよう
に、ピストンロッド部２４の連結部２４ｂに４本のボル
トＢｃで固定される連結板３２と、連結板３２の側端部
に固定されロータリアクチュエータ３６を支持する支持
板３４と、連結板３２の下部に設けられる凹部３２ａ内
にそれぞれの一端が固定され対向配置される側板４０お
よび４２と、側板４０と側板４２との間に回動可能に配
される回転軸４４を有しヘッド部４８および５０をそれ
ぞれ支持するアーム４６Ｉおよび４６Ｃとを主要な構成
要素として含んで構成されている。

【００１８】連結板３２の凹部３２ａにおける底部に
は、所定の間隔をもってアーム部４６Ｉおよび４６Ｃの
位置決め用のスタッドボルト５２Ａおよび５２Ｂが雌ね
じ孔３２ｓにはめ合わされナットＮｕにより固定されて
いる。スタッドボルト５２Ａおよび５２Ｂの取付位置
は、それぞれ、図１に示されるように、後述するアーム
４６Ｉおよび４６Ｃにおけるボルト４６Ｉａおよび４６
Ｃａの上端に対向する位置とされ、これにより、アーム
４６Ｉおよび４６Ｃの回転角度の調整（ストッパー）が
可能とされている。

【００１９】支持板３４は、図３に示されるように、ボ
ルトＢｄにより連結板３２の側端部に固定されている。
支持板３４に支持されるロータリアクチュエータ３６
は、例えば、作動空気により作動状態とされ、供給され
る作動空気圧により回動される回転軸３６ａを有してい
る。回転軸３６ａは、回転軸４４の軸線と一致する仮想
共通軸線上に配されている。回転軸３６ａの一方の端部
は、回転軸４４の端部に向かって支持板３４の透孔３４
ａを通じて突出し、カップリング５４により回転軸４４
に連結されている。これにより、ロータリアクチュエー
タ３６が作動状態の場合、回転軸３６ａの回動力が回転
軸４４に伝達されることとなる。

【００２０】また、支持板３４におけるアーム４６Ｉお
よび４６Ｃに対向する端面には、アーム４６Ｉおよび４
６Ｃが停止状態とされるとき発生する衝撃力を吸収する
緩衝機構３８がボルトにより固定されている。

【００２１】側板４０および４２は、透孔４０ａおよび
４２ａを通じて挿入される回転軸４４の両端部をそれぞ
れ回動可能に支持するボールベアリング５６Ａおよび５
６Ｂを有している。側板４０および４２の一端は、ボル
トＢｏにより連結板３２に固定されている。

【００２２】回転軸４４においてボールベアリング５６
Ａが嵌合される側の端部には、止め輪Ｓｗが設けられて
いる。これにより、回転軸４４がその軸線方向に沿って
ロータリアクチュエータ３６側へ移動することが規制さ
れることとなる。アーム４６Ｉの基端部およびアーム４
６Ｃの基端部には、回転軸４４が挿入される透孔４６ｉ
ｂおよび４６ｃｂがそれぞれ設けられている。アーム４
６Ｉの基端部の透孔４６ｉｂには、回転軸４４の半径方
向に伸びる雌ねじ孔４６ｉｓが連通している。雌ねじ孔
４６ｉｓには、アーム４６Ｉの基端部を回転軸４４に固
定する止めねじ部材６０が設けられている。また、アー
ム４６Ｉの基端部とアーム４６Ｃの基端部との相互接触
部には、アーム４６Ｉの基端部とアーム４６Ｃの基端部
とを互いに連結する平行ピン６２が回転軸４４に沿って
設けられている。

【００２３】アーム４６Ｉの基端部とアーム４６Ｃの基
端部とは、それぞれの基端部が交叉することにより形成
される挟角が略９０度となるように互いに２本のボルト
Ｂｅで連結されている。２本のボルトＢｅは、アーム４
６Ｉの基端部およびアーム４６Ｃの基端部にそれぞれ設
けられる透孔４６ｉａおよび４６ｃａにそれぞれ挿入さ
れてナットＮｕｂで締結されている。

【００２４】アーム４６Ｉの端部およびアーム４６Ｃの
端部には、それぞれ、ヘッド部４８および５０がボルト
Ｂｆの先端が雌ねじ孔４６ｉｈにはめ合わされることに
より固定されている。

【００２５】ヘッド部４８とヘッド部５０とは絶縁板２
６および導体板２８を除き同一の構造を有するのでヘッ
ド部４８について説明し、ヘッド部５０についての重複
説明を省略する。

【００２６】ヘッド部４８は、ボルトＢｆが挿入される
透孔４８ａを４個所に有している。また、ヘッド部４８
の中央部分には、被検査基板１０を絶縁板２６の表面か
ら引き離す剥離ピン６８が配される透孔４８ｇが設けら
れている。透孔４８ｇには、剥離ピン６８の頭部に当接
し下方に向けて付勢するコイルスプリング６６が配され
ている。アーム４６Ｉの端部には、凹部４６ｇが形成さ
れている。凹部４６ｇには、透孔４８ｇに対向してコイ
ルスプリング６６に連結される駒部材６６ａが選択的に
挿入される。

【００２７】ヘッド部４８における支持台１６に対向す
る端面には、絶縁板２６をその端面に位置決め固定する
押圧板７０が設けられている。押圧板７０は、絶縁板２
６の平坦部が挿入される開口部７０ｂ、および、固定用
のボルトＢｇが挿入される透孔７０ａを有している。こ
れにより、押圧板７０は、ボルトＢｇがその透孔７０ａ
を介して端部に設けられる雌ねじ孔にはめ合わせること
により固定されることとなる。

【００２８】絶縁板２６は、ゴム材料、例えば、シリコ
ーンゴムで作られている。絶縁板２６の中央部には、剥
離ピン６８の先端が挿入される透孔２６ａが設けられて
いる。また、導体板２８は、例えば、シリコーンゴムの
中に金によりメッキ処理されたニッケル粉が含有された
ものである。

【００２９】ヘッド部４８および５０に対向して基台１
４ａ上に配される支持台１６は、図３に示されるよう
に、基台１４ａ上に載置される絶縁板７２と、絶縁板７
２の上面に配される中間部材７４と、中間部材７４の上
面に配される複合板７６と、複合板７６の上面に固定さ
れ試験電流を送出するプリント配線基板７８と、プリン
ト配線基板７８上に配され被検査基板１０を収容すると
ともに被検査基板１０の電極のプリント配線基板７８の
電極に対する位置決めを行う位置決め板８２と、被検査
基板１０および位置決め板８２とプリント配線基板７８
との間に配され被検査基板１０の電極とプリント配線基
板７８の電極との間を選択的に導通状態とする異方性導
電性シート８０とを含んで構成されている。

【００３０】絶縁板７２および中間部材７４は、ボルト
Ｂｇが挿入される透孔７２ａおよび７４ａをそれぞれ有
している。ボルトＢｇは基台部１４Ａにおける所定の２
個所に設けられるＴ型の溝１４ａｔにそれぞれ嵌合され
るブロック部材ＢＬの雌ねじ孔にはめ合わされている。

【００３１】例えば、ステンレス鋼で作られる中間部材
７４には、複合板７６の中間部材７４に対する位置決め
を行うピン７４ｐが４個所に設けられている。

【００３２】複合板７６は、ビスＢＳａにより中間部材
７４に固定されている。複合板７６は、例えば、図４に
分解し拡大して示されるように、中間部材７４の上面に
載置される基板９０と、基板９０上に積層される絶縁板
８８、および、絶縁板８４と、絶縁板８８と絶縁板８４
との間に配される導体板８６とを含んで構成される。

【００３３】絶縁板８８、および、絶縁板８４は、例え
ば、セラミック材料で作られている。導体板８６は、例
えば、銅合金材料で作られ、その表面が金メッキ処理さ
れている。また、導体板８６は、後述する計装部の電位
と同電位とされる部位に接地されている。これにより、
支持台１６に伝搬され検査装置における計測精度に影響
を及ぼす不所望なノイズが導体板８６を通じて容易に除
去されることとなる。

【００３４】基板９０には、位置決めピン９２が４箇所
に設けられている。位置決め板８２および異方性導電性
シート８０のプリント配線基板７８に対する位置決めを
行う位置決めピン９２は、位置決め板８２の端面に対し
て略垂直方向に伸びている。

【００３５】絶縁板８８、および、絶縁板８４と導体板
８６とには、位置決めピン９２が挿入される透孔８４
ａ、８６ａ、および、８８ａがその共通中心軸線上に設
けられている。

【００３６】複合板７６の上面に載置されるプリント配
線基板７８は、図６に示されるように、長方形に形成さ
れ後述する検査回路切換部に接続される端子部７８ｉ
ａ、７８ｉｂ、および、７８ｉｃを有している。

【００３７】端子部７８ｉａ、および、７８ｉｃはそれ
ぞれ、相対向しその短辺に沿って所定の間隔をもって２
列平行に配列されている。また、端子部７８ｉｂは、そ
の長辺のうちの一方の辺に沿って所定の間隔をもって２
列設けられている。

【００３８】端子部７８ｉａ、７８ｉｂ、および、７８
ｉｃにおける位置決め板８２および異方性導電性シート
８０に対向する側は、図示が省略される各導体により中
央部に設けられる電極群７８ｏｉの各電極にそれぞれ接
続されている。電極群７８ｏｉは、載置される異方性導
電性シート８０の端子群８０Ａに対向して設けられてい
る。電極群７８ｏｉの周囲には、位置決めピン９２が挿
入される透孔７８ａが絶縁板８４の透孔８４ａに対応し
て設けられている。

【００３９】また、各端子部７８ｉａ、および、７８ｉ
ｃと透孔７８ａとの間には、ボルトＢｈが挿入される透
孔７８ｂが４個所に設けられている。ボルトＢｈは位置
決め板８２、異方性導電性シート８０、および、プリン
ト配線基板７８を一体に複合板７６に固定している。

【００４０】さらに、透孔７８ａが設けられる部分近傍
の位置には、皿ビスＢＳｂが挿入される透孔７８ｃが４
個所設けられている。皿ビスＢＳｂは位置決め板８２、
異方性導電性シート８０、および、プリント配線基板７
８を一体に複合板７６に固定している。

【００４１】プリント配線基板７８は、位置決めピン９
２により絶縁板８４に対する所定の位置に位置決めされ
るもとでボルトＢｈおよび皿ビスＢＳｂで複合板７６に
固定されることとなる。

【００４２】プリント配線基板７８上に配される異方性
導電性シート８０は、図６に示されるように、位置決め
ピン９２が挿入される透孔８０ａが透孔７８ａに対応し
て設けられている。また、透孔８０ａが設けられる部分
近傍の位置には、透孔７８ｃに対応して透孔８０ｃが４
個所に設けられている。

【００４３】薄板状に形成される異方性導電性シート８
０の中央部分に設けられる端子群８０Ａは、複数の導電
部からなる。異方性導電性シート８０の端子群８０Ａ
は、複合導電材料、例えば、シリコーンゴムと金属粒子
からなるもので作られ設けられている。複合導電材料と
しては、異方性導電ゴムが用いられる。異方性導電ゴム
は、その厚み方向に導電性を有し平面に沿った方向には
導電性を有しない材料である。また、異方性導電ゴムに
は、導電部が絶縁性を有するゴムの中に分散している分
散タイプと、導電部が部分的に複数個偏在している偏在
タイプがあり、いずれのタイプが用いられても良い。端
子群８０Ａがこのような異方性導電ゴムで作られること
により被検査基板１０の各電極１０ｂとプリント配線基
板７８の電極群７８ｏｉとが面接触により接続されるの
で接触不良が回避されるとともに被検査基板１０の電極
面１０Ｂとの接触による損傷が回避されることとなる。

【００４４】位置決め板８２は、例えば、アルミニウム
合金材料で作られている。位置決め板８２は、図５およ
び図６に示されるように、プリント配線基板７８の透孔
７８ｂに対応して透孔８２ｂを有している。また、位置
決め板８２は、異方性導電性シート８０の透孔８０ａ、
および、透孔８０ｃにそれぞれ対応して透孔８２ａおよ
び８２ｃを有している。さらに、位置決め板８２におい
て異方性導電性シート８０の端子群８０Ａに対向した位
置には、被検査基板１０が収容される開口部９４が設け
られている。開口部９４の寸法は、開口部９４の周縁部
と被検査基板１０の輪郭線との間に所定の微小な隙間が
形成されるように被検査基板１０の一辺の長さよりも長
いものとされる。これにより、開口部９４内に配された
被検査基板１０の電極１０ｂは異方性導電性シート８０
の端子群８０Ａに対して適正に位置決めされることとな
る。開口部９４の周縁部には、段部８２ｄが形成されて
いる。段部８２ｄには、斜面部８２ｅが連なって形成さ
れている。

【００４５】なお、一辺の長さが異なる被検査基板１
０、もしくは、電極数が異なる被検査基板１０が複数あ
る場合においては、図５に一点鎖線で示されるように、
その被検査基板１０の一辺の長さに応じて各被検査基板
ごとに位置決め板８２の開口部９４の寸法を拡張もしく
は縮小することにより位置決めすることが可能である。
従って、プリント配線基板７８の電極群７８ｏｉおよび
異方性導電性シート８０の端子群８０Ａの領域が、予め
対象となる被検査基板１０の最大外形寸法に適用しうる
ように設定してある場合、位置決め板８２の開口部８２
を拡張もしくは縮小することにより位置決めが可能とな
る。

【００４６】従って、外形の大きさや電極数の異なる種
々の被検査基板１０に対し、位置決めに関しての対応が
可能となる。

【００４７】本発明に係る基板検査装置の一例において
は、加えて、図８に示されるような、制御ユニット１０
０を備えている。

【００４８】制御ユニット１００には、装置を動作プロ
グラムに従い起動させるべく各種の必要な制御データを
送出するとともに検査の開始の指令を行う操作部１０２
からの検査開始指令信号Ｓｓ、後述する信号処理部１０
４からの検査結果をあらわすデータＤｒが供給される。

【００４９】制御ユニット１００は、被検査基板１０に
おける各電極間の導通性もしくは絶縁性の良否の検査を
行うにあたり、試験電流もしくは試験電圧が印加される
回路を変更し被検査基板１０の各電極間の導通もしくは
絶縁の検査を順次実行するために検査回路切換部１２２
の動作制御を行う。

【００５０】検査回路切換部１２２は、プリント配線基
板７８の端子部７８ｉａ、７８ｉｂ、および、７８ｉｃ
の入力側にそれぞれ接続されるスイッチ部を有してい
る。図８においては、複数のスイッチ部のうちの一部を
示し、図５に示されるように、端子部７８ｉａにおける
端子Ａｃ、Ｂｃ、および、Ｃｃの入力側に接続されるス
イッチ部１２６、１２８、および、１３０を示す。各端
子Ａｃ、Ｂｃ、および、Ｃｃは、被検査基板１０の各電
極１０ｂにおける電極Ｔａ、Ｔｂ、および、Ｔｃにそれ
ぞれ対応して接続される。

【００５１】スイッチ部１２６における可動接点１２６
ａおよび１２６ｂは、共通の電路を通じて端子Ａｃに接
続されている。スイッチ部１２６における選択接点１２
６ｃおよび１２６ｆは、それぞれ、入力端子１２２ｉａ
および１２２ｉｂに接続されている。また、選択接点１
２６ｄおよび１２６ｅは、それぞれ、出力端子１２２ｏ
ａおよび１２２ｏｂに接続されている。

【００５２】スイッチ部１２８における可動接点１２８
ａおよび１２８ｂは、共通の電路を通じて端子Ｂｃに接
続されている。スイッチ部１２８における選択接点１２
８ｃおよび１２８ｆは、それぞれ、入力端子１２２ｉａ
および１２２ｉｂに接続されている。また、選択接点１
２８ｄおよび１２８ｅは、それぞれ、出力端子１２２ｏ
ａおよび１２２ｏｂに接続されている。

【００５３】スイッチ部１３０における可動接点１３０
ａおよび１３０ｂは、共通の電路を通じて端子Ｃｃに接
続されている。スイッチ部１３０における選択接点１３
０ｃおよび１３０ｆは、それぞれ、入力端子１２２ｉａ
および１２２ｉｂに接続されている。また、選択接点１
３０ｄおよび１３０ｅは、それぞれ、出力端子１２２ｏ
ａおよび１２２ｏｂに接続されている。

【００５４】また、スイッチ部１２４における可動接点
１２４ａおよび１２４ｂは、共通の電路を通じて導体板
２８に接続されている。また、選択接点１２４ｃおよび
１２４ｆは、それぞれ、入力端子１２２ｉａおよび１２
２ｉｂに接続されている。また、選択接点１２４ｄおよ
び１２４ｅは、それぞれ、出力端子１２２ｏａおよび１
２２ｏｂに接続されている。

【００５５】入力端子１２２ｉａおよび１２２ｉｂは、
定電圧／定電流源１１８に接続されている。これによ
り、入力端子１２２ｉａおよび１２２ｉｂには、所定の
タイミングで所定の値を有する定電圧もしくは定電流が
選択的に印加されることとなる。また、出力端子１２２
ｏａおよび１２２ｏｂには、出力端子１２２ｏａおよび
１２２ｏｂ間における電流もしくは電圧を測定する測定
装置１２０に接続されている。

【００５６】測定装置１２０は、出力端子１２２ｏａお
よび１２２ｏｂ間における電流もしくは電圧に基づいて
電流もしくは電圧を測定し、その測定結果をあらわす信
号Ｓｃを信号処理部１０４に供給する。信号処理部１０
４は、制御ユニット１００からの指令信号Ｃｃに応じて
測定装置１２０からの信号Ｓｃに基づいて所定のディジ
タル化処理を行い、データＤｒを形成し、それを制御ユ
ニット１００に供給する。

【００５７】制御ユニット１００は、内部メモリ部に格
納された動作プログラムに従い順次、切換制御信号群Ｑ
Ｃを各スイッチ部に供給する。これにより、被検査基板
１０の各電極間に試験電流もしくは試験電圧が印加され
ることとなる。

【００５８】制御ユニット１００による導通性の検査を
行うにあたり、先ず、操作部１０２からの検査開始指令
信号Ｓｓに基づいて被検査基板１０の電極１０ｂにおけ
る電極Ｔａについて行う場合、制御ユニット１００は導
体板２８を被検査基板１０に対して対向配置するために
ロータリアクチュエータ１１６の駆動制御を行う駆動制
御部１０６に制御信号Ｃｎを供給する。これにより、ロ
ータリアクチュエータ１１６の回転角が駆動制御部１０
６からの駆動制御信号に基づいて制御されることにより
アーム４６Ｉおよび４６Ｃと回転軸４４とが図１におい
て時計方向に９０度回転せしめられる。

【００５９】次に、制御ユニット１００は、導体板２８
を位置決め板８２の開口部９４内に装着された被検査基
板１０の電極面１０Ａに当接させるべく、エアシリンダ
２０の駆動制御を行う駆動制御部１０８に制御信号Ｃａ
を供給する。これにより、エアシリンダ２０におけるピ
ストンロッド２４が駆動制御部１０８からの駆動制御信
号に基づいて下降せしめられ、図４に一点鎖線で示され
るように、導体板２８の下端面が電極面１０Ａに当接さ
れてエアシリンダ２０内の圧力が所定の値となるとき、
駆動制御信号のエアシリンダ２０への供給が停止され
る。その所定の圧力は、例えば、導体板２８の下端面の
面圧が１０〜１００ｇ／ｍｍ² となるように設定されて
いる。

【００６０】続いて、制御ユニット１００は、被検査基
板１０の電極１０ｂにおける電極Ｔａに試験電流を供給
するためにスイッチ部１２４の可動接点１２４ａおよび
１２４ｂを選択接点１２４ｃおよび１２４ｄに接続し、
スイッチ部１２６の可動接点１２６ａおよび１２６ｂを
選択接点１２６ｅおよび１２７ｆに接続し、また、他の
スイッチ部の可動接点を中立状態（開状態）とすべく、
切換制御信号群ＱＣを検査回路切換部１２２に供給す
る。

【００６１】これにより、定電圧／定電流源１１８から
の試験電流が被検査基板１０の電極１０ｂにおける電極
Ｔａに供給されることとなる。その結果、所定の電圧が
出力端子１２２ｏａおよび１２２ｏｂ間に得られ、それ
が測定装置１２０に供給される。測定装置１２０は信号
Ｓｃを信号処理部１０４に供給する。これにより、信号
処理部１０４からのデータＤｒが制御ユニット１００に
供給される。

【００６２】そして、被検査基板１０の電極１０ｂにお
ける電極Ｔｂについて行う場合、スイッチ部１２４はそ
のままの状態で、スイッチ部１２８における可動接点１
２８ａおよび１２８ｂを選択接点１２８ｅおよび１２８
ｆに接続し、他のスイッチ部は中立状態（開状態）のも
とで、上述の同様に行われる。他の電極においても同様
に順次、スイッチ部が切り換えられて検査が実行され
る。

【００６３】制御ユニット１００は、被検査基板１０に
おけるすべての電極に関して導通性についてのデータＤ
ｒが得られ、それを内部メモリに格納した後、導体板２
８を被検査基板１０の電極面１０Ａに対して離隔させる
べく、駆動制御部１０８に制御信号Ｃａを供給する。こ
れにより、ピストンロッド２４が所定の高さまで上昇せ
しめられる。

【００６４】続いて、制御ユニット１００は、絶縁板２
６を装着された被検査基板１０に対して対向配置するた
めに駆動制御部１０６に制御信号Ｃｎを供給する。これ
により、ロータリアクチュエータ１１６の回転角が駆動
制御部１０６からの駆動制御信号に基づいて制御される
ことによりアーム４６Ｉおよび４６Ｃと回転軸４４とが
図１において反時計方向に９０度回転せしめられる。

【００６５】制御ユニット１００は、絶縁板２６を被検
査基板１０の電極面１０Ａに当接させるべく、エアシリ
ンダ２０の駆動制御を行う駆動制御部１０８に制御信号
Ｃａを供給する。これにより、エアシリンダ２０におけ
るピストンロッド２４が駆動制御部１０８からの駆動制
御信号に基づいて下降せしめられ、絶縁板２６の下端面
が電極面１０Ａに当接されてエアシリンダ２０内の圧力
が上述と同様な所定の値となるとき、駆動制御信号のエ
アシリンダ２０への供給が停止される。

【００６６】続いて、制御ユニット１００は、電極Ｔａ
と他の電極との間の絶縁性を検査すべく、被検査基板１
０の電極１０ｂにおける電極Ｔａに試験電圧を供給する
ためにスイッチ部１２４の可動接点１２４ａおよび１２
４ｂを中立状態（開状態）とし、スイッチ部１２６の可
動接点１２６ａおよび１２６ｂを選択接点１２６ｃおよ
び１２６ｄに接続し、また、他のスイッチ部の可動接点
１２８ａおよび１２８ｂ、１３０ａ、および、１３０ｂ
をそれぞれ選択接点１２８ｅ、１２８ｆ、１３０ｅ、１
３０ｆに接続した状態とすべく、切換制御信号群ＱＣを
検査回路切換部１２２に供給する。これにより、定電圧
／定電流源１１８からの試験電圧が被検査基板１０の電
極１０ｂにおける電極Ｔａと他の電極間に供給されるこ
ととなる。その結果、所定の値の電流が出力端子１２２
ｏａおよび１２２ｏｂ間に得られ、それが測定装置１２
０に供給される。測定装置１２０は、信号Ｓｃを信号処
理部１０４に供給する。これにより、信号処理部１０４
からのデータＤｒが制御ユニット１００に供給される。

【００６７】そして、被検査基板１０の電極１０ｂにお
ける電極Ｔｂについて行う場合、スイッチ部１２４はそ
のままの状態で、スイッチ部１２８における可動接点１
２８ａおよび１２８ｂを選択接点１２８ｃおよび１２８
ｄに接続し、他のスイッチ部の可動接点１２６ａおよび
１２６ｂ、１３０ａおよび１３０ｂはそれぞれ選択接点
１２８ｅ、１２８ｆ、１３０ｅ、１３０ｆに接続した状
態のもとで、上述の同様に行われる。他の電極間におい
ても同様に順次、スイッチ部が切り換えられて検査が実
行される。

【００６８】従って、第１の検査としての被検査基板１
０の各電極の導通性検査、もしくは、第２の検査として
の各電極間の絶縁性検査を行うにあたり、導体板２８お
よび絶縁板２６が選択的に被検査基板１０の一方の電極
面１０Ａに当接されることにより行われるので従来の装
置のように各電極面に接続される複数の接続端子部が不
要となる。また、被検査基板１０の電極面１０Ｂの異方
性導電性シート８０に対する位置決めは、位置決め板８
２により容易に行われるので接続端子部における接触子
の位置決めが簡略化されることとなる。その結果、検査
装置の構造が簡略化される。

【００６９】制御ユニット１００は、すべての電極に関
して絶縁性についてのデータＤｒが得られ、それを内部
メモリに格納した後、絶縁板２６を被検査基板１０の電
極面１０Ａに対して離隔させるべく、駆動制御部１０８
に制御信号Ｃａを供給する。これにより、ピストンロッ
ド２４が所定の高さまで上昇せしめられる。その際、検
査された被検査基板に代えて新たな被検査基板１０が位
置決め板８２内に装着される。

【００７０】また、制御ユニット１００は、内部メモリ
に格納されたデータＤｒに基づいて所定の基準電圧もし
くは所定の基準電流とデータＤｒがあらわす値とを順次
比較し、欠陥を有する不良の電極を特定する。制御ユニ
ット１００は、不良と認められる電極の場所をあらわす
信号Ｃｓを形成し、それを表示信号形成部１１０に供給
する。表示信号形成部１１０は、信号Ｃｓに基づいて表
示信号を形成しそれを表示部１１２に供給する。これに
より、表示部１１２は、表示信号に基づき被検査基板１
０において該当する電極の場所を表示する。

【００７１】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る基板検査装置によれば、被検査基板の検査を行う
にあたり、基板から供給される検査信号が被検査基板の
一方の配線部の電極面に選択的に供給されるもとで、制
御部が移動手段に、被検査基板に対する第１の検査が行
われるとき、電極面に接続される検査回路を閉状態とす
る第１の部材を被検査基板における他方の配線部の電極
面に対して当接する動作を行わせ、被検査基板に対する
第２の検査が行われるとき、第１の部材を被検査基板に
おける他方の配線部の電極面に対して離隔させ、電極面
の電極相互間における電路を電気的に絶縁状態とする第
２の部材を被検査基板における他方の配線部の電極面に
対して当接する動作を行わせることにより被検査基板の
検査が行われるので被検査基板における電極面間におい
て電極数が異なるときにおいても装置の構造を簡略化す
ることができる。

【００７２】また、第１の部材および第２の部材がそれ
ぞれ当接されて検査が行われるので被検査基板の電極が
比較的高密度で形成される場合であっても被検査基板に
おける他方の配線部の各電極の第１の部材および第２の
部材に対する位置決めを容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板検査装置の一例を示す正面図
である。

【図２】図１に示される例における側面図である。

【図３】図２に示される例における要部を拡大して示す
断面図である。

【図４】本発明に係る基板検査装置の一例の要部を分解
拡大して示す断面図である。

【図５】本発明に係る基板検査装置の一例に用いられる
プリント配線基板を位置決め板とともに示す平面図であ
る。

【図６】本発明に係る基板検査装置の一例に用いられる
プリント配線基板を選択導電基板とともに示す平面図で
ある。

【図７】（Ａ）および（Ｂ）は、本発明に係る基板検査
装置の一例により検査される被検査基板を示す平面図で
ある。

【図８】本発明に係る基板検査装置の一例に備えられる
制御ブロックの概略構成を示すブロック図である。

【符号の説明】

１０ 被検査基板 １０Ａ、１０Ｂ 電極面 ２０ エアシリンダ ２６ 絶縁板 ２８ 導体板 ３６ ロータリアクチュエータ ４６Ｉ、４６Ｃ アーム ４８、５０ ヘッド部 ７６ 支持板 ７８ プリント配線基板 ８０ 異方性導電性シート １００ 制御ユニット

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の対向する配線部にそれぞれ互いに
   電気的に導通状態とされる電極面を有する被検査基板に
   おける一方の配線部の電極面が接続される端子部が設け
   られ、供給される検査信号を該一方の配線部の電極面に
   選択的に送出する基板と、 前記被検査基板における他方の配線部の電極面に選択的
   に当接し該電極面に接続される検査回路を導通状態とす
   る第１の部材、および、該電極面に選択的に当接し該電
   極面の電極相互間における電路を電気的に絶縁状態とす
   る第２の部材と、 前記第１の部材および第２の部材を選択的に前記被検査
   基板における他方の配線部の電極面に対して当接状態も
   しくは離隔状態をとらせる移動手段と、 前記移動手段に、前記被検査基板に対する第１の検査が
   行われるとき、前記第１の部材を被検査基板における他
   方の配線部の電極面に対して当接する動作を行わせ、前
   記被検査基板に対する第２の検査が行われるとき、前記
   第１の部材を被検査基板における他方の配線部の電極面
   に対して離隔させ、前記第２の部材を被検査基板におけ
   る他方の配線部の電極面に対して当接する動作を行わせ
   る制御部と、を具備して構成される基板検査装置。
2. 【請求項２】 前記基板の端子部と前記被検査基板にお
   ける一方の配線部の電極面との間に配され該基板の端子
   部および該被検査基板の電極面に対応して設けられる接
   続部を有し、該接続部を介して前記端子部と前記電極面
   とを選択的に導通状態とする異方性導電性シートが加え
   て備えられることを特徴とする請求項１記載の基板検査
   装置。