JPH10213661A - レーザ距離測定装置 - Google Patents

レーザ距離測定装置

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JPH10213661A JP9313862A JP31386297A JPH10213661A JP H10213661 A JPH10213661 A JP H10213661A JP 9313862 A JP9313862 A JP 9313862A JP 31386297 A JP31386297 A JP 31386297A JP H10213661 A JPH10213661 A JP H10213661A
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】最小の価格と容易さとで、基準測定の高い精度
と、できる限り理想の信号力学の結果生じた走行時間測
定誤差の補償とを確実にするレーザ距離測定装置と、基
準物体とを提供する。 【解決手段】レーザ距離測定装置１０は、パルスレーザ
１２と、光偏向装置１４と、受光ユニット１６と、光偏
向装置１４から所定の間隔で配置された基準物体１８と
を有する。この点について、参照物体１８は、互いに９
０゜の角度で配置された３つの鏡面からなる少なくとも
１つのトリプル素子を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パルスレーザと、
光偏向装置と、受光装置と、光偏向装置から所定距離に
配置された基準物体とからなるレーザ距離測定装置に関
する。本発明は、かかるレーザ距離測定装置用の基準物
体に関する。
【０００２】
【背景技術】上記種類のレーザ距離測定装置において、
測定領域に配置された物体から反射されて戻るパルス
は、受光器によって受信され、パルス走行時間法によ
り、光速を考慮した光パルスの送信と受信との間の時間
から光偏向装置からの物体の距離を表すスキャン信号を
見いだす。しかし、信号力学の結果として、走行時間測
定誤差が生じる。これらは、受信した光パルスのレベル
が特定のスイッチング閾値を越えてから使用時間測定ユ
ニットを停止させる必要があるという事実と、しきい値
を越えた時間が、受光パルスの側部の勾配に依存してい
るという事実とに起因し、これは、特にパルス振幅の各
々に再び依存している。走行時間の補償のために、測定
誤差は、例えば、受光パルスの大きさを測定し、さら
に、以前に確立した訂正表から対応する訂正値を取り込
む。この種の訂正表は、基準物体が光偏向装置から所定
の間隔で配置された後、基準物体を使用して置くことが
できる。
【０００３】ドイツ国特許公開第４３４０７５６号は、
信号力学の結果として生じる走行時間測定誤差の補償
は、受光パルスの測定ピーク値に依存して生じ、特定の
大きさのみが、使用される基準物体によってシミュレー
トされる。さらなる欠点は、散乱基準物体の使用によっ
て、受光システムからの距離が比較的短いという事実に
ある。故に、受光装置によって受信される光の平行入射
は、不可能になり、無限遠に置いた基準物体をシミュレ
ートすることも不可能である。一般に、基準物体は装置
内部に集積されているので、受光システムまでの距離
は、この受光システムの焦点距離の１−３倍とほぼ同じ
である。さらに、中心に陰を有するオートコリメーショ
ンで動作する光システムによって、受光システムを介し
て受信装置に戻る直接ビーム路は、あり得ない。受光シ
ステムと受信機との間の管で多重散乱が生じた後、光
は、最初に受信機に戻る。故に、光によってカバーされ
るパスの長さは、実際には漠然としている。結果とし
て、測定システムの正確な較正も不可能である。
【０００４】ドイツ国特許第４３４１０８０号から周知
の光スキャンニング装置において、基準物体には、互い
に９０゜の角度で直立する２つの円錐面が設けられてい
る。これらは、偏向装置として機能するミラーホイール
を中心に同心円上に配置されている。送信機を発した光
ビームは、９０゜に向きを２回変え、設けられたオート
コリメーション光システムの中心の陰を回避するため
に、平行に変位する。光ビームの減衰は、表面の前また
はその間に配置されたダイアフラムによってもたらされ
る。表面の１つは、部分表面として形成される。結合し
た光のある伝搬が幾何学的な分割によって戻る場合は、
いつもである。しかし、これは、光送信機としてレーザ
ダイオードを使用するとき、いわゆるモードノイズと称
する結果を生じる。レーザダイオードにおいて、１のパ
ルスから次に放射されたエネルギは、伝搬方向が異な
る。さらに、レーザダイオードを流れた電流パルスと送
信光パルスとの間の瞬時の行動は、伝搬モードが異なる
と異なる。このように、正確な較正が、センチメートル
やミリメートル単位で不可能になり、故に、測定精度が
制限される。さらなる欠点は、ミラーホイールの偏向方
向において円錐面が凹面鏡のように作用することであ
る。このように、中間像が、基準物体とミラーホイール
との間に生じる。この中間像は、受光システムの焦点距
離の１−３倍の領域内に再び生成される。このように、
これは、焦点距離のおよそ１．５倍に相当する距離のと
ころにこの光システムの背後の受光システムによって結
像される。結果として、光の比較的少量が受信機へと向
きを変更する。このように、特に、受信機の最大過変調
をシミュレートする可能性も存在しない。さらに、光線
は、直接受信機に入射せず、光システムを収容する管に
反射されて増やされ、これは、再び、間違った測定値に
なる。さらに、基準物体は、互いに９０゜に配置された
２つの鏡面を使用した結果として正確に調整されなけれ
ばならない。ビームの断面の一部が開口ダイアフラムの
使用によって混合される場合、完全なモード混合を得る
ことはできない。
【０００５】
【発明の目的】本発明の目的は、最小の価格と容易さと
で、基準測定の高い精度と、できる限り理想の信号力学
の結果生じた走行時間測定誤差の補償とを確実にする、
レーザ距離測定装置と、基準物体とを提供することであ
る。
【０００６】
【発明の概要】本発明の目的は、互いに９０゜の角度で
配置された３つの鏡面からなる少なくとも１つのトリプ
ル素子を基準物体が含む本発明により達成される。この
構成により、中間像の形状が生成されずに、パルスレー
ザを発した光は、反射されて平行に変位するという状況
が最初に得られる。互いに９０゜の角度に配置された３
つの鏡面からなるトリプル素子は、トリプル反射器の否
定的な形状を表す。基準物体を発して受光装置によって
受信された光は、平行に入射でき、無限遠に置かれた基
準物体がシミュレートされる。故に、基準物体から受信
したビームは、使用される受光機に直接焦点を結ぶ。従
って、無限遠からくる反射光ビームは、焦点に鮮明な像
をもたらす。
【０００７】さらに、トリプル素子内の光学的波長は、
入射角度に独立であり、パルスレーザから発した送信パ
ルス光ビームの入射位置にも独立である。従って、パル
スレーザと受光装置との間の光路長は、入射角度及び入
射位置に無関係である。光線の平行変位は、入射の位置
と少なくとも１つのトリプル素子のサイズとにのみ依存
する。光線の平行変位が大きすぎない場合、さらに、基
準物体から発せられた全ての光線が受光装置において受
信されることが保証される場合、基準物体は、特定のサ
イズを超えない。互いに９０゜の角度に配置された２つ
の鏡面のみを有する基準物体を使用する時は、正確な調
整が必要である。
【０００８】本発明の基準物体に対して、光は、平行変
位の後でもとの場所に反射されて正確に戻る。受光装置
の可能な角度範囲に対してできる限り多数の基準測定を
実行可能とするために、基準物体は、好ましくは、回転
自在光偏向ユニットの回転軸と同心円の円弧上に位置す
る複数のトリプル素子を含む。複数の凹状のトリプルに
よって、内側に配置されたコーナポイントは、特に、光
偏向装置の回転軸と同心円のかかる円弧上に特に置かれ
るべきである。
【０００９】製造が容易な実施例により、基準物体は、
インジェクションモールド成形プラスチック本体によっ
て形成されて対応する鏡面を有する。必要に応じて、複
数のトリプル素子を組み合わせて、インジェクションモ
ールド部品にすることができる。実施例において、パル
スレーザから発せられて光偏光装置によって基準物体へ
と偏向されるパルスビームが、光送信システムの中心の
陰から平行に変位して断面積全体を維持しつつ反射によ
り戻るように、基準物体は、構成されて配置されてい
る。送信光の断面積全ても、再び受信されるので、所望
の全モード混合が達成される。
【００１０】最も完全なモード混合を達成するために、
基準物体へと入射して基準物体によって反射されて戻る
パルス光ビームは、好ましくは、エネルギが減衰され
る。このように、好ましくは、モードノイズを避けるた
めに、幾何学的な分割が不要になる。実施例において、
所定のモニタ角度スキャンニング範囲の外側に好ましく
は配置された基準物体は、パルス光ビームによって掃引
され、パルスビームは、角度が連続して変化して向きが
変えられる。
【００１１】最大振幅を再生するために、スキャンニン
グ方向に減衰の程度を変化せしめることが効率良く行わ
れる。光入射面と光出射面とが回転自在光偏向装置の回
転軸と同心円の円弧に沿って延在するので、好ましく
は、減衰の程度は、この円弧に沿って変化する。故に、
パルス光ビームは、基準物体を掃引するスキャンニング
動作の間に様々な減衰を被り、故に、特に異なる振幅が
再生されて、異なる走行時間測定誤差が補償される。
【００１２】円弧に沿ったスキャンニング方向の減衰の
程度が連続して変化するとき、特に有効である。このよ
うに、各距離測定中に実際に生じる全ての振幅を再生す
ることが基本的に可能となり、故に、各走行時間測定誤
差の正確な補償が、対応して確立した訂正表や訂正機能
によって確実に行われる。好ましい実施例において、基
準物体には、少なくとも１つの減衰フィルタが設けられ
ている。入射送信パルス光ビームの伝搬方向において考
えるとき、これは、好ましくは、少なくとも１つのトリ
プル素子の前方に置かれ、好ましくは、基準物体の光入
射面及び光出射面の領域に便宜上設けられている。
【００１３】この減衰フィルタは、基準物体の光入射面
及び光出射面に応じて、回転自在光偏向装置の回転軸と
同心円の円弧に沿って延在する。好ましい実施例におい
て、減衰フィルタは、便宜上波長依存性の無い吸収フィ
ルタである。吸収の効果は、光がエネルギ面で減衰され
るが幾何学的に分割されないという事実である。このよ
うにして、モードノイズの問題が回避される。
【００１４】最小受信レベルと最大受信レベルとの間に
できるだけ多数の中間値を得るために、減衰フィルタ
は、スキャンニングの方向に、すなわち、円弧に沿って
光学減衰が連続して変化するコースフィルタ（course f
ilter）として有効に形成されている。このように、程
度の異なる減衰は、回転自在受光装置の異なる角度位置
用に生じる。
【００１５】この場合、減衰フィルタは、光学濃度DがD
=0から特にD=4まで、好ましくはD=0からD=3.7までの範
囲を有する減衰特性を有し、濃度の値は、フィルタを経
た単一のパスに対して示されている。好ましい実施例に
おいて、非常光（emergent light）と入射光との両方は
基準物体に関連する減衰フィルタを通過する。このフィ
ルタは、D=0からD=8まで、特にD=0からD=7.4までの範囲
の全減衰特性を有する。このように、入射光と非常光と
の両方は、減衰フィルタによって減衰されて、２つの減
衰値が同じ大きさになる。
【００１６】減衰フィルタは、薄膜フィルタとして効率
良く形成される。これは、必要に応じて、受光装置の回
転軸と同心円に湾曲させることもできる。これは、基準
物体に、位置決め手段及び固定手段が設けられて減衰装
置を基準物体に位置決めして固定するとき、特に有効で
ある。しかし、減衰の程度の各々は、各トリプル素子の
少なくとも１つの鏡面の対応して減らされた反射率によ
って判別され、各鏡面は、表面が例えば粗くなってい
る。
【００１７】本発明のレーザ距離測定装置及び基準物体
のさらなる有効な変形を従属の請求項に示す。本発明の
結果として、最小の検出可能な大きさから、受光装置の
後に接続された受信機の最大過変調につながる最大の大
きさまでの対象物の信号振幅の全てをシミュレートする
ことが実際に可能になる。送信機から光伝達システムを
経て例えばミラーホイールを含む光偏向装置を経て基準
物体まで、さらに光偏向装置及び受光システムを介して
受信機に戻る光路長は、受信信号のシミュレートした大
きさとは独立であることも重要である。基準物体を使用
して起こしたシミュレーションも、周知の一定の光路長
で生じる。結果として、非常に正確な訂正表や訂正機能
が、確立され、信号の大きさに応じて再較正される。対
応する訂正表や訂正機能の支援により、各物体の範囲
は、各反射現象とは実際には独立に正確に測定される。
トリプル素子は、特に、反射が生じない凹状トリプルや
複数の凹状トリプルとして設計されている。受光装置の
回転軸と同心円に配置された複数のトリプル素子を使用
するとき、中間像が生じないことが保証される。トリプ
ル装置の正確な調整は、不要である。
【００１８】
【好ましい実施例の記載】次に、本発明を、添付図面を
参照しながら詳細に説明する。図１及び図２から分かる
基本構成によって、レーザ距離測定装置１０は、パルス
レーザ１２と、光偏向装置１４と、受光ユニット１６
と、光偏向装置１４から所定距離に配置された基準物体
１８とを含む。
【００１９】モータ２０（図２参照）は、水平回転プレ
ート２２を駆動して、垂直軸２４（図１参照）を中心と
する回転運動を連続して実行する。例えばフォーク状の
光バリアとして形成された角度センサが、回転プレート
２２の周縁部に設けられて、電子制御評価回路に接続さ
れている。光偏向装置１４は、回転ミラー２６を含む。
回転ミラー２６は、直（right）円筒体２８（図１参
照）の上端面によって、ミラープレート３０（図２参
照）のところに形成される。図２により、ミラープレー
ト３０は、ミラーキャリア３２を介して回転プレート２
２に固定されている。
【００２０】回転ミラー２６の上方に、同様な平面偏向
ミラー３４が配置されている。ミラー３４は、狭く形成
され、その鏡面は回転軸２４に対して４５゜をなしてい
る。ミラー３４は、例えば、直（right）円筒体や平坦
ミラープレートとして形成される。回転ミラー２６の中
心領域３６に、伝達レンズ３８を介してパルスレーザ２
２から光が入力される。最初の水平光ビームは、偏向ミ
ラー３４において下方に向きを変えられて、回転ミラー
２６から水平方向に向きが変えられる。
【００２１】図１において、回転ミラー２６は、光が基
準物体１８へと向きを変えるような回転位置を有する。
対照的に、回転ミラーは、各距離測定の間に、光が前方
プレート４０を介して測定領域４２に向けられるように
アライメントされている。距離を測定すべき物体がこの
測定領域４２に置かれた場合、一般に、散乱光は、この
物体から前方ディスク４０を介して回転ミラー２６にオ
ートコリメーションビームパスとして戻る。
【００２２】送信パルス光ビーム４４の中心入射光ビー
ム４６は、回転ミラー２６の中心領域３６に入射し、こ
こから水平方向に向きが変えられて、基準物体１８から
測定領域４２に配置された物体から発せられた受光パル
ス光ビーム４８は、同じ回転ミラー２６を経て受光レン
ズ５０に達する。受光レンズ５０を介して受光された光
は、受光器５２に集められる。
【００２３】回転ミラー２６と、回転プレート２２と、
モータ２０とは、光偏向装置１４の一部であり、光偏向
装置１４によって、送信パルス光ビーム４４と受信パル
ス光ビーム４８とは、回転軸２４を中心に回転できる。
基準物体１８は、レーザ距離測定装置１０の筐体５４内
に一体化されている。図３乃至図８から分かるように、
基準物体１８は、複数のトリプル（triple）素子を含
み、本実施例においては、６つのトリプル素子I−VIを
含み、各々が３つのミラー表面I1−VI6からなり、互い
に９０゜の角度α，βに配置されている。
【００２４】トリプル素子I-VIは、凹状のトリプルとし
てそれぞれ形成されている。基準物体１８のインストー
ルされた状態（特に図２参照）において、トリプル素子
は、２つの下方配置の鏡面と上方配置の鏡面とによって
それぞれ形成されている。各トリプル素子の２つの下方
の鏡面の間に形成される角度を、図６においてαで示
す。図８において、各トリプル素子の上方鏡面と下方鏡
面との間の角度を、βで示す。同じ角度βも、上方鏡面
と別の下方鏡面との間に存在する。これらの２つの角度
α，βは、いずれの場合も、全てのトリプル素子Ｉ−Ｖ
Ｉに対して９０゜に達する。さらに、図８から、本実施
例において、下方鏡面の各々は、水平線Ｈに対しておよ
そ５５゜の角度γを含むことが推定される。
【００２５】基準物体１８の６つのトリプル素子Ｉ−Ｖ
Ｉは、回転自在光偏向装置１４の回転軸２４（図１参
照）を同心円とする円弧上に配置され、多重凹状トリプ
ルとして形成された基準物体１８の関係する３つの鏡面
の交点によって各々が形成される内側に配置された内側
配置のコーナポイントＰが、回転軸２４と同心円となる
円弧に配置されるように、装置は設計されている。
【００２６】本実施例において、基準物体１８は、イン
ジェクションモールド成形プラスチック本体５６によっ
て形成されて、対応する鏡面を有する。このように、全
ての６つのトリプル素子I-VIが組み合わせられて単一の
プラスチック本体になる。図１から分かるように、パル
スレーザ１２によって光偏光装置１４を介して送信され
て基準物体１８へと向きが変えられるパルス光ビーム４
４が、光伝達システムの中心の陰から平行に変位すると
ともに、断面全体を維持しつつ反射により戻されるよう
に、基準物体１８は、構成されて配置されている。この
ようにして、所定モニタ角度スキャンニング範囲の外
側、すなわち測定領域４２の外側に配置された基準物体
１８が、送信パルス光ビーム４４によって掃引され、こ
の光ビーム４４は、角度が連続して変化して向きが変更
される。
【００２７】パルス光ビーム４４，４８は、基準物体１
８に入射し、物体１８によって反射され、エネルギが減
衰される。減衰の程度は、スキャンニング方向において
連続して変化する。このため、基準物体１８には、減衰
フィルタ５８が備えられている。減衰フィルタ５８は、
入射送信パルス光ビーム４４の伝搬方向において考える
とき、トリプル素子I-VIの前方に配置される。本実施例
において、この減衰フィルタ５８は、多重凹状トリプル
（図１及び図２参照）として形成された基準物体１８の
光入射面と光出射面との領域に配置される。基準物体１
８の光入射面及び光出射面に一致して、減衰フィルタ５
８は、回転自在光偏向装置１４の回転軸２４と同心円の
円弧に沿って延在する。
【００２８】本実施例において、減衰フィルタ５８は、
波長依存性の無い吸収フィルタであり、コース（cours
e）フィルタとして形成され、スキャンニング方向にお
いて、または回転軸２４と同心円の円弧に沿って連続し
て変化する光減衰を有する。本実施例において、減衰フ
ィルタ５８には、減衰特性が設けられている。この減衰
特性は、光学濃度DがD=0から特にD=4まで、好ましくはD
=0からD=3.7までの範囲を取り、これらの光学濃度の値
はフィルタを通過する単一の光路に対して与えられる。
本実施例において、基準物体１８に関連した減衰フィル
タ５８を、入射光ビームと非常光との両方が通過するの
で、光学全濃度D=0から特にD=8まで、好ましくはD=0か
らD=7.4までの範囲の全減衰特性を有する。さらに、減
衰フィルタ５８は、本実施例においては薄膜（foil）フ
ィルタとして形成されている。
【００２９】図３及び図４から分かるように、基準物体
１８には、位置決め手段及び固定手段６０が設けられ
て、減衰フィルタ５８を基準物体１８のところにそれぞ
れ位置決めして固定している。これらの位置決め及び固
定手段６０は、接触縁部６０’を含む。縁部６０’に対
して、薄膜状の減衰フィルタ５８が係合されて回転軸２
４と同心円となる必要な曲率を生成している。回転軸２
４と同心円となる円弧が続く接触縁部６０’の端部にお
いて、位置決め及び固定手段６０には、クランプ手段６
２（特に図３参照）が設けられている。これに対して、
薄膜状の減衰フィルタ５８の端部を堅実に締結すること
ができる。
【００３０】特に図１から分かるように、基準物体１８
から光偏向装置１４に反射により戻る光は、受信レンズ
５０に平行に入射し、無限に存在する基準物体１８がシ
ミュレートされる。このようにして、鮮明な像が焦点に
生成される。送信パルス光ビームの全断面も、完全に再
び入力されるので、完全なモード混合が達成される。光
偏向装置１４の回転軸と同心円の円弧に沿った基準物体
のコースに拘わらず、中間像の形状が起きない。基準物
体１８の正確な調整は、もはや不要である。光は、基準
物体１８によって平行に変位し、常時、出射に正確に反
射により戻る。薄膜状減衰フィルタ５８の対応する目盛
りによって、ダイナミックレンジ全体が基本的にカバー
される。入射光と非常光との両方が基準物体１８に関連
する減衰フィルタ５８を通過するので、２重の減衰が生
じる。最終的に、極度に正確な訂正表や訂正機能が、さ
らに後に調整可能であり、対応する基準測定によって作
成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】レーザレーダとして実現されるレーザ距離測定
装置の基本構成を示す構成図である。
【図２】かかるレーザ距離測定装置の実施例を示す。
【図３】図１及び図２のレーザ距離測定装置において使
用される基準物体の斜視図を示す。
【図４】図３において入射光の方向から見た基準物体の
正面図である。
【図５】基準物体の側面図である。
【図６】図５の線分B-Bに沿って切りとられた基準物体
の断面図である。
【図７】下から見た基準物体の図である。
【図８】図７の線分A-Aに沿って切り取られた基準物体
の断面図である。
【符号の説明】
１０ レーザ距離測定装置 １２ パルスレーザ １４ 光偏光装置 １６ 受光ユニット １８ 基準物体 ２０ モータ ２２ 回転プレート ２４ 回転軸 ２６ 回転ミラー ２８ 直円筒体 ３０ ミラープレート ３２ ミラーキャリア ３４ 偏向ミラー ３６ 中心領域 ３８ 伝送レンズ ４０ 前方ディスク ４２ 測定領域 ４４ 送信パルス光ビーム ４６ 中心入射光ビーム ４８ 受光パルス光ビーム ５０ 受光レンズ ５２ 受光器 ５４ 筐体 ５６ プラスチック本体 ５８ 減衰フィルタ ６０ 位置決め及び固定手段 ６０’ 迫持ち縁部 I トリプル素子 II トリプル素子 III トリプル素子 IV トリプル素子 V トリプル素子 VI トリプル素子 I1 鏡面 II2 鏡面 III3 鏡面 IV4 鏡面 V5 鏡面 VI6 鏡面 H 水平面 P コーナポイント α 角度 β 角度 γ 角度

Claims (31)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 パルスレーザ（１２）と、光偏向装置
    （１４）と、受光ユニット（１６）と、光偏向装置（１
    ４）から所定距離に配置された基準物体（１８）とから
    なるレーザ距離測定装置（１０）であって、 基準物体（１８）は、互いに９０゜の角度（α、β）で
    配置された３つの鏡面（I1-VI6）を有する少なくとも１
    つのトリプル素子（I-VI）を含むことを特徴とするレー
    ザ距離測定装置。
  2. 【請求項２】 基準物体（１８）は、複数のトリプル素
    子（I-VI）を含み、トリプル素子は、回転自在光偏向装
    置（１４）の回転軸と同心円の円弧上に配置されている
    ことを特徴とする請求項１記載のレーザ距離測定装置。
  3. 【請求項３】 基準物体（１８）は、インジェクション
    モールドプラスチック本体（５６）によって形成されて
    対応する鏡面を有することを特徴とする請求項１及び請
    求項２記載のレーザ距離測定装置。
  4. 【請求項４】 パルスレーザ（１２）によって送信され
    光偏向装置（１４）によって基準物体（１８）へと向き
    が変更されるパルス光ビーム（４４）が、光送信システ
    ムの中心の陰から平行に変位するとともに、断面全体を
    維持しつつ反射により戻されるように、基準物体（１
    ８）は構成されて配置されていることを特徴とする請求
    項１乃至請求項３記載のレーザ距離測定装置。
  5. 【請求項５】 所定のモニタ角度スキャンニング範囲
    （４２）の外側に好ましくは配置された基準物体（１
    ８）は、偏向送信パルス光ビーム（４４）によって掃引
    されて角度が連続して変化することを特徴とする請求項
    １乃至請求項４記載のレーザ距離測定装置。
  6. 【請求項６】 基準物体（１８）に入射して基準物体か
    ら反射されて戻るパルス光ビーム（４４，４８）は、エ
    ネルギが減衰されることを特徴とする請求項１乃至請求
    項５記載のレーザ距離測定装置。
  7. 【請求項７】 減衰の程度は、スキャンニングの方向に
    おいて変化することを特徴とする請求項６記載のレーザ
    距離測定装置。
  8. 【請求項８】 基準物体（１８）の光入射面及び光出射
    面は、回転自在偏向装置（１４）の回転軸（２４）と同
    心円の円弧に沿って延在し、減衰の程度は、この円弧に
    沿って変化することを特徴とする請求項７記載のレーザ
    距離測定装置。
  9. 【請求項９】 減衰の程度は、スキャンニング方向にお
    いて、またはこの円弧に沿って連続して変化することを
    特徴とする請求項７及び請求項８記載のレーザ距離測定
    装置。
  10. 【請求項１０】 基準物体（１８）に、少なくとも１つ
    の減衰フィルタ（５８）が設けられていることを特徴と
    する請求項１乃至請求項９記載のレーザ距離測定装置。
  11. 【請求項１１】 少なくとも１のトリプル素子（I-VI）
    の前の入射送信パルス光ビーム（４４）の伝搬方向にお
    いて考慮するとき、減衰フィルタ（５８）が配置されて
    いることを特徴とする請求項１０記載のレーザ距離測定
    装置。
  12. 【請求項１２】 減衰フィルタ（５８）は、基準物体
    （１８）の光入射面及び光出射面の領域に配置されてい
    ることを特徴とする請求項１１記載のレーザ距離測定装
    置。
  13. 【請求項１３】 減衰フィルタ（５８）は、基準物体
    （１８）の光入射面及び光出射面に応じて回転自在光偏
    向装置（１４）の回転軸と同心円の円弧に沿って延在す
    ることを特徴とする請求項１乃至請求項１２記載のレー
    ザ距離測定装置。
  14. 【請求項１４】 減衰フィルタ（５８）は、好ましくは
    波長依存性の無い吸収フィルタであることを特徴とする
    請求項１乃至請求項１３記載のレーザ距離測定装置。
  15. 【請求項１５】 減衰フィルタ（５８）は、スキャンニ
    ング方向においてまたは前記円弧に沿って光減衰が連続
    して変化するコースフィルタとして形成されていること
    を特徴とする請求項１乃至請求項１４記載のレーザ距離
    測定装置。
  16. 【請求項１６】 減衰フィルタ（５８）は、光学濃度D=
    0から特にD=4まで、好ましくはD=0からD=3.7までの範囲
    の減衰特性を有し、光学濃度の値は、フィルタを通過す
    る単一の光路に対して与えられていることを特徴とする
    請求項１５記載のレーザ距離測定装置。
  17. 【請求項１７】 入射光及び非常光は、基準物体（１
    ８）に対応する減衰フィルタ（５８）を通過し、前記減
    衰フィルタ（５８）は、好ましくは、光学濃度D=0から
    特にD=8まで、好ましくはD=0からD=7.4までの範囲の全
    減衰特性を有することを特徴とする請求項１乃至請求項
    １６記載のレーザ距離測定装置。
  18. 【請求項１８】 減衰フィルタ（５８）は、薄膜フィル
    タとして形成されていることを特徴とする請求項１乃至
    請求項１７記載のレーザ距離測定装置。
  19. 【請求項１９】 減衰の程度は、各トリプル素子（I-V
    I）の少なくとも１つの鏡面（I1-VI6）kの対応して減ら
    された反射率によって少なくとも一部が判別されること
    を特徴とする請求項１乃至請求項１８記載のレーザ距離
    測定装置。
  20. 【請求項２０】 鏡面（I1-VI6）の各々は、荒れている
    ことを特徴とする請求項１９記載のレーザ距離測定装
    置。
  21. 【請求項２１】 基準物体（１８）に、位置決め及び固
    定手段（６０）が設けられて、基準物体（１８）に減衰
    フィルタ（５８）を位置決めして固定することを特徴と
    する請求項１乃至請求項２０記載のレーザ距離測定装
    置。
  22. 【請求項２２】 互いに９０゜の角度（α、β）に配置
    された３つの鏡面（I1-VI6）からなるトリプル素子（I-
    VI）の少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１
    乃至請求項２１記載のレーザ距離測定装置。
  23. 【請求項２３】 円弧上に横に並んで配列された複数の
    トリプル素子（I-VI）を含むことを特徴とする請求項２
    ２記載のレーザ距離測定装置。
  24. 【請求項２４】 トリプル素子は、インジェクションモ
    ールド成形プラスチック本体（５６）によって形成され
    て対応する鏡面を有することを特徴とする請求項２２及
    び請求項２３記載のレーザ距離測定装置。
  25. 【請求項２５】 光のエネルギを減衰せしめる手段（５
    ８）を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項２４記
    載のレーザ距離測定装置。
  26. 【請求項２６】 少なくとも１つの減衰フィルタ（５
    ８）を含み、前記フィルタは、入射送信パルス光ビーム
    の伝搬方向において考慮するとき、少なくとも１つのト
    リプル素子（I-VI）の前方に配置されることを特徴とす
    る請求項２５記載のレーザ距離測定装置。
  27. 【請求項２７】 減衰フィルタ（５８）は、好ましくは
    波長依存性の無い吸収フィルタであることを特徴とする
    請求項１乃至請求項２６記載のレーザ距離測定装置。
  28. 【請求項２８】 減衰フィルタ（５８）は、光学濃度と
    してD=0から特にD=4まで、好ましくはD=0からD=3.7まで
    の範囲を有し、光学濃度の値はフィルタを通過した単一
    の光路に対して与えられていることを特徴とする請求項
    １乃至請求項２７記載のレーザ距離測定装置。
  29. 【請求項２９】 減衰フィルタ（５８）は、薄膜フィル
    タとして形成されていることを特徴とする請求項１乃至
    請求項２８記載のレーザ距離測定装置。
  30. 【請求項３０】 減衰の程度は、各トリプル素子（I-V
    I）の少なくとも１つの鏡面（I1-VI6）の対応して減ら
    された反射率によって少なくとも部分的に判別されるこ
    とを特徴とする請求項１乃至請求項２９記載のレーザ距
    離測定装置。
  31. 【請求項３１】 位置決め及び固定手段（６０）が設け
    られて、減衰フィルタ（５８）を基準物体（１８）に位
    置決めして固定していることを特徴とする請求項１乃至
    請求項３０記載のレーザ距離測定装置。
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