JPH10198021A - 気圧調整用孔保護フィルター付きペリクル - Google Patents
気圧調整用孔保護フィルター付きペリクルInfo
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- JPH10198021A JPH10198021A JP1203797A JP1203797A JPH10198021A JP H10198021 A JPH10198021 A JP H10198021A JP 1203797 A JP1203797 A JP 1203797A JP 1203797 A JP1203797 A JP 1203797A JP H10198021 A JPH10198021 A JP H10198021A
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
- G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor
Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 ペリクルフレーム（１）の上端面にペリ
クル膜（２）が張設され、かつ上記ペリクルフレーム
（１）の側部に気圧調整用通気孔（４）が設けられてい
ると共に、このペリクルフレーム（１）の外側面に上記
通気孔（４）を覆ってパーティクル侵入防止用のフィル
ター（５）を設けたペリクルにおいて、上記フィルター
（５）が外側フィルター部（５ｂ）と内側フィルター部
（５ａ）とを有し、外側フィルター部（５ｂ）より内側
フィルター部（５ａ）が大きい孔径を有していることを
特徴とする気圧調整用孔保護フィルター付きペリクル。 【効果】 本発明のペリクルによれば、気圧調整用の通
気孔付近のフィルター部孔径を大きくすることで、その
外側の小孔径フィルター部の有効面積を高めることがで
き、このため異物捕集効率を低下させることなく通気能
力を上げることができるものであり、従って気圧変動の
ある環境下、例えば露光原版（レチクル）にペリクルを
貼り付けた状態で空輸するような場合において、確実に
かつ迅速にフレーム内外の気圧調整がなされる。
クル膜（２）が張設され、かつ上記ペリクルフレーム
（１）の側部に気圧調整用通気孔（４）が設けられてい
ると共に、このペリクルフレーム（１）の外側面に上記
通気孔（４）を覆ってパーティクル侵入防止用のフィル
ター（５）を設けたペリクルにおいて、上記フィルター
（５）が外側フィルター部（５ｂ）と内側フィルター部
（５ａ）とを有し、外側フィルター部（５ｂ）より内側
フィルター部（５ａ）が大きい孔径を有していることを
特徴とする気圧調整用孔保護フィルター付きペリクル。 【効果】 本発明のペリクルによれば、気圧調整用の通
気孔付近のフィルター部孔径を大きくすることで、その
外側の小孔径フィルター部の有効面積を高めることがで
き、このため異物捕集効率を低下させることなく通気能
力を上げることができるものであり、従って気圧変動の
ある環境下、例えば露光原版（レチクル）にペリクルを
貼り付けた状態で空輸するような場合において、確実に
かつ迅速にフレーム内外の気圧調整がなされる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、特にＬＳＩ，超Ｌ
ＳＩなどの半導体装置や液晶表示板を製造する際の異物
よけとして使用される、実質的に波長５００ｎｍ以下の
光を用いる露光方式に有用なペリクルに関し、特に気圧
調整用の通気孔がペリクルフレームに設けられ、この通
気孔を覆ってパーティクル侵入防止用のフィルターが貼
付された気圧調整用のペリクルに関する。
ＳＩなどの半導体装置や液晶表示板を製造する際の異物
よけとして使用される、実質的に波長５００ｎｍ以下の
光を用いる露光方式に有用なペリクルに関し、特に気圧
調整用の通気孔がペリクルフレームに設けられ、この通
気孔を覆ってパーティクル侵入防止用のフィルターが貼
付された気圧調整用のペリクルに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】ＬＳ
Ｉ，超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示板等の
製造においては、半導体ウェハーあるいは液晶用原版に
光を照射してパターニングを作成するのであるが、この
場合に用いる露光原版に異物が付着していると、この異
物が光を吸収したり、光を曲げてしまうため、転写した
パターニングが変形したり、エッジががさついたものと
なるほか、白地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観
などが損なわれ、半導体装置や液晶表示板等の性能や製
造歩留りの低下を来すという問題があった。
Ｉ，超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示板等の
製造においては、半導体ウェハーあるいは液晶用原版に
光を照射してパターニングを作成するのであるが、この
場合に用いる露光原版に異物が付着していると、この異
物が光を吸収したり、光を曲げてしまうため、転写した
パターニングが変形したり、エッジががさついたものと
なるほか、白地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観
などが損なわれ、半導体装置や液晶表示板等の性能や製
造歩留りの低下を来すという問題があった。
【０００３】このため、これらの作業は通常クリーンル
ームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光
原版を常に清浄に保つことが難しいので、露光原版の表
面に異物よけのための露光用の光を良く通過させるペリ
クルを貼着する方法が採用されている。
ームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光
原版を常に清浄に保つことが難しいので、露光原版の表
面に異物よけのための露光用の光を良く通過させるペリ
クルを貼着する方法が採用されている。
【０００４】この場合、異物は、露光原版の表面上には
直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフ
ィー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけ
ば、ペリクル上の異物は転写に無関係となるものであ
る。このペリクル膜は通常光を良く通過させるニトロセ
ルロース、酢酸セルロース等からなる透明なペリクル膜
をアルミニウム、ステンレス、ポリエチレン等からなる
ペリクルフレームの上端面にペリクル膜の良溶媒を塗布
し、風乾して接着する（特開昭５８−２１９０２３号公
報参照）か、アクリル樹脂やエポキシ樹脂等の接着剤で
接着し（米国特許第４８６１４０２号明細書、特公昭６
３−２７７０７号公報参照）、更に、ペリクルフレーム
の下端には、露光原版に装着するためのポリブテン樹
脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂等からなる粘着
層、及び粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ
ー）が形成される。
直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフ
ィー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけ
ば、ペリクル上の異物は転写に無関係となるものであ
る。このペリクル膜は通常光を良く通過させるニトロセ
ルロース、酢酸セルロース等からなる透明なペリクル膜
をアルミニウム、ステンレス、ポリエチレン等からなる
ペリクルフレームの上端面にペリクル膜の良溶媒を塗布
し、風乾して接着する（特開昭５８−２１９０２３号公
報参照）か、アクリル樹脂やエポキシ樹脂等の接着剤で
接着し（米国特許第４８６１４０２号明細書、特公昭６
３−２７７０７号公報参照）、更に、ペリクルフレーム
の下端には、露光原版に装着するためのポリブテン樹
脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂等からなる粘着
層、及び粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ
ー）が形成される。
【０００５】また、このペリクルについては、ペリクル
を露光原版に貼り付けた状態において、ペリクルフレー
ム内部の露光原版に囲まれた空間と外部との気圧差をな
くすことを目的として、ペリクルフレームの一部に気圧
調整用の小孔を設け、小孔を通じて移動する空気からの
異物侵入を防ぐためのフィルターを設置する等の工夫が
されている（実公昭６３−３９３７０３号公報参照）。
この場合、気圧調整用通気孔に貼着されるフィルター
は、フレームの外側に設けるのが機能上最も好ましい。
を露光原版に貼り付けた状態において、ペリクルフレー
ム内部の露光原版に囲まれた空間と外部との気圧差をな
くすことを目的として、ペリクルフレームの一部に気圧
調整用の小孔を設け、小孔を通じて移動する空気からの
異物侵入を防ぐためのフィルターを設置する等の工夫が
されている（実公昭６３−３９３７０３号公報参照）。
この場合、気圧調整用通気孔に貼着されるフィルター
は、フレームの外側に設けるのが機能上最も好ましい。
【０００６】しかしながら、気圧調整用通気孔は、通
常、孔径が０．０５〜１．０ｍｍと小さく、フィルター
を通気孔を覆いこの通気孔対向箇所以外の全面をフレー
ム外側面に接着すると、フィルターの有効面積が通気孔
と同じ面積になる。このため、フィルター孔径が小さい
とパーティクルの捕集効率は良好になるが、通気能力が
低下し、実用上問題が生じる。また、フィルターをその
内面外周縁側のみでフレーム外側面で接着すると、フィ
ルターのフレーム外側面と接着されていない（浮いてい
る）内面とがこすれるおそれがあり、好ましくない。
常、孔径が０．０５〜１．０ｍｍと小さく、フィルター
を通気孔を覆いこの通気孔対向箇所以外の全面をフレー
ム外側面に接着すると、フィルターの有効面積が通気孔
と同じ面積になる。このため、フィルター孔径が小さい
とパーティクルの捕集効率は良好になるが、通気能力が
低下し、実用上問題が生じる。また、フィルターをその
内面外周縁側のみでフレーム外側面で接着すると、フィ
ルターのフレーム外側面と接着されていない（浮いてい
る）内面とがこすれるおそれがあり、好ましくない。
【０００７】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、パーティクルの捕集効率が良く、かつ通気能力の高
い気圧調整用孔保護フィルター付きペリクルを提供する
ことを目的とする。
で、パーティクルの捕集効率が良く、かつ通気能力の高
い気圧調整用孔保護フィルター付きペリクルを提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】本
発明者は、上記目的を達成するため鋭意検討を行った結
果、ペリクルフレームの側部に形成される気圧調整用通
気孔を覆ってペリクルフレーム外側面に取り付けられる
フィルターの構成を、内側（通気孔側）でフィルター孔
径を大きくし、外側でフィルター孔径を小さくすること
により、フィルターの通気孔と対向する部分以外の内面
全面をフレーム外側面と接着し、従ってフィルター内側
部におけるフィルターの有効面積が通気孔と同じ面積に
なっても、フィルター内側部における孔径は大きいので
通気性は十分確保される一方、フィルター外側部はフィ
ルター有効面積を通気孔面積より大きくすることができ
るので、孔径が小さくても通気孔を確保し得、従って全
体として十分な通気能力を有し、しかもフィルター外側
部の孔径が小さいので異物（パーティクル）捕集効率が
優れていることを知見し、本発明をなすに至った。
発明者は、上記目的を達成するため鋭意検討を行った結
果、ペリクルフレームの側部に形成される気圧調整用通
気孔を覆ってペリクルフレーム外側面に取り付けられる
フィルターの構成を、内側（通気孔側）でフィルター孔
径を大きくし、外側でフィルター孔径を小さくすること
により、フィルターの通気孔と対向する部分以外の内面
全面をフレーム外側面と接着し、従ってフィルター内側
部におけるフィルターの有効面積が通気孔と同じ面積に
なっても、フィルター内側部における孔径は大きいので
通気性は十分確保される一方、フィルター外側部はフィ
ルター有効面積を通気孔面積より大きくすることができ
るので、孔径が小さくても通気孔を確保し得、従って全
体として十分な通気能力を有し、しかもフィルター外側
部の孔径が小さいので異物（パーティクル）捕集効率が
優れていることを知見し、本発明をなすに至った。
【０００９】従って、本発明は、ペリクルフレームの上
端面にペリクル膜が張設され、かつ上記ペリクルフレー
ムの側部に気圧調整用通気孔が設けられていると共に、
このペリクルフレームの外側面に上記通気孔を覆ってパ
ーティクル侵入防止用のフィルターを設けたペリクルに
おいて、上記フィルターが外側フィルター部と内側フィ
ルター部とを有し、外側フィルター部より内側フィルタ
ー部が大きい孔径を有していることを特徴とする気圧調
整用孔保護フィルター付きペリクルを提供する。
端面にペリクル膜が張設され、かつ上記ペリクルフレー
ムの側部に気圧調整用通気孔が設けられていると共に、
このペリクルフレームの外側面に上記通気孔を覆ってパ
ーティクル侵入防止用のフィルターを設けたペリクルに
おいて、上記フィルターが外側フィルター部と内側フィ
ルター部とを有し、外側フィルター部より内側フィルタ
ー部が大きい孔径を有していることを特徴とする気圧調
整用孔保護フィルター付きペリクルを提供する。
【００１０】以下、本発明につき更に詳しく説明する。
本発明のペリクルは、例えば図１に示すように、四角枠
状のペリクルフレーム１の上端面にペリクル膜２が張設
され、かつ下端面にレチクル貼着用粘着剤層３が形成さ
れた構成とすることができるが、この場合、図１，２に
示すように、ペリクルフレーム１の側部に気圧調整用通
気孔４が形成され、この通気孔４を覆ってペリクルフレ
ーム１の外側面にパーティクル侵入防止用フィルター５
が取り付けられているものである。
本発明のペリクルは、例えば図１に示すように、四角枠
状のペリクルフレーム１の上端面にペリクル膜２が張設
され、かつ下端面にレチクル貼着用粘着剤層３が形成さ
れた構成とすることができるが、この場合、図１，２に
示すように、ペリクルフレーム１の側部に気圧調整用通
気孔４が形成され、この通気孔４を覆ってペリクルフレ
ーム１の外側面にパーティクル侵入防止用フィルター５
が取り付けられているものである。
【００１１】ここで、フィルター５は、内側（通気孔４
側）の孔径が大きく、外側の孔径が小さく形成されてお
り、孔径の大きい内側フィルター部５ａを覆って孔径の
小さい外側フィルター部５ｂが積層された積層構造を有
している。そして、上記フィルター５の内面が、上記通
気孔４に対向する部分を除く全面においてフレーム１外
側面に接着されている。
側）の孔径が大きく、外側の孔径が小さく形成されてお
り、孔径の大きい内側フィルター部５ａを覆って孔径の
小さい外側フィルター部５ｂが積層された積層構造を有
している。そして、上記フィルター５の内面が、上記通
気孔４に対向する部分を除く全面においてフレーム１外
側面に接着されている。
【００１２】この場合、上記通気孔４は、０．３〜２．
０ｍｍ、特に０．４〜０．７ｍｍ程度の直径を有するよ
うに形成することが好適である。
０ｍｍ、特に０．４〜０．７ｍｍ程度の直径を有するよ
うに形成することが好適である。
【００１３】また、フィルター５はその内側フィルター
部５ａの孔径が３〜１００μｍ、特に１０〜３０μｍで
あり、外側フィルター部５ｂの孔径が０．１〜３．０μ
ｍ、特に０．３〜１．０μｍであることが好ましく、こ
の場合内側フィルター部５ａの最大孔径が外側フィルタ
ー部５ｂの最小孔径の２倍以上、特に５倍以上であるこ
とが好ましい。
部５ａの孔径が３〜１００μｍ、特に１０〜３０μｍで
あり、外側フィルター部５ｂの孔径が０．１〜３．０μ
ｍ、特に０．３〜１．０μｍであることが好ましく、こ
の場合内側フィルター部５ａの最大孔径が外側フィルタ
ー部５ｂの最小孔径の２倍以上、特に５倍以上であるこ
とが好ましい。
【００１４】更に、フィルター５は、その厚さが０．１
〜０．５ｍｍ、特に０．２〜０．４ｍｍに形成されるこ
とが有効であるが、本発明の目的から上記内側フィルタ
ー部５ａは０．０５ｍｍ以上、特に０．１ｍｍ以上であ
ることが好ましく、またフィルター５の全厚に対し２０
％以上、特に２０〜５０％であることが好ましい。な
お、フィルター面積は通常通気孔面積の５０倍以上、特
に１００倍以上とすることが有効面積を確保する点から
好適である。
〜０．５ｍｍ、特に０．２〜０．４ｍｍに形成されるこ
とが有効であるが、本発明の目的から上記内側フィルタ
ー部５ａは０．０５ｍｍ以上、特に０．１ｍｍ以上であ
ることが好ましく、またフィルター５の全厚に対し２０
％以上、特に２０〜５０％であることが好ましい。な
お、フィルター面積は通常通気孔面積の５０倍以上、特
に１００倍以上とすることが有効面積を確保する点から
好適である。
【００１５】
【実施例】以下、実施例と比較例を示し、本発明を具体
的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるも
のではない。
的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるも
のではない。
【００１６】〔実施例１〕縦１４９ｍｍ，横１２２ｍ
ｍ，高さ５．８ｍｍ，幅２ｍｍのアルミフレームの上端
面に、パーフルオロブテニルビニルエーテルを主成分と
する重合体からなる厚さ１．６３μｍのペリクル膜を貼
り付け、更に上記フレームの短辺側部中央部に直径０．
５ｍｍの気圧調整用通気孔を形成した。
ｍ，高さ５．８ｍｍ，幅２ｍｍのアルミフレームの上端
面に、パーフルオロブテニルビニルエーテルを主成分と
する重合体からなる厚さ１．６３μｍのペリクル膜を貼
り付け、更に上記フレームの短辺側部中央部に直径０．
５ｍｍの気圧調整用通気孔を形成した。
【００１７】一方、孔径１０μｍの内側フィルター部上
に、これと同じ厚さの孔径１μｍの外側フィルター部が
積層された２層構造を有し、縦４ｍｍ，横１０ｍｍ，全
厚み０．２５ｍｍのフィルターを用意し、このフィルタ
ーを、上記通気孔を覆い、通気孔と対向する部分以外の
内面全面を上記アルミフレームに接着することによりフ
レームに取り付けた。
に、これと同じ厚さの孔径１μｍの外側フィルター部が
積層された２層構造を有し、縦４ｍｍ，横１０ｍｍ，全
厚み０．２５ｍｍのフィルターを用意し、このフィルタ
ーを、上記通気孔を覆い、通気孔と対向する部分以外の
内面全面を上記アルミフレームに接着することによりフ
レームに取り付けた。
【００１８】このようにして得られたペリクルを石英基
板に貼り付け、２５０ｍｍＨｇ下に置いたところ、ペリ
クル膜が５ｍｍ程度膨らんだ。そのまま放置すると、約
３０分後にペリクル膜は元の形状に戻った。
板に貼り付け、２５０ｍｍＨｇ下に置いたところ、ペリ
クル膜が５ｍｍ程度膨らんだ。そのまま放置すると、約
３０分後にペリクル膜は元の形状に戻った。
【００１９】〔実施例２〕内側フィルター部の孔径が１
０μｍで厚さが０．０５ｍｍであり、外側フィルター部
の孔径が１μｍで厚さが０．２ｍｍであるフィルターを
用いる以外は実施例１と同様にしてペリクルを得た。
０μｍで厚さが０．０５ｍｍであり、外側フィルター部
の孔径が１μｍで厚さが０．２ｍｍであるフィルターを
用いる以外は実施例１と同様にしてペリクルを得た。
【００２０】得られたペリクルを、実施例１と同様にし
て石英基板に貼着して評価したところ、ペリクル膜は最
初５ｍｍ程度膨らんだが、そのまま放置すると、約３０
分で元の形状に戻った。
て石英基板に貼着して評価したところ、ペリクル膜は最
初５ｍｍ程度膨らんだが、そのまま放置すると、約３０
分で元の形状に戻った。
【００２１】〔比較例〕孔径が１μｍの単層構造で、縦
４ｍｍ，横１０ｍｍ，厚み０．２ｍｍのフィルターを用
いた以外は、実施例１と同様にペリクルを得た。
４ｍｍ，横１０ｍｍ，厚み０．２ｍｍのフィルターを用
いた以外は、実施例１と同様にペリクルを得た。
【００２２】得られたペリクルを、実施例１と同様にし
て評価したところ、ペリクル膜は最初５ｍｍ程度膨ら
み、そのまま放置しても、元に戻るのに約９０分もかか
った。
て評価したところ、ペリクル膜は最初５ｍｍ程度膨ら
み、そのまま放置しても、元に戻るのに約９０分もかか
った。
【００２３】
【発明の効果】本発明のペリクルによれば、気圧調整用
の通気孔付近のフィルター部孔径を大きくすることで、
その外側の小孔径フィルター部の有効面積を高めること
ができ、このため異物捕集効率を低下させることなく通
気能力を上げることができるものであり、従って気圧変
動のある環境下、例えば露光原版（レチクル）にペリク
ルを貼り付けた状態で空輸するような場合において、確
実にかつ迅速にフレーム内外の気圧調整がなされる。
の通気孔付近のフィルター部孔径を大きくすることで、
その外側の小孔径フィルター部の有効面積を高めること
ができ、このため異物捕集効率を低下させることなく通
気能力を上げることができるものであり、従って気圧変
動のある環境下、例えば露光原版（レチクル）にペリク
ルを貼り付けた状態で空輸するような場合において、確
実にかつ迅速にフレーム内外の気圧調整がなされる。
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】フィルターをペリクルフレームに取り付けた状
態を説明する拡大断面図である。
態を説明する拡大断面図である。
１ ペリクルフレーム ２ ペリクル膜 ３ レチクル貼着用粘着剤層 ４ 気圧調整用通気孔 ５ フィルター ５ａ 内側フィルター部 ５ｂ 外側フィルター部
Claims (4)
- 【請求項１】 ペリクルフレームの上端面にペリクル膜
が張設され、かつ上記ペリクルフレームの側部に気圧調
整用通気孔が設けられていると共に、このペリクルフレ
ームの外側面に上記通気孔を覆ってパーティクル侵入防
止用のフィルターを設けたペリクルにおいて、上記フィ
ルターが外側フィルター部と内側フィルター部とを有
し、外側フィルター部より内側フィルター部が大きい孔
径を有していることを特徴とする気圧調整用孔保護フィ
ルター付きペリクル。 - 【請求項２】 大きい孔径を有する内側フィルター部の
最大孔径が小さい孔径を有する外側フィルター部の最小
孔径の２倍以上である請求項１記載のペリクル。 - 【請求項３】 内側フィルター部の厚さが０．０５ｍｍ
以上である請求項１又は２記載のペリクル。 - 【請求項４】 内側フィルター部の厚さがフィルター全
厚の２０％以上である請求項１，２又は３記載のペリク
ル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1203797A JP3575516B2 (ja) | 1997-01-07 | 1997-01-07 | 気圧調整用孔保護フィルター付きペリクル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1203797A JP3575516B2 (ja) | 1997-01-07 | 1997-01-07 | 気圧調整用孔保護フィルター付きペリクル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10198021A true JPH10198021A (ja) | 1998-07-31 |
| JP3575516B2 JP3575516B2 (ja) | 2004-10-13 |
Family
ID=11794417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1203797A Expired - Fee Related JP3575516B2 (ja) | 1997-01-07 | 1997-01-07 | 気圧調整用孔保護フィルター付きペリクル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3575516B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001201845A (ja) * | 1999-11-09 | 2001-07-27 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクル |
| WO2004040374A2 (en) * | 2002-10-29 | 2004-05-13 | Dupont Photomasks, Inc. | Photomask assembly and method for protecting the same from contaminants generated during a lithography process |
| JP2005316492A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | モノリシック・ハード・ペリクル |
| KR100746864B1 (ko) * | 1999-11-08 | 2007-08-07 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 포토리소그래피 포토마스크의 보호용 프레임식 펠리클 |
| CN102053484A (zh) * | 2009-11-02 | 2011-05-11 | 信越化学工业株式会社 | 防尘薄膜组件 |
| KR101383438B1 (ko) * | 2009-06-26 | 2014-04-08 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 펠리클 |
| KR20160117170A (ko) | 2015-03-30 | 2016-10-10 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 펠리클 |
| JP2016191902A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-10 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル |
-
1997
- 1997-01-07 JP JP1203797A patent/JP3575516B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (15)
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