JPH10188256A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 非磁性支持体及び磁気記録媒体の製造工程で
の良好な作業性の確保と、裏写りによる磁性層の表面性
の悪化を減少させ、良好な電磁変換特性と走行性とを兼
ね備えた金属磁性薄膜型の磁気記録媒体を提供するこ
と。 【解決手段】 非磁性支持体上に金属磁性薄膜からなる
磁性層が設けられている磁気記録媒体において、非磁性
支持体１が層１ａと層１ｂとの積層体からなり、層１ａ
上に磁性層２が設けられ、層１ａとは反対側の層１ｂの
表面５の表面粗度が、ＳＲａ＝３〜１２ｎｍ、ＳＲｚ＝
４０〜３００ｎｍである磁気記録媒体１０。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非磁性支持体上に
金属磁性薄膜からなる磁性層が設けられている磁気記録
媒体（例えば、ハイバンド８ミリビデオテープ、デジタ
ルビデオテープ等の短波長磁気記録信号（高密度記録）
の記録再生に好適な磁気テープ、磁気ディスク等）に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】鉄、コバルト、ニッケル又はこれらを主
成分とする合金或いは酸化物の薄膜が、真空蒸着法、ス
パッタリング法、イオンプレーティング法等の如き真空
中での成膜法〔物理的成膜法（ＰＶＤ法：Physical Vap
or Deposition ）〕によって、非磁性支持体上に形成さ
れたいわゆる強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体は、金属
磁性粉末を結合剤中に分散させた磁性塗料を非磁性支持
体上に塗布、乾燥して形成されたいわゆる塗布型の磁気
記録媒体に比べて、結合剤を用いないこと等によって記
録密度を飛躍的に向上させることが可能である。但し、
このような記録密度の向上（即ち、高密度化）のために
は、磁気記録ヘッドの磁気ギャップを小さくし、併せて
磁気記録媒体の表面を平滑化して、スペーシングロスを
極力減少させる必要がある。

【０００３】しかし、非磁性支持体が通常の単層構造か
らなる場合、非磁性支持体の表面をあまり平坦にしすぎ
ると、非磁性支持体の滑り性（走行性）が悪くなり、は
り付きが生じるために、また、非磁性支持体及び磁気記
録媒体の製造工程での作業性（ハンドリング性）が悪く
なる等の問題がある。

【０００４】これを解決する方法として、単層構造の非
磁性支持体に対し、磁性層を設ける面とは反対側の面に
別の層をコーティング（塗布）してこの面を比較的粗く
する方法が知られているが、この方法では、コーティン
グ層の削れが発生し易く、削れ物がドロップアウトの原
因となることがある。

【０００５】一方、この問題を解決するため、非磁性支
持体を複数の層の積層体（いわゆる、複合化フィルム）
とし、強磁性金属薄膜が設けられる側とは反対側（裏面
側）の粗度を大きくして滑り性を向上させ、作業性（ハ
ンドリング性）を確保しようとする試みがある。

【０００６】最近では、記録時間の長時間化、記録の高
密度化、情報量の増大化が一層強く要求されており、こ
のような記録時間の長時間化、情報量の増大化を達成す
るには、磁気記録媒体（特に磁気テープ）の全厚を薄く
し、リール上での巻回数を増やし、より長尺化してカセ
ット内に収納する必要がある。このため、非磁性支持体
として、従来のものよりもかなり薄い厚みのものが使用
されるようになっている。

【０００７】しかし、上記した複合化フィルムの如き非
磁性支持体の場合、通常、磁性層を設ける側とその反対
側（裏面）とで表面粗度が異なるため、ロール状に巻き
取った際、ロール巻心部では非磁性支持体の裏面と表面
（磁性層を形成する面）とが強く圧接し、これによっ
て、磁性層を形成する側が裏面側の表面粗さにより転写
や裏写りの如き影響を受け、磁性層を形成する側の表面
粗さが悪化し易い。このような非磁性支持体に磁性層を
設けてテープ化した際には、磁性層上の表面が非磁性支
持体の裏面側の粗さの影響を直接受けてこの粗さが裏写
りし、磁性層上の表面粗さが設計値通りの粗さになら
ず、悪化することがある。

【０００８】

【発明に至る経過】近年、記録信号のデジタル化が進め
られると共に、デジタル信号処理装置の開発が急速に進
められている。

【０００９】デジタル信号処理による記録再生方式（デ
ジタル方式）は、数学的手法を用いて記録信号を圧縮及
び補正することができ、従来のアナログ方式に比べて格
段に優れた情報処理能力を有しているので、例えば、デ
ジタルＶＴＲ装置においては、音質、画質等を大きく向
上させ、録音、録画等、長時間記録化を可能にするもの
として、今後さらなる発展が期待されている。

【００１０】このデジタル方式において、例えば、ＤＶ
Ｃ（家庭用デジタルビデオ）のような磁気記録媒体にお
いては、高密度記録、信号欠落のない高精度記録等のた
めに、高周波による記録（記録波長の短波長化）が必要
とされており、これに伴って、磁気記録媒体と磁気ヘッ
ドとの間の相対速度の増大化が求められている。また、
この相対速度の増大化も含めて、記録時間の長時間化及
び情報量の増大化も求められているなかで、磁気テープ
の厚みを薄くし、磁気テープをより長く収納し、磁気テ
ープのロングテープ化が要求されている。

【００１１】特に、上述したような金属磁性薄膜が非磁
性支持体上に設けられた磁気テープは、塗布型の磁気テ
ープに比べ、保磁力や角型比に優れると共に、磁性層の
厚みを極めて薄くできるため、記録減磁や再生時の厚み
損失が著しく小さく、短波長での電磁変換特性に優れ、
更に、磁性材料の充填密度を高めることができる等、数
々の利点を有しているので、ＤＶＣ等のデジタル処理用
の媒体として特に有用である。

【００１２】しかしながら、非磁性支持体の厚みが薄
く、特に８μｍ以下であるような極めて薄い磁気記録媒
体においては、この薄さのために、非磁性支持体がはり
付きを生じ易く、ハンドリング性（作業性）を確保する
ことが難しい場合が多い。非磁性支持体の厚みが通常の
ビデオテープ（厚みは約１０μｍ以上）よりずっと薄い
８μｍ以下のＤＶＣ（厚みは約６μｍ）について検討を
加えた結果、ハンドリング性（作業性）の向上のために
裏面を粗らした場合、上述したロール状に巻回したとき
に表面への裏写りが激しくなり、電磁変換特性の劣化が
大きくなる。従って、そのように非磁性支持体の厚みが
薄い場合に、ハンドリング性（作業性）を確保すると同
時に、電磁変換特性を向上させることは極めて困難であ
る。

【００１３】そこで、非磁性支持体及び磁気記録媒体の
製造工程での良好な作業性の確保と、裏写りや転写等に
よる磁性層の表面性の悪化を防ぎ、良好な電磁変換特性
と走行性とを両立させることが望まれていた。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、こうした従
来の実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、非
磁性支持体及び磁気記録媒体の製造工程での良好な作業
性の確保と、裏写りや転写等による磁性層の表面性の悪
化を防ぎ、良好な電磁変換特性と走行性とを兼ね備え
た、金属磁性薄膜からなる磁性層を有する磁気記録媒体
を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明者は、ハンドリン
グ性（作業性）と電磁変換特性とを両立させることがで
きる磁気記録媒体について鋭意検討した結果、非磁性支
持体を少なくとも２層からなる積層体（いわゆる複合化
フィルム）とし、例えば磁性層を設ける側とは反対側の
層を薄くすること、この層に適当量の微粒子（フィラ
ー）を内添すること等によって、非磁性支持体の磁性層
を設ける側とは反対側の表面性を制御することにより、
非磁性支持体の厚みが薄くても、上記の両特性を両立さ
せることができる非磁性支持体及び磁気記録媒体を見出
し、本発明に到達したものである。

【００１６】即ち、本発明は、非磁性支持体上に金属磁
性薄膜からなる磁性層が設けられている磁気記録媒体に
おいて、前記非磁性支持体が複数の層の積層体からな
り、前記複数の層のうち、第１層上に前記磁性層が設け
られ、前記第１層が設けられている面とは反対側の第２
層の面の表面粗度がＳＲａ＝３〜１２ｎｍ、ＳＲｚ＝４
０〜３００ｎｍである磁気記録媒体（以下、本発明の磁
気記録媒体と称する。）に係るものである。

【００１７】本発明の磁気記録媒体によれば、非磁性支
持体が前記の第１層と第２層との積層体からなり、前記
第１層上に前記磁性層が設けられ、前記第１層の設けら
れている面とは反対側の前記第２層の面の表面粗度をＳ
Ｒａ＝３〜１２ｎｍ、ＳＲｚ＝４０〜３００ｎｍとして
いるので、ＳＲａによる表面粗さとＳＲｚによる突起と
の双方の作用で第２層の表面状態を適切に調節でき、特
に非磁性支持体が８μｍ以下と極めて薄くても、非磁性
支持体及び磁気記録媒体の製造工程でのはり付きを防止
して良好な作業性（ハンドリング性）を確保することが
できると共に、非磁性支持体及び磁気記録媒体のロール
状の巻取り状態において、第２層の表面粗さによる磁性
層表面への裏写りや転写による磁性層の表面性の悪化を
抑制することができ、良好な作業性、走行性と電磁変換
特性とをはじめて兼ね備えた、金属磁性薄膜型磁性層を
有する磁気記録媒体を提供することができる。上記のＳ
Ｒａは更に５〜１０ｎｍとするのが好ましく、また上記
のＳＲｚは更に４０〜１５０ｎｍとするのが好ましい。

【００１８】ここで、本発明の磁気記録媒体は、その一
構造例１０を図４に示すように、非磁性支持体１が層１
ａ（前記第１層に対応）と層１ｂ（前記第２層に対応）
との積層体からなり、層１ａ上に磁性層２が金属磁性薄
膜として設けられ、層１ａの設けられている面７とは反
対側（従って、層１ａとは反対側）の層１ｂの表面５の
表面粗度（表面粗さ）をＳＲａ＝３〜１２ｎｍ、ＳＲｚ
＝４０〜３００ｎｍとしたものである（以下、同様）。

【００１９】また、表面粗度ＳＲａとは３次元での中心
線平均粗さを示し、表面粗度ＳＲｚとは３次元での十点
平均粗さを示すものであり、これらの表面粗度ＳＲａ及
びＳＲｚは、小坂研究所製の表面粗さ測定器「ＥＴ−３
０ＨＫ」を用い、触針径２μｍＲ、触針圧１０ｍｇ、カ
ットオフ値０．２５ｍｍ、Ｘ方向測定長は０．８ｍｍ、
Ｙ方向の測定長は０．０２μｍの各条件で測定して求め
られたものである（以下、同様）。

【００２０】ここで、ＳＲａ、ＳＲｚは次のように定義
される値である。ＳＲａ（３次元平均粗さ）は、Ｌｘ、
Ｌｙを表面のＸ方向、Ｙ方向の寸法とし、ｆ（ｘ，ｙ）
を中心面に対する粗さ曲面として、

【数１】 としたものであり、粗さにより第２層の表面状態（走行
性等）を改善するものである。ＳＲｚ（３次元十点平均
粗さ）は、粗さ曲面から基準面積分だけ切り取った部分
の平均面に平行な平面のうち高い方から１〜５番目まで
の山の平均高さと、深い（低い）方から１〜５番目まで
の谷の平均深さとの差を表したものであり、突起により
第２層の表面状態（裏写り等）を改善するものである。

【００２１】

【発明の実施の形態】本発明の磁気記録媒体の上記した
特徴的構成から、非磁性支持体の厚みを８μｍ以下とす
ることが十分に可能であり、またそのような極薄の非磁
性支持体を用いる場合に非常に効果的である。特に、Ｄ
ＶＣ（家庭用デジタルビデオ）に代表されるように、そ
の全厚をできるだけ薄くすることが望まれる磁気記録媒
体にも十分に適用することができる。

【００２２】即ち、非磁性支持体の厚みを８μｍ以下と
薄くすることにより、磁気記録媒体の全厚も薄くするこ
とが可能になり、結果的に、磁気記録媒体の全長を長く
（ロングテープ化）して、リールに巻回して収容するこ
とができる。従って、記録時間の長時間化及び情報量の
増大化が十分に達成される。また、非磁性支持体の厚み
の下限は３μｍ程度であるのがよく、これより小さくな
ると、非磁性支持体の耐久性が劣化することがある。

【００２３】本発明の磁気記録媒体において、非磁性支
持体としては従来公知の材質を使用することができる。

【００２４】例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リエチレン−２，６−ナフタレート等のポリエステル
類、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン
類、ニトロセルロース、セルローストリアセテート、セ
ルロースダイアセテート、セルローストリアセテートブ
チレート等のセルロース誘導体、ポリ塩化ビニル、ポリ
塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポリカーボネート
類、ポリアミド類、ポリイミド類に代表されるような高
分子材料が挙げられる。その形態も何ら限定されるもの
ではなく、テープ状、シート状、ドラム状等いかなる形
態であってもよい。

【００２５】例えば、本発明に使用できる非磁性支持体
とは、上記の高分子化合物類を周知の方法で形成したフ
ィルム（即ち、高分子化合物類を溶融してシート又は円
筒状に押し出し、少なくとも一方向に延伸して形成した
フィルム）であり、通常のバランスタイプ、機械軸方向
又はその直角方向の一軸方向に強化されたタイプ、二軸
方向に強化されたタイプのいずれかであることが望まし
い。

【００２６】本発明の磁気記録媒体においては、図４に
例示するように、非磁性支持体１は層１ａと層１ｂとの
複合化フィルムからなるものであるが、３層以上の層が
積層された複合化フィルムからなっていてもよい。いず
れの積層体も、本発明の磁気記録媒体の非磁性支持体に
包含されるものである。

【００２７】上記積層体は、非磁性支持体の製造時に例
えば溶融共押出し法により同時に形成される複合化フィ
ルムであることが好ましい。但し、同じ原料からなる複
合化フィルムであると、図４の破線６に示されるよう
に、層１ａと層１ｂとの明確な境界は存在しない。この
不明確な境界は、それぞれの層に内添する微粒子が混在
した領域であり、それより両側では層１ａと１ｂとは明
確に区別される。

【００２８】また、非磁性支持体は、上記したようにそ
の製造時に例えば溶融共押出し法等によって作製したも
のであってよいが、一つの層を形成した後にコーティン
グ等により他方の層を設けてもよい。但し、各層間の接
着性及び密着性、生産性等の点から、各層を同時に（例
えば溶融共押出し法により）形成することが好ましい。

【００２９】本発明の磁気記録媒体において、第２層の
表面（例えば図４の表面５）の表面粗度ＳＲａ及びＳＲ
ｚは様々な要素によって左右されるが、特に、上述した
高分子化合物からなる第２層に添加する微粒子の粒径、
添加量によって調節することができる。この微粒子の粒
径、添加量については、粒径を０．０１〜１μｍ、添加
量を第２層の０．０１〜０．５重量％とすることが望ま
しい。これらは更に、粒径を０．１〜１μｍ、添加量を
０．０１〜０．３重量％とすることが一層望ましい。

【００３０】また、第２層の厚みを２μｍ以下とするこ
とも、前記表面粗度の調節のための一つの手段である。
微粒子の添加量（重量％）が同じである場合、この厚み
が２μｍを超えると、第２層に添加する微粒子の粒径に
よる影響（特に表面粗度ＳＲａに対する影響）が大きく
なり、表面粗度を上記の範囲内にすることが困難になる
傾向がある。これは、前記第２層の表面下の微粒子によ
る表面形状への影響が現れるためと考えられる。

【００３１】更に、非磁性支持体の磁性層側に設けられ
る第１層の表面が平坦であることが望ましいが、この点
から、第１層には微粒子等が含まれていない方が好まし
いことがある。また、第１層の面が粗れていると、その
表面形状による影響が第２層の表面に現れる場合がある
ため、上述の第２層の表面粗さの調節（即ち、同層が含
有する微粒子の粒径及び添加量の調節）が困難になるこ
とがある。

【００３２】但し、本発明においては、第２層に内添す
る微粒子の粒径や添加量、第２層の厚み、第１層の表面
形状等を適宜調節して、第２層の表面の表面粗度をＳＲ
ａ＝３〜１２ｎｍ、ＳＲｚ＝４０〜３００ｎｍの範囲内
にすることができる。

【００３３】第２層に内添する上記の微粒子としては、
炭酸カルシウム（ＣａＣＯ₃ ）、シリカ（ＳｉＯ₂ ）、
アルミナ（Ａｌ₂ Ｏ₃ ）、二酸化チタン、カオリン、タ
ルク、グラファイト、長石、二硫化モリブデン、カ−ボ
ンブラック、硫酸バリウム等の如き無機質系微粒子が挙
げられるが、これに限定されるものではない。また、ポ
リスチレン、ポリメチルメタクリレート、メチルメタク
リレート共重合体、メチルメタクリレート共重合体の架
橋体、ポリテトラフルオロエチレン、ポリビニリデンフ
ルオライド、ポリアクリロニトリル、ベンゾグアナミン
樹脂等の如き有機質系微粒子等も使用可能である。

【００３４】また、本発明の磁気記録媒体において、非
磁性支持体の磁性層が設けられる側の第１層の表面（例
えば図４の表面７）は、従来公知の方法（例えば、微粒
子の添加等）により、下記に示すような形状を有するこ
とが好ましい。 （１） 粒状、しわ状、ミミズ状の突起が形成され、か
つ、これらの突起より高い突起が表面に１０個〜１万個
／ｍｍ² の頻度で形成されていること。 （２） 高さ１００〜２０００Åで、１ｍｍ² 当たり平
均１万〜１００万個の山状突起が形成されていること。 （３） 高さ５０〜６００Åで、１ｍｍ² 当たり平均１
×１０⁵ 〜１×１０⁸ 個の山状突起が形成されているこ
と。 （４） 表面に連続被膜からなるプライマーが塗設され
ており、この膜に粒径０．１μｍ以下の微粒子を核とし
た樹脂を結合剤とする微小突起と、この樹脂のみによる
微小突起とが形成されていること。

【００３５】本発明の磁気記録媒体の磁性層を形成する
金属磁性薄膜としては、例えば、斜め蒸着或いは垂直蒸
着法によって形成され、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ等を主体とす
る金属薄膜、又はそれらの合金を主体とする金属薄膜が
使用可能である。

【００３６】例示すれば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の強磁性
金属やＦｅ−Ｃｏ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆ
ｅ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ａｕ、Ｃｏ−Ｐｔ、Ｍｎ
−Ｂｉ、Ｍｎ−Ａｌ、Ｆｅ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−
Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃ
ｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等の強磁性合金が例示される。これら
は、単層膜であっても、多層膜であっても良い。

【００３７】この金属磁性薄膜においては、非磁性支持
体（フィルム）との付着強度の改善、或いは強磁性金属
薄膜自体の耐蝕性、耐磨耗性の改善の目的で、蒸着時の
雰囲気として酸素ガスが支配的となる雰囲気下において
得られる強磁性薄膜（酸素を含む強磁性薄膜）によって
構成されることが望ましい。

【００３８】更には、非磁性支持体と金属磁性薄膜間、
或いは、磁気記録媒体が多層構造の場合には、各層間の
付着力向上及び保磁力の制御のため、下地層や中間層を
設けてもよい。

【００３９】本発明においては、金属磁性薄膜からなる
磁性層の厚みは０．０５〜１μｍが良く、０．１〜０．
３μｍが更に良い。即ち、磁性層の厚みをこのように薄
くすると、自己減磁損失等を少なくすると共に、上述し
た非磁性支持体の薄さに加えて、磁気記録媒体の全厚を
薄くすることができるので、磁気記録媒体の全長を長く
して、供給リール等に収容することができる。従って、
記録時間の長時間化及び情報量の増大化が十分に達成さ
れる。

【００４０】また、上述の金属薄膜型の磁気記録媒体に
おいては、前記非磁性支持体の裏面（即ち、第１層とは
反対側の第２層の表面）には、バックコート層が図４に
一点鎖線４で示すように必要に応じて形成されていても
よい。

【００４１】バックコート層は、公知の如く、カーボ
ン、炭酸カルシウム等の非磁性顔料をポリウレタン、塩
化ビニル−酢酸ビニル共重合体等の結合剤中に分散させ
たものであってよい。

【００４２】また、金属磁性薄膜の形成手段としては、
真空下で強磁性材料を加熱蒸発させ、非磁性支持体上に
堆積させる真空蒸着法が好ましいが、強磁性材料の蒸発
を放電中で行うイオンプレーティング法、アルゴンを主
成分とする雰囲気中でグロー放電を起こし、生じたアル
ゴンイオンでターゲット表面の原子を叩き出すスパッタ
リング法等、いわゆるＰＶＤ技術を使用してもよい。

【００４３】本発明の磁気記録媒体においては、金属磁
性薄膜の表面に、例えば図４に一点鎖線で示すように滑
剤３を存在せしめることにより、磁性材料の粒子状突起
の形状に基づく走行性改善効果を高めることが可能であ
る。

【００４４】また、本発明の磁気記録媒体の表面、裏面
又はそれらの近傍、あるいは強磁性金属薄膜内の空隙、
強磁性金属薄膜と非磁性支持体との界面、非磁性支持体
内等に、公知の手段で防錆剤、帯電防止剤等の各種添加
剤を必要に応じて存在させることができる。

【００４５】図５は、本発明に適用可能な強磁性金属薄
膜を形成するための連続巻き取り式真空蒸着装置の構成
を概略的に示すものである。

【００４６】この連続巻き取り式真空蒸着装置は、いわ
ゆる斜方蒸着用として構成され、内部が真空状態（例え
ば約１０^-3Ｐａ）とされた真空室１１内に、図中の反時
計廻り方向（矢印Ｚ方向）に回転し、例えば−２０℃に
冷却されている冷却キャン１２に対向して金属磁性薄膜
用の蒸着源１７が配置される。

【００４７】そして、上述した非磁性支持体１を、図中
の反時計廻り方向に回転する供給ロール１３から矢印Ｄ
方向に繰り出して、冷却キャン１２の周面に沿って移行
させつつ、蒸着源１７から電子ビーム１９で加熱、蒸発
した蒸着材料２０を付着させ、金属磁性薄膜を蒸着し、
しかる後に巻取りロール１４に巻き取られるようになさ
れている。

【００４８】なお、供給ロール１３と冷却キャン１２と
の間、及び冷却キャン１２と巻取りロール１４との間に
はそれぞれ、ガイドローラー２１、２２が配設され、供
給ロール１３から冷却キャン１２、及びこの冷却キャン
１２から巻取りロール１４に亘って走行する非磁性支持
体１に所定のテンションをかけ、非磁性支持体１が円滑
に走行するようになされている。

【００４９】蒸着源１７は容器（例えば、るつぼ）１６
に上述の金属磁性材料、例えばＣｏ−Ｎｉ合金が収容さ
れたものであり、この蒸着源（金属磁性材料）に対し、
電子ビーム発生源１５から電子ビーム１９を加速照射し
て金属磁性材料２０を加熱、蒸発させ、これを冷却キャ
ン１２の周面に沿って走行する非磁性支持体１上に付着
させて金属磁性薄膜を形成し、磁気記録媒体を作製す
る。この時、蒸着源１７と冷却キャン１２との間には防
着板２１を設け、シャッタ１８を位置調整可能に設け
て、非磁性支持体１に対して所定の角度で入射する蒸着
粒子のみを通過させる。こうして斜め蒸着法により金属
磁性薄膜が形成されるようになされている。

【００５０】更に、このような金属磁性薄膜の蒸着に際
し、図示しない酸素ガス導入口を介して非磁性支持体１
の表面に酸素ガスが供給され、これによって金属磁性薄
膜の磁気特性、耐久性及び耐候性の向上が図られてい
る。また、蒸着源を加熱するためには、上述のような電
子ビームによる加熱手段の他、例えば、抵抗加熱手段、
高周波加熱手段、レーザ加熱手段等の公知の手段を使用
できる。

【００５１】

【実施例】以下、本発明を具体的な実施例について説明
するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではな
い。

【００５２】＜非磁性支持体フィルムの作製＞下記の要
領で、主としてポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）
からなる非磁性支持体フィルムを作製した。

【００５３】例１〜例１１ 積層体からなる非磁性支持体（複合化フィルム）の第１
層用の原料として、重合触媒残渣等に基づいて形成され
る内部粒子をできる限り含まず、実質的に無配向、非結
晶のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）原料を作成
した。また、第２層用の原料として、第１層用原料と同
様に、重合触媒残渣等に基づいて形成される内部粒子を
できる限り含まず、実質的に無配向、非結晶のポリエチ
レンテレフタレート（ＰＥＴ）に、微粒子としてＳｉＯ
₂ 及びＣａＣＯ₃ （各々の粒径は０．１〜１μｍ）を
０．０１〜０．３重量％含有させた原料を作成した。そ
して、これらの第１層用及び第２層用の各原料を約２０
℃に維持された回転ドラム上に溶融共押出しし、縦方向
に９０℃で３．４倍の延伸を行った。更に、この一軸延
伸フィルムの第１層の表面にロールコート法で下記に示
す組成の塗液を塗布し、下塗り層を形成した。

【００５４】 下塗り層用塗料組成： アクリル−ポリエステル樹脂 （高松油脂（株）製）の１．５重量％溶液 ８０重量部 平均粒径０．０２μｍのＳｉＯ₂ の１．５重量％溶液 ６重量部 ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル （日本油脂（株）製） １６重量部

【００５５】その後、横方向に１０５℃で３．４倍の逐
次二軸延伸を行い、第２層の厚さが２μｍ、第１層の厚
さが６μｍ、全厚８μｍの非磁性支持体フィルム（積層
体からなる複合化フィルム）を得た。

【００５６】例１〜例１１においては、第２層に添加す
るＳｉＯ₂ 、ＣａＣＯ₃ の粒径（０．１〜１μｍ）及び
添加量（０．０１〜０．３重量％）を調節して、第２層
の表面（図４の面５）の表面粗度ＳＲａ及びＳＲｚが下
記の表１に示す値になるように調節した。この場合、表
面粗度ＳＲａ及びＳＲｚ以外の非磁性支持体の厚み（第
１層と第２層の合計厚み：以下、同様）、第２層の厚み
は同じであった。

【００５７】例１２〜例１４ 非磁性支持体の厚み及び第２層の厚みを変化させた以外
は、例５と同様の組成及び添加量（重量％）の微粒子を
添加した第２層を有する非磁性支持体を作製した。この
例１２〜例１４についても、下記の表１にその表面粗度
ＳＲａ及びＳＲｚ、非磁性支持体の厚み、第２層の厚み
を示す。

【００５８】例１５ 例５において、第１層の表面（図４の面７）に上記の組
成の下塗り層をコーティングせず、他は同様にして非磁
性支持体を作製した。この例１５に関しても、下記の表
１にその表面粗度ＳＲａ及びＳＲｚ、非磁性支持体の厚
み、第２層の厚みを示す。

【００５９】但し、例１〜例１５の非磁性支持体におい
て、表面粗度ＳＲａ及びＳＲｚは、上述したように、小
坂研究所製の表面粗さ測定器「ＥＴ−３０ＨＫ」を用
い、触針径２μｍＲ、触針圧１０ｍｇ、カットオフ値
０．２５ｍｍ、Ｘ方向測定長０．８ｍｍ、Ｙ方向測定長
０．０２μｍの各条件で測定したものである。

【００６０】 表１ ──────────────────────────────────── 例 第２層の表面粗度 非磁性支持体の厚み 第２層の厚み ＳＲａ（nm） ＳＲｚ（nm） （μｍ） （μｍ） ──────────────────────────────────── １ 3.2 48 ８ ２ ２ 3.8 295 ８ ２ ３ 11.8 42 ８ ２ ４ 11.5 290 ８ ２ ５ 7.0 150 ８ ２ ６ 2.0 30 ８ ２ ７ 12.3 310 ８ ２ ８ 14.0 250 ８ ２ ９ 11.0 310 ８ ２ １０ 2.0 100 ８ ２ １１ 7.0 30 ８ ２ １２ 7.2 153 ６ ２ １３ 6.3 148 ８ １ １４ 7.3 155 ８ ４ １５ 7.1 152 ８ ２ ────────────────────────────────────

【００６１】＜蒸着テープの作製＞上述した例１〜例１
５の非磁性支持体上に、磁性層として強磁性金属薄膜を
蒸着した蒸着テープを作製した。この蒸着テープの作製
条件を下記に示す。

【００６２】非磁性支持体上に強磁性金属薄膜を蒸着す
る装置としては、図５に示した連続巻取り式真空蒸着装
置を用いた。但し、真空度は１０^-3Ｐａとし、例１〜例
１５の非磁性支持体各６０００ｍに対し、連続真空斜め
蒸着法により、Ｃｏ−Ｎｉの強磁性金属薄膜を微量の酸
素ガス存在下で形成した。蒸着の入射角は９０°〜４５
°までであり、非磁性支持体の送り速度（搬送速度）を
２５ｍ／分、強磁性金属薄膜の厚みは０．２μｍとなる
ようにした。

【００６３】次に、主として、カ−ボンブラック及びウ
レタンバインダーの混合系からなるバックコ−ト層を
０．５μｍ厚に塗布し、更に、磁性層表面に潤滑剤とし
てパーフルオロポリエーテルを０．００１μｍ厚に塗布
し、ロール状に巻取った。

【００６４】＜巻取りロール形状＞この時点でのロール
形状（原反）を○、△、×の３段階で評価し、作業性
（ハンドリング性）の良し悪しを判断した。 ○：全くしわがない。 △：しわの数が０〜１０本であった。 ×：しわの数が１０本以上であった。

【００６５】＜蒸着テープの評価＞この後、８ｍｍ幅に
裁断（スリット）して８ｍｍカセットに組み込んだ。こ
のようにして作製された蒸着テープの電磁変換特性、ド
ロップアウト及び走行耐久性を下記の要領で評価した。
この評価は、ソニー社製のハイバンド８ｍｍビデオデッ
キ「ＥＶ−９００」の改造機を用いて行った（但し、相
対速度は３．８ｍ／秒、記録周波数は７ＭＨｚとし
た）。

【００６６】電磁変換特性（ｄＢ）：ビデオ信号のＳ／
Ｎ比を市販のソニー社製のＨｉ８メタルテープをゼロデ
シベル（０ｄＢ）として比較測定した。

【００６７】ドロップアウト（個／分）：ドロップアウ
トカウンターを用い、再生出力の減衰が−１６ｄＢ以
上、長さが１０μｓｅｃ以上のものを求めた。

【００６８】走行耐久性（出力減衰：ｄＢ）：テープを
１００回再生走行させ、初期の出力に対する走行後の出
力の低下（減衰）を求めた。

【００６９】なお、第２層による裏写りの影響を測定す
るため、各々の例においてフィルムロール状原反でロー
ル表層部（巻外）とロール巻心部（巻内）の２箇所につ
いて上記の各特性を調べた。これらの結果を下記の表２
に示す。

【００７０】また、表面粗度ＳＲａによるＳ／Ｎ比の変
化を示すグラフ、及び表面粗度ＳＲｚによるＳ／Ｎ比の
変化を示すグラフを図１に、表面粗度ＳＲａによるドロ
ップアウトの変化を示すグラフ、及び表面粗度ＳＲｚに
よるドロップアウトの変化を示すグラフを図２に、表面
粗度ＳＲａによる走行耐久性（出力減衰）の変化を示す
グラフ、及び表面粗度ＳＲｚによる走行耐久性（出力減
衰）の変化を示すグラフを図３に示す。但し、これらの
グラフは例１〜例１１のサンプルテープについてのもの
である。

【００７１】 表２Ａ ──────────────────────────────────── 例 測定箇所 Ｓ／Ｎ比 ドロップアウト 走行耐久性 ロール形状 （dB） （個／分） 出力減衰（dB） ──────────────────────────────────── １ 巻内 1.5 18 −0.9 ○ 巻外 1.0 20 −1.0 ２ 巻内 1.0 22 −1.2 ○ 巻外 0.8 25 −１．５ ３ 巻内 ０．８ 22 −1.3 ○ 巻外 0.5 24 −1.4 ４ 巻内 0.2 25 −1.7 ○ 巻外 0.1 26 −1.8 ５ 巻内 1.5 15 −0.5 ○ 巻外 1.2 17 −0.8 ６ 巻内 1.5 18 −1.0 × 巻外 1.2 19 −1.1 ７ 巻内 −2.5 55 −3.0 ○ 巻外 −2.0 57 −3.5 ８ 巻内 −1.5 42 −2.5 ○ 巻外 −1.0 45 −2.4 ９ 巻内 −2.0 51 −2.8 ○ 巻外 −1.8 47 −2.5 １０ 巻内 −0.5 30 −1.9 △ 巻外 −0.8 31 −2.0 １１ 巻内 1.6 16 −0.6 × 巻外 1.2 18 −0.9 ────────────────────────────────────

【００７２】 表２Ｂ ──────────────────────────────────── 例 測定箇所 Ｓ／Ｎ比 ドロップアウト 走行耐久性 ロール形状 （dB） （個／分） 出力減衰（dB） ──────────────────────────────────── １２ 巻内 1.6 15 −0.8 ○ 巻外 1.2 18 −1.0 １３ 巻内 1.7 17 −0.6 ○ 巻外 1.2 18 −０．８ １４ 巻内 １．２ 15 −0.5 ○ 巻外 1.0 18 −0.7 １５ 巻内 2.0 12 −0.5 ○ 巻外 1.9 13 −0.6 ────────────────────────────────────

【００７３】＜結果＞例１〜例１１と、図１、図２及び
図３から、表面粗度ＳＲａは３〜１２ｎｍの範囲でロー
ル形状が向上してハンドリング性が良好になると同時
に、電磁変換特性（Ｓ／Ｎ比）、ドロップアウト及び走
行耐久性が向上することがわかる。例６や例１０のサン
プルテープは、電磁変換特性（Ｓ／Ｎ比）、ドロップア
ウト及び走行耐久性（出力減衰）が良好な場合がある
が、ＳＲａが小さくてロール形状が悪くなり、作業性
（ハンドリング性）を確保し難い。

【００７４】また、例１〜１１と、図１、図２及び図３
から、表面粗度ＳＲｚは４０〜３００ｎｍの範囲が上記
と同様に優れた結果を示すことがわかる。上記の表面粗
度ＳＲａの場合と同様に、例６や例１０のサンプルテー
プは、電磁変換特性（Ｓ／Ｎ比）、ドロップアウト及び
走行耐久性が良好な場合があるが、ＳＲａ、ＳＲｚが共
に小さいか、ＳＲａが小さいためにロール形状が悪く、
作業性（ハンドリング性）を確保しずらい。

【００７５】即ち、表面粗度ＳＲａは３〜１２ｎｍの範
囲内、表面粗度ＳＲｚは４０〜３００ｎｍの範囲内であ
る本実施例のサンプルテープについては、電磁変換特性
（Ｓ／Ｎ比）、ドロップアウト及び走行耐久性のいずれ
についても良好な結果が得られると同時に、ロール形状
（原反の形状）も良好であり、作業性（ハンドリング
性）にも優れていることがわかる。

【００７６】これに対して、例６のサンプルテープは、
表面粗度ＳＲａ、ＳＲｚ共に小さすぎ、ロール形状（原
反の形状）が悪く、作業性（ハンドリング性）に問題が
ある。例１０及び例１１のサンプルテープも同様に、表
面粗度ＳＲａ又はＳＲｚが共に小さすぎるため、例６の
サンプルテープ程ではないが、ロール形状（原反の形
状）が悪く、作業性（ハンドリング性）に問題がある。
これは、第２層の表面（図４の面５）が比較的平滑であ
るので、磁性層表面への粗さの転写（裏写り）は少ない
が、磁気テープの表面が平滑すぎるので滑りが悪く、ロ
ール状にした際に、テープ間にエアー（空気）が介在し
て、これがしわの原因になっているものと考えられる。

【００７７】また、例７のように、表面粗度ＳＲａ、Ｓ
Ｒｚ共に大きすぎる場合は、ロール形状には優れている
ものの、電磁変換特性（Ｓ／Ｎ比）、ドロップアウト及
び走行耐久性のいずれについても、その性能が大きく劣
化している。これは、第２層の表面（図４の面５）が粗
すぎるので、磁性層表面への粗さの裏写りや転写が生
じ、電磁変換特性等の特性が悪化したものと考えられ
る。例７のサンプルテープ程ではないが、例８及び例９
のサンプルテープも同様に、表面粗度ＳＲａ又はＳＲｚ
が大きすぎるので、磁性層表面への粗さの転写（裏写
り）が生じ、電磁変換特性等の特性が悪化したものと思
われる。

【００７８】例１２のサンプルテープは、第１層の厚み
を薄くし、非磁性支持体全体の厚みを６μｍと非常に薄
くしたものであるが、第２層の表面粗度ＳＲａ及びＳＲ
ｚが適切な範囲内にあるので、電磁変換特性等の特性に
優れ、ロール形状（即ち、作業性）にも優れていること
がわかる。

【００７９】即ち、例５や例１２から、第２層の表面粗
度ＳＲａ及びＳＲｚを本実施例（ＳＲａ＝３〜１２ｎ
ｍ、ＳＲｚ＝４０〜３００ｎｍの範囲内）にすれば、非
磁性支持体の全厚を８μｍ、更には６μｍと十分に薄く
することができ、記録時間の長時間化、情報量の増大化
を達成することができる。

【００８０】また、例１３のサンプルテープは、第２層
に内添する微粒子の粒径や添加量は例５のサンプルテー
プと同様であるが、第２層の厚みを１μｍとしたもので
あり、同様に、例１４のサンプルテープは第２層の厚み
を４μｍとしたものである。例１４のサンプルテープの
ように、第２層の厚みがやや厚くなると、この第２層に
内添した微粒子の影響が大きくなることがわかる。ま
た、例１３のサンプルテープは第２層の厚みが薄いの
で、内添した微粒子の影響が小さく現れている。これら
のサンプルテープはいずれも良好な電磁変換特性、走行
耐久性、作業性等の特性を有している。

【００８１】但し、これらの場合、第２層に内添する微
粒子の添加量、粒径を適宜調節して、表面粗度ＳＲａ＝
３〜１２ｎｍ、ＳＲｚ＝４０〜３００ｎｍの範囲内とす
ればよいことは勿論である。

【００８２】例１５のサンプルテープは、第１層の表面
（図４の面７）に上記の組成の下塗り層をコーティング
しないものであるが、第１層の表面形状の影響が磁性層
の表面に現れてはいるが、この場合も上記した場合と同
様に、第２層に内添する微粒子の添加量、粒径、更に第
２層の厚みを適宜調節して、表面粗度ＳＲａ＝３〜１２
ｎｍ、ＳＲｚ＝４０〜３００ｎｍの範囲内とすればよ
い。

【００８３】

【発明の作用効果】本発明の磁気記録媒体によれば、非
磁性支持体が第１層と第２層との積層体からなり、前記
第１層上に前記磁性層が設けられ、前記第１層の設けら
れてる面とは反対側の前記第２層の表面粗度を、ＳＲａ
＝３〜１２ｎｍ、ＳＲｚ＝４０〜３００ｎｍの範囲内と
しているので、非磁性支持体及び磁気記録媒体の製造工
程での良好な作業性（ハンドリング性）を確保すること
ができ、また、前記第１層の設けられてる面とは反対側
の前記第２層の表面粗さによる磁性層表面への裏写りの
ために、磁性層の表面性が悪化することを抑え、良好な
電磁変換特性と走行性とを兼ね備えた金属磁性薄膜型の
磁気記録媒体を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】非磁性支持体の裏面側の第２層の表面粗度ＳＲ
ａによるＳ／Ｎ比の値を示すグラフ、及び同表面粗度Ｓ
ＲｚによるＳ／Ｎ比の値を示すグラフである。

【図２】同表面粗度ＳＲａによるドロップアウトの回数
を示すグラフ、及び同表面粗度ＳＲｚによるドロップア
ウトの回数を示すグラフである。

【図３】同表面粗度ＳＲａによる走行耐久性（出力減
衰）の値を示すグラフ、及び同表面粗度ＳＲｚによる走
行耐久性（出力減衰）の値を示すグラフである。

【図４】本発明の磁気記録媒体の一例の概略断面図であ
る。

【図５】本発明の磁気記録媒体の製造に際して使用可能
な連続巻取り式真空蒸着装置の概略断面図である。

【符号の説明】

１…非磁性支持体、２…磁性層、３…潤滑剤層、４…バ
ックコ−ト層、５、７…面、６…境界、１０…磁気記録
媒体、１１…真空室、１２…冷却キャン、１３…供給ロ
ール、１４…巻取りロール、１５…電子ビーム発生源、
１６…容器、１７…蒸着源、１８…シャッタ、１９…電
子ビーム、２０…金属磁性材料

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性支持体上に金属磁性薄膜からなる
   磁性層が設けられている磁気記録媒体において、前記非
   磁性支持体が複数の層の積層体からなり、前記複数の層
   のうち、第１層上に前記磁性層が設けられ、前記第１層
   とは反対側の第２層の面の表面粗度がＳＲａ＝３〜１２
   ｎｍ、ＳＲｚ＝４０〜３００ｎｍである磁気記録媒体。
2. 【請求項２】 前記非磁性支持体の厚みが８μｍ以下で
   ある、請求項１に記載した磁気記録媒体。
3. 【請求項３】 前記第２層の厚みが２μｍ以下である、
   請求項１に記載した磁気記録媒体。
4. 【請求項４】 前記第２層に微粒子を添加することによ
   って、前記表面粗度が調節されている、請求項１に記載
   した磁気記録媒体。
5. 【請求項５】 前記微粒子の粒径を０．０１〜１μｍ、
   添加量を前記第２層の０．０１〜０．５重量％とする、
   請求項４に記載した磁気記録媒体。
6. 【請求項６】 前記磁性層側の前記第１層の表面が平坦
   である、請求項１に記載した磁気記録媒体。
7. 【請求項７】 前記磁性層の厚みが０．０５〜１μｍで
   ある、請求項１に記載した磁気記録媒体。