JPH1017956A - Fe含有銅合金溶湯にCを接種する方法 - Google Patents

Fe含有銅合金溶湯にCを接種する方法

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JPH1017956A JP16726796A JP16726796A JPH1017956A JP H1017956 A JPH1017956 A JP H1017956A JP 16726796 A JP16726796 A JP 16726796A JP 16726796 A JP16726796 A JP 16726796A JP H1017956 A JPH1017956 A JP H1017956A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体装置用リードフレームのスクラップを
FeおよびCを必須成分として含む微細鋳造組織を有す
る銅合金インゴットを製造するためのFe含有銅合金溶
解時にCを接種する方法を提供する。 【解決手段】 リードフレームのスクラップのような銅
合金を非黒鉛ルツボ1で溶解してFe含有量が2.0〜
2.3重量%となるように成分調整し、得られた銅合金
溶湯3を非黒鉛ルツボ1中で黒鉛塊4と接触する状態で
一定時間保持するかまたは黒鉛ルツボ中で一定時間保持
することにより、銅合金溶湯中にCを十分に固溶させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、Feを含有する
銅合金、特にFeを含有する銅合金スクラップを溶解し
て得られたFe含有銅合金溶湯にCを接種する方法に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、ICやLSIなどの半導体装置
用リードフレームは銅合金薄板をプレス加工、打抜き加
工、曲げ加工などしたのちメッキすることにより作製さ
れることが知られており、この時使用される銅合金薄板
としては、Fe:2.0〜2.3重量%を必須成分とす
るCu−Fe系銅合金が用いられることはよく知られて
いるところである。
【0003】このCu−Fe系銅合金インゴットは、イ
ンゴット組織が粗大化しやすく、そのため熱間圧延に際
して割れが発生しやすいところから、近年、純銅溶湯に
Fe−C母合金を添加し、溶湯にCを10〜100pp
m含有せしめることにより微細な鋳造組織を有するCu
−Fe−C系銅合金インゴットを製造する方法も提案さ
れている(特開平7−242965号参照)。かかるC
を10〜100ppm含有せしめた溶湯を鋳造して得ら
れたインゴットは熱間圧延に際して割れが発生しないと
されている。
【0004】これらインゴットは熱間圧延して熱延板と
し、ついで水冷した後、面削し、冷間圧延ー時効処理ー
表面研磨を繰り返した後、最終圧延し、歪み取り焼鈍と
酸洗を施すことにより銅合金薄帯とし、この銅合金薄帯
を前述のようにプレス加工、打抜き加工、曲げ加工など
の金属加工を施したのち、メッキすることによりICや
LSIなどの半導体装置用リードフレームに成形する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】近年、電子産業の発展
と共に半導体装置のリードフレームのスクラップが多く
排出され、このリードフレームとして用いられた前記C
u−Fe−C系銅合金スクラップを再溶解すると、溶湯
中のCはCOとなって脱炭するところから、溶湯中のC
が不足し、このCが不足した銅合金溶湯を鋳造してイン
ゴットを製造すると、粗大な結晶粒を有するインゴット
ができ、この粗大な結晶粒のインゴットを圧延すると、
圧延中に粒界割れが発生する。したがって、リードフレ
ームのスクラップを溶解して所定のFeおよびCを含有
した銅合金溶湯を得るには、溶解した溶湯中のFeを成
分調整した後、さらにCを単独添加しなければならな
い。その時、Fe−C母合金を添加すると、銅合金溶湯
中にCは含まれるが、同時にFeも含まれるようにな
り、Feの含有量が多くなり過ぎる。したがって、Cの
単独添加が必要になるが、銅合金溶湯中にCを単独添加
することは難しい。
【0006】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者らは、
リードフレームスクラップのようなFe含有銅合金を溶
解するときに、Cを単独添加する方法を研究した結果、
リードフレームスクラップのようなFe含有銅合金を非
黒鉛ルツボで溶解し、Fe成分を2.0〜2.3重量%
となるように非黒鉛ルツボで成分調整し、得られた銅合
金溶湯を非黒鉛ルツボ中で黒鉛塊と接触する状態で一定
時間保持するかまたは黒鉛ルツボ中で一定時間保持する
と、Cを十分に接種することができる、という知見を得
たのである。
【0007】この発明は、かかる知見に基づいてなされ
たものであって、(1)Feを含有する銅合金を非黒鉛
ルツボで溶解してFe含有量が2.0〜2.3重量%と
なるように成分調整し、得られた銅合金溶湯を非黒鉛ル
ツボ中で黒鉛塊と接触する状態で一定時間保持するFe
含有銅合金溶湯にCを接種する方法、(2)Feを含有
する銅合金を非黒鉛ルツボで溶解してFe含有量が2.
0〜2.3重量%となるように成分調整し、得られた銅
合金溶湯を黒鉛ルツボ中で一定時間保持するFe含有銅
合金溶湯にCを接種する方法、(3)Feを含有する銅
合金スクラップを非黒鉛ルツボで溶解してFe含有量が
2.0〜2.3重量%となるように成分調整し、得られ
た銅合金溶湯を非黒鉛ルツボ中で黒鉛塊と接触する状態
で一定時間保持するFe含有銅合金溶湯にCを接種する
方法、(4)Feを含有する銅合金スクラップを非黒鉛
ルツボで溶解してFe含有量が2.0〜2.3重量%と
なるように成分調整し、得られた銅合金溶湯を黒鉛ルツ
ボ中で一定時間保持するFe含有銅合金溶湯にCを接種
する方法、に特徴を有するものである。
【0008】銅合金、特にFeを含有する銅合金または
Feを含有する銅合金スクラップを黒鉛ルツボで溶解し
てFeが2.0〜2.3重量%含有するように成分調整
すると、添加したFeが黒鉛ルツボの黒鉛と優先的に反
応して不溶性のFe系異物が発生し、これが銅合金溶湯
に巻き込まれてFe系異物がCu−Fe−C系銅合金イ
ンゴットの内部組織に現れ、Cu−Fe−C系銅合金薄
板の不良品を生じせしめるので好ましくない。したがっ
て、銅合金、特にFeを含有する銅合金またはFeを含
有する銅合金スクラップを溶解してのFe含有量をF
e:2.0〜2.3重量%となるように成分調整するに
は非黒鉛ルツボで行う必要がある。
【0009】Fe:2.0〜2.3重量%を含有するよ
うに非黒鉛ルツボで溶解して得られた銅合金溶湯を非黒
鉛ルツボ中で黒鉛塊と接触させるための黒鉛塊は、直径
が1〜1500mm(好ましくは、2〜200mm)の
ものが好ましく、この黒鉛塊は、黒鉛粉末より造粒した
ものか、黒鉛塊を粉砕したものを用いる。
【0010】また、Fe:2.0〜2.3重量%を含有
するように非黒鉛ルツボで溶解して得られた銅合金溶湯
を黒鉛塊ルツボで一定時間保持するための黒鉛ルツボ
は、コークス粉末とピッチバインダーを混練したのち、
成形し、1300℃で焼成したものを3000℃で黒鉛
化させて造ったブロックを築炉して製造したものを用い
る。
【0011】
【発明の実施の形態】
実施例1 直径:700mm、深さ:1500mmのアルミナルツ
ボ内で、Fe:2.15重量%、P:0.03重量%、
Zn:0.14重量%を含有し、残部Cuおよび不可避
不純物からなる成分組成のリードフレームスクラップを
図1(a)に示されるようにアルミナ製非黒鉛ルツボ1
で1トン溶解した後、得られたCu合金溶湯3より分析
サンプルを採取し、簡易分析(発光分光法)を行って、
溶解中に変動した組成のFe、P、Znの溶損分を補正
するために溶湯3に微量のFe、Cu−P母合金および
Znの各ショットを添加し、前記リードフレームスクラ
ップの組成と同じ組成であるFe:2.15重量%、
P:0.03重量%、Zn:0.14重量%に成分調整
し、この成分調整したCu合金溶湯3を図1(b)に示
されるようにアルミナ製非黒鉛ルツボ1中で平均粒径:
5mmの黒鉛塊4をフロートさせ、1400℃、2時間
接触状態で保持したのち、Cu−Fe−C系溶湯5を作
製し、これを鋳型に鋳造してCu合金インゴットを製造
した。このようにして得られたCu合金インゴットの成
分組成を測定した結果、Fe:2.12重量%、C:
0.0025重量%、P:0.03重量%、Zn:0.
13重量%を含有し、残部Cuおよび不可避不純物から
なる成分組成を含有しており、このCu合金インゴット
は目的のFeおよびC含有量を有するものであった。ま
た、このCu合金インゴットを切断し、内部に巻き込ま
れたFe系異物の存在の有無を観察したが、内部組織に
Fe系異物は存在しなかった。
【0012】実施例2 実施例1で用意したリードフレームスクラップを図2
(a)に示されるように、アルミナ製非黒鉛ルツボ1で
溶解した後、得られたCu合金溶湯3を実施例1と全く
同様にして溶湯3の成分調整を行い、この成分調整した
Cu合金溶湯3を図2(b)に示されるように黒鉛ルツ
ボ2中で1400℃、2時間保持したのち、Cu−Fe
−C系溶湯5を作製し、これを鋳型に鋳造してCu合金
インゴットを製造し、このCu合金インゴットに含まれ
る成分組成を測定した結果、Fe:2.09重量%、
C:0.0025重量%、P:0.03重量%、Zn:
0.12重量%、残部Cuおよび不可避不純物からなる
成分組成を含有しており、このCu合金インゴットは目
的のFeおよびC含有量を有するものであった。また、
このCu合金インゴットを切断し、内部に巻き込まれた
Fe系異物の存在の有無を観察したが、内部組織にFe
系異物は存在しなかった。
【0013】従来例1 実施例1で用意したリードフレームスクラップを図3に
示されるように、アルミナ製非黒鉛ルツボ1で溶解した
後、得られたCu合金溶湯3を実施例1と全く同様にし
て溶湯3のFeが2.3重量%となるように成分調整を
行い、1400℃、2時間保持したのち、Cu−Fe−
C系溶湯を作製し、これを鋳型に鋳造してCu合金イン
ゴットを製造し、このCu合金インゴットに含まれるF
eおよびC含有量を測定した結果、Fe:2.32重量
%、C:0.0007重量%、P:0.03重量%、Z
n:0.10重量%、残部Cuおよび不可避不純物から
なる成分組成を含有しており、このCu合金インゴット
は目的のFe含有量より多く、かつ目的のC含有量より
少なく含むものであった。
【0014】
【発明の効果】上述のように、この発明の方法による
と、内部にFe系異物が巻き込まれることがなく、目的
のFeおよびCを含有する健全なCu−Fe−C系銅合
金インゴットが得られ、このインゴットは熱間圧延中に
割れが発生することがなく、さらに圧延して得られたC
u−Fe−C系銅合金薄帯には表面欠陥の発生がないこ
ろから、ICやLSIなどの半導体装置用リードフレー
ムを歩留まり良く製造することができ、工業上優れた効
果をもたらすものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例を示す説明図である。
【図2】この発明の実施例を示す説明図である。
【図3】従来例の説明図である。
【符号の説明】
1 非黒鉛ルツボ 2 黒鉛ルツボ 3 Cu合金溶湯 4 黒鉛塊 5 Cu−Fe−C系溶湯

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】Feを含有する銅合金を非黒鉛ルツボで溶
    解してFe含有量が2.0〜2.3重量%となるように
    成分調整し、得られたFe含有量が2.0〜2.3重量
    %の銅合金溶湯を非黒鉛ルツボ中で黒鉛塊と接触する状
    態で一定時間保持することを特徴とするFe含有銅合金
    溶湯にCを接種する方法。
  2. 【請求項2】Feを含有する銅合金を非黒鉛ルツボで溶
    解してFe含有量が2.0〜2.3重量%となるように
    成分調整し、得られたFe含有量が2.0〜2.3重量
    %の銅合金溶湯を黒鉛ルツボ中で一定時間保持するFe
    含有銅合金溶湯にCを接種する方法。
  3. 【請求項3】Feを含有する銅合金スクラップを非黒鉛
    るつぼで溶解してFe含有量が2.0〜2.3重量%と
    なるように成分調整し、得られたFe含有量が2.0〜
    2.3重量%の銅合金溶湯を非黒鉛ルツボ中で黒鉛塊と
    接触する状態で一定時間保持することを特徴とするFe
    含有銅合金溶湯にCを接種する方法。
  4. 【請求項4】Feを含有する銅合金スクラップを非黒鉛
    ルツボで溶解してFe含有量が2.0〜2.3重量%と
    なるように成分調整し、得られた銅合金溶湯を黒鉛ルツ
    ボ中で一定時間保持するFe含有銅合金溶湯にCを接種
    する方法。
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WO1999046415A1 (fr) 1998-03-10 1999-09-16 Mitsubishi Shindoh Corporation Alliage de cuivre et feuille mince en alliage de cuivre possedant une resistance a l'usure amelioree en tant que moule metallique d'estampage
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