JPH10122832A - 余剰ボールの検出方法及び装置 - Google Patents
余剰ボールの検出方法及び装置Info
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- JPH10122832A JPH10122832A JP16055397A JP16055397A JPH10122832A JP H10122832 A JPH10122832 A JP H10122832A JP 16055397 A JP16055397 A JP 16055397A JP 16055397 A JP16055397 A JP 16055397A JP H10122832 A JPH10122832 A JP H10122832A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 微細ボールを用いてバンプを形成する際に、
縦方向に２個以上並んだ余剰ボールを確実に検出できる
ようにする。 【解決手段】 配列基板１に保持されている微細ボール
３に斜め方向から光７を照射し、それによって形成され
る微細ボール３の影２０ａ、２０ｂの大きさに基づいて
余剰ボール３ａの有無及び位置を検出するようにするこ
とにより、検出方向からみて一直線状に重なっている余
剰ボールの有無及び位置を確実に検出できるようにす
る。
縦方向に２個以上並んだ余剰ボールを確実に検出できる
ようにする。 【解決手段】 配列基板１に保持されている微細ボール
３に斜め方向から光７を照射し、それによって形成され
る微細ボール３の影２０ａ、２０ｂの大きさに基づいて
余剰ボール３ａの有無及び位置を検出するようにするこ
とにより、検出方向からみて一直線状に重なっている余
剰ボールの有無及び位置を確実に検出できるようにす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は余剰ボールの検出方
法及び装置に係わり、例えば、基板または半導体チップ
の電極に微細ボールを用いてバンプを形成する際に発生
する余剰ボールを検出するための検出方法及び装置に用
いて好適なものである。
法及び装置に係わり、例えば、基板または半導体チップ
の電極に微細ボールを用いてバンプを形成する際に発生
する余剰ボールを検出するための検出方法及び装置に用
いて好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】基板または半導体チップの電極等のバン
プ形成対象物上にボールバンプを効率よく形成するため
に、少なくとも半導体チップの１つ分程度の微細金属ボ
ール群を一括して吸着保持し、前記吸着保持した微細金
属ボール群を前記バンプ形成対象物上に転写する技術が
実用化されている。
プ形成対象物上にボールバンプを効率よく形成するため
に、少なくとも半導体チップの１つ分程度の微細金属ボ
ール群を一括して吸着保持し、前記吸着保持した微細金
属ボール群を前記バンプ形成対象物上に転写する技術が
実用化されている。
【０００３】前記のように、複数の微細金属ボール群を
一括して吸着保持するために、前記バンプ形成対象物上
のバンプ形成位置に対応した全ての位置に吸着孔が形成
されている配列基板を用い、前記配列基板に微細金属ボ
ールを吸着保持した後、前記配列基板を接合用ステージ
まで搬送して被接合部に接合するようにしている。
一括して吸着保持するために、前記バンプ形成対象物上
のバンプ形成位置に対応した全ての位置に吸着孔が形成
されている配列基板を用い、前記配列基板に微細金属ボ
ールを吸着保持した後、前記配列基板を接合用ステージ
まで搬送して被接合部に接合するようにしている。
【０００４】このようにしてボールバンプを形成する
と、均一に形成された微細金属ボールをバンプ形成位置
に一括接合することができるので、高い信頼性が得られ
るボールバンプを容易に、かつ効率的に形成することが
できる。
と、均一に形成された微細金属ボールをバンプ形成位置
に一括接合することができるので、高い信頼性が得られ
るボールバンプを容易に、かつ効率的に形成することが
できる。
【０００５】ところで、最近は半導体チップの微細化に
伴って電極の配線ピッチが小さくなってきており、それ
に伴ってバンプの微細化が要求されるようになってきて
いる。そのため、ボールバンプを形成するために用いる
微細金属ボールの大きさが、例えば５００μｍφ以下、
中には１００μｍφ以下のように、非常に小さくなって
きている。
伴って電極の配線ピッチが小さくなってきており、それ
に伴ってバンプの微細化が要求されるようになってきて
いる。そのため、ボールバンプを形成するために用いる
微細金属ボールの大きさが、例えば５００μｍφ以下、
中には１００μｍφ以下のように、非常に小さくなって
きている。
【０００６】前述のように、微細金属ボールのサイズが
小さくなると、前記配列基板に微細金属ボールを複数吸
着保持したときに、余剰ボールが発生することがある。
そのため、前記配列基板に複数の微細金属ボールを吸着
保持した状態で、余剰ボールを検出するようにしてい
る。
小さくなると、前記配列基板に微細金属ボールを複数吸
着保持したときに、余剰ボールが発生することがある。
そのため、前記配列基板に複数の微細金属ボールを吸着
保持した状態で、余剰ボールを検出するようにしてい
る。
【０００７】前記余剰ボールの発生状態は種々である
が、図１１（ａ）、（ｂ）に示すように大別することが
できる。図１１において、１は配列基板、２は配列基板
１上に形成された貫通孔、３は貫通孔２に吸着された微
細金属ボール、３ａは余剰ボール、４は余剰ボール検出
装置、５は余剰ボール検出装置４が余剰ボール３ａを検
出する方向をそれぞれ示している。
が、図１１（ａ）、（ｂ）に示すように大別することが
できる。図１１において、１は配列基板、２は配列基板
１上に形成された貫通孔、３は貫通孔２に吸着された微
細金属ボール、３ａは余剰ボール、４は余剰ボール検出
装置、５は余剰ボール検出装置４が余剰ボール３ａを検
出する方向をそれぞれ示している。
【０００８】図１１に示したように、前記余剰ボール検
出装置４は配列基板１に対向して配置され、前記配列基
板１の正面から前記余剰ボール３ａの検出を行ってい
た。なお、前記配列基板１の所定位置に保持されている
微細金属ボール３の位置は全て既知である。
出装置４は配列基板１に対向して配置され、前記配列基
板１の正面から前記余剰ボール３ａの検出を行ってい
た。なお、前記配列基板１の所定位置に保持されている
微細金属ボール３の位置は全て既知である。
【０００９】したがって、前記微細金属ボール３の個数
が非常に多くても、微細金属ボール３が所定位置に保持
されているか否か、あるいは所定位置以外の位置に余剰
ボール３ａが付着しているか否かを確実に検出すること
ができるので、例えば図１１（ａ）に示したように、所
定位置以外の位置に付着した余剰ボール３ａを確実に検
出することができる。
が非常に多くても、微細金属ボール３が所定位置に保持
されているか否か、あるいは所定位置以外の位置に余剰
ボール３ａが付着しているか否かを確実に検出すること
ができるので、例えば図１１（ａ）に示したように、所
定位置以外の位置に付着した余剰ボール３ａを確実に検
出することができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図１１（ｂ）
に示したケースの場合は、余剰ボール検出装置４の検出
方向に沿う方向、すなわち、図１１中の縦方向に２個以
上の微細金属ボールが並んでいるので、従来の検出方法
のように、所定位置に微細金属ボール３があるか否か、
あるいは所定位置以外の位置に余剰ボール３ａが付着し
ているか否かを検出する方法では検出することができな
かった。
に示したケースの場合は、余剰ボール検出装置４の検出
方向に沿う方向、すなわち、図１１中の縦方向に２個以
上の微細金属ボールが並んでいるので、従来の検出方法
のように、所定位置に微細金属ボール３があるか否か、
あるいは所定位置以外の位置に余剰ボール３ａが付着し
ているか否かを検出する方法では検出することができな
かった。
【００１１】本発明は前述の問題点にかんがみ、微細ボ
ールを用いてバンプを形成する際に縦方向に２個以上並
んだ余剰ボールを確実に検出できるようにすることを目
的とする。
ールを用いてバンプを形成する際に縦方向に２個以上並
んだ余剰ボールを確実に検出できるようにすることを目
的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の余剰ボールの検
出方法は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生
する余剰ボールを検出する方法において、前記配列基板
に保持されている微細ボールに斜め方向から光を照射
し、それによって前記配列基板の表面に形成される微細
ボールの影に基づいて余剰ボールを検出することを特徴
としている。
出方法は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生
する余剰ボールを検出する方法において、前記配列基板
に保持されている微細ボールに斜め方向から光を照射
し、それによって前記配列基板の表面に形成される微細
ボールの影に基づいて余剰ボールを検出することを特徴
としている。
【００１３】また、本発明の他の特徴とするところは、
微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余剰ボ
ールを検出する方法において、前記配列基板に保持され
ている微細ボールを、所定の位置に焦点距離を合わせた
検出カメラで撮像し、前記検出カメラの撮像出力に基づ
いて余剰ボールを検出することを特徴としている。
微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余剰ボ
ールを検出する方法において、前記配列基板に保持され
ている微細ボールを、所定の位置に焦点距離を合わせた
検出カメラで撮像し、前記検出カメラの撮像出力に基づ
いて余剰ボールを検出することを特徴としている。
【００１４】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記配列基板に保持されている微細ボールを撮像す
る際に、前記配列基板に正常に保持されている微細ボー
ルに焦点を合わせて撮像することを特徴としている。
は、前記配列基板に保持されている微細ボールを撮像す
る際に、前記配列基板に正常に保持されている微細ボー
ルに焦点を合わせて撮像することを特徴としている。
【００１５】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記配列基板に保持されている微細ボールを撮像す
る際に、前記配列基板に正常に保持されている微細ボー
ルの焦点よりも手前の位置に焦点を合わせて撮像するこ
とを特徴としている。
は、前記配列基板に保持されている微細ボールを撮像す
る際に、前記配列基板に正常に保持されている微細ボー
ルの焦点よりも手前の位置に焦点を合わせて撮像するこ
とを特徴としている。
【００１６】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する方法において、前記配列基板に保持
されている微細ボールを斜め方向から撮像し、前記斜め
方向からの撮像によって得られた画像に基づいて余剰ボ
ールを検出することを特徴としている。
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する方法において、前記配列基板に保持
されている微細ボールを斜め方向から撮像し、前記斜め
方向からの撮像によって得られた画像に基づいて余剰ボ
ールを検出することを特徴としている。
【００１７】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記斜め方向からの撮像をＣＣＤカメラによって行
うことを特徴としている。
は、前記斜め方向からの撮像をＣＣＤカメラによって行
うことを特徴としている。
【００１８】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する方法において、前記微細ボールを保
持している配列基板に振動を印加するとともに、前記振
動を印加した状態で前記配列基板に保持されている微細
ボールを撮像し、前記撮像して得られた画像に基づいて
余剰ボールを検出することを特徴としている。
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する方法において、前記微細ボールを保
持している配列基板に振動を印加するとともに、前記振
動を印加した状態で前記配列基板に保持されている微細
ボールを撮像し、前記撮像して得られた画像に基づいて
余剰ボールを検出することを特徴としている。
【００１９】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する方法において、前記配列基板に縦に
連なって保持されている余剰ボールを倒して検出するこ
とを特徴としている。
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する方法において、前記配列基板に縦に
連なって保持されている余剰ボールを倒して検出するこ
とを特徴としている。
【００２０】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記余剰ボールを倒す方法は、前記配列基板を、所
定の高さに位置決めされたボール倒し治具の上を通過さ
せ、前記縦に連なって保持されている余剰ボールを前記
ボール倒し治具に当接させて倒す方法であることを特徴
としている。
は、前記余剰ボールを倒す方法は、前記配列基板を、所
定の高さに位置決めされたボール倒し治具の上を通過さ
せ、前記縦に連なって保持されている余剰ボールを前記
ボール倒し治具に当接させて倒す方法であることを特徴
としている。
【００２１】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記余剰ボールを倒す方法は、前記配列基板に向け
て流体を噴射し、前記縦に連なって保持されている余剰
ボールを前記流体で倒す方法であることを特徴としてい
る。
は、前記余剰ボールを倒す方法は、前記配列基板に向け
て流体を噴射し、前記縦に連なって保持されている余剰
ボールを前記流体で倒す方法であることを特徴としてい
る。
【００２２】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する方法において、前記微細ボールを保
持している配列基板を、所定の高さに位置決めされたボ
ール倒し治具の上を通過させ、縦に連なった余剰ボール
を倒した状態にしてから前記配列基板に保持されている
微細ボールを撮像し、前記撮像して得られた画像に基づ
いて余剰ボールを検出することを特徴としている。
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する方法において、前記微細ボールを保
持している配列基板を、所定の高さに位置決めされたボ
ール倒し治具の上を通過させ、縦に連なった余剰ボール
を倒した状態にしてから前記配列基板に保持されている
微細ボールを撮像し、前記撮像して得られた画像に基づ
いて余剰ボールを検出することを特徴としている。
【００２３】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する方法において、前記微細ボールを保
持している配列基板に向けて流体を噴射することによ
り、縦に連なった余剰ボールを倒した状態にしてから前
記配列基板に保持されている微細ボールを撮像し、前記
撮像して得られた画像に基づいて余剰ボールを検出する
ことを特徴としている。
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する方法において、前記微細ボールを保
持している配列基板に向けて流体を噴射することによ
り、縦に連なった余剰ボールを倒した状態にしてから前
記配列基板に保持されている微細ボールを撮像し、前記
撮像して得られた画像に基づいて余剰ボールを検出する
ことを特徴としている。
【００２４】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記流体は圧縮空気であることを特徴としている。
は、前記流体は圧縮空気であることを特徴としている。
【００２５】また、本発明の余剰ボール検出装置は、微
細ボールを配列基板に保持するときに発生する余剰ボー
ルを検出する検出装置において、前記配列基板に保持さ
れている微細ボールに向けて斜め方向から光を照射する
投光器と、前記投光器によって前記配列基板上に形成さ
れる微細ボールの影を撮像する撮像手段と、前記撮像手
段から出力される画像データに基づいて余剰ボールを検
出する余剰ボール検出手段とを具備することを特徴とし
ている。
細ボールを配列基板に保持するときに発生する余剰ボー
ルを検出する検出装置において、前記配列基板に保持さ
れている微細ボールに向けて斜め方向から光を照射する
投光器と、前記投光器によって前記配列基板上に形成さ
れる微細ボールの影を撮像する撮像手段と、前記撮像手
段から出力される画像データに基づいて余剰ボールを検
出する余剰ボール検出手段とを具備することを特徴とし
ている。
【００２６】また、本発明の他の特徴とするところは、
微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余剰ボ
ールを検出する検出装置において、前記配列基板に保持
されている微細ボールを、所定の位置に焦点距離を合わ
せて撮像する検出カメラと、前記検出カメラの撮像出力
に基づいて余剰ボールを検出する余剰ボール検出手段と
を具備することを特徴としている。
微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余剰ボ
ールを検出する検出装置において、前記配列基板に保持
されている微細ボールを、所定の位置に焦点距離を合わ
せて撮像する検出カメラと、前記検出カメラの撮像出力
に基づいて余剰ボールを検出する余剰ボール検出手段と
を具備することを特徴としている。
【００２７】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記配列基板に保持されている微細ボールを前記検
出カメラで撮像する際に、前記配列基板に正常に保持さ
れている微細ボールに焦点を合わせて撮像することを特
徴としている。
は、前記配列基板に保持されている微細ボールを前記検
出カメラで撮像する際に、前記配列基板に正常に保持さ
れている微細ボールに焦点を合わせて撮像することを特
徴としている。
【００２８】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記配列基板に保持されている微細ボールを前記検
出カメラで撮像する際に、前記配列基板に正常に保持さ
れている微細ボールよりも手前に焦点を合わせて撮像す
ることを特徴としている。
は、前記配列基板に保持されている微細ボールを前記検
出カメラで撮像する際に、前記配列基板に正常に保持さ
れている微細ボールよりも手前に焦点を合わせて撮像す
ることを特徴としている。
【００２９】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記余剰ボール検出手段は、前記微細ボールが前記
配列基板上に正常に保持されている状態で撮像して得ら
れた画像と、前記検出カメラにより撮像された画像とを
比較して余剰ボールを検出することを特徴としている。
は、前記余剰ボール検出手段は、前記微細ボールが前記
配列基板上に正常に保持されている状態で撮像して得ら
れた画像と、前記検出カメラにより撮像された画像とを
比較して余剰ボールを検出することを特徴としている。
【００３０】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する装置において、前記配列基板に保持
されている微細ボールを斜め方向から撮像する撮像手段
と、前記撮像手段によって得られた画像に基づいて余剰
ボールを検出する余剰ボール検出手段とを具備すること
を特徴としている。
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する装置において、前記配列基板に保持
されている微細ボールを斜め方向から撮像する撮像手段
と、前記撮像手段によって得られた画像に基づいて余剰
ボールを検出する余剰ボール検出手段とを具備すること
を特徴としている。
【００３１】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記撮像手段はＣＣＤカメラであることを特徴とし
ている。
は、前記撮像手段はＣＣＤカメラであることを特徴とし
ている。
【００３２】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する装置において、前記配列基板に所定
振幅の振動を印加する振動印加手段と、前記振動印加手
段によって振動が印加されている状態の配列基板に保持
されている微細ボールを撮像する撮像手段と、前記撮像
手段によって得られた画像に基づいて余剰ボールを検出
する余剰ボール検出手段とを具備することを特徴として
いる。
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する装置において、前記配列基板に所定
振幅の振動を印加する振動印加手段と、前記振動印加手
段によって振動が印加されている状態の配列基板に保持
されている微細ボールを撮像する撮像手段と、前記撮像
手段によって得られた画像に基づいて余剰ボールを検出
する余剰ボール検出手段とを具備することを特徴として
いる。
【００３３】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する装置において、前記配列基板に縦に
連なって保持されている余剰ボールを倒した状態にして
検出する検出手段を有することを特徴としている。
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する装置において、前記配列基板に縦に
連なって保持されている余剰ボールを倒した状態にして
検出する検出手段を有することを特徴としている。
【００３４】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する装置において、前記検出手段は、所
定の高さに位置決めされたボール倒し治具を具備し、前
記配列基板を前記ボール倒し治具の上を通過させて前記
配列基板に縦に連なって保持されている余剰ボールを倒
した状態にすることを特徴としている。
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する装置において、前記検出手段は、所
定の高さに位置決めされたボール倒し治具を具備し、前
記配列基板を前記ボール倒し治具の上を通過させて前記
配列基板に縦に連なって保持されている余剰ボールを倒
した状態にすることを特徴としている。
【００３５】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する装置において、前記検出手段は、前
記配列基板に向けて流体を噴射する噴射手段を具備し、
前記縦に連なって保持されている余剰ボールを前記流体
により倒した状態にすることを特徴としている。
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する装置において、前記検出手段は、前
記配列基板に向けて流体を噴射する噴射手段を具備し、
前記縦に連なって保持されている余剰ボールを前記流体
により倒した状態にすることを特徴としている。
【００３６】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する装置において、前記微細ボールを保
持している配列基板に対して所定の間隔となるような高
さに位置決めされたボール倒し治具と、前記配列基板を
前記ボール倒し治具の上を通過させて余剰ボールを倒す
ようにする配列基板移動手段と、前記ボール倒し治具の
上を通過させた配列基板に保持されている微細ボールを
撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって得られた画
像に基づいて余剰ボールを検出する余剰ボール検出手段
とを具備することを特徴としている。
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する装置において、前記微細ボールを保
持している配列基板に対して所定の間隔となるような高
さに位置決めされたボール倒し治具と、前記配列基板を
前記ボール倒し治具の上を通過させて余剰ボールを倒す
ようにする配列基板移動手段と、前記ボール倒し治具の
上を通過させた配列基板に保持されている微細ボールを
撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって得られた画
像に基づいて余剰ボールを検出する余剰ボール検出手段
とを具備することを特徴としている。
【００３７】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する装置において、前記微細ボールを保
持している配列基板に向けて流体を噴射して前記余剰ボ
ールを倒した状態とする流体噴射装置と、前記流体噴射
装置によって余剰ボールが倒された状態の配列基板に保
持されている微細ボールを撮像する撮像手段と、前記撮
像手段によって得られた画像に基づいて余剰ボールを検
出する余剰ボール検出手段とを具備することを特徴とし
ている。
は、微細ボールを配列基板に保持するときに発生する余
剰ボールを検出する装置において、前記微細ボールを保
持している配列基板に向けて流体を噴射して前記余剰ボ
ールを倒した状態とする流体噴射装置と、前記流体噴射
装置によって余剰ボールが倒された状態の配列基板に保
持されている微細ボールを撮像する撮像手段と、前記撮
像手段によって得られた画像に基づいて余剰ボールを検
出する余剰ボール検出手段とを具備することを特徴とし
ている。
【００３８】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記流体噴射装置から噴射される流体は圧縮空気で
あることを特徴としている。
は、前記流体噴射装置から噴射される流体は圧縮空気で
あることを特徴としている。
【００３９】
【作用】本発明は前記技術手段よりなるので、第１の発
明によれば、配列基板の斜め方向から照射された光によ
り、配列基板上には微細ボールの高さに応じた大きさの
影が形成され、前記影の大きさに基づいて、検出方向か
らみて縦一直線の状態に重なっている余剰ボールを確実
に検出することができるようになる。
明によれば、配列基板の斜め方向から照射された光によ
り、配列基板上には微細ボールの高さに応じた大きさの
影が形成され、前記影の大きさに基づいて、検出方向か
らみて縦一直線の状態に重なっている余剰ボールを確実
に検出することができるようになる。
【００４０】また、本発明の他の特徴によれば、余剰ボ
ールの場合には所定の焦点距離から離れた位置に存在し
ているので、前記配列基板に保持されている微細ボール
を検出カメラを所定の焦点距離にして撮像することによ
り、前記検出カメラの撮像出力の強弱に基づいて、検出
方向からみて縦一直線の状態に重なっている余剰ボール
を確実に検出することができるようになる。
ールの場合には所定の焦点距離から離れた位置に存在し
ているので、前記配列基板に保持されている微細ボール
を検出カメラを所定の焦点距離にして撮像することによ
り、前記検出カメラの撮像出力の強弱に基づいて、検出
方向からみて縦一直線の状態に重なっている余剰ボール
を確実に検出することができるようになる。
【００４１】また、本発明のその他の特徴によれば、前
記配列基板に保持されている微細ボールを斜め方向から
撮像し、前記撮像によって得られた画像に基づいて余剰
ボールを検出するようにしたので、正常に保持されてい
る部分と余剰ボールが発生している部分とでは異なる大
きさの画像を得ることができ、検出方向からみて縦一直
線の状態に重なっている余剰ボールが発生しても、確実
に検出することができるようになる。
記配列基板に保持されている微細ボールを斜め方向から
撮像し、前記撮像によって得られた画像に基づいて余剰
ボールを検出するようにしたので、正常に保持されてい
る部分と余剰ボールが発生している部分とでは異なる大
きさの画像を得ることができ、検出方向からみて縦一直
線の状態に重なっている余剰ボールが発生しても、確実
に検出することができるようになる。
【００４２】また、本発明のその他の特徴によれば、前
記微細ボールを保持している配列基板に振動を印加印加
した状態で撮像したので、正常に保持されている微細ボ
ールを撮像して得られた画像と、余剰ボールを撮像した
得られた画像では、その大きさ及び輪郭を異ならせるこ
とができ、検出方向からみて縦一直線の状態に重なって
いる余剰ボールが発生しても、確実に検出することがで
きるようになる。
記微細ボールを保持している配列基板に振動を印加印加
した状態で撮像したので、正常に保持されている微細ボ
ールを撮像して得られた画像と、余剰ボールを撮像した
得られた画像では、その大きさ及び輪郭を異ならせるこ
とができ、検出方向からみて縦一直線の状態に重なって
いる余剰ボールが発生しても、確実に検出することがで
きるようになる。
【００４３】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記微細ボールを保持している配列基板を、所定の
高さに位置決めされたボール倒し治具の上を通過させ、
余剰ボールを倒してから撮像するようにしたので、縦に
連なっている状態の余剰ボールが発生しても、正面方向
からみて余剰ボールが見やすい状態にして撮像すること
ができ、余剰ボールを確実に検出することができる。
は、前記微細ボールを保持している配列基板を、所定の
高さに位置決めされたボール倒し治具の上を通過させ、
余剰ボールを倒してから撮像するようにしたので、縦に
連なっている状態の余剰ボールが発生しても、正面方向
からみて余剰ボールが見やすい状態にして撮像すること
ができ、余剰ボールを確実に検出することができる。
【００４４】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記微細ボールを保持している配列基板に流体を噴
射して、前記配列基板に縦に連なって保持されている余
剰ボールを倒した状態にするようにしたので、正面方向
からみて縦一直線の状態に重なっている余剰ボールが発
生しても確実に検出することができる。
は、前記微細ボールを保持している配列基板に流体を噴
射して、前記配列基板に縦に連なって保持されている余
剰ボールを倒した状態にするようにしたので、正面方向
からみて縦一直線の状態に重なっている余剰ボールが発
生しても確実に検出することができる。
【００４５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の余剰ボールの検出
方法及び装置の一実施形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の余剰ボール検出装置の第１の実施形態
を示すブロック図である。
方法及び装置の一実施形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明の余剰ボール検出装置の第１の実施形態
を示すブロック図である。
【００４６】図１に示したように、本実施形態の余剰ボ
ール検出装置は、投光器１０、撮像素子１１、Ａ／Ｄ変
換手段１２、画像メモリ１３、濃淡画像前処理手段１
４、２値化手段１５、余剰ボール検出処理手段１６等に
より構成されている。
ール検出装置は、投光器１０、撮像素子１１、Ａ／Ｄ変
換手段１２、画像メモリ１３、濃淡画像前処理手段１
４、２値化手段１５、余剰ボール検出処理手段１６等に
より構成されている。
【００４７】投光器１０は、配列基板１の表面に対して
斜め方向から光７を照射するためのものであり、これに
より、前記配列基板１の面上に微細金属ボール３（図２
参照）の影が形成される。
斜め方向から光７を照射するためのものであり、これに
より、前記配列基板１の面上に微細金属ボール３（図２
参照）の影が形成される。
【００４８】撮像素子１１は、配列基板１を正面方向か
ら撮像して、前記配列基板１上の光量分布を電気信号に
置き換えるものであり、レンズ及び撮像素子の周辺回路
によって構成されている。
ら撮像して、前記配列基板１上の光量分布を電気信号に
置き換えるものであり、レンズ及び撮像素子の周辺回路
によって構成されている。
【００４９】Ａ／Ｄ変換手段１２は、前記撮像素子１１
からアナログの形態で出力されるビデオ信号Ｓ１をデジ
タルの電気信号に変換するためのものであり、この結
果、検出対象物である配列基板１の表面の明るさ分布の
情報が２次元配列データＳ２として画像メモリ１３に転
送される。
からアナログの形態で出力されるビデオ信号Ｓ１をデジ
タルの電気信号に変換するためのものであり、この結
果、検出対象物である配列基板１の表面の明るさ分布の
情報が２次元配列データＳ２として画像メモリ１３に転
送される。
【００５０】画像メモリ１３は、Ａ／Ｄ変換手段１２か
ら入力される２次元配列データＳ２を所定のアドレスに
記憶しておくためのものである。濃淡画像前処理手段１
４は、画像メモリ１３に取り込んだ画像データの前処理
を行うためのものであり、例えば画像のひずみ補正やノ
イズの除去等の処理を行う。
ら入力される２次元配列データＳ２を所定のアドレスに
記憶しておくためのものである。濃淡画像前処理手段１
４は、画像メモリ１３に取り込んだ画像データの前処理
を行うためのものであり、例えば画像のひずみ補正やノ
イズの除去等の処理を行う。
【００５１】２値化手段１５は、画像メモリ１３に取り
込んだ各画素を“０”か“１”かに決定する処理を行
う。ここで、メモリあるいは処理能力によって、グレー
スケールでしきい値（ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ）を用いて各
画素を判断することもできる。
込んだ各画素を“０”か“１”かに決定する処理を行
う。ここで、メモリあるいは処理能力によって、グレー
スケールでしきい値（ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ）を用いて各
画素を判断することもできる。
【００５２】余剰ボール検出処理手段１６は、２値化手
段等１５によって２値化処理された配列基板１の表面の
明るさ分布の情報に基づいて、前記配列基板１上に余剰
ボールがあるか否かを判断するためのものである。
段等１５によって２値化処理された配列基板１の表面の
明るさ分布の情報に基づいて、前記配列基板１上に余剰
ボールがあるか否かを判断するためのものである。
【００５３】次に、前述のように構成された本実施形態
の余剰ボール検出装置により余剰ボールを検出する具体
例を説明する。図２は、本発明の余剰ボール検出装置に
より余剰ボールを検出する方法の第１の実施形態を説明
するための図である。図２において、図１１と同一部分
については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
の余剰ボール検出装置により余剰ボールを検出する具体
例を説明する。図２は、本発明の余剰ボール検出装置に
より余剰ボールを検出する方法の第１の実施形態を説明
するための図である。図２において、図１１と同一部分
については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００５４】図２に示すように、余剰ボール３ａが存在
すると、投光器１０によって光７が斜め方向から照射さ
れると、配列基板１の表面上には、図３（ａ）に示すよ
うに微細金属ボール３の影は、２０ａ及び２０ｂのよう
に２種類形成される。
すると、投光器１０によって光７が斜め方向から照射さ
れると、配列基板１の表面上には、図３（ａ）に示すよ
うに微細金属ボール３の影は、２０ａ及び２０ｂのよう
に２種類形成される。
【００５５】図３（ａ）において、２０ａは微細金属ボ
ール３が１個の場合に形成される影を示し、２０ｂは余
剰ボール３ａが縦方向に２個並んでいる場合に形成され
る影を示している。
ール３が１個の場合に形成される影を示し、２０ｂは余
剰ボール３ａが縦方向に２個並んでいる場合に形成され
る影を示している。
【００５６】図３（ａ）から明らかなように、余剰ボー
ル３ａが存在する場合に形成される影２０ｂは、余剰ボ
ール３ａが無い場合に形成される影２０ａと比較して格
段と大きくなっている。したがって、余剰ボール検出処
理手段１６が、図３（ｂ）に示す余剰ボール３ａが存在
しない場合の基準パターンを保持しておき、撮像した配
列基板１上の影のパターンと前記基準パターンとを比較
することにより、余剰ボール３ａの有無、及び余剰ボー
ル３ａの位置を簡単に、かつ確実に検出することができ
る。
ル３ａが存在する場合に形成される影２０ｂは、余剰ボ
ール３ａが無い場合に形成される影２０ａと比較して格
段と大きくなっている。したがって、余剰ボール検出処
理手段１６が、図３（ｂ）に示す余剰ボール３ａが存在
しない場合の基準パターンを保持しておき、撮像した配
列基板１上の影のパターンと前記基準パターンとを比較
することにより、余剰ボール３ａの有無、及び余剰ボー
ル３ａの位置を簡単に、かつ確実に検出することができ
る。
【００５７】次に、図４及び図５を参照しながら本発明
の余剰ボールの検出方法及び装置の第２の実施形態を説
明する。この第２の実施形態の場合には、配列基板１上
に保持されている微細金属ボール３を撮像する際の焦点
距離を所定値にすることにより、余剰ボール３ａを検出
するようにしている。
の余剰ボールの検出方法及び装置の第２の実施形態を説
明する。この第２の実施形態の場合には、配列基板１上
に保持されている微細金属ボール３を撮像する際の焦点
距離を所定値にすることにより、余剰ボール３ａを検出
するようにしている。
【００５８】すなわち、図４中においてＡで示した位置
に焦点を合わせて撮像したり、Ｂで示した位置に焦点を
合わせて撮像したりするようにしている。前述のよう
に、Ａで示した位置に焦点を合わせて撮像すると、図５
（ａ）に示すような画像が得られる。また、Ｂで示した
位置に焦点を合わせて撮像すると、図５（ｂ）に示すよ
うな画像が得られる。
に焦点を合わせて撮像したり、Ｂで示した位置に焦点を
合わせて撮像したりするようにしている。前述のよう
に、Ａで示した位置に焦点を合わせて撮像すると、図５
（ａ）に示すような画像が得られる。また、Ｂで示した
位置に焦点を合わせて撮像すると、図５（ｂ）に示すよ
うな画像が得られる。
【００５９】図５（ａ）の画像は、Ａで示した位置に焦
点を合わせて撮像しているので、３個撮像した微細金属
ボール３のうち、両側の微細金属ボール３が正常な画像
２１ａとなっていて、真ん中の微細金属ボール３を撮像
して得られた画像はピンぼけ状態の画像２１ｂとなって
いる。
点を合わせて撮像しているので、３個撮像した微細金属
ボール３のうち、両側の微細金属ボール３が正常な画像
２１ａとなっていて、真ん中の微細金属ボール３を撮像
して得られた画像はピンぼけ状態の画像２１ｂとなって
いる。
【００６０】また、図５（ｂ）の画像は、Ｂで示した位
置に焦点を合わせて撮像しているので、３個撮像した微
細金属ボール３のうち、両側の微細金属ボール３がピン
ぼけ状態の画像２１ｂとなり、真ん中の微細金属ボール
３を撮像して得られた画像は正常な画像２１ａとなって
いる。
置に焦点を合わせて撮像しているので、３個撮像した微
細金属ボール３のうち、両側の微細金属ボール３がピン
ぼけ状態の画像２１ｂとなり、真ん中の微細金属ボール
３を撮像して得られた画像は正常な画像２１ａとなって
いる。
【００６１】一方、余剰ボール３ａが無い正常な状態の
配列基板１を撮像すると、図５の（ｃ）に示すように、
全ての微細金属ボール３を正常な画像２１ａとして撮像
することができる。
配列基板１を撮像すると、図５の（ｃ）に示すように、
全ての微細金属ボール３を正常な画像２１ａとして撮像
することができる。
【００６２】したがって、余剰ボール検出処理手段１６
により、図５の（ａ）の画像と（ｃ）画像との比較、ま
たは図５の（ｂ）の画像と（ｃ）の画像との比較を行う
ことにより、余剰ボール３ａの有無、及び余剰ボール３
ａの位置を簡単に、かつ確実に検出することができる。
により、図５の（ａ）の画像と（ｃ）画像との比較、ま
たは図５の（ｂ）の画像と（ｃ）の画像との比較を行う
ことにより、余剰ボール３ａの有無、及び余剰ボール３
ａの位置を簡単に、かつ確実に検出することができる。
【００６３】次に、図６を参照しながら本発明の第３の
実施形態を説明する。図６に示すように、本実施形態に
おいては第１のＣＣＤカメラ２４ａ及び第２のＣＣＤカ
メラ２４ｂを用いて配列基板１に吸着されている微細ボ
ール３を撮像するようにしている。
実施形態を説明する。図６に示すように、本実施形態に
おいては第１のＣＣＤカメラ２４ａ及び第２のＣＣＤカ
メラ２４ｂを用いて配列基板１に吸着されている微細ボ
ール３を撮像するようにしている。
【００６４】前記第１のＣＣＤカメラ２４ａは、複数の
微細ボール３を吸着している配列基板１を４５°の斜め
方向２５ａから撮像するようにしている。また、第２の
ＣＣＤカメラ２４ｂは配列基板１の正面方向２５ｂから
撮像するようにしている。
微細ボール３を吸着している配列基板１を４５°の斜め
方向２５ａから撮像するようにしている。また、第２の
ＣＣＤカメラ２４ｂは配列基板１の正面方向２５ｂから
撮像するようにしている。
【００６５】前述のように、撮像方向を異ならせると、
図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、２種類の画像を得
ることができる。ここで、図７（ａ）は、第１のＣＣＤ
カメラ２４ａにより斜め方向２５ａから撮像して得た画
像である。また、図７（ｂ）は、第２のＣＣＤカメラ２
４ｂにより正面方向２５ｂから撮像して得た画像であ
る。
図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、２種類の画像を得
ることができる。ここで、図７（ａ）は、第１のＣＣＤ
カメラ２４ａにより斜め方向２５ａから撮像して得た画
像である。また、図７（ｂ）は、第２のＣＣＤカメラ２
４ｂにより正面方向２５ｂから撮像して得た画像であ
る。
【００６６】これらの画像を比較すると、正面方向２５
ｂから撮像して得た画像である図７（ｂ）においては、
全ての微細ボール３が略真円の画像として、すなわち、
正常画像２６ａとして撮像されている。それに対して、
図７（ａ）においては、真円ではない大きな楕円状の異
常画像２６ｂが撮像されている。
ｂから撮像して得た画像である図７（ｂ）においては、
全ての微細ボール３が略真円の画像として、すなわち、
正常画像２６ａとして撮像されている。それに対して、
図７（ａ）においては、真円ではない大きな楕円状の異
常画像２６ｂが撮像されている。
【００６７】前記異常画像２６ｂは、図６に示すよう
に、余剰ボール３ａが発生していたことにより撮像され
たものである。すなわち、余剰ボール３ａが発生して
も、前記余剰ボール３ａが微細ボール３と重なっている
と、正面方向２５ｂから撮像すると正常画像２６ａとし
て撮像されてしまう。
に、余剰ボール３ａが発生していたことにより撮像され
たものである。すなわち、余剰ボール３ａが発生して
も、前記余剰ボール３ａが微細ボール３と重なっている
と、正面方向２５ｂから撮像すると正常画像２６ａとし
て撮像されてしまう。
【００６８】しかし、余剰ボール３ａが発生すると、そ
の部分の高さは微細ボール３の高さと余剰ボール３ａの
高さを合計したものとなるので、斜め方向２５ａから撮
像すれば面積が大きい画像となる。すなわち、異常画像
２６ｂとして撮像することができる。
の部分の高さは微細ボール３の高さと余剰ボール３ａの
高さを合計したものとなるので、斜め方向２５ａから撮
像すれば面積が大きい画像となる。すなわち、異常画像
２６ｂとして撮像することができる。
【００６９】したがって、本実施形態の場合には、前述
した余剰ボール検出処理手段１６により、図７（ａ）の
画像と図７（ｂ）の画像とを比較することにより、余剰
ボール３ａの有無、及び余剰ボール３ａの位置を簡単
に、かつ確実に検出することができる。
した余剰ボール検出処理手段１６により、図７（ａ）の
画像と図７（ｂ）の画像とを比較することにより、余剰
ボール３ａの有無、及び余剰ボール３ａの位置を簡単
に、かつ確実に検出することができる。
【００７０】また、撮像した余剰ボール３ａの面積の上
限値を設定しておき、実際に撮像した余剰ボール３ａの
画像の面積と、前記上限値と比較することにより、余剰
ボール３ａの有無及び位置を知ることができる。
限値を設定しておき、実際に撮像した余剰ボール３ａの
画像の面積と、前記上限値と比較することにより、余剰
ボール３ａの有無及び位置を知ることができる。
【００７１】次に、図８を参照しながら本発明の第４の
実施形態を説明する。図８に示したように、本実施形態
においては、配列基板１に振動装置２７を取り付け、前
記振動装置２７によって振動を印加するようにしてい
る。配列基板１に所定周波数の振動を印加すると、図８
（ａ）中において矢印Ｒで示したように、余剰ボール３
ａは微細ボール３と共に回転する。
実施形態を説明する。図８に示したように、本実施形態
においては、配列基板１に振動装置２７を取り付け、前
記振動装置２７によって振動を印加するようにしてい
る。配列基板１に所定周波数の振動を印加すると、図８
（ａ）中において矢印Ｒで示したように、余剰ボール３
ａは微細ボール３と共に回転する。
【００７２】このように回転すると、遠心力の作用によ
り余剰ボール３ａは、図８（ｂ）中において点線で示し
たように、検出方向からみて縦一直線からずれた状態で
回転するようになる。したがって、配列基板１を正面方
向２５ｂからＣＣＤカメラ２４で撮像しても、余剰ボー
ル３ａが存在する場合には大きな画像、または振れが大
きな画像として撮像することができるので、余剰ボール
３ａの有無及び位置を確実に知ることができる。
り余剰ボール３ａは、図８（ｂ）中において点線で示し
たように、検出方向からみて縦一直線からずれた状態で
回転するようになる。したがって、配列基板１を正面方
向２５ｂからＣＣＤカメラ２４で撮像しても、余剰ボー
ル３ａが存在する場合には大きな画像、または振れが大
きな画像として撮像することができるので、余剰ボール
３ａの有無及び位置を確実に知ることができる。
【００７３】次に、図９を参照しながら本発明の第５の
実施形態を説明する。本実施形態の余剰ボール検出装置
は、図９（ａ）中に示すように、余剰ボール倒し手段と
してボール倒し治具２８を設け、上記ボール倒し治具２
８を所定の高さで設けたものである。そして、図９
（ａ）に矢印Ｆで示すように配列基板１を、上記ボール
倒し治具２８の上を移動させる。
実施形態を説明する。本実施形態の余剰ボール検出装置
は、図９（ａ）中に示すように、余剰ボール倒し手段と
してボール倒し治具２８を設け、上記ボール倒し治具２
８を所定の高さで設けたものである。そして、図９
（ａ）に矢印Ｆで示すように配列基板１を、上記ボール
倒し治具２８の上を移動させる。
【００７４】すると、配列基板１の貫通孔２に正常に吸
着されている微細ボール３は前記ボール倒し治具２８に
は当接しないが、前記微細ボール３に重なっている余剰
ボール３ａは前記ボール倒し治具２８に当接し、図９
（ｂ）に示したように、縦一直線からみて倒した状態と
なる。
着されている微細ボール３は前記ボール倒し治具２８に
は当接しないが、前記微細ボール３に重なっている余剰
ボール３ａは前記ボール倒し治具２８に当接し、図９
（ｂ）に示したように、縦一直線からみて倒した状態と
なる。
【００７５】このように倒した状態となれば、正面方向
２５ｂからみて容易に、かつ確実に区別することができ
るので、図９（ｂ）に示したようにＣＣＤカメラ２４で
撮像して得られた画像に基づいて余剰ボール３ａが発生
していることを容易に知ることができる。
２５ｂからみて容易に、かつ確実に区別することができ
るので、図９（ｂ）に示したようにＣＣＤカメラ２４で
撮像して得られた画像に基づいて余剰ボール３ａが発生
していることを容易に知ることができる。
【００７６】次に、図１０を参照しながら本発明の第６
の実施形態を説明する。この実施形態の場合は、前述し
た余剰ボール倒し治具の代わりに空気噴出装置２９を用
いた例を示している。
の実施形態を説明する。この実施形態の場合は、前述し
た余剰ボール倒し治具の代わりに空気噴出装置２９を用
いた例を示している。
【００７７】すなわち、図１０に示したように、前記ボ
ール倒し用の空気噴出装置２９を配列基板１の斜め下方
に配置している。そして、図１０（ａ）中の矢印２９ａ
で示したように、配列基板１の吸着面に向けて空気を噴
射するようにしている。このようにすることにより、余
剰ボール３ａが発生している場合には、前述した第５の
実施形態で示したように、微細ボール３に重なっている
余剰ボール３ａを、縦一直線からみて倒した状態とする
ことができるので、容易にかつ確実に余剰ボール３ａを
検出することができる。なお、余剰ボールを倒すために
噴出するのは空気の他に、例えば窒素等の気体でもよ
い。
ール倒し用の空気噴出装置２９を配列基板１の斜め下方
に配置している。そして、図１０（ａ）中の矢印２９ａ
で示したように、配列基板１の吸着面に向けて空気を噴
射するようにしている。このようにすることにより、余
剰ボール３ａが発生している場合には、前述した第５の
実施形態で示したように、微細ボール３に重なっている
余剰ボール３ａを、縦一直線からみて倒した状態とする
ことができるので、容易にかつ確実に余剰ボール３ａを
検出することができる。なお、余剰ボールを倒すために
噴出するのは空気の他に、例えば窒素等の気体でもよ
い。
【００７８】本実施形態の余剰ボールの検出方法及び装
置は、前述のようにして余剰ボール３ａを検出するの
で、従来の検出方法では検出することが困難であった、
縦方向に一列に並んだ余剰ボール３ａを確実に検出する
ことができる。
置は、前述のようにして余剰ボール３ａを検出するの
で、従来の検出方法では検出することが困難であった、
縦方向に一列に並んだ余剰ボール３ａを確実に検出する
ことができる。
【００７９】したがって、５００μｍφ未満の微細金属
ボール、特に、３００μｍφ未満の微細金属ボールは縦
方向に余剰ボールが発生し易いが、これらの微細金属ボ
ールを用いてバンプを形成する際に、本発明は有効に利
用することができ、微細なボールバンプを形成する際の
余剰ボールの有無及び位置を確実に検出して、不良品の
発生を大幅に減少させることができる。
ボール、特に、３００μｍφ未満の微細金属ボールは縦
方向に余剰ボールが発生し易いが、これらの微細金属ボ
ールを用いてバンプを形成する際に、本発明は有効に利
用することができ、微細なボールバンプを形成する際の
余剰ボールの有無及び位置を確実に検出して、不良品の
発生を大幅に減少させることができる。
【００８０】
【発明の効果】本発明は前述したように、第１の発明に
よれば、斜め方向から光を照射して、微細ボールの高さ
に応じた大きさの影を配列基板上に形成し、前記影の大
きさに基づいて余剰ボールを検出するので、検出方向か
らみて一直線状に重なっている余剰ボールを確実に検出
することができる。
よれば、斜め方向から光を照射して、微細ボールの高さ
に応じた大きさの影を配列基板上に形成し、前記影の大
きさに基づいて余剰ボールを検出するので、検出方向か
らみて一直線状に重なっている余剰ボールを確実に検出
することができる。
【００８１】また、本発明の他の特徴によれば、前記配
列基板に保持されている微細ボールを検出カメラで撮像
する際に、所定の焦点距離で撮像するので、前記余剰ボ
ールと正常な微細ボールとを画像信号の大きさで区別す
ることが可能となり、前記検出カメラの撮像出力の強弱
に基づいて、検出方向からみて一直線状に重なっている
余剰ボールを確実に検出することができる。
列基板に保持されている微細ボールを検出カメラで撮像
する際に、所定の焦点距離で撮像するので、前記余剰ボ
ールと正常な微細ボールとを画像信号の大きさで区別す
ることが可能となり、前記検出カメラの撮像出力の強弱
に基づいて、検出方向からみて一直線状に重なっている
余剰ボールを確実に検出することができる。
【００８２】また、本発明のその他の特徴によれば、前
記配列基板に保持されている微細ボールを斜め方向から
撮像し、前記斜め方向からの撮像によって得られた画像
に基づいて余剰ボールを検出するようにしたので、正常
に保持されている部分と余剰ボールが発生している部分
とでは異なる大きさの画像を得ることができ、検出方向
からみて縦一直線の状態に重なっている余剰ボールを確
実に検出することができる。
記配列基板に保持されている微細ボールを斜め方向から
撮像し、前記斜め方向からの撮像によって得られた画像
に基づいて余剰ボールを検出するようにしたので、正常
に保持されている部分と余剰ボールが発生している部分
とでは異なる大きさの画像を得ることができ、検出方向
からみて縦一直線の状態に重なっている余剰ボールを確
実に検出することができる。
【００８３】また、本発明のその他の特徴によれば、前
記微細ボールを保持している配列基板に振動を印加した
状態で撮像したので、縦に連なった状態に重なっている
余剰ボールが発生して部分を撮像して得た画像は、正常
に保持されている部分を撮像して得た画像と比較して、
その大きさ及び輪郭を異ならせることができ、検出方向
からみて縦一直線の状態に重なっている余剰ボールを確
実に検出することができる。
記微細ボールを保持している配列基板に振動を印加した
状態で撮像したので、縦に連なった状態に重なっている
余剰ボールが発生して部分を撮像して得た画像は、正常
に保持されている部分を撮像して得た画像と比較して、
その大きさ及び輪郭を異ならせることができ、検出方向
からみて縦一直線の状態に重なっている余剰ボールを確
実に検出することができる。
【００８４】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記微細ボールを保持している配列基板を、所定の
高さに位置決めされたボール倒し治具の上を通過させて
余剰ボールを倒してから撮像するようにしたので、縦に
連なった状態に重なっている余剰ボールが発生しても、
正面方向からみて余剰ボールが見やすい状態にして撮像
することができ、縦に連なった状態の余剰ボールでも確
実に検出することができる。
は、前記微細ボールを保持している配列基板を、所定の
高さに位置決めされたボール倒し治具の上を通過させて
余剰ボールを倒してから撮像するようにしたので、縦に
連なった状態に重なっている余剰ボールが発生しても、
正面方向からみて余剰ボールが見やすい状態にして撮像
することができ、縦に連なった状態の余剰ボールでも確
実に検出することができる。
【００８５】したがって、本発明によれば、５００μｍ
φ未満の微細金属ボール、特に、３００μｍφ未満の微
細金属ボールが縦方向に重なって余剰ボールとなってい
る場合においても良好に検出することができ、微細金属
ボールを用いてバンプを形成する際に、不良品の発生を
大幅に減少させることができる。
φ未満の微細金属ボール、特に、３００μｍφ未満の微
細金属ボールが縦方向に重なって余剰ボールとなってい
る場合においても良好に検出することができ、微細金属
ボールを用いてバンプを形成する際に、不良品の発生を
大幅に減少させることができる。
【図１】本発明の一実施形態を示し、余剰ボール検出装
置の概略構成を示すブロック図である。
置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】余剰ボールを検出する方法の第１の実施形態を
説明するための図であり、斜め方向から光を照射するこ
とにより微細金属ボールの影が形成される様子を示す図
である。
説明するための図であり、斜め方向から光を照射するこ
とにより微細金属ボールの影が形成される様子を示す図
である。
【図３】斜め方向から光を照射することにより形成され
る影の様子を示す図である。
る影の様子を示す図である。
【図４】第２の実施形態を示し、微細ボールの位置によ
り焦点距離が異なることを説明する図である。
り焦点距離が異なることを説明する図である。
【図５】焦点距離が異なることにより得られる画像が異
なる様子を示す図である。
なる様子を示す図である。
【図６】第３の実施形態を示し、斜め方向から撮像して
いる様子を示す図である。
いる様子を示す図である。
【図７】斜め方向から撮像して得られた画像の一例を示
す図である。
す図である。
【図８】第４の実施形態を示し、配列基板に振動を印加
して余剰ボールが正面方向から見やすくなった例を示す
図である。
して余剰ボールが正面方向から見やすくなった例を示す
図である。
【図９】第５の実施形態を示し、配列基板をボール倒し
治具に当接させて余剰ボールを見やすくした例を示す図
である。
治具に当接させて余剰ボールを見やすくした例を示す図
である。
【図１０】第６の実施形態を示し、配列基板に流体を噴
射して余剰ボールを見やすくした例を示す図である。
射して余剰ボールを見やすくした例を示す図である。
【図１１】従来の余剰ボール検出方法の一例を説明する
ための図である。
ための図である。
１ 配列基板 ２ 貫通孔 ３ 微細金属ボール ４ 余剰ボール検出装置 ７ 光 １０ 投光器 １１ 撮像素子 １２ Ａ／Ｄ変換手段 １３ 画像メモリ １４ 濃淡画像前処理手段 １５ ２値化手段 １６ 余剰ボール検出処理手段
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/92 ６０４Ｚ ６０４Ｔ
Claims (27)
- 【請求項１】 微細ボールを配列基板に保持するときに
発生する余剰ボールを検出する方法において、 前記配列基板に保持されている微細ボールに斜め方向か
ら光を照射し、それによって前記配列基板の表面に形成
される微細ボールの影に基づいて余剰ボールを検出する
ことを特徴とする余剰ボールの検出方法。 - 【請求項２】 微細ボールを配列基板に保持するときに
発生する余剰ボールを検出する方法において、 前記配列基板に保持されている微細ボールを、所定の位
置に焦点距離を合わせた検出カメラで撮像し、前記検出
カメラの撮像出力に基づいて余剰ボールを検出すること
を特徴とする余剰ボールの検出方法。 - 【請求項３】 前記配列基板に保持されている微細ボー
ルを撮像する際に、前記配列基板に正常に保持されてい
る微細ボールに焦点を合わせて撮像することを特徴とす
る請求項２に記載の余剰ボールの検出方法。 - 【請求項４】 前記配列基板に保持されている微細ボー
ルを撮像する際に、前記配列基板に正常に保持されてい
る微細ボールの焦点よりも手前の位置に焦点を合わせて
撮像することを特徴とする請求項２に記載の余剰ボール
の検出方法。 - 【請求項５】 微細ボールを配列基板に保持するときに
発生する余剰ボールを検出する方法において、 前記配列基板に保持されている微細ボールを斜め方向か
ら撮像し、前記斜め方向からの撮像によって得られた画
像に基づいて余剰ボールを検出することを特徴とする余
剰ボールの検出方法。 - 【請求項６】 前記斜め方向からの撮像をＣＣＤカメラ
によって行うことを特徴とする請求項５に記載の余剰ボ
ールの検出方法。 - 【請求項７】 微細ボールを配列基板に保持するときに
発生する余剰ボールを検出する方法において、 前記微細ボールを保持している配列基板に振動を印加す
るとともに、前記振動を印加した状態で前記配列基板に
保持されている微細ボールを撮像し、前記撮像して得ら
れた画像に基づいて余剰ボールを検出することを特徴と
する余剰ボールの検出方法。 - 【請求項８】 微細ボールを配列基板に保持するときに
発生する余剰ボールを検出する方法において、 前記配列基板に縦に連なって保持されている余剰ボール
を倒して検出することを特徴とする余剰ボールの検出方
法。 - 【請求項９】 前記余剰ボールを倒す方法は、前記配列
基板を、所定の高さに位置決めされたボール倒し治具の
上を通過させ、前記縦に連なって保持されている余剰ボ
ールを前記ボール倒し治具に当接させて倒す方法である
ことを特徴とする請求項８に記載の余剰ボールの検出方
法。 - 【請求項１０】 前記余剰ボールを倒す方法は、前記配
列基板に向けて流体を噴射し、前記縦に連なって保持さ
れている余剰ボールを前記流体で倒す方法であることを
特徴とする請求項８に記載の余剰ボールの検出方法。 - 【請求項１１】 微細ボールを配列基板に保持するとき
に発生する余剰ボールを検出する方法において、 前記微細ボールを保持している配列基板を、所定の高さ
に位置決めされたボール倒し治具の上を通過させ、縦に
連なった状態の余剰ボールを倒した状態にしてから前記
配列基板に保持されている微細ボールを撮像し、前記撮
像して得られた画像に基づいて余剰ボールを検出するこ
とを特徴とする余剰ボールの検出方法。 - 【請求項１２】 微細ボールを配列基板に保持するとき
に発生する余剰ボールを検出する方法において、 前記微細ボールを保持している配列基板に向けて流体を
噴射することにより、縦に連なった余剰ボールを倒した
状態にしてから前記配列基板に保持されている微細ボー
ルを撮像し、前記撮像して得られた画像に基づいて余剰
ボールを検出することを特徴とする余剰ボールの検出方
法。 - 【請求項１３】 前記流体は圧縮空気であることを特徴
とする請求項９に記載の余剰ボールの検出方法。 - 【請求項１４】 微細ボールを配列基板に保持するとき
に発生する余剰ボールを検出する検出装置において、 前記配列基板に保持されている微細ボールに向けて斜め
方向から光を照射する投光器と、 前記投光器によって前記配列基板上に形成される微細ボ
ールの影を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段から出力される画像データに基づいて余剰
ボールを検出する余剰ボール検出手段とを具備すること
を特徴とする余剰ボール検出装置。 - 【請求項１５】 微細ボールを配列基板に保持するとき
に発生する余剰ボールを検出する検出装置において、 前記配列基板に保持されている微細ボールを、所定の位
置に焦点距離を合わせて撮像する検出カメラと、 前記検出カメラの撮像出力に基づいて余剰ボールを検出
する余剰ボール検出手段とを具備することを特徴とする
余剰ボール検出装置。 - 【請求項１６】 前記配列基板に保持されている微細ボ
ールを前記検出カメラで撮像する際に、前記配列基板に
正常に保持されている微細ボールに焦点を合わせて撮像
することを特徴とする請求項１２に記載の余剰ボール検
出装置。 - 【請求項１７】 前記配列基板に保持されている微細ボ
ールを前記検出カメラで撮像する際に、前記配列基板に
正常に保持されている微細ボールよりも手前に焦点を合
わせて撮像することを特徴とする請求項１２に記載の余
剰ボール検出装置。 - 【請求項１８】 前記余剰ボール検出手段は、前記微細
ボールが前記配列基板上に正常に保持されている状態で
撮像して得られた画像と、前記検出カメラにより撮像さ
れた画像とを比較して余剰ボールを検出することを特徴
とする請求項１１〜１４の何れか１項に記載の余剰ボー
ル検出装置。 - 【請求項１９】 微細ボールを配列基板に保持するとき
に発生する余剰ボールを検出する装置において、 前記配列基板に保持されている微細ボールを斜め方向か
ら撮像する撮像手段と、 前記撮像手段によって得られた画像に基づいて余剰ボー
ルを検出する余剰ボール検出手段とを具備することを特
徴とする余剰ボール検出装置。 - 【請求項２０】 前記撮像手段はＣＣＤカメラであるこ
とを特徴とする請求項１６に記載の余剰ボール検出装
置。 - 【請求項２１】 微細ボールを配列基板に保持するとき
に発生する余剰ボールを検出する装置において、 前記配列基板に所定振幅の振動を印加する振動印加手段
と、 前記振動印加手段によって振動が印加されている状態の
配列基板に保持されている微細ボールを撮像する撮像手
段と、 前記撮像手段によって得られた画像に基づいて余剰ボー
ルを検出する余剰ボール検出手段とを具備することを特
徴とする余剰ボール検出装置。 - 【請求項２２】 微細ボールを配列基板に保持するとき
に発生する余剰ボールを検出する装置において、 前記配列基板に縦に連なって保持されている余剰ボール
を倒した状態にして検出する検出手段を有することを特
徴と余剰ボール検出装置。 - 【請求項２３】 微細ボールを配列基板に保持するとき
に発生する余剰ボールを検出する装置において、 前記検出手段は、所定の高さに位置決めされたボール倒
し治具を具備し、 前記配列基板を前記ボール倒し治具の上を通過させて前
記配列基板に縦に連なって保持されている余剰ボールを
倒した状態にすることを特徴とする請求項２２に記載の
余剰ボールの検出方法。 - 【請求項２４】 微細ボールを配列基板に保持するとき
に発生する余剰ボールを検出する装置において、 前記検出手段は、前記配列基板に向けて流体を噴射する
噴射手段を具備し、 前記縦に連なって保持されている余剰ボールを前記流体
により倒した状態にすることを特徴とする請求項２２に
記載の余剰ボールの検出方法。 - 【請求項２５】 微細ボールを配列基板に保持するとき
に発生する余剰ボールを検出する装置において、 前記微細ボールを保持している配列基板に対して所定の
間隔となるような高さに位置決めされたボール倒し治具
と、 前記配列基板を前記ボール倒し治具の上を通過させて余
剰ボールを倒すようにする配列基板移動手段と、 前記ボール倒し治具の上を通過させた配列基板に保持さ
れている微細ボールを撮像する撮像手段と、 前記撮像手段によって得られた画像に基づいて余剰ボー
ルを検出する余剰ボール検出手段とを具備することを特
徴とする余剰ボール検出装置。 - 【請求項２６】 微細ボールを配列基板に保持するとき
に発生する余剰ボールを検出する装置において、 前記微細ボールを保持している配列基板に向けて流体を
噴射して前記余剰ボールを倒した状態とする流体噴射装
置と、 前記流体噴射装置によって余剰ボールが倒された状態の
配列基板に保持されている微細ボールを撮像する撮像手
段と、 前記撮像手段によって得られた画像に基づいて余剰ボー
ルを検出する余剰ボール検出手段とを具備することを特
徴とする余剰ボール検出装置。 - 【請求項２７】 前記流体噴射装置から噴射される流体
は圧縮空気であることを特徴とする請求項２６に記載の
余剰ボール検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16055397A JP3927280B2 (ja) | 1996-08-30 | 1997-06-03 | 余剰ボールの検出方法及び装置 |
| PCT/JP1997/002996 WO1998009323A1 (en) | 1996-08-29 | 1997-08-28 | Method and device for forming very small ball bump |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8-248837 | 1996-08-30 | ||
| JP24883796 | 1996-08-30 | ||
| JP16055397A JP3927280B2 (ja) | 1996-08-30 | 1997-06-03 | 余剰ボールの検出方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10122832A true JPH10122832A (ja) | 1998-05-15 |
| JP3927280B2 JP3927280B2 (ja) | 2007-06-06 |
Family
ID=26487030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16055397A Expired - Fee Related JP3927280B2 (ja) | 1996-08-29 | 1997-06-03 | 余剰ボールの検出方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3927280B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10261675A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 導電性ボールの搭載方法 |
| JP2000012593A (ja) * | 1998-04-24 | 2000-01-14 | Nippon Steel Corp | ボ―ル転写方法および装置 |
| US6818849B2 (en) | 2001-03-13 | 2004-11-16 | Hitachi Metals, Ltd. | Apparatus and method for detecting abnormal balls |
| JP2014165455A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 導電性ボールの搭載状態検査装置 |
| CN116153822A (zh) * | 2023-04-18 | 2023-05-23 | 江苏芯德半导体科技有限公司 | 一种自动识别晶圆图纸上多余锡球及去除多余锡球的方法 |
-
1997
- 1997-06-03 JP JP16055397A patent/JP3927280B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10261675A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 導電性ボールの搭載方法 |
| JP2000012593A (ja) * | 1998-04-24 | 2000-01-14 | Nippon Steel Corp | ボ―ル転写方法および装置 |
| US6818849B2 (en) | 2001-03-13 | 2004-11-16 | Hitachi Metals, Ltd. | Apparatus and method for detecting abnormal balls |
| JP2014165455A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 導電性ボールの搭載状態検査装置 |
| CN116153822A (zh) * | 2023-04-18 | 2023-05-23 | 江苏芯德半导体科技有限公司 | 一种自动识别晶圆图纸上多余锡球及去除多余锡球的方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3927280B2 (ja) | 2007-06-06 |
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