JPH10120466A - 高耐食性炭化ケイ素質部材及びその用途 - Google Patents
高耐食性炭化ケイ素質部材及びその用途Info
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- JPH10120466A JPH10120466A JP24458297A JP24458297A JPH10120466A JP H10120466 A JPH10120466 A JP H10120466A JP 24458297 A JP24458297 A JP 24458297A JP 24458297 A JP24458297 A JP 24458297A JP H10120466 A JPH10120466 A JP H10120466A
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24458297A JPH10120466A (ja) | 1996-08-27 | 1997-08-26 | 高耐食性炭化ケイ素質部材及びその用途 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8-244128 | 1996-08-27 | ||
| JP24412896 | 1996-08-27 | ||
| JP24458297A JPH10120466A (ja) | 1996-08-27 | 1997-08-26 | 高耐食性炭化ケイ素質部材及びその用途 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10120466A true JPH10120466A (ja) | 1998-05-12 |
| JPH10120466A5 JPH10120466A5 (https=) | 2005-05-19 |
Family
ID=26536584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24458297A Pending JPH10120466A (ja) | 1996-08-27 | 1997-08-26 | 高耐食性炭化ケイ素質部材及びその用途 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10120466A (https=) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000281328A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-10 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体装置部材用の精製炭化珪素粉末とその精製方法、及び該粉末から得られる半導体装置部材用焼結体とその製造方法 |
| JP2002252208A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-09-06 | Ibiden Co Ltd | プラズマエッチング装置のガス噴出し板 |
| WO2016159146A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 北陸成型工業株式会社 | プラズマ処理装置用炭化ケイ素部材及びその製造方法 |
| WO2018061778A1 (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 北陸成型工業株式会社 | プラズマ処理装置用炭化ケイ素部材及びその製造方法 |
-
1997
- 1997-08-26 JP JP24458297A patent/JPH10120466A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000281328A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-10 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 半導体装置部材用の精製炭化珪素粉末とその精製方法、及び該粉末から得られる半導体装置部材用焼結体とその製造方法 |
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| WO2016159146A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 北陸成型工業株式会社 | プラズマ処理装置用炭化ケイ素部材及びその製造方法 |
| JPWO2016159146A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2018-01-25 | 北陸成型工業株式会社 | プラズマ処理装置用炭化ケイ素部材及びその製造方法 |
| US10280121B2 (en) | 2015-03-31 | 2019-05-07 | Hokuriku Seikei Industrial Co., Ltd. | Silicon carbide member for plasma processing apparatus |
| WO2018061778A1 (ja) * | 2016-09-27 | 2018-04-05 | 北陸成型工業株式会社 | プラズマ処理装置用炭化ケイ素部材及びその製造方法 |
| JPWO2018061778A1 (ja) * | 2016-09-27 | 2019-09-12 | 北陸成型工業株式会社 | プラズマ処理装置用炭化ケイ素部材及びその製造方法 |
| US11264214B2 (en) | 2016-09-27 | 2022-03-01 | Hokuriku Seikei Industrial Co., Ltd. | Silicon carbide member for plasma processing apparatus, and production method therefor |
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