JPH10119268A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JPH10119268A JPH10119268A JP28372996A JP28372996A JPH10119268A JP H10119268 A JPH10119268 A JP H10119268A JP 28372996 A JP28372996 A JP 28372996A JP 28372996 A JP28372996 A JP 28372996A JP H10119268 A JPH10119268 A JP H10119268A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- ink chamber
- photosensitive resin
- film
- jet head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 感光性樹脂で作成したインク室には耐インク
特性が無いという問題点を解決し、インクジェットヘッ
ドの加工性を高めると共に、加工コストを下げることが
課題である。 【解決手段】 感光性樹脂を使用したヘッドのインク室
に、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、ＳｉＯ2、Ａｌなどより選ばれ
る保護膜を被覆してインクジェットヘッドを作る。
特性が無いという問題点を解決し、インクジェットヘッ
ドの加工性を高めると共に、加工コストを下げることが
課題である。 【解決手段】 感光性樹脂を使用したヘッドのインク室
に、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、ＳｉＯ2、Ａｌなどより選ばれ
る保護膜を被覆してインクジェットヘッドを作る。
Description
【０００１】
【産業の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ドの構造に関する。
ドの構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のインクジェットプリンタのヘッド
部においては、個々に設けた一単位のヘッドのインク室
にインクを充填し、その中央部をモノモルフの電気−機
械変換素子（以下ピエゾという）で押し出すことによ
り、ノズルよりインク滴を吐出している。吐出したイン
ク滴はプリント対象のターゲット（紙など）に飛着する
ことで画像を形成し、印刷物となる。
部においては、個々に設けた一単位のヘッドのインク室
にインクを充填し、その中央部をモノモルフの電気−機
械変換素子（以下ピエゾという）で押し出すことによ
り、ノズルよりインク滴を吐出している。吐出したイン
ク滴はプリント対象のターゲット（紙など）に飛着する
ことで画像を形成し、印刷物となる。
【０００３】しかし、このインク室を作る上で問題なの
は、インクが若干電解質であることであり、感光性の樹
脂等でインク室を作ると簡単にインクに溶かされてしま
ったり、膨潤してしまったりして、加工性、耐久性に問
題があった。
は、インクが若干電解質であることであり、感光性の樹
脂等でインク室を作ると簡単にインクに溶かされてしま
ったり、膨潤してしまったりして、加工性、耐久性に問
題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】感光性の樹脂はインク
に接していると溶け出すなど耐インク特性に欠陥がある
ものの、インク室のような微細な形状を作るためには非
常に扱いやすい材料である。よって、本発明では感光性
樹脂を用いて、耐インク特性がにすぐれたインク室を作
成できる技術を確立することを課題とする。
に接していると溶け出すなど耐インク特性に欠陥がある
ものの、インク室のような微細な形状を作るためには非
常に扱いやすい材料である。よって、本発明では感光性
樹脂を用いて、耐インク特性がにすぐれたインク室を作
成できる技術を確立することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、インク室形成
部材と振動膜より構成されているインク室と、前記振動
膜を介したインク室に対向する位置に設けられたピエゾ
と、前記インク室に連通しているノズルを有し、前記ピ
エゾの駆動によって振動する振動膜４の作用により前記
ノズルよりインク液滴を飛翔させるインクジェットヘッ
ドにおいて、前記インク室を感光性樹脂にて形成し、該
感光性樹脂の表面をＣｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、ＳｉＯ2、Ａｌ
より選ばれる材料で被覆してすることにより達成され
る。
部材と振動膜より構成されているインク室と、前記振動
膜を介したインク室に対向する位置に設けられたピエゾ
と、前記インク室に連通しているノズルを有し、前記ピ
エゾの駆動によって振動する振動膜４の作用により前記
ノズルよりインク液滴を飛翔させるインクジェットヘッ
ドにおいて、前記インク室を感光性樹脂にて形成し、該
感光性樹脂の表面をＣｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、ＳｉＯ2、Ａｌ
より選ばれる材料で被覆してすることにより達成され
る。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１はインンクジェットヘッドの
斜視図である。また、図２は、インクジェットヘッドの
断面図およびピエゾ素子３の動きを示す模式図である。
斜視図である。また、図２は、インクジェットヘッドの
断面図およびピエゾ素子３の動きを示す模式図である。
【０００７】インク室２はインク室形成部材６と振動膜
４より構成されており、振動膜４を介したインク室２に
対向する位置にはピエゾ３が装着されている。インク滴
９は、ピエゾ３の動きによって振動する振動膜４の作用
により、インク室２と連通しているノズル１を経て外へ
飛び出し、ターゲットとなる紙等の印刷媒体へ飛着す
る。
４より構成されており、振動膜４を介したインク室２に
対向する位置にはピエゾ３が装着されている。インク滴
９は、ピエゾ３の動きによって振動する振動膜４の作用
により、インク室２と連通しているノズル１を経て外へ
飛び出し、ターゲットとなる紙等の印刷媒体へ飛着す
る。
【０００８】図６は振動膜４とピエゾ３の構成を具体的
に説明する断面図である。
に説明する断面図である。
【０００９】ピエゾ３はピエゾ素子１２の両面に電極１
１、１３が設けられた構成であり、この状態で振動膜４
に装着されている。これにより、電極１１、１３が通電
されるとピエゾ３は変位して、振動膜４を動作させる。
１、１３が設けられた構成であり、この状態で振動膜４
に装着されている。これにより、電極１１、１３が通電
されるとピエゾ３は変位して、振動膜４を動作させる。
【００１０】図５はノズル部の作成形態を示す断面図で
ある。
ある。
【００１１】ここで重要な技術として、ノズル部の作り
方は感光性樹脂２１ａをまず一枚エッチング処理し、つ
ぎに２１ｂ、２１ｃ．．．．と重ねて処理して、次々に
径の違うマスクを使用して形を作っていくことである。
これにより、流体抵抗の少ないロースト形状に似せたノ
ズル２５を作ることが可能となる。本方法でノズルを多
数並べることは、マスクさえ作れば容易にできることが
できる。
方は感光性樹脂２１ａをまず一枚エッチング処理し、つ
ぎに２１ｂ、２１ｃ．．．．と重ねて処理して、次々に
径の違うマスクを使用して形を作っていくことである。
これにより、流体抵抗の少ないロースト形状に似せたノ
ズル２５を作ることが可能となる。本方法でノズルを多
数並べることは、マスクさえ作れば容易にできることが
できる。
【００１２】図３は本発明のインクジェットヘッドの作
成方法のうち感光性樹脂の光照射しているところを示す
模式図である。
成方法のうち感光性樹脂の光照射しているところを示す
模式図である。
【００１３】インク室２の作成は、光リソグラフィの技
術を使用して、光造形技術によりエッチングする加工技
術用いる。
術を使用して、光造形技術によりエッチングする加工技
術用いる。
【００１４】Ｓｉ基板２０に感光性樹脂（商品名：三菱
レイヨンダイアロン、または商品名：日立化成ＤＦＲ
ＳＲ−３０００など）の薄膜２１を付け、その上に感光
性樹脂２２を載せてマスク２３を置き、光２４を当てて
硬化させ、光の当たらない部分のみをエッチング液に浸
してエッチングする（あるいは、感光性樹脂の光の当た
った所のみをイオンビームあるいはレーザ等で直接エッ
チングする方法もある）。これにより、図４に示すよう
に順次所望のノズル２５、インク室２６等を作成する。
レイヨンダイアロン、または商品名：日立化成ＤＦＲ
ＳＲ−３０００など）の薄膜２１を付け、その上に感光
性樹脂２２を載せてマスク２３を置き、光２４を当てて
硬化させ、光の当たらない部分のみをエッチング液に浸
してエッチングする（あるいは、感光性樹脂の光の当た
った所のみをイオンビームあるいはレーザ等で直接エッ
チングする方法もある）。これにより、図４に示すよう
に順次所望のノズル２５、インク室２６等を作成する。
【００１５】ここで、感光性樹脂で作ったインク室２は
非常に耐インク特性が悪い。つまり、インクは弱アルカ
リ性であるために、感光性樹脂はインクに数分接してい
るだけでインクを吸収して膨らんでしまい、形を留めな
いぐらいに変形するという欠点がある。あるいは、感光
性樹脂がインクに溶け出してしまうなどの欠点も有して
いる。そこで、従来は感光性樹脂を直接インクに触れる
ようにして使用することができなかったが、今回電鋳駒
を作成する過程でメッキの種を付けた状態でインク保護
膜として金属薄膜が働くか検討した結果、非常に強固な
耐インク保護膜として作用することがわかった。すなわ
ち、感光性樹脂でインク室２を形成し、その感光性樹脂
の上に金属などの耐インク保護膜を被覆する技術だけで
も、十分ヘッドとして使用できることが証明できた。
非常に耐インク特性が悪い。つまり、インクは弱アルカ
リ性であるために、感光性樹脂はインクに数分接してい
るだけでインクを吸収して膨らんでしまい、形を留めな
いぐらいに変形するという欠点がある。あるいは、感光
性樹脂がインクに溶け出してしまうなどの欠点も有して
いる。そこで、従来は感光性樹脂を直接インクに触れる
ようにして使用することができなかったが、今回電鋳駒
を作成する過程でメッキの種を付けた状態でインク保護
膜として金属薄膜が働くか検討した結果、非常に強固な
耐インク保護膜として作用することがわかった。すなわ
ち、感光性樹脂でインク室２を形成し、その感光性樹脂
の上に金属などの耐インク保護膜を被覆する技術だけで
も、十分ヘッドとして使用できることが証明できた。
【００１６】図７は、加工したインク室２にインク保護
膜８を被覆している状態を示す断面図である。ここで、
被覆するスパッタ膜は、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、ＳｉＯ2、
Ａｌなどインクの材質により相当自由に選ぶことができ
る。保護膜８は矢印３０方向からスパッタあるいはメッ
キすることにより作成される。このようにして作ったイ
ンク室と振動膜を接着固定して、図１のヘッドを作成す
る。
膜８を被覆している状態を示す断面図である。ここで、
被覆するスパッタ膜は、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、ＳｉＯ2、
Ａｌなどインクの材質により相当自由に選ぶことができ
る。保護膜８は矢印３０方向からスパッタあるいはメッ
キすることにより作成される。このようにして作ったイ
ンク室と振動膜を接着固定して、図１のヘッドを作成す
る。
【００１７】
【発明の効果】耐インク特性の弱い感光性樹脂を使用し
てインク室を形成しても、耐インク特性を付与する保護
膜を付けることで、インクジェットヘッドのインク室と
して十分な機能が果たせるようになった。
てインク室を形成しても、耐インク特性を付与する保護
膜を付けることで、インクジェットヘッドのインク室と
して十分な機能が果たせるようになった。
【図１】インクジェットヘッドの斜視図
【図２】インクジェットの断面図とピエゾ素子の変位方
向を示す模式図
向を示す模式図
【図３】感光性樹脂の光照射図
【図４】感光性樹脂で作ったインク室の断面図
【図５】感光性樹脂を積層して作ったノズル部形状を示
す断面図
す断面図
【図６】振動膜とピエゾ素子の分解模式図
【図７】本発明のインク室を示す断面図
１はノズル、２はインク室、３はピエゾ、４は振動膜、
５はインク供給流路、６はインク室形成部材、７は突
起、８は保護膜、１１、１３は電極、１２はピエゾ素子
である。
５はインク供給流路、６はインク室形成部材、７は突
起、８は保護膜、１１、１３は電極、１２はピエゾ素子
である。
Claims (1)
- 【請求項１】インク室形成部材と振動膜より構成されて
いるインク室と、前記振動膜を介したインク室に対向す
る位置に設けられたピエゾと、前記インク室に連通して
いるノズルを有し、前記ピエゾの駆動によって振動する
振動膜４の作用により前記ノズルよりインク液滴を飛翔
させるインクジェットヘッドにおいて、 前記インク室を感光性樹脂にて形成し、該感光性樹脂の
表面をＣｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ａｌ等の金属、あるいはＳｉ
Ｏ2より選ばれる材料で被覆して耐インク性能を向上さ
せたことを特徴とするインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28372996A JPH10119268A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28372996A JPH10119268A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10119268A true JPH10119268A (ja) | 1998-05-12 |
Family
ID=17669347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28372996A Pending JPH10119268A (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10119268A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1356939A3 (en) * | 2002-04-25 | 2004-04-28 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and ink-jet printer |
| JP2011126102A (ja) * | 2009-12-16 | 2011-06-30 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド用基板及び液体吐出ヘッド、およびその製造方法 |
-
1996
- 1996-10-25 JP JP28372996A patent/JPH10119268A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1356939A3 (en) * | 2002-04-25 | 2004-04-28 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and ink-jet printer |
| US6926382B2 (en) | 2002-04-25 | 2005-08-09 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and ink-jet printer |
| JP2011126102A (ja) * | 2009-12-16 | 2011-06-30 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド用基板及び液体吐出ヘッド、およびその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041208 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041217 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050608 |