JPH10107125A - 搬送装置のインターロック機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スループットを向上でき，かつ，安全性の高
い基板搬送装置のインターロック機構を得る。 【解決手段】 基板の受け渡しを行うためのアーム２７
と，アーム２７を駆動する駆動ユニットと，駆動ユニッ
トの駆動を制御する制御装置４０とを備え，かつ制御装
置４０は，アーム２７の駆動速度が速度に関するしきい
値を超えたとき，アーム２７の駆動位置のずれが位置ず
れに関するしきい値を超えたときの何れかのときに駆動
ユニットの駆動を停止させるインターロック機構を備え
た搬送装置２５，２６において，前記速度に関するしき
い値，位置ずれに関するしきい値を，搬送装置２５，２
６の通常の稼働時に設定されたしきい値と，アーム２７
の移動位置を決めるティーチング用に設定されたしきい
値とにそれぞれ切換可能に構成したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，ＬＣＤ基板や半導
体ウェハなどの基板を搬送するための搬送装置のインタ
ーロック機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば，ＬＣＤ基板や半導体ウェハなど
の製造においては，ＬＣＤ基板や半導体ウェハの上面に
レジストパターンを形成させるために，いわゆるリソグ
ラフィ処理が行われる。このリソグラフィ処理は，基板
の洗浄，基板の表面へのレジストの塗布，そのレジスト
の露光，現像など，種々の処理工程を含んでいる。

【０００３】これらの処理工程を行うための各処理装置
を一カ所に集約した処理システムでは，所定枚数の基板
を収納しているカセットから取り出された基板を，洗浄
装置，レジストコータ，現像処理装置などといった各処
理装置の間で一枚づつ搬送し，その受け渡しを行う搬送
装置が設けられている。かような搬送装置は，各処理装
置に対して基板の受け渡しを行うためのアームと，この
アームを駆動する駆動ユニットと，この駆動ユニットの
駆動を制御する制御ユニットとを備えている。そして，
制御ユニットの制御に従って移動ユニットによりアーム
を搬送路に沿って走行させ，各処理装置に対してアーム
を進入，退出させて基板の受け渡しを行うように構成さ
れている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】以上のような搬送装置
の駆動ユニットには，大型のＬＣＤ基板などの搬送に対
応するために，高トルクのモータが使用されている。こ
のため制御ユニットは，安全対策として，アームの動作
に異常を生じた場合にその駆動を停止させるためのイン
ターロック機構を備えているのが一般的である。このイ
ンターロック機構は，アームの動作を，アームの駆動速
度，アームの駆動位置のずれの２つの変化量で把握し，
アームの駆動速度が速度に関するしきい値を超えたと
き，アームの駆動位置のずれが位置ずれに関するしきい
値を超えたとき，の何れかのときに駆動ユニットの駆動
を停止させるように構成されている。

【０００５】ところで，搬送装置においてスループット
の向上をはかるためには，アームの駆動速度は速ければ
速い程良く，また，アームを駆動する力は大きければ大
きい程良い。更に，アームの駆動位置に多少のずれが生
じても，いちいち駆動ユニットの駆動を停止させずに，
搬送を続行する方が良い。そのためには，インターロッ
ク機構において，各しきい値がなるべく大きな値に設定
されていることが好ましい。

【０００６】一方，以上のような搬送装置においては，
処理システムを稼働して基板の処理を開始する前に，ア
ームの搬送路上での停止位置，各処理装置に対するアー
ムの進入位置などといったアームの移動位置（ポジショ
ン）を決めるために，いわゆるティーチングといった作
業が予め行われる。通常，このティーチングはオペレー
タが目で確認しながらアームを所定の位置に移動させ，
その位置を制御ユニットに記憶させることにより行われ
ている。このティーチングを行う場合は，オペレータが
処理システム内部に入り込んでいることも多いので，オ
ペレータの安全性確保のためにインターロック機構にお
いて設定される各しきい値は，なるべく小さい値である
ことが好ましい。即ち，ティーチングを行う場合は，各
しきい値が小さい値に設定されていることにより，アー
ムの駆動速度が少しでも速過ぎたとき，アームの駆動位
置のずれが少しでも生じたとき，の何れかの場合には直
ちに駆動ユニットの駆動を停止させること，またアーム
がオペレータや障害物にぶつかった時大きなトルクを発
生させないことが，オペレータに対する安全を確保する
ために必要である。

【０００７】従って本発明は，スループットを向上で
き，かつ，安全性の高い基板搬送装置のインターロック
機構を得ることを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明に
よれば，被処理体を搬送するための搬送手段を駆動する
駆動ユニットと，前記駆動ユニットの動作を制御する制
御ユニットと，前記搬送手段の搬送状態を監視し，搬送
状態が規定値を超えると前記駆動ユニットを停止させる
停止手段とを備え，前記規定値が，前記搬送手段の位置
的調整を行うティーチングモードと前記搬送手段を実運
転させる実運転モードとに選択的に切り替え可能に構成
されていることを特徴とする搬送装置のインターロック
機構が提供される。かかる構成によれば，搬送装置を実
運転モードで稼働させる場合とティーチングモードで稼
働させる場合とで切り替えることができる。また，搬送
装置の移送手段の移動状態が規定値を超えた場合には，
駆動ユニットが停止するため，搬送装置の移送手段の稼
働が停止する。

【０００９】この基板搬送装置のインターロック機構に
おいて，請求項２に記載の発明のように，前記駆動ユニ
ットは，搬送手段を駆動するサーボモータと，このサー
ボモータを電気的に駆動するドライバとにより構成さ
れ，前記停止手段は，前記搬送手段の搬送速度と搬送手
段の位置のずれを監視し，これらの内少なくとも１つが
個々の規定値を超えると前記駆動ユニットを停止させる
か，または前記駆動ユニットが一定以上のトルクを発生
させないようにするのが良い。

【００１０】請求項３の発明は，被処理体を回転させる
回転型の搬送手段を駆動する駆動ユニットと，前記駆動
ユニットの動作を制御する制御ユニットと，前記駆動ユ
ニットの回転状態を監視し，回転状態が規定値を超える
と前記駆動ユニットを停止させる停止手段とを備え，前
記規定値が，前記搬送手段の回転速度の調整を行うティ
ーチングモードと前記搬送手段を実運転させる実運転モ
ードとに選択的に切り替え可能に構成されていることを
特徴とする。

【００１１】さらに，本発明の基板搬送装置のインター
ロック機構においては，請求項４に記載の発明のよう
に，前記制御ユニットは，ティーチングモードでは，前
記規定値を実運転モードの規定値より低い値に設定する
のが良い。

【００１２】請求項５に記載の発明によれば，基板の受
け渡しを行うためのアームを駆動する駆動ユニットと，
前記駆動ユニットの動作を制御する制御ユニットとを備
え，前記制御ユニットは，アームの駆動速度が速度に関
するしきい値を超えたとき，又は，アームの駆動位置の
ずれが位置ずれに関するしきい値を超えたときのいずれ
かのときに，前記駆動ユニットの動作を停止させるよう
に構成され，かつ，前記速度に関するしきい値及び位置
ずれに関するしきい値が，搬送装置の通常の稼働モード
とアームの移動位置を決めるティーチングモードとにそ
れぞれ切換可能に構成されていることを特徴としてい
る。かかる構成によれば，通常の稼働モード及びティー
チングモードの各場合における速度に関するしきい値，
位置ずれに関するしきい値をそれぞれ設定し，これらの
しきい値を超えた場合には，アームを停止させる。

【００１３】さらに，この基板搬送装置のインターロッ
ク機構においては，請求項６に記載の発明のように，前
記ティーチングモードとして設定された速度に関するし
きい値及び位置ずれに関するしきい値が，前記搬送装置
の通常の稼働モードとして設定された速度に関するしき
い値及び位置ずれに関するしきい値よりも，それぞれ小
さく設定するのが良い。

【００１４】請求項７に記載の発明によれば，前記制御
ユニットは，ティーチングモードとして設定される前記
アームの移動位置を記憶する第１のメモリと，通常の稼
働モードとして設定されるアームの速度に関するしきい
値Ａ及びアームの位置ずれに関するしきい値Ｂと，ティ
ーチングモードとして設定されるアームの速度に関する
しきい値ａ（＜Ａ）及びアームの位置ずれに関するしき
い値ｂ（＜Ｂ）とを記憶する第２のメモリを備えている
ことを特徴としている。かかる構成によれば，第１のメ
モリにはティーチング時のアームの移動位置が記憶さ
れ，第２のメモリには，通常の稼働時のためにアームに
しきい値Ａ，Ｂが，ティーチング時のためにしきい値
ａ，ｂが各々記憶される。

【００１５】そして請求項８に記載の発明によれば，前
記制御ユニットは，ティーチングモードにおいて前記第
２のメモリからしきい値ａ，ｂを読み込み，これらしき
い値に基づいてオペレータによって手動的に設定され
る，アームが基板を受け渡しする位置を前記第１のメモ
リに記憶することを特徴としている。かかる構成によれ
ば，ティーチング時においてオペレータ自身が設定した
アームの基板受け渡し位置を第１のメモリに記憶させる
と共に，制御ユニットは第２のメモリからの小さなしき
い値ａ，ｂを読み込むために，アームがこれらのしきい
値を少しでも超えた場合には，アームの稼働が停止す
る。したがって，オペレータの安全が図れる。

【００１６】請求項９に記載の発明によれば，基板を搬
送する搬送装置を駆動するサーボモータを含む駆動ユニ
ットと，前記駆動ユニットをティーチングモードと稼働
モードとに切り換える機能及び前記駆動ユニットを監視
し，前記駆動ユニットの状態が規定値を超えると前記駆
動ユニットの動作を停止する機能を有する制御ユニット
と，前記規定値を，前記ティーチングモードにおいて前
記稼働モードにおけるよりも小さく設定する手段とによ
り構成されることを特徴としている。

【００１７】そして請求項９に記載の前記制御ユニット
は，請求項１０に記載した発明のように，前記制御ユニ
ットは，前記サーボモータを駆動する指令パルス，前記
サーボモータをオンまたはオフにするサーボ信号及びテ
ィーチングモードと稼働モードとを切り替えるパラメー
タチェンジ信号を前記駆動ユニットに送り，前記駆動ユ
ニットは，パラメータチェンジ信号がオフの時に，ティ
ーチングモードとなり前記サーボモータのトルク，加速
度を含む制御パラメータを稼働モードにおける前記サー
ボモータの定格値以下の値に設定するようにしても良
い。

【００１８】請求項１１に記載の発明によれば，前記駆
動ユニットは，指令パルスをカウントするカウンタを有
し，前記制御ユニットは前記駆動ユニットのカウンタを
監視し，このカウンタがオーバーフロしたとき前記駆動
ユニットを停止することを特徴としている。かかる構成
によれば，例えばアームがオペレータと衝突してサーボ
モータが回転しなくなり，駆動ユニットの指令パルスを
数えるカウンタのカウンタ値がオーバーフロすると，駆
動ユニットが停止する。従って，迅速な対応処置を施す
ことができ，スループットの低下が避けられる。

【００１９】本発明の搬送装置のインターロック機構に
おいて，基板の処理を行うための通常の稼働時は，各し
きい値を大きな値に設定する。これにより，アームの駆
動速度が多少速過ぎることとなった場合や，アームの駆
動位置に多少のずれが生じた場合にも，いちいち駆動ユ
ニットの駆動を停止させずに，搬送を続行し，スループ
ットの向上をはかる。

【００２０】一方，本発明のインターロック機構におい
て，アームの移動位置を決めるティーチング時には，各
しきい値を小さな値に設定する。これにより，アームの
駆動速度が少しでも速過ぎることとなった場合や，アー
ムの駆動位置のずれが少しでも大きくなり過ぎることと
なった場合，の何れの場合にも直ちに駆動ユニットの駆
動を停止させてオペレータの安全を確保する。また，ア
ームがオペレータや障害物等に衝突した時，大きなトル
クを発生させないことがオペレータに対する安全を確保
するために必要である。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下，添付の図面を参照しながら
本発明の好ましい実施の形態について説明する。

【００２２】先ず，図１をもとにして処理システム全体
から説明する。この処理システム１の前方には，ＬＣＤ
基板の如き基板Ｓを，処理システム１に対して搬入・搬
出するローダ・アンローダ部（カセット・ステーショ
ン）２が設けられている。このローダ・アンローダ部２
には，基板Ｓを例えば２５枚ずつ収納したカセットＣを
所定位置に整列させて載置させるカセット載置台３と，
各カセットＣから処理すべき基板Ｓを取り出し，また，
処理システム１において処理の終了した基板Ｓを各カセ
ットＣへ戻すローダ・アンローダ４が設けられている。
図示のローダ・アンローダ４は，本体５の走行によって
カセットＣの配列方向に移動し，本体５に搭載された板
片状のピンセット６によって各カセットＣから基板Ｓを
取り出し，また，各カセットＣへ基板Ｓを戻すようにな
っている。また，ピンセット６の両側には，基板Ｓの四
隅を保持して位置合わせ（アライメント）を行う基板位
置合わせ部材７が設けられている。

【００２３】また上記ローダ・アンローダ部２の両端に
は，本体５を挟んで光学センサ８，８が備えられてい
る。この光学センサ８，８は検出光を発する発光部８ａ
と検出光を受光する受光部８ｂとをそれぞれ有してい
る。そして，本体５の両側には光学センサ８，８の発光
部８ａからの検出光を反射する反射板９，９が各々備え
られている。従って，光学センサ８，８の発光部８ａを
出た検出光は，反射板９によって反射して受光部８ｂに
常時届くように構成されている。

【００２４】処理システム１の中央部には，長手方向に
配置された廊下状の搬送路１０，１１が受け渡し部１２
を介して一直線上に設けられており，この搬送路１０，
１１の両側には，基板Ｓに対する各処理を行うための各
種処理装置が配置されている。

【００２５】図示の処理システム１にあっては，搬送路
１０の一側方に，基板Ｓをブラシ洗浄するためのブラシ
スクラバ１５と高圧ジェット水により洗浄を施すための
高圧ジェット洗浄機１６が並設されている。また，搬送
路１０を挟んで反対側に，現像装置１７が二基並設さ
れ，その隣りに二基の加熱装置１８が積み重ねて設けら
れている。

【００２６】そして，搬送路１０の両端には，先に説明
した光学センサ８と同様の光学センサ１３，１３が備え
られており，後述する第１の搬送装置２５の装置本体３
２の両側には，これら各光学センサ１３，１３からの検
出光を反射する反射板１４，１４が備えられている。従
って，先と同様に，光学センサ１３，１３の発光部を出
た検出光が，反射板１４，１４によって反射して光学セ
ンサ１３，１３の受光部に常時届くように構成されてい
る。

【００２７】また，搬送路１１の一側方には，基板Ｓに
レジスト膜を塗布する前に基板Ｓを疎水処理するアドヒ
ージョン装置２０が設けられ，このアドヒージョン装置
２０の下方には冷却用のクーリング装置２１が配置され
ている。また，これらアドヒージョン装置２０とクーリ
ング装置２１の隣には加熱装置２２が二列に二個ずつ積
み重ねて配置されている。また，搬送路１１を挟んで反
対側に，基板Ｓにレジスト液を塗布することによって基
板Ｓの表面にレジスト膜（感光膜）を形成するレジスト
膜塗布装置２３が二台並設されている。図示はしない
が，これらレジスト膜塗布装置２３の側部には，基板Ｓ
上に形成されたレジスト膜に所定の微細パターンを露光
するための露光装置等が設けられる。

【００２８】そして，搬送路１１の両端にも，先に説明
した光学センサ８と同様の光学センサ１９，１９が備え
られており，後述する第２の搬送装置２６の両側面に
は，これら各光学センサ１９，１９からの検出光を反射
する反射板２４，２４が備えられている。従って，先と
同様に，光学センサ１９，１９の発光部を出た検出光
が，反射板２４，２４によって反射して光学センサ１
９，１９の受光部に常時届くように構成されている。

【００２９】以上の各処理装置１５〜１８及び２０〜２
３は，何れも搬送路１０，１１の両側において，基板Ｓ
の出入口を内側に向けて配設されている。そして，第１
の搬送装置２５がローダ・アンローダ部２，各処理装置
１５〜１８及び受け渡し部１２との間で基板Ｓを搬送す
るために搬送路１０上を移動し，第２の搬送装置２６が
受け渡し部１２及び各処理装置２０〜２３との間で基板
Ｓを搬送するために搬送路２６上を移動するようになっ
ている。各搬送装置２５，２６は，それぞれ上下一対の
アーム２７，２７を有しており，各処理装置１５〜１８
及び２０〜２３にアクセスするときは，一方のアーム２
７で各処理装置のチャンバから処理済みの基板Ｓを搬出
し，他方のアーム２７で処理前の基板Ｓをチャンバ内に
搬入するように構成されている。

【００３０】例えば，第１の搬送装置２５により現像装
置１７に対して基板Ｓを搬入・搬出する場合について説
明すると，図２に示すように，搬送路１０に面する現像
装置１７の側面には，基板Ｓの出入口３０が設けられて
いる。第１の搬送装置２５の装置本体３２は，搬送路１
０に沿ってシステム１の長手方向（図２中Ｘ方向）に走
行するように構成されており，この装置本体３２の上面
に，先に説明した上下一対のアーム２７，２７が装着さ
れている。これらアーム２７，２７は，装置本体３２に
内蔵されている図示しない駆動ユニットによって，シス
テム１の長手方向（図２中Ｘ方向），システム１の長手
方向と直交する方向（図２中Ｙ方向），上下方向（図２
中Ｚ方向）にそれぞれ移動できるように構成されてお
り，更に，Ｚ方向を中心にして回転できるように構成さ
れている。

【００３１】そして，図３に示すように，搬送路１０に
沿って走行させた装置本体３２を現像装置１７の前に停
止させる。次に，図示しない駆動ユニットによってアー
ム２７，２７をＺ方向を中心に回転させると共に，アー
ム２７，２７をＺ方向に昇降移動させて，アーム２７，
２７の先端を現像装置１７の出入口３０に対向させる。
次に，一方の（例えば上方の）アーム２７を出入口３０
から現像装置１７内部に嵌入させ，現像処理済みの基板
Ｓを現像装置１７内部から搬出する。その後，他方の
（例えば下方の）アーム２７で，まだ現像処理をしてい
ない基板Ｓを現像装置１７内部に搬入する。以上のよう
にして，現像装置１７に対する基板Ｓの搬入・搬出が行
われるようになっている。

【００３２】なお，一例として第１の搬送装置２５によ
り現像装置１７に対して基板Ｓを搬入・搬出する場合に
ついて説明したが，その他のブラシスクラバ１５，高圧
ジェット洗浄機１６，加熱装置１８，及びローダ・アン
ローダ４に対しても，第１の搬送装置２５によって，同
様に基板Ｓの搬入・搬出及び受け渡しが行われる。また
同様に，アドヒージョン装置２０，クーリング装置２
１，加熱装置２２，レジスト膜塗布装置２３に対して
は，第２の搬送装置２６によって，基板の搬入・搬出が
行われる。更に，受け渡し部１２を介してこれら第１の
搬送装置２５と第２の搬送装置２６の間で基板Ｓの受け
渡しが行われるようになっている。

【００３３】図４は，搬送装置２５，２６のアーム２７
について行われる制御を示すブロック図である。制御装
置４０は，第１の記憶部４１と第２の記憶部４２，及び
検知部４３とを備えている。第１の記憶部４１には，後
述するティーチングによって決められる搬送装置２５，
２６のアーム２７の移動位置が記憶されるようになって
いる。第２の記憶部４２には，各しきい値Ａ，Ｂ，Ｃ及
び各しきい値ａ，ｂ，ｃが記憶されている。

【００３４】しきい値Ａ，Ｂ，Ｃは搬送装置２５，２６
の通常の稼働時用に設定されたしきい値であり，それぞ
れ以下の通りである。

【００３５】 Ａ ： 通常の稼働時のアーム２７の速度に関するしき
い値 Ｂ ： 通常の稼働時のアーム２７の位置ずれに関する
しきい値 Ｃ ： 通常の稼働時のアーム２７の駆動力に関するし
きい値

【００３６】一方，しきい値ａ，ｂ，ｃは搬送装置２
５，２６のアーム２７の移動位置を決めるティーチング
用に設定されたしきい値であり，それぞれ以下の通りで
ある。

【００３７】 ａ ： ティーチング時のアーム２７の速度に関するし
きい値 ｂ ： ティーチング時のアーム２７の位置ずれに関す
るしきい値 ｃ ： ティーチング時のアーム２７の駆動力に関する
しきい値

【００３８】各しきい値Ａ，Ｂ，Ｃは，各しきい値ａ，
ｂ，ｃよりも，それぞれ大きく設定されている。即ち，
Ａ＞ａ，Ｂ＞ｂ，Ｃ＞ｃ，の関係になっている。後述す
るように，アーム２７の移動位置を決めるティーチング
時においては，制御装置４０にはしきい値ａ，ｂ，ｃが
読み込まれる。一方，搬送装置２５，２６の通常の稼働
時においては，制御装置４０にはしきい値Ａ，Ｂ，Ｃが
読み込まれる。

【００３９】アーム２７の図示しない駆動ユニットに
は，制御装置４０の指令に従って，サーボモータ部４５
に所定の電源が供給されるようになっている。このサー
ボモータ部４５により，アーム２７が適宜稼働して，各
処理装置１５〜１８及び２０〜２３，ローダ・アンロー
ダ４に対して基板Ｓの搬入・搬出，受け渡しを行う。

【００４０】また，アーム２７の駆動速度，アーム２７
の駆動位置のずれ，及びアーム２７を駆動する力は，サ
ーボモータ部４５のサーボモータ５４の回転数やトルク
等として電気信号に変換されて，この電気信号が何れも
制御装置４０にフィードバックされている。そして，後
述するようにアーム２７の移動位置を決めるティーチン
グ時においては，制御装置４０は，このフィードバック
された各値を，しきい値ａ，ｂ，ｃと比較して，何れか
一つでもしきい値を超えるものがある場合は，アーム２
７の駆動ユニットの駆動を停止させるようになってい
る。また，搬送装置２５，２６の通常の稼働時において
は，制御装置４０は，このフィードバックされた各値を
しきい値Ａ，Ｂ，Ｃと比較して，何れか一つでもしきい
値を超えるものがある場合は，アーム２７の駆動ユニッ
トの駆動を停止させるようになっている。なお，このよ
うに駆動ユニットの駆動を停止させた場合は，警告灯４
６が点灯するようになっている。

【００４１】そして，制御装置４０に備えられた検出部
４３は，上述のように処理システム１内に合計で６台設
けられた各光学センサからの情報を検出すると共に，こ
の情報に応じてアーム２７の駆動を制御可能なように構
成されている。

【００４２】さらに，処理システム１全体のインターロ
ック機構の設定について図５を参照しながら説明する
と，処理システム１の処理装置をそれぞれ駆動する複数
の駆動ユニット５１がコネクションボード５２を介して
ブロックコントローラ５３と接続している。そして上記
複数の駆動ユニット５１の内の１つは，搬送装置２５，
２６のアーム２７を駆動するために使用されている。各
駆動ユニット５１は，サーボモータ５４と，このサーボ
モータ５４を制御するドライバ５５，そして入力装置と
してのデジタルオペレータ５６から構成されている。

【００４３】上記ブロックコントローラ５３は，サーボ
モータ５４を制御する制御ボード（ＥＩＭＣ）及び通信
ボード（ＡＮＥＴ）から構成されている。通信ボード
（ＡＮＥＴ）にはパーソナルコンピュータ５９が接続さ
れている。このパーソナルコンピュータ５９は，処理シ
ステム１全体及び他の処理システムを制御するために必
要なレシピ情報を記憶しており，サーボモータ５４を動
かすために必要な位置情報を通信ボード（ＡＮＥＴ）に
出力する。また，上記制御ボード（ＥＩＭＣ）には通信
ポート６０が設けられており，この通信ポート６０に治
具パーソナルコンピュータ６１が接続される。この治具
パーソナルコンピュータ６１は，搬送装置２５，２７の
調整に関するソフトウェアを格納している。

【００４４】そして，この処理システム１においてティ
ーチング作業を行う場合には，まずデジタルオペレータ
５６によって，サーボモータ５４のトルクリミットや加
速度リミット等の調整パラメータがドライバ５５に設定
される。そして，治具パーソナルコンピュータ６１によ
り，ティーチング作業のソフトウェアの情報が制御ボー
ド（ＥＩＭＣ）に設定されると，当該ティーチング作業
がスタートする。この時，制御ボード（ＥＩＭＣ）は，
後述する指令パルス，サーボ信号，及びパラメータチェ
ンジ信号をコネクションボード５２を介して調整すべき
処理装置の駆動ユニット５１，例えば搬送装置２５，２
７の駆動ユニット５１に送る。ここで，上記の指令パル
スはサーボモータ５４を駆動させるパルスであり，上記
サーボ信号はサーボモータ５４を稼働または停止させる
ためにドライバ５５から送られる信号であり，上記パラ
メータチェンジ信号は処理システム１をティーチングモ
ードまたは通常モードに切り換えるために用いられる信
号である。

【００４５】制御ボード（ＥＩＭＣ）から駆動ユニット
５１に上記パラメータチェンジ信号が送られない場合に
は，処理システム１はティーチングモードとなる。この
ティーチングモード時においてサーボモータ５４のトル
クリミットは，通常の稼働時におけるサーボモータ５４
のトルクリミットの２０〜３０パーセント程度に相当す
る。そして，このトルクリミットの値がドライバ５５に
入力され，この入力に応じてサーボモータ５４が駆動す
る。従って，ティーチングモード時のサーボモータ５４
は，通常の稼働時におけるサーボモータ５４のトルクリ
ミットの定格値に対して，２０〜３０パーセント程度の
出力しか発現しなくなる。そしてもちろん，上記パラメ
ータチェンジ信号が制御ボード（ＥＩＭＣ）から駆動ユ
ニット５１に送られた場合には，処理システム１は通常
モードとなり，サーボモータ５４は１００パーセントの
定格出力を発現するようになる。

【００４６】さらにパラメータチェンジ信号によりティ
ーチングモードが設定されると，ドライバ５５は，これ
をティーチングモード信号として制御ボード（ＥＩＭ
Ｃ）に送る。ティーチングモード信号を検出した制御ボ
ード（ＥＩＭＣ）は，サーボ信号と指令パルスをドライ
バ５５に送る。ドライバ５５は指令パルスに従ってサー
ボモータ５４を駆動するが，この時サーボモータ５４の
トルクリミットは通常の稼働時における定格値の２０〜
３０パーセントとなる。

【００４７】また，ドライバ５５は偏差カウンタ（図示
せず）を有しており，この偏差カウンタ（図示せず）に
よって指令パルスをカウントしながらサーボモータ５４
を回転させている。そしてこの偏差カウンタ（図示せ
ず）は制御ボード（ＥＩＭＣ）によって監視されてお
り，サーボモータ５４が指令パルスに従って正常に回転
している間は偏差カウンタ（図示せず）の値が一定に維
持されるが，サーボモータ５４が何らかの原因，例えば
アームがオペレータや障害物等と衝突してサーボモータ
５４が回転しなくなると，上記の指令パルスが偏差カウ
ンタ（図示せず）にインクリメントされ続け，偏差カウ
ンタ（図示せず）のカウンタ値が増加して行き，やがて
オーバーフローとなる。偏差カウンタ（図示せず）がこ
のようにオーバフローした場合には，この情報が制御ボ
ード（ＥＩＭＣ）に送られると共に，制御ボード（ＥＩ
ＭＣ）は指令パルスの出力を停止し，ドライバ５５の稼
働を停止させる。その結果，指令パルスの出力が停止す
ると共にサーボ信号の出力も切れるため，サーボモータ
５４が停止する。

【００４８】以上説明したように，本発明の実施の形態
にかかる基板搬送装置のインターロック機構は，ティー
チング時においては，サーボモータ５４に大きなトルク
リミットと加速度リミットを与えず，アーム２７にオペ
レータや障害物が衝突した場合には，サーボモータ５４
の稼働を停止させてアーム２７の移動を停止させること
が可能となる。

【００４９】上記のティーチング作業が終了し処理装置
が適正に調整されると，通常の稼働時の情報，即ちアー
ムの速度に関するしきい値Ａ，位置ずれに関するしきい
値Ｂ及び駆動力に関するしきい値Ｃがパーソナルコンピ
ュータ５９にコピーされて使用される。

【００５０】そして，このパーソナルコンピュータ５９
からのパラメータチェンジ信号が通信ボード（ＡＮＥ
Ｔ）を介して制御ボード（ＥＩＭＣ）に送られる。この
時，制御ボード（ＥＩＭＣ）には，指令パルス及び各し
きい値Ａ，Ｂ及びＣが送られ，制御ボード（ＥＩＭＣ）
は，パーソナルコンピュータ５９に入力された情報に従
って駆動ユニット５１内のサーボモータ５４を制御する
ため，処理システム１は通常モードで稼働する。

【００５１】そして，処理システム１が通常モードで稼
働する場合には，パーソナルコンピュータ５９がパラメ
ータチェンジ信号を通信ボード（ＡＮＥＴ）を介して制
御ボード（ＥＩＭＣ）に送る。これにより，制御ボード
（ＥＩＭＣ）が通常モードに設定されると共に，指令パ
ルス及びしきい値Ａ〜Ｃが制御ボード（ＥＩＭＣ）に送
られる。制御ボード（ＥＩＭＣ）はコネクションボード
５２を介して駆動ユニット５１を制御し，これにより，
処理システム１は通常モードで稼働される。

【００５２】本発明の実施の形態にかかる搬送装置を有
する処理システム１全体は以上のように構成されてい
る。次に，この処理システム１全体の動作，作用につい
て説明する。この処理システム１において基板Ｓのリソ
グラフィ処理を行う場合に際しては，先ず，予めティー
チング操作を行うことにより，搬送装置２５，２６のア
ーム２７の移動位置を決定する。このティーチング時に
おいては，制御装置４０は，第２の記憶部４２から小さ
い値であるしきい値ａ，ｂ，ｃを読み込む。そして，例
えばオペレータが目で確認しながらアーム２７を基板Ｓ
を受け渡しする位置に移動させ，その位置を制御装置４
０の第１の記憶部４１に記憶させる。

【００５３】ティーチングを行う場合には，オペレータ
が処理システム１内部に入り込んでいることも多いが，
制御装置４０に読み込まれるしきい値が，小さい値のし
きい値ａ，ｂ，ｃに切り替えられているので，アーム２
７の駆動速度が少しでも速過ぎたとき，アーム２７の駆
動位置のずれが少しでも生じたとき，アーム２７を駆動
する力が少しでも大きくなり過ぎたとき，の何れかの場
合には直ちにアーム２７の駆動が停止するので，安全で
ある。

【００５４】また，先に説明したように，処理システム
１内には合計６台の上記光学センサ８，８，光学センサ
１３，１３，光学センサ１９，１９及び，これらの光学
センサに夫々対応する反射板９，９，反射板１４，１
４，反射板２４，２４が設けられている。従って，例え
ばローダ・アンローダ部２の中に人が入って作業をして
いるような場合は，光学センサ８，８の発光部８ａから
照射された検出光が作業者によって遮られ，受光部８ｂ
に届かなくなる。その場合は，直ちにローダ・アンロー
ダ部２の本体５を停止させるための停止信号をローダ・
アンローダ部２に伝達する。また同様に，例えば，搬送
路１０の中に人が入って作業をしているような場合は，
光学センサ１３，１３の発光部から照射された検出光が
作業者によって遮られ，受光部に届かなくなる。その場
合は，直ちに第１の搬送装置２５のアーム２７を停止さ
せるための停止信号を伝達する。更に同様に，例えば，
搬送路１１の中に人が入って作業をしているような場合
は，光学センサ１９，１９の発光部から照射された検出
光が作業者によって遮られ，受光部に届かなくなる。そ
の場合は，直ちに第２の搬送装置２６のアーム２７を停
止させるための停止信号を伝達する。このように，ロー
ダ・アンローダ部２，搬送路１０，１１のいずれかに作
業者が入っているような場合も，ローダ・アンローダ部
２の本体５や搬送装置２５，２６のアーム２７が直ちに
停止するので，オペレータの安全が確保される。

【００５５】ティーチングの終了後，処理システム１に
おけるリソグラフィ処理を開始する。このように基板Ｓ
の処理を行うための搬送装置２５，２６の通常の稼働時
には，制御装置４０は，第２の記憶部４２から大きい値
であるしきい値Ａ，Ｂ，Ｃを読み込む。

【００５６】そして先ず，図１に示すようにローダ・ア
ンローダ部２に載置されたカセットＣ内からローダ・ア
ンローダ４によって基板Ｓを取り出し，これを搬送装置
２５のアーム２７に受け渡す。アーム２７は基板Ｓをブ
ラシスクラバ１５に搬入し，ブラシスクラバ１５はその
基板Ｓをブラシ洗浄処理する。なお，プロセスに応じて
高圧ジェット洗浄機１６内にて高圧ジェット水により基
板Ｓを洗浄するようにしてもよい。このようにして洗浄
した基板Ｓをアーム２７で搬送して，加熱装置１８内に
搬入し，加熱，乾燥する。

【００５７】こうして乾燥処理の終了した基板Ｓは，次
いでアドヒージョン装置２０にてアドヒージョン処理さ
れる。更に，クーリング装置２１で基板Ｓを冷却した後
に，レジスト膜塗布装置２３にてレジストを基板Ｓの表
面に塗布する。そして，基板Ｓを加熱装置２２で加熱処
理した後に，露光装置（図示せず）でレジスト膜を露光
処理する。そして，露光後の基板Ｓを現像装置１７内へ
搬入し，現像処理が行われる。そして現像処理の終了
後，基板Ｓはアーム２７で現像装置１７から搬出され，
その基板Ｓは加熱装置１８で再び加熱されて乾燥され，
さらにローダ・アンローダ部２に載置されたカセットＣ
内に収納される。

【００５８】このような搬送装置２５，２６の通常の稼
働時には，制御装置４０に読み込まれるしきい値が，大
きい値のしきい値Ａ，Ｂ，Ｃに切り替えられているの
で，アーム２７の駆動速度が多少速過ぎることとなった
場合や，アーム２７を駆動する力が多少大き過ぎること
となった場合，アーム２７の駆動位置に多少のずれが生
じた場合にも，いちいち駆動ユニットの駆動を停止させ
ずに，搬送を続行することができる。従って，スループ
ットの向上をはかることができる。

【００５９】以上，本発明の好ましい実施の形態につい
て説明したが，本発明は以上に説明した形態に限られな
いことは勿論であり，種々の変形実施が可能である。図
６に示す搬送装置１００は，容器１０１内にて被処理体
としての基板Ｓを保持するスピンチャック１０２と，こ
のスピンチャック１０２を回転させて，基板Ｓを回転駆
動するための駆動ユニット１０３を備えている。そし
て，駆動ユニット１０３の動作を制御ユニット１０５に
よって制御すると共に，駆動ユニット１０３の稼働によ
って回転される基板Ｓの回転状態をセンサ１０６により
監視し，回転状態が規定値を超えると駆動ユニット１０
３を停止させるように構成されている。また，駆動ユニ
ット１０３を停止させる規定値は，搬送装置１００の回
転速度の調整を行うティーチングモードと，搬送装置１
００を実運転させる実運転モードとに選択的に切り替え
可能に構成されている。かかる構成によれば，搬送装置
１００を実運転モードで稼働させる場合とティーチング
モードで稼働させる場合とで切り替えることができる。
また，搬送装置１００の回転状態が規定値を超えた場合
には，駆動ユニット１０３が停止するため，搬送装置１
００の稼働が停止する。

【００６０】

【発明の効果】本発明によれば，基板搬送装置において
アームの駆動を停止させるしきい値を通常の稼働時とテ
ィーチング時で切り替えることにより，通常の稼働時に
おけるスループットを向上でき，また，ティーチング時
における高い安全性を得ることができるといった特徴が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかる搬送装置を備えた
処理システムの斜視図である。

【図２】搬送装置の動作説明図である。

【図３】搬送装置の動作説明図である。

【図４】搬送装置のアームについて行われる制御を示す
ブロック図である。

【図５】本発明の実施の形態にかかる搬送装置のインタ
ーロック機構の説明図である。

【図６】本発明の他の実施の形態にかかる搬送装置のイ
ンターロック機構の説明図である。

【符号の説明】

Ｓ 基板 １ 処理システム ２５，２６ 搬送装置 ２７ アーム ４０ 制御装置 ４１ 第１の記憶部 ４２ 第２の記憶部 Ａ，Ｂ，Ｃ 通常の稼働時用に設定されたしきい値 ａ，ｂ，ｃ ティーチング用に設定されたしきい値

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田上 真也 熊本県菊池郡大津町大字高尾野字平成272 番地の４ 東京エレクトロン九州株式会社 大津事業所内 (72)発明者 岩崎 達也 熊本県菊池郡大津町大字高尾野字平成272 番地の４ 東京エレクトロン九州株式会社 大津事業所内

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被処理体を搬送するための搬送手段を駆
   動する駆動ユニットと， 前記駆動ユニットの動作を制御する制御ユニットと， 前記搬送手段の搬送状態を監視し，搬送状態が規定値を
   超えると前記駆動ユニットを停止させる停止手段とを備
   え， 前記規定値が，前記搬送手段の位置的調整を行うティー
   チングモードと前記搬送手段を実運転させる実運転モー
   ドとに選択的に切り替え可能に構成されていることを特
   徴とする搬送装置のインターロック機構。
2. 【請求項２】 前記駆動ユニットは，搬送手段を駆動す
   るサーボモータと，このサーボモータを電気的に駆動す
   るドライバとにより構成され， 前記停止手段は，前記搬送手段の搬送速度と搬送手段の
   位置のずれを監視し，これらの内少なくとも１つが個々
   の規定値を超えると前記駆動ユニットを停止させるか，
   または前記駆動ユニットが一定以上のトルクを発生させ
   ないようにさせることを特徴とする請求項１の搬送装置
   のインターロック機構。
3. 【請求項３】 被処理体を回転させる回転型の搬送手段
   を駆動する駆動ユニットと， 前記駆動ユニットの動作を制御する制御ユニットと， 前記駆動ユニットの回転状態を監視し，回転状態が規定
   値を超えると前記駆動ユニットを停止させる停止手段と
   を備え， 前記規定値が，前記搬送手段の回転速度の調整を行うテ
   ィーチングモードと前記搬送手段を実運転させる実運転
   モードとに選択的に切り替え可能に構成されていること
   を特徴とする搬送装置のインターロック機構。
4. 【請求項４】 前記制御ユニットは，ティーチングモー
   ドでは，前記規定値を実運転モードの規定値より低い値
   に設定する請求項２又は３の基板搬送装置のインターロ
   ック機構。
5. 【請求項５】 基板の受け渡しを行うためのアームを駆
   動する駆動ユニットと，前記駆動ユニットの動作を制御
   する制御ユニットとを備え， 前記制御ユニットは，アームの駆動速度が速度に関する
   しきい値を超えたとき，又は，アームの駆動位置のずれ
   が位置ずれに関するしきい値を超えたときのいずれかの
   ときに，前記駆動ユニットの動作を停止させるように構
   成され， かつ，前記速度に関するしきい値及び位置ずれに関する
   しきい値が，搬送装置の通常の稼働モードとアームの移
   動位置を決めるティーチングモードとにそれぞれ切換可
   能に構成されていることを特徴とする搬送装置のインタ
   ーロック機構。
6. 【請求項６】 前記ティーチングモードとして設定され
   た速度に関するしきい値及び位置ずれに関するしきい値
   が，前記搬送装置の通常の稼働モードとして設定された
   速度に関するしきい値及び位置ずれに関するしきい値よ
   りも，それぞれ小さく設定されている請求項５の搬送装
   置のインターロック機構。
7. 【請求項７】 前記制御ユニットは，ティーチングモー
   ドとして設定される前記アームの移動位置を記憶する第
   １のメモリと，通常の稼働モードとして設定されるアー
   ムの速度に関するしきい値Ａ及びアームの位置ずれに関
   するしきい値Ｂと，ティーチングモードとして設定され
   るアームの速度に関するしきい値ａ（＜Ａ）及びアーム
   の位置ずれに関するしきい値ｂ（＜Ｂ）とを記憶する第
   ２のメモリを備えている請求項５又は６の搬送装置のイ
   ンターロック機構。
8. 【請求項８】 前記制御ユニットは，ティーチングモー
   ドにおいて前記第２のメモリからしきい値ａ，ｂを読み
   込み，これらしきい値に基づいてオペレータによって手
   動的に設定される，アームが基板を受け渡しする位置を
   前記第１のメモリに記憶する請求項７の搬送装置のイン
   ターロック機構。
9. 【請求項９】 基板を搬送する搬送装置を駆動するサー
   ボモータを含む駆動ユニットと， 前記駆動ユニットをティーチングモードと稼働モードと
   に切り換える機能及び前記駆動ユニットを監視し，前記
   駆動ユニットの状態が規定値を超えると前記駆動ユニッ
   トの動作を停止する機能を有する制御ユニットと， 前記規定値を，前記ティーチングモードにおいて前記稼
   働モードにおけるよりも小さく設定する手段と，により
   構成される搬送装置のインターロック機構。
10. 【請求項１０】 前記制御ユニットは，前記サーボモー
    タを駆動する指令パルス，前記サーボモータをオンまた
    はオフにするサーボ信号及びティーチングモードと稼働
    モードとを切り替えるパラメータチェンジ信号を前記駆
    動ユニットに送り，前記駆動ユニットは，パラメータチ
    ェンジ信号がオフの時に，ティーチングモードとなり前
    記サーボモータのトルク，加速度を含む制御パラメータ
    を稼働モードにおける前記サーボモータの定格値以下の
    値に設定する請求項８の搬送装置のインターロック機
    構。
11. 【請求項１１】 前記駆動ユニットは，指令パルスをカ
    ウントするカウンタを有し，前記制御ユニットは前記駆
    動ユニットのカウンタを監視し，このカウンタがオーバ
    ーフロしたとき前記駆動ユニットを停止する請求項８の
    搬送装置のインターロック機構。