JPH10103947A - 測定条件設定ガイド付き表面粗さ形状測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 表面粗さ形状測定の測定条件の設定洩れや間
違いがなく容易に設定できる表面粗さ形状測定機を提供
する。 【解決手段】 表面粗さ形状測定機に、測定条件選択画
面を表示する表示部２１と、表示部２１に表示された測
定条件を作業者が指定する入力手段２３と、指定された
測定条件を設定する測定条件設定部２２とを備える。そ
して、測定条件を順次表示し作業者に順次指定させるこ
とによって測定条件を順次設定し、すべての測定条件の
設定が完了した後に測定が開始できるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワークの表面粗
さ、断面形状、うねり等（以下、まとめて「表面粗さ形
状」という。）を求める表面粗さ形状測定機に係わり、
その中で、測定条件設定ガイドを備えた表面粗さ形状測
定機に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図３に一般的な表面粗さ形状測定機の測
定部３０を示す。図３に示すように、ベース３１に立設
されたコラム３２に送り装置３３が設けられ、触針３５
を有し触針３５のＺ方向（鉛直方向）の変位を検出する
検出器３４が、送り装置３３にＸ方向（水平方向）移動
自在に設けられている。送り装置３３には検出器３４の
Ｘ方向の移動量を検出するスケールが内蔵されている。
これによって、ワークＷの測定位置に触針３５を当接し
た状態で検出器３４をＸ方向に移動させると、触針３５
のＺ方向の変位が検出器３４で検出され、検出器３４の
Ｘ方向の移動量が送り装置３３のスケールで検出され
て、ワークＷの測定データが得られる。

【０００３】ところで、表面粗さ形状測定機ではワーク
測定に当たって、また、測定して得られた測定データの
解析に際して各種の測定条件をあらかじめ設定しておく
必要がある。 （イ）測定種別（表面粗さ測定、断面形状測定、うねり
測定等） （ロ）測定レンジ（検出器３４のＺ方向検出可能範囲） （ハ）測定速度（検出器３４のＸ方向移動速度） （ニ）カットオフ値（粗さとうねりを分けるための基準
波長） （ホ）評価長さ（解析し評価する部分） （ヘ）傾斜補正方法（最小二乗直線補正、最小二乗多項
式曲線補正、スプライン曲線補正等） （ト）カットオフフィルタの種類（２ＣＲ（非補償）、
２ＣＲ（補償）、ガウシアン等） （チ）短波長カットオフフィルタ（触針先端半径による
微細波長領域の誤差の影響を除去するもの）の内容 （リ）戻り速度（測定後の検出器３４のＸ方向戻り速
度） （ヌ）リターン（触針３５の当接位置から予備駆動長さ
分だけ戻って測定すること）設定の有無 （ル）予備駆動長さ（測定開始位置から評価長さ開始位
置まで、又は評価長さ終了位置までの長さ） （オ）算出規格（解析の基準となる規格で、ＪＩＳ−１
９８２、ＪＩＳ−１９９４、ＤＩＮ、ＩＳＯ、ＡＮＳＩ
等） （ワ）パラメータ

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】すなわち、表面粗さ形
状を正しく求めるためには、このように多くの測定条件
を設定しなければならない。表面粗さ形状測定に慣れた
熟練者にとっては問題はないことでも、不慣れな者にと
って、これらを理解し正確に設定するのはかなり困難な
作業である。測定条件の設定方法は通常、取扱説明書に
記載されているが、それを理解するのは簡単ではない。
熟練者が事細かに指導していくことが一般的である。し
たがって、不慣れな作業者が測定する場合には、測定条
件の設定に時間がかかったり、測定条件の設定が間違っ
たために測定のやり直しをしたりすることが多い。

【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、表面粗さ形状測定の測定条件の設定洩れや間違
いがなく容易に設定できる表面粗さ形状測定機を提供す
ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、測定条件選択画面を順次表示し、作業者が
表示された測定条件について順次指定していくと、自然
にすべての測定条件が設定されるようにする。そして、
すべての測定条件の設定が完了した後に測定が開始でき
るようにする。そのために、表面粗さ形状測定機に、測
定条件選択画面を表示する表示部と、その表示部に表示
された測定条件について作業者が指定する入力手段と、
指定された測定条件の内容を設定する測定条件設定部と
を設ける。なお、指定の方法は、測定条件選択画面に設
定可能な選択肢も表示しその中から選択する方法と、項
目のみを表示し数字等を入力する方法があり、測定条件
の種類によって使い分けることができる。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明に係る表面粗さ形状測定機
の実施の形態のブロック図を図２に示す。図２に示すよ
うに、表面粗さ形状測定機は、測定条件選択画面を表示
する表示部２１、表示部２１に表示された測定条件につ
いて作業者が指定する入力手段２３、入力手段２３によ
って指定された測定条件の内容を設定する測定条件設定
部２２が設けられている。また、従来と同様であるが、
前述した測定部３０の測定動作を制御する測定駆動制御
部２４、測定部３０から出力される触針３５の変位と検
出器３４の移動量を電気信号に変換する信号変換部２
５、その電気信号による測定データを解析する測定デー
タ解析部２６が設けられている。そして、測定動作の指
示は前述した入力手段２３から行われ、表示部２１には
解析結果が表示される。

【０００８】次に、図１に示すフローチャートを用いて
操作手順を説明する。まず、作業者が入力手段２３によ
って測定条件設定ガイドを指示すると（ステップ１
１）、表示部２１に測定種別選択画面（断面測定、粗さ
測定、ろ波うねり測定等）が表示される（ステップ１２
ａ）。そこで、その画面の中から作業者が入力手段２３
によって測定種別として例えば「粗さ測定」を指定する
（ステップ１２ｂ）と、測定条件設定部２２によって
「粗さ測定」が測定種別として設定される（ステップ１
２ｃ）。

【０００９】次に、表示部２１に測定速度選択画面
（「０．００３」、「０．００６」、……、「３」、
「６」等）が表示される（ステップ１３ａ）。そこで、
その画面の中から作業者が入力手段２３によって測定速
度として例えば「０．６」を指定する（ステップ１３
ｂ）と、測定条件設定部２２によって「０．６mm/sec」
が測定速度として設定される（ステップ１３ｃ）。

【００１０】すると、今度は、表示部２１にカットオフ
値選択画面（「０．０８」、「０．２５」、「０．
８」、「２．５」、「８」、「２５」等）が表示される
（ステップ１４ａ）。そこで、その画面の中から作業者
が入力手段２３によってカットオフ値として例えば、
「０．８」を指定する（ステップ１４ｂ）と、測定条件
設定部２２によって「０．８mm」がカットオフ値として
設定される（ステップ１４ｃ）。

【００１１】さらに、表示部２１に評価長さ選択画面が
表示される（ステップ１５ａ）。評価長さはカットオフ
値の倍数で設定することが多く、この例でも倍数を入力
手段２３によって入力する（ステップ１５ｂ）。例え
ば、カットオフ値が０．８mmと設定されている場合、倍
数を「５」と入力すると、評価長さは「４mm」と設定さ
れる（ステップ１５ｃ）。

【００１２】以上設定した測定条件は測定内容が変わる
ごとに設定し直すことが多いので、１画面ずつ表示した
が、この他の測定条件の中で「傾斜補正方法、カットオ
フフィルタの種類、短波長カットオフフィルタの内容、
戻り速度、リターン設定の有無、予備駆動長さ、算出規
格」については変更することが少ないので、まとめて
（２つ程度の画面で）表示する。例えば、「傾斜補正方
法、カットオフフィルタの種類、短波長カットオフフィ
ルタの内容、戻り速度」を一つの画面で、「リターン設
定の有無、予備駆動長さ、算出規格」をもう一つの画面
で表示する。ただし、図１ではこれをまとめて「その他
の測定条件」として表わしている。

【００１３】すなわち、測定速度が設定された（ステッ
プ１５ｃ）後、表示部２１にその他の測定条件選択画面
が表示される（ステップ１６ａ）。そこで、その画面の
中から作業者が入力手段２３によってその他の測定条件
を指定する（ステップ１６ｂ）。 例えば、傾斜補正方
法は「最小二乗直線」、カットオフフィルタの種類は
「２ＣＲ（非補償）」、短波長カットオフフィルタの内
容は「無し」、戻り速度は「３mm/sec」、リターン設定
の有無は「無し」、予備駆動長さは「カットオフ値の３
分の１」、算出規格は「ＪＩＳ−１９８２」と指定され
ると、測定条件設定部２２によってその内容が設定され
る（ステップ１６ｃ）。なお、パラメータについては、
あらかじめ別途設定しておく。

【００１４】以上で、すべての測定条件の設定が完了し
たので実際の測定ができるようになる。この実施の形態
では、この後、表示部２１に測定レンジと検出器零位置
の設定画面が現れる（ステップ１７ａ）ので、作業者は
検出器３４をワーク測定ができる状態にセットした後、
入力手段２３によって測定レンジと検出器零位置を指定
する（ステップ１７ｂ）と、指定された測定レンジと検
出器零位置が信号変換部２５で設定される（ステップ１
７ｃ）。この後、測定を開始する。測定長さは「予備駆
動長さ＋評価長さ＋予備駆動長さ」となる。

【００１５】なお、以上説明した実施の形態では、測定
条件の設定を測定種別、測定速度、カットオフ値、評価
長さ、その他の測定条件の順としたが、これに限らず、
別の順にしても、１画面ずつのものをまとめて表示した
り、まとめて表示したものを１画面ずつにしても、本発
明が適用できることはいうまでもない。また、表示部２
１と入力手段２３は通常のＣＲＴ（又は液晶式表示装
置）とキーボードでもよいが、表示と入力を一体化した
タッチパネル式表示装置にすると、指定操作がし易くな
ることが多い。

【００１６】さらに、以上記述した内容では表面粗さ形
状測定機についてであったが、これに限らず、輪郭形状
測定機、真円度測定機等の測定機についても本発明を同
様に適用することが可能である。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、表
面粗さ形状測定機に、測定条件選択画面を表示する表示
部と、その表示部に表示された測定条件について作業者
が指定する入力手段と、指定された測定条件を設定する
測定条件設定部とを備え、測定条件選択画面を順次表示
し作業者に順次指定させることによって測定条件を順次
設定し、すべての測定条件の設定が完了した後に測定が
開始できるようにした。したがって、表面粗さ形状測定
の測定条件の設定洩れや間違いがなく容易に設定でき
る。また、初心者には表面粗さ形状測定の測定条件に何
が必要かを学ぶことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る表面粗さ形状測定機の実施の形態
の測定条件設定手順のフローチャート

【図２】本発明に係る表面粗さ形状測定機の実施の形態
のブロック図

【図３】一般的な表面粗さ形状測定機の測定部外観図

【符号の説明】

１１……測定条件設定ガイド指示ステップ １２ａ、１２ｂ、１２ｃ……測定種別設定ステップ １３ａ、１３ｂ、１３ｃ……測定速度設定ステップ １４ａ、１４ｂ、１４ｃ……カットオフ値設定ステップ １５ａ、１５ｂ、１５ｃ……評価長さ設定ステップ １６ａ、１６ｂ、１６ｃ……その他の測定条件設定ステ
ップ １７ａ、１７ｂ、１７ｃ……測定レンジと検出器零位置
設定ステップ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】測定条件選択画面を表示する表示部と、 その表示部に表示された測定条件について作業者が指定
   する入力手段と、 指定された測定条件を設定する測定条件設定部と、を備
   え、 前記測定条件選択画面を順次表示し、表示された測定条
   件について作業者に順次指定させることによって測定条
   件を順次設定し、すべての測定条件の設定が完了した後
   に測定が開始できるようにしたことを特徴とする測定条
   件設定ガイド付き表面粗さ形状測定機。
2. 【請求項２】測定条件設定ガイドを指示すると、前記表
   示部に測定種別選択画面が表示され、 前記測定種別選択画面の中から作業者が測定種別を指定
   すると、指定された測定種別が設定され、 次に、前記表示部に測定速度選択画面が表示され、 前記測定速度選択画面の中から作業者が測定速度を指定
   すると、指定された測定速度が設定され、 次に、前記表示部にカットオフ値選択画面が表示され、 前記カットオフ値選択画面の中から作業者がカットオフ
   値を指定すると、指定されたカットオフ値が設定され、 次に、前記表示部に評価長さ選択画面が表示され、 前記評価長さ選択画面の中から作業者が評価長さを指定
   すると、指定された評価長さが設定され、 次に、前記表示部にその他の測定条件選択画面が表示さ
   れ、 前記その他の測定条件選択画面の中から作業者がその他
   の測定条件を指定すると、指定されたその他の測定条件
   が設定されることを特徴とする請求項１に記載の測定条
   件設定ガイド付き表面粗さ形状測定機。
3. 【請求項３】前記表示部と前記入力手段がタッチパネル
   式表示装置であることを特徴とする請求項１又は請求項
   ２に記載の測定条件設定ガイド付き表面粗さ形状測定
   機。