JP3241615B2

JP3241615B2 - 表面粗さ形状測定機の測定条件自動設定方法及びその装置

Info

Publication number: JP3241615B2
Application number: JP30713396A
Authority: JP
Inventors: 重文久米
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 1996-11-01
Filing date: 1996-11-01
Publication date: 2001-12-25
Anticipated expiration: 2016-11-01
Also published as: JPH10132554A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワークの表面粗
さ、断面形状、うねり等（以下、まとめて「表面粗さ形
状」という。）を求める表面粗さ形状測定機の測定条件
設定方法及びその装置に関する。

【従来の技術】

【０００２】図３に一般的な表面粗さ形状測定機の測定
部４０を示す。図３に示すように、ベース４１に立設さ
れたコラム４２に送り装置４３が設けられ、触針４５を
有し触針４５のＺ方向（鉛直方向）の変位を検出する検
出器４４が、送り装置４３にＸ方向（水平方向）移動自
在に設けられている。送り装置４３には検出器４４のＸ
方向の移動量を検出するスケールが内蔵されている。こ
れによって、ワークＷの測定位置Ｗａに触針４５を当接
した状態で検出器４４をＸ方向に移動させると、触針４
５のＺ方向の変位が検出器４４で検出され、検出器４４
のＸ方向の移動量が送り装置４３のスケールで検出され
て、ワークＷの測定データが得られる。

【０００３】この場合、図４に示すように、ワークＷは
一般的に、解析し評価する部分である評価長さＬｎの前
後に予備駆動長さＬｐを加えた全測定長さＬｔが測定さ
れる。なお、図４に示した基準長さＬは粗さ形状を計算
するときの基本単位となる長さで、評価長さＬｎは基準
長さＬの整数倍に設定される。また、得られた評価長さ
Ｌｎの部分の測定データは、後述する本発明の実施の形
態の中で説明するように、測定データ解析部で解析され
るが、解析結果は主としてパラメータの種類を使用して
表わされる。パラメータの種類は表面粗さ形状の特性を
表すもので算出規格ごとに各種設定されており、表面粗
さは「Ｒａ５、Ｒｙ１５」等と表わす。本明細書では記
号部分（Ｒａ、Ｒｙ等）を「パラメータ」又は「パラメ
ータの種類」、数値部分（５、１５等）を「その値」又
は「パラメータ値」といい、両方をまとめていうときは
「パラメータ及びその値」と記述する。

【０００４】ところで、表面粗さ形状測定機ではワーク
測定に当たって、また、測定して得られた測定データの
解析に際して各種の測定条件をあらかじめ設定しておく
必要がある。測定条件としては次のようなものがある。（イ）測定種別（表面粗さ測定、断面形状測定、うねり
測定等）（ロ）算出規格（解析の基準となる規格で、本発明では
ＪＩＳ、ＤＩＮ、ＩＳＯ、ＡＮＳＩを対象とするが、特
にＪＩＳについては１９８２年版と１９９４年版の２種
類を対象とし、それぞれＪＩＳ−１９８２、ＪＩＳ−１
９９４と表わす。）（ハ）パラメータの種類（ニ）測定レンジ（検出器４４のＺ方向検出可能範囲）（ホ）測定速度（検出器４４のＸ方向移動速度）（ヘ）カットオフ値（粗さとうねりを分けるための基準
波長）（ト）評価長さＬｎ（チ）傾斜補正方法（最小二乗直線補正、最小二乗多項
式曲線補正、スプライン曲線補正等）（リ）カットオフフィルタの種類（ＪＩＳ−１９８２で
は２ＣＲ（非補償）又は２ＣＲ（補償）、その他ではガ
ウシアン）（ヌ）短波長カットオフフィルタ（触針先端半径による
微細波長領域の誤差の影響を除去するもの）の内容（ル）戻り速度（測定後の検出器４４のＸ方向戻り速
度）（オ）リターン（触針４５の当接位置から予備駆動長さ
分だけ戻って測定開始すること）設定の有無（ワ）予備駆動長さＬｐ

【０００５】これらの中で、測定レンジ、測定速度、カ
ットオフ値、評価長さＬｎは、従来、次のようにして設
定していた。測定レンジは、大きい方が測定可能範囲が
広くなるが分解能が粗くなるため、あらかじめ手動で検
出器４４を送りながら測定データの最大変位量を探り、
大きいレンジ（小さな倍率）から徐々に小さいレンジ
（大きい倍率）に切り替え設定する。また、測定速度
は、高速の方が測定時間が短くなるが、検出器４４の検
出が追従できないと意味がないので、低速から徐々に速
度を上げていき、測定データの様子等から最適な速度を
設定する。

【０００６】さらに、カットオフ値は、各算出規格で設
定方法が決められているが、いずれもパラメータ及びそ
の値によって設定されるものであり表面粗さ形状の大き
さがわからないと設定できないため、パラメータ及びそ
の値がわかっていないワークの場合は暫定的に測定し、
その測定データを見て設定する。そして、評価長さＬｎ
は、一般的にカットオフ値を基準に設定されており、カ
ットオフ値の設定がされた後に設定する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】すなわち、表面粗さ形
状を正しく求めるためには、このように多くの測定条件
を設定しなければならない。表面粗さ形状測定に慣れた
熟練者にとっては問題はないことでも、不慣れな者にと
って、これらを理解し正確に設定するのはかなり困難な
作業である。測定条件の設定方法は通常、取扱説明書に
記載されているが、それを理解するのは簡単ではない。
熟練者が事細かに指導していくことが一般的である。し
たがって、不慣れな作業者が測定する場合には、測定条
件の設定に時間がかかったり、測定条件の設定が間違っ
たために測定のやり直しをしたりすることが多い。

【０００８】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、表面粗さ形状測定の測定条件が容易に設定でき
る測定条件自動設定方法及びその装置を安価に提供する
ことを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、仮の測定条件で一度ワークを測定し、その
測定データを用いて正式な測定条件を自動的に算出し設
定するようにする。この場合、前述した測定条件の中
で、測定内容が変わるごとに設定し直すことが多いのは
測定レンジ、測定速度、カットオフ値、評価長さＬｎ
で、この他の測定条件で傾斜補正方法、カットオフフィ
ルタの種類、短波長カットオフフィルタの内容、戻り速
度、リターン設定の有無、予備駆動長さＬｐは変更する
ことが少ない。

【００１０】したがって、本発明では、測定レンジ、測
定速度、カットオフ値、評価長さＬｎを自動的に設定す
ることにした。これで通常の測定には十分効果があり、
これらに絞ることによって前記の目的を安価に解決する
ことができる。また、パラメータについてはかなり多く
の種類があり、その選定にも時間がかかるので、本発明
では測定種別及び算出規格が指定されると両方に該当す
るパラメータのみを表示し、その中から作業者が指定で
きるようにする。なお、パラメータ及びその値は測定し
ようとするワークの図面に記載されているものを用いる
と、測定結果から直ちにワークの評価をすることができ
る。

【００１１】さて、本発明では、作業者は、測定種別と
算出規格を指定するとともに、その結果抽出表示される
各種パラメータの中から必要なパラメータを選択して指
定し、その後ワークを測定（仮測定）する。すると、測
定データの最大変位量から測定レンジが、測定データの
最大傾斜から測定速度が設定される。また、パラメータ
及びその値からカットオフ値が設定され、設定されたカ
ットオフ値から評価長さＬｎが算出される。なお、パラ
メータの指定とともにその値も入力するとその値がカッ
トオフ値の算出等に使用されるが、パラメータ値を入力
しないと測定データからパラメータ値が算出される。

【００１２】各測定条件は次のようにして自動的に設定
する。（イ）測定レンジは、あらかじめ設定された幾種類かの
測定レンジの中から、測定データの最大変位量（Ｚ方
向）の２倍が測定可能で、最小のものを選択する。（ロ）測定速度は、測定データの最大傾斜を求めるとと
もに、あらかじめ設定された速度をその最大傾斜で割っ
た値を算出し、その値以下で、あらかじめ設定された幾
種類かの測定速度の中から最大のものを選択する。（ハ）カットオフ値は、あらかじめ設定された「パラメ
ータとカットオフ値との関係（パラメータをその値によ
っていくつかに区分し、各々にカットオフ値を設定した
もの）」の中から、設定されたパラメータ及びその値が
該当する値を選択する。パラメータが複数指定されてい
るときは、あらかじめ決められた優先順に従ってその最
も高いパラメータを用いる。（ニ）評価長さＬｎは、算出規格力がＪＩＳ−１９９
４、ＤＩＮ、ＩＳＯ、ＡＮＳＩの場合は、設定されたカ
ットオフ値の５倍とする。また、算出規格がＪＩＳ−１
９８２の場合は、カットオフ値の３倍又は基準長さＬの
３倍のいずれか長い方とする。

【００１３】なお、本発明では、その他の測定条件（測
定レンジ、測定速度、カットオフ値、評価長さ以外）
は、あらかじめ設定された内容が仮測定時に使用される
とともに、正式な測定条件でもそのままの内容が用いら
れる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明に係る測定条件自動設定装
置の実施の形態のブロック図を図２に示す。図２に示す
ように、この実施の形態では、作業者が測定条件の指定
等をする入力手段２１、入力手段２１で指定された測定
種別及び算出規格の両方に該当するパラメータを抽出す
るパラメータ抽出部２２、パラメータ抽出部２２で抽出
され表示部（図示省略）に表示されたパラメータの中か
ら、作業者が入力手段２１で指定したパラメータを設定
するパラメータ設定部２３が設けられている。

【００１５】また、あらかじめ設定された幾種類かの測
定レンジの中から、測定データの最大変位量の２倍が測
定可能で、最小のものを選択し設定する測定レンジ設定
部２４、測定データの最大傾斜求めるとともに、あらか
じめ設定された速度をその最大傾斜で割った値を算出
し、その値以下で、あらかじめ設定された幾種類かの測
定速度の中から最大の測定速度を選択し設定する測定速
度設定部２５、あらかじめ設定された「パラメータとカ
ットオフ値との関係」の中から、設定されたパラメータ
及びその値が該当するカットオフ値を選択し設定するカ
ットオフ値設定部２６、あらかじめ設定された「カット
オフ値と評価長さとの関係」の中から、カットオフ値に
該当する評価長さＬｎを選択し設定する評価長さ設定部
２７が設けられている。

【００１６】さらに、従来と同様であるが、前述した測
定部４０の測定動作を制御する測定駆動制御部３１、測
定部４０から出力される触針４５の変位量と検出器４４
の移動量を電気信号に変換する信号変換部３２、その電
気信号による測定データを解析する測定データ解析部３
３が設けられている。そして、その他の測定条件の中
の、戻り速度、リターン設定の有無、予備駆動長さの
「測定動作に係わる」条件設定部３４、傾斜補正方法、
カットオフフィルタの種類、短波長カットオフフィルタ
の内容の「解析に係わる」条件設定部３５が設けられて
いる。

【００１７】なお、仮の測定動作の指示は前述した入力
手段２１から行われる。また、表示部は図示しないが、
抽出されたパラメータ、各測定条件、測定データの解析
結果等が表示される。また、図２で、ブロック間の実線
の接続線は本発明に直接係わる測定条件自動設定の流れ
を主として表し、破線の接続線は測定条件自動設定後の
流れを主として表している。

【００１８】次に、図１に示すフローチャートを用いて
作用を説明する。まず、測定種別及び算出規格を作業者
が指定する（ステップ１１）と、指定された測定種別及
び算出規格の両方に該当するパラメータが表示される
（ステップ１２）。例えば、測定種別が「表面粗さ」
で、算出規格が「ＪＩＳ−１９９４」であったとする
と、算術平均粗さ、最大高さ、十点平均粗さ、凹凸の平
均間隔、局部山頂の平均間隔等のパラメータが表示され
る。算出規格が「ＪＩＳ−１９８２」であると、中心線
平均粗さ、最大高さ、十点平均粗さのパラメータが表示
される。

【００１９】次に、作業者は、表示されたパラメータの
中から該当するパラメータを指定し（ステップ１３）、
該当ワークについてパラメータ値（許容値）が分かって
いてその値を指定する場合（ステップ１４）はその値を
入力して（ステップ１５）から、ワークを測定する（ス
テップ１６）。すると、得られた測定データがあらかじ
め設定された仮の測定条件及び指定されたパラメータ
（及びその値）で解析されて、測定レンジ、測定速度、
カットオフ値、評価長さが次のように算出され設定され
る（ステップ１７）。

【００２０】測定レンジは、あらかじめ設定された幾種
類かの測定レンジの中から、仮測定で得られた測定デー
タの最大変位量の２倍が測定可能で最小のものが選択さ
れる。例えば、図５に示すように、測定データＤの最大
変位量Ｚｐが２５μｍで、あらかじめ設定されている測
定レンジが±４μｍ、±４０μｍ、±４００μｍである
場合、±４０μｍのレンジが選択される。また、最大変
位量Ｚｐの中間が零点に設定される。

【００２１】測定速度Ｖｘは、測定データの最大傾斜求
めるとともに、あらかじめ設定された速度をその最大傾
斜で割った値を算出し、その値以下で、あらかじめ設定
された幾種類かの測定速度の中から最大のものに設定さ
れる。測定データの傾斜θとは、触針４５の変位量△Ｚ
を検出器４４の移動量△Ｘで割った値であるが、１点お
き（隣り同士）に採ると測定誤差等が大きい場合に実際
より大きな傾斜になるので、実際には図６に示すように
何点かおきに採る。そして、その中の最大傾斜θmaxを
求め、あらかじめ設定したＺ方向の許容速度Ｖｚ（例え
ば６．２８μｍ/sec）を最大傾斜θmaxで割った値以下
で、あらかじめ設定された幾種類かの測定速度の中から
最大のものが選定される。これを式で表わすと次のよう
になる。 θａ＝｜△Ｚａ／△Ｘ｜ …（１） θｂ＝｜△Ｚｂ／△Ｘ｜ …（２）Ｖｘ≦Ｖｚ／θmax …（３）

【００２２】カットオフ値は、あらかじめ設定された
「パラメータとカットオフ値との関係」の中から、指定
されたパラメータ及びその値が該当する値に設定される
が、算出規格及びパラメータ値の設定方法（作業者によ
って入力されるか、測定データから算出されるか）によ
って方法の細部は異なる。

【００２３】算出規格がＪＩＳ−１９８２の場合は、パ
ラメータ値の設定方法に関係なく、パラメータとして
「中心線平均粗さ」を用いて（このパラメータが作業者
によって入力されていなければ、測定データから算出し
て）設定する。そして、パラメータ値（例えば、１２．
５μｍ）を境として２区分に分け、２種類のカットオフ
値（例えば、０．８ｍｍと２．５ｍｍ）のいずれかに設
定する。

【００２４】算出規格がＪＩＳ−１９９４、ＤＩＮ、Ｉ
ＳＯ、ＡＮＳＩの場合で、パラメータ値として、「算術
平均粗さ」の値、「最大高さ」の値、「十点平均粗さ」
の値、「凹凸の平均間隔」の値、「局部山頂の平均間
隔」の値のいずれか１つでも作業者によって入力されて
いるときは、その値を用いて設定する。複数のパラメー
タについてその値が入力されているときは、それらの中
から、「算術平均粗さ、最大高さ、十点平均粗
さ、凹凸の平均間隔、局部山頂の平均間隔」の優先
順で選定したパラメータを用いる。そして、パラメータ
値の５区分（例えば、「算術平均粗さ」の場合は、境界
値が、０．０２μｍ、０．１μｍ、２μｍ、１０μｍ）
によって、５種類のカットオフ値（例えば、０．０８ｍ
ｍ、０．２５ｍｍ、０．８ｍｍ、２．５ｍｍ、８ｍｍ）
のいずれかに設定する。

【００２５】算出規格がＪＩＳ−１９９４の場合で、パ
ラメータ値として、「算術平均粗さ」の値、「最大高
さ」の値、「十点平均粗さ」の値、「凹凸の平均間隔」
の値、「局部山頂の平均間隔」の値のいずれもが作業者
によって入力されていないときは、作業者が指定したパ
ラメータについてその値を測定データから算出して用い
る。

【００２６】算出規格がＤＩＮ、ＩＳＯ、ＡＮＳＩの場
合で、パラメータ値として、「算術平均粗さ」の値、
「最大高さ」の値、「十点平均粗さ」の値、「凹凸の平
均間隔」の値、「局部山頂の平均間隔」の値のいずれも
が作業者によって入力されていないときは、まず、測定
データのパワーグラフから周期性が判別される。測定デ
ータのパワーグラフは図７に示すように、横軸に周波数
Ｆ、縦軸に粗さ曲線の全振幅Ｇをプロットしたもので、
粗さ波形の周期性を判別するものである。周期性がある
かどうかは、全振幅Ｇが最大の部分の全振幅Ｇａと、そ
の他の全振幅Ｇｋの二乗和の平方根との比で判別され、
次の式（４）で表わされる条件の場合は周期性があると
判別する。その他の全振幅Ｇｋの二乗和を「Σ(Ｇ
ｋ)²」とし、「Σ(Ｇｋ)²」の平方根をＭとおくと、Ｇａ≧Ｍ／２…（４）

【００２７】その結果、周期性がないと判断された場合
は、作業者が指定したパラメータの中から、算術平均粗
さ、最大高さ、十点平均粗さのいずれかを選出し、その
パラメータ値を測定データから算出する。複数のパラメ
ータが指定されているときは、それらの中から、「算
術平均粗さ、最大高さ、十点平均粗さ」の優先順で
選定したパラメータを用いる。そして、パラメータ値の
５区分（例えば、「十点平均粗さ」の場合は、境界値
が、０．１μｍ、０．５μｍ、１０μｍ、５０μｍ）に
よって、５種類のカットオフ値（例えば、０．０８ｍ
ｍ、０．２５ｍｍ、０．８ｍｍ、２．５ｍｍ、８ｍｍ）
のいずれかに設定する。

【００２８】測定データのパワースペクトラムから周期
性があると判断された場合は、作業者が指定したパラメ
ータの中から、凹凸の平均間隔、局部山頂の平均間隔の
いずれかを選出し、そのパラメータ値を測定データから
算出する。複数のパラメータが指定されているときは、
それらの中から、「凹凸の平均間隔、局部山頂の平
均間隔」の優先順で選定したパラメータを用いる。そし
て、パラメータ値の５区分（例えば、「凹凸の平均間
隔」の場合は、境界値が、０．０３２μｍ、０．１μ
ｍ、０．３２μｍ、１．０ｐｍ）によって、５種類のカ
ットオフ値（例えば、０．０８ｍｍ、０．２５ｍｍ、
０．８ｍｍ、２．５ｍｍ、８ｍｍ）のいずれかに設定す
る。

【００２９】なお、算出規格がＪＩＳ−１９９４、ＤＩ
Ｎ、ＩＳＯ、ＡＮＳＩの場合は、パラメータの種類は非
常に多くあり、前述した以外のパラメータが指定される
こともあるが、その場合は、これら５つのパラメータの
中で、指定されたパラメータとの関係が最も深いパラメ
ータを選定し、その値を測定データから算出して前述し
たように用いる。その場合の優先順位は前述した例と同
じである。例えば、５つのパラメータの中で「算術平均
粗さ」が指定されていないが、それに関係の深いパラメ
ータが指定されている場合は、「算術平均粗さ」の値が
測定データから算出され、その値がカットオフ値の設定
に使用される。

【００３０】評価長さＬｎは、算出規格がＪＩＳ−１９
８２の場合は、カットオフ値の３倍又は基準長さＬの３
倍のいずれか長い方に設定される。この場合、基準長さ
Ｌは、パラメータ値として「最大高さ」の値又は「十点
平均粗さ」の値が作業者によって入力されている場合
は、その値（両方が入力されている場合は「最大高さ」
の値）によって、入力されていない場合は測定データか
ら「最大高さ」の値を算出して、その値の５区分（例え
ば、「最大高さ」の場合は、境界値が、０．８μｍ、
６．３μｍ、２５μｍ、１００μｍ）によって、５種類
の基準長さ（例えば、０．２５ｍｍ、０．８ｍｍ、２．
５ｍｍ、８ｍｍ、２５ｍｍ）のいずれかに設定される。

【００３１】算出規格がＪＩＳ−１９９４、ＤＩＮ、Ｉ
ＳＯ、ＡＮＳＩの場合は、評価長さＬｎはカットオフ値
の５倍に設定される。

【００３２】なお、仮測定時には、例として、各測定条
件が次のように設定されている。（イ）測定レンジ……±４００μｍ（ロ）測定速度Ｖｘ……１．５mm/sec （ハ）カットオフ値……０．８（パラメータ値が入力さ
れている場合はその値から設定する）（ニ）評価長さＬｎ……自動設定と同じ方法でカットオ
フ値等により設定（ホ）傾斜補正方法……最小二乗曲線補正（ヘ）カットオフフィルタの種類……ＪＩＳ−１９８２
の場合は２ＣＲ（非補償）、その他の場合はガウシアン（ト）短波長カットオフフィルタ……カットオフ値の３
００分の１（チ）戻り速度……６mm/sec （リ）リターン設定……無（ヌ）予備駆動長さＬ……カットオフ値の半分

【００３３】また、前述したように、この他の測定条件
で傾斜補正方法、カットオフフィルタの種類、短波長カ
ットオフフィルタの内容、戻り速度、リターン設定の有
無、予備駆動長さは変更することが少ないが、変更が必
要な場合は従来どおり、入力手段２１によって設定すれ
ばよい。

【００３４】なお、以上説明した実施の形態では表面粗
さ測定についてであったが、これに限らず、うねり測
定、断面形状測定についても本発明を同様に適用するこ
とが可能である。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、作
業者が、測定種別と算出規格を指定するとともに、その
結果抽出表示される各種パラメータの中から必要なパラ
メータを選択して指定し、その後ワークを測定（仮測
定）すると、測定条件のうち、測定内容が変わるごとに
設定し直すことが比較的多い「測定レンジ、カットオフ
値、評価長さ、測定速度」について自動的に設定される
ようにした。したがって、表面粗さ形状測定の測定条件
が容易に設定できる測定条件自動設定方法及びその装置
を安価に提供することができる。また、算出規格がＤＩ
Ｎ、ＩＳＯ、ＡＮＳＩの場合、周期性の判別は従来ワー
クを目視して行っていたが、パワーグラフを用いて自動
的に判別するようにしたので、正確に処理することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る測定条件自動設定方法の実施の形
態のフローチャート

【図２】本発明に係る測定条件自動設定装置の実施の形
態のブロック図

【図３】一般的な表面粗さ形状測定機の測定部外観図

【図４】測定長さ関係の説明図

【図５】測定レンジ設定の説明図

【図６】測定データの傾斜算出の説明図

【図７】測定データのパワーグラフ

【符号の説明】

１１……測定種別／算出規格指定ステップ１２……パラメータ表示ステップ１３……パラメータ指定ステップ１４……パラメータ値指定有無判別ステップ１５……パラメータ値入力ステップ１６……仮測定ステップ１７……測定条件自動設定ステップ

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】作業者が測定種別及び算出規格を指定する
工程と、指定された測定種別及び算出規格の両方に該当するパラ
メータの種類が装置によって表示される工程と、作業者が前記表示されたパラメータの種類の中から使用
するパラメータの種類を指定する工程と、指定された前記パラメータの種類が装置によって装置内
部に設定される工程と、作業者があらかじめ装置内部に設定されている仮の測定
条件でワークを測定する工程と、測定して得られた測定データが装置によって前記仮の測
定条件及び設定された前記パラメータの種類で解析され
る工程と、前記解析された結果によって、装置内部に予め設定され
ている選択基準に従ってカットオフ値及び正式な関連測
定条件が装置によって自動的に算出され装置内部に設定
される工程とから成り、前記カットオフ値は、あらかじめ設定された「パラメー
タの種類とカットオフ値との関係」の中から、設定され
た前記パラメータの種類及びパラメータ値に該当するカ
ットオフ値が選択されて設定され、前記パラメータ値
は、作業者が入力した場合はその値が前記カットオフ値
の設定に使用され、作業者が前記パラメータ値を入力し
ない場合は前記測定データから算出されて前記カットオ
フ値の設定に使用されることを特徴とする表面粗さ形状
測定機の測定条件自動設定方法。
【請求項２】前記測定種別が表面粗さで、前記正式な関
連測定条件が測定レンジ、測定速度、評価長さであるこ
とを特徴とする請求項１に記載の表面粗さ形状測定機の
測定条件自動設定方法。
【請求項３】前記測定レンジは、あらかじめ設定された
幾種類かの測定レンジの中から、前記測定データの最大
変位量の２倍が測定可能で、最小のものが選択され設定
されることを特徴とする請求項２に記載の表面粗さ形状
測定機の測定条件自動設定方法。
【請求項４】前記測定速度は、前記測定データの最大傾
斜を求めるとともに、あらかじめ設定された速度をその
最大傾斜で割った値を算出し、その値以下で、あらかじ
め設定された幾種類かの測定速度の中から、最大のもの
が選択され設定されることを特徴とする請求項２に記載
の表面粗さ形状測定機の測定条件自動設定方法。
【請求項５】前記評価長さは、前記算出規格がＪＩＳ−
１９８２の場合は、前記カットオフ値の３倍又は基準長
さの３倍のいずれか長い方に設定されることを特徴とす
る請求項２に記載の表面粗さ形状測定機の測定条件自動
設定方法。
【請求項６】前記評価長さは、前記算出規格がＪＩＳ−
１９９４、ＤＩＮ、ＩＳＯ、ＡＮＳＩの場合は、設定さ
れた前記カットオフ値の５倍に設定されることを特徴と
する請求項２に記載の表面粗さ形状測定機の測定条件自
動設定方法。
【請求項７】あらかじめ設定された仮の測定条件によっ
てワークを測定し測定データを得る測定部と、前記仮の測定条件によって前記測定データを解析する測
定データ解析部と、測定条件等を表示する表示部と、作業者が測定条件の指定等をする入力手段と、前記入力手段で指定された測定種別及び算出規格の両方
に該当するパラメータの種類を抽出するパラメータ抽出
部と、前記パラメータ抽出部で抽出され前記表示部に表示され
たパラメータの種類の中から、作業者が前記入力手段で
指定したパラメータの種類を設定するパラメータ設定部
と、あらかじめ設定された幾種類かの測定レンジの中から、
前記測定データの最大変位量の２倍が測定可能で最小の
ものを選定し設定する測定レンジ設定部と、前記測定データの最大傾斜を求めるとともに、あらかじ
め設定された速度をその最大傾斜で割った値を算出し、
その値以下で、あらかじめ設定された幾種類かの測定速
度の中から最大の測定速度を選択し設定する測定速度設
定部と、あらかじめ設定された「パラメータの種類とカットオフ
値との関係」の中から、設定された前記パラメータの種
類及びパラメータ値に該当するカットオフ値を選択し設
定するカットオフ値設定部と、あらかじめ設定された「カットオフ値と評価長さとの関
係」の中から、前記カットオフ値に該当する評価長さを
選択し設定する評価長さ設定部と、から構成され、前記測定種別及び算出規格が指定される
と、指定された測定種別及び算出規格の両方に該当する
パラメータの種類を抽出して表示し、表示されたパラメ
ータの種類の中から使用するパラメータの種類が指定さ
れると、指定されたパラメータの種類を設定し、予め設
定されている仮の測定条件でワークが測定されると、測
定データを前記仮の測定条件及び設定されたパラメータ
の種類で解析し、該解析した結果によってカットオフ
値、測定レンジ、測定速度及び評価長さを自動的に設定
することを特徴とする表面粗さ形状測定機の測定条件自
動設定装置。
【請求項８】前記パラメータ値は、作業者が入力した場
合はその数値が前記カットオフ値の設定に使用され、作
業者が入力しない場合は前記測定データから算出されて
前記カットオフ値の設定に使用されることを特徴とする
請求項７に記載の表面粗さ形状測定機の測定条件自動設
定装置。
【請求項９】前記評価長さは、前記測定種別が表面粗さ
で前記算出規格がＪＩＳ−１９８２の場合は、カットオ
フ値の３倍又は基準長さの３倍のいずれか長い方に設定
されることを特徴とする請求項７に記載の表面粗さ形状
測定機の測定条件自動設定装置。
【請求項１０】前記評価長さは、前記測定種別が表面粗
さで前記算出規格がＪＩＳ−１９９４、ＤＩＮ、ＩＳ
Ｏ、ＡＮＳＩの場合は、設定された前記カットオフ値の
５倍に設定されることを特徴とする請求項７に記載の表
面粗さ形状測定機の測定条件自動設定装置。