JPH0982822A - マーク面クリーニング装置 - Google Patents
マーク面クリーニング装置Info
- Publication number
- JPH0982822A JPH0982822A JP25706295A JP25706295A JPH0982822A JP H0982822 A JPH0982822 A JP H0982822A JP 25706295 A JP25706295 A JP 25706295A JP 25706295 A JP25706295 A JP 25706295A JP H0982822 A JPH0982822 A JP H0982822A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotary belt
- belt
- chip
- foreign matter
- mark surface
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、マーク面クリーニング装置におい
て、マーク面に付着した異物を高精度に除去し得る。 【解決手段】複数の所定部材を搬送する搬送手段と所定
間隔を有した位置にクリーニング部を配設し、当該クリ
ーニング部の加湿手段によつて回転ベルト手段を湿ら
せ、湿つた回転ベルト手段と所定部材とが接触した後、
送風手段によつて回転ベルト手段に気体を吹きつけ、こ
の時の散布した異物を異物収集手段で収集する。
て、マーク面に付着した異物を高精度に除去し得る。 【解決手段】複数の所定部材を搬送する搬送手段と所定
間隔を有した位置にクリーニング部を配設し、当該クリ
ーニング部の加湿手段によつて回転ベルト手段を湿ら
せ、湿つた回転ベルト手段と所定部材とが接触した後、
送風手段によつて回転ベルト手段に気体を吹きつけ、こ
の時の散布した異物を異物収集手段で収集する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はマーク面クリーニン
グ装置に関し、例えば半導体集積回路（以下、ＩＣとす
る）のマーキング処理の前工程であるマーク面のクリー
ニングに適用して好適である。
グ装置に関し、例えば半導体集積回路（以下、ＩＣとす
る）のマーキング処理の前工程であるマーク面のクリー
ニングに適用して好適である。
【０００２】
【従来の技術】従来、一連のＩＣチツプ製造工程には、
ＩＣチツプの所定位置にロツトナンバーや会社名、製品
名などをマークするマーキング処理がある。このマーキ
ング処理にはレーザマーキングやインクマーキング等が
ある。マーキング処理において、ＩＣチツプの所定位置
にゴミ等の異物が付着した状態でマーキングした場合、
金型を用いる後工程においてマークが欠けてしまう。こ
のため、マーキング処理の前工程であるＩＣチツプのマ
ーク面のクリーニングとして、コツトン等を用いて手拭
きが行われる。
ＩＣチツプの所定位置にロツトナンバーや会社名、製品
名などをマークするマーキング処理がある。このマーキ
ング処理にはレーザマーキングやインクマーキング等が
ある。マーキング処理において、ＩＣチツプの所定位置
にゴミ等の異物が付着した状態でマーキングした場合、
金型を用いる後工程においてマークが欠けてしまう。こ
のため、マーキング処理の前工程であるＩＣチツプのマ
ーク面のクリーニングとして、コツトン等を用いて手拭
きが行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、マーク面の
クリーニングは、人手によつてマーク面をコツトン等で
拭きとるため工数がかかつてしまう欠点や、マーク面に
付着した異物を除去しきれない欠点がある。このため、
人手によらない方法として、乾式のクリーニング装置が
用いられている。この乾式のクリーニングは、回転ブラ
シによつてＩＣチツプのマーク面をこすることにより、
付着した異物を除去するようになされている。
クリーニングは、人手によつてマーク面をコツトン等で
拭きとるため工数がかかつてしまう欠点や、マーク面に
付着した異物を除去しきれない欠点がある。このため、
人手によらない方法として、乾式のクリーニング装置が
用いられている。この乾式のクリーニングは、回転ブラ
シによつてＩＣチツプのマーク面をこすることにより、
付着した異物を除去するようになされている。
【０００４】しかし、この回転ブラシはすぐに磨耗して
しまうため、交換頻度が高いという問題がある。また、
回転ブラシによつて除去された異物が再度ＩＣチツプの
マーク面に付着するおそれがある。
しまうため、交換頻度が高いという問題がある。また、
回転ブラシによつて除去された異物が再度ＩＣチツプの
マーク面に付着するおそれがある。
【０００５】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、マーク面に付着した異物を高精度に除去し得るマー
ク面クリーニング装置を提案しようとするものである。
で、マーク面に付着した異物を高精度に除去し得るマー
ク面クリーニング装置を提案しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、回転ベルト手段の内側かつ所定部
材の搬入側に、回転ベルト手段を湿らせる加湿手段を配
し、回転ベルト手段の内側かつ所定部材の搬出側に、加
湿手段によつて湿らされた回転ベルト手段に気体を吹き
つける送風手段を配し、回転ベルト手段を挟んで送風手
段と対向する位置に、当該送風手段によつて散布された
異物を収集する異物収集手段を配してなるクリーニング
部と、当該クリーニング部と所定の間隔を有した位置
に、複数の所定部材を搬送する搬送手段を備える。
め本発明においては、回転ベルト手段の内側かつ所定部
材の搬入側に、回転ベルト手段を湿らせる加湿手段を配
し、回転ベルト手段の内側かつ所定部材の搬出側に、加
湿手段によつて湿らされた回転ベルト手段に気体を吹き
つける送風手段を配し、回転ベルト手段を挟んで送風手
段と対向する位置に、当該送風手段によつて散布された
異物を収集する異物収集手段を配してなるクリーニング
部と、当該クリーニング部と所定の間隔を有した位置
に、複数の所定部材を搬送する搬送手段を備える。
【０００７】複数の所定部材を搬送する搬送手段と所定
間隔を有した位置にクリーニング部を配設し、当該クリ
ーニング部の加湿手段によつて回転ベルト手段を湿ら
せ、湿つた回転ベルト手段と所定部材とが接触した後、
送風手段によつて回転ベルト手段に気体を吹きつけ、こ
の時の散布した異物を異物収集手段で収集することによ
り、マーク面に付着した異物を高精度に除去し得る。
間隔を有した位置にクリーニング部を配設し、当該クリ
ーニング部の加湿手段によつて回転ベルト手段を湿ら
せ、湿つた回転ベルト手段と所定部材とが接触した後、
送風手段によつて回転ベルト手段に気体を吹きつけ、こ
の時の散布した異物を異物収集手段で収集することによ
り、マーク面に付着した異物を高精度に除去し得る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施例を詳述する。
施例を詳述する。
【０００９】図１においては、マーキング装置１の全体
構成を示す。マーキング装置１は、マーキング部２とマ
ーキングの前工程として用いるクリーニング部３とでな
つている。このマーキング部２とクリーニング部３の下
側には搬送手段であるベルトコンベア４が配設されてお
り、当該ベルトコンベア４の上面所定位置に配置された
複数のＩＣチツプ５が、前工程の処理を終えて順次搬送
されるようになされている。
構成を示す。マーキング装置１は、マーキング部２とマ
ーキングの前工程として用いるクリーニング部３とでな
つている。このマーキング部２とクリーニング部３の下
側には搬送手段であるベルトコンベア４が配設されてお
り、当該ベルトコンベア４の上面所定位置に配置された
複数のＩＣチツプ５が、前工程の処理を終えて順次搬送
されるようになされている。
【００１０】クリーニング部３は、図２に示す断面図の
ように回転ベルト式である。この回転ベルト６は布製で
あり、回転ベルト６の最下位と、ベルトコンベア４によ
つて搬送されるＩＣチツプ５のマーク面とが接触し得る
間隔を有して配設されている。また、この回転ベルト６
の内側には、加湿器７及びエアブロー８が配設される。
この加湿器７は、ＩＣチツプ５の搬入側に配設され、マ
ーク面と接触前のベルト部分を裏側から湿らせるように
なされている。またエアブロー８は、ＩＣチツプ５の搬
出側に配設され、マーク面と接触後のベルト部分の裏側
に気体を吹きつけるようになされている。
ように回転ベルト式である。この回転ベルト６は布製で
あり、回転ベルト６の最下位と、ベルトコンベア４によ
つて搬送されるＩＣチツプ５のマーク面とが接触し得る
間隔を有して配設されている。また、この回転ベルト６
の内側には、加湿器７及びエアブロー８が配設される。
この加湿器７は、ＩＣチツプ５の搬入側に配設され、マ
ーク面と接触前のベルト部分を裏側から湿らせるように
なされている。またエアブロー８は、ＩＣチツプ５の搬
出側に配設され、マーク面と接触後のベルト部分の裏側
に気体を吹きつけるようになされている。
【００１１】さらに、回転ベルト６を挟んでエアブロー
８との対向位置にはダクト９が配設される。ダクト９
は、エアブロー８からの気体によつて回転ベルト６から
吹き飛ばされた異物を集めるものである。またさらに、
回転ベルト６の湿つた部分をＩＣチツプ５と接触させる
ことによつて異物を除去した後、回転ベルト６によつて
湿つたＩＣチツプ５を乾かすためのエアブロー１０をマ
ーキング部２の手前に配設する。
８との対向位置にはダクト９が配設される。ダクト９
は、エアブロー８からの気体によつて回転ベルト６から
吹き飛ばされた異物を集めるものである。またさらに、
回転ベルト６の湿つた部分をＩＣチツプ５と接触させる
ことによつて異物を除去した後、回転ベルト６によつて
湿つたＩＣチツプ５を乾かすためのエアブロー１０をマ
ーキング部２の手前に配設する。
【００１２】以上の構成において、ＩＣチツプ５の製造
工程におけるマーキングの際、ベルトコンベア４の上面
に配置された複数のＩＣチツプ５がクリーニング部３へ
と搬送される。このとき、クリーニング部３の回転ベル
ト６は、ベルトコンベア４によつて搬送される複数のＩ
Ｃチツプ５の搬送方向と対応方向に回転する。ちなみに
図２においては、ＩＣチツプ５の搬送方向が紙面に対し
て左方向であるため、回転ベルト６の回転方向が時計回
りとなつている。このため回転ベルト６とベルトコンベ
ア４は連動するようなかたちとなる。
工程におけるマーキングの際、ベルトコンベア４の上面
に配置された複数のＩＣチツプ５がクリーニング部３へ
と搬送される。このとき、クリーニング部３の回転ベル
ト６は、ベルトコンベア４によつて搬送される複数のＩ
Ｃチツプ５の搬送方向と対応方向に回転する。ちなみに
図２においては、ＩＣチツプ５の搬送方向が紙面に対し
て左方向であるため、回転ベルト６の回転方向が時計回
りとなつている。このため回転ベルト６とベルトコンベ
ア４は連動するようなかたちとなる。
【００１３】まず、回転ベルト６は加湿器７から噴射さ
れる霧状の液体によつて湿らされ、当該回転ベルト６が
最下位まで回転すると、ベルトコンベア４によつて搬送
されたＩＣチツプ５の表面と接触する。このとき、ＩＣ
チツプ５の表面に付着していたゴミ等の異物は当該湿つ
た回転ベルト６に付着することにより、ＩＣチツプ５か
ら除去される。
れる霧状の液体によつて湿らされ、当該回転ベルト６が
最下位まで回転すると、ベルトコンベア４によつて搬送
されたＩＣチツプ５の表面と接触する。このとき、ＩＣ
チツプ５の表面に付着していたゴミ等の異物は当該湿つ
た回転ベルト６に付着することにより、ＩＣチツプ５か
ら除去される。
【００１４】この後、回転ベルト６は上方向へと回転
し、ゴミ等の異物が付着した面の裏面側からエアブロー
８によつて気体を吹きつける。このエアブロー８は、回
転ベルト６の異物付着面の裏面側から気体を吹きつける
ことにより、異物を吹き飛ばす。また吹き飛ばされた当
該異物は、回転ベルト６の異物付着面側に配設されたダ
クト９によつて収集される。
し、ゴミ等の異物が付着した面の裏面側からエアブロー
８によつて気体を吹きつける。このエアブロー８は、回
転ベルト６の異物付着面の裏面側から気体を吹きつける
ことにより、異物を吹き飛ばす。また吹き飛ばされた当
該異物は、回転ベルト６の異物付着面側に配設されたダ
クト９によつて収集される。
【００１５】クリーニング部３は、上述のような処理に
より、ベルトコンベア４によつて搬送される複数のＩＣ
チツプ５の表面を順次クリーニングする。また、回転ベ
ルト６によつて異物を除去されたＩＣチツプ５は、回転
ベルト６によつて湿らされている。このため当該ＩＣチ
ツプ５はエアブロー１０によつて乾かされ、この後、次
工程であるマーキング部２へと搬送され、異物を除去さ
れたＩＣチツプ５のマーク面にマーキング処理が施され
る。
より、ベルトコンベア４によつて搬送される複数のＩＣ
チツプ５の表面を順次クリーニングする。また、回転ベ
ルト６によつて異物を除去されたＩＣチツプ５は、回転
ベルト６によつて湿らされている。このため当該ＩＣチ
ツプ５はエアブロー１０によつて乾かされ、この後、次
工程であるマーキング部２へと搬送され、異物を除去さ
れたＩＣチツプ５のマーク面にマーキング処理が施され
る。
【００１６】以上の構成によれば、マーキング処理の前
工程として、複数のＩＣチツプ５を搬送するベルトコン
ベア４と所定間隔を有した位置に、回転ベルト６、加湿
器７、エアブロー８、１０及びダクト９でなるクリーニ
ング部３を配設する。このクリーニング部３は、加湿器
７によつて回転ベルト６を湿らせ、湿つた回転ベルト６
とＩＣチツプ５を接触させて異物をＩＣチツプ５から除
去する。この後、エアブロー８によつて回転ベルト６に
気体を吹きつけ、この時の散布した異物をダクト９で収
集することにより、ＩＣチツプ５のマーク面上に付着し
たゴミ等の異物を高精度に除去し得る。また、マーキン
グ部２の手前に配設されたエアブロー１０によつて湿つ
たＩＣチツプ５のマーク面を乾かすことにより、従来に
比してマーキング処理を向上し得る。
工程として、複数のＩＣチツプ５を搬送するベルトコン
ベア４と所定間隔を有した位置に、回転ベルト６、加湿
器７、エアブロー８、１０及びダクト９でなるクリーニ
ング部３を配設する。このクリーニング部３は、加湿器
７によつて回転ベルト６を湿らせ、湿つた回転ベルト６
とＩＣチツプ５を接触させて異物をＩＣチツプ５から除
去する。この後、エアブロー８によつて回転ベルト６に
気体を吹きつけ、この時の散布した異物をダクト９で収
集することにより、ＩＣチツプ５のマーク面上に付着し
たゴミ等の異物を高精度に除去し得る。また、マーキン
グ部２の手前に配設されたエアブロー１０によつて湿つ
たＩＣチツプ５のマーク面を乾かすことにより、従来に
比してマーキング処理を向上し得る。
【００１７】なお上述の実施例においては、エアブロー
８によつて回転ベルト６から吹き飛ばされた異物を集め
るダクト９を配設するものについて述べたが、本発明は
これに限らず、上記ダクト９の代わりに吸引式の吸塵器
等を配設するようにしても良い。この場合、上述の効果
に加えてゴミ等の異物の散布及び異物の再付着を防止し
得る。
８によつて回転ベルト６から吹き飛ばされた異物を集め
るダクト９を配設するものについて述べたが、本発明は
これに限らず、上記ダクト９の代わりに吸引式の吸塵器
等を配設するようにしても良い。この場合、上述の効果
に加えてゴミ等の異物の散布及び異物の再付着を防止し
得る。
【００１８】また上述の実施例においては、布製の回転
ベルト６を用いるものについて述べたが、本発明はこれ
に限らず、布製ではなく化学繊維等の回転ベルトを用い
ても良い。
ベルト６を用いるものについて述べたが、本発明はこれ
に限らず、布製ではなく化学繊維等の回転ベルトを用い
ても良い。
【００１９】さらに上述の実施例においては、回転ベル
ト６を設けたクリーニング部３について述べたが、本発
明はこれに限らず、例えば図３に示すような縦型の回転
ベルト１５を設け、当該回転ベルト１５の内部に管状の
加湿器１７及びエアブロー１８を設けたクリーニング部
１６（ダクト等は図示せず）のように、上述のクリーニ
ング部３と異なる形状のものでも同様の効果を得ること
ができる。
ト６を設けたクリーニング部３について述べたが、本発
明はこれに限らず、例えば図３に示すような縦型の回転
ベルト１５を設け、当該回転ベルト１５の内部に管状の
加湿器１７及びエアブロー１８を設けたクリーニング部
１６（ダクト等は図示せず）のように、上述のクリーニ
ング部３と異なる形状のものでも同様の効果を得ること
ができる。
【００２０】また上述の実施例においては、搬送手段と
してベルトコンベア４を用いるものについて述べたが、
本発明はこれに限らず、ベルトコンベア以外の搬送手段
を用いるようにしても良い。
してベルトコンベア４を用いるものについて述べたが、
本発明はこれに限らず、ベルトコンベア以外の搬送手段
を用いるようにしても良い。
【００２１】さらに上述の実施例においては、ＩＣチツ
プ５のマーク面に対するクリーニングに用いるものにつ
いて述べたが、本発明はこれに限らず、ＩＣチツプ以外
のもののマーク面のクリーニングにも適用し得る。
プ５のマーク面に対するクリーニングに用いるものにつ
いて述べたが、本発明はこれに限らず、ＩＣチツプ以外
のもののマーク面のクリーニングにも適用し得る。
【００２２】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、複数の所
定部材を搬送する搬送手段と所定間隔を有した位置にク
リーニング部を配設し、当該クリーニング部の加湿手段
によつて回転ベルト手段を湿らせ、湿つた回転ベルト手
段と所定部材とが接触した後、送風手段によつて回転ベ
ルト手段に気体を吹きつけ、この時の散布した異物を異
物収集手段で収集することにより、マーク面に付着した
異物を高精度に除去し得るマーク面クリーニング装置を
実現できる。
定部材を搬送する搬送手段と所定間隔を有した位置にク
リーニング部を配設し、当該クリーニング部の加湿手段
によつて回転ベルト手段を湿らせ、湿つた回転ベルト手
段と所定部材とが接触した後、送風手段によつて回転ベ
ルト手段に気体を吹きつけ、この時の散布した異物を異
物収集手段で収集することにより、マーク面に付着した
異物を高精度に除去し得るマーク面クリーニング装置を
実現できる。
【図１】本発明の一実施例におけるマーキング装置の全
体構成の概略を示す略線図である。
体構成の概略を示す略線図である。
【図２】図１にの示すマーキング装置のクリーニング部
の構成を示す略線的断面図である。
の構成を示す略線的断面図である。
【図３】他の実施例におけるクリーニング部の構成を示
す略線的斜視図である。
す略線的斜視図である。
１……マーキング装置、２……マーキング部、３、１６
……クリーニング部、４……ベルトコンベア、５……Ｉ
Ｃチツプ、６、１５……回転ベルト、７、１７……加湿
器、８、１０、１８……エアブロー、９……ダクト。
……クリーニング部、４……ベルトコンベア、５……Ｉ
Ｃチツプ、６、１５……回転ベルト、７、１７……加湿
器、８、１０、１８……エアブロー、９……ダクト。
Claims (1)
- 【請求項１】所定部材の搬送方向と対応する方向に回転
する回転ベルト手段と、 上記回転ベルト手段の内側かつ所定部材の搬入側に配さ
れ、上記回転ベルト手段を湿らせる加湿手段と、 上記回転ベルト手段の内側かつ上記所定部材の搬出側に
配され、上記加湿手段によつて湿らされた上記回転ベル
ト手段に気体を吹きつける送風手段と、 上記回転ベルト手段を挟んで上記送風手段と対向する位
置に配され、当該送風手段によつて散布された異物を収
集する異物収集手段とでなるクリーニング部と、 上記クリーニング部と所定の間隔を有した位置に配設さ
れ、複数の上記所定部材を搬送する搬送手段とを具える
ことを特徴とするマーク面クリーニング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25706295A JPH0982822A (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | マーク面クリーニング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25706295A JPH0982822A (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | マーク面クリーニング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0982822A true JPH0982822A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=17301217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25706295A Pending JPH0982822A (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | マーク面クリーニング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0982822A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114931836A (zh) * | 2022-06-28 | 2022-08-23 | 净呼吸生物科技有限公司 | 一种卫生巾生产线用除尘装置 |
-
1995
- 1995-09-08 JP JP25706295A patent/JPH0982822A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114931836A (zh) * | 2022-06-28 | 2022-08-23 | 净呼吸生物科技有限公司 | 一种卫生巾生产线用除尘装置 |
| CN114931836B (zh) * | 2022-06-28 | 2023-05-12 | 净呼吸生物科技有限公司 | 一种卫生巾生产线用除尘装置 |
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