JPH0627349Y2 - ロボツトハンド - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はロボットハンドに関し、特にクリーンルーム内
において製品を搬送するロボットハンドに関する。

〔従来の技術〕

従来この種のロボットハンドについて第３図及び第４図
を参照して説明する。第３図はクリーンルーム内におけ
る走行型ロボットを示す側面図、第４図は生産ライン全
体を示す平面図である。

走行型ロボット(1)は、本体(2)と本体(2)に立設された
軸(3)と軸(3)を中心として回動するロボットアーム(4)
とロボットアーム(4)先端に取付けられた製品、本実施
例ではＩＣ製造装置(5)にウエハカセット(6)を搬送する
ハンド(7)とを備えている。第３図ではウエハカセット
(6)をＩＣ製造装置(5)にローディングする状態を示すも
ので、ＩＣ製造装置(5)はその製品の性質上クリーンル
ーム内に設置されている。クリーンルームのクリーン度
は天井に配設されたHEPAフィルタ(8)によって高度に保
持されている。尚、図中矢印はクリーンエアの流れ方向
を示している。

上記走行型ロボット(1)は、第４図に示した如く、走行
レール(9)を往復動することによって各ＩＣ製造装置(5)
にウエハカセット(6)をローディングするようになされ
ている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

ところが、生産ラインによっては、第４図に示した如
く、ＩＣ製造装置(5)がＡグループとＢグループの各グ
ループを形成し、各グループ間に検査ステーション等は
配設されそこに作業印が配置される場合がある。クリー
ンルームにおいては作業員(10)が最大の発塵源になるた
めに、ロボット(1)がこの作業員の占める空間を通過す
ると把持したウエハカセット(6)を汚染してしまい、ク
リーンルームの価値を損なうことになる。そのために移
送経路全体に亘りクリーンベンチを設けたり、ウエハカ
セット(6)を別個の密閉容器（図示せず）に一旦収納し
てから移送する必要があった。このような措置を採ると
設備投資が嵩み、あるいは密閉容器への移し変えなど作
業能率の低下を招いていた。また生産ラインのレイアウ
トの変更によって対処すると処理フローが煩雑化し必ず
しも良策とは良い難かった。

本考案は上記問題点を解決するためになされたもので、
ロボットハンドから把持した製品にクリーンエアを吹き
付けて、製品の周囲にエラカーテンを形成させることに
よって、多少汚染された空間を通過しても製品を汚染す
ることなく移送することができるようにしたものであ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案に係るロボットハンドは、電子製品を把持する把
持部と、把持部の上部に配設されてクリーンエアの給送
を受けるエアチャンバと、エアチャンバの下面に形成さ
れて、エアチャンバに給送された上記クリーンエアを噴
出して、把持部に把持された電子製品の周囲に上方から
下方に流れるエアカーテンを形成する噴出孔とを備えた
ものである。

〔作用〕

本考案によれば、エアチャンバ下面からクリーンエアが
噴出してロボットハンドの把持した製品の周囲にカアカ
ーテンを形成するために、これによって汚染された空気
に製品が直接さらされることがない。

〔実施例〕

以下第１図、第２図に示す実施例に基づいて、従来と同
一又は相当部分には同一符号を付してその説明を省略
し、本考案の特徴を中心に説明する。

第１図はロボットハンドの要部を示す断面図で、ハンド
(7)はアーム(4)先端の下面に軸(4A)を介して回動自在に
装着されている。ハンド(7)は拡縮してウエハカセット
(6)等を把持する把持部としての爪(7A)，(7A)を備え、
爪(7A)，(7B)からアーム(4)側にはエアチャンバ(7B)が
形成され、エアチャンバ(7A)と図示しないクリーンエア
発生源とを連通する導管(7C)を介してクリーンエアをエ
アチャンバ(7B)に導入するように構成されている。エア
チャンバ(7B)の下面にはスリット(7D)が複数形成されエ
アチャンバ(7B)のクリーンエアが図中矢示方向に噴出し
てウエハカセット(6)周囲にエアカーテンを形成するよ
うになされている。従ってクリーンエアがウエハカセッ
ト(6)周囲に浮遊する微小な塵埃を吹き飛ばしてウエハ
カセット(6)及びウエハ(W)に対する塵埃の付着を防止す
ることができ、延いてはウエハ(W)を特殊容器に密閉す
る余分な工程を介することもなく生産能率の低下を招く
ことがない。また塵埃発生源を回避するために余分な設
備投資をする必要がなく経済的でもある。

第２図は本考案の他の実施例を示す第１図相当図であ
り、本実施例の上記実施例との相違点はエアチャンバ(7
B)の構造にある。本実施例装置では、エアチャンバ(7B)
の下面として多数の孔(7D)が形成されたパンチングメタ
ル(7E)を用いている。パンチングメタル(7E)はウエハカ
セット(6)の開口を被い、ウエハカセット(6)内にもクリ
ーンエアを噴出するように構成され、上記実施例よりも
更に塵埃の侵入する余地をなくするようにしてウエハ
(W)の汚染を更に抑制している。しかも本実施例装置で
は、パンチングメタル(7E)の内面側にHEPAフィルタ(7F)
を装着してエアチャンバ(7B)から噴出するクリーンエア
のクリーン度を更に高め、上記パンチングメタル(7E)の
形状と相俟ってウエハ(W)に対する塵埃の付着防止を完
全ならしめている。

〔考案の効果〕

以上本考案によれば、クリーンルーム内にオペレータが
汚染区域を作っていても、他のクリーン区域と区別する
ことなく、これらの区域を通過して電子部品を移送する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るロボットハンドの一実施例を示す
要部断面図、第２図は他の実施例を示す第１図相当図、
第３図はクリーンルームに設置された走行型ロボットを
示す側面図、第４図は走行型ロボット全体を示す平面図
である。 図において、 (6)はウエハカセット、 (7)はロボットハンド、 (7B)はエアチャンバ、、 (7D)はスリット（噴出孔）、 (7E)はパンチングメタル、 (7F)はHEPAフィルタ、 (W)はウエハ（電子製品）である。 尚、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】クリーンルーム内で電子製品を把持して移
   送するロボットハンドにおいて、上記電子製品を把持す
   る把持部と、上記把持部の上部に配設されてクリーンエ
   アの給送を受けるエアチャンバと、上記エアチャンバの
   下面に形成されて、上記エアチャンバに給送された上記
   クリーンエアを噴出して、上記把持部に把持された上記
   電子製品の周囲に上方から下方に流れるエアカーテンを
   形成する噴出孔とを備えたことを特徴とするロボットハ
   ンド。
2. 【請求項２】上記噴出孔がスリットとして形成されてい
   ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
   のロボットハンド。
3. 【請求項３】上記エアチャンバ下面がパンチングメタル
   によって形成されていることを特徴とする実用新案登録
   請求の範囲第１項記載のロボットハンド。
4. 【請求項４】上記パンチングメタルの内面側にHEPAフィ
   ルタが挿着されていることを特徴とする実用新案登録請
   求の範囲第３項記載のロボットハンド。