JP3724992B2 - 素子移載方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、素子供給側より送られきた素子を後工程側に移載する素子移載方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
素子供給装置としてのパーツフィーダから素子を取出して、外観認識検査を行う従来の手法としては、パーツフィーダから送られてきた先頭の素子をエスケープ装置（爪を素子供給経路に突出させるなどの規制動作を行って先頭の素子を後続の素子群から分離させる分離装置）にて分離するとともに下面や側面から素子を所定の素子保持用箇所に吸着して所定の姿勢に保持した後、前記吸引動作を停止させるとともに、別に設けた昇降自在の吸着ノズルにより素子を上方から吸着してピックアップし、外観認識検査装置が設けられている箇所まで移送して素子の外観を認識することにより行っていた。
【０００３】
しかし、パーツフィーダから送られてきた素子を所定の位置に所定の姿勢で保持するための吸引手段としてエアーバルブ装置を使用しているが、このエアーバルブ装置、詳しくは、この装置に設けられているソレノイドバルブの、ＯＮ／ＯＦＦの切換スピードをあまり高速にできなかったため、前記吸着ノズルへの移送時間を短縮することが困難となっていた。
【０００４】
これに対処する方法として、パーツフィーダから送られてきた先頭の素子に対して、その側面をピン等で押し当てながら、エスケープ装置側から外観認識用の回転テーブルへスライドさせる方式がある。しかし、このスライド移送方式においては、スライドさせる際の素子の姿勢が定まらないため、エスケープ装置と外観認識用の回転テーブルの間で頻繁に素子の詰まりが発生し、設備を停止させる原因となっていた。また、スライド移載方式は、移載動作を同一平面内で行い、外観認識用の回転テーブルにて素子を下から支持した状態であるため、下方からの外観認識検査が行えず、後工程で作業者による目視検査は不可欠であり、手間がかかっていた。
【０００５】
以下、図４を参照して移載する際に素子の外観を検査する従来の素子移載装置について説明する。
図４において、１は素子Ａを所定位置に送出す素子供給装置としてのパーツフィーダ、２は爪を素子供給経路に突出させるなどの規制動作を行って、パーツフィーダ１により送られてきた先頭の素子Ａを後続の素子Ａ群から分離させるエスケープ装置（具体的構成は図においては省いている）、３はピン３ａを出退させるなどしてエスケープ装置２から外観認識用の回転テーブル４へ素子Ａをスライドさせるスライド装置、５ａ，５ｂは回転テーブル４上の素子を画像認識するなどして検査する認識検査装置、６は外観認識用の回転テーブル４からの素子Ａをラインフィーダ７側へ移送するための移送用の回転テーブル、８は外観認識用の回転テーブル４からの素子Ａを移送用の回転テーブル６へ送出すスライド装置、９は移送用の回転テーブル６からの素子Ａをラインフィーダ７へ送出すスライド装置である。素子Ａは認識検査装置５ａ，５ｂにて良品と不良品とに選別され、良品と判定された素子Ａだけがラインフィーダ７へ送られ、この素子Ａはラインフィーダ７から例えば部品実装装置などへ移送される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のように従来のスライド移載方式によれば、素子Ａをスライド装置３にて強制的にスライドさせて外観認識用の回転テーブル４へ移載しており、移載時の素子Ａの姿勢が不安定なため、素子詰まりが、エスケープ装置２と外観認識用の回転テーブル４との間で、頻繁に発生していた。また同一平面で移載を行うため、素子Ａの下方からの外観認識検査を自動的に行うことはできず、後工程で作業者による目視検査を行わなければならないため、手間がかかっていた。
【０００７】
本発明は上記問題を解決するもので、素子供給装置側より送られてきた素子を正確かつ高速に位置決めして後工程側に移載することができ、素子に対する下方からの認識検査も可能である素子移載方法を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するために本発明の素子移載方法は、素子供給側より送られてきた先頭の素子を、素子保持箇所の壁面より前記先頭の素子側に突出させた吸引ノズルで吸引し、前記先頭の素子を吸引した状態で前記吸引ノズルを前記素子保持箇所の壁面の素子側と反対側に移動させて前記先頭の素子と次の素子とを分離し、前記吸引ノズルを、前記素子保持箇所の素子側と反対側で、壁面よりもさらに奥側箇所に移動させて前記先頭の素子に対する吸引を解除し、前記素子保持箇所に保持されている素子を吸着ノズルで吸着して後工程へ移載するものである。
【００１０】
この方法によれば、素子供給装置側より送られてきた素子を正確かつ高速に位置決めして後工程側に移載することができ、素子に対する下方からの認識検査も可能である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の素子移載方法は、素子供給側より送られてきた先頭の素子を、素子保持箇所の壁面より前記先頭の素子側に突出させた吸引ノズルで吸引し、前記先頭の素子を吸引した状態で前記吸引ノズルを前記素子保持箇所の壁面の素子側と反対側に移動させて前記先頭の素子と次の素子とを分離し、前記吸引ノズルを、前記素子保持箇所の素子側と反対側で、壁面よりもさらに奥側箇所に移動させて前記先頭の素子に対する吸引を解除し、前記素子保持箇所に保持されている素子を吸着ノズルで吸着して後工程へ移載するものである。
【００１５】
上記請求項１記載の素子移載方法によれば、素子保持箇所に素子を保持させる吸引動作をエアーバルブにて行い、このエアーバルブのＯＮ／ＯＦＦのスピードが素子の高速移載に間に合わない場合であっても、吸引ノズルによる吸引を素子に対しては高速に解除できるので、素子供給装置側より送られてきた素子を吸着ノズルへ確実かつ高速に移載することが可能になる。
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を、図１〜図３を参照して説明する。なお、従来のものと同機能のものには同符号を付す。
【００１８】
図１に示すように、本発明の実施の形態にかかる素子移載装置は、素子を供給する素子供給装置としてのパーツフィーダ１と、このパーツフィーダ１より素子Ａが送られてくる素子供給経路に設けられて、爪を素子供給経路に突出させるなどの規制動作を行って先頭の素子Ａを後続の素子群から分離させるエスケープ装置２（具体的構成は図においては省いている）と、このエスケープ装置２により分離された素子Ａを素子保持箇所Ｂで所定姿勢で保持可能に形成された移送用素子保持部１１と、この移送用素子保持部１１から素子保持箇所Ｂに対して水平方向に出退自在に配置された吸引ノズル１２と、素子保持箇所Ｂの素子Ａに対して昇降自在かつ所定方向に回転自在に配置された第１の吸着ノズル１３ａ（図２参照）を所定角度間隔に有する第１の吸着移載装置１３と、第１の吸着ノズル１３ａにより上面側が吸着された素子Ａを下方および一側方から認識して検査する第１、第２の認識検査装置１４、１５と、第１の吸着ノズル１３ａにて移載されてきた素子Ａを吸引孔１６ａ（図３参照）から吸着した状態で保持して第２の吸着ノズル２１ａ（図３参照）へ移送する第１の回転テーブル１６と、第１の回転テーブル１６上に吸着された素子Ａを上方および他側方から認識して検査する第３、第４の認識検査装置１７、１８と、第１の回転テーブル１６による素子移送方向下流端箇所に臨むように配置されて第１の回転テーブル１６上の素子Ａを受ける円弧形状のガイド１９と、ガイド１９により受けられた素子Ａを吸着して電気選別用の第２の回転テーブル２０へ移載する昇降自在かつ所定方向に回転自在の第２の吸着ノズル２１ａ（図３参照）を所定角度間隔に有する第２の吸着移載装置２１と、第２の吸着ノズル２１ａにて移載されてきた素子Ａを吸引孔（図示せず）から吸着した状態で保持して回転する第２の回転テーブル２０と、第２の回転テーブル２０で移載されてきた素子Ａを選別して取出す複数の素子取出装置２３とを備えている。
【００１９】
上記構成において、素子Ａは、パーツフィーダ１からエスケープ装置２に供給されて素子保持箇所Ｂに位置決めされた後、第１の吸着移載装置１３の吸着ノズル１３ａによりその上面側で吸着される。この第１の吸着ノズル１３ａにより上面を吸着された素子Ａは第１、第２の認識検査装置１４、１５により下方および一側方からの認識検査が行われ、第１の回転テーブル１６上に移載される。第１の回転テーブル１６で移載される途中に第３、第４の認識検査装置１７、１８にて上方および他側方からの認識検査が行われる。そして、素子Ａはガイド１９により受けられて、第２の吸着ノズル２１ａにて吸着され、第２の回転テーブル２０へ移載される。この実施の形態においては、第２の回転テーブル２０にて素子Ａの電気的な選別が行われるようになっており、第１〜第４の認識検査装置１４、１５、１７、１８による四方からの認識結果と、第２の回転テーブル２０による電気的な選別により、良品と不良品とに高い精度で自動的に判定される。そして、この判定結果に基づいて、良品と不良品とが選別されて各素子取出装置２３にて取出される。
【００２０】
ここで、素子Ａのエスケープ装置２に供給されてから第１の吸着移載装置１３の吸着ノズル１３ａで吸着されるまでの工程は以下のような動作により行われる。
すなわち、図２（ａ）に示すように、パーツフィーダ１からエスケープ装置２に供給された素子Ａは、素子保持箇所Ｂに突出された吸引ノズル１２により吸着されるとともに、吸引ノズル１２の後退動作に伴って、エスケープ装置２が設けられている移送用素子保持部１１の壁面１１ａに密接する素子保持箇所Ｂまで移動されて所定の姿勢で位置決めされる（図２（ｂ）参照）。なお、図示しないが、この際にはエスケープ装置２の規制爪が供給経路に突出されて、吸着された素子Ａに続く素子群が、この素子Ａとともに移動されることが規制されて分離される。さらに、壁面１１ａよりも後退する吸引ノズル１２の動作に伴って、吸引ノズル１２の出退経路と素子Ａとの間に外気が流入し、吸引ノズル１２の素子Ａとの吸着は強制的に解除される（図２（ｃ）参照）。そして、この状態で、第１の吸着移載装置１３の吸着ノズル１３ａによる素子Ａの吸着、取出しが行われる。
【００２１】
したがって、素子保持箇所Ｂに素子Ａを保持させる吸引動作をエアーバルブにて行い、このエアーバルブのＯＮ／ＯＦＦのスピードが素子の高速移載に間に合わない場合であっても、吸引ノズル１２による吸引を素子Ａに対して高速に解除できるので、エスケープ装置２に送られてきた素子Ａを第１の吸着ノズル１３ａへ確実かつ高速に移載することができる。
【００２２】
また、素子Ａが第１の回転テーブル１６上から第２の吸着移載装置２１の吸着ノズル２１ａで吸着されるまでの工程は以下のような動作により行われる。
すなわち、図３（ａ）に示すように、素子Ａが第１の回転テーブル１６上に移載されて第３、第４の認識検査装置１７、１８にて認識検査が行われた後に、素子Ａがガイド１９に接近した段階で、回転テーブル１６の吸引孔１６ａからの吸引が弱められる。これに伴って、回転テーブル１６の吸引力よりも、回転テーブル１６による遠心力の方が強くなって、その結果、吸引が解除されて、素子Ａはガイド１９に沿って受けられた状態で移動し、このガイド１９で受けられた状態で素子Ａが第２の吸着移載装置２１の吸着ノズル２１ａにより吸着されて、取出される。
【００２３】
したがって、第１の回転テーブル１６上に素子Ａを吸着して保持させる吸着動作をエアーバルブにて行い、このエアーバルブのＯＮ／ＯＦＦのスピードが素子Ａの高速移載に間に合わない場合であっても、第１の回転テーブル１６による素子Ａの吸着状態を高速に解除できるので、第１の回転テーブル１６上でガイド１９により受けられた素子Ａを第２の吸着ノズル２１にて確実かつ高速に移載することができる。
【００２４】
このように、吸着の解除が可能な吸引ノズル１２やガイド１９を設けることにより、素子Ａを高速かつ確実に移載することが可能となり、かつ素子Ａの上面の吸着による第１の吸着移載装置１３を採用できるため、下方からの認識検査も可能になって、素子Ａを高い精度で自動的に認識して選別することができる。
【００２５】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、素子を吸引して位置決めさせる吸引ノズルを奥側に後退させて素子に対しては吸引動作が解除させるようにしたり、素子を吸着して回転させる回転テーブルの回転遠心力により素子を吸着位置より離脱させてガイドにより受けて吸着動作が解除させるようにしたりすることにより、吸引動作や吸着動作を行うためのエアーバルブによるＯＮ／ＯＦＦが間に合わない場合にも、素子を確実かつ高速に移載することができ、また、素子の上面を吸着して移載する吸着ノズルを採用できるため、下方からの認識検査も行うことができて、高い精度での認識作業の自動化を達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかる素子移載装置の平面図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ同素子移載装置におけるエスケープ装置側から第１の吸着ノズルへの各移載工程を順に示す側面図である。
【図３】（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ同素子移載装置における第１の回転テーブルから第２の吸着ノズルへの各移載工程を順に示す側面断面図である。
【図４】従来の素子移載装置の平面図である。
【符号の説明】
１ パーツフィーダ（素子供給装置）
２ エスケープ装置（分離装置）
１１ 移送用素子保持部
１２ 吸引ノズル
１３、２１ 吸着移載装置
１３ａ、２１ａ 吸着ノズル
１４、１５、１７、１８ 認識検査装置
１６、２０ 回転テーブル
１９ ガイド
Ａ 素子
Ｂ 素子保持箇所
【発明の属する技術分野】
本発明は、素子供給側より送られきた素子を後工程側に移載する素子移載方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
素子供給装置としてのパーツフィーダから素子を取出して、外観認識検査を行う従来の手法としては、パーツフィーダから送られてきた先頭の素子をエスケープ装置（爪を素子供給経路に突出させるなどの規制動作を行って先頭の素子を後続の素子群から分離させる分離装置）にて分離するとともに下面や側面から素子を所定の素子保持用箇所に吸着して所定の姿勢に保持した後、前記吸引動作を停止させるとともに、別に設けた昇降自在の吸着ノズルにより素子を上方から吸着してピックアップし、外観認識検査装置が設けられている箇所まで移送して素子の外観を認識することにより行っていた。
【０００３】
しかし、パーツフィーダから送られてきた素子を所定の位置に所定の姿勢で保持するための吸引手段としてエアーバルブ装置を使用しているが、このエアーバルブ装置、詳しくは、この装置に設けられているソレノイドバルブの、ＯＮ／ＯＦＦの切換スピードをあまり高速にできなかったため、前記吸着ノズルへの移送時間を短縮することが困難となっていた。
【０００４】
これに対処する方法として、パーツフィーダから送られてきた先頭の素子に対して、その側面をピン等で押し当てながら、エスケープ装置側から外観認識用の回転テーブルへスライドさせる方式がある。しかし、このスライド移送方式においては、スライドさせる際の素子の姿勢が定まらないため、エスケープ装置と外観認識用の回転テーブルの間で頻繁に素子の詰まりが発生し、設備を停止させる原因となっていた。また、スライド移載方式は、移載動作を同一平面内で行い、外観認識用の回転テーブルにて素子を下から支持した状態であるため、下方からの外観認識検査が行えず、後工程で作業者による目視検査は不可欠であり、手間がかかっていた。
【０００５】
以下、図４を参照して移載する際に素子の外観を検査する従来の素子移載装置について説明する。
図４において、１は素子Ａを所定位置に送出す素子供給装置としてのパーツフィーダ、２は爪を素子供給経路に突出させるなどの規制動作を行って、パーツフィーダ１により送られてきた先頭の素子Ａを後続の素子Ａ群から分離させるエスケープ装置（具体的構成は図においては省いている）、３はピン３ａを出退させるなどしてエスケープ装置２から外観認識用の回転テーブル４へ素子Ａをスライドさせるスライド装置、５ａ，５ｂは回転テーブル４上の素子を画像認識するなどして検査する認識検査装置、６は外観認識用の回転テーブル４からの素子Ａをラインフィーダ７側へ移送するための移送用の回転テーブル、８は外観認識用の回転テーブル４からの素子Ａを移送用の回転テーブル６へ送出すスライド装置、９は移送用の回転テーブル６からの素子Ａをラインフィーダ７へ送出すスライド装置である。素子Ａは認識検査装置５ａ，５ｂにて良品と不良品とに選別され、良品と判定された素子Ａだけがラインフィーダ７へ送られ、この素子Ａはラインフィーダ７から例えば部品実装装置などへ移送される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のように従来のスライド移載方式によれば、素子Ａをスライド装置３にて強制的にスライドさせて外観認識用の回転テーブル４へ移載しており、移載時の素子Ａの姿勢が不安定なため、素子詰まりが、エスケープ装置２と外観認識用の回転テーブル４との間で、頻繁に発生していた。また同一平面で移載を行うため、素子Ａの下方からの外観認識検査を自動的に行うことはできず、後工程で作業者による目視検査を行わなければならないため、手間がかかっていた。
【０００７】
本発明は上記問題を解決するもので、素子供給装置側より送られてきた素子を正確かつ高速に位置決めして後工程側に移載することができ、素子に対する下方からの認識検査も可能である素子移載方法を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するために本発明の素子移載方法は、素子供給側より送られてきた先頭の素子を、素子保持箇所の壁面より前記先頭の素子側に突出させた吸引ノズルで吸引し、前記先頭の素子を吸引した状態で前記吸引ノズルを前記素子保持箇所の壁面の素子側と反対側に移動させて前記先頭の素子と次の素子とを分離し、前記吸引ノズルを、前記素子保持箇所の素子側と反対側で、壁面よりもさらに奥側箇所に移動させて前記先頭の素子に対する吸引を解除し、前記素子保持箇所に保持されている素子を吸着ノズルで吸着して後工程へ移載するものである。
【００１０】
この方法によれば、素子供給装置側より送られてきた素子を正確かつ高速に位置決めして後工程側に移載することができ、素子に対する下方からの認識検査も可能である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の素子移載方法は、素子供給側より送られてきた先頭の素子を、素子保持箇所の壁面より前記先頭の素子側に突出させた吸引ノズルで吸引し、前記先頭の素子を吸引した状態で前記吸引ノズルを前記素子保持箇所の壁面の素子側と反対側に移動させて前記先頭の素子と次の素子とを分離し、前記吸引ノズルを、前記素子保持箇所の素子側と反対側で、壁面よりもさらに奥側箇所に移動させて前記先頭の素子に対する吸引を解除し、前記素子保持箇所に保持されている素子を吸着ノズルで吸着して後工程へ移載するものである。
【００１５】
上記請求項１記載の素子移載方法によれば、素子保持箇所に素子を保持させる吸引動作をエアーバルブにて行い、このエアーバルブのＯＮ／ＯＦＦのスピードが素子の高速移載に間に合わない場合であっても、吸引ノズルによる吸引を素子に対しては高速に解除できるので、素子供給装置側より送られてきた素子を吸着ノズルへ確実かつ高速に移載することが可能になる。
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を、図１〜図３を参照して説明する。なお、従来のものと同機能のものには同符号を付す。
【００１８】
図１に示すように、本発明の実施の形態にかかる素子移載装置は、素子を供給する素子供給装置としてのパーツフィーダ１と、このパーツフィーダ１より素子Ａが送られてくる素子供給経路に設けられて、爪を素子供給経路に突出させるなどの規制動作を行って先頭の素子Ａを後続の素子群から分離させるエスケープ装置２（具体的構成は図においては省いている）と、このエスケープ装置２により分離された素子Ａを素子保持箇所Ｂで所定姿勢で保持可能に形成された移送用素子保持部１１と、この移送用素子保持部１１から素子保持箇所Ｂに対して水平方向に出退自在に配置された吸引ノズル１２と、素子保持箇所Ｂの素子Ａに対して昇降自在かつ所定方向に回転自在に配置された第１の吸着ノズル１３ａ（図２参照）を所定角度間隔に有する第１の吸着移載装置１３と、第１の吸着ノズル１３ａにより上面側が吸着された素子Ａを下方および一側方から認識して検査する第１、第２の認識検査装置１４、１５と、第１の吸着ノズル１３ａにて移載されてきた素子Ａを吸引孔１６ａ（図３参照）から吸着した状態で保持して第２の吸着ノズル２１ａ（図３参照）へ移送する第１の回転テーブル１６と、第１の回転テーブル１６上に吸着された素子Ａを上方および他側方から認識して検査する第３、第４の認識検査装置１７、１８と、第１の回転テーブル１６による素子移送方向下流端箇所に臨むように配置されて第１の回転テーブル１６上の素子Ａを受ける円弧形状のガイド１９と、ガイド１９により受けられた素子Ａを吸着して電気選別用の第２の回転テーブル２０へ移載する昇降自在かつ所定方向に回転自在の第２の吸着ノズル２１ａ（図３参照）を所定角度間隔に有する第２の吸着移載装置２１と、第２の吸着ノズル２１ａにて移載されてきた素子Ａを吸引孔（図示せず）から吸着した状態で保持して回転する第２の回転テーブル２０と、第２の回転テーブル２０で移載されてきた素子Ａを選別して取出す複数の素子取出装置２３とを備えている。
【００１９】
上記構成において、素子Ａは、パーツフィーダ１からエスケープ装置２に供給されて素子保持箇所Ｂに位置決めされた後、第１の吸着移載装置１３の吸着ノズル１３ａによりその上面側で吸着される。この第１の吸着ノズル１３ａにより上面を吸着された素子Ａは第１、第２の認識検査装置１４、１５により下方および一側方からの認識検査が行われ、第１の回転テーブル１６上に移載される。第１の回転テーブル１６で移載される途中に第３、第４の認識検査装置１７、１８にて上方および他側方からの認識検査が行われる。そして、素子Ａはガイド１９により受けられて、第２の吸着ノズル２１ａにて吸着され、第２の回転テーブル２０へ移載される。この実施の形態においては、第２の回転テーブル２０にて素子Ａの電気的な選別が行われるようになっており、第１〜第４の認識検査装置１４、１５、１７、１８による四方からの認識結果と、第２の回転テーブル２０による電気的な選別により、良品と不良品とに高い精度で自動的に判定される。そして、この判定結果に基づいて、良品と不良品とが選別されて各素子取出装置２３にて取出される。
【００２０】
ここで、素子Ａのエスケープ装置２に供給されてから第１の吸着移載装置１３の吸着ノズル１３ａで吸着されるまでの工程は以下のような動作により行われる。
すなわち、図２（ａ）に示すように、パーツフィーダ１からエスケープ装置２に供給された素子Ａは、素子保持箇所Ｂに突出された吸引ノズル１２により吸着されるとともに、吸引ノズル１２の後退動作に伴って、エスケープ装置２が設けられている移送用素子保持部１１の壁面１１ａに密接する素子保持箇所Ｂまで移動されて所定の姿勢で位置決めされる（図２（ｂ）参照）。なお、図示しないが、この際にはエスケープ装置２の規制爪が供給経路に突出されて、吸着された素子Ａに続く素子群が、この素子Ａとともに移動されることが規制されて分離される。さらに、壁面１１ａよりも後退する吸引ノズル１２の動作に伴って、吸引ノズル１２の出退経路と素子Ａとの間に外気が流入し、吸引ノズル１２の素子Ａとの吸着は強制的に解除される（図２（ｃ）参照）。そして、この状態で、第１の吸着移載装置１３の吸着ノズル１３ａによる素子Ａの吸着、取出しが行われる。
【００２１】
したがって、素子保持箇所Ｂに素子Ａを保持させる吸引動作をエアーバルブにて行い、このエアーバルブのＯＮ／ＯＦＦのスピードが素子の高速移載に間に合わない場合であっても、吸引ノズル１２による吸引を素子Ａに対して高速に解除できるので、エスケープ装置２に送られてきた素子Ａを第１の吸着ノズル１３ａへ確実かつ高速に移載することができる。
【００２２】
また、素子Ａが第１の回転テーブル１６上から第２の吸着移載装置２１の吸着ノズル２１ａで吸着されるまでの工程は以下のような動作により行われる。
すなわち、図３（ａ）に示すように、素子Ａが第１の回転テーブル１６上に移載されて第３、第４の認識検査装置１７、１８にて認識検査が行われた後に、素子Ａがガイド１９に接近した段階で、回転テーブル１６の吸引孔１６ａからの吸引が弱められる。これに伴って、回転テーブル１６の吸引力よりも、回転テーブル１６による遠心力の方が強くなって、その結果、吸引が解除されて、素子Ａはガイド１９に沿って受けられた状態で移動し、このガイド１９で受けられた状態で素子Ａが第２の吸着移載装置２１の吸着ノズル２１ａにより吸着されて、取出される。
【００２３】
したがって、第１の回転テーブル１６上に素子Ａを吸着して保持させる吸着動作をエアーバルブにて行い、このエアーバルブのＯＮ／ＯＦＦのスピードが素子Ａの高速移載に間に合わない場合であっても、第１の回転テーブル１６による素子Ａの吸着状態を高速に解除できるので、第１の回転テーブル１６上でガイド１９により受けられた素子Ａを第２の吸着ノズル２１にて確実かつ高速に移載することができる。
【００２４】
このように、吸着の解除が可能な吸引ノズル１２やガイド１９を設けることにより、素子Ａを高速かつ確実に移載することが可能となり、かつ素子Ａの上面の吸着による第１の吸着移載装置１３を採用できるため、下方からの認識検査も可能になって、素子Ａを高い精度で自動的に認識して選別することができる。
【００２５】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、素子を吸引して位置決めさせる吸引ノズルを奥側に後退させて素子に対しては吸引動作が解除させるようにしたり、素子を吸着して回転させる回転テーブルの回転遠心力により素子を吸着位置より離脱させてガイドにより受けて吸着動作が解除させるようにしたりすることにより、吸引動作や吸着動作を行うためのエアーバルブによるＯＮ／ＯＦＦが間に合わない場合にも、素子を確実かつ高速に移載することができ、また、素子の上面を吸着して移載する吸着ノズルを採用できるため、下方からの認識検査も行うことができて、高い精度での認識作業の自動化を達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかる素子移載装置の平面図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ同素子移載装置におけるエスケープ装置側から第１の吸着ノズルへの各移載工程を順に示す側面図である。
【図３】（ａ）〜（ｄ）は、それぞれ同素子移載装置における第１の回転テーブルから第２の吸着ノズルへの各移載工程を順に示す側面断面図である。
【図４】従来の素子移載装置の平面図である。
【符号の説明】
１ パーツフィーダ（素子供給装置）
２ エスケープ装置（分離装置）
１１ 移送用素子保持部
１２ 吸引ノズル
１３、２１ 吸着移載装置
１３ａ、２１ａ 吸着ノズル
１４、１５、１７、１８ 認識検査装置
１６、２０ 回転テーブル
１９ ガイド
Ａ 素子
Ｂ 素子保持箇所
Claims (1)
- 素子供給側より送られてきた先頭の素子を、素子保持箇所の壁面より前記先頭の素子側に突出させた吸引ノズルで吸引し、前記先頭の素子を吸引した状態で前記吸引ノズルを前記素子保持箇所の壁面の素子側と反対側に移動させて前記先頭の素子と次の素子とを分離し、前記吸引ノズルを、前記素子保持箇所の素子側と反対側で、壁面よりもさらに奥側箇所に移動させて前記先頭の素子に対する吸引を解除し、前記素子保持箇所に保持されている素子を吸着ノズルで吸着して後工程へ移載する素子移載方法。
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