JPH0682741B2 - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH0682741B2 JPH0682741B2 JP19383585A JP19383585A JPH0682741B2 JP H0682741 B2 JPH0682741 B2 JP H0682741B2 JP 19383585 A JP19383585 A JP 19383585A JP 19383585 A JP19383585 A JP 19383585A JP H0682741 B2 JPH0682741 B2 JP H0682741B2
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- JP
- Japan
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- cassette
- wafer
- cam
- gripping arm
- gripping
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はウエハをカセット内に収納して搬送する装置に
関する。
関する。
従来の技術 ウエハの取扱いは無塵環境下において行われる必要があ
るため、発塵を防止すると共に、微量の塵埃をも除去し
たクリーンルーム内で搬送されることが従来より行われ
ている。
るため、発塵を防止すると共に、微量の塵埃をも除去し
たクリーンルーム内で搬送されることが従来より行われ
ている。
たとえば、特開昭60−44403号公報並びに特開昭60−444
05号公報に開示されているように、可動部分での発塵を
除去するため、クリーンルーム内で空気の整流を形成さ
せ、該気流にのせて塵埃を外部に排出してクリーンルー
ム内の清浄度を保持する手段等である。
05号公報に開示されているように、可動部分での発塵を
除去するため、クリーンルーム内で空気の整流を形成さ
せ、該気流にのせて塵埃を外部に排出してクリーンルー
ム内の清浄度を保持する手段等である。
しかし、これら従来の手段においては、ウエハを入れた
カセットをフォークで運搬する際にカセット内でウエハ
が遊動しないような配慮がなされておらず、単にフォー
クで荷を水平に支承して移動運搬させているに過ぎな
い。
カセットをフォークで運搬する際にカセット内でウエハ
が遊動しないような配慮がなされておらず、単にフォー
クで荷を水平に支承して移動運搬させているに過ぎな
い。
したがって、ウエハは運搬移動中にカセット内で遊動し
て発塵の原因となり、また該遊動によってウエハに傷が
付くおそれもある。
て発塵の原因となり、また該遊動によってウエハに傷が
付くおそれもある。
発明が解決しようとする問題点 本発明は、上述した従来技術の欠点である搬送中のウエ
ハがカセット内で遊動することを確実に防止するもので
ある。
ハがカセット内で遊動することを確実に防止するもので
ある。
問題点を解決するための手段 本発明は、ウエハを入れたカセットを運搬する搬送台車
上に回転駆動ねじ軸を立設し、該ねじ軸に螺合する昇降
部材に上記カセットを把持する腕を傾動自在に枢支し、
前記昇降部材に上下方向に揺動自在に枢支したカムレバ
ーの自由端と前記把持腕に枢支した把持腕傾動操作杆と
を連結すると共に、前記昇降部材の昇降に伴って前記カ
ムレバーを揺動作動させるカム部材を搬送台車上の枠体
に固設し、搬送台車走行時にウエハカセットを傾斜保持
して、カセット内のウエハを傾斜方向に片寄せてカセッ
トの一壁面で支承することによって遊動を防止して搬送
する装置である。
上に回転駆動ねじ軸を立設し、該ねじ軸に螺合する昇降
部材に上記カセットを把持する腕を傾動自在に枢支し、
前記昇降部材に上下方向に揺動自在に枢支したカムレバ
ーの自由端と前記把持腕に枢支した把持腕傾動操作杆と
を連結すると共に、前記昇降部材の昇降に伴って前記カ
ムレバーを揺動作動させるカム部材を搬送台車上の枠体
に固設し、搬送台車走行時にウエハカセットを傾斜保持
して、カセット内のウエハを傾斜方向に片寄せてカセッ
トの一壁面で支承することによって遊動を防止して搬送
する装置である。
作 用 搬送台車がウエハカセット把持位置に到達停止すると、
一対の把持腕が拡開して該カセット上方より降下し、カ
セット側方より該カセットを挾持する。
一対の把持腕が拡開して該カセット上方より降下し、カ
セット側方より該カセットを挾持する。
カセットを挾持した把持腕は、回転駆動ねじ軸の回転に
より昇降部材の上動に伴って上昇し、その上昇過程にお
いてカム部材の案内によりカムレバーが作動して、初期
過程においては把持腕が略水平を維持して上昇し、中間
過程においては把持腕が漸次上向きに傾動をしながら上
昇し、最終過程においては把持腕が所定の傾斜角を保持
して上昇し停止する。
より昇降部材の上動に伴って上昇し、その上昇過程にお
いてカム部材の案内によりカムレバーが作動して、初期
過程においては把持腕が略水平を維持して上昇し、中間
過程においては把持腕が漸次上向きに傾動をしながら上
昇し、最終過程においては把持腕が所定の傾斜角を保持
して上昇し停止する。
したがって、傾斜したカセット内のウエハは一方の側壁
に片寄せられて支承される。
に片寄せられて支承される。
かかる状態において、搬送台車が所望のカセット移載位
置に移動して、回転駆動ねじ軸を逆転させて昇降部材を
下降させると、把持腕はカム部材の案内により上昇過程
時とは逆の動作を行い、カセットは上傾状態より水平状
態になって移載位置に置かれ、把持腕は拡開してカセッ
ト挾持状態を解除し、カセット上方へ上昇し、搬送台車
は再び前記カセット把持位置へ復帰移動する。
置に移動して、回転駆動ねじ軸を逆転させて昇降部材を
下降させると、把持腕はカム部材の案内により上昇過程
時とは逆の動作を行い、カセットは上傾状態より水平状
態になって移載位置に置かれ、把持腕は拡開してカセッ
ト挾持状態を解除し、カセット上方へ上昇し、搬送台車
は再び前記カセット把持位置へ復帰移動する。
このように、カセット把持位置よりカセット移載位置へ
搬送台車が往復移動を反覆繰返すことにより、多数のカ
セットを移し換えるが、搬送台車がカセットを運搬する
際には、カセット把持腕が上傾しているので、水平状態
においてカセット内に収納されたウエハに僅かな遊動隙
間があったとしても、傾斜状態においてはウエハは確実
にカセットの一側壁に片寄せられて支承されるから、カ
セット内でのウエハの遊動は阻止されるものである。
搬送台車が往復移動を反覆繰返すことにより、多数のカ
セットを移し換えるが、搬送台車がカセットを運搬する
際には、カセット把持腕が上傾しているので、水平状態
においてカセット内に収納されたウエハに僅かな遊動隙
間があったとしても、傾斜状態においてはウエハは確実
にカセットの一側壁に片寄せられて支承されるから、カ
セット内でのウエハの遊動は阻止されるものである。
実施例 第１図は搬送台車の側面図、第２図は把持腕傾動カム機
構の第１実施例の側面図、第３図は第２図の側面図であ
って、搬送台車１上に立設した枠体２内に取付けた可逆
モータ３により減速機４を介して回転駆動されるねじ軸
５は、該枠体２の下部軸受板６と上部軸受板７とによっ
て上下両端を夫々回転自在に軸受支承されて、搬送台車
１上に立設されている。
構の第１実施例の側面図、第３図は第２図の側面図であ
って、搬送台車１上に立設した枠体２内に取付けた可逆
モータ３により減速機４を介して回転駆動されるねじ軸
５は、該枠体２の下部軸受板６と上部軸受板７とによっ
て上下両端を夫々回転自在に軸受支承されて、搬送台車
１上に立設されている。
そして、該ねじ軸５に螺合するナット８を有する昇降部
材９には、一対の案内支柱10,10が立設され、該支柱10,
10は前記上部軸受板７に取付けたスライドベアリングを
有する案内筒11,11内に案内挿通され、該支柱10,10のの
上端には、ウエハカセット12を挾持する一対の把持腕1
3,13を有するボックス部材14に設けた取付板14′を傾動
自在に支持する横軸15が固定されている。
材９には、一対の案内支柱10,10が立設され、該支柱10,
10は前記上部軸受板７に取付けたスライドベアリングを
有する案内筒11,11内に案内挿通され、該支柱10,10のの
上端には、ウエハカセット12を挾持する一対の把持腕1
3,13を有するボックス部材14に設けた取付板14′を傾動
自在に支持する横軸15が固定されている。
そして、前記ボックス部材14には第４〜５図に示すよう
な把持腕13,13の拡縮作動機構が取付けられている。即
ち、該拡縮作動機構は、一対の把持腕13,13を拡縮案内
する前後２本の案内杆16,16′と該一対の把持腕13,13の
相互間隔を縮減する方向に付勢する縮減バネ17と該ボッ
クス部材14に取付けた減速モータＭにより回動する把持
腕拡開カム板18とを有し、該拡開カム板18は前記縮減バ
ネ17の付勢力に抗して夫々の把持腕13,13に取付けたカ
ムフロア19,19に当接して回動し、第５図に示すよう
に、90゜の角度で配設した近接スイッチS1,S2の制御に
より90゜回動して停止するので、把持腕13,13拡開保持
され、また、減速モータＭの逆動でカム板18が第５図の
位置に戻ると把持腕13,13は縮減バネ17の力によりその
間隔を縮減するものである。
な把持腕13,13の拡縮作動機構が取付けられている。即
ち、該拡縮作動機構は、一対の把持腕13,13を拡縮案内
する前後２本の案内杆16,16′と該一対の把持腕13,13の
相互間隔を縮減する方向に付勢する縮減バネ17と該ボッ
クス部材14に取付けた減速モータＭにより回動する把持
腕拡開カム板18とを有し、該拡開カム板18は前記縮減バ
ネ17の付勢力に抗して夫々の把持腕13,13に取付けたカ
ムフロア19,19に当接して回動し、第５図に示すよう
に、90゜の角度で配設した近接スイッチS1,S2の制御に
より90゜回動して停止するので、把持腕13,13拡開保持
され、また、減速モータＭの逆動でカム板18が第５図の
位置に戻ると把持腕13,13は縮減バネ17の力によりその
間隔を縮減するものである。
前記取付板14′には横軸15の位置より離間した位置に把
持腕傾動操作杆20の上端を枢支し、該操作杆20の下端は
上部軸受板７を貫挿して前記昇降部材９に中間位置を回
動自在に枢支したカムレバー21の一方の腕21aの自由端
に連結され、他方の腕21bの自由端にはカムローラ22が
取付けられ、該カムローラ22は枠体２に形成したカム部
材23に案内される。
持腕傾動操作杆20の上端を枢支し、該操作杆20の下端は
上部軸受板７を貫挿して前記昇降部材９に中間位置を回
動自在に枢支したカムレバー21の一方の腕21aの自由端
に連結され、他方の腕21bの自由端にはカムローラ22が
取付けられ、該カムローラ22は枠体２に形成したカム部
材23に案内される。
そして、該カム部材23は、昇降部材９の上昇に伴ってカ
ムレバー21を第２図において時計方向に回動し、把持腕
傾動操作杆20を引き下げるようにカムローラ22を案内す
る形状を有しており、したがって、昇降部材９の上昇端
においては把持腕13,13がカム部材23によって規制され
る角度だけ横軸15を中心に上傾する。
ムレバー21を第２図において時計方向に回動し、把持腕
傾動操作杆20を引き下げるようにカムローラ22を案内す
る形状を有しており、したがって、昇降部材９の上昇端
においては把持腕13,13がカム部材23によって規制され
る角度だけ横軸15を中心に上傾する。
また、横軸15の両端部には、一端を横軸15に結着し、他
端をボックス部材14に結着した捻れバネ24が取付けら
れ、ボックス部材14の傾角を安定させる。
端をボックス部材14に結着した捻れバネ24が取付けら
れ、ボックス部材14の傾角を安定させる。
第６図は把持腕傾動機構の第２実施例を示す側面図であ
って、第１実施例と同一の部材は同一の符号で示すと、 昇降部材９に立設した案内支柱10,10の上端にはボック
ス部材25が固設され、該ボックス部材25内には、第４図
に示すように前後２本の案内杆16,16′が共にボックス
部材25に両端を軸受されているのではなく、前部案内杆
16のみがその両端をボックス部材25に回動自在に軸受さ
れ、後部案内杆16′の両端は全く軸受されずに浮動状態
にされた浮動案内杆16″として構成され、該後部案内杆
16″に把持腕傾動操作杆20の上端が連結されている点に
おいて第１実施例のボックス部材14と相違し、把持腕1
3,13の拡縮作動機構においては差異がない。
って、第１実施例と同一の部材は同一の符号で示すと、 昇降部材９に立設した案内支柱10,10の上端にはボック
ス部材25が固設され、該ボックス部材25内には、第４図
に示すように前後２本の案内杆16,16′が共にボックス
部材25に両端を軸受されているのではなく、前部案内杆
16のみがその両端をボックス部材25に回動自在に軸受さ
れ、後部案内杆16′の両端は全く軸受されずに浮動状態
にされた浮動案内杆16″として構成され、該後部案内杆
16″に把持腕傾動操作杆20の上端が連結されている点に
おいて第１実施例のボックス部材14と相違し、把持腕1
3,13の拡縮作動機構においては差異がない。
把持腕傾動操作杆20の下端は昇降部材９に回動自在に枢
支したカムレバー26の一方の腕26aの自由端に連結さ
れ、他方の腕26bの自由端には、枠体２に取付けたカム
部材27のカム面に案内されるカムローラ28が設けられて
いる。
支したカムレバー26の一方の腕26aの自由端に連結さ
れ、他方の腕26bの自由端には、枠体２に取付けたカム
部材27のカム面に案内されるカムローラ28が設けられて
いる。
そして、前記浮動案内杆16″は、バネ29によってカムロ
ーラ28をカム部材27のカム面に押接付勢している。
ーラ28をカム部材27のカム面に押接付勢している。
そこで、回転駆動ねじ軸５を回転させて、昇降部材９を
上昇せしめると、カム部材27のカム面が上昇初期におい
ては垂直であり、中間において傾斜し、終期において再
び垂直となる形状を有しているので、傾斜面においては
カムレバー26が第６図で時計方向に回動して、把持腕傾
動操作杆20を引き下げるから、浮動案内杆16″が引き下
げられて、把持腕13は前部案内杆16を中心に上向きに傾
動し、前記上昇終期における垂直面においてその上傾姿
勢を保持するものである。
上昇せしめると、カム部材27のカム面が上昇初期におい
ては垂直であり、中間において傾斜し、終期において再
び垂直となる形状を有しているので、傾斜面においては
カムレバー26が第６図で時計方向に回動して、把持腕傾
動操作杆20を引き下げるから、浮動案内杆16″が引き下
げられて、把持腕13は前部案内杆16を中心に上向きに傾
動し、前記上昇終期における垂直面においてその上傾姿
勢を保持するものである。
したがって、一対の把持腕13,13に挾持されたウエハカ
セットは、昇降部材９の上昇端において常に上傾姿勢に
保持されるので、カセット内に収納したウエハは、カセ
ットの１つの側壁内面に片寄せられて支承されるから、
搬送台車の移動によってカセット内で遊動することはな
い。
セットは、昇降部材９の上昇端において常に上傾姿勢に
保持されるので、カセット内に収納したウエハは、カセ
ットの１つの側壁内面に片寄せられて支承されるから、
搬送台車の移動によってカセット内で遊動することはな
い。
発明の効果 本発明は、ウエハを収納したカセットを搬送する際に、
ウエハがカセット内で遊動する僅かな空隙があっても、
カセットを上傾させ、ウエハをカセット内の一方向に片
寄せて、カセットの一内壁面に支承させることにより、
ウエハの遊動を皆無にして搬送することができるもので
あって、ウエハがカセット内で遊動しなければ、遊動に
よる発塵が防止されると共に、ウエハ表面に擦過傷等の
微細な傷も発生させないから、無塵環境下での厳しい取
扱いを必要とするウエハの搬送に当って、簡単な構造
で、格別の効果を有するものである。
ウエハがカセット内で遊動する僅かな空隙があっても、
カセットを上傾させ、ウエハをカセット内の一方向に片
寄せて、カセットの一内壁面に支承させることにより、
ウエハの遊動を皆無にして搬送することができるもので
あって、ウエハがカセット内で遊動しなければ、遊動に
よる発塵が防止されると共に、ウエハ表面に擦過傷等の
微細な傷も発生させないから、無塵環境下での厳しい取
扱いを必要とするウエハの搬送に当って、簡単な構造
で、格別の効果を有するものである。
図面は本発明の実施例を示し、第１図はウエハ搬送台車
の概略側面図、第２図はウエハカセット把持腕の傾動機
構の第１実施例を示す側面図、第３図は第２図の右正面
図、第４図は把持腕拡縮機構の平面説明図、第５図は第
４図の正面図、第６図はウエハカセット把持腕の傾動機
構の第２実施例の側面図である。 １……搬送台車、２……枠体 ５……回転駆動ねじ軸、９……昇降部材 10,10……案内支柱、12……ウエハカセット 13,13……把持腕、20……傾動操作杆 21,26……カムレバー
の概略側面図、第２図はウエハカセット把持腕の傾動機
構の第１実施例を示す側面図、第３図は第２図の右正面
図、第４図は把持腕拡縮機構の平面説明図、第５図は第
４図の正面図、第６図はウエハカセット把持腕の傾動機
構の第２実施例の側面図である。 １……搬送台車、２……枠体 ５……回転駆動ねじ軸、９……昇降部材 10,10……案内支柱、12……ウエハカセット 13,13……把持腕、20……傾動操作杆 21,26……カムレバー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 「機械運動機構」芦葉清三郎著 昭47− ９−10（株）技報堂発行 ＰＰ．４，175, 181
Claims (1)
- 【請求項１】搬送台車上に回転駆動ねじ軸を立設し、該
ねじ軸に螺合する昇降部材にウエハカセットの把持腕を
傾動自在に枢支し、前記昇降部材に上下方向に揺動自在
に枢支したカムレバーの自由端と前記把持腕に枢支した
把持腕傾動操作杆とを連結すると共に、前記昇降部材の
昇降に伴って前記カムレバーを揺動作動させるカム部材
を搬送台車上の枠体に固設し、搬送台車走行時にウエハ
カセットを傾斜保持して搬送するウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19383585A JPH0682741B2 (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19383585A JPH0682741B2 (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | ウエハ搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6257882A JPS6257882A (ja) | 1987-03-13 |
| JPH0682741B2 true JPH0682741B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=16314526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19383585A Expired - Lifetime JPH0682741B2 (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682741B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0627349Y2 (ja) * | 1987-05-21 | 1994-07-27 | 三菱電機株式会社 | ロボツトハンド |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS524925Y2 (ja) * | 1971-12-22 | 1977-02-01 | ||
| JPS5263425U (en) * | 1975-11-07 | 1977-05-11 | Tektronix Inc | Camera for oscilloscope |
-
1985
- 1985-09-04 JP JP19383585A patent/JPH0682741B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 「機械運動機構」芦葉清三郎著昭４７−９−１０（株）技報堂発行ＰＰ．４，１７５，１８１ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6257882A (ja) | 1987-03-13 |
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