JP3369255B2 - 半導体製造方法及び半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造方法及び半導体製造装置Info
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- JP3369255B2 JP3369255B2 JP15124693A JP15124693A JP3369255B2 JP 3369255 B2 JP3369255 B2 JP 3369255B2 JP 15124693 A JP15124693 A JP 15124693A JP 15124693 A JP15124693 A JP 15124693A JP 3369255 B2 JP3369255 B2 JP 3369255B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置、特にウ
ェーハ等の基板を搬送する為の基板搬送装置の改良に関
するものである。
ェーハ等の基板を搬送する為の基板搬送装置の改良に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製品の多様化、被処理基板の大型
化等から半導体製造装置に於ける基板処理は１枚ずつの
処理を行う枚葉式半導体製造装置が普及しつつある。
化等から半導体製造装置に於ける基板処理は１枚ずつの
処理を行う枚葉式半導体製造装置が普及しつつある。
【０００３】枚葉式半導体製造装置では処理室に１枚の
基板を搬入搬出する基板搬送装置を具備するが、従来の
基板搬送装置は単一の搬送腕を有し、搬送腕の伸縮、回
転動作で基板の搬入、搬出を行っており、処理装置或は
基板の貯留ステーションにはには基板受渡しの為の基板
上下機構が設けられている。
基板を搬入搬出する基板搬送装置を具備するが、従来の
基板搬送装置は単一の搬送腕を有し、搬送腕の伸縮、回
転動作で基板の搬入、搬出を行っており、処理装置或は
基板の貯留ステーションにはには基板受渡しの為の基板
上下機構が設けられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記した従来例では、
搬送腕が単一の為、未処理基板の搬入、処理基板の搬出
を行うには基板を一時貯留しておく為の貯留ステーショ
ンが必要となり、又処理装置或は貯留ステーションには
基板授受の為、基板の上下機構が必要となる。この為搬
送系の装置が複雑なり、又基板の搬入搬出が併行して行
えないので搬入搬出時間が長くなり、スループットが低
下するという問題があった。
搬送腕が単一の為、未処理基板の搬入、処理基板の搬出
を行うには基板を一時貯留しておく為の貯留ステーショ
ンが必要となり、又処理装置或は貯留ステーションには
基板授受の為、基板の上下機構が必要となる。この為搬
送系の装置が複雑なり、又基板の搬入搬出が併行して行
えないので搬入搬出時間が長くなり、スループットが低
下するという問題があった。
【０００５】本発明は斯かる実情に鑑み、基板の搬入搬
出を能率的に行える様にし而も基板授受に関する機構の
簡略化を図るものである。
出を能率的に行える様にし而も基板授受に関する機構の
簡略化を図るものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板搬送装置
を有する半導体製造装置に於いて、回転基板に２本の支
持ポストを昇降可能に設け、該支持ポストの上端側にそ
れぞれ進退可能な２組の搬送腕を設け、前記支持ポスト
の下端側にそれぞれ進退動作モータを設け、前記支持ポ
ストを貫通する前記搬送腕進退用駆動シャフトと前記進
退動作モータとを連結し、前記回転基板を旋回モータに
より旋回可能とし、前記２組の搬送腕により２枚の基板
を同時に、同方向に搬送する搬送工程を具備する半導体
製造方法に係り、又基板搬送装置を有する半導体製造装
置に於いて、回転基板に２本の支持ポストを独立して昇
降可能に設け、該支持ポストの上端側にそれぞれ進退可
能な２組の搬送腕を設け、前記支持ポストの下端側にそ
れぞれ進退動作モータを設け、前記支持ポストを貫通す
る前記搬送腕進退用駆動シャフトと前記進退動作モータ
とを連結し、前記回転基板を旋回モータにより旋回可能
とした半導体製造装置に係るものである。
を有する半導体製造装置に於いて、回転基板に２本の支
持ポストを昇降可能に設け、該支持ポストの上端側にそ
れぞれ進退可能な２組の搬送腕を設け、前記支持ポスト
の下端側にそれぞれ進退動作モータを設け、前記支持ポ
ストを貫通する前記搬送腕進退用駆動シャフトと前記進
退動作モータとを連結し、前記回転基板を旋回モータに
より旋回可能とし、前記２組の搬送腕により２枚の基板
を同時に、同方向に搬送する搬送工程を具備する半導体
製造方法に係り、又基板搬送装置を有する半導体製造装
置に於いて、回転基板に２本の支持ポストを独立して昇
降可能に設け、該支持ポストの上端側にそれぞれ進退可
能な２組の搬送腕を設け、前記支持ポストの下端側にそ
れぞれ進退動作モータを設け、前記支持ポストを貫通す
る前記搬送腕進退用駆動シャフトと前記進退動作モータ
とを連結し、前記回転基板を旋回モータにより旋回可能
とした半導体製造装置に係るものである。
【０００７】
【作用】進退動作モータにより進退駆動シャフトを回転
させ、搬送腕の進退を行わせ、支持ポストを介して搬送
腕を昇降させることで基板の授受を行い、搬送腕の進
退、旋回モータによる搬送腕の方向変換、更に搬送腕の
進退、支持ポストを介して搬送腕を昇降させることで基
板の搬送を行う。
させ、搬送腕の進退を行わせ、支持ポストを介して搬送
腕を昇降させることで基板の授受を行い、搬送腕の進
退、旋回モータによる搬送腕の方向変換、更に搬送腕の
進退、支持ポストを介して搬送腕を昇降させることで基
板の搬送を行う。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【０００９】図１〜図４に於いて第１の実施例を説明す
る。
る。
【００１０】先ず、本実施例では搬送腕を２組具備して
いる。２組の搬送腕１，２はそれぞれ第１腕３、第２腕
４、第３腕５から成る３節リンク構造であり、搬送腕１
は、前記第１腕３、第２腕４、第３腕５が相互に逆回転
をなすことで、前記第３腕５が直線運動をする様構成さ
れている。搬送腕２は搬送腕１と第３腕５′が異なるこ
とを除けば同様な構成であり、且該搬送腕１と対称的に
設けられ、両搬送腕１、搬送腕２は鉛直線の回りを一体
的に回転する。
いる。２組の搬送腕１，２はそれぞれ第１腕３、第２腕
４、第３腕５から成る３節リンク構造であり、搬送腕１
は、前記第１腕３、第２腕４、第３腕５が相互に逆回転
をなすことで、前記第３腕５が直線運動をする様構成さ
れている。搬送腕２は搬送腕１と第３腕５′が異なるこ
とを除けば同様な構成であり、且該搬送腕１と対称的に
設けられ、両搬送腕１、搬送腕２は鉛直線の回りを一体
的に回転する。
【００１１】第３腕５、第３腕５′は同一動作線を有
し、両第３腕５、第３腕５′は干渉しない様、前記第３
腕５の基部がコの字状であり、前記第３腕５′は前記第
３腕５の下方を進退する。
し、両第３腕５、第３腕５′は干渉しない様、前記第３
腕５の基部がコの字状であり、前記第３腕５′は前記第
３腕５の下方を進退する。
【００１２】前記搬送腕１、搬送腕２の駆動機構につい
て詳述する。
て詳述する。
【００１３】円筒状のケース６の上端に回転基板７が軸
受８を介して回転自在に設けられ、前記ケース６の底面
には旋回モータ１０が固着されている。該旋回モータ１
０上には一対の昇降モータ１１がそれぞれ減速機１６を
介して設けられると共にシャフト支持ブロック１２が固
着されている。該シャフト支持ブロック１２と前記回転
基板７との間には昇降ガイドシャフト９が立設されてい
る。
受８を介して回転自在に設けられ、前記ケース６の底面
には旋回モータ１０が固着されている。該旋回モータ１
０上には一対の昇降モータ１１がそれぞれ減速機１６を
介して設けられると共にシャフト支持ブロック１２が固
着されている。該シャフト支持ブロック１２と前記回転
基板７との間には昇降ガイドシャフト９が立設されてい
る。
【００１４】前記各昇降ガイドシャフト９にはスライド
軸受１３を介して昇降スライド１４が設けられ、該昇降
スライド１４にはナットブロック１５が設けられてい
る。前記減速機１６の出力軸はスクリューシャフト１７
となっており、該スクリューシャフト１７は前記ナット
ブロック１５に螺合する。
軸受１３を介して昇降スライド１４が設けられ、該昇降
スライド１４にはナットブロック１５が設けられてい
る。前記減速機１６の出力軸はスクリューシャフト１７
となっており、該スクリューシャフト１７は前記ナット
ブロック１５に螺合する。
【００１５】又前記各昇降スライド１４の略中央には前
記搬送腕１、搬送腕２の支持ポスト１８が立設され、該
支持ポスト１８は前記回転基板７を遊貫している。該支
持ポスト１８は中空となっており、この中空部に前記搬
送腕１、搬送腕２の進退駆動シャフト１９が回転自在に
貫通している。該進退駆動シャフト１９には進退動作モ
ータ２０が連結されている。
記搬送腕１、搬送腕２の支持ポスト１８が立設され、該
支持ポスト１８は前記回転基板７を遊貫している。該支
持ポスト１８は中空となっており、この中空部に前記搬
送腕１、搬送腕２の進退駆動シャフト１９が回転自在に
貫通している。該進退駆動シャフト１９には進退動作モ
ータ２０が連結されている。
【００１６】以下、該実施例の作動について説明する。
【００１７】先ず搬送腕１の進退について説明する。
【００１８】前記第３腕５にはウェーハ２１が乗置され
る様になっており、該第３腕５を直線的に進退させる場
合は、前記進退動作モータ２０を回転駆動する。該進退
動作モータ２０の駆動により前記第３腕５が独立して進
退、即ち前記搬送腕１が独立して伸縮する様になってい
る。又、前記搬送腕２を伸縮させる場合は、もう１つの
進退動作モータ２０を駆動すればよい。
る様になっており、該第３腕５を直線的に進退させる場
合は、前記進退動作モータ２０を回転駆動する。該進退
動作モータ２０の駆動により前記第３腕５が独立して進
退、即ち前記搬送腕１が独立して伸縮する様になってい
る。又、前記搬送腕２を伸縮させる場合は、もう１つの
進退動作モータ２０を駆動すればよい。
【００１９】次に、前記搬送腕１を昇降させる場合は、
前記昇降モータ１１を駆動する。該昇降モータ１１の駆
動により前記減速機１６のスクリューシャフト１７が回
転し、該スクリューシャフト１７の回転は前記ナットブ
ロック１５によって昇降動作に変換され、前記昇降スラ
イド１４が昇降する。該昇降スライド１４の昇降で、前
記搬送腕１が昇降する。前記搬送腕２についても、もう
１つの昇降モータ１１を駆動することで昇降させること
がでる。
前記昇降モータ１１を駆動する。該昇降モータ１１の駆
動により前記減速機１６のスクリューシャフト１７が回
転し、該スクリューシャフト１７の回転は前記ナットブ
ロック１５によって昇降動作に変換され、前記昇降スラ
イド１４が昇降する。該昇降スライド１４の昇降で、前
記搬送腕１が昇降する。前記搬送腕２についても、もう
１つの昇降モータ１１を駆動することで昇降させること
がでる。
【００２０】而して、搬送腕１、搬送腕２はそれぞれ独
立で昇降可能であり、該搬送腕１、搬送腕２を一体的に
昇降できると共に個別に昇降させ、前記第３腕５と第３
腕５′の距離を変更することができる。
立で昇降可能であり、該搬送腕１、搬送腕２を一体的に
昇降できると共に個別に昇降させ、前記第３腕５と第３
腕５′の距離を変更することができる。
【００２１】更に、前記旋回モータ１０を駆動すること
でスクリューシャフト１７、昇降ガイドシャフト９を介
して２組の前記昇降スライド１４、支持ポスト１８、及
び前記回転基板７が回転し、前記搬送腕１、搬送腕２が
一体に旋回する。該搬送腕１、搬送腕２の旋回で搬送腕
１、搬送腕２の搬送方向が変更でき、前記ウェーハ２１
の搬送を行うことができる。
でスクリューシャフト１７、昇降ガイドシャフト９を介
して２組の前記昇降スライド１４、支持ポスト１８、及
び前記回転基板７が回転し、前記搬送腕１、搬送腕２が
一体に旋回する。該搬送腕１、搬送腕２の旋回で搬送腕
１、搬送腕２の搬送方向が変更でき、前記ウェーハ２１
の搬送を行うことができる。
【００２２】ウェーハ２１の搬送の態様に於いては、ウ
ェーハ２１を多段に収納するウェーハ保持器が複数あ
り、複数のウェーハ保持器間でウェーハの搬送を行う場
合があるが、搬送の対象となるウェーハ保持器でウェー
ハ収納ピッチが異なる場合、前記昇降モータ１１の一方
を駆動して、第３腕５と第３腕５′の距離を変更し、第
３腕５と第３腕５′の距離をウェーハ収納ピッチに合致
させる。このことで、ウェーハの搬送を２枚１度に行う
ことができ、ウェーハの搬送効率が向上する。
ェーハ２１を多段に収納するウェーハ保持器が複数あ
り、複数のウェーハ保持器間でウェーハの搬送を行う場
合があるが、搬送の対象となるウェーハ保持器でウェー
ハ収納ピッチが異なる場合、前記昇降モータ１１の一方
を駆動して、第３腕５と第３腕５′の距離を変更し、第
３腕５と第３腕５′の距離をウェーハ収納ピッチに合致
させる。このことで、ウェーハの搬送を２枚１度に行う
ことができ、ウェーハの搬送効率が向上する。
【００２３】又、処理室への搬入搬出に於いて、例えば
搬送腕１を未処理ウェーハの搬入に使用し、搬送腕２を
処理ウェーハの搬出に使用すると、搬入搬出に待ち時間
がなくなり、又ウェーハを貯留する為の貯留ステーショ
ンが不要となる。更に、搬送腕１、搬送腕２が昇降可能
であるので、処理室側、或は他の基板受載部に基板受渡
しの為の基板昇降機構が不要となる。
搬送腕１を未処理ウェーハの搬入に使用し、搬送腕２を
処理ウェーハの搬出に使用すると、搬入搬出に待ち時間
がなくなり、又ウェーハを貯留する為の貯留ステーショ
ンが不要となる。更に、搬送腕１、搬送腕２が昇降可能
であるので、処理室側、或は他の基板受載部に基板受渡
しの為の基板昇降機構が不要となる。
【００２４】次に、図５〜図７に於いて第２の実施例を
説明する。
説明する。
【００２５】尚、図５〜図７中、図１〜図４中で示した
ものと同一のもの、又は同一の機能を有するものには同
符号付してある。
ものと同一のもの、又は同一の機能を有するものには同
符号付してある。
【００２６】該第２の実施例に於いても２組の搬送腕
１，２が具備されており、該２組の搬送腕１，２はそれ
ぞれ第１腕３、第２腕４、第３腕５から成る３節リンク
構造であり、搬送腕１は、前記第１腕３、第２腕４、第
３腕５が相互に逆回転をなすことで、前記第３腕５が直
線運動をする様構成されている。搬送腕２は搬送腕１と
第３腕５′が異なることを除けば同様な構成であり、且
該搬送腕１と対称的に設けられ、両搬送腕１、搬送腕２
は鉛直線の回りを一体的に回転する。
１，２が具備されており、該２組の搬送腕１，２はそれ
ぞれ第１腕３、第２腕４、第３腕５から成る３節リンク
構造であり、搬送腕１は、前記第１腕３、第２腕４、第
３腕５が相互に逆回転をなすことで、前記第３腕５が直
線運動をする様構成されている。搬送腕２は搬送腕１と
第３腕５′が異なることを除けば同様な構成であり、且
該搬送腕１と対称的に設けられ、両搬送腕１、搬送腕２
は鉛直線の回りを一体的に回転する。
【００２７】第３腕５、第３腕５′は同一動作線を有
し、両第３腕５、第３腕５′は干渉しない様、前記第３
腕５の基部がコの字状であり、前記第３腕５′は前記第
３腕５の下方を進退する。
し、両第３腕５、第３腕５′は干渉しない様、前記第３
腕５の基部がコの字状であり、前記第３腕５′は前記第
３腕５の下方を進退する。
【００２８】前記搬送腕１、搬送腕２の駆動機構につい
て詳述する。
て詳述する。
【００２９】円筒状のケース６の上端に回転基板７が軸
受８を介して回転自在に設けられ、更に回転基板７とケ
ース６側との間には磁気シール２２が設けられ、気密に
シールされている。前記回転基板７の下方に吊りロッド
２３を介して回転棚板２４が設けられ、該回転棚板２４
には前記搬送腕１、搬送腕２の２本の支持ポスト１８が
立設され、該支持ポスト１８により前記搬送腕１、搬送
腕２が支持されている。
受８を介して回転自在に設けられ、更に回転基板７とケ
ース６側との間には磁気シール２２が設けられ、気密に
シールされている。前記回転基板７の下方に吊りロッド
２３を介して回転棚板２４が設けられ、該回転棚板２４
には前記搬送腕１、搬送腕２の２本の支持ポスト１８が
立設され、該支持ポスト１８により前記搬送腕１、搬送
腕２が支持されている。
【００３０】前記支持ポスト１８は中空となっており、
該支持ポスト１８それぞれを前記搬送腕１、搬送腕２の
進退駆動シャフト１９が貫通し、該進退駆動シャフト１
９の下端は進退動作モータ２０の出力軸に連結されてい
る。前記支持ポスト１８と前記進退駆動シャフト１９と
の間には磁気シール３１が設けられ、前記進退駆動シャ
フト１９の貫通箇所が気密にシールされている。
該支持ポスト１８それぞれを前記搬送腕１、搬送腕２の
進退駆動シャフト１９が貫通し、該進退駆動シャフト１
９の下端は進退動作モータ２０の出力軸に連結されてい
る。前記支持ポスト１８と前記進退駆動シャフト１９と
の間には磁気シール３１が設けられ、前記進退駆動シャ
フト１９の貫通箇所が気密にシールされている。
【００３１】前記進退動作モータ２０はモータ座２５を
介して前記回転棚板２４に固定されている。又、前記支
持ポスト１８は前記回転基板７を遊貫するが、支持ポス
ト１８の貫通箇所にはベローズ２９が設けられ気密にシ
ールされている。
介して前記回転棚板２４に固定されている。又、前記支
持ポスト１８は前記回転基板７を遊貫するが、支持ポス
ト１８の貫通箇所にはベローズ２９が設けられ気密にシ
ールされている。
【００３２】該回転棚板２４の下面には前記２組の進退
動作モータ２０を囲繞する筒体２６が垂設され、該筒体
２６の下端には旋回モータ１０が固着され、該旋回モー
タ１０はケース６の底板２７を遊貫して下方に突出して
おり、該底板２７の下面には昇降基板２８が固着されて
いる。
動作モータ２０を囲繞する筒体２６が垂設され、該筒体
２６の下端には旋回モータ１０が固着され、該旋回モー
タ１０はケース６の底板２７を遊貫して下方に突出して
おり、該底板２７の下面には昇降基板２８が固着されて
いる。
【００３３】前記底板２７の下方に固定棚板３０が設け
られ、該固定棚板３０と前記底板２７との間に掛渡され
て昇降ガイドシャフト９が設けられ、該昇降ガイドシャ
フト９に軸受１３を介して前記昇降基板２８が昇降自在
に嵌合し、又該昇降基板２８にはナットブロック１５が
固着されている。前記固定棚板３０には減速機１６が取
付けられ、該減速機１６の出力軸であるスクリューシャ
フト１７は前記ナットブロック１５に嵌合する。前記減
速機１６には昇降モータ１１が連結され、該昇降モータ
１１の駆動で前記スクリューシャフト１７が回転する様
になっている。
られ、該固定棚板３０と前記底板２７との間に掛渡され
て昇降ガイドシャフト９が設けられ、該昇降ガイドシャ
フト９に軸受１３を介して前記昇降基板２８が昇降自在
に嵌合し、又該昇降基板２８にはナットブロック１５が
固着されている。前記固定棚板３０には減速機１６が取
付けられ、該減速機１６の出力軸であるスクリューシャ
フト１７は前記ナットブロック１５に嵌合する。前記減
速機１６には昇降モータ１１が連結され、該昇降モータ
１１の駆動で前記スクリューシャフト１７が回転する様
になっている。
【００３４】以下、該実施例の作動について説明する。
【００３５】先ず搬送腕１の進退についてい説明する。
【００３６】前記第３腕５にはウェーハ２１が乗置され
る様になっており、該第３腕５を直線的に進退させる場
合は、前記進退動作モータ２０を回転駆動する。該進退
動作モータ２０の駆動により前記第３腕５が独立して進
退、即ち前記搬送腕１が独立して伸縮する様になってい
る。又、前記搬送腕２を伸縮させる場合は、もう１つの
進退動作モータ２０を駆動すればよい。
る様になっており、該第３腕５を直線的に進退させる場
合は、前記進退動作モータ２０を回転駆動する。該進退
動作モータ２０の駆動により前記第３腕５が独立して進
退、即ち前記搬送腕１が独立して伸縮する様になってい
る。又、前記搬送腕２を伸縮させる場合は、もう１つの
進退動作モータ２０を駆動すればよい。
【００３７】次に、前記搬送腕１、搬送腕２を昇降させ
る場合は、前記昇降モータ１１を駆動する。該昇降モー
タ１１の駆動により前記減速機１６のスクリューシャフ
ト１７が回転し、該スクリューシャフト１７の回転は前
記ナットブロック１５によって昇降動作に変換され、前
記昇降基板２８が昇降し、該昇降基板２８に前記スクリ
ューシャフト１７、筒体２６、回転棚板２４、支持ポス
ト１８を介して設けられた前記搬送腕１、搬送腕２が一
体となって昇降する。
る場合は、前記昇降モータ１１を駆動する。該昇降モー
タ１１の駆動により前記減速機１６のスクリューシャフ
ト１７が回転し、該スクリューシャフト１７の回転は前
記ナットブロック１５によって昇降動作に変換され、前
記昇降基板２８が昇降し、該昇降基板２８に前記スクリ
ューシャフト１７、筒体２６、回転棚板２４、支持ポス
ト１８を介して設けられた前記搬送腕１、搬送腕２が一
体となって昇降する。
【００３８】更に、前記旋回モータ１０を駆動すること
で筒体２６を介して２組の前記支持ポスト１８及び前記
回転基板７が回転し、前記搬送腕１、搬送腕２が一体に
旋回する。該搬送腕１、搬送腕２の旋回で搬送腕１、搬
送腕２の搬送方向が変更でき、前記ウェーハ２１の搬送
を行うことができる。
で筒体２６を介して２組の前記支持ポスト１８及び前記
回転基板７が回転し、前記搬送腕１、搬送腕２が一体に
旋回する。該搬送腕１、搬送腕２の旋回で搬送腕１、搬
送腕２の搬送方向が変更でき、前記ウェーハ２１の搬送
を行うことができる。
【００３９】又、処理室への搬入搬出に於いて、例えば
搬送腕１を未処理ウェーハの搬入に使用し、搬送腕２を
処理ウェーハの搬出に使用すると、搬入搬出に待ち時間
がなくなり、又ウェーハを貯留する為の貯留ステーショ
ンが不要となる。更に、搬送腕１、搬送腕２が昇降可能
であるので、処理室側、或は他の基板受載部に基板受渡
しの為の基板昇降機構が不要となる。
搬送腕１を未処理ウェーハの搬入に使用し、搬送腕２を
処理ウェーハの搬出に使用すると、搬入搬出に待ち時間
がなくなり、又ウェーハを貯留する為の貯留ステーショ
ンが不要となる。更に、搬送腕１、搬送腕２が昇降可能
であるので、処理室側、或は他の基板受載部に基板受渡
しの為の基板昇降機構が不要となる。
【００４０】前記した様に、第２の実施例ではスクリュ
ーシャフト１７とケース６との間、スクリューシャフト
１７と支持ポスト１８との間、支持ポスト１８と進退駆
動シャフト１９との間がそれぞれ気密にシールされてい
るので、前記搬送腕１、搬送腕２のみを、真空室に露出
させウェーハ２１を搬送することができ、真空基板搬送
装置としても使用可能である。
ーシャフト１７とケース６との間、スクリューシャフト
１７と支持ポスト１８との間、支持ポスト１８と進退駆
動シャフト１９との間がそれぞれ気密にシールされてい
るので、前記搬送腕１、搬送腕２のみを、真空室に露出
させウェーハ２１を搬送することができ、真空基板搬送
装置としても使用可能である。
【００４１】尚、第１の実施例では第２の実施例同様な
構成で、スクリューシャフト１７とケース６との間、ス
クリューシャフト１７と支持ポスト１８との間、支持ポ
スト１８と進退駆動シャフト１９との間をそれぞれ気密
にシールすることが可能であり、第１の実施例も真空基
板搬送装置としても使用可能であることは言う迄もな
い。又、搬送する対象物はウェーハに限らず、ガラス基
板等であってもよいことは勿論である。
構成で、スクリューシャフト１７とケース６との間、ス
クリューシャフト１７と支持ポスト１８との間、支持ポ
スト１８と進退駆動シャフト１９との間をそれぞれ気密
にシールすることが可能であり、第１の実施例も真空基
板搬送装置としても使用可能であることは言う迄もな
い。又、搬送する対象物はウェーハに限らず、ガラス基
板等であってもよいことは勿論である。
【００４２】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、下記の
優れた効果を発揮する。
優れた効果を発揮する。
【００４３】 ２組の搬送腕が独立して進退可能であ
るので２枚の基板の搬送を平行して行うことができ、搬
送効率が向上する。
るので２枚の基板の搬送を平行して行うことができ、搬
送効率が向上する。
【００４４】 搬入腕と搬出腕を予め決めて作動させ
ることで、搬入搬出作動で待ち時間がなくなり、搬入搬
出に要する時間が大幅に短縮する。
ることで、搬入搬出作動で待ち時間がなくなり、搬入搬
出に要する時間が大幅に短縮する。
【００４５】 搬送腕が昇降可能であるので基板の授
受に於いて相手側の昇降機構が省略でき、装置の簡略化
が図れる。
受に於いて相手側の昇降機構が省略でき、装置の簡略化
が図れる。
【００４６】 可動部と固定部間をシールしたので、
真空用の基板搬送装置として使用可能である。
真空用の基板搬送装置として使用可能である。
【００４７】 ２本の搬送腕を独立して昇降可能とし
たので、基板の収納ピッチの異なる基板保持器間での２
枚同時搬送が可能となり、搬送能率が大幅に向上する。
たので、基板の収納ピッチの異なる基板保持器間での２
枚同時搬送が可能となり、搬送能率が大幅に向上する。
【図１】第１の実施例の平面図である。
【図２】該１の実施例の側面図である。
【図３】該１の実施例の立断面図である。
【図４】該１の実施例のＡ−Ａ矢視図である。
【図５】第２の実施例の平面図である。
【図６】該２の実施例の立断面図である。
【図７】該２の実施例の側断面図である。
１ 搬送腕
２ 搬送腕
７ 回転基板
９ 昇降ガイドシャフト
１０ 旋回モータ
１１ 昇降モータ
１４ 昇降スライド
１５ ナットブロック
１７ スクリューシャフト
１８ 支持ポスト
１９ 進退駆動シャフト
２０ 進退動作モータ
２２ 磁気シール
２９ ベローズ
３１ 磁気シール
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 富田 雅之
東京都港区虎ノ門二丁目３番13号 国際
電気株式会社内
(72)発明者 篠崎 賢治
東京都港区虎ノ門二丁目３番13号 国際
電気株式会社内
(56)参考文献 特開 平４−30447（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−279043（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/68
B65G 49/06 - 49/07
B25J 5/00 - 9/08
B25J 11/00
B25J 18/00 - 18/06
Claims (2)
- 【請求項１】 基板搬送装置を有する半導体製造装置に
於いて、回転基板に２本の支持ポストを昇降可能に設
け、該支持ポストの上端側にそれぞれ進退可能な２組の
搬送腕を設け、前記支持ポストの下端側にそれぞれ進退
動作モータを設け、前記支持ポストを貫通する前記搬送
腕進退用駆動シャフトと前記進退動作モータとを連結
し、前記回転基板を旋回モータにより旋回可能とし、前
記２組の搬送腕により２枚の基板を同時に、同方向に搬
送する搬送工程を具備することを特徴とする半導体製造
方法。 - 【請求項２】 基板搬送装置を有する半導体製造装置に
於いて、回転基板に２本の支持ポストを独立して昇降可
能に設け、該支持ポストの上端側にそれぞれ進退可能な
２組の搬送腕を設け、前記支持ポストの下端側にそれぞ
れ進退動作モータを設け、前記支持ポストを貫通する前
記搬送腕進退用駆動シャフトと前記進退動作モータとを
連結し、前記回転基板を旋回モータにより旋回可能とし
たことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15124693A JP3369255B2 (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 半導体製造方法及び半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15124693A JP3369255B2 (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 半導体製造方法及び半導体製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06338554A JPH06338554A (ja) | 1994-12-06 |
| JP3369255B2 true JP3369255B2 (ja) | 2003-01-20 |
Family
ID=15514465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15124693A Expired - Lifetime JP3369255B2 (ja) | 1993-05-28 | 1993-05-28 | 半導体製造方法及び半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3369255B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4178534B2 (ja) * | 1997-12-24 | 2008-11-12 | 株式会社安川電機 | 基板搬送用ロボット |
| JP4222068B2 (ja) | 2003-03-10 | 2009-02-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の搬送装置 |
| WO2012125572A2 (en) * | 2011-03-11 | 2012-09-20 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing tool |
| US10224232B2 (en) | 2013-01-18 | 2019-03-05 | Persimmon Technologies Corporation | Robot having two arms with unequal link lengths |
| WO2016127160A1 (en) * | 2015-02-06 | 2016-08-11 | Persimmon Technologies, Corp. | Robot having arm with unequal link lengths |
| CN116981546A (zh) * | 2021-03-18 | 2023-10-31 | 柿子技术公司 | 具有多套连杆机构的分布式架构机器人 |
-
1993
- 1993-05-28 JP JP15124693A patent/JP3369255B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06338554A (ja) | 1994-12-06 |
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