JPS6375639A - 粒子捕集装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、粒子捕集装置に係り、特に微小粒子捕集後、
顕微鏡、又はレーザー面板欠陥検査装置による分析、観
察に好適な１粒子捕集装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、カスケードインパクタに関しては、種々のものが
提案されているが、一般にこれらの装置は、計量、化学
分析などの結果の利用に必要な感度を得るために十分な
量のエアロゾルが回収できることを前提としているもの
であった。なお、この種の装置として関連するものには
、例えば、特開昭６０−１５５４２号１％開昭６０−１
５７０３６号等で、摘果板上に全面に亘る均等な粒子を
得る方法などが述べられている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は、捕集塵埃が少量である場合に。

衝突板上で塵埃が目視で判断できる程度にしか集塵しな
い場合について配慮がされておらず、数の評価形状、成
分などについての分析ができな−という問題があった。

本発明の目的は、クリーンルーム内などの浮遊塵埃数の
非常に少ないところで塵埃を捕集した場合でも、数の評
価、形状、成分などについての分析を行い、父、任意の
サイズの衝突板を用いることを可能にすることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、表面が清浄な鏡面である衝突板として１例
えば清浄なシリコンウェハーを用い、該衝突板を保持す
る部材に、着脱可能なへこみ部を設けることにより達成
さｎる。

〔作用〕

表面が清浄な％鏡面である衝突板は、衝突板のもつ表面
の荒さ、又は、捕集前より付着している塵埃が少ない。

それによって、塵埃捕集後の衝突板は、レーザの塵埃に
よる散乱を用いるレーザー面板欠陥検査装置を用い、付
着塵埃数を求めることができ、又、走査型１子顕微鏡に
より１つ１つの塵埃を観察したり、Ｘ線分析装置により
、個々の塵埃の元素分析を行うことが可能となる。

また、衝突板として、シリコンウエノ・−などを用いた
場せ、保持部材のへこみ部を、既成のつエバーサイズに
合せ形成することによシ、任意のウェハーサイズを用い
ることができるようになる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面により説明する。

第１図は１本発明の粒子捕集装置の全体図である。この
図において、１は１粒子捕集装置本体である。ｋｌ　、
Ａ２　、・・・Ａ、は上下方向に亘って積置された粒子
捕実用の段であり、それぞれ含塵気流噴射用ノズル１０
、及びこれに対面する衝突板１１、衝突板を保持する部
材１２が配設され、前記ノズルは、下段に至るに伴って
、その噴射口の径が漸減され、噴射速度が下方に至るに
伴って増大されるようになっている。最下段Ａ、には、
排気口３の前にフィルター５が設けられていて、排気口
は、ポンプへと連結されている。最上段ＡＩのノズル先
端には、ホース２が連結されている。

なお、この装置の捕集板としては、清浄な、シリコンウ
ェハーを用いるう 使用時には、前記ホースを、塵埃収集を行いたい場所に
設置し、ポンプを作動させる。吸引された、含塵気体は
、ホースを通過し、捕集装置１ｔ１の第１段ＡＩに入り
、この含塵気流はノズル１から、ノリコンクエバー１１
上に高速で吹付けられ、塵埃は、その慣性によりウエノ
・−上に捕集される。

捕集される粒子は、ノズル径により決定される一定の値
以上の粒径のもので、それ以下のものは。

下の段Ａ２へと運ばれる。以下同様に分級捕集２繰り返
し、最終段Ａ１のウェハー上にも捕獲されなかった塵埃
がフィルター５に捕集される。

第２図は、本実施例の衝突板伝持部材の斜視図である。

この保持部材には、４つの径のシリコンクエ”　−、例
工４３　、４　、５　、６インテクエハーを１図の１７
．１６，１５．１４の部分に載置することができ、保持
部材底面の小穴１３の後方より、針状のものでウェハー
を押し、ウェハーを取り出す。本実施例によれば、捕集
板として、既成のシリコンウェハーを用いるため、清浄
鏡面の捕集板が手に入りやすく、また、保持部材を設け
ることによシ衝突板が、安定設置され、また、小穴１３
により、着脱が容易であり、取りだす際も、ウェハー汚
染が少ないという効果がある。

第３図は、本発明の一実施例を、７０−チ？　−トで示
したものである。クリーンルーム内での。

浮遊塵埃を収集する（ステップ２１）。ノリコンウェハ
ーを第２図の小穴１３を用いて浮かせて、真空ピンセッ
トなどを用い取り出す（ステップ２２）。ウェハーを、
面板欠陥検査装置にかけ、粒径毎の数を調べる（ステッ
プ２３）。場所を変え、浮遊塵埃を捕集し数を比較する
ことにより。

発塵の多い場所を究明する（ステップ２４）。また、ウ
ェハーを走査型１子顕微鏡（ＳＥＭ）に入れ（ステップ
２５）、塵埃１つ１つの形状を調べる（ステップ２６）
。Ｘ線分析装置を用い、それぞれの塵埃の構成元素を調
べる（ステップ２７）。

本実施例によれば、前記のように、発塵の多い場所を探
り（ステップ２４）、塵埃の構成元素（ステップ２８）
を元にして１発塵部分を、解明できる（ステップ２９）
という効果がある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、微粒子を清浄な鏡面上へ捕集でき、任
意のサイズの衝突板を用いることができるので、走査型
電子顕微鏡、Ｘ線分析装置、レーザー面板欠陥検査装置
を用い、塵埃１つ１つの形状、構成元素がわかり、塵埃
数の比較ができるといり効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の粒子捕集装置の縦断面図
、第２図は第１図の１２に示されている衝突板保持部材
の斜視因、第３図は、本発明の一実施例の７０−テｆ−
１・である。 １・・・粒子捕集装［本体、２・・・ホース、３・・・
排気口、５・・・フィルター、１０・・・ノズル、１１
・・・捕集板。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、気流内の粒子の慣性を利用し、衝突板に粒子を衝突
   させて、衝突板に粒子を捕集する装置において、清浄な
   鏡板仕上げした衝突板を保持部材を着脱可能に載置し、
   この保持部材を本体内に複数段配設し、各保持部材が配
   置された空間は、衝突板に対向する異径噴射口にて連通
   し、第１段の保持部材が配置され空間には入口噴射口、
   最終段の保持部材が配置された空間には排出口が開口し
   てなることを特徴とする粒子捕集装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の粒子捕集板において、
   前記保持部材は、異径の衝突板を載置し得るへこみ部を
   備えた粒子捕集装置。