KR970017905A - 파티클 평가용 시험챔버와 이를 이용한 파티클 평가 시스템 - Google Patents

파티클 평가용 시험챔버와 이를 이용한 파티클 평가 시스템 Download PDF

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Abstract

반도체에 관련된 여러 가지의 파티클을 평가할 수 있는 파티클 평가용 시험챔버와 이를 이용한 파티클 평가시스템이 포함되어 있다. 또한 파티클 평가 기준시험(Reference Test)을 할 수 있는 파티클 평가 시스템과 파티클의 구조 및 성분 분석을 할 수 있는 파티클 평가 시스템이 포함되어 있다. 본 발명의 파티클 평가 시스템은, 시험챔버 내부 또는 외부에서 샘플링된 파티클이 혼합된 공기를 시험챔버의 이소키네틱 샘플링프루브에 의해 일정하게 샘플링하여, 시험챔버와 연결된 파티클카운터, 멀티플렉서 프로세서, 및 컴퓨터에서 파티클을 카운팅하고 모니터링할 수 있다. 따라서, 크린룸 의복, 제조공정 라인에서 사용되는 여러가지 지원장비, 기타 청정용품, 작업자의 작업행동등에서 발생하는 파티클오염의 정도를 평가할 수 있고, 신규 청정용품의 자격인증에도 적용할 수 있다. 또한 파티클 생성 시스템을 파티클 평가 시스템에 연결하여, 상기 파티클 생성 시스템으로부터 샘플링된 파티클을 공급함으로써 파티클 평가기준시험을 행할 수 있고, 임펙터를 파티클 평가 시스템에 연결하여, 샘플링된 공기에 포함되어 있는 파티클을 상기 임펙터에서 크기별로 샘플링한 후 분석장비를 사용하여 파티클의 구조 및 성분을 분석할 수 있다.

Description

파티클 평가용 시험챔버와 이를 이용한 파티클 평가 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 의한 파티클 평가용 시험챔버의 사시도이다,
제2도는 본 발명의 제2실시예에 의한 파티클 평가 시스템의 구성을 나타내는 블럭도이다.

Claims (11)

  1. 파티클 평가용 시험챔버에 있어서, 상기 시험챔버의 외벽에 연결되어, 상기 시험챔버의 내부와 외부를 연통시키는 공기입구관; 상기 공기입구관 반대편의 상기 시험챔버 외벽에 연결되어, 상기 시험챔버 내부와 외부를 연통시키는 공기출구관; 상기 공기출구관에 부착되어, 상기 시험챔버 내부의 공기를 취출하는 팬(Fan); 상기 공기출구관에 각각 부착되어, 상기 공기출구관으로 취출되는 공기의 일부를 일정하게 샘프링(Sampling)하는 이소키네틱 샘플링프루브(Isokinetic Sampling Probe) ; 상기 시험챔버의 천정에 위치하여, 상기 시험챔버 내부로 샘플링된 파티클을 받아들이는 홀(Hall) ; 상기 시험챔버의 외벽에 부착된 도어 (Door)를 구비하는 것을 특징으로 하는 파티클 평가용 시험챔버.
  2. 제1항에 있어서, 상기 시험챔버가 원통형인 것을 특징으로 하는 파티클 평가용 시험챔버.
  3. 제1항에 있어서, 상기 시험챔버의 재질이 스테인레스 스틸인 것을 특징으로 하는 파티클 평가용 시험챔버.
  4. 제1항에 있어서, 상기 공기입구관의 각도가 26。인 것을 특징으로 하는 파티클 평가용 시험챔버.
  5. 제1항에 있어서, 상기 공기입구관 및 공기출구관이 각각 2개씩인 것을 특징으로 하는 파티클 평가용 시험챔버.
  6. 제1항에 있어서, 상기 팬 및 이소키네틱 샘플링프루브가 각각 2개씩인 것을 특징으로 하는 파티클 평가용 시험챔버.
  7. 파티클 평가용 시험챔버를 이용한 파티클 평가 시스템에 있어서, 상기 시험챔버는, 상기 시험챔버의 외벽에 연결되어 상기 시험챔버의 내부와 외부를 연통시키는 공기입구관과, 상기 공기입구관 반대편의 상기 시험챔버 외벽에 연결되어 상기 시험챔버 내부와 외부를 연통시키는 공기출구관과, 상기 공기출구관에 부착되어 상기 시험챔버 내부의 공기를 취출하는 팬(Fan)과, 상기 공기출구관에 각각 부착되어 상기 공기출구관으로 취출되는 공기의 일부를 일정하게 샘플링하는 이소키네틱 샘플링프루브(Isokinetic Sampling Probe)와, 상기 시험챔버의 천정에 위치하여 상기 시험챔버 내부로 샘플링된 파티클을 받아들이는 홀(Hall)과, 시험챔버의 외벽에 부착된 도어(Door)를 구비하고, 상기 시험챔버의 상기 이소키네틱 샘플링프루브에 연결되고, 상기 이소키네틱샘플링프루브로부터 샘플링된 공기를 받아 파티클을 계산하는 파티클카운터(Particle Counter) ; 상기 파티클카운터의 출력단에 연결되고, 상기 파티클카운터에서 카운팅된 데이터를 받아들여 취합하는 멀티플렉서 프로세서 (Multiplexer Processor) ; 상기 멀티플렉서 프로세서의 출력단에 연결되고, 상기 멀티플렉서 프로세서에서 취합된 데이터를 모니터링(Monitoring)하는 컴퓨터; 상기 컴퓨터의 출력단에 연결되고, 상기 컴퓨터에서 모니터링된 데이터를 출력하는 프린터를 구비하는 것을 특징으로 하는 파티클 평가시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 파티클카운터가 4대인 것을 특징으로 하는 파티클 평가시스템.
  9. 파티클 평가 시험챔버를 이용한 파티클 평가 시스템에 있어서, 상기 시험챔버는, 상기 시험챔버의 외벽에 연결되어 상기 시험챔버 내부와 외부를 연통시키는 공기입구관과, 상기 공기입구관 반대편의 상기 시험챔버 외벽에 연결되어 상기 시험챔버 내부와 외부를 연통시키는 공기출구관과, 상기 공기출구관에 부착되어 상기 시험챔버 내부의 공기를 취출하는 팬(Fan)과, 상기 공기출구관에 각각 부착되어 상기 공기출구관으로 취출되는 공기의 일부를 일정하게 샘플링하는 이소키네틱 샘플링프루브(Isokinetic Sampling Probe)와, 상기 시험챔버의 천정에 위치하여 상기 시험챔버 내부로 샘플링된 파티클을 받아들이는 홀(Hall)과, 상기 시험챔버의 외벽에 부착된 도어(Door)를 구비하고, 상기 시험챔버의 상기 이소키네틱 샘플링프루브에 연결되고, 상기 이소키네틱 샘플링프루브로부터 샘플링된 공기를 받아 파티클을 계산하는 파티클카운터(Particle Counter) ; 상기 파티클카운터의 출력단에 연결되고, 상기 파티클카운터에서 카운팅된 데이터를 받아들여 취합하는 멀티플렉서 프로세서 (Multiplexer Processor) ; 상기 멀티플렉서 프로세서의 출력단에 연결되고, 상기 멀티플렉서 프로세서에서 취합된 데이터를 모니터링(Monitoring)하는 컴퓨터; 상기 컴퓨터의 출력단에 연결되고, 상기 컴퓨터에서 모니터링된 데이터를 출력하는 프린터; 상기 시험챔버에 파티클을 공급하기 위해 파티클을 생성하는 파티클생성 시스템(Particle Generation System); 상기 파티클 생성 시스템과 연결되어, 상기 파티클 생성 시스템으로부터 받아들이는 파티클의 상대습도를 제거하는 확산 건조기(Diffuson Dryer) ; 상기 확산 건조기와 연결되고, 상기 확산 건조기를 통과한 파티클의 정전기를 중화시켜 상기 시험챔버의 홀에 공급하는 중화기(Neutralizer)를 구비하는 것을 특징으로 하는 파티클 평가 시스템.
  10. 제9항에 있어서, 상기 파티클 형성 시스템은 필터(Filter)와, 상기 필터에 연결되는 건조기와, 상기 건조기에 연결되는 분무기(Atomizer)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 파티클 평가 시스템.
  11. 파티클 평가용 시험챔버를 이용한 파티클 평가 시스템에 있어서, 상기 시험챔버는, 상기 시험챔버의 외벽에 연결되어 상기 시험챔버의 내부와 외부를 연통시키는 공기입구관과, 상기 공기입구관 반대편의 상기 시험챔버 외벽에 연결되어 상기 시험챔버 내부와 외부를 연통시키는 공기출구관과, 상기 공기출구관에 부착되어 상기 시험챔버 내부의 공기를 취출하는 팬(Fan)과, 상기 공기출구관에 각각 부착되어 상기 공기출구관으로 취출되는 공기의 일부를 일정하게 샘플링하는 이소키네틱 샘플링프루브(Isokinetic Sampling Probe)와, 상기 시험챔버의 천정에 위치하여 상기 시험챔버 내부로 샘플링된 파티클을 받아들이는 홀(Hall)과, 상기 시험챔버의 외벽에 부착된 도어(Door)를 구비하고, 상기 시험챔버의 상기 이소키네틱 샘플링프루브에 연결되고, 상기 이소키네틱 샘플링프루브로부터 샘플링된 공기를 받아 파티클을 계산하는 파티클카운터(Particle Counter) ; 상기 파티클카운터의 출력단에 연결되고, 상기 파티클카운터에서 카운팅된 데이터를 받아들여 취합하는 멀티플렉서 프로세서 (Multiplexer Processor) ; 상기 멀티플렉서 프로세서의 출력단에 연결되고, 상기 멀티플렉서 프로세서에서 취합된 데이터를 모니터링(Monitoring)하는 컴퓨터; 상기 컴퓨터의 출력단에 연결되고, 상기 컴퓨터에서 모니터링된 데이터를 출력하는 프린터; 상기 시험챔버의 상기 이소키네틱 샘플링프루브에 연결되고 상기 이소키네틱 샘플링프루브로부터 샘플링된 공기를 받아들이는 입구와, 상기 입구로 입력되는 샘플링된 공기에 포함된 파티클의 차단 크기(Cut Size)를 결정하는 제1차 노즐(Nozzle) 및 제2차 노즐과, 상기 샘플링된 공기의 유출비(Flow Rate)를 결정하는 오리피스(Orifice)와, 상기 제1차 노즐과 상기 제2차 노즐의 사이에 위치하여 웨이퍼가 놓이는 제1차 샘플단(Sample Stage)과, 상기 제2차 노즐과 상기 오리피스의 사이에 존재하며 웨이퍼가 놓이는 제2차 샘플단과, 상기 입구, 제1차 노즐, 제1차 샘플단, 제2차 노즐, 제2차 샘플단, 오리피스를 순차적으로 통과한 상기 샘플링된 공기를 내보내는 출구를 포함하는 임펙터(Impactor)를 구비하는 것을 특징으로 하는 파티클 평가 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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