JPH0963051A - 磁気ディスク検査方法及び検査装置 - Google Patents
磁気ディスク検査方法及び検査装置Info
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- JPH0963051A JPH0963051A JP21560695A JP21560695A JPH0963051A JP H0963051 A JPH0963051 A JP H0963051A JP 21560695 A JP21560695 A JP 21560695A JP 21560695 A JP21560695 A JP 21560695A JP H0963051 A JPH0963051 A JP H0963051A
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- head
- electromagnetic conversion
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気ディスクの欠陥検査時間を短縮する。
【解決手段】 磁気ディスク上の粉塵を除去するバーニ
ッシュ工程の開始から所定の遅れをもたせて、前記磁気
ディスク上の異常突起を検出するグライドハイトテスト
工程を開始し、さらに所定の遅れをもたせて電磁変換特
性の評価を行なう電磁変換特性評価工程を開始して、前
記各検査工程を時間差をもたせながら並行して行なう。
ッシュ工程の開始から所定の遅れをもたせて、前記磁気
ディスク上の異常突起を検出するグライドハイトテスト
工程を開始し、さらに所定の遅れをもたせて電磁変換特
性の評価を行なう電磁変換特性評価工程を開始して、前
記各検査工程を時間差をもたせながら並行して行なう。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、磁気ディスク検
査方法及び検査装置に関し、バーニッシュから電磁変換
特性の評価までを並行して行なう磁気ディスク検査方法
及び検査装置に関する。
査方法及び検査装置に関し、バーニッシュから電磁変換
特性の評価までを並行して行なう磁気ディスク検査方法
及び検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】コンピュータの外部記憶装置の１つであ
る磁気ディスクは、磁性膜上の僅かな欠陥でもデータエ
ラーに直結するために、製造段階での欠陥発生を防止す
る努力とともに、製品の厳しい検査が必要とされてい
る。従来、磁気ディスクの磁性膜上の欠陥を検査する方
法としては、一般に磁気ヘッドによる電磁変換特性を利
用している。
る磁気ディスクは、磁性膜上の僅かな欠陥でもデータエ
ラーに直結するために、製造段階での欠陥発生を防止す
る努力とともに、製品の厳しい検査が必要とされてい
る。従来、磁気ディスクの磁性膜上の欠陥を検査する方
法としては、一般に磁気ヘッドによる電磁変換特性を利
用している。
【０００３】この電磁変換特性を利用した検査では、
バーニッシュヘッドによりディスク表裏全体の粉塵等を
除去する、グライドハイトテスト用ヘッドでディスク
表裏面全体にわたって異常突起（ヘッドの浮揚高さより
も高いもの）の有無を検査する、電磁変換特性評価用
ヘッドによる書込みと読出しとによってディスクの電磁
変換特性を評価する、といった３段階の工程を、前段が
磁気ディスク全体について終了した後に次段を行なうと
いう手順で逐次行っている。
バーニッシュヘッドによりディスク表裏全体の粉塵等を
除去する、グライドハイトテスト用ヘッドでディスク
表裏面全体にわたって異常突起（ヘッドの浮揚高さより
も高いもの）の有無を検査する、電磁変換特性評価用
ヘッドによる書込みと読出しとによってディスクの電磁
変換特性を評価する、といった３段階の工程を、前段が
磁気ディスク全体について終了した後に次段を行なうと
いう手順で逐次行っている。
【０００４】近年、情報量の増大により、磁気ディスク
の大容量化・高密度化が益々促進されている。上述した
ような工程では、大容量の磁気ディスクの検査には長時
間を要し、大量生産には対応しきれず、検査時間を短縮
して生産性を向上することが要求されている。このた
め、図６に示すように、磁気ディスク１の記録領域を半
径方向に等間隔に分割し、その分割数の組の磁気ヘッド
９ａ〜９ｄを用いて、分割された各記録領域の電磁変換
特性を並行して同時に検査する方法が工夫されている
（特開平６−２２３３６９号公報参照）。これにより、
電磁変換特性の評価に関しては従来より短い時間で処理
することが可能となっている。
の大容量化・高密度化が益々促進されている。上述した
ような工程では、大容量の磁気ディスクの検査には長時
間を要し、大量生産には対応しきれず、検査時間を短縮
して生産性を向上することが要求されている。このた
め、図６に示すように、磁気ディスク１の記録領域を半
径方向に等間隔に分割し、その分割数の組の磁気ヘッド
９ａ〜９ｄを用いて、分割された各記録領域の電磁変換
特性を並行して同時に検査する方法が工夫されている
（特開平６−２２３３６９号公報参照）。これにより、
電磁変換特性の評価に関しては従来より短い時間で処理
することが可能となっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな検査方法では、上述した３つの工程のうちの電磁変
換特性の評価を行なう時間が短縮されるにとどまり、磁
気ディスク全体にわたって１つの工程が終了した後に次
の工程に移るといった点では従来と同様であった。ま
た、各工程の間には移行のための時間も必要であり、検
査工程全体の時間を短縮するのには限界があった。
うな検査方法では、上述した３つの工程のうちの電磁変
換特性の評価を行なう時間が短縮されるにとどまり、磁
気ディスク全体にわたって１つの工程が終了した後に次
の工程に移るといった点では従来と同様であった。ま
た、各工程の間には移行のための時間も必要であり、検
査工程全体の時間を短縮するのには限界があった。
【０００６】このため、高密度・大容量化した磁気ディ
スクでは、検査結果が得られるまでに時間がかかり、大
量生産に対応するのが難しいという問題点があった。本
発明はこのような従来の問題点に鑑み、バーニッシュか
ら電磁変換特性の評価に至る検査工程全体の時間を短縮
することのできる磁気ディスク検査方法および検査装置
を提供することを目的とする。
スクでは、検査結果が得られるまでに時間がかかり、大
量生産に対応するのが難しいという問題点があった。本
発明はこのような従来の問題点に鑑み、バーニッシュか
ら電磁変換特性の評価に至る検査工程全体の時間を短縮
することのできる磁気ディスク検査方法および検査装置
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このため、請求項１に係
る発明では、バーニッシュヘッドで磁気ディスク上の粉
塵を除去するバーニッシュ工程と、グライドハイトテス
ト用ヘッドで前記磁気ディスク上の異常突起を検出する
グライドハイトテスト工程と、電磁変換特性評価ヘッド
で前記磁気ディスクへのデータの書込みと読出しとを行
って電磁変換特性の評価を行なう電磁変換特性評価工程
とからなり、前記バーニッシュ工程の開始から所定の遅
れをもたせて前記グライドハイトテスト工程を開始し、
さらに所定の遅れをもたせて前記特性評価工程を開始し
て、前記各工程を時間差をもたせながら並行して行なう
ことを特徴とする磁気ディスク検査方法を提供する。
る発明では、バーニッシュヘッドで磁気ディスク上の粉
塵を除去するバーニッシュ工程と、グライドハイトテス
ト用ヘッドで前記磁気ディスク上の異常突起を検出する
グライドハイトテスト工程と、電磁変換特性評価ヘッド
で前記磁気ディスクへのデータの書込みと読出しとを行
って電磁変換特性の評価を行なう電磁変換特性評価工程
とからなり、前記バーニッシュ工程の開始から所定の遅
れをもたせて前記グライドハイトテスト工程を開始し、
さらに所定の遅れをもたせて前記特性評価工程を開始し
て、前記各工程を時間差をもたせながら並行して行なう
ことを特徴とする磁気ディスク検査方法を提供する。
【０００８】また、請求項２に係る発明では、前記バー
ニッシュヘッドと前記グライドハイトテスト用ヘッドと
前記電磁変換特性評価用ヘッドとは、検査時にそれぞれ
を前記磁気ディスク上の異なった周方向位置でローディ
ングさせて、それぞれ半径方向に移動させることを特徴
とする。また、請求項３に係る発明では、前記バーニッ
シュヘッドと前記グライドハイトテスト用ヘッドと前記
電磁変換特性評価用ヘッドとは、検査時のローディング
位置でそれぞれが前記磁気ディスク上の異なった半径方
向の位置で作動することを特徴とする。
ニッシュヘッドと前記グライドハイトテスト用ヘッドと
前記電磁変換特性評価用ヘッドとは、検査時にそれぞれ
を前記磁気ディスク上の異なった周方向位置でローディ
ングさせて、それぞれ半径方向に移動させることを特徴
とする。また、請求項３に係る発明では、前記バーニッ
シュヘッドと前記グライドハイトテスト用ヘッドと前記
電磁変換特性評価用ヘッドとは、検査時のローディング
位置でそれぞれが前記磁気ディスク上の異なった半径方
向の位置で作動することを特徴とする。
【０００９】また、請求項４に係る発明では、磁気ディ
スクドライブに、磁気ディスク上の粉塵を除去するバー
ニッシュヘッドと、前記磁気ディスク上の異常突起を検
出するグライドハイトテスト用ヘッドと、前記磁気ディ
スクの電磁変換特性評価を行なう電磁変換特性評価用ヘ
ッドとをそれぞれ独立に設けてなることを特徴とする磁
気ディスク検査装置を提供する。
スクドライブに、磁気ディスク上の粉塵を除去するバー
ニッシュヘッドと、前記磁気ディスク上の異常突起を検
出するグライドハイトテスト用ヘッドと、前記磁気ディ
スクの電磁変換特性評価を行なう電磁変換特性評価用ヘ
ッドとをそれぞれ独立に設けてなることを特徴とする磁
気ディスク検査装置を提供する。
【００１０】また、請求項５に係る発明では、前記電磁
変換特性評価用ヘッドは、書込みヘッドと読出しヘッド
との２種類の独立したヘッドからなるものであることを
特徴とする。また、請求項６に係る発明では、前記各ヘ
ッドを、前記磁気ディスク上の周方向に位置を異ならせ
て、それぞれが独立に半径方向に移動可能であるように
設けたことを特徴とする。
変換特性評価用ヘッドは、書込みヘッドと読出しヘッド
との２種類の独立したヘッドからなるものであることを
特徴とする。また、請求項６に係る発明では、前記各ヘ
ッドを、前記磁気ディスク上の周方向に位置を異ならせ
て、それぞれが独立に半径方向に移動可能であるように
設けたことを特徴とする。
【００１１】また、請求項７に係る発明では、前記各ヘ
ッドは、それぞれが前記磁気ディスクの周方向に80°〜
120°ずつ位置を異ならせて設けられたものであること
を特徴とする。
ッドは、それぞれが前記磁気ディスクの周方向に80°〜
120°ずつ位置を異ならせて設けられたものであること
を特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施例である
磁気ディスク検査装置のシステム構成図である。磁気デ
ィスク１はその中央孔をスピンドル２に保持され、スピ
ンドル２に連結したスピンドルモータ（図示せず）によ
ってＡ矢印方向に回転される。
に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施例である
磁気ディスク検査装置のシステム構成図である。磁気デ
ィスク１はその中央孔をスピンドル２に保持され、スピ
ンドル２に連結したスピンドルモータ（図示せず）によ
ってＡ矢印方向に回転される。
【００１３】バーニッシュヘッド３、グライドハイトテ
スト（以下ＧＨＴと表記する）用ヘッド４、電磁変換特
性評価用書込みヘッド５および電磁変換特性評価用読出
しヘッド６は、検査される磁気ディスク１の面上、Ａ矢
印方向に前記の順で、周方向に90°ずつ離れた位置に配
置されている。各ヘッドは磁気ディスク１の半径方向に
移動可能に設けられており、コントローラ７によって制
御される。また、検出したデータはコントローラ７に送
られて処理される。
スト（以下ＧＨＴと表記する）用ヘッド４、電磁変換特
性評価用書込みヘッド５および電磁変換特性評価用読出
しヘッド６は、検査される磁気ディスク１の面上、Ａ矢
印方向に前記の順で、周方向に90°ずつ離れた位置に配
置されている。各ヘッドは磁気ディスク１の半径方向に
移動可能に設けられており、コントローラ７によって制
御される。また、検出したデータはコントローラ７に送
られて処理される。
【００１４】図２は、本実施例の各検査工程が開始され
る手順を示すフローチャートである。まず、ステップ１
（図中Ｓ１と表記する、以下同様）で、バーニッシュヘ
ッド３が磁気ディスク１上の最内周のトラックにロード
され、磁気ディスク１表面の粉塵等の除去を開始する。
る手順を示すフローチャートである。まず、ステップ１
（図中Ｓ１と表記する、以下同様）で、バーニッシュヘ
ッド３が磁気ディスク１上の最内周のトラックにロード
され、磁気ディスク１表面の粉塵等の除去を開始する。
【００１５】ステップ２で、バーニッシュヘッド３がロ
ードされてから0.10秒がカウントされると、ステップ３
に進み、ＧＨＴ用ヘッド４が既にバーニッシュの行われ
たトラックにロードされ、異常突起の検出を開始する。
次に、ステップ４で、ＧＨＴ用ヘッド４のロードから0.
10秒がカウントされると、ステップ５に進み、ＧＨＴの
終了したトラックに電磁変換特性評価用の書込みヘッド
５がロードされ、評価用データの書込みを開始する。
ードされてから0.10秒がカウントされると、ステップ３
に進み、ＧＨＴ用ヘッド４が既にバーニッシュの行われ
たトラックにロードされ、異常突起の検出を開始する。
次に、ステップ４で、ＧＨＴ用ヘッド４のロードから0.
10秒がカウントされると、ステップ５に進み、ＧＨＴの
終了したトラックに電磁変換特性評価用の書込みヘッド
５がロードされ、評価用データの書込みを開始する。
【００１６】さらに、ステップ６で書込みヘッド５のロ
ードから0.01秒をカウントした後、ステップ７で電磁変
換特性評価用の読出しヘッド６がロードされ、磁気ディ
スク１に書き込まれた評価用データの読出しを開始す
る。このように、前工程のヘッドが通過したあとを、す
ぐに次工程のヘッドが追うようにして検査が行われ、バ
ーニッシュ、ＧＨＴおよび電磁変換特性の評価がほぼ同
時に並行して行われる。
ードから0.01秒をカウントした後、ステップ７で電磁変
換特性評価用の読出しヘッド６がロードされ、磁気ディ
スク１に書き込まれた評価用データの読出しを開始す
る。このように、前工程のヘッドが通過したあとを、す
ぐに次工程のヘッドが追うようにして検査が行われ、バ
ーニッシュ、ＧＨＴおよび電磁変換特性の評価がほぼ同
時に並行して行われる。
【００１７】前工程のヘッドが処理を終了したところへ
次工程のヘッドをロードするには、前工程のヘッドが１
トラック分の処理を終了した後に次工程のヘッドをロー
ドすると確実であり、そのためには時間にして0.01秒程
度の遅れを持たせる必要がある。また、この遅れを長く
することにより前工程の処理の終了が確実となるが、従
来の測定方法による測定時間との比較より、それぞれ８
秒以下の遅れとすることが望ましい。
次工程のヘッドをロードするには、前工程のヘッドが１
トラック分の処理を終了した後に次工程のヘッドをロー
ドすると確実であり、そのためには時間にして0.01秒程
度の遅れを持たせる必要がある。また、この遅れを長く
することにより前工程の処理の終了が確実となるが、従
来の測定方法による測定時間との比較より、それぞれ８
秒以下の遅れとすることが望ましい。
【００１８】バーニッシュヘッド３は磁気ディスク１の
最内周上のトラックを処理し終えると、半径方向外側へ
所定のピッチ移動して同様の処理を行い、これにＧＨＴ
用ヘッド４および電磁変換特性評価用のヘッド５、６も
追随して、磁気ディスク１の最外周のトラックまで検査
を繰り返し行なう。そして、コントローラ７は、上記検
査の結果に応じて磁気ディスクのランク分けを行なう。
最内周上のトラックを処理し終えると、半径方向外側へ
所定のピッチ移動して同様の処理を行い、これにＧＨＴ
用ヘッド４および電磁変換特性評価用のヘッド５、６も
追随して、磁気ディスク１の最外周のトラックまで検査
を繰り返し行なう。そして、コントローラ７は、上記検
査の結果に応じて磁気ディスクのランク分けを行なう。
【００１９】本実施例の電磁変換特性の検査およびラン
ク分けの過程を、図３のフローチャートに従って具体的
に説明する。ステップ11でＧＨＴ用ヘッド４によって異
常突起が検出されると、その時点でコントローラ７は磁
気ディスク１を不良品と判定し、検査を終了する。そし
て、即座にスピンドルモータを止めて、磁気ディスク１
の回転を停止する。
ク分けの過程を、図３のフローチャートに従って具体的
に説明する。ステップ11でＧＨＴ用ヘッド４によって異
常突起が検出されると、その時点でコントローラ７は磁
気ディスク１を不良品と判定し、検査を終了する。そし
て、即座にスピンドルモータを止めて、磁気ディスク１
の回転を停止する。
【００２０】これにより、磁気ディスクの欠陥を検出す
るとともに、次工程の電磁変換特性評価用ヘッド５およ
び６が磁気ディスクの異常突起によって破壊されるのを
防止することもできる。ステップ12では、電磁変換特性
評価用書込みヘッド５が、前ステップのＧＨＴで異常の
なかった部位にデータを書き込み、読出しヘッド６がこ
れを読出す。また、一旦書き込んだデータを書込みヘッ
ド５で消去し、その後もう一度読出しヘッド６でこの部
分を読出すことによって、その部位の電磁変換特性を評
価する。
るとともに、次工程の電磁変換特性評価用ヘッド５およ
び６が磁気ディスクの異常突起によって破壊されるのを
防止することもできる。ステップ12では、電磁変換特性
評価用書込みヘッド５が、前ステップのＧＨＴで異常の
なかった部位にデータを書き込み、読出しヘッド６がこ
れを読出す。また、一旦書き込んだデータを書込みヘッ
ド５で消去し、その後もう一度読出しヘッド６でこの部
分を読出すことによって、その部位の電磁変換特性を評
価する。
【００２１】この結果、所定のレベルに満たないものは
不良品と判定し、検査を終了する。続くステップ13で
は、前ステップで所定レベル以上の電磁変換特性が得ら
れた磁気ディスクを、さらにそのレベルによってランク
分けして処理を終了する。これにより品質の揃った製品
を供給することが可能となる。このように、上述した検
査方法および検査装置によれば、磁気ディスクの電磁変
換特性のレベルに応じたランク分けを確実に行ない、検
査に要する時間を大幅に短縮することができる。
不良品と判定し、検査を終了する。続くステップ13で
は、前ステップで所定レベル以上の電磁変換特性が得ら
れた磁気ディスクを、さらにそのレベルによってランク
分けして処理を終了する。これにより品質の揃った製品
を供給することが可能となる。このように、上述した検
査方法および検査装置によれば、磁気ディスクの電磁変
換特性のレベルに応じたランク分けを確実に行ない、検
査に要する時間を大幅に短縮することができる。
【００２２】尚、本実施例では、図１のＡ矢印方向に、
バーニッシュヘッド３、ＧＨＴ用ヘッド４、電磁変換特
性評価用の書込みヘッド５および読出しヘッド６の順で
配置したが、各ヘッドが磁気ディスク１上にロードされ
る順番が上記工程の順番であれば、それぞれのヘッドは
どの位置に設けられていてもよい。また、本実施例では
磁気ディスク１の最内周のトラックから検査を始めた
が、磁気ディスク１の最外周のトラックから検査を始
め、順に内側に進むようにしてもよい。
バーニッシュヘッド３、ＧＨＴ用ヘッド４、電磁変換特
性評価用の書込みヘッド５および読出しヘッド６の順で
配置したが、各ヘッドが磁気ディスク１上にロードされ
る順番が上記工程の順番であれば、それぞれのヘッドは
どの位置に設けられていてもよい。また、本実施例では
磁気ディスク１の最内周のトラックから検査を始めた
が、磁気ディスク１の最外周のトラックから検査を始
め、順に内側に進むようにしてもよい。
【００２３】また、電磁変換特性評価用ヘッドとして、
書込み／読出し両用ヘッド８を用いてもよく、図４に示
すように、バーニッシュヘッド３とＧＨＴ用ヘッド４と
を合わせた３つのヘッドを、相互に磁気ディスク１の周
方向に 120°ずつ離れた位置に設置するようにしてもよ
い。これにより、検査装置の構造が簡略化される。この
場合、書込み／読出し両用ヘッド８は、 1. 書込み、
2. 開始位置への復帰、3. 読出し、 4. 開始位置への復
帰、 5. 書き込んだデータの消去、 6. 開始位置への復
帰、 7. 読出し、という動作を繰り返す必要がある。
書込み／読出し両用ヘッド８を用いてもよく、図４に示
すように、バーニッシュヘッド３とＧＨＴ用ヘッド４と
を合わせた３つのヘッドを、相互に磁気ディスク１の周
方向に 120°ずつ離れた位置に設置するようにしてもよ
い。これにより、検査装置の構造が簡略化される。この
場合、書込み／読出し両用ヘッド８は、 1. 書込み、
2. 開始位置への復帰、3. 読出し、 4. 開始位置への復
帰、 5. 書き込んだデータの消去、 6. 開始位置への復
帰、 7. 読出し、という動作を繰り返す必要がある。
【００２４】上記いずれの場合にも、従来の検査方法に
比べると、検査結果が得られるまでの時間を大幅に短縮
することができる。また、磁気ディスク１の記録領域を
半径方向に等間隔に分割し、その分割数の組だけ前記各
ヘッドを設け、分割された各記録領域について上述した
のと同様にバーニッシュから電磁変換特性の評価までを
並行して行なうようにしてもよい。この場合、検査の時
間をさらに短縮することが可能となる。図５には磁気デ
ィスク１の記録領域を２つに分割し、バーニッシュヘッ
ド３ａ、３ｂ、ＧＨＴ用ヘッド４ａ、４ｂ、電磁変換特
性評価用の書込みヘッド５ａ、５ｂおよび読出しヘッド
６ａ、６ｂを設けた場合の例を示す。
比べると、検査結果が得られるまでの時間を大幅に短縮
することができる。また、磁気ディスク１の記録領域を
半径方向に等間隔に分割し、その分割数の組だけ前記各
ヘッドを設け、分割された各記録領域について上述した
のと同様にバーニッシュから電磁変換特性の評価までを
並行して行なうようにしてもよい。この場合、検査の時
間をさらに短縮することが可能となる。図５には磁気デ
ィスク１の記録領域を２つに分割し、バーニッシュヘッ
ド３ａ、３ｂ、ＧＨＴ用ヘッド４ａ、４ｂ、電磁変換特
性評価用の書込みヘッド５ａ、５ｂおよび読出しヘッド
６ａ、６ｂを設けた場合の例を示す。
【００２５】また、上記いずれの場合にも、磁気ディス
クの両面を同時に検査できるように各ヘッドを両側に設
けた構成としてもよい。
クの両面を同時に検査できるように各ヘッドを両側に設
けた構成としてもよい。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る発
明によれば、短時間で磁性ディスク上の欠陥に関する検
査を終了することが可能なので、高密度・大容量の磁気
ディスクの生産にも十分対応できるという効果がある。
また、請求項２に係る発明によれば、各ヘッド相互の干
渉が生じず、また、前工程と次工程との間隔が十分とれ
るため、各検査工程を並行して行なうことが容易にでき
るという効果がある。
明によれば、短時間で磁性ディスク上の欠陥に関する検
査を終了することが可能なので、高密度・大容量の磁気
ディスクの生産にも十分対応できるという効果がある。
また、請求項２に係る発明によれば、各ヘッド相互の干
渉が生じず、また、前工程と次工程との間隔が十分とれ
るため、各検査工程を並行して行なうことが容易にでき
るという効果がある。
【００２７】また、請求項３に係る発明によれば、各ヘ
ッドが異なった半径方向の位置で作動することにより、
異常が検出された場合には次工程のヘッドが異常箇所に
到達する前に確実に検査を中止することができ、安全に
各検査工程を並行して行なうことができるという効果が
ある。また、請求項４に係る発明によれば、磁性膜上の
欠陥に関する検査工程の全体を１つの装置で短時間に行
なうことができ、高密度・大容量の磁気ディスクの生産
に十分対応できるという効果がある。
ッドが異なった半径方向の位置で作動することにより、
異常が検出された場合には次工程のヘッドが異常箇所に
到達する前に確実に検査を中止することができ、安全に
各検査工程を並行して行なうことができるという効果が
ある。また、請求項４に係る発明によれば、磁性膜上の
欠陥に関する検査工程の全体を１つの装置で短時間に行
なうことができ、高密度・大容量の磁気ディスクの生産
に十分対応できるという効果がある。
【００２８】また、請求項５に係る発明によれば、検査
用データの書込みと読出しとを異なるヘッドで行なうこ
とにより、検査時間をさらに短縮できるという効果があ
る。また、請求項６に係る発明によれば、各ヘッド相互
の干渉が生じないので、各検査工程を並行して行なうこ
とが容易にできるという効果がある。また、請求項７に
係る発明によれば、各検査工程を並行して行なうことが
さらに容易にできるという効果がある。
用データの書込みと読出しとを異なるヘッドで行なうこ
とにより、検査時間をさらに短縮できるという効果があ
る。また、請求項６に係る発明によれば、各ヘッド相互
の干渉が生じないので、各検査工程を並行して行なうこ
とが容易にできるという効果がある。また、請求項７に
係る発明によれば、各検査工程を並行して行なうことが
さらに容易にできるという効果がある。
【図１】 本発明の一実施例である磁気ディスク検査装
置のシステム構成図
置のシステム構成図
【図２】 各検査工程が開始される手順をを示すフロー
チャート
チャート
【図３】 電磁変換特性の検査およびランク分けのルー
チンを示すフローチャート
チンを示すフローチャート
【図４】 書込み／読出し両用の電磁変換特性評価用ヘ
ッドを用いた場合の要部平面図
ッドを用いた場合の要部平面図
【図５】 磁気ディスクの記録領域を分割して検査する
場合の要部平面図
場合の要部平面図
【図６】 従来の磁気ディスク検査装置の要部平面図
１ 磁気ディスク ２ スピンドル ３ バーニッシュヘッド ４ グライドハイトテスト用ヘッド ５ 電磁変換特性評価用書込みヘッド ６ 電磁変換特性評価用読出しヘッド ７ コントローラ ８ 電磁変換特性評価用書込み／読出し両用ヘッド
Claims (7)
- 【請求項１】バーニッシュヘッドで磁気ディスク上の粉
塵を除去するバーニッシュ工程と、 グライドハイトテスト用ヘッドで前記磁気ディスク上の
異常突起を検出するグライドハイトテスト工程と、 電磁変換特性評価ヘッドで前記磁気ディスクへのデータ
の書込みと読出しとを行って電磁変換特性の評価を行な
う電磁変換特性評価工程と、 からなり、 前記バーニッシュ工程の開始から所定の遅れをもたせて
前記グライドハイトテスト工程を開始し、さらに所定の
遅れをもたせて前記特性評価工程を開始して、前記各工
程を時間差をもたせながら並行して行なうことを特徴と
する磁気ディスク検査方法。 - 【請求項２】 前記バーニッシュヘッドと前記グライド
ハイトテスト用ヘッドと前記電磁変換特性評価用ヘッド
とは、検査時にそれぞれを前記磁気ディスク上の異なっ
た周方向位置でロードさせて、それぞれ半径方向に移動
させることを特徴とする請求項１記載の磁気ディスク検
査方法。 - 【請求項３】 前記バーニッシュヘッドと前記グライド
ハイトテスト用ヘッドと前記電磁変換特性評価用ヘッド
とは、検査時のロード位置でそれぞれが前記磁気ディス
ク上の異なった半径方向の位置で作動することを特徴と
する請求項１または請求項２記載の磁気ディスク検査方
法。 - 【請求項４】 磁気ディスクドライブに、 磁気ディスク上の粉塵を除去するバーニッシュヘッド
と、 前記磁気ディスク上の異常突起を検出するグライドハイ
トテスト用ヘッドと、 前記磁気ディスクの電磁変換特性評価を行なう電磁変換
特性評価用ヘッドと、 をそれぞれ独立に設けてなることを特徴とする磁気ディ
スク検査装置。 - 【請求項５】 前記電磁変換特性評価用ヘッドは、書込
みヘッドと読出しヘッドとの２種類の独立したヘッドか
らなるものであることを特徴とする請求項４記載の磁気
ディスク検査装置。 - 【請求項６】 前記各ヘッドを、前記磁気ディスク上の
周方向に位置を異ならせて、それぞれが独立に半径方向
に移動可能であるように設けたことを特徴とする請求項
４または請求項５記載の磁気ディスク検査装置。 - 【請求項７】 前記各ヘッドは、それぞれが前記磁気デ
ィスクの周方向に80°〜 120°ずつ位置を異ならせて設
けられたものであることを特徴とする請求項４〜請求項
６のいずれか１つに記載の磁気ディスク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21560695A JPH0963051A (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | 磁気ディスク検査方法及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21560695A JPH0963051A (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | 磁気ディスク検査方法及び検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0963051A true JPH0963051A (ja) | 1997-03-07 |
Family
ID=16675221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21560695A Pending JPH0963051A (ja) | 1995-08-24 | 1995-08-24 | 磁気ディスク検査方法及び検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0963051A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001075867A1 (fr) * | 2000-03-31 | 2001-10-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Procede et appareil d'impression magnetique |
| US7278902B1 (en) | 2006-03-14 | 2007-10-09 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Enabling location specific burnishing of a disk |
-
1995
- 1995-08-24 JP JP21560695A patent/JPH0963051A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001075867A1 (fr) * | 2000-03-31 | 2001-10-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Procede et appareil d'impression magnetique |
| US6898032B2 (en) | 2000-03-31 | 2005-05-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for magnetic printing |
| US6909565B2 (en) | 2000-03-31 | 2005-06-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic transfer method and magnetic transfer apparatus |
| US7278902B1 (en) | 2006-03-14 | 2007-10-09 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Enabling location specific burnishing of a disk |
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