JPH0951209A - 誘電体基板および配線基板 - Google Patents

誘電体基板および配線基板

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JPH0951209A
JPH0951209A JP7202201A JP20220195A JPH0951209A JP H0951209 A JPH0951209 A JP H0951209A JP 7202201 A JP7202201 A JP 7202201A JP 20220195 A JP20220195 A JP 20220195A JP H0951209 A JPH0951209 A JP H0951209A
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JP
Japan
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conductor pattern
dielectric
dielectric substrate
wiring board
thickness
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Application number
JP7202201A
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Inventor
Fuminori Ishizuka
文則 石塚
Noboru Iwasaki
登 岩崎
Naoya Kukutsu
直哉 久々津
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0213Electrical arrangements not otherwise provided for
    • H05K1/0237High frequency adaptations
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0313Organic insulating material
    • H05K1/0353Organic insulating material consisting of two or more materials, e.g. two or more polymers, polymer + filler, + reinforcement
    • H05K1/0373Organic insulating material consisting of two or more materials, e.g. two or more polymers, polymer + filler, + reinforcement containing additives, e.g. fillers

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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明の課題は、特性インピーダンスを一定に
保って、異種寸法を有する2つの接続対象間を容易に接
続できる配線基板および配線基板に用いる誘電体基板を
提供することにある。 【解決手段】本発明は、内部の比誘電率分布を変化させ
た誘電体基板1と、該誘電体基板1の表面に形成されて
該誘電体基板1の比誘電率分布に対応して特性インピー
ダンスが一定になるように幅を変化させた導電体パター
ン4と、該誘電体基板1の裏面に形成されたグランド用
導電体パターン5とから構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光/電気通信分
野、光/電気情報処理分野において使用される高速IC
の信号を伝達する配線基板および配線基板に用いる誘電
体基板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の配線基板は、ほぼ一様な
比誘電率を持つガラスエポキシ、セラミック材料等の誘
電体基板に薄い導電体パターンを形成して、マイクロス
トリップ線路やコプレーナ線路として用いられている。
これらの配線基板は、単層あるいは積層構造をとるが、
厚さはほぼ一様となっている。
【0003】マイクロストリップ線路の場合には、この
特性インピーダンスZ0 は誘電体基板の厚さHと導電体
パターン幅W1 および誘電体基板の比誘電率εr によっ
てほぼ決まる。すなわち、同一の特性インピーダンスZ
0 を有する配線基板では、誘電体基板の厚さHが一定な
らば導電体パターン幅W1 も一定となる。定性的には、
誘電体基板の厚さHが大、導電体パターン幅W1 が小、
比誘電率εr が小になるほど特性インピーダンスZ0
大になる。
【0004】一方、コプレーナ線路の場合には、誘電体
基板の厚さHが一定であっても、中心導電体パターン幅
をW2 、中心導電体パターンとグランド導体間の間隙
(ギャップ)をSとする時、同一の特性インピーダンズ
0 を有するためには、W2 /(W2 +2S)が一定で
あればよい。このため、間隙Sの値を調整することによ
って中心導電体パターン幅W2 を変えることが可能であ
る。
【0005】このような線路(導電体パターン)を有す
る配線基板の用途は、[1]パッケージに内蔵されたI
Cの信号等の供給および取り出しのためのパッケージの
端子として、[2]またICパッケージから直接外部回
路に信号等を伝達させるための接続基板として、[3]
更にはこれらのICパッケージと外部回路との接続が容
易な同軸コネクタ(たとえばSMAコネクタ、Kコネク
タなど)間を接続するための接続基板として、などがあ
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、マイク
ロストリップ線路が形成された配線基板を接続基板とし
て用いる場合、導電体パターン幅W1 はICパッケージ
のリードの幅に近いものか、あるいは同軸コネクタ中心
導体の直径に近いものが採用されるなど、接続対象のう
ちいずれかの物理的寸法に依存せざるを得ない。ここ
で、ICパッケージのリードの幅は代表的には50〜1
00μmであり、同軸コネクタの中心導体径は300μ
m程度である。
【0007】図11および図12は、マイクロストリッ
プ線路の配線基板の一端に同軸コネクタ、他端にICパ
ッケージのリードとの接続を示した従来例である。図1
1に示すように、配線基板の導電体パターン40−aお
よび40−bの幅をICパッケージ7の小さなボンディ
ングパッド8(寸法50〜100μm)に合わせると、
他の接続対象となる同軸コネクタ6の中心導体6−bと
の接続性が悪く、同軸コネクタ6の中心導体6−bとの
接続部で特性インピーダンスが低下するため、反射特性
が劣化しやすい。また、図12に示すように、配線基板
の導電体パターン41−aおよび41−bの幅を同軸コ
ネクタ6の中心導体6−bの直径に近い寸法に合わせる
と、配線間クロストークを許容できる配線ピッチにした
時、配線基板の導電体パターン41−aおよび41−b
とICパッケージ7のボンディングパッド8間をそれぞ
れ接続するボンディングワイヤ9が長くなり、そのイン
ダクタンスが大きくなるため、ICパッケージ7の電気
信号に不要なリップル等が生じやすいなど伝送特性が劣
化する欠点があった。
【0008】一方、コプレーナ線路の場合であっても、
グランド導電体パターン幅の制約により隣接する第2の
コプレーナ線路間の距離(ピッチ)を小さく取ることが
困難なため、特に線路とICパッケージとの接続が困難
となるか、線路のインピーダンス不整合が生じるなど、
の欠点を有していた。
【0009】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、特性インピーダンスを一定に保って、異種寸法を有
する2つの接続対象間を容易に接続できる配線基板およ
び配線基板に用いる誘電体基板を提供することを目的と
する。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は以下の手段をとる。第1の発明は、直方体か
らなる誘電体基板において、直方体の断面(Y方向)内
では一様の比誘電率を有し、該断面に直交する方向(X
方向)に比誘電率が変化する値εr (x)を持つ誘電体
基板である。
【0011】第2の発明は、第1の発明の誘電体基板の
第1の面に、X方向に導電体パターン(線路)が形成さ
れ、該導電体パターンの幅W1 (x)が前記比誘電率ε
r (x)の平方根にほぼ反比例するようにした配線基板
である。
【0012】第3の発明は、一部に開口あるいは切り欠
きが設けられた薄い誘電体層を積層した配線基板であっ
て、該配線基板の断面において誘電体層および開口ある
いは切り欠き部の空気層からなり、導電体パターンが形
成されるX方向に該誘電体層と空気層との厚さの比率が
順次変化するようにした配線基板であって、前記厚さの
比率が変化するX方向に沿って該配線基板の第1の面に
該比率に応じて幅を変化させた第1の導電体パターン
と、第1の面に対向する第2の面にグランド用の第2の
導電体パターンが形成されたことを特徴とする配線基板
である。なお、この場合の空気層は、該薄い誘電体層と
誘電率の異なる誘電体層でもよい。
【0013】第4の発明は、ほぼ一様な比誘電率を有す
る誘電体基板の第1の面に導電体パターンが設けられ、
該誘電体基板の第2の面に導電性基板が接合された配線
基板であって、該誘電体基板の厚さH1 (x)が該導電
体パターンの長手方向すなわちX方向に沿って薄くなる
ように変化し、これと対向する該導電性基板の厚さH2
(x)は逆に大きくなるようにした配線基板である。
【0014】第5の発明は、第4の発明の配線基板の第
1の面に形成された導電体パターン幅W1 (x)が、X
方向の位置によって、該誘電体基板の厚さH1 (x)に
ほぼ逆比例するように形成された配線基板である。
【0015】第6の発明は、第4の発明の配線基板の第
1の面に、中心導体となる第1の導電体パターンとその
両側にグランド用の第2の導電体パターンが形成され、
中心導電体パターン幅をW2 (x)とし、中心導電体パ
ターンとグランド導電体パターンの間の間隙(ギャッ
プ)をS(x)とし、前記誘電体基板の厚さをH1
(x)とした時、S(x)とW2 (x)の比およびW2
(x)とH1 (x)との比および該誘電体基板の比誘電
率によって特性インピーダンスが一定になるように平面
導波路を形成した配線基板である。
【0016】第7の発明は、第4の発明で述べた誘電体
基板および導電性基板の接合部における断面形状が導電
体パターンの長手方向(X方向)に沿って階段状となっ
ていることを特徴とする配線基板である。
【0017】第8の発明は、内部の比誘電率分布を変化
させた誘電体基板あるいは一様な比誘電率分布を有し厚
さを変化させた誘電体基板と、該誘電体基板の表面に形
成されて該誘電体基板の比誘電率分布あるいは厚さの変
化に対応して特性インピーダンスが一定になるように幅
を変化させた導電体パターンと、該誘電体基板の裏面に
形成されたグランド用導電体パターンとから構成されて
いることを特徴とする配線基板である。
【0018】本発明の配線基板は、特性インピーダンス
が一定になるように、[1]配線基板内の比誘電率を位
置によって変化させ、その変化に応じて配線基板上に形
成された導電体パターン幅を変化させるか、[2]一様
な誘電率を持つ誘電体基板の厚さを変化させ、それに応
じて配線基板上に形成された導電体パターン幅を変化さ
せるようにしたものである。このため、特性インピーダ
ンスを一定に保ちながら、配線基板の一端の導電体パタ
ーン幅を接続対象物例えば同軸コネクタとほぼ同等の寸
法とし、また配線基板の他端の導電体パターン幅をIC
パッケージの接続パッドと同等の寸法として、配線基板
の両端においてそれぞれの接続対象物に接続することが
できる。この結果、異なる物理的寸法を有する接続対象
物の間を、信号の反射などがない良好な伝送特性を確保
して接続することができるという効果を有する。
【0019】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態例を詳細に説明する。図1は第1の発明に係わる
誘電体基板の実施形態例を示し、(a)は直方体形状の
誘電体基板1の斜視図、(b)は誘電体基板内の比誘電
率の曲線2を示したのもである。本誘電体基板1は、ガ
ラスエポキシやセラミック材料などの誘電体材料からな
り、YZ面内では比誘電率が一様であり、X方向に比誘
電率εr を変化させた構成としている。この例では、x
=0でεr =10、x=Lの点でε=5となるような
比誘電率分布が形成されている。x=0からx=Lの間
の誘電率分布は、図には指数関数的に変化するものを示
したが、直線的に変化しても差し支えない。なお、従来
の誘電体基板のX方向の比誘電率は一様である。
【0020】誘電体基板1の厚さHが数μmと薄い場合
には、このような誘電体の誘電率は、イオンドーピング
法等により所望の分布形状にすることができる。また、
厚さHがmmオーダーと厚い場合には、上記所望の誘電
率分布を持つ薄層を重ね合せ、多層構造として所望の厚
さの比誘電率傾斜形誘電体基板が形成される。
【0021】図2は第2の発明の実施形態例であって、
第1の発明の比誘電率分布を持つ誘電体基板1を用いて
構成した配線基板である。図2(a)は平面図で第1の
発明の誘電体基板1の表面に幅W (x)がテーパー
状に変化する導電体パターン4が設けてある。導電体と
しては、たとえば銅などを使用する。図2(b)は導電
体パターン4の中央についての断面図であり、基板裏面
全体にグランド用導電体パターン5が形成されている。
誘電体基板1の位置Xでの導電体パターン4の幅W1
(x)は、その位置での比誘電率をεr (x)とした
時、
【0022】
【数1】 が大きくなるに従い、反比例して小さくなるようにして
ある。これは、従来技術で説明したように、導電体パタ
ーン4とグランド用導電体パターン5で構成されるマイ
クロストリップ線路の特性インピーダンスZ0 は、誘電
体基板1の厚さH、導電体パターン4の幅W1 (x)で
決まる実効比誘電率εre(x)に依存するため、実効比
誘電率εre(x)の変化に応じて幅W1 (x)を変える
ことで特性インピーダンスZ0 を一定にできるためであ
る。したがって、本配線基板により、信号の反射等の伝
送特性の劣化を生じることなく、異なる物理的寸法をも
つ接続対象物間の接続を行うことができる。
【0023】図3に本発明の適用例を示す。6は同軸コ
ネクタ、6−aは同軸コネクタのねじ部(外部導体とな
る)、6−bは同軸コネクタの中心導体、6−cは同軸
コネクタのフランジ、7はICパッケージ、8はボンデ
ィングパッド、9はボンディングワイヤなどである。同
軸コネクタの中心導体6−bは、配線基板の一端におい
て導電体パターン4の幅の広い側に半田や銀ペーストな
どにより接続される。また、ICパッケージ7のボンデ
ィングパッド8は、配線基板の他端において導電体パタ
ーン4の幅の狭い側にボンディングワイヤ9などにより
接続される。このように本発明の配線基板を用いたこと
により、物理的寸法が大きく異なる同軸コネクタの中心
導体6−bとボンディングパッド8の間を、特性インピ
ーダンスを一定に保って信号の反射のない状態で接続で
きる。
【0024】図4は第3の発明の実施形態例で、図4
(a)は配線基板3の平面図、図4(b)は図4(a)
の導電体パターン11の中央の断面図、図4(c)は実
効比誘電率εreの変化を示す図であり、誘電体層10−
aから10−fと導電体パターン11およびグランド用
導電体パターン12から構成される配線基板である。図
4(b)に示すように、誘電体層10−bには開口部1
3−bが設けられ、誘電体層10−cには開口部13−
bより大きい開口部13−cが設けられ、誘電体層10
−dには開口部13−cより大きい開口部13−dが設
けられ、誘電体層10−eには開口部13−dより大き
い開口部13−eが設けられている。なお、開口部13
−bから13−eは、代わりに、誘電体層10−aから
10−fと異なる誘電率を持つ誘電体で構成してもよ
い。誘電体層10−aから10−fを積層・焼成した
後、導電体パターン11とグランド用導電体パターン1
2が蒸着、スパッタ等により形成されて、配線基板3が
完成する。導電体パターン11とグランド用導電体パタ
ーン12で構成されるマイクロストリップ線路の実効比
誘電率εre’は図4(c)のようになる。導電体パター
ン11の幅W1 (x)は、マイクロストリップ線路とし
ての特性インピーダンスを一定とした時、その直下の誘
電体および開口部の寸法比に応じて、すなわち実効誘電
率に応じて決める。本実施形態例の場合には、導電体パ
ターン11の幅W1 (x)は、図4(a)に示すように
段階的に小さくなるように形成されている。この理由を
次の図5を用いて説明する。
【0025】図5は、誘電体層と空気層を含む誘電体基
板の実効比誘電率を説明する図である。図5(a)は誘
電体層15−a、導電体パターン16とグランド用導電
体パターン17からなるマイクロストリップ線路であ
り、この場合の実効比誘電率をεreとし、図5(b)の
ように誘電体層15−bとグランド用導電体パターン1
7の間に空気層18がある場合の実効比誘電率をεre
とした時、εre’<εreとなる。このような理由によ
り、図4の配線基板における実効比誘電率εre’は図4
(c)のように階段状になる。これに対応して、図4
(a)の導電体パターン11の幅W1 (x)は、その位
置での実効比誘電率の平方根にほぼ反比例するようにし
てある。これにより、このマイクロストリップ線路にお
いては特性インピーダンスがほぼ一定になる。
【0026】図6は第4の発明および第5の発明の実施
形態例で、図6(a)は平面図、図6(b)は導電体パ
ターン22の中央についての断面図である。20は誘電
体基板、21は導電性基板、22は幅W1 (x)がテー
パー状に変化している導電体パターンである。厚さH1
(x)が徐々に小さくなるように変化させた誘電体基板
20と、厚さH2 (x)が徐々に大きくなるように変化
させた導電性基板21を接着材あるいはロー材により接
合させて配線基板23を作成する。テーパー状導電体パ
ターン22の幅W1 (x)は、誘電体基板20の厚さH
1 (x)が小さくなるに従い小さくなるようにしてあ
る。したがって、このマイクロストリップ線路において
は特性インピーダンスがほぼ一定になる。誘電体基板2
0が比誘電率9.7のアルミナセラミックの場合には、
テーパー状導電体パターン22の幅W1 (x)は誘電体
基板20の厚さH1 (x)とほぼ同じ値となる。
【0027】図7から図9は第6の発明の実施形態例で
ある。図7(a)は平面図であり、中心導電体パターン
24、グランド用導電体パターン25−aおよび25−
b、間隙26からなるコプレーナ線路とした配線基板で
ある。この例では中心導電体パターン24の幅W2
(x)は図6(a)と同様のテーパー状とし、中心導電
体パターン24とグランド用導電体パターン25−a、
25−bの間隙26の幅S(x)も同様にテーパー状に
小さくなるようにしている。図7(b)は図7(a)の
中心導電体パターン24に中央についての断面図であ
り、図6(b)と同様の構造である。したがって、この
コプレーナ線路の特性インピーダンスはほぼ一定にな
る。
【0028】図8は、中心導電体パターン24の幅を一
定にしたまま間隙26の幅S(x)をテーパ状に変化さ
せて、特性インピーダンスを一定にする構成である。配
線基板の断面は図7(b)と同様な構造である。
【0029】図9は、間隙26の幅Sを一定にして、中
心導電体パターン24の幅W2 (x)をテーパ状に変化
させて、特性インピーダンスを一定にする構成である。
配線基板の断面は図7(b)と同様な構造である。
【0030】図10は第7の発明の実施形態例で、図1
0(a)は平面図、図10(b)は図10(a)の導電
体パターン29−aから29−eの中央についての断面
図である。図10(b)において誘電体基板27および
導電性基板28の接合部の形状がステップ状(階段状)
になっており、これに応じてX方向の誘電体基板27の
厚さH1 (x)と導電性基板28の厚さH2 (x)の比
が変化している。これに対応して、図10(a)におい
て導電体パターン29の幅W1 (x)を変化させてい
る。すなわち、第1のステップ部30−aに対応した導
電体パターン29−a、第2のステップ部30−bに対
応した導電体パターン29−b、以下同様にして30−
c、30−d、30−eの各ステップ部に対応した導電
体パターン29−c、29−d、29−eと段階的に導
電体パターン幅W1 (x)を小さくしている。この場合
も、マイクロストリップ線路としての特性インピーダン
スはほぼ一定に保たれる。
【0031】第8の発明は、第2の発明の実施形態例〜
第7の発明の実施形態例で説明した発明であり、内部の
比誘電率分布を変化させた誘電体基板あるいは一様な比
誘電率分布を有し厚さを変化させた誘電体基板と、該誘
電体基板の表面に形成されて該誘電体基板の比誘電率分
布あるいは厚さの変化に対応して特性インピーダンスが
一定になるように幅を変化させた導電体パターンと、該
誘電体基板の裏面に形成されたグランド用導電体パター
ンとから構成される。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は誘電体基
板の位置に応じた比誘電率の変化を持たせることによ
り、特性インピーダンスを一定にしながら、上記比誘電
率に対応して導電体パターン幅を制御する配線基板を実
現するものである。したがって、たとえば同軸コネクタ
やICパッケージなど接続対象物の物理的寸法が大きく
異なるものを接続する場合でも、本配線基板を介在させ
ることにより、配線基板の両端で容易にそれぞれの寸法
に適した導電体パターン幅にすることができ、伝送特性
を劣化させることなく接続することが可能になるなど、
接続用配線基板として用いる上でその効果は大である。
また本発明では、誘電率は一定のまま誘電体基板の厚さ
を位置に応じて変化させているため、上記と同様の効果
が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の発明に係わる誘電体基板の実施形態例を
示し、(a)は斜視図、(b)は特性図である。
【図2】第2の発明の実施形態例を示し、(a)は平面
図、(b)は断面図である。
【図3】図2の配線基板を用いた接続例を示す平面図で
ある。
【図4】第3の発明の実施形態例を示し、(a)は平面
図、(b)は断面図、(c)は特性図である。
【図5】図4の線路構造と実効比誘電率の関係を説明す
る断面図である。
【図6】第4の発明および第5の発明の実施形態例を示
し、(a)は平面図、(b)は断面図である。
【図7】第6の発明の実施形態例を示し、(a)は平面
図、(b)は断面図である。
【図8】第6の発明の実施形態例を示す平面図である。
【図9】第6の発明の実施形態例を示す平面図である。
【図10】第7の発明の実施形態例を示し、(a)は平
面図、(b)は断面図である。
【図11】従来のICパッケージの端子と同軸コネクタ
を接続する配線基板の例を示す平面図である。
【図12】従来のICパッケージの端子と同軸コネクタ
を接続する配線基板の例を示す平面図である。
【符号の説明】
1,15,20,27…誘電体基板 2…比誘電率の曲線 3,23…配線基板 4,11,16,22,24,29,40−a,40−
b,41−a,41−b…導電体パターン 5,12,17,25…グランド用導電体パターン 6…同軸コネクタ 6−b…同軸コネクタの中心導体 7…ICパッケージ 8…ボンディングパッド 9…ボンディングワイヤ 10−a〜10−f…誘電体層 13…開口部 14…実効比誘電率の変化を示す特性 18…空気層 21,28…導電性基板

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 直方体からなる誘電体基板において、直
    方体の一断面内では一様な比誘電率を有し、該断面に直
    交する方向に比誘電率が変化するように形成されている
    ことを特徴とする誘電体基板。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の誘電体基板の表面に比誘
    電率が変化する方向に導電体パターンが形成され、該導
    電体パターンの幅が導電体パターンに対応した場所での
    比誘電率の平方根にほぼ反比例するように形成され、該
    誘電体基板の裏面にグランド用導電体パターンが形成さ
    れていることを特徴とする配線基板。
  3. 【請求項3】 一部に開口あるいは切り欠きが設けられ
    た薄い誘電体層を積層して形成された構造を含む配線基
    板であって、該誘電体層を含む構造の一断面は誘電体層
    および空気層からなり、該断面に直交する方向に該誘電
    体層と空気層の厚さの比率が順次変化するように形成さ
    れ、かつ前記厚さの比率が変化する方向に沿って該配線
    基板の表面に該比率に応じて導電体パターン幅を変化さ
    せた導電体パターンが形成され、該配線基板の裏面にグ
    ランド用導電体パターンが形成されていることを特徴と
    する配線基板。
  4. 【請求項4】 一様な比誘電率を有する誘電体基板と導
    電性基板が接合され、該誘電体基板の表面に導電体パタ
    ーンが設けられた配線基板であって、該誘電体基板の厚
    さが該導電体パターンの長手方向に沿って減少するよう
    に形成され、該誘電体基板に対向する該導電性基板の厚
    さは該導電体パターンの長手方向に沿って該誘電体基板
    とは逆に増大するように形成されていることを特徴とす
    る配線基板。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の配線基板において、誘電
    体基板の表面に形成された導電体パターンの幅が、導電
    体パターンに対応した位置における該誘電体基板の厚さ
    にほぼ逆比例するように形成されていることを特徴とす
    る配線基板。
  6. 【請求項6】 請求項4記載の配線基板において、誘電
    体基板の表面に、第1の導電体パターン、該第1の導電
    体パターンの両側にグランド用の第2の導電体パターン
    が形成され、第1の導電体パターンの幅と第1の導電体
    パターンと第2の導電体パターンの間の間隙と前記誘電
    体基板の厚さの関係をコプレーナ線路の特性インピーダ
    ンスが一定となるように形成されていることを特徴とす
    る配線基板。
  7. 【請求項7】 請求項4記載の配線基板において、該誘
    電体基板および該導電性基板の接合部における断面形状
    が該導電体パターンの長手方向に沿って階段状に変化す
    るように形成され、誘電体基板の表面に設けられた導電
    体パターンの幅が導電体パターンに対応した位置での誘
    電体基板の厚さに対応して変化するように形成されてい
    ることを特徴とする配線基板。
  8. 【請求項8】 内部の比誘電率分布を変化させた誘電体
    基板あるいは一様な比誘電率分布を有し厚さを変化させ
    た誘電体基板と、該誘電体基板の表面に形成されて該誘
    電体基板の比誘電率分布あるいは厚さの変化に対応して
    特性インピーダンスが一定になるように幅を変化させた
    導電体パターンと、該誘電体基板の裏面に形成されたグ
    ランド用導電体パターンとから構成されていることを特
    徴とする配線基板。
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