JPH09511832A - 円形の磁極化された非接触式トルク検出装置及びそれを使用してトルクを測定する方法 - Google Patents

円形の磁極化された非接触式トルク検出装置及びそれを使用してトルクを測定する方法

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Abstract

(57)【要約】 トルク検出装置は、磁気弾性活性要素と、磁気弾性活性部分の磁界を感知するホール効果センサ等の磁気センサとを備える。一実施形態では、磁気弾性活性部分が、ほぼ軸線として円周方向を有する事実上の1軸磁気異方性が付与されかつ円周方向に磁極化された材料からなるリングを備えている。リングは回転シャフト等のトルクを受ける部材に取り付けられ、シャフトに付加されたトルクがリングに伝達される。リングに付加されたトルクは、リングの円周方向の磁気配向を再方向付けして、円周方向及び軸方向の両成分を有する螺旋状の磁気配向を生成する。磁気ベクトルセンサが、リングに対して所定位置に取り付けられて方向決めされ、リングの軸方向磁気成分に起因する磁界のみを最大限に感知する。それにより、センサの出力は、シャフトに付加されてリングに伝達されたトルクから発生した磁気配向の変化に比例する。別の実施形態では、磁気弾性活性部分が、円周方向に互いに反対に磁極化された軸方向に別個で磁気的に隣設する2以上の円周領域を備える。それら円周領域は、別個のリングで構成されていてもよいし、1個のリング上に形成されていてもよい。

Description

【発明の詳細な説明】 円形の磁極化された非接触式トルク検出装置及びそれを使用してトルクを測定 する方法発明の分野 本発明は、トルク検出装置に関し、特にシャフトに加えられるトルクを測定す るための非接触磁気弾性トルク変換器に関するものである。発明の背景 回転する駆動シャフトを有する機構の制御においては、基本的にトルクと回転 速度とが重要なパラメータである。従って、正確で信頼性があり、廉価な方法で トルクの検出及び測定を行うことが、数十年来、当業者の主要な目的である。比 較的最近には、車両のハンドル操作に応じて駆動される電動モータがそこへ供給 される電流を制御することにより発生トルクを制御する、原型としてのパワース テアリングシステムが開発されたが、これに関しては、ステアリングシャフトか ら発生したトルクを正確に検出し得るトルク検出装置の要望が高まっている。ト ルク検出装置は、長足の進歩を遂げたが、厳しい環境や操作状況にもかかわらず 、長期間に渡って連続してトルクの測定能力を有する廉価なトルク検出装置が強 く要望されている。 従来、トルクの測定は、シャフトに直接取り付けられた接触式のセンサを使っ て行われていた。その種のセンサとしては、ひずみゲージ式トルク検出装置があ る。この装置は、1個以上のひずみゲージがシャフトの外周面に直接取り付けら れており、ひずみにより生じる抵抗の変化をブリッジ回路や既知の手段により測 定するようになっている。ところが、接触式センサは、回転シャフトに直接接触 しているため、相対的に不安定であり、信頼性に欠ける。また、非常に高価であ るため、車両のステアリングシステムに使用するには、実用的ではない。 さらに最近では、回転シャフトと共に使用される磁気ひずみ式の非接触トルク センサが開発されている。例えば、Garshelis の米国特許4,896,544 号に開示さ れたセンサは、適切な強磁性と磁気ひずみ性とを有する表面と、それぞれ左右対 称で、螺旋状に方向付けられた残留応力及び誘導された磁気異方性が付与される 2本の別個の周方向の帯体とを備えるトルク伝達部材を有しており、また、トル クを受ける上記部材に接触せずに、同じ軸方向の磁力に対する上記2本の帯体の 反応の相違を検出する磁気弁別装置を有している。最も典型的には、磁化及び検 出は、上記帯体を覆って取り囲む一対の励磁コイル又は磁性コイルを備えること により行われており、上記コイルは、直列に接続され、交流電流により作動され るようになっている。トルクは、一対の互いに逆方向に接続された検出コイルを 用いて検出され、この検出コイルは、2本の帯体の磁束から発生する異なる信号 を測定するようになっている。 しかしながら、上記センサが使用される装置上及び装置回りに、上記必要な励 磁コイル及び検出コイルにとって十分なスペースを設けることは、スペースが割 り増しされたことで、実用面で様々な問題を発生させる。また、その種のセンサ は、車両のステアリングシステム等の価格競合性の高い装置に使用するには、非 実用的なほど高価である。 従来の非接触式磁気弾性トルク変換器の出力信号は、トルクによって相関的に 機械的な応力を受けるように設置されている部材の磁気特性の変化の結果として 発生する。従来のこの種の全ての装置では、効果的に検出される磁気特性は、一 種類以上の透磁率μである。このことは、これら装置の出力信号が、B=μHに より励磁磁界Hに応じて生じる磁束の磁束密度から得られるという事実から分か る。μは、応力すなわち伝達されたトルクにより明らかに変化するが、そのいか なる応力の実数値も、温度に依存すると同様に、上記部材を形成する磁気弾性的 に活性な材料に固有の特質及び構造的な特質に大いに依存している。さらに、μ は、Hに対して線形的でも単調でもなく強く依存している。実際上の磁界H自体 は、通常、その関係する磁気回路のパーミアンスの分布と同様に電流の振幅及び 周波数から発生し、これらに敏感である。コイルの抵抗に対する温度の影響、エ アギャップの程度、ヨーク及び磁気回路の他の付随部分の透磁率に関連する漏れ 磁束、巻線と他の導電要素との間の寄生キャパシタンスの誘電率等の要因は、全 てトルクの変動とは関係なく、Bの検出値に重大な影響を及ぼす。このような磁 気弾性トルク変換器に対する従来技術の取組み方の欠点は、Bに関して検出され た変化がトルクの変化を正確に示さないという望ましくない結果により、検出量 すなわちBが、多くの変数に大きくかつ複雑に依存しているのに比べて、ねじり 応力にはあまり依存していないと判断される点である。 従来技術において、上記問題を克服する試みでは、2種類の別々のBに属する 信号、すなわち、等しい静止値を有するがトルクには互いに逆に反応する信号を 供給する構成を使用しており、また、上記2種類の信号を区別して組み合わせる 手段も備えている。この手段の思想は、トルクに関連する変化に対する感度を増 幅させながら、Bにおける共通モードの変化を除去するということである。発生 トルクが0である場合に0の出力信号を要求することは、2個のBセンサに正確 な対称を確保すると共に、検知される部材の2つの区域における静止値μと励磁 磁界とにおけるμの正確な一様性を確保するという多分な配慮が必要になる。励 磁電流及び信号条件を補正するような温度を必要とする関連の電気回路と同様に 、センサ部分自体においても、上記構造を実現するのに必要な複雑性は、変換器 全体の費用とサイズとを増加させると共に、その融通性、メインテナンス性及び 信頼性を低下させる。発明の概要 そこで、本発明は、測定されるトルクが0のとき本質的に0である量を検出す るよう作動すると共に、測定されるトルクに応じてその方向と大きさとを変える 磁気弾性トルク変換器を提供することを目的とする。 また、トルクが0の状態の検出量の数値0が温度と、回転トルク部材の角度位 置と、回転速度と、トルク部材及びそのトルク量検出手段の間の径方向又は長さ 方向のエアギャップとによって実質的に影響されない磁気弾性トルク変換器を提 供することを目的とする。 さらに、励磁磁界を必要としない磁気弾性トルク変換器を提供することを目的 とする。 さらにまた、励磁電流もコイルも必要としない磁気弾性トルク変換器を提供す ることを目的とする。 また、ほぼ軸線として円周方向を有する事実上の1軸磁気異方性が付与されて おり、実質的に円周方向に磁極化されている磁気弾性的に活性な部分を備えてい る磁気弾性トルク変換器を提供することを目的とする。 さらに、励磁電流もコイルも必要とせず、検出量がソリッドステート装置で電 気出力信号に変換される磁気弾性トルク変換器を提供することを目的とする。 さらにまた、励磁電流もコイルも必要とせず、集積回路装置が温度変化により 生じる伝達関数の変数を補正する手段を有している磁気弾性トルク変換器を提供 することを目的とする。 また、励磁電流もコイルも必要とせず、集積回路装置が、出力の線形的領域を 拡張する補償作用を備えている磁気弾性トルク変換器を提供することを目的とす る。 さらに、励磁電流もコイルも必要とせず、簡単で、低コストで製造可能で、極 めて信頼性を必要とする適用法、例えば、自動車のステアリングシステムに入力 されるトルクを検出する場合に適した磁気弾性トルク変換器を提供することを目 的とする。 さらにまた、事実上の1軸磁気異方性が付与されかつ円周方向に磁極化される と共に、応力に応じて変化する磁界を発生する環状の変換器を回転トルク部材に 取り付けた後、回転トルク部材上のトルクを表示するためにその変換器の磁界出 力成分を測定する非接触式のトルク測定方法を提供することを目的とする。 また、周辺の磁界に起因する検出磁界変化を避けるためのシールド構造の必要 性を最小化又は排除する磁気弾性トルク変換器を提供することを目的とする。 さらに、例えば周辺磁界のような外部磁界源は実質的に検出されない磁気弾性 トルク変換器を提供することを目的とする。 さらにまた、互いに反対に磁極化された軸方向に別個で磁気的に隣設する2以 上の円周領域を有する磁気弾性的に活性な部分を備えている磁気弾性トルク変換 器を提供することを目的とする。 また、互いに反対に磁極化された軸方向に別個で磁気的に隣設する2以上の円 周領域を有する磁気弾性活性変換器を製造する方法を提供することを目的とする 。 上記諸目的を達成するため、本発明のトルク検出装置は、磁気弾性活性要素と 、磁気弾性的に活性な部分の磁界に反応するホール効果センサ等の磁気センサと を備える。好ましくは、磁気弾性活性部分は、例えば円周方向をほぼ軸線とする ような事実上の1軸磁気異方性が付与され、実質的に円周方向に磁極化された材 料のリングからなる。このリングは、例えば回転シャフトのようなトルク部材に 取り付けられ、そのシャフトに加えられるトルクはそのリングに伝達される。そ のリング上のトルクは、リングの円周方向の磁気方向性を偏向させ、円周方向及 び軸方向の両成分を有する螺旋状の磁気方向性を発生させる。そのリングと対向 する所定の位置には、磁界ベクトルセンサが設けられており、リング内の磁気の 軸方向の成分から発生する磁界に対応するように方向付けられている。この磁界 ベクトルセンサが磁束収束器に設けられた場合、センサの出力は、シャフトに加 えられてリングに伝達されたトルクにより発生するリング内の磁気方向性の変化 に比例するようになっている。 本発明の他の形態では、磁気弾性的に活性な部分が、円周方向に互いに反対に 磁極化された軸方向に別個で磁気的に隣設する2以上の円周領域からなるトルク センサによって上記諸目的が達成される。その各領域は物理的に別個のリングで 構成されていてもよく、1つのリングに複数の領域が形成されていてもよい。図面の簡単な説明 図1は、本発明の検出装置を示す組立図である。 図2は、本発明で使用されるホール効果センサの線形変換作用を示すグラフで ある。 図3a〜図3gは、磁束収束ヨークを組込んだ本発明の種々の形態を示す図で ある。 図4は、本発明の検出装置に取り付けられた新たな磁石を示す組立図である。 図5a及び図5bは、本発明の変換器内の残留磁気の磁界増大効果を示すグラ フである。 図6は、磁石の磁界内での回転による本発明の変換器の磁極化を示す図である 。 図7は、環状コイル状に巻かれた導線に電流を流すことによる本発明の変換器 の磁極化を示す図である。 図8は、変換器の外側に沿って磁石を並進させることによる本発明の変換器の 磁極化を示す図である。 図9は、本発明の変換器と機械シャフトとの間に取り付けられた低透磁性のス ペーサを示す断面図である。 図10は、機械シャフトの切断部を覆うように設けられた接続スリーブと、そ の後に装着された変換器とを示す断面図である。 図11は、シャフト上の同様の構造と噛合させるため、軸方向に形成された溝 を内周面に有する変換器を示す斜視図である。 図12は、シャフトと噛合するように端面に形成された溝を有する変換器を示 す平面図である。 図13は、変換器とシャフトとを結合させる接着剤を受け入れる周面上の貫通 孔を有する変換器の平面図である。 図14は、マンドレルを使用して変換器をシャフト内部から膨脹ばめさせる状 態を示す断面図である。 図15は、図14のシャフト膨脹後の組立状態を示す。 図16は、変換器の軸方向中心部の膨脹を減少させるためにこの中心部が切削 された図14の膨脹工程に最適なシャフト構造を示す。 図17は、変換器リングに軸方向圧縮力を付加するための一実施例を示す断面 図である。 図18は、変換器リングに軸方向圧縮力を付加するための他の実施例を示す断 面図である。 図19は、変換器リングに径方向圧縮力を付加するための一実施例を示す断面 図である。 図20a〜図20eは、端効果問題を避けるための種々の変換器リング及びシ ャフトを示す。 図21は、トルクを増大させて伝達するために変換器リングをシャフトに取り 付ける1つの方法を示す。 図22は、トルク伝達及びフープ応力を達成するための組立前の変換器リング 及びシャフトの典型構造を示す。 図23は、変換器リングをシャフト上に取り付けた図22の構造を示す。 図24は、変換器リングをその端部で固着した図23の構造を示す。 図25は、互いに反対方向に磁極化された2つの変換器リングを利用した本発 明の検出装置を示す組立図である。 図26は、1個のシングル幅リング、1個のダブル幅リング及び2個のシング ル幅リングにおけるリングに沿う軸方向位置の関数としての径方向の検出磁界強 度を示すグラフである。 図27は、互いに反対に磁極化された軸方向に別個の2つの円周領域を有する 1つの変換器リングを利用した本発明の検出装置を示す組立図である。 図28は、非磁極化円周端面領域とその領域間の互いに反対に磁極化された軸 方向に別個の2つの円周領域とを有する1つの変換器リングを利用した本発明の 検出装置を示す。 図29は、非磁極化円周端面領域と互いに反対に磁極化された軸方向に別個の 2つの円周領域とがシャフトの表面部に形成された本発明の検出装置を示す。 図30(a)は、3つの磁極化された領域を有する本発明の検出装置を示し、 図30(b)は、このような検出装置での軸方向位置に対する検出される磁界の 強さを示すグラフである。 図31(a)は、4つの磁極化された領域を有する本発明の検出装置を示し、 図31(b)は、このような検出装置での軸方向位置に関する検出磁界の強さを 示すグラフである。 図32は、1つのリングに互いに反対に磁極化された軸方向に別個で隣設する 複数の円周領域を形成するための装置及びその方法の最初のステップを示す。 図33は、図32の方法の次のステップを示す。 図34は、図32の方法のさらに次のステップを示す。 図35は、図32の方法の最後のステップを示す。 図36は、図32〜図35の方法によって製造されたリングを示す。 図37は、図33の方法及び装置で閉じた電流とリングに沿った位置との関係 を示すグラフである。 図38は、変換器リング上に複数の領域を同時に磁極化するための方法及び装 置を示す。 図39は、変換器リング上に複数の領域を同時に磁極化するための他の方法及 び装置を示す。 図40は、変換器リング上に複数の領域を同時に磁極化するためのさらに他の 方法及び装置を示す。実施形態の詳細な説明 まず、図1において、2は本発明に係るトルク検出装置を示す。このトルク検 出装置センサ2は、変換器4と磁界ベクトルセンサ6とを備えている。トルク検 出装置2は、機械(図示せず)の一部であって長さ方向の中心軸10回りに回転 するシャフト8上に取り付けられている。トルク12は、シャフト8の一部に加 えられると、シャフトの他の部分にも伝達され、そこではトルク12に起因する シャフト8の動きが何らかの有用な働きをするようになっている。トルク12は 、図のシャフト8の一端側で時計回り方向に示されているが、シャフト8を内蔵 する機械の性質次第で時計回り及び反時計回りのいずれか一方向にも両方向にも シャフト8を回転させるよう付与され得ることは言うまでもない。 変換器4は、後に詳述する多くの方法のうちの一つによりシャフト8に固設さ れており、シャフト8上に軸方向又は径方向に識別可能な磁気弾性的活性領域を 備える手段として作用する。実際には、変換器4は、通常、端面18,20、内 周面22及び外周面24を有する円筒状のスリーブ又はリングの形状をなし、シ ャフト8のねじり応力を受ける領域内の軸線10に沿った適宜の位置に適切に取 り付けられる。変換器4には、前処理により又はシャフト8への取付手段に付随 する効果として、円周方向をほぼ軸線とする事実上の1軸磁気異方性が付与され ている。加えて、変換器4は、後にいくつか例示されている何らかの効果的な方 法により、一円周方向又は異なる円周方向に磁極化されるようになっている。要 するに、変換器4は、トルク12が存在しない状態(静止状態)では少なくとも 軸線10の方向にも径方向にも正味の磁気成分が全く存在しない程度まで、ほぼ 純粋な円周方向14に磁極化されている。これにより、本来的に逆円周方向の磁 気成分を有していた領域がほぼなくなる。円周方向の異方性が適切に優位を占め ている状態であるならば、領域中のすべての磁気は、最大限±45°の範囲内に 存在し、しかも、リングの十分に小さい範囲内に対称的に配分されるので、補償 されていない外部からのいかなる磁束も磁界ベクトルセンサ6に確実に感知され なくなる。変換器4の閉じた円筒形状により、完全な回路を準備することで変換 器4の磁極化の安定度を高めることができる。 変換器4の構成及び処理により、シャフト8延いては変換器4へねじり応力が 付加されると、変換器4の磁極化された磁気が再度方向付けされる。磁極化され た磁気は、ねじり応力が増大するにつれてますます螺旋の度合いが強くなる。変 換器4の磁気の螺旋度合いは伝達されたトルク12の大きさに依存し、カイラリ ティは伝達されたトルクの方向性と変換器4の磁気弾性特性とに依存する。変換 器4のねじれに起因する螺旋状の磁気は、円周方向14の成分と軸線10に沿う 軸方向成分との両成分を有している。特に重要なことは、軸方向成分の大きさが 変換器4のねじれに完全に依存していることである。 磁界ベクトルセンサ6は、変換器4に対して対向して設置された磁界ベクトル 検出装置であり、静止状態の円周方向からより勾配の大きい又は小さい螺旋方向 へ磁極化された磁気が再度方向付けされる結果、変換器4回りの空間に発生する その磁界の大きさ及び極性を検出するようになっている。磁界ベクトルセンサ6 はトルク12の大きさに応じた信号出力を発生する。好ましくは、磁界ベクトル センサ6は集積回路ホール効果センサである。配線16は、磁界ベクトルセンサ 6を直流電源に接続すると共に、磁界ベクトルセンサ6の信号出力を、シャフト 8を内蔵する機械又はシステムの制御回路やモニター回路等の受信装置(図示せ ず)に伝達するようになっている。 変換器4の領域が正確に円周方向に磁極化されていない場合の対称性のために 、また他の領域における異なる磁気配向による真円状の磁界のために、静止状態 でトルクが存在しない状態の変換器4の外部の空間には検出可能な磁界はない。 実際には、変換器4が実際に磁極化されたことを認識する受動的な外部手段は存 在しない。変換器4の材料に固有の磁気弾性的相互作用を介したトルクの伝達に 伴う2軸の主応力の作用により、各磁気領域の均衡状態の方向付けに対して異方 性の影響が与えられて、すべての領域の事実上のほぼ軸方向が直近の主応力(正 の磁気ひずみを有する材料内では引張応力、負の磁気ひずみを有する材料内では 圧縮応力)の方向に変更される。これにより、磁気の本来の対称性や真円性がト ルクの付与によって破壊され、変換器4内の磁気に正味の螺旋性が出現する。こ の螺旋性は、磁極化された唯一の円周方向と結合し円周方向成分と軸方向成分と の2つの成分に分解可能な磁気となる。上記円周方向成分は、上述の如く、変換 器4の外部空間における検出可能な磁界源ではないが、上記軸方向の成分は容易 に検出可能である。変換器4は、トルクを受けると、各領域の螺旋状に配向され た磁気の量的に平均化された軸方向成分と等しい軸方向の磁気を有する管状の棒 磁石の磁界と外部からは区別のつかない磁界を発生する。このようにして、付加 トルクの方向は、(変換器4の材料の有効な磁気ひずみの正負と共に)同等物で ある棒磁石の極性を決定し、トルクの大きさは同等物としての棒磁石の磁気強度 を決定する。 図3a〜図3gに示すように、好ましい実施の形態では、磁性的に弱い(低保 磁力、高透磁率の)材料からなるヨーク26が、1つ又は複数の磁気センサ6と 共に設けられている。ヨーク26は、磁界ベクトルセンサ6を通過する磁束経路 のパーミアンスを増大させる手段であり、磁界ベクトルセンサ6から離れた変換 器4の円周部から磁束を集める手段でもある。ヨーク26は、特に、ホール効果 集積回路と共に使用される。この装置は、周波数の低下と共に上昇する比較的高 いノイズレベルを有する傾向があるからである。従って、S/N(信号/ノイズ )比を高めるためには、低い磁界強度よりはむしろ高い磁界強度を使用する上記 装置を操作することが好ましい。 図3aに示すように、磁界ベクトルセンサ6は、変換器4の端面18(又は端 面20)の近くに位置している。これは、変換器4からの磁界の方向付けにより 、変換器4に近接する他の領域よりも、変換器4の端面18,20の近傍におい てより大きな磁界強度が存在するようになっているからである。本実施の形態で は、ヨーク26は、変換器4及びシャフト8の一方の側に設けられた通常の棒状 磁束集束器である。ヨーク26は、変換器4の両端面18,20に近い両端に突 出部28,30を有している。磁界ベクトルセンサ6は、ヨーク26と変換器4 との間の突出部30に取り付けられている。 図3bは、2つのセグメント32,34からなるヨーク26を示し、両セグメ ント32,34はそれぞれ変換器4に向かって延びる突出部28,30を備えて いる。磁界ベクトルセンサ6は、ヨークセグメント32とヨークセグメント34 との間の(シャフト8の)軸方向に設置されており、変換器4の一方の端面18 からエアギャップ36、ヨークセグメント32、磁界ベクトルセンサ6、ヨーク セグメント34及びエアギャップ38を経て変換器4の他方の端面20へ至る磁 気路を形成させている。 図3cは、ヨーク26の別の実施の形態を示し、ほぼ図3bの実施の形態と同 様の構成であるが、この実施の形態では、磁界ベクトルセンサ6は、両ヨークセ グメント32,34間の径方向に設置されており、磁気経路は、ヨークセグメン ト32からシャフト8の径方向に沿って外側へ向かい、磁界ベクトルセンサ6を 通ってさらに径方向の外側へ向かい、ヨークセグメント34へ至っている。 図3dは、ヨーク26のさらに別の実施の形態を示す上面図である。この実施 の形態は、図3cの実施の形態とほぼ同様の構成であるが、ヨークセグメント3 2,34がそれぞれ棒状に形成されていると共に、変換器4の外周面24の近く において、それぞれシャフト8の軸線10と平行で互いに異なる中心軸に沿って 配設されている。磁界ベクトルセンサ6は、両ヨークセグメント32,34の端 部間に設置されている。従って、ヨークセグメント32から磁界ベクトルセンサ 6を通過してヨークセグメント34に至る磁気経路は、変換器4及びシャフト8 回りに円周状であり、ヨークセグメント32,34の両中心軸を横切るようにな っている。 図3eは、本発明のさらにまた別の実施の形態を示し、2個の磁気センサ6が 使用されている。上記両磁気センサ6は、それぞれ変換器4の端面18,20の 近くで、変換器4の相対する端部に配設されており、1本の棒状のヨーク26に より連結されている。複数のセンサの使用は装置のコストを上昇させることにな るが、上記磁気センサ6は、温度変化、電圧変化及び周辺の磁界の信号に対して 共通モードを排除するために別々に接続可能である点で、複数のセンサの使用は 望ましい。或いは、周辺の磁界の影響を少なくするため、磁気センサ6を、極め て低い透磁率を有する材料からなるシールド39によって覆うように構成しても よい。上記シールド39は、変換器4から磁束を受ける方向以外のすべての方向 で磁気センサ6を取り囲んでいる。 当然ながら、より多数の磁気センサ6が使用されてもよい。図3fに示す実施 の形態では、4個の磁気センサ6が使用されており、2個の磁気センサが、他の 2個に対して変換器4を挟んで径方向に正反対の位置に配設されている。 図3gは、本発明のトルク検出装置2のさらに別の実施の形態を示し、この実 施の形態では、ヨーク26は、2個の直角に曲げられた棒状セグメント40,4 2から形成されている。棒状セグメント40,42の脚部44は、変換器4の端 面18,20の領域においてシャフト8の近くまで達している。上記脚部44は 、その末端部にヨーク26の湾曲部41を接合させている。湾曲部41は、シャ フト8の全周又は一部を取り囲んでおり、変換器4の円周領域からの磁束を集め るようになっている。上記磁束は、一方の脚部44からテーパー状の小さなエア ギャップ46に導かれ、このエアギャップ46では、周辺部の磁束が磁界ベクト ルセンサ6を経て他方の棒状セグメント40,42へ向けられるようになってい る。エアギャップ46は、その最も狭い地点では、数千分の1インチ以下の寸法 であるので、その領域に強い磁界を提供するようになっている。このエアギャッ プは、軸方向に形成されているが、変換器4の径方向又は円周方向に向かうよう に形成されていてもよい。 図3a〜図3gに示すヨーク26は、いくつかの機能を実行するようになって いる。より広い範囲から集められた磁束を集中させる機能及び磁界ベクトルセン サ6へ向かわせ又は通過させる機能以外に、ヨーク26は、変換器4の回りのそ れぞれ異なる円周位置に存在する軸方向の磁気モーメントの不均衡性の影響を削 減するようになっている。このような不均衡性やシャフト8の径方向への偏り( 偏心)が甚だしい場合には、変換器4を完全に取り囲むヨーク26を設けるよう に構成してもよい。このようなヨークを、変換器4の各端部の近くに、変換器4 から径方向に離すようにして、弱い磁性材料からなる同軸のリングで構成しても よい。この場合、ヨーク26の磁束集束片は、集められた磁束を磁界ベクトルセ ンサ6へ導くように形成された他方の磁束集束片に(最小限の相互対面間のエア ギャップを有して)固設される。 本発明による磁極化された変換器4に関する実験は、その磁気特性が、時間、 温度超過、振動(様々なモードでの応力)及び連続的なトルクサイクルに対して 安定していることを示している。特に、閉じた環状を有する磁極化された変換器 4は、最低限動作可能な活性状態にあり、それ故、最も安定した状態である。消 磁化された状態では、非コヒーレントの自発的な磁気ひずみを有する領域の非順 応性による局部の応力や、局所の磁気が方向を変えるその領域の近くの微視的な 磁界におけるのと同様に、領域壁部においても潜在的な活性能力を有している。 変換器4により発生した磁界の長期間の安定性に問題が生じる場合には、図4 に示すように、固定された新たな磁石47を、回転する変換器4の近くの機械又 はシステムに設けることができる。この磁石要素の追加により、変換器4の望ま しい極性を維持しようとする低レベルの連続的な磁力を変換器4上に付与するこ とができる。磁石47は、変換器4全体を実際に磁極化する程の強い磁力を持つ 必要がないので、比較的弱い磁力で構成され得るが、磁界内の装置の長期に亘る 作動の間に広がった不安定な領域を補正し得る程度でなければならない。上記磁 石47として、軸線10に沿う変換器4の長さにほぼ等しい長さを有し、その厚 み方向に(一方の面にN極を他方の面にS極をそれぞれ有するように)磁極化さ れた小型の積層型フェライト磁石47が使用されてもよい。磁気センサ構造 磁界ベクトルセンサ6は、ホール効果センサ、磁気抵抗センサ、磁気トランジ スタ(「マグニスタ」)センサ、磁気ダイオードセンサ、MAGFET(磁界効果トラ ンジスタセンサ)等の1以上のソリッドステートセンサ装置を備えている。これ ら以外のセンサとしては、Hと共に変化する磁気特性を有する非線形コア、磁力 計、フラックスゲート磁力計及び(環状にも近接位置にも設けられ、磁束を遮り 、dφ/dtに比例する誘導起電力を有する)コイルがある。 ソリッドステートセンサは、小型で低コストであり、集積されたパッケージ内 で、温度補正、信号調整、電圧調整等の操作機能にとって望ましい電子工学技術 を合体させることができるので、使用に適している。ホール効果センサは、図2 に示すように、線形であって極性に敏感でもある理想的な伝達特性を有している ので、特に適用に好ましい。磁界ベクトルセンサ6としての使用に適切な集積回 路ホール効果センサには、Texas Instruments 社製のModel TL173C、Analog Dev ices社製のModel No.AD22150、Allegro MicroSystems社製のModel UGN3505UやM odel UGN3503UA 等がある。同様に、潜在的に適用可能な装置には、MicroSwitch 社、Siemens 社及びWolff Controls社で製造されたものがある。 磁界ベクトルセンサ6は、トルクの伝達と共に生じる外部の磁界に対して最大 限の反応をするように配置されかつ方向付けされている。トルクを受けた変換器 4の等価物及び軸方向に磁極化された棒磁石によれば、最も強い磁界は、磁極の 近傍、すなわち、変換器4の両端面18,20の近くに見出される。磁界ベクト ルセンサ6は、シャフト8の近くに固設され、回転しないようになっている。ト ルク変換器に最大のトルクを付与する場合はシャフト8等のトルク部材の回転を 伴うので、磁界ベクトルセンサ6は、回転時におけるシャフト8と物理的な接触 を避けるために、シャフト8から径方向に離される必要がある。磁界ベクトルセ ンサ6の正しい位置及び方向は、変換器4の幾何学的磁気的特性(コーナー部分 の鋭さ、径方向の厚み、軸方向の長さ、直径等)や必要な径方向の空間と同様、 その特殊な操作原理、パッケージの大きさ、磁気の活性領域及びその他構造上の 詳細部分に依存しているが、磁界ベクトルセンサ6のほぼ最適の設定位置は、通 常、径方向の磁束を検出するために方向付けられた、端面18,20の一方から 径方向外側の位置に見出だされる。 磁界ベクトルは変換器4の回りの空間内でその方向を変化させる。センサ6、 例えばホール効果装置が1軸の検出軸を有していることが認識できれば、その検 出装置をシャフト軸に対して有利に方向付けることが可能になる。センサ6が有 利に方向付けられると、変換器4から距離が離れるにつれて減衰する磁界強度( H)を、磁界ベクトルの方向が検出軸の方向により近づく程磁界ベクトルに対す る磁界センサ6の感度が上昇することによって補償することができる。言い換え れば、Θがセンサ6の唯一の検出軸と磁界ベクトルとの間の角度であり、センサ 6の出力がHcos Θに比例するならば、変換器の端部から離れるにつれてHが減 少するのと同様にΘも減少する(検出軸と磁界ベクトルの方向とが一致するよう になる)としても、cos ΘはHの減少を相殺するように増加する。従って、変換 器4とセンサ6との間の径方向のギャップを正確に制御する必要が軽減される。 本発明の大きな長所は、変換器4に生じる円周方向の不均衡性が、例えば局所 にセンサを用いた従来のトルク変換器における不均衡性と比べて、かなり小さい 点である。上記従来のセンサは、シャフト上の小さな局部領域(1点)のみを検 出するに過ぎないが、本発明の磁界ベクトルセンサ6は、変換器4の軸方向全長 に亘る領域から軸方向の磁界を検出する。従って、磁界ベクトルセンサ6は、線 上のただ1点を検出するよりはむしろ1線に沿う多くの領域から発生する複数の 局所モーメントを平均化するようになっている。 本発明の検出において、もう一つの重要な長所は、磁界ベクトルセンサ6によ り検出される磁界が、伝達されるトルクの方向と大きさによってのみ調節される という点である。一様なトルクの状態では、磁界の瞬間的な変動はないので、検 出された磁束が、変化する極性、高い周波数起磁力によって循環的に作用する従 来の大多数のトルク変換器とは異なり、変換器からのトルクの情報は、瞬間的な 磁束密度に完全に依存しており、周期的搬送波又はその変化の時間比率に依存し ていない。このことは、ソリッドステート磁気センサ6がμ(透磁率)=1であ るエアギャップに位置することにより、B(磁束密度)又はH(磁束強度)に比 例する電気出力を提供するような上記センサ6の使用を可能にしている。 上述したように、コイルを必要としないことが本発明の長所であるが、コイル を用いる磁気センサ6が、適切に変換器4と共に用いられてもよい。特に一般的 に入手可能なソリッドステートセンサ装置には環境条件が厳しすぎる場合等に、 小型で、フラックスゲート(可飽和鉄心)型又は同型の磁界センサを使用しても よい。鎖交磁束型の磁界センサも使用可能であるが、これらは、dφ/dtの信 号をφに変換する積分回路を必要とするので、望ましくない。変換器構造 本発明にかかる効果的な変換器4の構造は、変換器4の適確なサイズ化、適確 な材料選択、及び適確な磁気方向付けを必要とする。 まず、変換器4の典型的なサイズ化について説明する。図示の好適な例では、 直径2分の1インチのシャフトに対して、変換器4は18%ニッケルマルエージ ング鋼(T−250)からなり、中心軸に沿って2分の1インチの長さを有する 。また、シャフト8にプレスばめするために0.499〜0.498インチの中 心孔を有し、0.030〜0.050インチの範囲の壁厚を有する。しかしなが ら、変換器4のサイズは、以下の一般的な原則に従って特定の適用により変化す る。 変換器4は、壁厚が比較的薄いほうがよい。変換器4の応力は、その中央部( 変換器4が固い筒体であれば)では、0から線形的に変化し、内周面22では幾 らか大きな数値に変化し、外周面24で最大値になる。変換器4を固い筒体に形 成することは可能であり、それにより、シャフト8の裂け目に嵌まりこませるこ とができる。しかし、固い筒体形状の変換器4は、機械的にも磁気的にも非効果 的な材料になる。その材料では、中央部分であまりトルクが伝達されないばかり か、表面上で最も高い値を示す軸方向の磁気成分のグラジエントは、表面の磁束 が内側の材料をより軸方向に磁化しようとするように転換されてしまい、磁界ベ クトルセンサ6による測定に使用可能な磁束量を減少させるということを意味す る。 別の極端な例では、変換器4が薄すぎると、外部の磁界に寄与するような材料 の体積が不十分になる。磁界は、これを発生させる磁気モーメントに比例し、そ の磁気モーメントは、MVで表現される。ここで、Mは、軸方向の磁気成分であ り、Vは磁化された材料の体積である。 変換器4の軸方向の長さは、シャフトの厚みに一部依存している。直径に対し て不均衡に小さい軸方向の長さを有する筒体は、シャフト8に組み付けたり、シ ャフト8に取り付けたりすることが難しい。例えば、変換器4が締まりばめでシ ャフト8に保持される場合、そのはめ合いは、変換器4が厚く長いほど堅く締ま るようになっている。 変換器4の軸方向の長さが短すぎると、軸方向の磁気成分に起因する磁界が不 均一になり検出が困難になる。上述の如く、ねじり応力を受けた変換器4は、各 端部に磁極を有する棒磁石の磁界と等価の磁界を発生する。上記両磁極間が互い に近付くほど、磁石内部の磁界の消磁化が甚だしくなる。変換器4の磁気配向に 影響する3つのエネルギー条件がある。それは、(1)材料の異方性が磁気を円 周方向に保持する傾向を有している点、(2)磁気弾性力が磁気を45°の螺旋 状に調整する傾向がある点、(3)消磁磁界が磁界の軸方向成分を減衰させる傾 向がある点である。 消磁磁界は、磁気の軸方向成分と共に増大する。従って、消磁磁界は、磁気弾 性力が異方性の力に優るほど大きくなる。消磁率(一般に0と4*PIとの間の 値)は、軸方向の長さが小さくなるにつれて大きくなり、また、厚みが増すにつ れて(急激にではなく)大きくなる。さらに別の極端な例では、変換器4が長す ぎると、極めて大きな磁石の外部構造は、局所の磁界センサを通して磁気回路を 接続することが必要になる。小さなシャフトにとっては、シャフトの径にほぼ等 しい幅を有することが設計上好ましい出発点になる。 変換器4を作るに当たり、材料の選択は重要である。材料は、採用し得る材料 の特性を変換器の性能要求に合わせると共に、シャフト8の材料選択とも関連し て選択される。最適の実施の形態では、変換器4は、18%ニッケルマルエージ ング鋼等のニッケルマルエージング鋼から構成されている。 選択される材料は、磁気領域の存在を確保するために強磁性を有している必要 があり、磁気の方位が、付与されるトルクに伴う応力により変更されるように、 磁気ひずみ性を有している必要がある。 ニッケルマルエージング鋼以外の材料も、適用物の特性次第で変換器に適用さ せることができる。材料は、以下の一般的な基準を考慮して選択される。 変換器適用において、トルクと共に生じる磁界は、活性領域の両端部で磁気の 軸方向成分の非連続性に起因する。これら両端部は、実際上、棒磁石の磁極にな る。磁界は、活性材料の飽和磁気Msと共に増大する。Msが大きくなるほど、 非連続性も大きくなる。数式で表現すれば、divH=−divM=(極限で) −0.7071divMsである。ここで、0.7071はsin45°である 。 極性は、静止異方性Kuにより乱れる磁界に抗して維持される。従って、Ku が大きいほど好ましい。しかし、磁気は、λs/Kuが大きい場合、より容易に (トルクをあまり要求しない)応力によって再び方向付けられる。ここで、λs は飽和磁気ひずみである。従って、高い感度が要求される時は、λsはKuに比 べて大きい必要がある。大きなダイナミックレンジが要求される場合は、λs/ Kuは3λsΣ/Kuが最高必要トルク時の線形レンジ内でとどまるのに十分に 小さい値である必要がある。 上記の基準をほぼ満たし、それ故変換器4の構成に使用可能な他の材料は以下 の通りである。 他のニッケルマルエージング鋼。 二元合金及び鋼の双方を含む他のニッケル−鉄合金。二元合金は、鋼が9-4-20 又はAISI 9310を含むのに対し、(40%〜50%の)より高い割合のニッケル 合金を含む必要がある。 代表的なものとしてAlfer (13% Al-Bal Fe)等の13%アルミニウムを含む アルミニウムマルエージング鋼。 ニッケルマルエージング鋼ほど高価ではないという利点を有するマンガンマル エージング鋼。 非常に高い磁気ひずみを有する49Co、49Fe 2V 等のパーメンジュールタイプの 合金。バナジウムは、材料を扱いやすくすると共にその強度を高めるために加え られる。より少量のコバルトを含有する同様の合金も使用可能である。 410,416又は440型等の純粋クロムを含むマルテンサイト系ステンレ ス鋼。 AISI 430等のフェライトステンレス鋼。 15-5PHあるいは17-4PH等の降水硬化鋼。 アモルファス材料及びナノ結晶材料。 変換器4は、適切な材料製作工程により、選択された材料から基本的な形状に 製造される。変換器4の製作に続いて、変換器4の材料に所望の円周方向の磁界 方向付けを行うために、2つのステップが実行される。まず、変換器4は、前処 理により又はシャフト8への取付に付随する効果として、円周方向をほぼ軸線と する事実上1軸の異方性が付与される。次に、変換器4は、一方の又は他方の円 周方向に極性が付与される。 必要な磁界方向付けを設定する第1のステップは、変換器4の構造に円周方向 の静止磁気異方性を付与するものである。すべての磁気領域、すなわち変換器4 の全体を有効に使用するためには、各領域の静止異方性が円周方向から45度以 上離れていない必要がある。全ての磁気領域が等しい効果で時計回り、反時計回 りの両トルクに対称に作用するためには、静止異方性は全て真円状、正確には円 周方向でなければならない。しかしながら、この点に関して絶対的に完全である ことは良い作用結果を得るためには必要ではなく、各領域の磁界方向付けは理想 の45度の範囲内であればよい。 磁気異方性は、変換器4の材料の物理的加工によって生成される。磁気異方性 のいかなる物理的な発生源も、静止領域に対して所望の配分で磁気方向付けを行 うために、すなわち、異方性が±45°の範囲内の円周方向であるように、単独 で又は組合せにより使用される。磁気異方性の一つの発生源として、磁気結晶体 、すなわち結晶を利用した異方性がある。これは、結晶構造を決定する軸と相互 に関係する様々な方向の原子(強磁性原子)の磁気モーメント(スピン)の好適 な方向付けに関連している。磁気異方性の第2の発生源として、方向上の配列が ある。これは、原子部分の配列、結晶格子欠陥、含有物(除外物)又は1方向( 若しくは2方向以上だが全方向ではない)に見い出される他の化学的又は構造的 特徴に関連している。磁気異方性の第3の発生源は磁気弾性であり、これは、自 発性磁気モーメント(強磁性磁気ひずみ)と互いに関連する自発性磁気ひずみを 有する材料中の応力の方向性に関連している。磁気異方性の第4の発生源は材料 形 状であり、これは、材料境界におけるM(軸方向の磁気成分)の発散に関連して いる。特に、消磁磁界は、磁化された本体の磁極から生じ、磁極間の間隔が近い 場合に、より甚だしくなる。球形以外の形状は、他よりも磁気的に緩やかな複数 の軸を本来的に有している。 上記異方性の物理的な発生源のうちのいずれか又はその全てが、変換器4を構 成する際に使用され得る。一例として、結晶構造は、機械的作業及び熱処理の様 々な組み合わせにより生じる。結晶は異方性の強度と堅固さを有するので、圧延 等の機械的作業により結晶を整える傾向がある。これにより、所望の磁気異方性 は、変換器4の中心軸に平行な複数の軸回りに回転しかつ間隔を置いて近接する 2個の作動ローラ間で変換器4を冷間圧延することにより導入される。必要な異 方性を実現する別の方法では、変換器4の材料の連続する細長いストリップを機 械を用いて長さ方向に圧延し、そのストリップを接着剤を用いてシャフト8回り に螺旋状に包んで定位置に保持することにより変換器4を構成する。上記圧延さ れた材料に対して、引き続いて熱処理を行うと、その材料は圧延方向に応じた方 向で結晶を成長させながら再結晶化する。その結果、所望の磁気異方性が高めら れる。別の例としては、変換器4の外周面24が、(応力異方性を有し、又は有 さずに)形状異方性を発揮するために、一連の円周方向の隆起部及び窪み部(円 周方向の凹凸)を持つように圧延されている(又は機械製作されている)。 上記方法は、特にある種の適用に有効であるが、本発明の好適な実施の形態で は、変換器4が、プレスばめ、焼ばめ又はその他の締まりばめによってシャフト に組み付けられている。そこでは、変換器4の内径は、接触面でシャフト外径よ りも小さく形成されている。この構成により、変換器4は円周方向の引張力(「 フープ応力」と称する)を受ける。変換器4が正の磁気ひずみを有する材料から なっていれば、この引張応力は、本来、所望の円状の異方性を備えている。この 方法は、磁気異方性を機械結合の本来の機能として発生させ、変換器4に磁気異 方性を確保させるための前処理ステップの必要を省くので、特に有利である。 特に好適な処理では、変換器4の内径及び/又はシャフト8の外径は、変換器 4及び/又はシャフト8に適切な材料が選択される限り、フープ応力状態を得る ための組み付けの後に、調整される。もし、変換器4がマルエージング鋼からな っていれば、それはエージング処理の間に収縮する。同様に、シャフト8に上昇 された温度から急冷することによりマルテンサイト転化処理がなされるならば、 シャフト8は膨脹する。もし、マルテンサイトが適度に焼戻しされていないなら ば、磁気を通しにくいままであるので、シャフト8として低い透磁率を必要とす る。この変換器4のシャフト8への焼ばめは、正の磁気ひずみと共に所望の磁気 異方性を提供する変換器4に、円周方向のフープ応力を本来的に発生させる。 変換器のリングを、応力を受けた状態で維持することに基づいて得られる円周 方向異方性は、円周方向引張力(すなわちフープ応力)だけでなく軸方向又は径 方向の圧縮力によっても得ることができる。フープ応力は明確な円周方向の軸を 発生させるが、直交方向の圧縮力だけでは同じことが当てはまらない。従って、 軸方向圧縮力に関しては、好ましい磁気配向がシャフトの軸から90°であり、 径方向及び円周方向のどちらの磁気とも適切に出会う配向である。それは、軸方 向の圧縮応力異方性と径方向の磁気配向よりも円形成に好都合な薄いリングによ る形状異方性との組合せである。径方向の圧縮力に関しては、形状異方性のみで は、特に適切な大きさの軸方向の磁界が存在する場合において磁気が軸方向の配 向となることを防止する十分な効果をもたらさない。径方向の圧縮力に加えてい くらかの軸方向圧縮力及び/又は周方向引張力が存在する場合に、円周方向の磁 気方向付けを安定化させるのに有利になる。 軸方向の圧縮力は、様々な螺刻面構造や、楔の設置、又は変換器のリングに一 時的に外部から圧縮力を付加し、シャフトにカラー等の部材をピン止めしたりは め込んだりして外部から加えられた力が取り除かれた後も変換器リングを圧縮状 態に維持することにより容易に確保されかつ維持される。いずれの場合において も、圧縮応力は磁気弾性的活性領域(組立品の接触部分内での弾性応力による変 換器リング)内に保持される。リングを軸方向圧縮力の状態下に維持するいくつ かの簡単な方法を図17及び図18に示す。 図17では、変換器リング4が、その一端をシャフト肩部200に突き合わせ 、他端をシャフト8の雄ねじ部202に隣接する位置まで達するようにして、シ ャフト8上に取り付けられている。シャフトの雄ねじ部202に螺着された雌ね じ ナット204が、リング4に向かって螺進されリング4に対してワッシャ206 を押圧することによりリング4を軸方向圧縮力状態に置くように使用されている 。 図18では、変換器リング4が両シャフト片8a,8bの肩部210,212 間に取り付けられている。シャフト片8aはシャフト片8bの雄ねじスタッド2 16を受け入れるよう設けられた雌ねじ穴214を有している。スタッド216 がねじ穴214内に螺着されると、変換器リング4は両シャフト片の肩部210 ,212間で軸方向に圧縮される。 変換器リング4を軸方向に圧縮する別の構造として、両先端に左巻きの雄ねじ と右巻きの雄ねじをそれぞれ有する別々のスタッド片が上記両シャフト片のそれ ぞれに形成された対応する雌ねじ穴と螺合するターンバックル構造を採用しても よい。リング内の圧縮応力はその螺合するねじ部材を締結することにより発生す る。 変換器リング4は、様々な外部クランプ手段、例えば、密着スリーブ等の中空 部材を変換器リング上に嵌めて変換器リングを径方向内側に押圧することにより 径方向の圧縮状態に置くこともできる。焼ばめ部材が使用されてもよい。スリー ブをリングに焼ばめする特に興味深い方法として、冶金学上の位相変化、例えば ニティノール(Nitinol)等の形状記憶合金のマルテンサイト転化処理に伴う寸法 変化を利用する方法がある。図19はその方法を示しており、焼ばめスリーブ2 20が、シャフト8上の変換器リング4を覆って径方向内側に圧縮することによ りリング4を径方向圧縮状態に置いている。 変換器4への磁気異方性の導入に続いて、変換器4は、変換器4の円周の時計 回り又は反時計回りのどちらか所望の方向に磁極化される。変換器4(又はより 包括的には、活性要素)への磁極化は、所望の円周方向の十分に広い磁界に対し て全ての部分をさらすことを必要とする。磁極化用の磁界に必要な大きさは、実 際には飽和効果により制限される。より大きい磁界を使用することによって、適 切に磁極化された装置の動作が顕著に変化することはない。変換器4は、必要な 磁界の磁極化効果を起こすため、また渦電流を抑止するため、さらに磁界が長期 間維持された場合でも何事も起こらないようにするために、十分な期間、磁界に さらされる。図5aは、A点からB点、C点、D点まで磁極化用磁界が増大する 効果と、その結果としてのA点からB点、C点、D点までの残留磁気MRの増加 を示す。図5bに示すように、あるレベルH=HSATでは、MRは事実上飽和状態 になり、さらにHが増加しても、MRはさらに増大することはない。 変換器4を磁極化する好適な方法を図6に示す。この方法では、変換器4は、 例えば馬蹄形磁石50が設けられたとき、2つの相反する磁極48,49の近く の磁界で、変換器4は回転させられることで磁極化される。変換器4の回転中、 磁石50は、変換器4に対して径方向の内側へ接近移動し(変換器4は、磁石5 0の接近中、連続して回転している)、磁石50は、その効果を安定させるため 、変換器4が数回転させられた後、変換器4の磁化に影響を及ぼさない程離れた 位置へゆっくりと移動させられる。この方法において磁石50により与えられた 極性は、磁石50の両極の向きに依存し、変換器4の回転方向には依存しない。 円周方向に磁界を発生させる別の方法は、変換器4の近くに軸方向の電流を供 給することである。例えば、適当な大きさの1方向の電流を、変換器4が組み付 けられたシャフト8を通じて直接に変換器4に導入すればよい。或いは、上記の ような電流を、変換器4のシャフト8への組み付けよりも以前に、変換器4の中 心孔に挿通された同軸の導体を通じて導入してもよい。さらに、図7に示すよう に、1方向のみの電流54を通過させる導線52が変換器4の内側と外側の回り に螺旋状に巻回され、変換器4の内周面22及び外周面24の各面に近接して1 列の導線を形成させるようにしてもよい。変換器4の内側と外側とで相反する軸 方向に流れる電流は、同じ円周方向への磁界を作る。このように螺旋状に巻き、 その後それを取り除くことは、変換器4を磁極化するにはあまり好ましくない。 しかしながら、大きなリングの場合、図7に示す導線52が2つの部分で構成さ れた磁極化器具が形成されてもよい。この実施の形態では、導線部分は、変換器 4の挿通を可能にするよう破線56の位置で変換器4の中心軸に沿う移動により 軸方向に分離可能になっており、上記挿通の後、螺旋状の回路を完成させるため に互いに近づく方向へ移動させられる。磁極化処理終了後、導線部分は、変換器 4から取り外すために変換器4の中心軸に沿ってそれぞれ反対方向へ再び移動さ せられる。 上記1本の導線を使用する方法においては、比較的大きな電流が必要であり、 特に大径の変換器4の場合は、電流Iアンペアを流す長く丸い導線の表面の磁界 は、H=2I/10r(Hはエルステッド、rはセンチメートル単位の導線の半 径)である。直径2cm(約0.8インチ)の変換器4の場合、 H=2I/(10×1cm)=0.2I であり、200エルステッドの磁界を得るには、1000アンペアの電流を必要 とする。この方法において導線52を使って磁化する(磁極化する)便利な方法 は、60ヘルツ交流の2分の1波、すなわち、スイッチが閉じた後の最初の2分 の1波を通過させるワンショット回路を使って電流54を制御することである。 大きな電流パルスは、コンデンサの電荷を放電することから、又はフリーホイー ル発電機の慣性から、若しくはこの技術分野でよく知られた方法によっても得ら れる。 図8に示すように、連続的に変換器4を回転させる一方で、変換器4よりも幅 の広くない磁石53を使って経路55に沿って変換器4と軸方向にすれ違うよう に給送することにより、変換器4を磁化させることも可能である。この方法は、 特に、かなり大きな変換器4を磁極化するために有利である。 シャフト構造 シャフト8の構造は、シャフト8が検出装置2の作動を妨げてはならないとい う点で重要である。トルクから発生している可能なかぎり多くの軸方向の磁束を 導いて磁界ベクトルセンサ6に通すことは、センサの感度のために有利である。 シャフト8と変換器4とは、全ての平行な経路のパーミアンスを最小限にする一 方で、センサを通過する閉じた磁束経路のパーミアンスを最大限にするために、 共に働くように設定されている。これにより、変換器4の両端面18,20に軸 方向又は径方向に近接して高透磁率の材料を設けることを避けることが重要であ る。一般に、シャフト8の透磁性材料は、変換器4に磁気経路を作り出させない ようになっている。この制限は、いくつかの方法で実現可能である。図1に示す ように、好ましい実施の形態では、シャフト8は、低透磁率の(すなわち常磁性 の)材料で構成されており、変換器4は、シャフト8に直接に取り付けられてい る。別の実施の形態では、図9に示すように、シャフト8は強磁性であり、低透 磁率のスペーサ60がシャフト8と変換器4との間に設けられている。図10に 示すさらに別の実施の形態では、シャフト8は、変換器4の近接位置にある領域 62が、実質的により小径に形成されており、又は(図示の如く)シャフト8は 、領域62内で完全に切りとられている。このどちらの場合でも、低透磁率の材 料からなる接続スリーブ64がシャフト8の切り取りによって形成された隙間を 掛け渡すようにして設けられている。変換器4は、接続スリーブ64上に取り付 けられている。 図9及び図10の方法を用いて設けられた装置の適切な作動は、その構成部品 のいかなる部品境界面間においてもすべりがないことが必要である。各組立品は 、定格トルクの全てのレンジに亘って一体物として働かねばならない。すなわち 、変換器4は、その部品境界面の表面剪断ひずみが、両境界面間で同じになるよ うに、すなわち、すべらない状態であるように、トルク部材に取り付けられてい る。 変換器4を含むいかなる断面部分においてもシャフト8内に非弾性ひずみが存 在しないことは重要な要件である。従って、トルクの伝達に伴う全てのひずみが 、トルクが収まったときには完全に回復可能でなければならない。原子レベル間 でのすべり又は同様の状況によって塑性ひずみが発生するので、上記要件は構成 部品間のすべりに関するより明白な制限事項の拡張に過ぎない。たとえいかなる 規模であってもすべりが発生すれば、変換器4内の応力はシャフトに加えられた トルクを表現しない。さらに、トルクが0に落ち着くと、断面部分全体に亘って 残留応力が分散した状態になり、変換器4やその各部分が逆向きの応力状態にな る。すべりは、変換器の伝達機能における負のヒステリシスとして現れる。 これらの各構成は、変換器4を直下の構成部品に押圧させたり圧縮させたりす る。引張フープ応力により円周方向に支配的な異方性が得られる場合には、上記 特徴は重要である。円周方向の引張以外の手段、例えば、磁界内でエージング若 しくは熱処理されることにより、又は円周方向の引張状態若しくは軸方向の圧縮 状態により変換器4の異方性が得られる場合、又は上記支配的な異方性が存在せ ずとも装置の作動が十分可能である場合には、他の構造も可能である。 低透磁率のシャフトが使用される場合には、(変換器4に対する)熱膨脹率だ けでなく強度特性についても注意が必要である。一般のオーステナイト鋼(ステ ンレス鋼)は、通常、マルテンサイト鋼よりも強度的に弱い。さらに、上記オー ステナイト鋼は単相材料であるので、熱処理で強度を高めることはできない。降 伏強度を高めることは、圧延、引抜き等の冷間加工によってのみ可能である。広 範囲にわたる冷間加工は、オーステナイトを強磁性のマルテンサイトへ転化させ る。 低透磁率のシャフトに好ましい材料は、ニトロニック系であり、一般に、クロ ムと共に少量のニッケルを有するマンガンを含んでいる。 これらの鋼は、厳しい冷間加工の下でも完全にオーステナイトを維持し、焼き なましされた状態でさえ一般のオーステナイト鋼の2倍の降伏強度を有している 。特に好ましい材料は、Armco 社製のニトロニック32(又は33)である。他に使 用可能な好ましい材料としては、インコネル(International Nickel Co.)等の様 々なニッケル合金、ベリリウム銅、過時効マルエージング鋼である。この鋼の過 時効はオーステナイトへの再転化を引き起こす。過時効マルエージング鋼の特に 有利な点は、変換器4内に使用される材料と化学的に同質であるという点である 。この同質性は、部品境界面の腐食を防ぐ傾向がある。 全体が硬化された又は表面が硬化された炭素鋼シャフト若しくは合金入り炭素 鋼シャフトを使用してもよい。このような機械的に硬化された鋼は、低透磁性も 備えている。 変換器のシャフトへの取付け 既に述べたように、変換器4と下方のシャフトとは、一つの機械ユニットとし て働くようになっている。変換器4をシャフト8に直接又は間接に堅く取り付け ることは、変換器4の正確な作動にとって極めて重要である。この要件を満たす ため、原則的に、変換器4はその両端部で取り付けられる必要がある。 取付方法は、シャフトに沿ったトルク伝達のための力配分点に従って分類され る。力配分点は、突出により配分される(範囲毎に)か又は拡散により配分され る。 突出による力配分は、変換器4の多角形状又は楕円形状の孔と嵌合する非円形 のシャフト等、相互に嵌め合う形状を有する変換器4及びシャフト8に噛合表面 を設けることにより達成される。図11に示すように、噛合する内外周面のスプ ライン、ギザギザ面、又は歯66が、変換器4の内周面22に刻設されており、 シャフト8に刻設された同様の構造と噛合するようになっている。図12は、別 の実施の形態を示し、ここでは、歯68は、変換器4の両端面18,20に刻設 されている。シャフト8の2か所の端部(1つのみ図示)にも噛合する歯70が 刻設されている。また、突出部72がシャフト8上に設けられて変換器4の中心 孔と嵌合するようになっている。変換器4がシャフト8の上記2か所に組み付け られると、歯70は、歯68と噛合してシャフト8及び変換器4を相対的に回転 不能にする。他の実施の形態では、キー、ピン、止めネジ等が使用されるが、こ れらの締結方法は、堅固な構造を要求する適用物にはあまり好ましくない。 力の配分による伝達は、シャフト8に対する変換器4の摩擦又は接着結合によ り行われる。結合部は、伝達されるのと同じ剪断応力を受ける。この結合は、最 大測定可能トルクを、シャフト8単独で又は変換器4単独で扱われるよりは低い 量に限定する。しかし、前に述べたような理由で利点がある。プレスばめ又は焼 ばめが使用され、好ましい円形異方性を得ることができると共に、実用上の問題 として、シャフト8上の予想されるトルクによって壊れることのない充分に大き なグリップ力を備えることができる。クリーンでガスぬきされた(そして還元さ れた)表面を有しているので、有効な摩擦係数がいつまでも発生し得ると共に、 多少は溶接のように作用することができる。嫌気性接着剤を使用することもでき る。この接着剤は、硬化したときに微視的な隙間の中まで浸透することにより、 堅い嵌合をさらに堅くすることができるようになっている。温度及び環境条件が 接着剤の使用を妨げない場合は、接着剤を、変換器4又はその結合部のどちらの 断面積と比較しても接着面積が大きくなるような変換器4の構成で使用すること も可能である。このことは、変換器4を上述のような層間接着剤を使用して螺旋 状に巻かれたストリップから製作することによって実現される。 図13は、その径を貫く複数の孔74を有する変換器4の実施の形態を示し、 その孔74は、接着剤で満たされ、変換器4をシャフト8に接合させるようにな っている。 変換器リングが締りばめに伴う摩擦によりシャフトに取り付けられる場合には 、リングの端縁まで均一な締結状態をもたらすことは難しい。従って、内周面の C面取りやR面取り、工具マーク、刻み目等が、シャフトから変換器リングの端 縁における円周上の全ての部分への均一なトルク伝達を妨げている。上記幾何学 上の不完全性に伴う局部応力や局部応力の変動は、所定のトルクと全くトルクが 付加されていない真のゼロ磁界からの円周方向への逸脱とによって生成された磁 界の円周方向の変動によって現れる。リング端部を幾何学的に完全にしようとす るよりは、各リング端部に軸方向に小範囲の応力フリー区域を設けることによっ て上記「端効果」の問題を回避するほうがより現実的である。これらの区域の軸 方向長さを、変換器リングのどちらの端部の面に関しても、リング及びシャフト 間の最初の安定接触点の円周方向の位置変動に比べて大きくすることにより、上 記非応力区域が局部的な磁界の変化を平均化するのに役立つ。このことを実現す るいくつかの方法を図20に示す。図20(a)では、リング端部との接触を避け るため、シャフトが削り取られている。図20(b)では、シャフトとの接触を避 けるため、リング自体の端部内面が削られている。図20(c)では、リング端部 のトルクに伴う応力を減衰させるため、リング端部が外側に膨出されている。図 20(d)及び図20(e)では、高透磁率、低磁気ひずみの(従って応力の影響がな い)材料がリング端部に付加されて端効果を均一化するようになっている。 さらに、図10の実施の形態の特殊な場合として、図14に示すように、シャ フト8が中空であれば、孔78にサイズ超過のマンドレル76を押し込むことに より又は油圧やローリングにより、変換器4を内側から膨脹させることができる 。その他の利用可能な適切な膨脹方法としては、管状のシートにボイラー管を取 り付けるという内容で良く知られた方法がある。図15は、マンドレル76が孔 78に押し通された後の図14の組立品を示す。この取付け方法は、変換器4を 径方向の外側へ膨脹させ、変換器4にフープ応力を生じさせるのに望ましい。フ ープ応力が望ましくない場合には、図16に示すように、変換器4の軸心回りの 領 域80が切り取られたシャフト8の構造を用いることによって、変換器4の両端 部にのみ緊密な膨張ばめが付与される。 図14〜図16における結合部のトルク伝達能力は、シャフト8が、その膨脹 の間に、変換器4の内径に局部的に切れ込むか又はこれを変形させるような軸方 向の凸部(ギザギザ面)を有している場合に、高められる。 拡散による力の配分は、溶接又はろう付けにより行われる。溶接は、(図13 に示すように)変換器4の両端部に対して、又は貫通孔を通して行われる。スポ ット溶接、連続ライン(シーム)溶接、又は変換器4領域の一部若しくは全部に 亘る溶接(鍛接)も使用され得る。変換器4は、型内でシャフト回りに成形され てもよいし、金属吹付け鋳造(溶融状態)されても良いし、爆圧溶接、電気メッ キ、イオン注入による接続、又はその他のシャフト表面の表面変形等によっても 成形可能であり、それにより、変換器が直接若しくは間接にシャフト表面の一部 に取り付けられ、又はシャフト表面の一部を形成する。これらの方法の組み合わ せも可能であり、特定の適用にのみ適合可能であってもよい。 いくつかの適用においては、例えば、パワーアシステッドステアリング装置の トルクセンサとして適用される場合には、リング及びシャフトが、変換器が測定 可能とされる最大トルクの20倍以上のトルクにおいてさえ1つの機械ユニット として作用することが重要である。単体よりも大きな摩擦係数を得る手段が開発 されるまでは、キー、スプライン、溝又は多角形断面等の機械的相互締結方法を 使用することが必要であると思われる。しかしながら、それら全ての場合におい て、変換器リングに円周方向異方性を設定することが未だ必要である。リングが 組み立て以前に処理される場合、例えば、応力を受けた状態又は円周方向の磁界 の中で焼きなましされる場合等には、特別な組立方法は何ら必要ない。しかしな がら、円周方向の異方性を得るために経済的理由で非常に望ましいフープ応力を 利用する場合には、以下に記述する基本的な組付けの調整が必要である。 例えば、組立の一形態として、図21(a)に示すように、丸い変換器リングが シャフトの溝形成部(又は軸方向のギザギザ面やスプラインを有するもの)を覆 うように嵌め込まれている。リングは、スエージ加工、油圧、磁気による形成又 は同様の形成方法により、図21(b)に示すようなシャフトの外形に強制的に沿 わされる。そのような形成の後のリングの周部の範囲は円筒形状であった時点よ りも拡大しているので、実際の応力は新たな外形の突出部と谷部とで異なっては いるが、リングは明らかにある程度の均一な円周方向引張状態下にある。従って 、この技術は摩擦によるトルク伝達の限界を回避するという点でトルク伝達にと って望ましい技術であるが、結果的に円周方向の不均一性をもたらすことになり 、そのことはフープ応力を生成するための望ましい技術としては質が低下したこ とになる。 上記方法で変換器リングを全長に亘って形成する必要はないことがわかった。 むしろ、付加トルクが最大の時にリング及びシャフト間でスリップが発生するの を防ぐために、リング及びシャフトの端部でリングをシャフトにロックしさえす ればよい。それと同時に、リング長の大部分に亘って単純なフープ応力を得るた めに上記摩擦技術を採用してもよい。 図22に示すように、変換器リング4はシャフト8の筒部240の直径(Ds )より幾分小さい内径(Dr)を有している。リング4は、少なくともシャフト 8の筒部240と溝条面を有する端部242,244を覆うように、シャフトに 嵌め込まれるのに十分な内径に拡がるまで加熱される(図24参照)。低温時( リング及びシャフトが同じ温度の時)には、シャフト筒部を覆っているリング部 分は均一なフープ応力を受けた状態にあり、それ故円周方向に均一な異方性が発 生する。その後、リング端部は強制的に(例えば、上述のいずれかの処理により )シャフトの溝条面を有する部分と噛み合わされる(図23参照)。これにより 、シャフトによって伝達されるトルクは、噛み合っている円筒状表面間の摩擦と は無関係にリングと共有される。 以上、回転するシャフト上のトルクを検出する新規な改良方法について述べた 。本発明に係る方法の好ましい一実施の形態の第1ステップは、変換器4が組み 立てられ、上述の方法の1つにより、機械シャフト8の周面に取り付けられる。 取り付け作業前か取り付け作業中に、上述の如く、変換器4は、必要な異方性の 磁気特性が付与され、異方性の磁気特性付与前か付与後のいつでも磁極化される 。その後、シャフト8−変換器4のユニットは、機械に装着される。本発明に係 る磁界ベクトルセンサ6は、変換器4に近接して設けられ、変換器4の応力誘発 磁 界を受け入れるように方向決めされる。機械の作動時には、磁界ベクトルセンサ 6は、シャフト8上のトルクを線形に表示する信号を発し、その信号は、磁界ベ クトルセンサ6に接続されたフィードバック制御回路や他のモニター回路によっ てモニターされるようになっている。 上述したことからわかるように、円周方向に磁極化された磁気ひずみ材料の薄 いリングにより生成された磁界は、リング内のねじり応力のほぼ完全な線形類似 物である。そのようなリングが強固にシャフトに取り付けられた場合、シャフト により伝達されるトルクを測定するためには、リングに近い空間の磁界を測定す るだけでよい。低コストの磁気検出装置を簡単に入手できると共に、装置外部に 磁気発生源を必要としないので、工業用のトルク変換器に対しても自動車用のト ルク変換器に対してもこの簡単な構成の適用を促進することができる。にもかか わらず、適用によっては、例えば地磁気等の周辺磁界内で変換器ユニットの向き を変更したり、電気モータや磁化された機械部品に近づくように変更したりする ことにより発生する検出磁界の変動は、トルク表示の精度を損なう。従って、既 に指摘したように、本発明の変換器の実際の実施形態では、全体的にサイズが大 きくなるシールド構造か、大幅な複雑化を伴う積極的な補償方法かのどちらかを 採用する必要がある。本発明の第2の実施の形態では、検出磁界に及ぼす外部磁 気発生源の影響を十分に削減するため、対称性のみに依存する上記基本的な変換 器構造の変形例を開示する。 図1は基本のトルク検出装置2の機能的部品の配置を示す。好ましい実施の形 態では、リング状又はスリーブ状変換器4は、このリング変換器4の内径より幾 分大きな直径を有する非磁性(例えば、ステンレス鋼製の)シャフト8上に押し 嵌められる。その結果、リング及びシャフトの界面の接触圧により、リング変換 器4はシャフト8により伝達されるトルク(T)に比例して摩擦によるねじり応 力を受けることができる。また、この接触圧は、正の磁気ひずみ(λ)を有する リング材料内に、円周方向の1軸磁気異方性(Ku)を発生させるリング内の円 周方向引張(フープ)応力を維持する。一円周方向(+)又は異なる円周方向( −)の飽和磁界にさらした後、円周方向の異方性がリングの範囲内で安定した残 留磁気+Mr又は−Mrを維持する。すなわち、リングが磁極化される。トル クがシャフトに付加されると、それに応じて、直交する引張応力と圧縮応力によ って特徴付けられるリング内剪断応力が、支配的な主応力を再度方向付けし、角 度ΘTを介してMrを傾斜させる。この傾きを伴うMrの磁気成分はリングの端 面では明らかに不連続であり、この磁気発散性はトルクの付加により発生する磁 界源である。 図3aの構成では、径方向の磁界を検出するよう方向決めされた磁界センサ6 が変換器4の一端の近くに配置されているのがわかる。一般的な実用例では、第 2の(同一の)センサがリング他端の径方向反対側位置又は対称的位置に配置さ れる(図3e、図3f参照)。どちらの場合においても、第2のセンサは第1の センサ6と同じ平面上に位置し同様に方向決めされているので、変換器リング4 により生成された磁束はこのセンサと第1のセンサ6とを互いに逆方向に通過す る。一方、周囲の磁界は、通常、離れた位置の発生源から発生し、従って両磁界 センサ位置間で同じ方向及びほぼ等しい強度を有するよう十分に低いグラジエン トを有している。さらに、外部発生源からの径方向の磁界が異方性磁界に比べて 小さい限り、その径方向の磁界がリングの磁気の方向や配向を変えることはない 。従って、既に述べたように、この構成の場合、2個のセンサ間の出力信号の差 は、最大でも、Mrの再配向を介してリング自体により生成された磁界のみによ るものである。 径方向の磁界を感知しない一方で、リング内の磁気の配向は軸方向の磁界(H a)の影響を受けやすい。付与された軸方向磁界に反応して生じる磁界は、+M r又は−Mrのどちらかの極性を有するリングと同じ極性(すなわちHaの極性 )を有することになる。検出される磁界は一般に以下の式で表現される。 H=aT+bHa 上記式において、a及びbはどのような変換器構造にも関係する定数である。し たがって、Ha項を適切に減少させるステップ(例えば、シールド化)がなされ ない限り、上記実施の形態では曖昧なトルク表示しかなされないことになる。 トルクと軸方向の磁界とが検出磁界に及ぼす影響自体は認識不可能であるが、 それぞれが円形状の磁気の方向に及ぼす影響が異なる依存性を示すことにより、 それらを分離する手段がもたらされることがわかった。図25は検出磁界の軸方 向磁界に対するいかなる依存性をも効果的に除去するために2個の互いに反対に 磁極化されたリング104,105を利用したトルク検出装置構造100を示す 。この構造では、変換器リング104,105がシャフト108上に取り付けら れており、リング間の接触面110の上方及び下方のリング表面に近接してそれ ぞれ磁界ベクトルセンサ106が取り付けられている。リング104,105は 突き合わせ状態で示されているが、物理的に接触している必要はない。リング1 04,105は個々に発生した磁界の径方向成分が同じ磁界センサによって検出 可能な程度に近接していればそれで十分である。このような構造であれば、リン グが磁気的に隣設していると言うことができる。トルク検出装置100の作用は 、シャフト108がトルクを受けるか軸方向の磁界に置かれた時に各リング10 4,105が検出磁界に対して別々に寄与していることを考えれば容易に理解さ れるであろう。 よく知られているように、付加トルクの効果は、+Mrの極性を有するリング では右方向に磁気を回転させ、−Mrの極性を有するリングでは左方向に磁気を 回転させることである(図25の破線で示す磁気ベクトルを参照)。従って、+ Mrのリングの右端は−Mrのリングの左端と同じ極性を発現することになる。 +Mrのリングの右端と−Mrのリングの左端とが互いに十分近接した位置に配 置されてそれらリングで個々に発生した磁界の径方向成分が同じ磁界センサで検 出可能であるならば、2つの因子を有する検出磁界はどちらか一方のリングのみ からの検出磁界よりも大きくなる。 軸方向の磁界では、どちらかの円周磁気方向を有するリング内の磁気が磁界の 方向に向かって回転する。従って、リングの右端はその極性が(+)であるか( −)であるかにかかわらず左端と反対の極性を発現する。すなわち、一方のリン グの右端が他方のリングの左端に近接配置されると、それらの軸方向の磁界から 個々に発生した磁界の径方向成分が磁界センサの位置では互いに逆方向になる。 同じトルクと同じ軸方向の磁界を受ける2個の同一のリング(1と2)の場合、 その総検出磁界は、同一リングのためにa1=a2でありかつb1=b2であること から、 H=a1T+a2T+b1Ha−b2Ha=2a1T となる。検出磁界は付加トルクに完全に依存し、Haに伴う曖昧さはなくなる。 既に述べたように、2個の磁界センサを使用することにより、径方向の磁界か らの変換器の出力信号を独立させることができる。外部磁気発生源からの任意の 磁界は径方向成分及び軸方向成分の両方を有していてもよいので、この新しい2 個のリング構造により、全ての外部磁界からほぼ独立した出力信号を発すること ができる。この周辺磁界からの独立性は磁界センサの出力信号内の「磁気ノイズ 」を大幅に減少させ、このことで、大きくて高価なシールドの必要性を減するか 又はなくすることができる。2個のリング構造に伴うS/N比の増加は、信号磁 界が比較的弱い自動車のパワーステアリングへの適用にとって大きな意味をもつ 。磁気ノイズが十分に低ければ、磁界センサの電気出力信号を電気的に増幅して 所望のいかなる有効感度をも実現することができる。これと全く同じ効果が、両 リングの磁気ひずみがそれぞれ逆の極性を有している場合に両リングを同じ円周 方向に磁極化することで実現することができる。しかしながら、磁気特性と機械 特性との適切な組合せを有する材料が非常に限られているので、上記可能性は商 業的には実現の見込みはない。 並行して比較するために、2個の実験上のトルクセンサとして18%ニッケル マルエージング鋼からなるものを使用し、一方に2個の反対方向に磁極化された 10mm幅の変換器リングを取り付け、他方に1個の20mm幅の変換器リングを取 り付けた。リングは所望のフープ応力が容易に得られるよう内側にテーパーが付 けられた。変換器リングを、それぞれシャフトに押し嵌める前に、同軸方向に流 された600Aピークの半正弦波交流の8.3ms期間の磁界により円周方向に磁 化した。 各トルクセンサに10N-m のトルクを付加して発生した磁界の径方向成分を、 調整済み(2.22mV/Oe)のポール効果プローブを用いて測定した。(第2の リングの装着前の)1個の10mm幅リングに沿った軸方向位置の関数としての磁 界の測定と、一対のリングに沿う軸方向位置の関数としての磁界測定と、20mm 幅のリングに沿う軸方向位置の関数としての磁界測定とを、図26のグラフで示 す。 1個のリングの磁界強度は予想通り一端側近くの最大値から軸方向中心部の0 を経て他端側近傍の逆極性の最大値まで変動がみられる。さらに、予想通り、2 個のリング変換器は、リング接触面で最大強度の磁界を示し、2つの外側端部で それより小さな逆極性のピーク値を示した。第2のリングの装着後に第1の10 mmリングの外側端部のピーク磁界が減少したことは、第2のリングにより発生し た磁界の消磁効果を反映したものである。2個のリングユニットの中心部の高い ピーク強度は、各リングからの軸方向の磁界が他方のリング全体に亘って均一で なく、その共通の境界部分で最大の強度を有することから、2つの端部の合計よ りも低い。図26に示さない別のテストでは、各リングの他方のリングに及ぼす 消磁効果が変換器のトルク感度を低減させないことを示し、上記ピーク値は、1 個の20mmのリングの場合に算出されたピーク値の110%〜120%に達した 。 2個の互いに反対に磁極化された磁気的に隣設するリングにより、周辺の磁界 が表示トルクに及ぼす影響が低減され得るだけでなく、その成果を、物理的には 別個であるが機能的には協調する円周方向のリングがいかなる数設置されても達 成することができる。加えて、2個の分離したリングの代わりに、2つ以上の互 いに反対に磁極化された軸方向に別個の円周領域に区分され、それぞれ領域壁で 分離されかつそれぞれねじり応力を受けて近接空間で生成した磁界によって区別 される、磁気的に隣設する互いに反対に磁極化された一対の領域を有する1個の リングを設けることができることもわかった。それら領域は突き合わせられてい てもよいし、両領域間に別の非磁極化円周領域を置いて軸方向に分離してもよい 。両領域は物理的に異なる領域であってもそうでなくてもよく、また、そのそれ ぞれの軸方向配置や磁気の状態を定めるために、ねじり応力以外の非破壊的方法 が使用されてもされなくてもよい。例えば、図27に示すように、トルク検出装 置120は、シャフト122上にプレスばめ又は締まりばめされかつ軸方向に別 個で互いに反対に磁極化された円周領域124,126を有する1個の変換器リ ング又はスリーブ121を備えている。 変換器リングが締まりばめによってシャフトに取り付けられようと、摩擦係数 に依存しない堅固な接続を得るためにリング両端をシャフトのギザギザ面上にス エージ加工する等の既に述べた方法で取り付けられようと、(ピン、キー等の) 他の機械的取付手段を用いようと、又は溶接により取り付けられようとも、問題 なのは、リングのねじり応力が取付領域で不均一になるという点である。それ故 、図27に示すようにリングの軸方向の全ての範囲が磁極化された場合、「磁極 」の強さは円周方向で不均一になる。 このような厄介な影響は、磁極化されるべき領域を、取り付けに伴う応力集中 を感知しない程度に取付部から離れた位置のリング部分に限定することで低減さ れる。例えば、図28に示すように、トルク検出装置130はシャフト132上 に取り付けられた1個の変換器リング131を備えており、この変換器リング1 31は、局部的に配置されかつ軸方向に別個で互いに反対に磁極化された円周領 域134,136と、非磁極化端部円周領域138,140とを備えている。図 面では、リング131はその左端円周領域では溶接により、右端円周領域ではピ ンによりシャフト132に取り付けられるよう表現されている。 互いに反対に磁極化された円周領域は必ずしもシャフト上に、例えば、変換器 リングのシャフト表面への取り付けによって、配置される必要はない。むしろ、 互いに反対に磁極化された円周領域はシャフト表面の一部として構成することも できる。例えば、図29に示すように、トルク検出装置150は管状のシャフト 152を備え、このシャフト152内には、プラグ154がプレスばめされてそ の部分のシャフト表面領域をプラグ軸方向範囲内でフープ応力状態に置いている 。さらに、軸方向に別個で互いに反対に磁極化された円周領域156,158は 極性を配すると共に、非磁極化端部円周領域160,162を設定している。磁 極化領域156,158をプラグ154端部から十分離れた位置に配置すること により、フープ応力とねじり応力の不変性が確保される。シャフト全体が磁気弾 性的であってよい(必ずしもそうである必要はないが)にもかかわらず、トルク 付加時に出現する「磁極」はフープ応力下のシャフト部分の範囲内の磁極化領域 156,158端部においてのみ磁気弾性的である。この局部磁極化の考えは、 磁極化領域を2つ設定することに限定されるものではなく、2つより多い又は少 ない(例えば、1つ、3つ、4つの)磁極化領域を有するトルク検出装置を構成 する場合に利用されてもよい。同様に、この考えは、別個のものからなる複数の リ ングにも、多数の領域が形成される1個のリングにも、シャフト表面上に又はそ の一部を形成する磁気弾性活性領域を設けるための既述のいかなる方法にも適用 可能である。 この接続形態において、シャフト表面の「上」という表現は、シャフトのいか なる表面をも含み、特に管状シャフトの内径面をも含む。例えば、ニッケル、高 ニッケル合金、多くのフェライト等の負の磁気ひずみ性を有する変換器リングが 、管状シャフトの開口内に挿入されてシャフト内径面と締まりばめを形成し、そ れによりそのような逆の構成から発生する圧縮「フープ」応力がリングに所望の 円形異方性を実現するよう構成されてもよい。その場合、磁界センサは中空リン グ内で磁極が形成されるどの場所でも突出するように取り付けられることになる 。このような構成はシャフト端部近傍に取り付けられたプーリ(又はスプロケッ ト若しくはギヤ)に対して又はそこから伝達されたトルクの測定を容易にし、例 えば、モータシャフトの端部で有用である。 図25に示すように、軸方向に別個で2つの磁気的に隣設する互いに反対に磁 極化された円周領域が設けられる場合、磁界センサの好ましい設置個所は2つの 互いに反対に磁極化された領域間の領域壁か又は両領域の接触面である。しかし ながら、多くの場合、磁界センサを正確に配置したり領域壁の正確な位置を特定 することは困難である。適用によっては、軸受けの隙間や熱膨張等によりシャフ トが軸方向に移動して、細心の注意を払って位置調整した磁界センサでさえだめ にしてしまうことがある。3つ以上の磁極化領域を使用すれば、シャフト/リン グユニット及びセンサユニットの位置調整に必要とされる精度を低減させ得るこ とがわかった。 図30及び図31にそれぞれ示すように、図30(a)は3つの磁極化領域を有 するシャフト取付変換器リングであり、図31(a)は4つの磁極化領域を有する 同じものである。互いに反対に磁極化された領域若しくは非磁極化領域の領域壁 又は接触面がA,B,C,D及びEで示されており、壁間又は接触面間距離(以 下、2個の接触リングの接触面に事実上の領域壁が存在することから、「壁間」 距離と称する)が「a」又はその倍数で示されている。磁界センサFSは、それ らの間の距離が領域壁間距離「a」又はその倍数(2a,3a等)と等しくなら ない よう意識的に位置決めされている。磁界強度を変換器リングの軸方向位置の 関数としてグラフ化した図30(b)及び図31(b)からわかるように、磁界は領域 壁の位置で最も強い。最大強度の磁界を検出するためには領域壁の位置に磁界セ ンサを設置することが望ましいが、そうすることが必ずしも実用的であるとは言 えない。磁界センサをa,2a,3a等よりも大きいか又は小さい距離、すなわ ちそれら以外の距離で離せば、両センサは最大強度の磁界を同時に検出すること はできない。各磁界センサの好ましい位置は領域壁の直上ではないが近接した位 置である。図30(b)及び図31(b)からわかるように、シャフトの軸方向への少 しのずれ、例えば、磁界センサに本来検出されるべき磁界より左側(破線で示す )へずれた磁界を検出させるようなシャフトの軸方向右側へのずれにより、一方 のセンサ位置の磁界を増加させると共に、他方のセンサ位置の磁界を減少させる ことになる。もしトルク検出装置の出力信号が2つの磁界センサのそれぞれから の信号の絶対値の合計であるならば、この合計は、たとえこのような軸方向の動 きによって個々のセンサの信号が変わったとしても、一定のままである。それ故 に、シャフト/リングユニットとセンサユニットとの間の位置決めの精度は、シ ャフト/リングユニットの小さい軸方向移動が容易に感知できるほど出力信号を 変更することはないので、さほど重要ではない。 別個で互いに反対に磁極化されかつ突き合わされたリングが使われる場合、そ れらの接触面の位置を識別することはそれほど困難ではない。しかしながら、多 数の反対に磁極化された軸方向に異なる円周領域を有する1個のリングにおいて は、それらの存在及び位置のいずれもシャフトがトルクを受けるまで検出できな いので、領域壁の位置を正確に突き止めることは難しい。領域壁がどこにあるか を随時判断しようと試みるよりは、その正確な位置を前もって決定して望まない 移動を防止するようその位置を固定するほうがはるかに簡単である。これを最良 に実現するには、領域壁が位置するよう定めたリングの選択個所に刻み目を付け たり、エッチングを行ったり、手書きしたり又は細幅の円周状の帯状物を用いた りして物理的にマークを付すことによって達成される。或いは、鋭利な道具、レ ーザー、ローラー等を使って行ってもよい。また、細幅で高透磁率のリング(ホ モジナイザー)を、領域壁が位置する個所上のシャフト回りに円周方向に配置し てもよい。領域壁の設定の結果として発生する物理的な境界線、応力グラジエン ト、構成上のグラジエント、質的なグラジエント等は、所定の正確な位置に効率 的に領域壁を固定する活力源となる。 種々の領域を磁極化する方法に話を戻せば、別々のリングが各領域に使われる 場合、各リングが、シャフト上に組み付けられる前に磁極化されてもよいことが わかる。この「前磁極化」は既に述べた方法のいずれを使っても行うことができ る。2つ以上の局所的な磁極化領域が1個のリング(シャフト自体から独立して いようと機能的にそれと等しいシャフト自体の帯状部であろうと)に導入される 場合は、上記方法のすべてが実行可能であるとは限らない。磁極化方法の選択は 多くの要因によって決められる。例えば、それは、リングがシャフトに既に組み 付けられているかどうか、リング及びシャフトの物理的なサイズ、1個のトルク 変換器が作られるのか又は多くの変換器が大量生産されるのか等である。方法の 具体的な選択が何であろうと、いかなる円周領域を磁極化するにも2つの一般的 な方法がある。すなわち、同時に行うか順番に行うかである。 同時に円周部分全体を磁極化するには、シャフト自体か又はリングに通された 同軸の導線を通じて電流を流すことによって実現される。この方法により多数の 反対に磁極化された隣接する円周領域が、どのようにしてリングに生成されるか の一例を図32、図33、図34及び図35に示し、以下に説明する。図32に 示すように、導電性容器170が、その容器170中の導電液178、導線17 2及び直流電源174を介して電気接続されている。導線172は、最初、導電 液176と接触しないように支持されたリング178を同軸方向に通過している 直流電源174の極性が図示の通りに配置されていれば、導線172を通過する 電気の流れに基づいて、リングの軸方向全長が最初の方向(+で示される)に磁 極化される。図33で示される第2のステップでは、リング178が円周位置A まで導電液176に浸漬され、直流電源174の極性が反転され、電流パルスが 導線172、導電液176及びリング178の導電液に浸漬されていない部分を 通って流れるようになっている。このようにして、リング178の電流が流れて いる部分、すなわち、リング178の導電液176に浸漬されなかった部分の極 性が反転される(−で表示)。図34に示すように、第3のステップでは、リン グ178が円周位置Bまでさらに導電液176に浸される。直流電源174の極 性が再び反転させられ、再度電流がリングの導電液に浸漬されなかった部分に流 され、非浸漬部分の極性を再度反転させる(+で表示)。図35に示すように、 最終ステップでは、リング178が円周位置Cまでさらに導電液に浸漬される。 直流電源174の極性は再び反転され、再び電流がリングの非浸漬部分を通って 流れてそれら部分の極性を反転させる(−で表示)。結果として生じる磁極化さ れたリング178は、図36に示すように、軸方向に別個で反対に磁極化された 4つの隣接円周領域を備え、それらは領域壁A,B,Cで分離されている。 同様にして、所望の数の反対に磁極化された円周領域をリング178に形成し てもよい。いずれかの領域間に又はリング端部に非磁極化帯域を設けることが望 ましい場合、これらは、リングの非浸漬部分を「非磁極化」するため、図32〜 図35のいずれかと同様にリングを位置決めして減衰された交流電流を導線17 2に通すことによって形成可能である。 導電液は水銀、溶けたウッド合金等であってもよいし、必ずしも実際の液体で なくてもよい。どちらかと言うと、それは、例えば、銅、アルミニウム、黒鉛等 の導電性固体の細かく分けられた流体化層であってもよい。シャフトが不都合に 長くない場合は、シャフトにすでに組み付けられたリングに多数の領域を作るた めに上記方法を使用することができる。液体の代わりに、リングを取り囲みリン グのほぼ全周にわたって良好な電気接点を形成するスプリングフィンガーを備え た導電性の管に「浸漬」してもよい。この意図は、もちろん、流された電流が、 それ以上の磁極化が望ましくない部分でリング内に(同軸方向に)流れるのを妨 げることである。一度電流が、リングの最外側の導体でない領域に入ると、電流 は径方向に広がり導電性の全区域に拡散する。リング内のいかなる半径において も作用する磁界は、閉ざされた軸方向電流に直接比例している。(H=0.2I /r、ただし、Hはエルステッドを単位とする磁界、Iはアンペア単位の閉ざさ れた電流、rはセンチメートル単位の半径である。)図33に示す条件において 閉じた電流とリングに沿った位置との関係を示す図37のグラフについて考察す る。「A」よりも下側の短い距離での閉じた電流に起因する磁界は、リング材料 の強制的な力よりも小さくなり、それによりリングの(浸漬された)部分の磁気 を反転させることは不可能である。 円周部分全体を順番に磁極化するにはリングの回転が必要である一方、各領域 (又はその一部)の磁極化は、必要な極性を有する局所磁界に任せられる。領域 の1つ、若干数、又はすべてをこの方法で同時に磁極化することが可能である。 図38、図39及び図40に示すように、電流又は永久磁石を局所磁界の発生源 として使用することが可能である。 図38に示すように、リング180はシャフト182上に上述のいかなる方法 でも取り付けられる。導線184は、リング領域BCに隣接した部分に対してリ ング領域AB,CDに隣接した両部分で電流が逆方向に流れるように、リング1 80に隣接する任意のヨーク186内に配置される。このようにして、リング1 80及びシャフト182が1方向に回転させられると、リング領域BCとは逆極 性の磁界がリング領域AB,CDで発生する。数回の回転後、隣接した領域は互 いに反対に磁極化される。永久磁石190,192,194がリング領域AB, BC,CDにそれぞれ隣接して配置された図39の構成においても同じ結果が達 成される。磁石190,194の極性が同一で磁石192の極性と逆に設定され ているので、リング180及びシャフト182が1方向に回転させられかつ磁石 が同時に後退させられたとき(又は両磁極を横切って保磁子が挿入されたとき) 、リング領域AB,CDがリング領域BCと逆極性になる。リング200がシャ フト202上に取り付けられ磁石204,206がリング領域AB,BCと隣接 するリング200の径方向対向面にそれぞれ配置された図40の構成においても 類似の結果が達成される。いかなる数の領域もリングに沿って形成可能であるが 、簡単に記述するために、2つの領域のみがリング200について表現されてい る。磁石204,206の極性は同じに設定される。しかしながら、それらがリ ング200の対向面上にそれぞれ位置するため、リング200とシャフト202 とが1方向に回転させられて磁石が同時に後退させられる(又は両磁極を横切る 保磁子が挿入される)と、両リング領域AB,BCが互いに逆極性になる。
【手続補正書】 【提出日】1997年4月25日 【補正内容】 補正後の特許請求の範囲の全文を記載した書面 1. 部材の軸方向に延びる軸の回りに加えられるトルクを表示する出力信号を 発生する磁気弾性トルク検出装置であって、 上記部材に加えられるトルクが比例して伝達されるように該部材の表面の一部 に直接又は間接に取り付け又は形成されると共に、ほぼ軸線として円周方向を有 する事実上の1軸磁気異方性が付与されかつ円周方向に互いに反対に磁極化され た軸方向に別個で磁気的に隣設する2以上の円周領域からなり、トルクが上記部 材に加えられたときにそのトルクにより変化する磁界を発生する磁気弾性活性要 素と、 上記磁気弾性活性要素の近接位置に対向して設けられ、上記磁界の大きさを検 出しかつ上記磁界の大きさに応じて出力信号を発生する磁界センサ手段とを備え ているトルク検出装置。 2. 上記磁気弾性活性要素は、上記部材に加えられるトルクが存在しないとき に、上記軸方向に正味の磁気成分が存在しない円周磁気方位を有する請求項1の トルク検出装置。 3. 上記磁気弾性活性要素は、上記部材にトルクが加えられたときに、円周方 向及び軸方向の両成分を備える螺旋状の磁気方位を打し、上記磁界センサ手段は 、上記軸方向の磁気成分から発生する磁界を検出するように配置されかつ方向付 けられている請求項2のトルク検出装置。 4. 上記磁界センサ手段は、ソリッドステートセンサからなる請求項1のトル ク検出装置。 5. 上記磁界センサ手段は、ホール効果センサからなる請求項4のトルク検出 装置。 6. 上記磁界センサ手段は、磁気抵抗器からなる請求項4のトルク検出装置。 7. 上記磁界センサ手段は、磁力計からなる請求項1のトルク検出装置。 8. 上記磁気弾性活性要素は、強磁性磁気ひずみ変換器手段からなる請求項1 のトルク検出装置。 9. 上記変換器手段は、上記部材の表面の強磁性磁気ひずみ変換層からなる請 求項8のトルク検出装置。10 . 上記変換器手段は、少なくとも1つのリングからなる請求項8のトルク 検出装置。11 . 上記リングは、両端面と該両端面間で軸方向に延びる円周部分を有する 管状である請求項10のトルク検出装置。12 . 上記変換器手段は、軸方向に配列され磁気的に隣設して互いに反対に磁 極化された2以上のリングからなる請求項11のトルク検出装置。13 . 上記変換器手段は、各円周領域毎のリングからなる請求項12のトルク 検出装置。14 . 上記変換器手段は、上記円周領域を含みかつその各1対の隣設する領域 が領域壁によって分割されている1つのリングからなる請求項11のトルク検出 装置。15 . 上記リングは、上記部材の表面に同軸に取り付けられている請求項11 のトルク検出装置。16 . 上記リングは、上記部材にリングの内径と部材の外径との締まりばめに より取り付けられている請求項15のトルク検出装置。17 . 上記磁界センサ手段を通過する磁束経路のパーミアンスを増大させるパ ーミアンス増大手段をさらに備えている請求項1のトルク検出装置。18 . 上記磁気弾性活性要素及び磁界センサ手段に近接して固設され、磁気弾 性活性要素からの磁束を集めてその磁束を磁界センサ手段に導くヨーク手段をさ らに備えている請求項1のトルク検出装置。19 . 上記磁界センサ手段は、複数の磁界検出器からなる請求項1のトルク検 出装置。20 . 上記部材は、低透磁率の材料で形成されている請求項1のトルク検出装 置。21 . 上記部材と磁気弾性活性要素との間隔をあける低透磁率スペース手段を 備えている請求項1のトルク検出装置。22 . 軸方向に延びるトルク部材に加えられるトルクを検出する方法であって 、 (a)ほぼ軸線として円周方向を有する事実上の1軸磁気異方性が付与されか つ円周方向に互いに反対に磁極化された軸方向に別個で磁気的に隣設する2以上 の円周領域からなると共に、上記トルク部材に加えられるトルクが比例して伝達 されるように該部材の表面の一部に直接又は間接に取り付け又は形成された磁気 弾性活性要素を準備するステップと、 (b)上記部材に加えられるトルクに応じて磁界を発生させるステップと、 (c)上記部材に加えられるトルクの大きさを表示するために、上記磁気弾性 活性要素の近接位置で磁界の大きさを検出するステップ とを備えているトルク検出方法。23 . 上記磁気弾性活性要素は、上記部材の円周面の回りに取り付けられてい る請求項22のトルク検出方法。24 . 上記磁気弾性活性要素は、上記部材に締まりばめにより取り付けられて いる請求項23のトルク検出方法。25 . ステップ(c)は、磁界検出器を上記磁気弾性活性要素近傍に間隔をあ けて配置することにより少なくとも部分的に成し遂げられる請求項22のトルク 検出方法。26 . 上記磁気弾性活性要素は、上記部材にトルクを加えると円周方向及び軸 方向の両成分を備える螺旋状の磁気方位を発生し、上記検出ステップは、上記軸 方向の磁気成分から発生する磁界を検出するように構成する請求項22のトルク 検出方法。
───────────────────────────────────────────────────── 【要約の続き】 上に形成されていてもよい。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1. 部材の軸方向に延びる軸の回りに加えられるトルクを表示する出力信号を 発生する磁気弾性トルク検出装置であって、 上記部材に加えられるトルクが比例して伝達されるように該部材の表面の一部 に直接又は間接に取り付け又は形成されると共に、ほぼ軸線として円周方向を有 する事実上の1軸磁気異方性が付与されかつ円周方向に互いに反対に磁極化され た軸方向に別個で磁気的に隣設する2以上の円周領域からなり、トルクが上記部 材に加えられたときにそのトルクにより変化する磁界を発生する磁気弾性活性要 素と、 上記磁気弾性活性要素の近接位置に対向して設けられ、上記磁界の大きさを検 出しかつ上記磁界の大きさに応じて出力信号を発生する磁界センサ手段とを備え ているトルク検出装置。 2. 上記磁気弾性活性要素は、上記部材に加えられるトルクが存在しないとき に、上記軸方向に正味の磁気成分が存在しない円周磁気方位を有する請求項1の トルク検出装置。 3. 上記磁気弾性活性要素は、上記部材にトルクが加えられたときに、円周方 向及び軸方向の両成分を備える螺旋状の磁気方位を有し、上記磁界センサ手段は 、上記軸方向の磁気成分から発生する磁界を検出するように配置されかつ方向付 けられている請求項2のトルク検出装置。 4. 上記磁界センサ手段は、ソリッドステートセンサからなる請求項1のトル ク検出装置。 5. 上記磁界センサ手段は、ホール効果センサからなる請求項4のトルク検出 装置。 6. 上記磁界センサ手段は、磁気抵抗器からなる請求項4のトルク検出装置。 7. 上記磁界センサ手段は、磁力計からなる請求項1のトルク検出装置。 8. 上記磁気弾性活性要素は、強磁性磁気ひずみ変換器手段からなる請求項1 のトルク検出装置。 9. 上記変換器手段は、上記部材の表面の強磁性磁気ひずみ変換層からなる請 求項8のトルク検出装置。 10. 上記変換器手段は、上記部材の表面領域からなる請求項8のトルク検出 装置。 11. 上記変換器手段は、少なくとも1つのリングからなる請求項8のトルク 検出装置。 12. 上記部材と変換器手段との境界における剪断応力が該部材及び変換器手 段と同じである請求項11のトルク検出装置。 13. 上記リングは、両端面と該両端面間で軸方向に延びる円周部分を有する 管状である請求項11のトルク検出装置。 14. 上記変換器手段は、軸方向に配列され磁気的に隣設して互いに反対に磁 極化された2以上のリングからなる請求項13のトルク検出装置。 15. 上記変換器手段は、各円周領域毎のリングからなる請求項14のトルク 検出装置。 16. 上記変換器手段は、上記円周領域を含みかつその各1対の隣設する領域 が領域壁によって分割されている1つのリングからなる請求項13のトルク検出 装置。 17. 上記磁界センサ手段は、上記磁気弾性活性要素近傍の固定した位置に設 けられている請求項1のトルク検出装置。 18. 上記センサ手段は、上記隣設するリング同士のその隣設端面に近接して 位置付けられている請求項14のトルク検出装置。 19. 上記センサ手段は、上記隣設するリング同士のその隣設端面に近接して 位置付けられている請求項15のトルク検出装置。 20. 上記センサ手段は、上記領域間の領域壁に近接して位置付けられている 請求項16のトルク検出装置。 21. 上記円周領域は、軸方向に配列され磁気的に隣設して互いに反対に磁極 化された2以上のリング又はその円周領域を含みかつその1対の隣設する領域が 領域壁によって分割されている1つのリングで明確に定められていると共に、上 記センサ手段は、少なくとも2つのセンサからなり、そのセンサは、そのリング に近接して位置付けられている一方、領域壁に近接されずかつその壁間距離又は その整数倍以外の距離だけ軸方向に離れている請求項13のトルク検出装置。 22. 上記リングは、上記部材の表面に同軸に取り付けられている請求項13 のトルク検出装置。 23. 上記リングは、上記部材にリングの内径と部材の外径との締まりばめに より取り付けられている請求項22のトルク検出装置。 24. 上記リングの内径は、上記部材の外径よりも小さい請求項23のトルク 検出装置。 25. 上記磁界センサ手段を通過する磁束経路のパーミアンスを増大させるパ ーミアンス増大手段をさらに備えている請求項1のトルク検出装置。 26. 上記磁気弾性活性要素及び磁界センサ手段に近接して固設され、磁気弾 性活性要素からの磁束を集めてその磁束を磁界センサ手段に導くヨーク手段をさ らに備えている請求項1のトルク検出装置。 27. 上記変換器手段及び磁界センサ手段に近接して固設され、変換器手段か らの磁束を集めてその磁束を磁界センサ手段に導くヨーク手段をさらに備えてい る請求項13のトルク検出装置。 28. 上記磁界センサ手段は、複数の磁界検出器からなる請求項1のトルク検 出装置。 29. 上記磁界検出器のうちの少なくとも2つは別々に接続されている請求項 28のトルク検出装置。 30. 上記出力信号は、上記部材に加えられるトルクの大きさを線形的に表示 するように構成されている請求項1のトルク検出装置。 31. 上記出力信号は電気信号である請求項30のトルク検出装置。 32. 上記部材は、低透磁率の材料で形成されている請求項1のトルク検出装 置。 33. 上記部材と磁気弾性活性要素との間隔をあける低透磁率スペース手段を 備えている請求項1のトルク検出装置。 34. 上記磁気弾性活性要素は、ニッケルマルエージング鋼で形成されている 請求項1のトルク検出装置。 35. 上記磁気弾性活性要素は、軸方向に別個で非磁極化された円周領域を少 なくとも1つ有する請求項1のトルク検出装置。 36. 変換器手段は、上記リングの両軸端に非磁極化された円周領域をさらに 有する請求項16のトルク検出装置。 37. 上記リングの内径と上記部材の外径とに、互いに対応してテーパが形成 されている請求項23のトルク検出装置。 38. 軸方向に延びるトルク部材に加えられるトルクを検出する方法であって 、 (a)ほぼ軸線として円周方向を有する事実上の1軸磁気異方性が付与されか つ円周方向に互いに反対に磁極化された軸方向に別個で磁気的に隣設する2以上 の円周領域からなると共に、上記トルク部材に加えられるトルクが比例して伝達 されるように該部材の表面の一部に直接又は間接に取り付け又は形成された磁気 弾性活性要素を準備するステップと、 (b)上記部材に加えられるトルクに応じて磁界を発生させるステップと、 (c)上記部材に加えられるトルクの大きさを表示するために、上記磁気弾性 活性要素の近接位置で磁界の大きさを検出するステップ とを備えているトルク検出方法。 39. 上記検出された磁界の大きさを表示する出力信号を発生させるステップ をさらに備えている請求項38のトルク検出方法。 40. 上記出力信号は電気信号である請求項39のトルク検出方法。 41. 上記電気信号は、上記部材に加えられるトルクの大きさを線形的に表示 する請求項40のトルク検出方法。 42. 上記磁気弾性活性要素は、上記部材の円周面の回りに取り付けられてい る請求項38のトルク検出方法。 43. 上記磁気弾性活性要素は、上記部材に締まりばめにより取り付けられて いる請求項42のトルク検出方法。 44. 上記磁気弾性活性要素は管状であり、上記締まりばめは、上記部材に対 する磁気弾性活性要素の焼ばめ処理によってなされる請求項43のトルク検出方 法。 45. 上記締まりばめは、上記部材の外側表面に、該部材の外径よりも小さい 内径を有する管状磁気弾性活性要素を押し込むことによりなされる請求項43の トルク検出方法。 46. 上記締まりばめは、上記部材の外側表面にテーパを形成し、そのテーパ が形成された外側表面に、対応したテーパを内径に有する管状磁気弾性活性要素 を押し込むことによりなされる請求項43のトルク検出方法。 47. 上記部材は中空であり、上記締まりばめは、該部材の外径を径方向に大 きくして上記要素に接触させるように中空部分に力を加えることによりなされる 請求項43のトルク検出方法。 48. 上記磁気弾性活性要素は、上記部材上にその要素の層を形成することに よりその部材の一部を形成する請求項38のトルク検出方法。 49. 上記層は、上記部材の表面領域を加工することにより形成されている請 求項48のトルク検出方法。 50. 上記層は、上記部材の表面に強磁性磁気ひずみ材料を配置することによ り形成されている請求項48のトルク検出方法。 51. ステップ(c)は、磁界検出器を上記磁気弾性活性要素近傍に間隔をあ けて配置することにより少なくとも部分的に成し遂げられる請求項38のトルク 検出方法。 52. 上記要素は2つの円周領域からなり、ステップ(c)は、磁界検出器を 隣設する領域の領域壁近傍に配置することにより成し遂げられる請求項51のト ルク検出方法。 53. ステップ(c)は、磁界検出器を、磁束を集めるヨークと共に上記磁気 弾性活性要素近傍に間隔をあけて配置することにより少なくとも部分的に成し遂 げられる請求項38のトルク検出方法。 54. 上記磁気弾性活性要素は、上記部材にトルクを加えると円周方向及び軸 方向の両成分を備える螺旋状の磁気方位を発生し、上記検出ステップは、上記軸 方向の磁気成分から発生する磁界を検出するように構成する請求項38のトルク 検出方法。 55. 上記要素は、軸方向に配列され磁気的に隣設する2以上のリングからな る請求項38のトルク検出方法。 56. 上記要素は、各円周領域毎のリングからなる請求項38のトルク検出方 法。 57. 上記要素は、円周領域を有する1つのリングからなる請求項38のトル ク検出方法。 58. 軸方向に延びる軸の回りにトルクが加えられる部材に、その部材に加え られるトルクが比例して伝達されるように直接又は間接に取り付けられる変換器 リングであって、ほぼ軸線として円周方向を有する事実上の1軸磁気異方性が付 与されかつ円周方向に互いに反対に磁極化された軸方向に別個で磁気的に隣設す る2以上の円周領域からなり、トルクが上記部材に加えられていないときには、 円周方向成分のみを備える円周磁気方位を有し、トルクが上記部材に加えられた ときには、円周方向及び軸方向の両成分を備える螺旋状の磁気方位を有する磁気 弾性活性要素からなり、上記部材に加えられるトルクにより変化する磁界を発生 する変換器リング。 59. 軸トルクが加えれる部材に取り付ける磁気弾性トルク変換器の製造方法 であって、 (a)強磁性磁気ひずみ材料から変換器を構成するステップと、 (b)上記変換器に、ほぼ軸線として円周方向を有する事実上の1軸磁気異方 性を付与するステップと、 (c)上記変換器を、円周方向に互いに反対に磁極化された軸方向に別個で磁 気的に隣設する2以上の円周領域を形成するように磁極化するステップ とを備えている磁気弾性トルク変換器の製造方法。
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