JPH09494U - 厚膜センサー - Google Patents

厚膜センサー

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JPH09494U
JPH09494U JP001784U JP178497U JPH09494U JP H09494 U JPH09494 U JP H09494U JP 001784 U JP001784 U JP 001784U JP 178497 U JP178497 U JP 178497U JP H09494 U JPH09494 U JP H09494U
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JP
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thick film
support plate
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resistor
sensor
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Application number
JP001784U
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English (en)
Inventor
ロバート・デルアクア
ギウゼピーナ・ロジー
Original Assignee
マレリ・オートロニカ・ソシエタ・ペル・アチオニ
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Publication date
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/2287—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges constructional details of the strain gauges
    • G01L1/2293—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges constructional details of the strain gauges of the semi-conductor type
    • G—PHYSICS
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    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
    • G01L9/0002—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using variations in ohmic resistance
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
    • G01L9/0055—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 腐食性または良導電性の流体の圧力を損傷を
受けることなく測定できる厚膜センサを提供する。 【解決手段】 支持板４の両面に導かれる圧力媒体の差
圧を検出する差圧センサ１。上記支持板４の少なくとも
片面に、圧抵抗トランスデューサとしての厚膜抵抗体Ｒ
を少なくとも１つ付着させ、この厚膜抵抗体Ｒから電流
担体としての少なくとも１対の厚膜導体９,１０を、少
なくとも１対の外部測定回路・電気連結用端部９a,１０
aまで延在させる。上記厚膜抵抗体Ｒおよび上記厚膜導
体９,１０の少なくとも１つに、上記端部９aの領域３
０,端部１０aの領域３１を除いて、誘電材料(ガラス質
マトリックス材料,電気絶縁樹脂など)からなるからなる
保護層２０を厚膜技術によって被覆する。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【考案の属する技術分野】
本考案は、厚膜センサー、特に圧力センサーに関する。
【０００２】
【考案の構成】
本考案は、板状でフレキシブル(可撓性)支持板からなるセンサーに関するもの であり、フレキシブル支持板の少なくとも片面に圧抵抗トランスジューサーとし て作用する少なくとも１つの厚膜抵抗体および電流担体として作用する少なくと も１対の厚膜導体が付着される。
【０００３】 本考案のセンサーは、少なくとも１つの厚膜抵抗体および厚膜導体が誘電材料 の保護層によって被覆されていることを特徴とする。
【０００４】 上記誘電材料保護層は、好ましくは厚膜技術によって付着される。
【０００５】 さらに、上記保護層は、支持板の全面に延在することを特徴とする。
【０００６】 誘電材料保護層の存在によって、本考案のセンサーは、支持板がアグレッシブ (aggressive)流体または誘電体と接触するような場合にも適用できる。
【０００７】
【考案の実施の形態】
以下に本考案の好ましい実施の形態を添付図面とともに詳細に説明するが、こ の実施例は、本考案を限定するものではない。
【０００８】 図１において、全体的に符号１を付した差圧センサーは、２つの半割シェル２ および３を含有する。半割シェル２および３は、例えばセラミック材料製であっ て、各々、フランジ部分２aおよび３aを有し、これらフランジ部分２aと３aの間 に環状支持板４が把持される。支持板４は、例えばセラミック材料で作られる。 また、支持板４は、例えばエナメル被覆鋼から製作してもよい。
【０００９】 支持板４は、常法で半割シェル２と３の間に把持される。
【００１０】 支持板４と半割シェル２および３との間、各々に、チャンバー５および６が各 々形成される。これらチャンバー５および６は、各々、半割シェル２および３と 一体形成されたコネクタ２bおよび３b各々を介し、２つの別個の環境に連通して いる。
【００１１】 図２に示した実施の形態において、厚膜抵抗体Ｒは、シルクスクリーン印刷法 によって支持板４の片面に付着される。抵抗体Ｒは、電流担体として作用する２ つの厚膜の導体９および１０に接続される。図示した実施例において、電流担体 ９および１０は、支持板４の周辺部までほぼ放射状に延在する。電流担体９およ び１０の各周辺端部９aおよび１０aは、抵抗体Ｒを外部測定回路と接続可能にす る。常法では、この種の回路として抵抗体Ｒの抵抗変化率を検出する、例えばホ イートストンブリッジがある。
【００１２】 本考案によれば、図２において符号２０を付して示す誘電材料からなる保護層 は、抵抗体Ｒおよびその電流担体９および１０を備える支持板４の表面に適用さ れる。保護層２０は、例えば電気絶縁性樹脂またはガラス質ペーストからなり、 シルクスクリーン印刷法によって付着される。
【００１３】 図２に示した実施の形態において、保護誘電層２０は、電流担体９および１０ の端部９aおよび１０aに対応した２つの領域３０および３１を除き、厚膜抵抗体 Ｒを備える支持板４の全面を被覆する。したがって、電流担体９および１０は、 これらの非被覆領域３０,３１を通って、例えば図１に示す導線２２,２３を介し て外部回路に接続することができる。
【００１４】 図３に示す実施の形態において、保護誘電層２０は、抵抗体Ｒを備える支持板 ４の全面を被覆せずに抵抗体Ｒおよびその電流担体９,１０だけを被覆する。
【００１５】 使用の際、図１に示すセンサーは、流体を各々充填した２つの環境と接触した 状態で配置される。これらの流体はアグレッシブ特性、腐食性、電気伝導性など であってもよい。支持板４は、当該センサーの使用時のチャンバー５,６間の圧 力差に応じて変形される。抵抗体Ｒの電気抵抗は、対応する圧力差に応じて変化 し、これは常法にしたがって外部回路によって検出される。
【００１６】 本考案は、本考案の技術的思想を用いることによって同等の効果を達成する全 ての実施例を包含することができる。
【００１７】 とくに、本考案は、フレキシブル支持板が単一の厚膜抵抗体を備えている実施 例に限定されるものではない。さらに、本考案は、差圧センサーへの適用に限定 されるものではなく、トランスジューサー素子として厚膜抵抗体を用いる全ての センサーに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本考案のセンサーを利用して製造された差圧
センサーの部分断面図である。
【図２】 本考案のセンサーに使用可能な支持体の平面
図である。
【図３】 本考案のセンサーに使用可能な支持体の平面
図である。
【符号の説明】
１…差圧センサー、２,３…半割シェル、４…支持板、
５,６…チャンバー、９,１０…厚膜導体(電流担体)、Ｒ
…厚膜抵抗体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 ギウゼピーナ・ロジー イタリア国パビア、トラバコ・シクコマリ オ、ビア・ユー・ラ・マルファ（番地の表 示なし)

Claims (4)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 支持板４を備えるセンサー、とくに圧力
    センサー１であって、 支持板４の少なくとも片面に、圧抵抗トランスジューサ
    ーとして作用する厚膜抵抗体Ｒを少なくとも１つ付着さ
    せると共に、電流担体として作用する厚膜導体９,１０
    を少なくとも１対、抵抗体Ｒから、少なくとも１対の外
    部測定回路・電気連結用端部９a,１０aまで延在させ、 上記各端部９a,１０aの各区域３０,３１を除き、上記厚
    膜抵抗体Ｒおよび上記厚膜導体９,１０の少なくとも１
    つに誘電材料からなる保護層２０を被覆することを特徴
    とする厚膜センサー。
  2. 【請求項２】 上記保護層２０が厚膜技術によって支持
    板４に付着された請求項１に記載の厚膜センサー。
  3. 【請求項３】 上記保護層２０がガラス質マトリックス
    材料からなる請求項１または２に記載の厚膜センサー。
  4. 【請求項４】 上記保護層２０が電気絶縁性樹脂からな
    る請求項１または２に記載の厚膜センサー。
JP001784U 1986-03-10 1997-03-17 厚膜センサー Pending JPH09494U (ja)

Applications Claiming Priority (2)

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IT8653090U IT206925Z2 (it) 1986-03-10 1986-03-10 Sensore a filo spesso in particolare sensore di pressione
IT53090-B/86 1986-03-10

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JPH09494U true JPH09494U (ja) 1997-09-19

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CH (1) CH669259A5 (ja)
DE (1) DE3707077A1 (ja)
ES (1) ES2004546A6 (ja)
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GB (1) GB2187887B (ja)
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