JPS62191730A - 圧力センサ - Google Patents

圧力センサ

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JPS62191730A
JPS62191730A JP62027985A JP2798587A JPS62191730A JP S62191730 A JPS62191730 A JP S62191730A JP 62027985 A JP62027985 A JP 62027985A JP 2798587 A JP2798587 A JP 2798587A JP S62191730 A JPS62191730 A JP S62191730A
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JP
Japan
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diaphragm
pressure
support
pressure sensor
measurement range
Prior art date
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Pending
Application number
JP62027985A
Other languages
English (en)
Inventor
ロベルト・デル’アックァ
ジュセッペ・デル’オルト
ジルベルト・デンディ
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MARELLI AUTRONICA
MARERI AUTORONIKA SpA
Original Assignee
MARELLI AUTRONICA
MARERI AUTORONIKA SpA
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
    • G01L9/0055—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は圧力センサに関し、さらに詳述すれば支持体と
、ダイヤフラムよりなる圧力センサであって、該ダイヤ
フラムの周辺部は支持体に接着されると共に、中央部は
該支持体から浮いた状態とし、支持体に対向する面に圧
電抵抗性トランスデユーサとして動作する少なくとも一
つの厚みのあるフィルム状抵抗体を備えて、圧力が加わ
るとダイヤフラムは支持体の方に向かって弾性変形する
圧力センサに関する。
（従来技術） この種の圧力センサの従来例を添付の第１図から第３図
に示す。公知の如く、これは実質的に円状で、通常セラ
ミック１オで造られた硬い支持体ｌを有し、その上面に
は、支持体（第２図）に設けた平坦な窪み部１ｂを囲う
ように構成た環状の突起Ｉａか設けられている。センサ
には更にダイヤフラム２が設けてあり、通常円状のセラ
ミック材で構成されている。その厚みは、例えば約５０
０ミクロンである。このダイヤフラムはその周辺部にお
いて支持体１の環状突起部１ａの上面と接着剤３の層に
より固着されている。通常、ダイヤフラム２および支持
体１の突出部１ａはシルク・スクリーン・プリンティン
グにより透明な接着剤の層を設け、ダイヤフラムと支持
体とをオーブンの中で並置し接着層を溶解する。接着工
程の前に、支持体ｌに面するダイヤフラム２の面２ａに
、圧電抵抗トランスデユーサからなる歪みゲージとして
動作する厚みのあるフィルム状の抵抗体Ｒと、それろを
相互および外部に電気的に接続するための導電膜（これ
らもシルク・スクリーン・プリンティングによるフィル
ム蒸着の技術により設けられる）がさらに設けられる。
このような構成よりなる圧力センサの動作は、説明ずろ
。第３図の矢印Ｓで示すようにダイヤフラム２に外部か
ら圧力が加わると、ダイヤフラム２はその弾性により支
持体１の方向に変形する。
その結果、フィルム抵抗体６ら変形しその抵抗値ら変化
する。この抵抗の変化を公知の外部回路により検出すれ
ばよい。
ところが、第１図から第３図で説明した公知の圧力セン
サは次の問題点がある。通常、ダイヤフラムの大きさは
、センサが測定しようとする圧力の範囲に応じて決めて
いる。すなわち、圧力の測定範囲が比較的低い場合はダ
イヤフラムの厚みは比較的薄く、他方圧力測定範囲が比
較的高い場合はダイヤフラムは厚くしなければならない
。
ある特定使用においても対応できるよう、所定の測定範
囲内での圧力には言うまでもなく耐え得るが、測定範囲
の最大圧力よりも更に高い圧力にも耐え得るように構成
される必要がある。例えば、０．５〜２バールの範囲で
圧力を測定するように構成されたセンサにあっては、゛
ノ２：全性の面から、例えば１０バールまでの圧力に耐
え得るように構成する必要がある。この場合、圧力セン
サのダイヤフラムはこれらの要求を満たずように作られ
ているので、ダイヤフラムは大きくなりＩＯバールの圧
力に対しても塑性変形することなく、その弾性力の範囲
内で変形するよう構成されている。従ってこの基準によ
りダイヤフラムを構成すれば、実用面においてセンサの
感度が劣化し、測定範囲が例えば５バールのもので、そ
の測定範囲内で圧力が変化したとしてもダイヤフラムの
変形は比較的狭い範囲で変化する。
上記従来のセンサにおいては、測定範囲の最大圧力より
も高い圧力に対しても耐え得ろようダイヤフラムの大き
さが構成されているので、測定範囲内での圧力に対して
は感度が悪いという欠点があった。
（発明の目的） 本発明の目的は上述の欠点を解消した圧力センサを提（
共することにある。
（発明の構成） この目的を達成するため、本発明にかかる圧力センサに
おいては、ダイヤフラムに接続される支持体の面は平坦
になっており、接着層の厚みを調整し、圧力が加わって
ない場合（休止時）のダイヤフラムと支持体の面との距
離が、測定範囲の最大圧力が加わったときダイヤフラム
か変形する距離と等しくなるよう構成されている。
従って、本発明にかかるセンサにおいては、実質的に測
定範囲の最大圧力もしくはそれを少し越える圧力に耐え
るよう、すなわち、かかる圧力で折れ曲がって元の状態
に戻らなくなることなく弾性力の範囲内で変形するよう
ダイヤフラムの大きさを決めることができろ。らし、セ
ンサのダイヤフラムに加わる圧力が測定範囲の最大圧力
を越えるとすれば、ダイヤフラムは支持体１の面に当接
し過剰な圧力にも耐えることができる。
（実施例） 以下、本発明の実施例を添付図に従って詳述する。
第４図、第５図は本発明にかかる圧カセンザを示し、そ
れは、例えばセラミック伺て構成された支持体１０と、
例えば薄い円板状でセラミック（Ａより構成されるダイ
ヤフラム２０を有し、ダイヤフラム２０は支持体１０に
固定さ！ｔている。特に第５図に示すように、支持体１
０の上面１０ａは平坦になっている。ダイヤフラム２０
は環状の接着剤層３０により支持体ＩＯに支持され固定
されろ。接着剤の層の厚みＤは正確に調整され、休止時
における支持体１０の上面１０ａとダイヤフラム２０と
の距離が、測定範囲の最大圧力か加わったときにダイヤ
フラム２０が窪む距離と実質的に等しい距離になるよう
に構成されている。従って、例えば圧力センサが最大５
バールまで測定するように構成されろとすれば、接着層
の厚みを調整し、休止時におけるダイヤフラム２０と支
持体１０の面１０ａとの距離が最大圧力５バールにより
ダイヤフラムが弾性変形して窪む距離と等しくなるよう
構成する。この場合、らしダイヤフラム２０に１０バー
ルの圧力が加わったとすれば、第６図に示すようにダイ
ヤフラムは支持体ＩＯの而１０ａと圧接され余分の圧力
を支持体１０で吸収する。
従って、実際センサが耐えろことかできる圧力は、支持
体１０か耐え得ろ圧力に等しい。
休止時におけるダイヤフラムと支持体との間の距離は支
持体およびダイヤフラムのそれぞれにシルク・スクリー
ン・プリンティングにより付与される接着剤の層の厚み
を加減することにより正確に調整することかできる。典
型的な例においては、休止時のダイヤプラムと支持体と
の距離は数１０ミクロンのオーダーである。
好ましい実施例においては、第５図および第６図に示す
ように支持体１０の面１０ａで、ダイヤフラム２０の中
央に設けたフィルム状の抵抗体Ｒに対向した位置に四部
ｔａｂが形成されている。
従って、第６図に示すように、圧力か加わりダイヤフラ
ム２０が支持体１０に当接して乙、フィルム状抵抗体は
四部１０ｂに嵌まり込み支持体にあたることがないので
その損傷を回避することができる。
以上、詳述した如く本発明にかかる圧カセンザは所期の
目的を達する有益なものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の圧カセンザの斜視図、第２図は第１図に
示す線ＩＩ−ＩＩに沿って切断した切断断面図、第３図
は第２図と同じ断面図であり動作を示す説明図、第４図
は本発明にかかる圧力センサの一実施例を示す斜視図、
第５図は第４図に示す線■−■に沿って切断した切断断
面図および第６図は第５図と同様な断面図で測定範囲の
最大圧力よりも高い圧力が加わったときの状態を示す説
明図である。 １０・・支持体、　　２０・・・ダイヤフラム、３０　
接着剤。 特許出願人　マレリ・オートロニラＪ・ソンエタ・ベル
・アチオニ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）強固な支持体（１０）と、ダイヤフラム（２０）
    よりなる圧力センサであって、ダイヤフラム（２０）の
    周辺部は接着剤（３０）の層により支持体（１０）に固
    着されると共に、支持体（１０）に面するダイヤフラム
    （２０）の一方の面の中央部は、圧電抵抗性トランスデ
    ューサとして作用する少なくとも一つのフィルム状の抵
    抗体（Ｒ）を保持して、該ダイヤフラム（２０）の他方
    の面に外部圧力が加わると、該ダイヤフラム（２０）は
    支持体（１０）方向に弾性変形するように構成し、更に
    該ダイヤフラム（２０）が設けてある支持体（１０）の
    面（１０ａ）を平面とすると共に、外部から圧加が加わ
    らない休止時におけるダイヤフラム（２０）と該支持体
    （１０）の面（１０ａ）との距離（Ｄ）を、圧力測定範
    囲の最大圧力が加わったときのダイヤフラムの変形距離
    と実質的に等しくなるよう接着剤（３０）の厚さを調整
    して構成したことを特徴とする圧力センサ。
  2. （２）特許請求の範囲第１項記載の圧力センサであって
    、上記抵抗体（Ｒ）と対向する位置で上記支持体（１０
    ）の面（１０ａ）に凹部（１０ｂ）を形成したことを特
    徴とする圧力センサ。
JP62027985A 1986-02-10 1987-02-09 圧力センサ Pending JPS62191730A (ja)

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CH (1) CH669848A5 (ja)
DE (1) DE3703697A1 (ja)
ES (1) ES1001567Y (ja)
FR (1) FR2594224B1 (ja)
GB (1) GB2186376B (ja)
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PT (1) PT84262B (ja)

Families Citing this family (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63292032A (ja) * 1987-05-26 1988-11-29 Ngk Insulators Ltd 圧力検出器
DE3814950A1 (de) * 1988-05-03 1989-11-16 Bosch Gmbh Robert Beschleunigungsaufnehmer
US4905575A (en) * 1988-10-20 1990-03-06 Rosemount Inc. Solid state differential pressure sensor with overpressure stop and free edge construction
FR2648910B1 (fr) * 1989-06-21 1993-10-01 Propulsion Ste Europeenne Capteur a membrane a concentration de deformations
US5029478A (en) * 1990-07-19 1991-07-09 Honeywell Inc. Fluid isolated self-compensating absolute pressure sensor transducer
US5189777A (en) * 1990-12-07 1993-03-02 Wisconsin Alumni Research Foundation Method of producing micromachined differential pressure transducers
DE4111149A1 (de) * 1991-04-06 1992-10-08 Bosch Gmbh Robert Drucksensor
DE4115420A1 (de) * 1991-05-10 1992-11-12 Fraunhofer Ges Forschung Drucksensor
EP0530434A1 (de) * 1991-08-09 1993-03-10 Siemens-Albis Aktiengesellschaft Druckfühler
CH683377A5 (de) * 1991-08-09 1994-02-28 Siemens Ag Albis Druckfühler.
AU658524B1 (en) * 1993-08-17 1995-04-13 Yokogawa Electric Corporation Semiconductor type differential pressure measurement apparatus and method for manufacturing the same
US5522266A (en) * 1993-11-30 1996-06-04 Medex, Inc. Low cost pressure transducer particularly for medical applications
JP2584201B2 (ja) * 1994-01-14 1997-02-26 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション 力変換器、コンピュータ・システムおよびキーボード
US5891751A (en) * 1995-06-02 1999-04-06 Kulite Semiconductor Products, Inc . Hermetically sealed transducers and methods for producing the same
DE19601078C2 (de) * 1996-01-13 2000-01-05 Bosch Gmbh Robert Druckkraftsensor
FR2749656B1 (fr) * 1996-06-10 1998-08-28 Aerospatiale Dispositif instrumente de faible epaisseur formant peau
US6236301B1 (en) * 1996-09-04 2001-05-22 Sensitron, Inc. Cantilevered deflection sensing system
US6184865B1 (en) 1996-10-23 2001-02-06 International Business Machines Corporation Capacitive pointing stick apparatus for symbol manipulation in a graphical user interface
CA2310149C (en) 2000-05-30 2004-12-07 International Road Dynamics Inc. In road vehicle axle sensor
WO2004023126A1 (ja) * 2002-09-03 2004-03-18 Ngk Spark Plug Co., Ltd. シリコン製マイクロセンサの実装方法、製造方法およびシリコン製マイクロセンサ
US20040200291A1 (en) * 2003-04-11 2004-10-14 Xunhu Dai Multilayer ceramic pressure sensor
US20060185446A1 (en) * 2005-02-18 2006-08-24 Speckhart Frank H Printed strain gage for vehicle seats
KR100855603B1 (ko) * 2005-03-18 2008-09-01 전자부품연구원 촉각 센서 및 제조 방법
KR100816660B1 (ko) * 2005-03-28 2008-03-27 전자부품연구원 촉각 센서 및 제조 방법
FR2898222B1 (fr) * 2006-03-01 2008-09-19 Dav Sa Dispositif de commande electrique
US7911315B2 (en) * 2006-07-28 2011-03-22 Honeywell International Inc. Miniature pressure sensor assembly for catheter
JP5244773B2 (ja) * 2009-12-10 2013-07-24 三菱重工業株式会社 翼風洞試験方法
ITTO20130307A1 (it) * 2013-04-17 2014-10-18 Itt Italia Srl Metodo per realizzare un elemento frenante, in particolare una pastiglia freno, sensorizzato, pastiglia freno sensorizzata, impianto frenante di veicolo e metodo associato
DE102013105363A1 (de) * 2013-05-24 2014-11-27 Endress + Hauser Flowtec Ag Wirbelströmungsmesssensor und Wirbelströmungsmessaufnehmer zur Messung der Strömungsgeschwindigkeit eines Fluids
FR3022674B1 (fr) * 2014-06-18 2019-12-13 Iem Sarl Borne de detection comprenant un transducteur piezoelectrique fixe a une membrane liee a une structure de butee
US9939035B2 (en) 2015-05-28 2018-04-10 Itt Italia S.R.L. Smart braking devices, systems, and methods
ITUB20153709A1 (it) 2015-09-17 2017-03-17 Itt Italia Srl Dispositivo di analisi e gestione dei dati generati da un sistema frenante sensorizzato per veicoli
ITUB20153706A1 (it) 2015-09-17 2017-03-17 Itt Italia Srl Dispositivo frenante per veicolo pesante e metodo di prevenzione del surriscaldamento dei freni in un veicolo pesante
US9719872B2 (en) * 2015-09-29 2017-08-01 Rosemount Inc. High over-pressure capable silicon die pressure sensor with extended pressure signal output
US10060813B2 (en) 2015-09-29 2018-08-28 Rosemount Inc. High over-pressure capable silicon die pressure sensor
ITUA20161336A1 (it) 2016-03-03 2017-09-03 Itt Italia Srl Dispositivo e metodo per il miglioramento delle prestazioni di un sistema antibloccaggio e antiscivolamento di un veicolo
IT201600077944A1 (it) 2016-07-25 2018-01-25 Itt Italia Srl Dispositivo per il rilevamento della coppia residua di frenatura in un veicolo equipaggiato con freni a disco
US10203258B2 (en) 2016-09-26 2019-02-12 Rosemount Inc. Pressure sensor diaphragm with overpressure protection
KR20200134582A (ko) * 2019-05-22 2020-12-02 삼성전자주식회사 압력 측정 장치
IT201900015839A1 (it) 2019-09-06 2021-03-06 Itt Italia Srl Pastiglia freno per veicoli e suo processo di produzione
EP4067827A1 (fr) * 2021-03-30 2022-10-05 Airbus Operations (S.A.S.) Dispositif de mesure a capteurs en suspension
EP4326586A1 (en) 2021-05-25 2024-02-28 ITT Italia S.r.l. A method and a device for estimating residual torque between the braked and braking elements of a vehicle

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5544993A (en) * 1978-09-25 1980-03-29 Motorola Inc Improved pressure converter assembly
JPS55143422A (en) * 1979-04-16 1980-11-08 Bendix Corp Pressure sensor
JPS59163514A (ja) * 1983-03-09 1984-09-14 Fuji Electric Co Ltd 静電容量式センサ

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3341794A (en) * 1965-07-26 1967-09-12 Statham Instrument Inc Transducers with substantially linear response characteristics
US3455165A (en) * 1965-12-22 1969-07-15 Pierre Huet Pressure sensitive devices
GB1563894A (en) * 1976-03-12 1980-04-02 Kavlico Corp Capacitive pressure transducer and method for making same
DE2617731C3 (de) * 1976-04-23 1979-06-07 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Miniaturdruckmeßwandler
DE3008572C2 (de) * 1980-03-06 1982-05-27 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Druckmeßdose
US4382247A (en) * 1980-03-06 1983-05-03 Robert Bosch Gmbh Pressure sensor
US4481497A (en) * 1982-10-27 1984-11-06 Kulite Semiconductor Products, Inc. Transducer structures employing ceramic substrates and diaphragms
US4552023A (en) * 1983-09-28 1985-11-12 Transamerica Delaval Inc. Transducer systems with overload protection

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5544993A (en) * 1978-09-25 1980-03-29 Motorola Inc Improved pressure converter assembly
JPS55143422A (en) * 1979-04-16 1980-11-08 Bendix Corp Pressure sensor
JPS59163514A (ja) * 1983-03-09 1984-09-14 Fuji Electric Co Ltd 静電容量式センサ

Also Published As

Publication number Publication date
DE3703697A1 (de) 1987-08-13
NL8700312A (nl) 1987-09-01
BR8700717A (pt) 1987-12-08
JPH09179U (ja) 1997-04-04
PT84262A (en) 1987-03-01
IT8667097A0 (it) 1986-02-10
JP2547374Y2 (ja) 1997-09-10
GB2186376A (en) 1987-08-12
ES1001567Y (es) 1989-01-01
ES1001567U (es) 1988-05-01
GB8702242D0 (en) 1987-03-11
BE1000830A4 (fr) 1989-04-18
GB2186376B (en) 1990-03-21
FR2594224A1 (fr) 1987-08-14
PT84262B (pt) 1989-09-14
CH669848A5 (ja) 1989-04-14
FR2594224B1 (fr) 1989-09-29
IT1187900B (it) 1987-12-23
US4782319A (en) 1988-11-01

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