CH669259A5 - Sensore elettrico di deformazione a film spesso, in particolare sensore di pressione. - Google Patents

Description

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Claims (4)

RIVENDICAZIONI

1. Sensore elettrico di deformazione a film spesso, in particolare sensore di pressione, comprèndente un substrato di sopporto (4) a guisa di piastrina, su almeno una faccia del quale sono depositati almeno un resistore a film spesso (R) fungente da trasduttore piezoresistivo e almeno una coppia di conduttori a film spesso (9, 10) fungenti da reofori, caratterizzato dal fatto che detto almeno un resistore a film spesso (R) e detti conduttori a film spesso (9, 10) sono ricoperti con uno strato protettivo (20) di materiale dielettrico.

2. Sensore a film spesso secondo la rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto che detto strato di materiale protettivo (20) è depositato sul substrato di sopporto (4) con la tecnica del film spesso.

3. Sensore a film spesso secondo la rivendicazione 1 o 2, caratterizzato dal fatto che detto strato protettivo (20) è costituito da un materiale a matrice vetrosa.

4. Sensore secondo la rivendicazione 1 o 2, caratterizzato dal fatto che detto strato protettivo (4) è costituito da una resina elettricamente isolante.

DESCRIZIONE La presente invenzione riguarda un sensore elettrico di deformazione a film spesso, in particolare un sensore di pressione. L'invenzione ha per oggetto specificamente un sensore del tipo comprendente un substrato di sopporto, a guisa di piastrina, su almeno una faccia del quale sono depositati almeno un resistore a film spesso fungente da trasduttore piezoresistivo e almeno una coppia di conduttori a film spesso, fungenti da reofori.

Il sensore secondo la presente invenzione è caratterizzato dal fatto che detto almeno un resistore a film spesso e detti conduttori a film spesso sono ricoperti con uno strato protettivo di materiale dielettrico.

Preferibilmente tale strato protettivo di materiale dielettrico è depositato anch'esso con la tecnica del film spesso.

Inoltre, secondo un'ulteriore caratteristica di forma d'esecuzione del sensore, tale strato protettivo può estendersi sull'intera suddetta faccia del substrato di sopporto.

Grazie alla presenza di uno strato protettivo di materiale dielettrico il sensore secondo l'invenzione può essere utilizzato anche in applicazioni nelle quali detto substrato di sopporto debba venire a contatto con fluidi aggressivi oppure conduttori dell'elettricità.

Le suddette caratteristiche e vantaggi del sensore secondo l'invenzione appariranno dalla descrizione dettagliata che segue, effettuata con riferimento ai disegni allegati, forniti a puro titolo di esempio non limitativo, nei quali:

la figura 1 è una vista parzialmente sezionata di un sensore differenziale di pressione realizzato in conformità con la presente invenzione,

le figure 2 e 3 sono viste in pianta di due substrati di sopporto utilizzabili in un sensore secondo la presente invenzione.

nella figura 1 con 1 è indicato nel suo complesso un sensore differenziale di pressione comprendente due semigusci 2, 3 ad esempio di materiale ceramico, presentanti rispettive porzioni a flangia 2a e 3a fra le quali è serrata una piastrina di sopporto circolare 4. Tale piastrina è anch'essa realizzata ad esempio in materiale ceramico. In alternativa tale piastrina potrebbe essere ad esempio di acciaio smaltato.

La piastrina di sopporto 4 è serrata tra i due semigusci 2 e 3 in un qualsiasi modo di per sè noto.

Fra la piastra di sopporto 4 ed i semigusci 2 e 3 sono definite due camere rispettivamente indicate con 5 e con 6. Tali camere sono suscettibili di essere poste in comunicazione con due diversi ambienti mediante raccordi 2b e 3b ricavati integrali con i semigusci 2 e 3.

Nella realizzazione illustrata nella figura 2, su una faccia della piastra di sopporto 4 è depositato serigraficamente un resistore a film spesso R. A tale resistore sono connessi due conduttori a film spesso 9 e 10 fungenti da reofori. Nella realizzazione esemplificativa illustrata i reofori 9 e 10 si estendono in direzione quasi radiale sino alla periferia della piastra di sopporto 4. Le estremità 9a e 10a periferiche di detti reofori sono destinate a consentire il collegamento del resistore R a circuiti esterni di misura. Tali circuiti possono comprendere, in modo per sè noto, ad esempio un cosiddetto ponte di Wheatstone atto a consentire la rilevazione delle variazioni di resistenza del resistore R.

Secondo l'invenzione sulla faccia della piastra di sopporto 4 recante il resistore R ed i relativi reofori è applicato uno strato protettivo di materiale dielettrico indicato con 20 nella figura 2. Tale strato può essere costituito ad esempio da una resina elettricamente isolante o da un impasto vetroso, e la sua deposizione può essere realizzata convenientemente con un procedimento serigrafico.

Nella realizzazione illustrata nella figura 2 lo strato dielettrico protettivo 20 ricopre praticamente l'intera faccia della piastra 4 recante il resistore a film spesso, con la sola eccezione di due areole 30, 31 in corrispondenza delle porzioni di estremità 9a e 10a dei reofori 9 e 10. Attraverso dette areole scoperte 30 e 31 è dunque possibile collegare i reofori 9 e 10 ai circuiti esterni, ad esempio mediante conduttori quali quelli indicati con 22 e 23 nella figura 1.

Nella realizzazione illustrata nella figura 3 lo strato dielettrico protettivo 20 non ricopre interamente la faccia del substrato 4 recante il resistore R, ma si limita a ricoprire detto resistore ed i relativi reofori.

Nell'uso il sensore mostrato nella figura 1 viene posto in collegamento con due ambienti contenenti rispettivi fluidi. Tali fluidi possono essere anche di tipo aggressivo o corrosivo o conduttore di elettricità. La piastra di sopporto 4 viene nell'impiego deformata in una misura che è funzione della differenza fra le pressioni regnanti nelle camere 5 e 6 del sensore. La resistenza elettrica del resistore R varia in misura corrispondente e può essere rivelata dai circuiti esterni in modo per sè noto.

Naturalmente l'invenzione si estende a tutte quelle realizzazioni che conseguono pari utilità mediante lo stesso concetto innovativo.

In particolare l'invenzione non è limitata a quelle realizzazioni in cui il substrato flessibile di sopporto rechi un solo resistore a film spesso. Inoltre l'invenzione non si intende limitata alla sola applicazione ai sensori differenziali di pressione, ma piuttosto la sua portata si estende a tutti i sensori utilizzanti re-sistori a film spesso come elementi trasduttori.

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1 foglio disegni