JPH0942210A - シリンダの駆動制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ピストンの移動速度を所定の値に制御できるよ
うにする。 【解決手段】エアシリンダ１４と従動シリンダ１５との
両ピストン１４ｂ，１５ｂが同期して移動すると、作動
油が充満されるとともに流通経路１８によって連通され
た従動シリンダ１５の両従動圧力室１７ａ，１７ｂ間に
差圧が発生する。差圧検出装置２１は両従動圧力室１７
ａ，１７ｂ間の差圧を検出し、その検出された差圧に対
応する電圧Ｖ１をコントローラ２０へ出力する。又、コ
ントローラ２０は目標差圧設定装置２２によって設定さ
れた目標差圧に対応する基準電圧Ｖref1を入力する。コ
ントローラ２０は電圧Ｖ１が基準電圧Ｖref1と同じ値と
なるようにエアシリンダ１４の両駆動圧力室１６ａ，１
６ｂにエアを適宜供給させる。すると、両従動圧力室１
７ａ，１７ｂ間の差圧が目標差圧と同じ値になり、両ピ
ストン１４ｂ，１５ｂが目標差圧に対応する目標移動速
度となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はシリンダの駆動制御
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、例えばエアシリンダを駆動制
御する装置としては、図５に示すシリンダの駆動制御装
置９１が知られている。この駆動制御装置９１はエア供
給源Ｐ及び消音器Ｓを備え、そのエア供給源Ｐ及び消音
器Ｓは方向切換弁９２の一端側に接続されている。又、
方向切換弁９２の他端側には、第１及び第２の給排通路
９３ａ，９３ｂを介してエアシリンダ９４が接続されて
いる。エアシリンダ９４はシリンダチューブ９４ａと、
シリンダチューブ９４ａ内に設けられたピストン９４ｂ
と、ピストン９４ｂから突出してシリンダチューブ９４
ａの軸線方向へ延びるロッド９４ｃとから構成されてい
る。そして、シリンダチューブ９４ａの内部は、ピスト
ン９４ｂによって第１の圧力室９５ａと第２の圧力室９
５ｂとに区画されている。その第１及び第２の圧力室９
５ａ，９５ｂには、それぞれ前記第１及び第２の給排通
路９３ａ，９３ｂが接続されている。

【０００３】第１及び第２の給排通路９３ａ，９３ｂに
は、それぞれ絞り弁９６ａ，９６ｂが設けられるととも
に、その両絞り弁９６ａ，９６ｂを迂回するように第１
及び第２のバイパス路９７ａ，９７ｂがそれぞれ接続さ
れている。その第１及び第２のバイパス路９７ａ，９７
ｂには、それぞれ逆止弁９８ａ，９８ｂが設けられてい
る。両逆止弁９８ａ，９８ｂは、両バイパス路９７ａ，
９７ｂ内のエアを方向切換弁９２側からエアシリンダ９
４側へ向かってのみ流通させるようになっている。

【０００４】そして、方向切換弁９２をＡ位置に切り換
えると、エア供給源Ｐから送り出されるエアが、第１の
給排通路９３ａ及び第１のバイパス路９７ａを通ってエ
アシリンダ９４の第１の圧力室９５ａに供給される。す
ると、ロッド９４ｃをシリンダチューブ９４ａから伸長
させる方向へピストン９４ｂが移動され、第２の圧力室
９５ｂ内のエアが第２のバイパス路９７ｂを通らずに第
２の給排通路９３ｂのみを通って消音器Ｓから排出され
る。この時、第２の給排通路９３ｂに設けられた絞り弁
９６ｂの絞り量を調節することにより、ピストン９４ｂ
の移動速度が制御される。

【０００５】方向切換弁９２をＣ位置に切り換えると、
エア供給源Ｐから送り出されるエアが、第２の給排通路
９３ｂ及び第２のバイパス路９７ｂを通ってエアシリン
ダ９４の第２の圧力室９５ｂに供給される。すると、ロ
ッド９４ｃをシリンダチューブ９４ａ内に没入させる方
向へピストン９４ｂが移動され、第１の圧力室９５ａ内
のエアが第１のバイパス路９７ａを通らずに第１の給排
通路９３ａのみを通って消音器Ｓから排出される。この
時、第１の給排通路９３ａに設けられた絞り弁９６ａの
絞り量を調節することにより、ピストン９４ｂの移動速
度が制御される。

【０００６】又、移動中のピストン９４ｂを停止させる
場合には、方向切換弁９２をＢ位置に切り換える。する
と、エア供給源Ｐから送り出されるエアが、第１の給排
通路９３ａ及び第１のバイパス路９７ａと、第２の通路
９３ｂ及び第２のバイパス路９７ｂとを通って第１の圧
力室９５ａと第２の圧力室９５ｂとの両方に供給され
る。そして、第１の圧力室９５ａ側からピストン９４ｂ
に働くエア圧力（推力）と、第２の圧力室９５ｂ側から
ピストン９４ｂに働くエア圧力（復帰力）とが釣り合う
ように、第１の圧力室９５ａ内の気圧を図示しない減圧
弁によって減圧してピストン９４ｂの移動を停止させ
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記シリン
ダの駆動制御装置９１では、絞り弁９６ａ，９６ｂの絞
り量を調整してピストン９４ｂの移動速度を制御するよ
うにしている。従って、ピストン９４ｂの移動速度を速
くしたり遅くしたりすることはできるが、ピストンの移
動速度を所定の値となるように制御することは困難であ
るという問題があった。

【０００８】又、シリンダチューブ９４ａの端部まで移
動したピストン９４ｂは、そのシリンダチューブ９４ａ
の端部に衝突して停止する。従って、ピストン９４ｂの
シリンダチューブ９４ａに対する衝突を防ぐにはエアシ
リンダ９４の外部にショックアブソーバ等を設けなけれ
ばならず、エアシリンダ９４が大型化するという問題が
あった。

【０００９】更に、移動中のピストン９４ｂを所望の位
置に停止させるために両圧力室９５ａ，９５ｂにそれぞ
れエアを供給した場合、ピストン９４ｂの移動方向側に
おける圧力室９５ａ，９５ｂ内のエアが前記ピストン９
４ｂの移動によって圧縮される。そして、前記圧力室９
５ａ，９５ｂ内のエアが圧縮されることにより、ピスト
ン９４ｂが停止予定の位置からずれてしまうため、ピス
トン９４ｂを正確且つ確実に所望の位置に停止させるこ
とが困難であるという問題があった。

【００１０】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、第１の目的は、駆動ピストンの移動
速度を所定の値に制御できるようにすることにある。第
２の目的は、二つの従動圧力室間に差圧を確実に発生さ
せることにある。

【００１１】第３の目的は、移動圧力室と従動圧力室と
の間に差圧を確実に発生させることにある。第４の目的
は、移動圧力室と流通経路とを確実に連通状態に保持す
ることにある。

【００１２】第５の目的は、差圧検出手段から出力され
た検出値が目標差圧設定手段から出力された基準値と同
じ値になるように駆動ピストンを容易に移動させること
にある。

【００１３】第６の目的は、駆動圧力室に対する駆動流
体の給排量を常に一定にした場合でも、駆動ピストンを
差圧検出手段から出力された検出値が目標差圧設定手段
から出力された基準値と同じ値になるように確実に移動
させることにある。

【００１４】第７の目的は、駆動ピストンを駆動シリン
ダチューブの両端部以外の所望の箇所で正確且つ確実に
停止させることにある。第８の目的は、駆動ピストンの
移動速度を正確に所定の値に変更できるようにすること
にある。

【００１５】第９の目的は、ショックアブソーバ等を設
けなくても、駆動ピストンがその移動範囲の端部に位置
した時の衝撃を小さくできるようにすることにある。第
１０の目的は、駆動ピストンがその移動範囲の端部に向
かうほど目標差圧を零に近くなるように容易に設定でき
るようにすることにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成させるた
め、請求項１記載の発明では、特に、従動流体が充満さ
れた流通経路と、駆動ピストンの移動に基づいて従動流
体を流通経路に沿って流通させる従動流体流通手段と、
前記駆動ピストンの移動時に流通経路内の異なる二位置
間に発生する差圧を検出し、その検出された差圧に対応
した検出値を出力する差圧検出手段と、駆動ピストンの
目標移動速度に対応する流通経路内の異なる二位置間の
目標差圧を設定し、その設定された目標差圧に対応した
基準値を出力する目標差圧設定手段と、前記差圧検出手
段から出力された検出値が目標差圧検出手段から出力さ
れた基準値と同じ値となるように駆動ピストンを移動さ
せる移動制御手段とを備えた。

【００１７】請求項２記載の発明では、前記従動流体流
通手段は、従動流体が充満された従動シリンダチューブ
と、前記従動シリンダチューブ内に設けられ、駆動ピス
トンに対し連結されて駆動ピストンと同期して従動シリ
ンダチューブの軸線方向へ移動可能な従動ピストンと、
前記従動ピストンと従動シリンダチューブとによって区
画形成された二つの従動圧力室とから構成され、流通経
路は前記二つの従動圧力室を連通するように設けられ、
前記従動流体を前記流通経路及び二つの従動圧力室に充
満させた。

【００１８】請求項３記載の発明では、前記従動流体流
通手段は、駆動ピストンに設けられ、その駆動ピストン
の移動に伴って移動する移動圧力室と、従動流体が充満
された従動シリンダチューブと、前記従動シリンダチュ
ーブ内に設けられ、その従動シリンダチューブの軸線方
向へ移動可能な従動ピストンと、前記従動ピストンと従
動シリンダチューブとによって区画形成された従動圧力
室とから構成され、流通経路は前記移動圧力室と従動圧
力室とを連通するように設けられ、前記従動流体を前記
流通経路、移動圧力室及び従動圧力室内に充満させた。

【００１９】請求項４記載の発明では、前記駆動ピスト
ンには駆動シリンダチューブの軸線方向へ延びる圧力穴
が形成され、駆動シリンダチューブ内には従動圧力室に
連通するとともに駆動シリンダチューブの軸線方向へ延
びて前記圧力穴に嵌め込まれる流通管が設けられ、移動
圧力室及び流通経路を前記圧力穴及び流通管の内部にそ
れぞれ設けた。

【００２０】請求項５記載の発明では、前記移動制御手
段を、駆動圧力室に対し駆動流体を給排して差圧検出手
段から出力された検出値が目標差圧設定手段から出力さ
れた基準値と同じ値になるように駆動ピストンを移動さ
せる駆動流体給排手段とした。

【００２１】請求項６記載の発明では、前記移動制御手
段を、流通経路における従動流体の流通抵抗を変更させ
て差圧検出手段から出力された検出値が目標差圧設定手
段から出力された基準値と同じ値になるように駆動ピス
トンを移動させる流通抵抗可変手段とした。

【００２２】請求項７記載の発明では、前記流通経路を
連通又は遮断可能な開閉路手段を設け、従動流体を液体
とした。請求項８記載の発明では、前記目標差圧設定手
段を、その目標差圧設定手段によって設定される目標差
圧を適宜変更可能であり、その変更された目標差圧に対
応した基準値を出力するものとした。

【００２３】請求項９記載の発明では、前記駆動ピスト
ンは駆動シンダチューブ内の所定移動範囲を移動するも
のであり、目標差圧設定手段を駆動ピストンが前記所定
移動範囲の端部へ向かうほど目標差圧を零に近くなるよ
うに設定するものとした。

【００２４】請求項１０記載の発明では、前記目標差圧
設定手段は、駆動ピストンに対して連結されて駆動ピス
トンと同期して移動する第１の移動部材を備えた第１の
目標差圧設定手段であり、その第１の目標差圧設定手段
を前記第１の移動部材の移動に基づいて目標差圧を設定
するものとした。

【００２５】即ち、請求項１記載の発明では、駆動シリ
ンダチューブ内の駆動圧力室に対して駆動流体を給排す
ると、駆動ピストンがシリンダチューブの軸線方向へ移
動される。すると、従動流体流通手段は、駆動ピストン
の移動に伴って流通経路内の従動流体を、その流通経路
に沿って流通させる。一方、差圧検出手段は流通経路内
の異なる二位置間に発生する差圧を検出し、その検出さ
れた差圧に対応した検出値を出力する。又、目標差圧設
定手段は駆動ピストンの目標移動速度に対応した目標差
圧を設定するとともに、その設定された目標差圧に対応
した基準値を出力する。そして、移動制御手段は、差圧
検出手段から出力された検出値が目標差圧設定手段から
出力された基準値と同じ値になるように前記駆動ピスト
ンを移動させる。

【００２６】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明の作用に加え、駆動ピストンが移動されると、従動
シリンダチューブ内の従動ピストンが前記駆動ピストン
の移動と同期して従動シリンダチューブの軸線方向へ移
動される。

【００２７】請求項３記載の発明では、請求項１記載の
発明の作用に加え、駆動ピストンが移動されると、その
駆動ピストンの移動に伴って移動圧力室が移動される。
そして、移動圧力室が従動圧力室に対して接近する方向
へ移動すると、移動圧力室内が従動圧力室内よりも高圧
なる。又、移動圧力室が従動圧力室に対して離間する方
向へ移動すると、移動圧力室内が従動圧力室内よりも低
圧になる。

【００２８】請求項４記載の発明では、請求項３記載の
発明の作用に加え、駆動ピストンが移動されると、流通
管は圧力穴に嵌め込まれた状態で同圧力穴に対して相対
的に駆動シリンダチューブの軸線方向へ進退される。

【００２９】請求項５記載の発明では、請求項１〜４の
いずれかに記載の発明の作用に加え、駆動流体給排手段
が駆動圧力室に対して駆動流体を給排すると、駆動ピス
トンが移動される。そして、駆動流体給排手段が駆動流
体の給排量を調節することにより、差圧検出手段から出
力された検出値が目標差圧設定手段から出力された基準
値と同じ値になるように駆動ピストンが移動される。

【００３０】請求項６記載の発明では、請求項１〜４の
いずれかに記載の発明の作用に加え、流通抵抗可変手段
が流通経路における従動流体の流通抵抗を変更すると、
駆動ピストンの移動速度が変更される。そして、流通抵
抗可変手段が従動流体の流通抵抗を変更することによ
り、差圧検出手段から出力された検出値が目標差圧設定
手段から出力された基準値と同じ値になるように駆動ピ
ストンが移動される。

【００３１】請求項７記載の発明では、請求項１〜６の
いずれかに記載の発明の作用に加え、移動中の駆動ピス
トンを停止させるには、流通経路を開閉路手段によって
遮断する。すると、流通経路内を従動流体が流通不能と
なり、駆動ピストンの移動が停止される。従動流体は液
体であるため、駆動ピストンの停止時に流通経路内の従
動流体が圧縮又は膨張されることはない。従って、駆動
ピストンは、開閉路手段が流通経路を遮断した時の位置
に正確且つ確実に停止される。

【００３２】請求項８記載の発明では、請求項１〜７の
いずれかに記載の発明の作用に加え、目標差圧設定手段
によって設定される目標差圧が変更されると、目標差圧
設定手段は変更された目標差圧に対応した基準値を出力
する。そして、移動制御手段は、差圧検出手段によって
出力された検出値が前記基準値と同じ値になるように駆
動ピストンを移動させる。

【００３３】請求項９記載の発明では、請求項８記載の
発明の作用に加え、目標差圧設定手段は駆動ピストンが
その移動範囲の端部へ向かうほど目標差圧を零に近くな
るように設定する。すると、駆動ピストンはその移動範
囲の端部へ向かうほど移動速度が遅くなるように移動さ
れる。

【００３４】請求項１０記載の発明では、請求項９記載
の発明の作用に加え、第１の目標差圧設定手段に設けら
れた第１の移動部材は、駆動ピストンと同期して移動さ
れる。そして、第１の目標差圧設定手段は、第１の移動
部材の移動に基づいて目標差圧を設定する。

【００３５】

【発明の実施の形態】

（第１実施形態）以下、本発明をエアシリンダの駆動制
御装置に具体化した第１実施形態を図１に従って説明す
る。

【００３６】図１に示すように、エアシリンダの駆動制
御装置１１はエア供給源Ｐ及び消音器Ｓを備え、そのエ
ア供給源Ｐ及び消音器Ｓは方向切換弁１２の一端側に接
続されている。又、方向切換弁１２の他端側には、第１
及び第２の給排通路１３ａ，１３ｂを介してエアシリン
ダ１４が接続されている。エアシリンダ１４には、その
エアシリンダ１４の軸線と同軸上に延びる従動シリンダ
１５が隣接して設けられている。

【００３７】前記エアシリンダ１４には駆動シリンダチ
ューブ１４ａが設けられ、駆動シリンダチューブ１４ａ
内には駆動ピストン１４ｂが設けられている。駆動シリ
ンダチューブ１４ａ内は駆動ピストン１４ｂによって第
１及び第２の駆動圧力室１６ａ，１６ｂに区画され、駆
動ピストン１４ｂは駆動シリンダチューブ１４ａの軸線
方向へ移動可能となっている。前記第１及び第２の駆動
圧力室１６ａ，１６ｂには、それぞれ前記第１及び第２
の給排通路１３ａ，１３ｂが接続されている。又、駆動
ピストン１４ｂには従動シリンダ１５へ向かって突出
し、駆動シリンダチューブ１４ａの軸線方向へ延びるロ
ッド１４ｃが設けられている。

【００３８】前記従動シリンダ１５には従動シリンダチ
ューブ１５ａが設けられ、従動シリンダチューブ１５ａ
内には従動ピストン１５ｂが設けられている。従動シリ
ンダチューブ１５ａ内は従動ピストン１５ｂによって第
１及び第２の従動圧力室１７ａ，１７ｂに区画され、従
動ピストン１５ｂは従動シリンダチューブ１５ａの軸線
方向へ移動可能となっている。前記従動シリンダチュー
ブ１５ａ，従動ピストン１５ｂ，第１の従動圧力室１７
ａ及び第２の従動圧力室１７ｂによって従動流体流通手
段が構成されている。

【００３９】前記駆動ピストン１４ｂから突出するロッ
ド１４ｃは、従動シリンダチューブ１５ａ内をその軸線
方向へ貫通している。又、ロッド１４ｃは従動ピストン
１５ｂを貫通している。そして、従動ピストン１５ｂは
ロッド１４ｃに連結されている。従って、従動ピストン
１５ｂと駆動ピストン１４ｂとは同期して移動するよう
になっている。前記第１及び第２の従動圧力室１７ａ，
１７ｂには流通経路１８の両端部が接続され、両従動圧
力室１７ａ，１７ｂは流通経路１８によって連通してい
る。この流通経路１８内及び両従動圧力室１７ａ，１７
ｂ内には、従動流体としての作動油が充満されている。
そして、流通経路１８には絞り弁１９が設けられ、絞り
弁１９の絞り量は一定となっている。

【００４０】前記方向切換弁１２は５ポート型の電磁切
換弁であって、電磁ソレノイド１２ａの消磁状態におい
てはバネ１２ｂの付勢力によりホームポジションである
Ａ位置に保持される。方向切換弁１２はＡ位置に切り換
えられると、エア供給源Ｐと第１の給排通路１３ａとを
連通させるとともに、消音器Ｓと第２の給排通路１３ｂ
とを連通させる。すると、エア供給源Ｐから方向切換弁
１２及び第１の給排通路１３ａを介して第１の駆動圧力
室１６ａへ駆動流体としてのエアが供給され、そのエア
によりロッド１４ｃを伸長させる方向へ両ピストン１４
ｂ，１５ｂが移動される。

【００４１】ロッド１４ｃを伸長させる方向へ駆動ピス
トン１４ｂが移動されると、第２の駆動圧力室１６ｂ内
のエアは第２の給排通路１３ｂ及び方向切換弁１２を介
して消音器Ｓへ排出されるようになっている。又、ロッ
ド１４ｃを伸長させる方向へ従動ピストン１５ｂが移動
されると、第２の従動圧力室１７ｂ内が第１の従動圧力
室１７ａ内よりも高圧になる。そして、両従動圧力室１
７ａ，１７ｂ間に従動ピストン１５ｂの移動速度に対応
した差圧が発生する。その差圧により第２の従動圧力室
１７ｂ内の作動油が、流通経路１８を通って第１の従動
圧力室１７ａへ流れるようになっている。

【００４２】前記方向切換弁１２は、エア供給源Ｐから
第１の給排通路１３ａへ送り出されるエアの流量と、第
２の給排通路１３ｂから消音器Ｓへ送り出されるエアの
流量とを同期して増減させること可能となっている。従
って、方向切換弁１２を駆動制御することにより、第１
の駆動圧力室１６ａに供給されるエアの流量及び第２の
駆動圧力室１６ｂから排出されるエアの流量を増減させ
て両ピストン１４ｂ，１５ｂの移動速度を変更させるこ
とが可能となっている。

【００４３】又、方向切換弁１２の電磁ソレノイド１２
ａを励磁すると、方向切換弁１２はＢ位置に切り換えら
れる。方向切換弁１２はＢ位置に切り換えられると、エ
ア供給源Ｐと第２の給排通路１３ｂとを連通させるとと
もに、消音器Ｓと第１の給排通路１３ａとを連通させ
る。すると、エア供給源Ｐから方向切換弁１２及び第２
の給排通路１３ｂを介して第２の駆動圧力室１６ｂへエ
アが供給され、そのエアによりロッド１４ｃを収縮させ
る方向へ両ピストン１４ｂ，１５ｂが移動される。

【００４４】ロッド１４ｃを収縮させる方向へ駆動ピス
トン１４ｂが移動されると、第１の駆動圧力室１６ａ内
のエアは第１の給排通路１３ａ及び方向切換弁１２を介
して消音器Ｓへ排出されるようになっている。又、ロッ
ド１４ｃが収縮する方向へ従動ピストン１５ｂが移動さ
れると、第１の従動圧力室１７ａ内が第２の従動圧力室
１７ｂ内よりも高圧になる。そして、両従動圧力室１７
ａ，１７ｂ間に従動ピストン１５ｂの移動速度に対応し
た差圧が発生する。その差圧により第１の従動圧力室１
７ａ内の作動油が、流通経路１８を通って第２の従動圧
力室１７ｂへ流れるようになっている。

【００４５】前記方向切換弁１２は、エア供給源Ｐから
第２の給排通路１３ｂへ送り出されるエアの流量と、第
１の給排通路１３ａから消音器Ｓへ送り出されるエアの
流量とを同期して増減させることが可能となっている。
従って、方向切換弁１２を駆動制御することにより、第
２の駆動圧力室１６ｂに供給されるエアの流量及び第１
の駆動圧力室１６ａから排出されるエアの流量を増減さ
せて両ピストン１４ｂ，１５ｂの移動速度を変更させる
ことが可能となっている。

【００４６】次に、上記エアシリンダの駆動制御装置１
１の電気的構成を説明する。エアシリンダの駆動制御装
置１１にはコントローラ２０が設けられ、このコントロ
ーラ２０及び前記方向切換弁１２によって移動制御手段
及び駆動流体給排手段が構成されている。コントローラ
２０の入力側には、差圧検出手段としての差圧検出装置
２１及び目標差圧設定手段としての目標差圧設定装置２
２が接続され、コントローラ２０の出力側には方向切換
弁１２が接続されている。

【００４７】差圧検出装置２１は流通経路１８における
異なる二位置間の差圧、即ち、第１の従動圧力室１７ａ
と第２の従動圧力室１７ｂとの間の差圧を検出し、その
検出された差圧に対応した検出値としての電圧Ｖ１をコ
ントローラ２０へ出力するようになっている。

【００４８】目標差圧設定装置２２は、抵抗器２３及び
抵抗器２３に接触するブラシ２４を備えている。ブラシ
２４は、回動操作可能な図示しないダイヤルに連結され
ている。このダイヤルを回動操作するとブラシ２４が抵
抗器２３に沿って移動し、目標差圧設定装置２２は前記
ダイヤルの回動位置に対応した基準値としての基準電圧
Ｖref1をコントローラ２０へ出力するようになってい
る。

【００４９】そして、駆動ピストン１４ｂを目標移動速
度にする場合には、駆動ピストン１４ｂが目標移動速度
になった時の両従動圧力室１７ａ，１７ｂ間の差圧（以
下目標差圧という）と対応した基準電圧Ｖref1を目標差
圧設定装置２２が出力するように前記ダイヤルを回動操
作する。この操作を作業者が行うことにより、目標差圧
が設定されるようになっている。

【００５０】コントローラ２０は差圧検出装置２１から
電圧Ｖ１を入力し、目標差圧設定装置２２から基準電圧
Ｖref1を入力すると、電圧Ｖ１が基準電圧Ｖref1と同じ
値となるように方向切換弁１２を駆動制御する。即ち、
コントローラ２０は第１又は第２の駆動圧力室１６ａ，
１６ｂに所定量のエアを適宜供給し、両従動圧力室１７
ａ，１７ｂ間の差圧が目標差圧と同じ値となるように両
ピストン１４ｂ，１５ｂの移動速度を変更させる。そし
て、両従動圧力室１７ａ，１７ｂ間の差圧が目標差圧と
同じ値になると、電圧Ｖ１が基準電圧Ｖref1と同じ値に
なり、両ピストン１４ｂ，１５ｂの移動速度が目標移動
速度と同じ値になる。

【００５１】次に、上記のように構成されたエアシリン
ダの駆動制御装置１１の作用を説明する。エア供給源Ｐ
から方向切換弁１２と第１又は第２の給排通路１３ａ，
１３ｂとを介して第１又は第２の駆動圧力室１６ａ，１
６ｂへエアを供給すると、駆動ピストン１４ｂ及び従動
ピストン１５ｂが移動される。従動ピストン１５ｂが移
動されると、両従動駆動室１７ａ，１７ｂ間に両ピスト
ン１５ｂの移動速度に対応した差圧が発生する。差圧検
出装置２１は両従動駆動室１７ａ，１７ｂ間の差圧を検
出し、その検出された差圧に対応した電圧Ｖ１をコント
ローラ２０へ出力する。

【００５２】駆動ピストン１４ｂを目標移動速度にする
には、目標差圧設定装置２２のダイヤルを回動操作して
前記目標移動速度に対応する目標差圧を設定する。する
と、目標差圧設定装置２２は、前記目標差圧に対応する
基準電圧Ｖref1をコントローラ２０へ出力する。コント
ローラ２０は、電圧Ｖ１が基準電圧Ｖref1と同じ値とな
るように方向切換弁１２を駆動制御する。即ち、コント
ローラ２０は第１又は第２の駆動圧力室１６ａ，１６ｂ
に所定量のエアを適宜供給し、両従動圧力室１７ａ，１
７ｂ間の差圧が目標差圧と同じ値となるように両ピスト
ン１４ｂ，１５ｂの移動速度を変更させる。そして、両
従動圧力室１７ａ，１７ｂ間の差圧が目標差圧と同じ値
になると、電圧Ｖ１が基準電圧Ｖref1と同じ値になる。
その結果、両ピストン１４ｂ，１５ｂの移動速度が目標
移動速度と同じ値になり、駆動ピストン１４ｂが目標移
動速度にされる。又、目標差圧設定装置２２におけるダ
イヤルの回動位置を変更すると目標差圧が変更され、駆
動ピストン１４ｂは変更された目標差圧に対応する目標
移動速度にされる。

【００５３】以上詳述したように本実施形態では、両ピ
ストン１４ｂ，１５ｂの移動速度に対応して変化する両
従動圧力室１７ａ，１７ｂ間の差圧を検出し、駆動ピス
トン１４ｂの目標移動速度に対応する目標差圧を差圧設
定装置２２により設定した。そして、両従動圧力室１７
ａ，１７ｂ間の差圧が目標差圧と同じ値となるように両
ピストン１４ｂ，１５ｂの移動速度を変更させ、駆動ピ
ストン１４ｂが目標移動速度になるようにした。従っ
て、ピストンの移動速度を所定の値となるように制御す
ることが困難であった従来と異なり、駆動ピストン１４
ｂの移動速度を確実に所定の値となるように制御するこ
とができる。

【００５４】更に、本実施形態では、駆動ピストン１４
ｃと同期して移動する従動ピストン１５ｂにより、従動
シリンダチューブ１５ａ内を第１の従動圧力室１７ａと
第２の従動圧力室１７ｂとに区画した。そして、両従動
圧力室１７ａ，１７ｂを流通経路１８によって連通し、
両従動圧力室１７ａ，１７ｂ及び流通経路１８内に作動
油を充満させた。従って、両従動圧力室１７ａ，１７ｂ
間に、駆動ピストン１４ｂの移動速度に対応した差圧を
確実に発生させることができる。

【００５５】又、本実施形態では、方向切換弁１２を駆
動制御して第１又は第２の駆動圧力室１６ａ，１６ｂへ
所定量のエアを適宜供給することにより、両ピストン１
４ｂ，１５ｂの移動速度を変更するようにした。そのた
め、電圧Ｖ１が基準電圧Ｖref1と同じ値となるように両
ピストン１４ｂ，１５ｂを容易に移動させることができ
る。

【００５６】更に、本実施形態では、目標差圧設定装置
２２におけるダイヤルの回動位置を変更することにより
目標差圧を変更することができるため、駆動ピストン１
４ｂの移動速度を正確に所定の値となるように変更する
ことができる。

【００５７】（第２実施形態）次に、本発明の第２実施
形態を図２に従って説明する。尚、本実施形態において
第１実施形態と同一部分については、第１実施形態と同
一符号を付して詳細な説明を省略する。

【００５８】図２に示すように、本実施形態の従動シリ
ンダ１５はエアシリンダ１４から離れた位置に設けら
れ、エアシリンダ１４と同軸上に延びるように配置され
ている。エアシリンダ１４のロッド１４ｃは、駆動ピス
トン１４ｂから従動シリンダ１５へ向かって突出してい
る。又、従動シリンダ１５のピストン１５ｂからは一対
のロッド１５ｃがそれぞれ従動シリンダチューブ１５ａ
の両端部へ向かって突出し、両ロッド１５ｃは第１及び
第２の従動圧力室１７ａ，１７ｂを貫通している。この
ロッド１５ｃはエアシリンダ１４のロッド１４ｃと同軸
上に延びるように配置されている。従動シリンダ１５の
第２の従動圧力室１７ｂ内には、従動ピストン１５ｂの
移動方向へ伸縮可能なスプリング３０が設けられてい
る。

【００５９】そして、ロッド１４ｃを伸長させる方向へ
駆動ピストン１４ｂが移動されると、両ロッド１４ｃ，
１５ｃが当接するようになっている。両ロッド１４ｃ，
１５ｃが当接すると、駆動ピストン１４ｂと従動ピスト
ン１５ｂとが両ロッド１４ｃ，１５ｃによって連結さ
れ、両ピストン１４ｂ，１５ｂが同期して移動可能とな
る。尚、両ロッド１４ｃ，１５ｃの長さは、駆動ピスト
ン１４ｂが第２の駆動圧力室１６ｂ側の移動端に位置し
た時、従動ピストン１５ｂが第２の従動圧力室１７ｂ側
の移動端に位置する値に設定されている。

【００６０】次に、上記エアシリンダの駆動制御装置１
１の電気的構成を説明する。エアシリンダの駆動制御装
置１１には、第１実施形態の目標差圧設定装置２２と同
様に構成された第１及び第２の目標差圧設定装置３１，
３２が目標差圧設定手段として設けられている。両目標
差圧設定装置３１，３２は、スイッチ３３を介してコン
トローラ２０の入力側に接続されている。

【００６１】第１の目標差圧設定装置３１には抵抗器３
１ａ及び第１の移動部材としてのブラシ３１ｂが設けら
れ、ブラシ３１ｂは従動シリンダ１５のロッド１５ｃに
連結されている。そして、ロッド１５ｃが従動ピストン
１５ｂに伴って移動すると、ブラシ３１ｂが抵抗器３１
ａに沿って移動し、第１の目標差圧設定装置３１は従動
ピストン１５ｂの位置に対応した基準電圧Ｖref1を出力
する。

【００６２】第１の目標差圧設定装置３１は、従動ピス
トン１５ｂが第２の従動圧力室１７ｂ側の移動端へ向か
うほど出力する基準電圧Ｖref1の値が零に近くなるよう
に設定されている。又、第１の目標差圧設定装置３１
は、従動ピストン１５ｂが第２の従動圧力室１７ｂ側の
移動端に位置すると出力する基準電圧Ｖref1の値が零と
なるように設定されている。

【００６３】従って、第１の目標差圧設定装置３１は、
従動ピストン１５ｂが第２の従動圧力室１７ｂ側の移動
端へ向かうほど目標差圧を零に近くなるように設定す
る。又、第１の目標差圧設定装置３１は、従動ピストン
１５ｂが第２の従動圧力室１７ｂ側の移動端に位置する
と目標差圧を零に設定するようになっている。

【００６４】前記第２の目標差圧設定装置３２には抵抗
器３２ａ及びブラシ３２ｂが設けられ、ブラシ３２ｂは
図示しないダイヤルに連結されている。このダイヤルを
回動操作するとブラシ３２ｂが抵抗器３２ａに沿って移
動し、第２の目標差圧設定装置３２は前記ダイヤルの回
動位置に対応した基準値としての基準電圧Ｖref2を出力
するようになっている。従って、第２の目標設定装置３
２においては、第１実施形態の目標差圧設定装置２２と
同様に作業者がダイヤルを回動操作することにより、目
標差圧を設定するようになっている。

【００６５】前記スイッチ３３は、第１の切換位置αと
第２の切換位置βとの間で切換移動される切換片３４を
備えている。そして、切換片３４を第１の切換位置αへ
切換移動させると、コントローラ２０は第１の目標差圧
設定装置３１からの基準電圧Ｖref1を入力する。又、切
換片３４を第２の切換位置βへ切換移動させると、コン
トローラ２０は第２の目標差圧設定装置３２からの基準
電圧Ｖref2を入力するようになっている。

【００６６】次に、上記のように構成されたエアシリン
ダの駆動制御装置１１の作用を説明する。スイッチ３３
の切換片３４が第１の切換位置αに位置した状態におい
て、第１の駆動圧力室１６ａにエアを供給すると、駆動
ピストン１４ｂはエアシリンダ１４のロッド１４ｃを伸
長させる方向へ移動される。すると、エアシリンダ１４
のロッド１４ｃが従動シリンダ１５のロッド１５ｃに当
接し、従動ピストン１５ｂがスプリング３０の弾性力に
抗して、且つ駆動ピストン１４ｂの移動に同期して移動
される。

【００６７】第１の目標差圧設定装置３１は、従動ピス
トン１５ｂが第２の従動圧力室１７ｂ側の移動端へ向か
うにつれて目標差圧を零に近くなるように設定し、その
目標差圧に対応した基準電圧Ｖref1をスイッチ３３を介
してコントローラ２０へ出力する。従って、基準電圧Ｖ
ref1は、従動ピストン１５ｂが第２の従動圧力室１７ｂ
側の移動端へ向かうほど零に近くなる。又、従動ピスト
ン１５ｂが第２の従動圧力室１７ｂ側の移動端へ向かっ
て移動されると、第２の従動圧力室１７ｂ内が第１の従
動圧力室１７ａ内よりも高圧になり、両従動圧力室１７
ａ，１７ｂ間に差圧が発生する。そして、差圧検出装置
２１は両従動圧力室１７ａ，１７ｂ間の差圧を検出し、
検出された差圧に対応した電圧Ｖ１をコントローラ２０
へ出力する。

【００６８】コントローラ２０は、電圧Ｖ１が基準電圧
Ｖref1と同じ値となるように方向切換弁１２を駆動制御
する。即ち、コントローラ２０は第１又は第２の駆動圧
力室１６ａ，１６ｂに所定量のエアを適宜供給し、両従
動圧力室１７ａ，１７ｂ間の差圧が目標差圧と同じ値と
なるように両ピストン１４ｂ，１５ｂの移動速度を変更
させる。目標差圧は従動ピストン１５ｂが第２の従動圧
力室１７ｂ側へ向かうほど零に近くなるため、コントロ
ーラ２０は従動ピストン１５ｂが第２の従動圧力室１７
ｂ側の移動端に近づくにつれて両ピストン１４ｂ，１５
ｂの速度を遅くする。

【００６９】従って、両ピストン１４ｂ，１５ｂは、そ
れぞれ第２の駆動圧力室１６ｂ側及び第２の従動圧力室
１７ｂ側の移動端へゆっくりと移動される。そして、従
動ピストン１５ｂが第２の従動圧力室１７ｂ側の移動
端、即ち図２の二点鎖線で示す位置に位置すると同時
に、駆動ピストン１４ｂは第２の駆動圧力室１６ｂ側の
移動端に位置する。従動ピストン１５ｂが図２の二点鎖
線で示す位置に位置すると、第１の目標差圧設定装置３
１は目標差圧を零に設定する。すると、第１の目標差圧
設定装置３１がコントローラ２０へ出力する基準電圧Ｖ
ref1が零になり、コントローラ２０は電圧Ｖ１が零とな
るように方向切換弁１２を駆動制御する。即ち、コント
ローラ２０は、両従動圧力室１７ａ，１７ｂ間に差圧が
発生しないように、第１又は第２の駆動圧力室１６ａ，
１６ｂへ所定量のエアを適宜供給する。その結果、両ピ
ストン１４ｂ，１５ｂは、それぞれ衝突することなく第
２の駆動圧力室１６ｂ側及び第２の従動圧力室１７ｂ側
の移動端で停止される。その後、ロッド１４ｃを収縮さ
せる方向へ駆動ピストン１４ｂが移動されると、スプリ
ング３０の弾性力によって両ロッド１４ｃ，１５ｃが当
接した状態で従動ピストン１５ｂが駆動ピストン１４ｂ
と同期して移動する。又、この時にはスイッチ３３の切
換片３４が第２の切換位置βに切換移動される。この状
態においては、第２の目標差圧設定装置３２のダイヤル
を回動操作することにより、目標差圧が設定される。更
に、コントローラ２０は、第１実施形態と同様に両ピス
トン１４ｂ，１５ｂが前記目標差圧に対応する目標移動
速度となるように方向切換弁１２を駆動制御する。そし
て、従動ピストン１５ｂがスプリング３０の弾性力によ
って第１の従動圧力室１７ａ側の移動端まで移動される
と、エアシリンダ１４のロッド１４ｃが従動シリンダ１
５のロッド１５ｃから離間する。又、駆動ピストン１４
ｂは、第１の駆動圧力室１６ａ側の移動端まで移動して
停止する。

【００７０】以上詳述したように本実施形態では、第１
実施形態の効果に加え、従動ピストンが第２の従動圧力
室１７ｂ側の移動端へ向かって移動するにつれて目標差
圧が零に近くなるように設定される。その結果、従動ピ
ストン１５ｂが第２の従動圧力室１７ｂ側の移動端に近
づくほど、両ピストン１４ｂ，１５ｂの移動速度が零に
近くなる。そのため、両ピストン１４ｂ，１５ｂを衝突
させることなく、それぞれ第２の駆動圧力室１６ｂ側の
移動端及び第２の従動圧力室１７ｂ側の移動端で停止さ
せることができる。従って、エアシリンダ１４にショッ
クアブソーバ等を設けなくても、駆動ピストン１４ｂを
衝突させることなく停止させることができるため、エア
シリンダ１４を小型化することができる。

【００７１】又、本実施形態では、第１の目標差圧設定
装置３１のブラシ３１ｂを、従動シリンダ１５のロッド
１５ｃに連結した。従って、従動ピストン１５ｂの移動
に基づいて目標差圧が設定されるため、従動ピストン１
５ｂが第２の従動圧力室１７ｂ側の移動端へ向かって移
動するにつれて目標差圧を零に近くなるように設定する
ことが容易になる。

【００７２】更に、本実施形態では、切換片３４を備え
たスイッチ３３を設け、切換片３４の切換移動に基づい
てコントローラ２０に基準電圧Ｖref1又は基準電圧Ｖre
f2を入力するようにした。そのため、上記の効果と、駆
動ピストン１４ｂの移動速度を確実に所定の値にするこ
とができるという第１実施形態の効果との両方を、エア
シリンダの駆動制御装置１１に持たせることができる。

【００７３】（第３実施形態）次に、本発明の第３実施
形態を図３に従って説明する。尚、本実施形態において
第１及び第２実施形態と同一部分については、第１及び
第２実施形態と同一符号を付して詳細な説明を省略す
る。

【００７４】図３に示すように、本実施形態のエアシリ
ンダ１４及び従動シリンダ１５は、そのロッド１４ｃ，
１５ｃが鉛直方向に沿って平行となるように並設されて
いる。エアシリンダ１４のロッド１４ｃは下方へ向かっ
て突出し、従動シリンダ１５のロッド１５ｃは上方及び
下方へ向かって突出している。そして、ロッド１４ｃと
ロッド１５ｃとは連結部材４０によって連結されてい
る。又、ロッド１４ｃは、ワークＷを吊下支持できるよ
うになっている。

【００７５】エアシリンダ１４の第１の駆動圧力室１６
ａは消音器Ｓと連通し、第２の駆動圧力室１６ｂには給
排通路４１が接続されている。又、給排通路４１は、パ
イロット式の減圧弁４２を介してエア供給源Ｐに接続さ
れている。エア供給源Ｐにはパイロット通路４３の上流
端が接続され、パイロット通路４３の下流側は二つの経
路４３ａ，４３ｂに分岐されている。経路４３ａは前記
減圧弁４２の図示しないパイロット室に接続されてい
る。そして、減圧弁４２は、給排通路４１内及び第２の
駆動圧力室１６ｂ内の気圧がパイロット室内の気圧、即
ち経路４３ａ内の気圧と等しくなるように、給排通路４
１に対してエアを給排するようになっている。

【００７６】前記パイロット通路４３において、経路４
３ａ，４３ｂよりも上流側には第１の開閉弁４４が設け
られ、経路４３ｂには第２の開閉弁４５が設けられてい
る。又、従動シリンダ１５の両従動圧力室１７ａ，１７
ｂを連通する流通経路１８には、開閉路手段としての第
３の開閉弁４６が設けられている。そして、本実施形態
では、前記減圧弁４２、各開閉弁４４，４５及びコント
ローラ２０によって移動制御手段及び駆動流体給排手段
が構成されている。

【００７７】前記各開閉弁４４〜４６は２位置２ポート
型の電磁切換弁であって、電磁ソレノイド４７の消磁状
態においてはバネ４８の付勢力によりホームポジション
であるＡ位置に保持される。各開閉弁４４〜４６はＡ位
置に切り換えられると、それぞれパイロット通路４３、
経路４３ｂ及び流通経路１８を遮断するようになってい
る。又、電磁ソレノイド４７を励磁すると、各開閉弁４
４〜４６はＢ位置に切り換えられる。各開閉弁４４〜４
６はＢ位置に切り換えられると、それぞれパイロット通
路４３、経路４３ｂ及び流通経路１８を連通するように
なっている。

【００７８】従って、第１の開閉弁４４をＢ位置に切り
換えるとともに第２の開閉弁４５をＡ位置に切り換える
と、エア供給源Ｐからパイロット通路４３の経路４３ａ
にエアが供給され、経路４３ａ内の気圧が高くなる。
又、第１の開閉弁４４をＡ位置に切り換えるとともに第
２の開閉弁４５をＢ位置に切り換えると、経路４３ａ内
のエアが経路４３ｂを通って排出され、経路４３ａ内の
気圧が低くなる。

【００７９】次に、上記エアシリンダの駆動制御装置１
１の電気的構成を説明する。前記第１〜第３の開閉弁４
４〜４６は、コントローラ２０の出力側に接続されてい
る。エアシリンダ１４の駆動時においては、コントロー
ラ２０は第３の開閉弁４６をＢ位置に切り換えて流通経
路１８を連通させる。又、コントローラ２０は差圧検出
装置２１からの電圧Ｖ１と、目標差圧設定装置２２から
の基準電圧Ｖref1とを入力し、電圧Ｖ１が基準電圧Ｖre
f1と同じ値となるように第１及び第２の開閉弁４４，４
５を駆動制御する。

【００８０】即ち、コントローラ２０は、前記両開閉弁
４４，４５を駆動制御してパイロット通路４３における
経路４３ａ内の気圧を変更し、減圧弁４２によって給排
通路４１内及び第２の駆動圧力室１６ｂ内の気圧を適宜
変更させる。すると、駆動ピストン１４ｂ及び従動ピス
トン１５ｂが適宜移動され、従動ピストン１５ｂの移動
により発生する両従動圧力室１７ａ，１７ｂ間の差圧
が、目標差圧設定装置２２によって設定された目標差圧
と同じ値にされる。その結果、前記電圧Ｖ１が基準電圧
Ｖref1と同じ値になり、駆動ピストン１４ｂが目標差圧
に対応する目標移動速度にされるようになっている。

【００８１】又、駆動ピストン１４ｂ及び従動ピストン
１５ｂの移動中に両ピストン１４ｂ，１５ｂを停止させ
る場合、コントローラ２０は第３の開閉弁４６をＡ位置
に切り換える。すると、流通経路１８が遮断されて作動
油が両従動圧力室１７ａ，１７ｂ間を行き来できなくな
るため、従動ピストン１５ｂは第３の開閉弁４６がＡ位
置に切り換えられた時の位置に停止される。そして、従
動ピストン１５ｂの移動停止に伴って駆動ピストン１４
ｂの移動も停止されるようになっている。

【００８２】次に、上記のように構成されたエアシリン
ダの駆動制御装置１１の作用を説明する。エアシリンダ
１４のロッド１４ｃに吊下支持されたワークＷの移動
は、第２の駆動圧力室１６ｂ内の気圧を適宜変更して駆
動ピストン１４ｂを移動させることによって行われる。
そして、駆動ピストン１４ｂの移動に伴って従動ピスト
ン１５ｂが移動されると、両従動圧力室１７ａ，１７ｂ
間に差圧が発生し、その差圧は差圧検出装置２１によっ
て検出される。差圧検出装置２１は、検出した差圧に対
応する電圧Ｖ１をコントローラ２０へ出力する。

【００８３】駆動ピストン１４ｂを目標移動速度にする
には、目標差圧設定装置２２によって前記目標移動速度
に対応する目標差圧を設定する。目標差圧設定装置２２
は、設定された目標差圧に対応する基準電圧Ｖref1をコ
ントローラ２０へ出力する。コントローラ２０は、差圧
設定装置２１からの電圧Ｖ１が、目標差圧設定装置２２
からの基準電圧Ｖref1と同じ値になるように第１及び第
２の開閉弁４４，４５を駆動制御する。即ち、コントロ
ーラ２０は、パイロット通路４３におけるの経路４３ａ
内の気圧を変更し、減圧弁４２によって給排通路４１内
及び第２の駆動圧力室１６ｂ内の気圧を適宜変更させ
る。すると、駆動ピストン１４ｂ及び従動ピストン１５
ｂが適宜移動され、両従動圧力室１７ａ，１７ｂ間の差
圧が目標差圧と同じ値にされる。その結果、前記電圧Ｖ
１が基準電圧Ｖref1と同じ値になり、駆動ピストン１４
ｂが目標差圧に対応する目標移動速度にされる。

【００８４】又、目標差圧設定装置２２によって目標差
圧を零に設定すると、目標差圧設定装置２２が出力する
基準電圧Ｖref1が零になり、コントローラ２０は電圧Ｖ
１が零となるように第１及び第２の開閉弁４４，４５を
駆動制御する。即ち、コントローラ２０は、上記と同様
に給排通路４１内及び第２の駆動圧力室１６ｂ内の気圧
を適宜の値にして両ピストン１４ｂ，１５ｂを移動制御
し、両従動圧力室１７ａ，１７ｂ間の差圧を零にする。
両従動圧力室１７ａ，１７ｂ間の差圧が零になると、コ
ントローラ２０が入力する電圧Ｖ１は零になる。電圧Ｖ
１が零になった状態では、駆動ピストン１４ｂに働く第
２の駆動圧力室１６ｂ内のエア圧力が、駆動ピストン１
４ｂに働く重力荷重と釣り合い、両ピストン１４ｂ，１
５ｂが停止した状態に保持される。

【００８５】この状態で、ワークＷをエアシリンダ１４
のロッド１４ｃから取り外すと、駆動ピストン１４ｂに
働く重力荷重がワークＷの分だけ小さくなるため、その
重力荷重よりも第２の駆動圧力室１６ｂ内のエア圧力の
方が大きくなる。その結果、駆動ピストン１４ｂに働く
エア圧力と重力荷重とが釣り合わなくなり、駆動ピスト
ン１４ｂは図３の上方へ向かって急速に移動しようとす
る。この場合、コントローラ２０は、第２の駆動圧力室
１６ｂ内を減圧して駆動ピストン１４ｂに働くエア圧力
と重力荷重との釣り合いをとり、両従動圧力室１７ａ，
１７ｂ間の差圧を零にして電圧Ｖ１が零となるようにす
る。従って、駆動ピストン１４ｂに働くエア圧力と重力
荷重が釣り合っている時にワークＷをロッド１４ｃから
取り外しても、両ピストン１４ｂ，１５ｂは停止した状
態に保持される。

【００８６】両ピストン１４ｂ，１５ｂの移動中におい
て、その移動を停止させる場合、コントローラ２０は第
３の開閉弁４６をＡ位置に切り換えて流通経路１８を遮
断し、作動油が両従動圧力室１７ａ，１７ｂ間を行き来
できないようにする。すると、移動中の従動ピストン１
５ｂは、その移動方向側における従動圧力室１７ａ，１
７ｂ内の作動油を前記移動方向へ押し付ける。作動油は
従動ピストン１５ｂが押し付けられても体積変化しない
ため、従動ピストン１５ｂは第３の開閉弁４６がＡ位置
に切り換えられた時の位置でずれることなく停止され
る。そして、従動ピストン１５ｂの移動が停止される
と、駆動ピストン１４ｂも従動ピストン１５ｂと同期し
て停止される。

【００８７】以上詳述したように本実施形態では、第１
実施形態の効果に加え、目標差圧設定装置２２により目
標差圧を零に設定すれば、ワークＷを所定の高さ位置に
保持することができる。又、その状態でワークＷをエア
シリンダ１４のロッド１４ｃから取り外しても、両ピス
トン１４ｂ，１５ｂは停止した状態に保持される。従っ
て、ワークＷをロッド１４ｃから取り外した時、両ピス
トン１４ｂ，１５ｂが両シリンダチューブ１４ａ，１５
ａの上端部へ急速に移動して衝突するのを防止すること
ができる。

【００８８】又、本実施形態では、第２の開閉弁４６を
Ａ位置に切り換えると、移動中の従動ピストン１５ｂが
第３の開閉弁４６がＡ位置に切り換えられた時の位置で
ずれることなく停止される。そのため、両ピストン１４
ｂ，１５ｂの停止予定位置に両ピストン１４ｂ，１５ｂ
が位置した時、第３の開閉弁４６をＡ位置に切り換えれ
ば、両ピストン１４ｂ，１５ｂを正確且つ確実に停止予
定位置に停止させることができる。従って、駆動ピスト
ン１４ｂを駆動シリンダチューブ１４ａの両端以外の所
望の箇所で正確且つ確実に停止させることができる。

【００８９】更に、本実施形態では、目標差圧を零に設
定しておけば、重量の異なる複数種のワークＷをそれぞ
れロッド１４ｃに取り付けた場合においても、前記各ワ
ークＷをそれぞれ所定の高さ位置にバランスさせて保持
することができる。従って、重量の異なる複数種のワー
クＷを、所定の高さ位置にバランスさせて保持するため
の面倒な設定作業を省略することができる。

【００９０】（第４実施形態）次に、本発明の第４実施
形態を図４に従って説明する。尚、本実施形態において
上記第１〜第３実施形態と同一部分については、第１〜
第３実施形態と同一符合を付して詳細な説明を省略す
る。

【００９１】図４に示すように、本実施形態のエアシリ
ンダ１４は、駆動シリンダチューブ１４ａと従動シリン
ダチューブ１５ａとを備え、両シリンダチューブ１４
ａ，１５ｂは同軸上に配置されている。両シリンダチュ
ーブ１４ａ，１５ａ間にはミドルブラケット５０が設け
られ、ミドルブラケット５０は両シリンダチューブ１４
ａ，１５ａの対向する開口部に嵌め込まれている。又、
駆動シリンダチューブ１４ａの従動シリンダチューブ１
５ａと反対側の開口部にはエンドブラケット５１が嵌め
込まれている。更に、従動シリンダチューブ１５ａの駆
動シリンダチューブ１４ａと反対側の開口部にはエンド
ブラケット５２が嵌め込まれている。

【００９２】駆動シリンダチューブ１４ａ内に設けられ
た駆動ピストン１４ｂからは、ロッド１４ｃが従動シリ
ンダチューブ１５ｂと反対側へ向かって延び、ロッド１
４ｃはエンドブラケット５１を貫通している。そして、
駆動ピストン１４ｂ及びロッド１４ｃには、駆動ピスト
ン１４ｂから駆動シリンダチューブ１４ａの軸線方向へ
ロッド１４ｃの先端部まで延びる圧力穴５３が形成され
ている。この圧力穴５３の内部は移動圧力室５３ａとな
っている。

【００９３】前記ミドルブラケット５０には、駆動ピス
トン１４ｂへ向かって突出する流通管５４が設けられて
いる。流通管５４は駆動シリンダチューブ１４ａの軸線
方向へ延び、駆動ピストン１４ｂ及びロッド１４ｃの圧
力穴５３に嵌め込まれている。流通管５４の先端部は、
圧力穴５３内のエンドブラケット５１に対応する位置に
位置している。又、流通管５４の内部は流通経路１８と
なっており、流通経路１８は移動圧力室５３ａと従動シ
リンダチューブ１５ａ内に形成された第２の従動圧力室
１７ｂとを連通している。そして、移動圧力室５３ａ、
流通経路１８及び第２の従動圧力室１７ｂ内には作動油
が充満されている。尚、本実施形態では、前記従動シリ
ンダチューブ１５ａ，従動ピストン１５ｂ、第２の従動
圧力室１７ｂ及び移動圧力室５３ａによって従動流体流
通手段が構成されている。

【００９４】そして、駆動ピストン１４ｃが移動した場
合には、流通管５４が圧力穴５３に嵌め込まれた状態で
同圧力穴５３に対して相対的に進退され、移動圧力室５
３ａと第２の従動圧力室１７ｂとが流通経路１８によっ
て常に連通状態に保持されるようになっている。

【００９５】駆動ピストン１４ｂがロッド１４ｃを伸長
させる方向へ移動すると、その移動に伴って移動圧力室
５３ａも移動して移動圧力室５３ａの容積が大きくな
る。その結果、移動圧力室５３ａ内が第２の従動圧力室
１７ｂ内よりも低圧になり、移動圧力室５３ａと第２の
従動圧力室１７ｂとの間に、駆動ピストン１４ｂの移動
速度に対応した差圧が発生する。その差圧によって第２
の従動圧力室１７ｂ内の作動油が流通経路１８を通って
移動圧力室５３ａへ流れ、従動ピストン１５ｂが駆動ピ
ストン１４ｂと同期して駆動シリンダチューブ１４ａ側
へ向かって移動する。そして、ロッド１４ｃが最も伸長
した時には、従動ピストン１５ｂが従動シリンダチュー
ブ１５ａにおける駆動シリンダチューブ１４ａ側の端部
に位置するようになっている。

【００９６】駆動ピストン１４ｂがロッド１４ｃを収縮
させる方向へ移動すると、その移動に伴って移動圧力室
５３ａも移動して移動圧力室５３ａの容積が小さくな
る。その結果、移動圧力室５３ａ内が第２の従動圧力室
１７ｂ内よりも高圧になり、移動圧力室５３ａと第２の
従動圧力室１７ｂとの間に、駆動ピストン１４ｂの移動
速度に対応した差圧が発生する。その差圧によって移動
圧力室５３ａ内の作動油が流通経路１８を通って第２の
従動圧力室１７ｂへ流れ、従動ピストン１５ｂが駆動ピ
ストン１４ｂと同期して駆動シリンダチューブ１４ａと
反対側へ向かって移動する。そして、ロッド１４ｃが最
も収縮した時には、従動ピストン１５ｂが従動シリンダ
チューブ１５ａの駆動シリンダチューブ１４ａと反対側
の端部に位置するようになっている。

【００９７】次に、上記エアシリンダの駆動制御装置１
１の電気的構成を説明する。エアシリンダの駆動制御装
置１１には、差圧検出装置２１と第１の目標差圧設定手
段としての目標差圧設定装置５５とが設けられ、差圧検
出装置２１及び目標差圧設定装置５５はコントローラ２
０の入力側に接続されている。

【００９８】差圧設定装置２１は流通経路１８における
異なる二位置間の差圧、即ち、移動圧力室５３ａと第２
の従動圧力室１７ｂとの間の差圧を検出し、その検出し
た差圧に対応する電圧Ｖ１をコントローラ２０へ出力す
るようになっている。

【００９９】目標差圧設定装置５５は従動ピストン１５
ｂに設けられた第１の移動部材としての磁石５６を備え
ている。そして、目標差圧設定装置５５は磁石５６の磁
気に基づいて従動ピストン１５ｂの位置を検出し、その
検出した従動ピストン１５ｂの位置に対応して駆動ピス
トン１４ａの目標移動速度を設定する。更に、目標差圧
設定装置５５は前記目標移動速度に対応した目標差圧を
設定し、その目標差圧に対応する基準値Ｖref1をコント
ローラ２０へ出力するようになっている。

【０１００】即ち、目標差圧設定装置５５は、従動ピス
トン１５ｂが従動シリンダチューブ１５ａの長手方向中
央に位置した時にコントローラ２０へ出力する基準値Ｖ
ref1を最大にする。尚、この最大基準値Ｖref1は作業者
が適宜変更できるようになっている。又、目標差圧設定
装置５５は、従動ピストン１５ｂが従動シリンダチュー
ブ１５ａの両端へ向かうほどコントローラ２０へ出力す
る基準値Ｖref1を零に近くする。更に、目標差圧設定装
置５５は、従動ピストン１５ｂが従動シリンダチューブ
１５ａの両端に位置した時にコントローラ２０へ出力す
る基準値Ｖref1を零にする。

【０１０１】次に、上記のように構成されたエアシリン
ダの駆動制御装置１１の作用を説明する。エア供給源Ｐ
から方向切換弁１２と第１又は第２の給排通路１３ａ，
１３ｂとを介して第１又は第２の駆動圧力室１６ａ，１
６ｂへエアを供給すると、駆動ピストン１４ｂが移動さ
れる。駆動ピストン１４ｂが移動されると、流通管５４
が圧力穴５３に嵌め込まれた状態で同圧力穴５３に対し
て相対的に進退される。又、駆動ピストン１４ｂが移動
されると、その移動に伴って移動圧力室５３ａも移動し
て移動圧力室５３ａの容積が変化する。

【０１０２】その結果、移動圧力室５３ａ内が第２の従
動圧力室１７ｂよりも高圧又低圧になり、移動圧力室５
３ａと第２の従動圧力室１７ｂとの間に、駆動ピストン
１４ｂの移動速度に対応した差圧が発生する。その差圧
によって作動油が流通経路１８を通って移動圧力室５３
ａと第２の従動圧力室１７ｂとの間を流れ、従動ピスト
ン１５ｂが駆動ピストン１４ｂと同方向へ移動する。

【０１０３】差圧検出装置２１は移動圧力室５３ａと第
２の従動圧力室１７ｂ間の差圧を検出し、その検出した
差圧に対応する電圧Ｖ１をコントローラ２０へ出力す
る。又、目標差圧設定装置５５は、駆動ピストン１４ｂ
と同期して移動する従動ピストン１５ｂに設けられた磁
石５６の磁気に基づいて従動ピストン１５ｂの位置を検
出する。そして、目標差圧設定装置５５は従動ピストン
１５ｂの位置に対応して駆動ピストン１４ａの目標移動
速度を設定する。更に、目標差圧設定装置５５は前記目
標移動速度に対応した目標差圧を設定し、その目標差圧
に対応する基準値Ｖref1をコントローラ２０へ出力す
る。

【０１０４】コントローラ２０は第１又は第２の駆動圧
力室１６ａ，１６ｂに所定量のエアを適宜供給し、移動
圧力室５３ａと第２の従動圧力室１７ｂとの間の差圧が
目標差圧と同じ値になるように駆動ピストン１４ｂの移
動速度を適宜変更させる。そして、移動圧力室５３ａと
第２の従動圧力室１７ｂとの間の差圧が目標差圧と同じ
値になると、電圧Ｖ１が基準値Ｖref1と同じ値になる。
その結果、駆動ピストン１４ｂの移動速度が目標移動速
度と同じ値になり、駆動ピストン１４ｂが目標移動速度
にされる。

【０１０５】又、目標差圧設定装置５５がコントローラ
２０へ出力する基準電圧Ｖref1は、従動ピストン１５ｂ
が従動シリンダチューブ１５ａの長手方向中央に位置し
た時に最大となる。更に、従動ピストン１５ｂがシリン
ダチューブ１５ａの両端へ向かうほど基準電圧Ｖref1が
零に近くなり、従動ピストン１５ｂがシリンダチューブ
１５ａの両端に位置すると、基準電圧Ｖref1が零にな
る。

【０１０６】即ち、目標差圧設定装置５５によって設定
された駆動ピストン１４ｂの目標移動速度に対応する目
標差圧は、従動ピストン１５ｂが従動シリンダチューブ
１５ａの長手方向中央に位置した時に最大となる。更
に、従動ピストン１５ｂがシリンダチューブ１５ａの両
端へ向かうほど前記目標差圧は零に近くなり、従動ピス
トン１５ｂがシリンダチューブ１５ａの両端に位置する
と前記目標差圧は零になる。

【０１０７】従って、駆動ピストン１４ｂの移動速度
は、駆動ピストン１４ｂが駆動シリンダチューブ１４ｂ
の端部に近づくほど遅くなる。更に、駆動ピストン１４
ｂが駆動シリンダチューブ１４ｂの両端部に位置する
と、駆動ピストン１４ｂの移動速度は零になる。そのた
め、駆動シリンダチューブ１４ａの両端部において、駆
動ピストン１４ｂは衝突することなく停止される。

【０１０８】以上詳述したように本実施形態では、第１
及び第２実施形態の効果に加え、駆動ピストン１４ｂの
移動に伴って移動圧力室５３ａを移動させ、その移動に
より移動圧力室５３ａの容積を変化させるようにした。
そして、移動圧力室５３ａの容積変化によって、移動圧
力室５３ａ内が第２の従動圧力室１７ｂ内よりも高圧又
は低圧になるようにした。そのため、移動圧力室５３ａ
と第２の従動圧力室１７ｂとの間に、駆動ピストン１４
ｂの移動速度に対応した差圧を確実に発生させることが
できる。

【０１０９】又、本実施形態では、駆動ピストン１４ｂ
が移動した時、流通管５４が圧力穴５３に嵌め込まれた
状態で同圧力穴５３に対して相対的に進退されるように
した。従って、駆動ピストン１４ｂの移動に伴って移動
圧力室５３ａが移動しても、移動圧力室５３ａと第２の
従動圧力室１７ｂとを流通経路１８によって確実に連通
状態に保持することができる。

【０１１０】更に、本実施形態では、駆動ピストン１４
ｂと同期して移動する従動ピストン１５ｂの位置に基づ
いて目標差圧が設定される。そのため、駆動ピストン１
４ｂが駆動シリンダチューブ１４ａの両端部へ向かうに
つれて目標差圧を零に近くなるように設定することが容
易になる。

【０１１１】又、駆動ピストン１４ｂが駆動シリンダチ
ューブ１４ａの両端部に位置した時に目標差圧が零にな
るため、駆動ピストン１４ｂを駆動シリンダチューブ１
４ａの両端部に衝突させることなく停止させることがで
きる。

【０１１２】尚、本発明は、例えば以下のように変更し
て具体化することもできる。 （１）第１実施形態では、第１又は第２の駆動圧力室１
６ａ，１６ｂへ所定量のエアを適宜供給することによ
り、両ピストン１４ｂ，１５ｂの移動速度を変更して電
圧Ｖ１が基準電圧Ｖref1と同じ値となるようにしたが、
本発明はこれに限定されない。即ち、流通経路１８に絞
り量を変更可能な絞り弁１９を設け、この絞り弁１９を
コントローラ２０の出力側に接続する。そして、エア供
給源Ｐから第１又は第２の駆動圧力室１６ａ，１６ｂへ
供給されるエアの量を常に一定にする。

【０１１３】この場合、コントローラ２０が絞り弁１９
の絞り量を変更すると、その絞り量に基づいて両従動圧
力室１７ａ，１７ｂ間の差圧が変更されるとともに、両
ピストン１４ｂ，１５ｂの移動速度が変更される。そし
て、コントローラ２０は、両従動圧力室１７ａ，１７ｂ
間の差圧が目標差圧と同じ値となるように絞り弁１９の
絞り量を変更して両ピストンの移動速度を変更し、両ピ
ストン１４ｂ，１５ｂを前記目標差圧に対応する目標移
動速度にする。

【０１１４】従って、この場合には、絞り弁１９及びコ
ントローラ２０によって移動制御手段及び流通抵抗可変
手段が構成される。このように構成すれば、両駆動圧力
室１６ａ，１６ｂへのエア供給量を常に一定にした場合
でも、電圧Ｖ１が基準電圧Ｖref1と同じ値になるように
両ピストン１４ａ，１４ｂを移動させることができる。
尚、第２及び第３実施形態において、絞り弁１９を上記
のように構成してもよい。更に、第４実施例において、
流通経路１８に上記絞り弁１９を設け、上記と同様に絞
り弁１９の絞り量を変化させることにより、駆動ピスト
ン１４ｂの移動速度を変更してもよい。

【０１１５】（２）第１実施形態では、目標差圧設定装
置２２によって設定される目標差圧を変更できるように
したが、目標差圧を変更できないように設定する目標差
圧設定装置２２を設けてもよい。即ち、目標差圧設定装
置２２のブラシ２４を抵抗器２３に対して固定し、目標
差圧設定装置２２が出力する基準電圧Ｖref1が常に一定
の値となるようにしてもよい。この場合、ブラシ２４が
抵抗器２３に沿って移動するようにしなくてもよいた
め、目標差圧設定装置２２の構成を簡略化することがで
きる。

【０１１６】（３）第２実施形態では、第１の目標差圧
設定装置３１のブラシ３１ｂを従動シリンダ１５のロッ
ド１５ｃに連結し、従動ピストン１５ｂが第２の従動圧
力室１７ｂ側の移動端へ向かうほど基準電圧Ｖref1が零
に近くなるようにしたが、本発明はこれに限定されな
い。即ち、手動によってブラシ３１ｂを抵抗器３１ａに
沿って移動させ、従動ピストン１５ｂが第２の従動圧力
室１７ｂ側の移動端へ向かうほど基準電圧Ｖref1が零に
近くなるようにしてもよい。このように構成しても第２
実施形態と同様の効果がある。

【０１１７】（４）第２実施形態において、従動ピスト
ン１５ｂが第２の従動圧力室１７ｂ側の移動端へ向かう
ほど基準電圧Ｖref1が零に近くなるようにするならば、
従動ピストン１５ｂが前記移動端に位置した時に基準電
圧Ｖref1が零にならなくてもよい。この場合でも、駆動
ピストン１４ｂ及び従動ピストン１５ｂが、その移動端
に位置した時の衝撃を小さくすることができる。

【０１１８】（５）第２実施形態において、スイッチ３
３を省略し、第１又は第２の目標差圧設定装置３１，３
２を直接コントローラ２０の入力側に接続してもよい。
この場合、エアシリンダの駆動制御装置１１の構成を簡
略化することができる。

【０１１９】（６）第２実施形態において、エアシリン
ダ１４に両駆動圧力室１６ａ，１６ｂを貫通する一対の
ロッド１４ｃを設け、その一対のロッド１４ｃと対向す
るように一対の従動シリンダ１５を設けてもよい。この
場合、駆動ピストン１４ｂが第１の駆動圧力室１６ａ側
の移動端へ向かって移動する場合においても、駆動ピス
トン１４ｂを衝突させることなく前記移動端に停止させ
ることができる。

【０１２０】（７）第２実施形態において、スプリング
３０を第２の従動圧力室１７ｂではなく第１の従動圧力
室１７ａに設けてもよい。この場合も第２実施形態と同
様に、ロッド１４ｃを収縮させる方向へ駆動ピストン１
４ｂが移動された時、従動ピストン１５ｂをスプリング
３０の弾性力によって駆動ピストン１４ｂと同期して移
動させることができる。

【０１２１】（８）第３実施形態において、両シリンダ
１４，１５のロッド１４ｃ，１５ｃを上方へ向かって突
出するように設け、第２の駆動圧力室１６ｂに給排通路
４１を接続する。そして、ロッド１４ｃの上にワークＷ
を取り付けて支持する。この場合、ワークＷが所定の高
さ位置に保持されている状態で、そのワークＷをロッド
１４ｃから取り外しても、両ピストン１４ｂ，１５ｂは
停止した状態に保持される。従って、ワークＷをロッド
１４ｃから取り外した時、両ピストン１４ｂ，１５ｂが
両シリンダチューブ１４ａ，１５ａの上端部へ急速に移
動して、両ロッド１４ｃ，１５ｃが飛び出してしまうの
を防止することができる。

【０１２２】（９）第４実施形態において、駆動ピスト
ン１４ｂが駆動シリンダチューブ１４ａの両端部へ向か
うほど基準電圧Ｖref1が零に近くなるようにするなら
ば、駆動ピストン１４ｂが前記両端部に位置した時に基
準電圧Ｖref1が零にならなくてもよい。この場合でも、
駆動ピストン１４ｂが駆動シリンダチューブ１４ａの両
端部に位置した時の衝撃を小さくすることができる。

【０１２３】（１０）第１〜第３実施形態において、絞
り弁１９を省略し、流通経路１８や第３の開閉弁４６等
の流通抵抗によって従動ピストン１５ｂが移動した時に
両従動圧力室１７ａ，１７ｂ間に差圧を発生させるよう
にしてもよい。この場合、エアシリンダの駆動制御装置
１１の構成を簡略化することができる。

【０１２４】（１１）第１及び第４実施形態において、
流通経路１８に第３の開閉弁４６を設け、その第３の開
閉弁４６によって流通経路１８を連通又は遮断するよう
にしてもよい。この場合、第３の開閉弁４６によって流
通経路１８を遮断することにより、その時の位置に駆動
ピストン１４ｂを停止させることができる。

【０１２５】（１２）上記各実施形態では、駆動流体と
してエアを例示したが、エアに代えて作動油等の液体や
ヘリウムガス等の気体を駆動流体として使用してもよ
い。 （１３）上記各実施形態において、作動油以外の流体を
従動流体として使用してもよい。この場合、圧縮による
体積変化が微小である流体が望ましい。

【０１２６】（１４）上記各実施形態において、移動制
御手段及び駆動流体給排手段は、他の既に公知である圧
力比例制御弁、流量比例制御弁及び開閉弁等により構成
であってもよい。

【０１２７】次に、以上の実施形態から把握することが
できる請求項以外の技術的思想を、その効果とともに以
下に記載する。請求項１０記載のシリンダの駆動制御手
段において、目標差圧設定手段は、第１の目標差圧設定
手段と、手動により移動される第２の移動部材（ブラシ
３２ｂ）を備えた第２の目標差圧設定手段（第２の目標
差圧設定装置３２）とから構成され、第１の切換位置と
第２の切変位置との間を切換移動する切変部材（切換片
３４）を設け、移動制御手段は切変部材が第１の切換位
置に位置した時、差圧検出手段からの検出値が第１の目
標差圧設定手段からの基準値と同じ値になるように駆動
ピストンを移動させ、切変部材が第２の切換位置に位置
した時、差圧検出手段からの検出値が第２の目標差圧設
定手段からの基準値と同じ値になるように駆動ピストン
を移動させるものであるシリンダの駆動制御装置。この
場合、駆動ピストンを正確に所定の速度にすることがで
き、駆動ピストンがその移動範囲の端部に向かうほど目
標差圧を零に近くなるように容易に設定することができ
る。

【０１２８】

【発明の効果】請求項１記載の発明では、駆動ピストン
の移動に伴って流通経路の異なる二位置間に差圧を発生
させ、その差圧を差圧検出手段によって検出した。更
に、駆動ピストンの目標差圧に対応した基準値を目標差
圧設定手段から出力するようにした。そして、差圧設定
手段からの検出値が目標差圧設定手段からの基準値と同
じ値となるように駆動ピストンを移動させることによ
り、駆動ピストンの移動速度が目標移動速度と同じ値に
なるようにした。従って、駆動ピストンの移動速度を所
定の値に制御することができる。

【０１２９】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明の効果に加え、駆動ピストンと同期して従動ピスト
ンが移動されると、駆動ピストンの移動方向側における
従動圧力室内が、駆動ピストンの移動方向と反対側の従
動圧力室内よりも高圧になる。従って、二つの従動圧力
室間には、確実に駆動ピストンの移動に伴って差圧を発
生させることができる。

【０１３０】請求項３記載の発明では、請求項１記載の
発明の効果に加え、駆動ピストンの移動に伴って移動圧
力室が移動すると、移動圧力室内が従動圧力室内よりも
高圧又は低圧になる。従って、移動圧力室と従動圧力室
との間には、確実に駆動ピストンの移動に伴って差圧を
発生させることができる。

【０１３１】請求項４記載の発明では、請求項３記載の
発明の効果に加え、駆動ピストンが移動しても流通管は
圧力穴に嵌め込まれた状態に保持されるため、移動圧力
室と流通経路とを確実に連通状態に保持することができ
る。

【０１３２】請求項５記載の発明では、請求項１〜４の
いずれかに記載の発明の効果に加え、駆動ピストンは、
駆動流体給排手段が駆動圧力室に対し駆動流体を給排す
ることによって移動される。そのため、差圧検出手段か
ら出力された検出値が目標差圧設定手段から出力された
基準値と同じ値になるように、駆動ピストンを容易に移
動させることができる。

【０１３３】請求項６記載の発明では、請求項１〜４の
いずれかに記載の発明の効果に加え、流通抵抗可変手段
が流通抵抗を変更することによって、駆動ピストンの移
動速度が変更される。そして、流通抵抗可変手段が従動
流体の流通抵抗を変更することにより、差圧検出手段か
ら出力された検出値が目標差圧設定手段から出力された
基準値と同じ値になるように駆動ピストンが移動され
る。従って、駆動圧力室に対する駆動流体の給排量を常
に一定にした場合でも、駆動ピストンを差圧検出手段か
ら出力された検出値が目標差圧設定手段から出力された
基準値と同じ値になるように確実に移動させることがで
きる。

【０１３４】請求項７記載の発明では、請求項１〜６の
いずれかに記載の発明の効果に加え、駆動ピストンの停
止時に流通経路内の従動流体が圧縮又は膨張されること
はない。そのため、開閉路手段で流通経路を遮断するこ
とにより、従動ピストンと同期して移動する駆動ピスト
ンを所望の位置に正確且つ確実に停止させることができ
る。従って、駆動ピストンを駆動シリンダチューブの両
端部以外の所望の箇所で正確且つ確実に停止させること
ができる。

【０１３５】請求項８記載の発明では、請求項１〜７の
いずれかに記載の発明の効果に加え、目標差圧設定手段
によって設定される目標差圧を適宜変更することができ
るため、駆動ピストンの移動速度を正確に所定の値に変
更することができる。

【０１３６】請求項９記載の発明では、請求項８記載の
発明の効果に加え、駆動ピストンはその移動範囲の端部
へ向かうほど移動速度が遅くなるように移動される。そ
のため、ショックアブソーバ等を設けなくても、駆動ピ
ストンがその移動範囲の端部に位置した時の衝撃を小さ
くすることができる。

【０１３７】請求項１０記載の発明では、請求項９記載
の発明の効果に加え、第１の目標差圧設定手段は、駆動
ピストンと同期して移動する第１の移動部材の移動に基
づいて目標差圧を設定する。従って、駆動ピストンがそ
の移動範囲の端部に向かうほど、目標差圧を零に近くな
るように設定することが容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態におけるエアシリンダの駆動制御
装置を示す概略図。

【図２】第２実施形態におけるエアシリンダの駆動制御
装置を示す概略図。

【図３】第３実施形態におけるエアシリンダの駆動制御
装置を示す概略図。

【図４】第４実施形態におけるエアシリンダの駆動制御
装置を示す概略図。

【図５】従来のエアシリンダの駆動制御装置を示す概略
図。

【符号の説明】

１１…エアシリンダの駆動制御装置、１２…移動制御手
段及び駆動流体給排手段としての方向切換弁、１４ａ…
駆動シリンダチューブ、１４ｂ…駆動ピストン、１５ａ
…従動流体流通手段としての従動シリンダチューブ、１
５ｂ…従動流体流通手段としての従動ピストン、１６ａ
…第１の駆動圧力室、１６ｂ…第２の駆動圧力室、１７
ａ…従動流体流通手段としての第１の従動圧力室、１７
ｂ…従動流体流通手段としての第２の従動圧力室、１８
…流通経路、１９…移動制御手段及び流通抵抗可変手段
としての絞り弁、２０…移動制御手段、駆動流体給排手
段及び流通抵抗可変手段としてのコントローラ、２１…
差圧検出手段としての差圧検出装置、２２，３１，３２
…目標差圧設定手段としての目標差圧設定装置，第１及
び第２の目標差圧設定装置、３１ｂ…第１の移動部材と
してのブラシ、４２…移動制御手段及び駆動流体給排手
段としての減圧弁、４４，４５…移動制御手段及び駆動
流体給排手段としての第１及び第２の開閉弁、４６…開
閉路手段としての第３の開閉弁、５３…圧力穴、５３ａ
…従動流体流通手段としての移動圧力室、５４…流通
管、５５…第１の目標圧設定手段としての目標差圧設定
装置、５６…第１の移動部材としての磁石。

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 駆動シリンダチューブ（１４ａ）内に駆
   動ピストン（１４ｂ）を設け、前記駆動ピストン（１４
   ｂ）と駆動シリンダチューブ（１４ａ）とによって駆動
   圧力室（１６ａ，１６ｂ）を区画形成し、その駆動圧力
   室（１６ａ，１６ｂ）に対し駆動流体を給排することに
   よって前記駆動ピストン（１４ｂ）を駆動シリンダチュ
   ーブ（１４ａ）の軸線方向へ移動させるシリンダの駆動
   制御装置において、 従動流体が充満された流通経路（１８）と、 前記駆動ピストン（１４ｂ）の移動に基づいて従動流体
   を流通経路（１８）に沿って流通させる従動流体流通手
   段（１５ａ，１５ｂ，１７ａ，１７ｂ，５３ａ）と、 前記駆動ピストン（１４ｂ）の移動時に流通経路（１
   ８）内の異なる二位置間に発生する差圧を検出し、その
   検出された差圧に対応した検出値（Ｖ１）を出力する差
   圧検出手段（２１）と、 駆動ピストン（１４ｂ）の目標移動速度に対応する流通
   経路（１８）内の異なる二位置間の目標差圧を設定し、
   その設定された目標差圧に対応した基準値（Ｖref1，Ｖ
   ref2）を出力する目標差圧設定手段（２２，３１，３
   ２，５５）と、 前記差圧検出手段（２１）から出力された検出値（Ｖ
   １）が目標差圧検出手段（２２，３１，３２，５５）か
   ら出力された基準値（Ｖref1，Ｖref2）と同じ値となる
   ように駆動ピストン（１４ｂ）を移動させる移動制御手
   段（１２，１９，２０，４２，４４，４５）とを備えた
   シリンダの駆動制御装置。
2. 【請求項２】 前記従動流体流通手段（１５ａ，１５
   ｂ，１７ａ，１７ｂ，５３ａ）は、 従動流体が充満された従動シリンダチューブ（１５ａ）
   と、 前記従動シリンダチューブ（１５ａ）内に設けられ、駆
   動ピストン（１４ｂ）に対し連結されて駆動ピストン
   （１４ｂ）と同期して従動シリンダチューブ（１５ａ）
   の軸線方向へ移動可能な従動ピストン（１５ｂ）と、 前記従動ピストン（１５ｂ）と従動シリンダチューブ
   （１５ａ）とによって区画形成された二つの従動圧力室
   （１７ａ，１７ｂ）とから構成され、 流通経路（１８）は前記二つの従動圧力室（１７ａ，１
   ７ｂ）を連通するように設けられ、前記従動流体は前記
   流通経路（１８）及び二つの従動圧力室（１７ａ，１７
   ｂ）に充満されている請求項１記載のシリンダの駆動制
   御装置。
3. 【請求項３】 前記従動流体流通手段（１５ａ，１５
   ｂ，１７ａ，１７ｂ，５３ａ）は、 駆動ピストン（１４ｂ）に設けられ、その駆動ピストン
   （１４ｂ）の移動に伴って移動する移動圧力室（５３
   ａ）と、 従動流体が充満された従動シリンダチューブ（１５ａ）
   と、 前記従動シリンダチューブ（１５ａ）内に設けられ、そ
   の従動シリンダチューブ（１５ａ）の軸線方向へ移動可
   能な従動ピストン（１５ｂ）と、 前記従動ピストン（１５ｂ）と従動シリンダチューブ
   （１５ａ）とによって区画形成された従動圧力室（１７
   ｂ）とから構成され、 流通経路（１８）は前記移動圧力室（５３ａ）と従動圧
   力室（１７ｂ）とを連通するように設けられ、前記従動
   流体は前記流通経路（１８）、移動圧力室（５３ａ）及
   び従動圧力室（１７ｂ）内に充満されている請求項１記
   載のシリンダの駆動制御装置。
4. 【請求項４】 前記駆動ピストン（１４ｂ）には駆動シ
   リンダチューブ（１４ｂ）の軸線方向へ延びる圧力穴
   （５３）が形成され、駆動シリンダチューブ（１４ａ）
   内には従動圧力室（１７ｂ）に連通するとともに駆動シ
   リンダチューブ（１４ｂ）の軸線方向へ延びて前記圧力
   穴（５３）に嵌め込まれる流通管（５４）が設けられ、
   移動圧力室（５３ａ）及び流通経路（１８）は前記圧力
   穴（５３）及び流通管（５４）の内部にそれぞれ設けら
   れている請求項３記載のシリンダの駆動制御装置。
5. 【請求項５】 前記移動制御手段（１２，１９，２０，
   ４２，４４，４５）は、駆動圧力室（１６ａ，１６ｂ）
   に対し駆動流体を給排して差圧検出手段（２１）から出
   力された検出値（Ｖ１）が目標差圧設定手段（２２，３
   １，３２，５５）から出力された基準値（Ｖref1，Ｖre
   f2）と同じ値になるように駆動ピストン（１４ｂ）を移
   動させる駆動流体給排手段（１２，２０，４２，４４，
   ４５）である請求項１〜４のいずれかに記載のシリンダ
   の駆動制御装置。
6. 【請求項６】 前記移動制御手段（１２，１９，２０，
   ４２，４４，４５）は、流通経路（１８）における従動
   流体の流通抵抗を変更させて差圧検出手段（２１）から
   出力された検出値（Ｖ１）が目標差圧設定手段（２２，
   ３１，３２，５５）から出力された基準値（Ｖref1，Ｖ
   ref2）と同じ値になるように駆動ピストン（１４ｂ）を
   移動させる流通抵抗可変手段（１９，２０）である請求
   項１〜４のいずれかに記載のシリンダの駆動制御装置。
7. 【請求項７】 前記流通経路（１８）を連通又は遮断可
   能な開閉路手段（４６）を設け、従動流体を液体とした
   請求項１〜６のいずれかに記載のシリンダの駆動制御装
   置。
8. 【請求項８】 前記目標差圧設定手段（２２，３１，３
   ２，５５）は、その目標差圧設定手段（２２，３１，３
   ２，５５）によって設定される目標差圧を適宜変更可能
   であり、その変更された目標差圧に対応した基準値（Ｖ
   ref1，Ｖref2）を出力するものである請求項１〜７のい
   ずれかに記載のシリンダの駆動制御装置。
9. 【請求項９】 前記駆動ピストン（１４ｂ）は駆動シン
   ダチューブ（１４ａ）内の所定移動範囲を移動するもの
   であり、目標差圧設定手段（３１，５５）は駆動ピスト
   ン（１４ｂ）が前記所定移動範囲の端部へ向かうほど目
   標差圧を零に近くなるように設定するものである請求項
   ８記載のシリンダの駆動制御装置。
10. 【請求項１０】 前記目標差圧設定手段（３１，５５）
    は、駆動ピストン（１４ｂ）に対して連結されて駆動ピ
    ストン（１４ｂ）と同期して移動する第１の移動部材
    （３１ｂ，５６）を備えた第１の目標差圧設定手段（３
    １，５５）であり、その第１の目標差圧設定手段（３
    １，５５）は前記第１の移動部材（３１ｂ，５６）の移
    動に基づいて目標差圧を設定するものである請求項９記
    載のシリンダの駆動制御装置。