JPH08193601A - シリンダの制御回路及び制御方法 - Google Patents

シリンダの制御回路及び制御方法

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JPH08193601A
JPH08193601A JP7004330A JP433095A JPH08193601A JP H08193601 A JPH08193601 A JP H08193601A JP 7004330 A JP7004330 A JP 7004330A JP 433095 A JP433095 A JP 433095A JP H08193601 A JPH08193601 A JP H08193601A
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fluid
piston
pipe
control circuit
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Tei Itaya
禎 板屋
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CKD Corp
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    • F15B2211/428—Flow control characterised by the type of actuation actuated by fluid pressure

Abstract

(57)【要約】 【目的】 部品点数が少なくて構成が簡単であるにもか
かわらず、同一方向へのストロークにおいてシリンダ出
力の設定変更を容易に行うことができるシリンダの制御
回路を提供すること。 【構成】 このシリンダ５の制御回路Ｃ1 は、一方のシ
リンダ室Ｒ1 と流体供給源とを接続する第１の主配管１
７と、他方のシリンダ室Ｒ2 と流体供給源とを接続する
第２の主配管１８とを備える。シリンダ本体１２内のピ
ストン１４は、これらの主配管１７，１８を介して供給
される流体圧の作用によって往復動する。両シリンダ室
Ｒ1 ，Ｒ2 間にバイパス管３２を設ける。切換弁として
の２位置２ポート型の電磁弁３３は、バイパス管３２を
連通状態または非連通状態に切り換える。流量調整弁と
しての絞り弁３６は、管内の流体の流れを規制する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シリンダの制御回路及
び制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、アクチュエータ等を動かすた
めの手段として、流体圧を利用したシリンダが知られて
いる。この種のシリンダでは、シリンダ出力（即ちピス
トンの推力や速度）がほぼ一定であることが多い。しか
しながら、用途によってはピストンの推力等を同一のス
トロークにおいて連続的に変更したい場合がある。ここ
で、ピストンの推力等を連続的に変更するための構成を
備えたシリンダシステムの例を紹介する。
【０００３】図８には、第１の従来例のシリンダシステ
ムが示されている。シリンダ６０を構成している等断面
形状のシリンダ本体６１の内部には、ピストン６２が移
動可能に収容されている。このピストン６２は、シリン
ダ本体６１の内部を第１のシリンダ室Ｒ1 と第２のシリ
ンダ室Ｒ2 とに区画している。第１のシリンダ室Ｒ1に
設けられた第１の給排気ポート６３には、第１の主配管
６４が接続されている。第２のシリンダ室Ｒ2 に設けら
れた第２の給排気ポート６５には、第２の主配管６６が
接続されている。両主配管６４，６６は、切換弁として
の２位置５ポート型の電磁弁６７を介して図示しない流
体供給源に接続されている。第１の主配管６４上におい
て電磁弁６７と第１の給排気ポート６３との間には、チ
ェック弁６８が設けられている。また、第２の主配管６
６上において電磁弁６７と第２の給排気ポート６５との
間には、チェック弁６８と絞り弁６９とからなるスピー
ドコントローラ７０が２つ直列に設けられている。第１
の主配管６４上には、チェック弁６８と並列に２本の副
配管７１，７２が接続されている。これらの副配管７
１，７２上には、２位置２ポート型の電磁弁７３及びリ
リーフ弁７４が１つずつ設けられている。なお、これら
のリリーフ弁７４のリリーフ圧は、それぞれ異なる値に
設定されている。
【０００４】このシリンダシステムでは、第１の主配管
６４側からエアを供給した状態で電磁弁７３を所定のタ
イミングで切り換えると、リリーフ圧が変更されて、第
１のシリンダ室Ｒ1 内へ供給されるエアの圧力が変化す
る。その結果、片方のストロークにおいてピストン６２
の推力が２段階に変化し、低出力動作及び高出力動作が
なされるようになっている。
【０００５】図９には、第２の従来例のシリンダシステ
ムが示されている。このシリンダシステムでは、第１の
従来例とは異なり副配管７１，７２、電磁弁７３及びリ
リーフ弁７４が設けられていない。その代わりに、第１
の主配管６４に２つのスピードコントローラ７０が設け
られるとともに、シリンダ７５を構成するシリンダ本体
７６の形状に変更が加えられている。即ち、このシリン
ダ本体７６は等断面形状ではなく、大径部７６ａと少径
部７６ｂとを有した形状となっている。また、大径部７
６ａには第１の給排気ポート６３とは別に小さな排気孔
７７が形成されている。
【０００６】このシリンダシステムにおいて第１の主配
管６４側からエアを供給すると、ストロークの前半（即
ち、ピストン６２が大径部７６ａを移動しているとき）
では、ピストン６２の推力が小さくなる。逆に、ストロ
ークの後半（即ち、ピストン６２が小径部７６ｂを移動
しているとき）では、ピストン６２の推力が大きくな
る。その結果、片方のストロークにおいてピストン６２
の推力が２段階に変化し、低出力動作及び高出力動作が
なされるようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、これらの従
来例には下記のようにいくつかの問題がある。第１の従
来例では、第１の主配管６４と並列に２本の副配管７
１，７２を設ける必要があるため、配管作業が面倒にな
る。また、それらの副配管７１，７２上にそれぞれ電磁
弁７３とリリーフ弁７４とを設ける必要があるため、部
品点数の増加、回路の複雑化、システム全体の大型化等
につながってしまう。さらに、推力等を多段階に変更さ
せたい場合や、両方のストロークにおいてピストン６２
の推力等を変更させたい場合等には、上記の問題がいっ
そう顕著になる。
【０００８】第２の従来例では、配管作業の煩雑さや部
品点数の増加等の問題は起こらないものの、複雑な形状
をしたシリンダ本体７６が必要になるため、加工コスト
等が高くなるという問題がある。さらに、このシリンダ
システムの場合、シリンダ本体７６の形状によってあら
かじめ動特性が決定されてしまうため、後に設定を変え
ることができない。
【０００９】本発明は上記の課題を解決するためなされ
たものであり、その目的は、部品点数が少なくて構成が
簡単であるにもかかわらず、同一方向へのストロークに
おいてシリンダ出力の設定変更を容易に行うことができ
るシリンダの制御回路及び制御方法を提供することにあ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、シリンダ本体内に移動
可能に収容されたピストンによって区画される２つのシ
リンダ室のうちの一方のシリンダ室と流体供給源とを接
続する第１の主配管と、他方のシリンダ室と流体供給源
とを接続する第２の主配管とを備え、これらの主配管を
介してシリンダ室内へ供給される流体の圧力の作用によ
り前記ピストンを所定方向に移動させるシリンダの制御
回路において、前記両シリンダ室間にバイパス管を設け
るとともに、そのバイパス管上に、同バイパス管を連通
状態または非連通状態に切り換える切換弁と、同バイパ
ス管内の流体の流れを規制する流量調整手段とを設けた
シリンダの制御回路をその要旨とする。
【００１１】請求項２に記載の発明は、上記の主配管を
介しての流体供給によりピストンを所定方向に移動させ
るシリンダの制御回路において、前記両主配管のうちの
少なくともいずれかから分岐させた流体排出管上に、前
記流体排出管を連通状態または非連通状態に切り換える
切換弁と、同流体排出管内の流体の流れを規制する流量
調整手段とを設けたシリンダの制御回路をその要旨とす
る。
【００１２】請求項３に記載の発明は、上記の主配管を
介しての流体供給によりピストンを所定方向に移動させ
るシリンダの制御回路において、前記両シリンダ室のう
ちの少なくともいずれかに流体排出ポートを設けるとと
もに、前記流体排出ポートに流体排出管を接続し、前記
流体排出管上に、同流体排出管を連通状態または非連通
状態に切り換える切換弁と、同流体排出管内の流体の流
れを規制する流量調整手段とを設けたシリンダの制御回
路をその要旨とする。
【００１３】請求項４に記載の発明では、請求項１乃至
３のいずれか１項において、前記切換弁は電磁弁であ
り、前記電磁弁は前記シリンダの作動状態を検出する検
出手段からの情報に基づいて駆動されるとしている。
【００１４】請求項５に記載の発明では、請求項１乃至
４のいずれか１項において、前記流量調節手段は絞り弁
であるとしている。請求項６に記載の発明は、上記の２
つの主配管と流量調節手段とを備え、これらの主配管を
介してシリンダ室内へ供給される流体の圧力の作用によ
り前記ピストンを所定方向に移動させるシリンダの制御
回路において、前記シリンダに設けられたピストン位置
検出センサと、前記両シリンダ室にそれぞれ設けられた
バイパス用ポートと、前記両バイパス用ポートを接続す
るバイパス管と、前記バイパス管上に設けられるととも
に同バイパス管を連通状態または非連通状態に切り換え
る２位置２ポート型の電磁弁と、前記バイパス管上に設
けられるとともに同バイパス管内の流体の流れを規制す
る絞り弁とを備え、前記ピストン位置検出センサからの
検出信号に基づいて前記２位置２ポート型の電磁弁を所
定のタイミングで切り換えるシリンダの制御回路をその
要旨とする。
【００１５】請求項７に記載の発明は、上記の主配管を
介してシリンダ室内へ供給される流体の圧力の作用によ
り前記ピストンを所定方向に移動させるシリンダの制御
方法において、前記両シリンダ室間に設けられたバイパ
ス管上に、同バイパス管内を流れる流体の量を調整する
流量調整手段を設けるとともに、所定方向へ移動するピ
ストンが特定の点を通過するまで前記バイパス管を連通
状態に維持し、同ピストンが前記特定の点を通過した後
に同バイパス管を非連通状態に切り換えるシリンダの制
御方法をその要旨とする。
【００１６】
【作用】請求項１に記載の発明によると、バイパス管が
非連通状態にあるときには、シリンダ室相互における流
体の流入・流出は起こらない。従って、シリンダ本体内
に収容されたピストンは、相対的に高圧側となるシリン
ダ室内の流体の圧力に応じた推力で動く。切換弁の作動
によってバイパス管が連通状態に切り換わると、流量調
整手段の設定度に応じた分だけ、高圧側のシリンダ室か
ら低圧側のシリンダ室へ流体が流入する。よって、高圧
側のシリンダ室内の流体の圧力が非連通状態のときと比
べて小さくなり、それに付随してピストンの推力も小さ
くなる。
【００１７】請求項２に記載の発明によると、流体排出
管が非連通状態にあるときには、主排出管から外部への
流体の流出は起こらない。従って、シリンダ本体内に収
容されたピストンは、相対的に高圧側となるシリンダ室
内の流体の圧力に応じた推力で動く。切換弁の作動によ
って流体排出管が連通状態に切り換わると、流量調整手
段の設定度に応じた分だけ、主排出管内の流体が外部へ
流出する。よって、高圧側のシリンダ室内の流体の圧力
が非連通状態のときと比べて小さくなり、それに付随し
てピストンの推力も小さくなる。
【００１８】請求項３に記載の発明によると、流体排出
管が非連通状態にあるときには、シリンダ室内に供給さ
れた流体が、流体排出ポート及び流体排出管を経て外部
へ流出するような事態は起こらない。従って、シリンダ
本体内に収容されたピストンは、相対的に高圧側となる
シリンダ室内の流体の圧力に応じた推力で動く。切換弁
の作動によって流体排出管が連通状態に切り換わると、
流量調整手段の設定度に応じた分だけ、シリンダ室内の
流体が外部へ流出する。よって、高圧側のシリンダ室内
の流体の圧力が非連通状態のときと比べて小さくなり、
それに付随してピストンの推力も小さくなる。
【００１９】請求項４に記載の発明によると、検出手段
からの情報を受けることによって電磁弁が駆動される
と、管路が非連通状態及び連通状態のいずれかに速やか
に切り換わる。
【００２０】請求項５に記載の発明では、絞り弁の開度
を変更することによって、管路内を流れる流体の流量が
変化する。その結果、非連通状態にしたときのピストン
の設定推力値が変更される。
【００２１】請求項７に記載の発明によると、相対的に
高圧側となるシリンダ室内の流体の圧力が、ピストンの
ストロークにおける特定の点を境として変化する。その
結果、それまで小さかったピストンの推力が急激に大き
くなる。
【００２２】
【実施例】
〔実施例１〕以下、本発明を機械製造ライン等において
部品をクランプするためのクランプ装置に具体化した一
実施例を図１〜図３に基づき詳細に説明する。
【００２３】図１（ａ），図１（ｂ）に示されるよう
に、このクランプ装置１は、リフタ部としての縦置きの
ガイド付きエアシリンダ２と、そのエアシリンダ２によ
って支持されたクランプ部３とに大別される。クランプ
部３は、主としてベースプレート４、横置きのガイド付
きエアシリンダ５、クランププレート６及び制御回路Ｃ
1 を構成するスピードコントローラ７，８，９等からな
る。
【００２４】ベースプレート４は、縦置きのガイド付き
エアシリンダ２から突出するロッド１０の端面に接合さ
れている。このベースプレート４の上面には、前記ガイ
ド付きエアシリンダ５が横向きに固定されている。この
エアシリンダ５の後方には、固定プレート１１が垂直に
突設されている。エアシリンダ５の前方には、固定プレ
ート１１と対面するようにクランププレート６が垂直に
突設されている。固定プレート１１とクランププレート
６との間には、非挟持物である部品Ｗを紙面に垂直な方
向に沿って搬送するための搬送経路が存在している。前
記クランププレート６は、エアシリンダ５のシリンダ本
体１２から突出するロッド１３の先端に固定されてい
る。
【００２５】図１，図２に示されるように、エアシリン
ダ５を構成するシリンダ本体１２は、等断面形状を有し
ている。このシリンダ本体１２の内部には、ピストン１
４がエアシリンダ５の長手方向に沿って往復動可能に収
容されている。このピストン１４は、ロッド１３の非突
出端に固定されている。また、ピストン１４は、シリン
ダ本体１２の内部空間を第１のシリンダ室Ｒ1 と第２の
シリンダ室Ｒ2 とに区画している。
【００２６】図１に示されるように、シリンダ本体１２
の上部には、第１のシリンダ室Ｒ1に連通する第１の給
排気ポート１５と、第２のシリンダ室Ｒ2 に連通する第
２の給排気ポート１６とが設けられている。第１の給排
気ポート１５には第１の主配管１７が接続され、第２の
給排気ポート１６には第２の主配管１８が接続されてい
る。両主配管１７，１８は、切換弁としての電磁弁１９
を介して図示しない流体供給源に接続されている。この
電磁弁１９は、電磁ソレノイド２０及びバネ２１を１つ
ずつ持つ２位置５ポート型の電磁弁１９である。電磁ソ
レノイド２０が消磁状態にあるとき、電磁弁１９はホー
ムポジションである第１の位置に切り換わる。このと
き、第１の主配管１７と流体供給源とが連通し、第１の
主配管１７を介して第１のシリンダ室Ｒ1 側にエアが供
給される。一方、電磁ソレノイド２０が励磁状態にある
とき、電磁弁１９は第２の位置に切り換わる。このと
き、第２の主配管１８と流体供給源とが連通し、第２の
主配管１８を介して第２のシリンダ室Ｒ2 側にエアが供
給される。なお、前記電磁弁１９はベースユニット４の
上面には設置されておらず、流体供給源の近傍に設置さ
れている。
【００２７】図１に示されるように、第１の主配管１７
上において電磁弁１９と第１の給排気ポート１５との間
には、流量調節手段としてのスピードコントローラ７，
８が２つ直列に設けられている。これらのスピードコン
トローラ７，８は、いずれも絞り弁２２とそれに並列に
接続されたチェック弁２３とによって構成されている。
また、第２の主配管１８上において電磁弁１９と第２の
給排気ポート１６との間には、同じく流量調節手段とし
てのスピードコントローラ９が１つ設けられている。上
記のチェック弁２３は、エアの逆流を防止するための役
割を果たしている。上記の絞り弁２２は、エアの流れを
規制することによってその流量を調整する役割を果たし
ている。なお、スピードコントローラ７，８はベースプ
レート４の上面に設置され、スピードコントローラ９は
シリンダ本体１２の上面に設置されている。
【００２８】図１，図２に示されるように、シリンダ本
体１２の側面には、第１のシリンダ室Ｒ1 に連通する第
１のバイパス用ポート３０と、第２のシリンダ室Ｒ2 に
連通する第２のバイパス用ポート３１とが設けられてい
る。両バイパス用ポート３０，３１には、バイパス管３
２が接続されている。このバイパス管３２上には、切換
弁としての電磁弁３３と、流量調整手段としての絞り弁
３６とが直列に設けられている。この絞り弁３６は、バ
イパス管３２内のエアの流れを規制することによってそ
の流量を調整する役割を果たしている。また、本実施例
において使用される電磁弁３３は、電磁ソレノイド３４
及びバネ３５を１つずつ持つ２位置２ポート型の電磁弁
３３である。電磁ソレノイド３４が消磁状態にあると
き、電磁弁３３はホームポジションである第１の位置に
切り換わる。このとき、バイパス管３２が非連通状態に
なり、第１のシリンダ室Ｒ1 及び第２のシリンダ室Ｒ2
の相互におけるエアの流入・流出は起こらない。一方、
電磁ソレノイド３４が励磁状態にあるとき、電磁弁３３
は第２の位置に切り換わる。このとき、バイパス管３２
が連通状態になり、両シリンダ室Ｒ1 ，Ｒ2 の相互にお
けるエアの流入・流出が起こる。なお、電磁ソレノイド
３４及び絞り弁３６は、ともにベースプレート４の上面
に設置されている。
【００２９】図１（ｂ），図２に示されるように、シリ
ンダ本体１２の外面に設けられた図示しない取付溝に
は、検出手段としてのピストン位置検出センサ３７がシ
リンダ５の長手方向に沿ってスライド可能に設置されて
いる。一方、ピストン１４側には、前記センサ３７によ
る位置検出を行うために磁石３８が設けられている。こ
のセンサ３７は、ベースプレート４とは別に設けられた
制御コンピュータ３９に検出信号を出力する。そして、
この検出信号を受け取った制御コンピュータ３９は、電
磁ソレノイド３４を励磁するための制御信号を出力し、
電磁弁３３を所定のタイミングで切り換える。
【００３０】次に、このクランプ装置１の動作を図３
（ａ）〜図３（ｄ）に基づいて説明する。図３（ａ）に
て二点鎖線で示されるように、初期の状態において２つ
のエアシリンダ２，５は、いずれも非伸張状態にある。
従って、クランプ部３はまだ搬送経路よりも下方の位置
にあり、クランププレート６は固定プレート１１に最も
近い位置（即ち、閉じた位置）にある。なお、このとき
電磁弁１９はまだ第１の位置にあり、同じく電磁弁３３
も第１の位置にある。各スピードコントローラ７，８，
９を構成する絞り弁２２及びバイパス管３２上の絞り弁
３６は、あらかじめ所定の開度となるように調整されて
いる。
【００３１】次のステップでは、電磁ソレノイド２０を
励磁することによって、電磁弁１９を第２の位置に切り
換える。すると、流体供給源と第２の主配管１８とが連
通し、スピードコントローラ９を経て第２のシリンダ室
Ｒ2 内にエアが流入する。この場合、図３（ａ）にて実
線で示されるように、エアの圧力によってピストン１４
が第１のシリンダ室Ｒ1 の方向に移動し、ロッド１３が
完全に伸張した状態となる。従って、クランププレート
６は固定プレート１１から最も遠い位置（即ち、開いた
位置）に移動する。なお、バイパス管３２は非連通状態
にあるため、このステップではシリンダ室Ｒ1 ，Ｒ2 相
互におけるエアの流入・流出は起こらない。従って、ピ
ストン１４は、相対的に高圧側となる第２のシリンダ室
Ｒ2 内に供給されるエアの圧力に応じた推力で動く。即
ち、エアシリンダ５はこのとき高出力動作を行う。ま
た、この伸張ストロークにおいてピストン１４がセンサ
３７の取り付け部を通過する際、磁石３８の移動に伴っ
て磁力変化が生じ、同センサ３７はその磁力変化を検出
信号として出力する。しかし、この場合において、制御
コンピュータ３９は電磁弁３３に駆動信号を出力しない
ようになっている。
【００３２】次のステップでは、図３（ｂ）に示される
ように、縦置きのガイド付きエアシリンダ２が伸張し、
クランプ部３全体を上昇させる。その結果、固定プレー
ト１１及びクランププレート６の上端が搬送経路と同じ
高さまで移動し、部品Ｗを把持しうる状態となる。
【００３３】次のステップでは、電磁ソレノイド２０の
消磁によって電磁弁１９が第１の位置に切り換わり、電
磁ソレノイド３４の励磁によって電磁弁３３が第２の位
置に切り換わる。すると、流体供給源と第１の主配管１
７とが連通し、２つのスピードコントローラ７，８を経
て第１のシリンダ室Ｒ1 内にエアが流入する。この場
合、図３（ｃ）にて実線で示されるように、エアの圧力
によってピストン１４が第２のシリンダ室Ｒ2 の方向に
移動し、ロッド１３が収縮動作を開始する。
【００３４】このステップではバイパス管３２は連通状
態にあるため、絞り弁３６の開度に応じた分だけエアの
流入・流出が起こる。つまり、このとき高圧側となる第
１のシリンダ室Ｒ1 からエアが流出し、そのエアがバイ
パス管３２を介して低圧側となる第２のシリンダ室Ｒ2
へ流入する。よって、第１のシリンダ室Ｒ1 内のエアの
圧力が非連通状態のときと比べて小さくなり、それに付
随してピストン１４の推力も小さくなる。このときエア
シリンダ５は低出力動作を行い、クランププレート６は
弱い力で閉じ始める。クランププレート６の移動速度
も、通常のときに比較して遅くなる。この収縮ストロー
クにおける低出力動作は、ピストン１４がセンサ３７の
取り付け部に到る（クランププレート６が所定の位置に
移動する）まで実行される。
【００３５】ピストン１４がセンサ３７の取り付け部を
通過する際、磁石３８の移動に伴って磁力変化が生じ、
同センサ３７はその磁力変化を検出信号として出力す
る。この場合、制御コンピュータ３９は電磁弁３３に対
して駆動信号を出力する。すると、電磁ソレノイド３４
が消磁され、電磁弁３３が第１の位置に切り換わる。そ
の結果、連通状態であったバイパス管３２が非連通状態
になり、シリンダ室Ｒ1，Ｒ2 相互におけるエアの流入
・流出が起こらなくなる。よって、ピストン１４は、第
１のシリンダ室Ｒ1 内に供給されるエアの圧力に応じた
推力で動く。従って、エアシリンダ５は収縮ストローク
の終端まで高出力動作を行い、クランププレート６は強
い力で閉じる。クランププレート６の移動速度は、通常
のときと同じ速さになる。そして、図３（ｄ）に示され
るように、最終的にはクランププレート６と固定プレー
ト１１とによって部品Ｗが挟持される。作業者はこのよ
うな把持状態で取り付け作業や検査作業等を行う。所定
時間が経過すると、これまでとは逆のステップを辿って
クランプ装置１が初期状態に復帰する。なお、以上説明
した一連の把持動作は、新たに部品Ｗが搬送されてくる
たびに繰り返し行われる。
【００３６】さて、本実施例の制御回路Ｃ1 では、従来
からあった第１及び第２の主配管１７，１８に加えて、
シリンダ本体１２に１本のバイパス管３２を設けかつそ
のバイパス管３２上に電磁弁３３と絞り弁３６とを設け
ている。よって、従来における制御回路とは異なり、主
配管１７に対して並列に２本の副配管を設ける必要がな
い。ゆえに、配管作業が比較的容易になる。また、従来
では２個の電磁弁と２個のリリーフ弁とを増設する必要
があったのに対して、本実施例では１個の電磁弁３３と
１個の絞り弁３６とを増設すれば足りる。よって、それ
ほど部品点数が増加するわけではなく、回路の複雑化や
システム全体の大型化の度合いも従来に比べて軽微であ
る。
【００３７】さらに、本実施例の制御回路Ｃ1 による
と、シリンダ本体１２の断面形状とは無関係に、エアシ
リンダ５の出力の設定を変更することができる。従っ
て、複雑な断面形状のシリンダ本体１２を用いる必要が
なく、加工コスト等が高くなるという問題も解消され
る。
【００３８】また、ピストン位置検出センサ３７の取り
付け位置は変更可能であるため、低出力動作から高出力
動作に切り換わるタイミングを自由に調整することがで
きる。従って、動特性がシリンダ本体１２の断面形状に
依存していた従来のものとは異なり、エアシリンダ５の
出力設定の変更が容易である。なお、本実施例の制御回
路Ｃ1 によると、電磁弁３３を駆動制御するプログラム
を若干変えるだけで、収縮ストローク時ばかりでなく、
伸張ストローク時にも出力設定を変更することが可能で
ある。勿論、両方のストロークにおいて出力設定を変更
することもできる。しかも、この構成を採用したからと
いって、とりわけエアがロスするという不具合もない。
従って、経済性や静粛性にも優れている。
【００３９】そして、上記のような制御回路Ｃ1 を採用
したクランプ装置１であると、エアシリンダ５が低出力
動作を開始したことを認識した作業者は、高出力動作を
開始するまでの所定時間のあいだに作業を中止すればよ
い。即ち、このような２段階の出力動作にすると、高出
力動作のみを行う場合に比べて、作業者が作業を中止す
べき時期を判断しやすくなる。以上の結果、クランププ
レート６と部品Ｗとによって指や手などが挟まれる事故
等が未然に防止される。また、挟まれに起因する部品Ｗ
の変形や破損等も確実に防止される。 〔実施例２〕図４には、実施例２のシリンダの制御回路
Ｃ2 が示されている。なお、ここでは実施例１との相違
点を中心に説明する。従って、共通部分については同一
の部材番号を付す代わりに、その詳細な説明を割愛す
る。
【００４０】図４に示されるように、ここで使用される
エアシリンダ５にはバイパス用ポート３０，３１が設け
られておらず、バイパス管３２も実施例１とは異なる位
置に設けられている。即ち、バイパス管３２の一端は、
第１の主配管１７においてスピードコントローラ８と第
１の給排気ポート１５とをつなぐ領域に接続されてい
る。一方、同バイパス管３２の他端は、第２の主配管１
８においてスピードコントローラ９と第２の給排気ポー
ト１６とをつなぐ領域に接続されている。そして、この
バイパス管３２には、実施例１と同じく電磁弁３３と絞
り弁３６とが直列に設けられている。
【００４１】以上のような構成であっても実施例１と同
様の作用効果を奏することは明らかである。特に実施例
２によると、シリンダ本体１２にバイパス用ポート３
０，３１を設ける必要がないため、その分だけエアシリ
ンダ５の構成簡略化が図られる。 〔実施例３〕図５には、実施例３のシリンダの制御回路
Ｃ3 が示されている。なお、ここでは実施例１，２との
相違点を中心に説明する。従って、共通部分については
同一の部材番号を付す代わりに、その詳細な説明を割愛
する。
【００４２】図５に示されるように、ここで使用される
エアシリンダ５の場合、バイパス管３２はいずれの箇所
にも設けられていない。その代わり第１の主配管１７に
おいてスピードコントローラ８と第１の給排気ポート１
５とをつなぐ領域から、流体排出管４０が分岐されてい
る。この分岐された流体排出管４０の他端は、大気圧領
域に開放されている。そして、流体排出管４０上には、
上記実施例において使用したものと同様の電磁弁３３及
び絞り弁３６が直列に接続されている。
【００４３】上記のような回路構成を採った場合の動作
について説明する。収縮ストロークに移行するときのス
テップでは、電磁ソレノイド２０の消磁によって電磁弁
１９が第１の位置に切り換わり、電磁ソレノイド３４の
励磁によって電磁弁３３が第２の位置に切り換わる。す
ると、流体供給源と第１の主配管１７とが連通し、２つ
のスピードコントローラ７，８を経て第１のシリンダ室
Ｒ1内にエアが流入する。この場合、図３（ｃ）にて実
線で示されるように、エアの圧力によってピストン１４
が第２のシリンダ室Ｒ2 の方向に移動し、ロッド１３が
収縮動作を開始する。
【００４４】このステップでは、非連通状態であった流
体排出管４０が連通状態となる。従って、第１の主配管
１７内のエアは、絞り弁３６の開度に応じた分だけ外部
へ流出する。そして、このとき高圧側となる第１のシリ
ンダ室Ｒ1 内のエアの圧力は非連通状態のときと比べて
小さくなり、それに付随してピストン１４の推力も小さ
くなる。従って、エアシリンダ５はこのとき低出力動作
を行い、クランププレート６は弱い力で閉じ始める。ク
ランププレート６の移動速度も、通常のときに比較して
遅くなる。この収縮ストロークにおける低出力動作は、
ピストン１４がセンサ３７の取り付け部に到るまで実行
される。
【００４５】ピストン１４がセンサ３７の取り付け部を
通過する際、同センサ３７はその磁力変化を検出信号と
して出力する。この場合、制御コンピュータ３９は電磁
弁３３に対して駆動信号を出力する。すると、電磁ソレ
ノイド３４が消磁され、電磁弁３３が第１の位置に切り
換わる。その結果、連通状態であった流体排出管４０が
非連通状態になり、第１の主配管１７から外部へのエア
の流出が起こらなくなる。よって、ピストン１４は、第
１のシリンダ室Ｒ1 内に供給されるエアの圧力に応じた
推力で動く。従って、エアシリンダ５は収縮ストローク
の終端まで高出力動作を行い、クランププレート６は強
い力で閉じる。クランププレート６の移動速度は、通常
のときと同じ速さになる。そして、図３（ｄ）に示され
るように、クランププレート６と固定プレート１１とに
よって部品Ｗが挟持される。
【００４６】以上のような構成を有する実施例３によれ
ば、実施例１等と同様の作用効果を奏することは明らか
である。なお、シリンダ本体１２にバイパス用ポート３
０，３１を設ける必要がない分だけ構成簡略化が図られ
る点については、実施例２と同様である。 〔実施例４〕図６には、実施例４のシリンダの制御回路
Ｃ4 が示されている。なお、ここでは実施例３との相違
点を中心に説明する。従って、共通部分については同一
の部材番号を付す代わりに、その詳細な説明を割愛す
る。
【００４７】図６に示されるように、本実施例では流体
排出管４０が異なる位置に接続されている。シリンダ本
体１２において第１のシリンダ室Ｒ1 には、流体排出ポ
ート４１が設けられている。流体排出管４０の一端はこ
の流体排出ポート４１に接続されており、その他端は大
気圧領域に開放されている。そして、この流体排出管４
０上には、上記実施例において使用したものと同様の電
磁弁３３及び絞り弁３６が直列に接続されている。
【００４８】上記のような回路構成を採った場合の動作
について説明する。収縮ストロークに移行するときのス
テップでは、電磁ソレノイド２０の消磁によって電磁弁
１９が第１の位置に切り換わり、電磁ソレノイド３４の
励磁によって電磁弁３３が第２の位置に切り換わる。す
ると、流体供給源と第１の主配管１７とが連通し、第１
のシリンダ室Ｒ1 内にエアが流入する。この場合、図３
（ｃ）にて実線で示されるように、ロッド１３が収縮動
作を開始する。
【００４９】このステップでは、非連通状態であった流
体排出管４０が連通状態となる。従って、第１の主配管
１７内のエアは、絞り弁３６の開度に応じた分だけ外部
へ流出する。そして、このとき高圧側となる第１のシリ
ンダ室Ｒ1 内のエアの圧力は非連通状態のときと比べて
小さくなり、それに付随してピストン１４の推力も小さ
くなる。従って、エアシリンダ５はこのとき低出力動作
を行い、クランププレート６は弱い力で閉じ始める。ク
ランププレート６の移動速度も、通常のときに比較して
遅くなる。この収縮ストロークにおける低出力動作は、
ピストン１４がセンサ３７の取り付け部に到るまで実行
される。
【００５０】ピストン１４がセンサ３７の取り付け部を
通過する際、制御コンピュータ３９は、センサ３７から
の検出信号に基づいて電磁弁３３を駆動する。すると、
電磁ソレノイド３４が消磁され、電磁弁３３が第１の位
置に切り換わる。その結果、連通状態であった流体排出
管４０が非連通状態になり、第１の主配管１７から外部
へのエアの流出が起こらなくなる。よって、ピストン１
４は、第１のシリンダ室Ｒ1 内に供給されるエアの圧力
に応じた推力で動く。従って、エアシリンダ５は収縮ス
トロークの終端まで高出力動作を行い、クランププレー
ト６は強い力で閉じる。クランププレート６の移動速度
は、通常のときと同じ速さになる。そして、図３（ｄ）
に示されるように、クランププレート６と固定プレート
１１とによって部品Ｗが挟持される。上記のように、実
施例４は実施例３と同様の作用効果を奏する。 〔実施例５〕図７には、実施例５のシリンダの制御回路
Ｃ5 が示されている。なお、ここでは実施例１との相違
点を中心に説明する。従って、共通部分については同一
の部材番号を付す代わりに、その詳細な説明を割愛す
る。
【００５１】本実施例で使用されるエアシリンダ５のシ
リンダ本体１２には、実施例１と同じく第１のバイパス
用ポート３０及び第２のバイパス用ポート３１が設けら
れている。両バイパス用ポート３０，３１は、途中が２
つの経路に別れているバイパス管４５によって接続され
ている。
【００５２】このバイパス管４５における第１の分岐経
路４５ａ及び第２の分岐経路４５ｂ上には、切換弁とし
ての電磁弁４６が設けられている。また、第１の分岐経
路４５ａ上には、流量調整手段としての第１の絞り弁４
７が設けられている。また、第２の分岐経路４５ｂ上に
も、同じく流量調整手段としての第２の絞り弁４８が設
けられている。ここでは、第１の絞り弁４７の開度は、
第２の絞り弁の開度よりも大きくなるように設定され
る。つまり、第１の絞り弁４７は低出力動作を行わせる
ためのものであり、第２の絞り弁４８は中出力動作を行
わせるためのものである。本実施例において使用される
電磁弁４６は、２つの電磁ソレノイド４９，５０と２つ
のバネ５１，５２を持つ３位置４ポート型の電磁弁４６
である。第１及び第２の電磁ソレノイド４９，５０が消
磁状態にあるとき、両バネ５１，５２の付勢力がつりあ
うことによって、電磁弁４６はホームポジションである
第１の位置に切り換わる。このとき、両分岐経路４５
ａ，４５ｂはともに非連通状態となり、第１のシリンダ
室Ｒ1 及び第２のシリンダ室Ｒ2 の相互におけるエアの
流入・流出は起こらない。第１の電磁ソレノイド４９が
励磁状態かつ第２の電磁ソレノイド５０が消磁状態にあ
るとき、電磁弁４６は第２の位置に切り換わる。このと
き、第１の分岐経路４５ａのみが連通状態になる。逆
に、第１の電磁ソレノイド４９が消磁状態かつ第２の電
磁ソレノイド５０が励磁状態にあるとき、電磁弁４６は
第３の位置に切り換わる。このとき、第２の分岐経路４
５ｂのみが連通状態になる。電磁弁４６が第２及び第３
の位置に切り換わった場合、そのときに連通しているい
ずれかの分岐経路４５ａ，４５ｂを介してエアの流入・
流出が起こる。
【００５３】本実施例の制御回路Ｃ5 では、検出手段と
してのピストン位置検出センサ５３，５４が２つ使用さ
れている。センサ５３は第１のシリンダ室Ｒ1 寄りに設
置され、センサ５４は第２のシリンダ室Ｒ2 寄りに設置
されている。これらのセンサ５３，５４は、制御コンピ
ュータ３９に検出信号を出力する。そして、この検出信
号を受け取った制御コンピュータ３９は、電磁ソレノイ
ド４９，５０を励磁するための制御信号を出力し、電磁
弁４６を所定のタイミングで切り換える。
【００５４】上記のような回路構成を採った場合の動作
について説明する。収縮ストロークに移行するときのス
テップでは、電磁ソレノイド２０の消磁によって電磁弁
１９が第２の位置に切り換わり、電磁ソレノイド４９の
励磁かつ電磁ソレノイド５０の消磁によって電磁弁４６
が第２の位置に切り換わる。すると、流体供給源と第１
の主配管１７とが連通し、２つのスピードコントローラ
７，８を経て第１のシリンダ室Ｒ1 内にエアが流入す
る。この場合、図３（ｃ）にて実線で示されるように、
エアの圧力によってピストン１４が第２のシリンダ室Ｒ
2 の方向に移動し、ロッド１３が収縮動作を開始する。
【００５５】このステップでは、電磁弁４６の切り換え
によって、非連通状態であったバイパス管４５のうち第
１の分岐経路４５ａのみが連通状態となる。従って、第
１のシリンダ室Ｒ1 内のエアは、第１の分岐経路４５ａ
を介して、絞り弁４７の開度に応じた分だけ第２のシリ
ンダ室Ｒ2 へ流入する。そして、このとき高圧側となる
第１のシリンダ室Ｒ1 内のエアの圧力は非連通状態のと
きと比べて小さくなり、それに付随してピストン１４の
推力も小さくなる。従って、エアシリンダ５はこのとき
低出力動作を行い、クランププレート６は弱い力で閉じ
始める。クランププレート６の移動速度も、通常のとき
に比較して遅くなる。この収縮ストロークにおける低出
力動作は、ピストン１４がセンサ５３の取り付け部に到
るまで実行される。
【００５６】ピストン１４がセンサ５３の取り付け部を
通過する際、同センサ５３はその磁力変化を検出信号と
して出力する。この場合、制御コンピュータ３９は電磁
弁４６に対して所定の駆動信号を出力する。すると、電
磁ソレノイド５０が励磁されかつ電磁ソレノイド４９が
消磁されることによって、電磁弁４６が第３の位置に切
り換わる。その結果、今度は第２の分岐経路４５ｂのみ
が連通状態となる。従って、第１のシリンダ室Ｒ1 内の
エアは、第２の分岐経路４５ｂを介して、絞り弁４８の
開度に応じた分だけ第２のシリンダ室Ｒ2 へ流入する。
ただし、絞り弁４８の開度は絞り弁４７の開度よりも小
さいことから、エアシリンダ５はこのとき中出力動作を
行い、クランププレート６はそれまでよりも若干強い力
で閉じ始める。なお、中出力動作はピストン１４がセン
サ５４の取り付け部に到るまで実行される。
【００５７】ピストン１４がセンサ５４の取り付け部を
通過する際、同センサ５４はその磁力変化を検出信号と
して出力する。この場合、制御コンピュータ３９は電磁
弁４６に対して所定の駆動信号を出力する。すると、両
電磁ソレノイド４９，５０が消磁されることによって、
電磁弁４６が第１の位置に切り換わる。その結果、バイ
パス管４５が再び非連通状態になり、第１のシリンダ室
Ｒ1 からのエアの流出が起こらなくなる。よって、ピス
トン１４は、第１のシリンダ室Ｒ1 内に供給されるエア
の圧力に応じた推力で動く。従って、エアシリンダ５は
収縮ストロークの終端まで高出力動作を行い、クランプ
プレート６は強い力で閉じる。このとき、クランププレ
ート６の移動速度は、通常のときと同じ速さになる。そ
して、図３（ｄ）に示されるように、最終的にはクラン
ププレート６と固定プレート１１とによって部品Ｗが挟
持される。
【００５８】以上のような構成であっても実施例１と同
様の作用効果を奏することは明らかである。特に実施例
５によると、シリンダ出力をより細かく設定することが
できるという利点がある。
【００５９】なお、本発明は例えば次のように変更する
ことが可能である。 （１）制御回路Ｃ1 〜Ｃ5 を構成しているスピードコン
トローラ７，８，９は必須ではないため、それらのうち
の１つ、２つまたは全てを省略することも可能である。
このようにすると、回路構成がいっそう簡略化する。ま
た、この種のスピードコントローラ７，８，９を設ける
場合でも、上記実施例とは異なる構成のスピードコント
ローラを使用することもできる。
【００６０】（２）流量調整手段として絞り弁３６，４
７，４８以外のものを使用してもよい。 （３）ピストン位置検出センサ３７，５３，５４の数
は、１つや２つに限定されるわけではなく、３つ以上で
あってもよい。また、上記実施例のような磁力変化を検
出するセンサ以外のセンサによって、ピストン１４の位
置検出を行うことも可能である。さらに、ピストン１４
の位置を検出するセンサに代えて、クランププレート６
そのものの位置を検出するセンサ（例えばリミットスイ
ッチ等）を使用してもよい。また、上記のような各種セ
ンサ等を用いる代わりに、例えばタイマ等による計時結
果に基づいて電磁弁３３等を駆動させてもよい。
【００６１】（４）シリンダ本体１２の一部にバイパス
管３２となる管路を設け、その管路に電磁弁等の切換弁
３３及び絞り弁等の流量調整手段３６を設けた構成とし
てもよい。また、バイパス管３２をピストン１４自体に
設けてもよい。
【００６２】（５）シリンダ５を駆動するために供給さ
れる流体は、各実施例のようにエア（空気）に限定され
ることはなく、窒素やアルゴン等のような他の気体や、
オイル等の液体でもよい。
【００６３】（６）主配管１７，１８のうちの一方を省
略し、片方のみから流体を供給する回路構成としてもよ
い。 （７）上記実施例１〜５の制御回路Ｃ1 〜Ｃ5 から流量
調節手段である絞り弁３６，４７，４８を省略し、次の
ような駆動制御を行ってもよい。即ち、低出力動作時に
は極めて短いサイクルで電磁弁３３，４６を開閉し、高
出力動作時には同電磁弁３３，４６を完全に遮断する。
このような制御方法でも、各実施例と同様の制御を達成
することが可能である。
【００６４】（８）本発明を機械製造用ラインにおける
クランプ装置１以外のもの、例えばシリンダを利用した
その他の製造装置などに適用することが勿論可能であ
る。ここで、特許請求の範囲に記載された技術的思想の
ほかに、前述した実施例及び別例によって把握される技
術的思想をその効果とともに以下に列挙する。
【００６５】（１） 流体圧を利用したシリンダ、請求
項１〜６のいずれかに記載のシリンダの制御回路及びク
ランププレートからなるクランプ部と、前記クランプ部
を昇降させるシリンダを有するリフタ部とを備えたクラ
ンプ装置。この構成であると、クランププレートによる
挟まれ事故の発生を未然に回避できる。
【００６６】（２） シリンダ本体内に移動可能に収容
されたピストンによって区画される２つのシリンダ室の
うちの一方のシリンダ室と流体供給源とを接続する主配
管を備え、この主配管を介してシリンダ室内へ供給され
る流体の圧力の作用により前記ピストンを他方のシリン
ダ室側方向に移動させるシリンダの制御回路において、
前記両シリンダ室間にバイパス管を設けるとともに、そ
のバイパス管上に、同バイパス管を連通状態または非連
通状態に切り換える切換弁と、同バイパス管内の流体の
流れを規制する流量調整手段とを設けたシリンダの制御
回路。この構成であると、回路構成をより簡略化でき
る。
【００６７】（３） 等断面形状を有するシリンダ本体
と、そのシリンダ本体内に移動可能に収容されたピスト
ンと、そのピストンによって区画された２つのシリンダ
室と、両シリンダ室にそれぞれ設けられた給排気ポート
と、両シリンダ室を接続するバイパス管と、そのバイパ
ス管上に直列に設けられた流量調整手段及び切換弁とか
らなる、出力設定の変更が可能なシリンダ。
【００６８】（４） 請求項６において、ピストン位置
検出センサはシリンダの長手方向に沿って移動可能に取
り付けられていること。この構成であると、検出位置を
容易に変更できる。
【００６９】なお、本明細書中において使用した技術用
語を次のように定義する。 「流体： 酸素、窒素、アルゴン、二酸化炭素等の気体
やこれらの混合物であるエアをいうほか、例えば水やオ
イル等の液体をも含む。」
【００７０】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜６に記
載のシリンダの制御回路によれば、部品点数が少なくて
構成が簡単であるにもかかわらず、同一方向へのストロ
ークにおいてシリンダ出力の設定変更を容易に行うこと
ができる。請求項７に記載のシリンダの制御方法によれ
ば、同一方向へのストロークにおいてシリンダ出力の設
定変更を容易にかつ確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は実施例１におけるクランプ装置の部分
正面図、（ｂ）はその平面図。
【図２】図１のシリンダの制御装置の回路図。
【図３】（ａ）〜（ｄ）はクランプ装置の動作説明図。
【図４】実施例２のシリンダの制御装置の回路図。
【図５】実施例３のシリンダの制御装置の回路図。
【図６】実施例４のシリンダの制御装置の回路図。
【図７】実施例５のシリンダの制御装置の回路図。
【図８】第１の従来例を示す回路図。
【図９】第２の従来例を示す回路図。
【符号の説明】
５…エアシリンダ、７，８，９…流量調節手段としての
絞り弁、１２…シリンダ本体、１４…ピストン、１７…
第１の主配管、１８…第２の主配管、３０，３１…バイ
パス用ポート、３２，４５…バイパス管、３３，４６…
切換弁としての電磁弁、３６，４７，４８…流量調整手
段としての絞り弁、３７，５３，５４…検出手段として
のピストン位置検出センサ、４０…流体排出管、４１…
流体排出ポート、Ｒ1 …第１のシリンダ室、Ｒ2 …第２
のシリンダ室、Ｃ1 ，Ｃ2 ，Ｃ3，Ｃ4 ，Ｃ5 …シリン
ダの制御回路。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】シリンダ本体（１２）内に移動可能に収容
    されたピストン（１４）によって区画される２つのシリ
    ンダ室（Ｒ1 ，Ｒ2 ）のうちの一方のシリンダ室（Ｒ1
    ）と流体供給源とを接続する第１の主配管（１７）
    と、他方のシリンダ室（Ｒ1 ）と流体供給源とを接続す
    る第２の主配管（１８）とを備え、これらの主配管（１
    ７，１８）を介してシリンダ室（Ｒ1 ，Ｒ2 ）内へ供給
    される流体の圧力の作用により前記ピストン（１４）を
    所定方向に移動させるシリンダ（５）の制御回路（Ｃ1
    ，Ｃ2 ，Ｃ5 ）において、 前記両シリンダ室（Ｒ1 ，Ｒ2 ）間にバイパス管（３
    ２，４５）を設けるとともに、そのバイパス管（３２，
    ４５）上に、同バイパス管（３２，４５）を連通状態ま
    たは非連通状態に切り換える切換弁（３３，４６）と、
    同バイパス管（３２，４５）内の流体の流れを規制する
    流量調整手段（３６，４７，４８）とを設けたシリンダ
    の制御回路。
  2. 【請求項２】シリンダ本体（１２）内に移動可能に収容
    されたピストン（１４）によって区画される２つのシリ
    ンダ室（Ｒ1 ，Ｒ2 ）のうちの一方のシリンダ室（Ｒ1
    ）と流体供給源とを接続する第１の主配管（１７）
    と、他方のシリンダ室（Ｒ2 ）と流体供給源とを接続す
    る第２の主配管（１８）とを備え、これらの主配管（１
    ７，１８）を介してシリンダ室（Ｒ1 ，Ｒ2 ）内へ供給
    される流体の圧力の作用により前記ピストン（１４）を
    所定方向に移動させるシリンダ（５）の制御回路（Ｃ3
    ）において、 前記両主配管（１７，１８）のうちの少なくともいずれ
    かから分岐させた流体排出管（４０）上に、前記流体排
    出管（４０）を連通状態または非連通状態に切り換える
    切換弁（３３）と、同流体排出管（４０）内の流体の流
    れを規制する流量調整手段（３６）とを設けたシリンダ
    の制御回路。
  3. 【請求項３】シリンダ本体（１２）内に移動可能に収容
    されたピストン（１４）によって区画される２つのシリ
    ンダ室（Ｒ1 ，Ｒ2 ）のうちの一方のシリンダ室（Ｒ1
    ）と流体供給源とを接続する第１の主配管（１７）
    と、他方のシリンダ室（Ｒ2 ）と流体供給源とを接続す
    る第２の主配管（１８）とを備え、これらの主配管（１
    ７，１８）を介してシリンダ室（Ｒ1 ，Ｒ2 ）内へ供給
    される流体の圧力の作用により前記ピストン（１４）を
    所定方向に移動させるシリンダ（５）の制御回路（Ｃ4
    ）において、 前記両シリンダ室（Ｒ1 ，Ｒ2 ）のうちの少なくともい
    ずれかに流体排出ポート（４１）を設けるとともに、前
    記流体排出ポート（４１）に流体排出管（４０）を接続
    し、前記流体排出管（４０）上に、同流体排出管（４
    ０）を連通状態または非連通状態に切り換える切換弁
    （３３）と、同流体排出管（４０）内の流体の流れを規
    制する流量調整手段（３６）とを設けたシリンダの制御
    回路。
  4. 【請求項４】前記切換弁（３３，４６）は電磁弁であ
    り、前記電磁弁は前記シリンダ（５）の作動状態を検出
    する検出手段（３７，５３，５４）からの情報に基づい
    て駆動される請求項１乃至３のいずれか１項に記載のシ
    リンダの制御回路。
  5. 【請求項５】前記流量調節手段（３６，４７，４８）は
    絞り弁である請求項１乃至４のいずれか１項に記載のシ
    リンダの制御回路。
  6. 【請求項６】シリンダ本体（１２）内に移動可能に収容
    されたピストン（１４）によって区画される２つのシリ
    ンダ室（Ｒ1 ，Ｒ2 ）のうちの一方のシリンダ室（Ｒ1
    ）と流体供給源とを接続する第１の主配管（１７）
    と、他方のシリンダ室（Ｒ2 ）と流体供給源とを接続す
    る第２の主配管（１８）と、前記両主配管（１７，１
    ８）上にそれぞれ設けられるとともに各主配管（１７，
    １８）内を流れる流体の流量を調整する流量調節手段
    （７，８，９）とを備え、これらの主配管（１７，１
    ８）を介してシリンダ室（Ｒ1 ，Ｒ2 ）内へ供給される
    流体の圧力の作用により前記ピストン（１４）を所定方
    向に移動させるシリンダ（５）の制御回路（Ｃ1 ）にお
    いて、 前記シリンダ（５）に設けられたピストン位置検出セン
    サ（３７）と、前記両シリンダ室（Ｒ1 ，Ｒ2 ）にそれ
    ぞれ設けられたバイパス用ポート（３０，３１）と、前
    記両バイパス用ポート（３０，３１）を接続するバイパ
    ス管（３２）と、前記バイパス管（３２）上に設けられ
    るとともに同バイパス管（３２）を連通状態または非連
    通状態に切り換える２位置２ポート型の電磁弁（３３）
    と、前記バイパス管（３２）上に設けられるとともに同
    バイパス管（３２）内の流体の流れを規制する絞り弁
    （３６）とを備え、前記ピストン位置検出センサ（３
    ７）からの検出信号に基づいて前記２位置２ポート型の
    電磁弁（３３）を所定のタイミングで切り換えるシリン
    ダの制御回路。
  7. 【請求項７】シリンダ本体（１２）内に移動可能に収容
    されたピストン（１４）によって区画される２つのシリ
    ンダ室（Ｒ1 ，Ｒ2 ）のうちの一方のシリンダ室（Ｒ1
    ）と流体供給源とを接続する第１の主配管（１７）
    と、他方のシリンダ室（Ｒ2 ）と流体供給源とを接続す
    る第２の主配管（１８）とを備え、これらの主配管（１
    ７，１８）を介してシリンダ室（Ｒ1 ，Ｒ2 ）内へ供給
    される流体の圧力の作用により前記ピストン（１４）を
    所定方向に移動させるシリンダ（５）の制御方法におい
    て、 前記両シリンダ室（Ｒ1 ，Ｒ2 ）間に設けられたバイパ
    ス管（３２）上に、同バイパス管（３２）内を流れる流
    体の量を調整する流量調整手段（３６）を設けるととも
    に、所定方向へ移動するピストン（１４）が特定の点を
    通過するまで前記バイパス管（３２）を連通状態に維持
    し、同ピストン（１４）が前記特定の点を通過した後に
    同バイパス管（３２）を非連通状態に切り換えるシリン
    ダの制御方法。
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