JPH09321012A - スピン洗浄処理装置 - Google Patents
スピン洗浄処理装置Info
- Publication number
- JPH09321012A JPH09321012A JP13515096A JP13515096A JPH09321012A JP H09321012 A JPH09321012 A JP H09321012A JP 13515096 A JP13515096 A JP 13515096A JP 13515096 A JP13515096 A JP 13515096A JP H09321012 A JPH09321012 A JP H09321012A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- rotary shaft
- work
- cleaning liquid
- semiconductor wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
ウエハの裏面を確実に洗浄することができるようにした
スピン洗浄処理装置を提供することにある。 【解決手段】 回転される半導体ウエハ21に洗浄液を
噴射してこの半導体ウエハを洗浄するスピン洗浄処理装
置において、固定軸31、33と、この固定軸を内部に
収容するとともにこの固定軸に対して回転自在に設けら
れた回転軸3と、この回転軸を回転駆動するステップモ
−タ6と、上記回転軸の上部に設けられた回転テ−ブル
9と、この回転テ−ブルの上面に設けられ上記半導体ウ
エハを着脱自在に保持する保持部材11と、上記固定軸
に設けられ上記保持部材に保持される半導体ウエハの下
面に向けて洗浄液を噴射するノズル孔27を有するノズ
ル体26とを具備したことを特徴とする。
Description
ワ−クに洗浄液を噴射して洗浄するスピン洗浄処理装置
に関する。
製造過程においては、ワ−クとしての半導体ウエハや矩
形状のガラス製の基板に回路パタ−ンを形成するための
成膜プロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセ
スでは、上記ワ−クの処理と洗浄とが繰り返し行われ
る。
クを回転テ−ブルに保持し、この回転テ−ブルを高速回
転させながら、上記ワ−クに洗浄液を噴射して洗浄する
ということが行われている。
される。ワ−クの裏面が汚染された状態にあると、洗浄
されたワ−クをストッカなどに積層収容した際、その裏
面に付着した塵埃などの汚れが他のワ−クに転移すると
いうことがある。そのため、回転テ−ブルに保持された
ワ−クは上面だけでなく、裏面も同時に洗浄するという
ことが行われれいる。
面とを同時に洗浄する場合に用いられていた従来のスピ
ン洗浄処理装置を示す。すなわち、図6(a)に示すス
ピン洗浄処理装置は回転軸aを有する。この回転軸aは
軸受bによって回転自在に支持されている。上記回転軸
aの上端には回転テ−ブルcが取り付けられ、下端には
従動プ−リdが取り付けられている。
記回転軸aと平行にした駆動モ−タfが配置され、その
駆動軸eに嵌着された駆動プ−リgと上記従動プ−リd
との間にはベルトhが張設されている。したがって、上
記駆動モ−タfが作動すれば、上記回転軸aが回転駆動
されるから、その上端に設けられた回転テ−ブルcも回
転されるようになっている。
うに4つの凸部pを有するほぼ十字状に形成されてい
て、各凸部pの先端部上面には保持部材iが立設されて
いる。保持部材iの上端面にはワ−クwの裏面周辺部を
支持する支持ピンjと、ワ−クwの外周面を保持する押
さえピンkとが突設されている。
lが配置され、下方には下部ノズルmが配置されてい
る。各ノズルl、mからは,上記回転テ−ブルcととも
に高速回転される上記ワ−クwの上面と下面に向かって
洗浄液Lが噴出され、それによってワ−クwの上面と下
面とが洗浄されるようになっている。
から洗浄液を確実に供給することができる。しかしなが
ら、下部ノズルmから噴射された洗浄液Lは回転テ−ブ
ルcの凸部pの間の部分を通過してワ−クwの裏面に到
達する。そのため、回転テ−ブルcが高速で回転してい
ると、その凸部pに当たった洗浄液Lは、ワ−クwの裏
面に到達しにくいから、洗浄効果が低下するということ
があるばかりか、その凸部pに当たった洗浄液Lは周囲
に飛散するため、周囲の汚染を招いたり、洗浄液Lが軸
受bに浸入し易く、その軸受bの早期損傷を招くという
ことがある。とくに、洗浄液Lとしては酸性度の高い薬
液が用いられることがあり、そのような場合には洗浄液
Lを周囲に飛散させることは好ましくない。
ブルに保持されたワ−クの裏面に洗浄液を噴射して洗浄
する場合、上記洗浄液をワ−クに噴射させるノズルが回
転テ−ブルの下面側に配置されるため、そのノズルから
噴射された洗浄液は高速回転する回転テ−ブルを通過し
てワ−クに到達する。そのため、洗浄液の大半は上記回
転テ−ブルに衝突して周囲に飛散するから、洗浄効果の
低下、飛散した洗浄液による汚染、さらには軸受部分の
早期損傷を招くなどのことがあった。
で、その目的とするところは、洗浄液を高速回転される
回転テ−ブルによって飛散させることなく、ワ−クの裏
面を洗浄できるようにしたスピン洗浄処理装置を提供す
ることにある。
されるワ−クに洗浄液を噴射してこのワ−クを洗浄する
スピン洗浄処理装置において、固定軸と、この固定軸を
内部に収容するとともにこの固定軸に対して回転自在に
設けられた回転軸と、この回転軸を回転駆動する駆動手
段と、上記回転軸の上部に設けられた回転テ−ブルと、
この回転テ−ブルの上面に設けられ上記ワ−クを着脱自
在に保持する保持手段と、上記固定軸に設けられ上記保
持手段に保持されるワ−クの下面に向けて洗浄液を噴射
するノズル孔を有するノズル体とを具備したことを特徴
とする。
て、上記ノズル体は、上記固定軸の上端に設けられると
ともに、上記固定軸と回転軸との隙間を覆う大きさに設
定されていることを特徴とする。
て、上記固定軸には、この固定軸と回転軸との隙間に、
この隙間を正圧にするための不活性ガスを供給する供給
手段が設けられていることを特徴とする。
下面側の中心部には固定軸が設けられ、この固定軸に、
上記回転テ−ブルに保持されたワ−クの裏面に洗浄液を
噴射するノズル孔を有するノズル体を設けたため、この
ノズル孔から噴射される洗浄液は高速回転する回転テ−
ブルに遮られることなく上記ワ−クの裏面を洗浄する。
るノズル体によって、ワ−クの裏面を洗浄した洗浄液が
固定軸と回転軸との隙間に浸入するのを防止できる。請
求項3の発明によれば、固定軸と回転軸との隙間が不活
性ガスによって正圧に保たれることで、その隙間に洗浄
液が浸入するのが防止される。
乃至図5を参照して説明する。図2に示すこの発明のス
ピン洗浄処理装置は本体ベ−ス1を有する。この本体ベ
−ス1には円筒状の支持体2が上下方向に貫通して設け
られている。この支持体2には同じく円筒状の回転体3
が中途部を上下一対の軸受4によって回転自在に支持さ
れて設けられている。
突出し、その下端部には従動プ−リ5が嵌着されてい
る。この従動プ−リ5の近傍にはステップモ−タ6が配
設されている。このステップモ−タ6の回転軸6aには
駆動プ−リ7が嵌着され、この駆動プ−リ7と上記従動
プ−リ5とにはベルト8が張設されている。したがっ
て、上記ステップモ−タ6が作動すれば、上記回転軸3
が回転駆動されるようになっている。
ねじ9aによって着脱自在に取り付けられている。この
回転テ−ブル9には周方向に90度間隔で4本の保持部
材11がブッシュ12を介して回転自在に立設されてい
る。上記保持部材11は図2に示すように円筒部13を
有する。この円筒部13は上端が閉塞され、下端が開口
している。円筒部13からは支軸14が下端部を突出さ
せて垂設され、この支軸14が上記ブッシュ12に回転
自在に支持されている。
と、この支持ピン16に比べて背の高い逆テ−パ状のロ
ックピン17とが立設されている。支持ピン16は上記
支軸14と軸中心をほぼ一致させており、ロックピン1
7は上記軸線に対して偏心して設けられている。
至図3に示すようにワ−クとしての半導体ウエハ21が
保持される。つまり、半導体ウエハ21はその裏面の周
辺部が上記支持ピン16に支持されて設けられる。半導
体ウエハ21が支持ピン16に支持された状態で上記保
持部材11は後述するばね54によって回転方向に付勢
されている。
れたロックピン17が図3に鎖線で示す位置から実線で
示す位置へ偏心回転して上記半導体ウエハ21の外周面
に当接するから、半導体ウエハ21は径方向にずれ動く
ことなく保持されることになる。
示すように通孔25が形成されている。この通孔25部
分には円錐状の下部ノズル体26が設けられている。こ
の下部ノズル体26は上記通孔25に非接触状態で嵌挿
される中心部26aと、この中心部26aの外周面に螺
合された、上記通孔25よりも大径な傘部26bとから
なる。
辺部には環状の第1のシ−ル壁20aが突設され、上記
傘部26bの下面には上記第1のシ−ル壁20aの外周
面に離間対向する環状の第2のシ−ル壁20bが垂設さ
れている。
軸3の上端面を覆うから、半導体ウエハ21を洗浄した
洗浄液が回転軸3の内部に浸入するのを阻止するように
なっている。
テ−ブル9の上面を覆っているが、この傘部26bは中
心部26aに着脱自在に螺合されている。そのため、上
記中心部26aから傘部26bを外すことで、上記回転
テ−ブル9を回転軸3の上端に取着したねじ9aを露出
させることができる。それによって、このねじ9aを緩
めて上記回転テ−ブル9を回転軸3から取り外すことが
できるようになっている。
内周面とにはそれぞれ段部が形成され、これらの段部間
には中心部26aと傘部26bとの間の液密を確保する
ためのパッキング26cが介装されている。また、上記
下部ノズル体26の中心部26aにはその上面に開放し
たノズル孔27が上下方向に貫通して形成されている。
端部にはブラケット31が嵌着されている。このブラケ
ット31は上記回転軸3内の上部に軸受29によって回
転自在に支持されている。
1の下方には、上記軸受29と図2に示す他の軸受32
とによって上下端部が回転自在に支持されたハウジング
33が挿通されている。このハウジング33と上記ブラ
ケット31は一体的に結合され、固定軸を構成してい
る。ハウジング33の下端部は上記回転軸3から突出
し、上記ベ−ス本体1の下面側に結合された取付板1a
に固定されている。
通された第1の貫通孔34と、上記ノズル孔27に一端
を接続した供給チュ−ブ35が挿通された第2の貫通孔
36とが穿設されている。上記第1の貫通孔34に挿通
された支持軸28は上端部が上記下部ノズル体26の中
心部26aに連結固定され、下端部が上記ハウジング3
3に固定されている。それによって、上記下部ノズル体
26を上記ハウジング33と一体化している。つまり、
上記回転軸3とともに上記回転テ−ブル9が回転駆動さ
れても、上記下部ノズル体26とハウジング33とは回
転しないようになっている。
洗浄液の供給部に連通している。したがって、ノズル孔
27からは、上記供給チュ−ブ35からの洗浄液を保持
部材11に保持された半導体ウエハ21の下面中心部に
向けて噴射することができるようになっている。つま
り、半導体ウエハ21の裏面を洗浄処理できるようにな
っている。
上部ノズル体38が配置されている。この上部ノズル体
38からは上記半導体ウエハ21の上面中央部分に向け
て洗浄液が噴射される。それによって、半導体ウエハ2
1の上面が洗浄されるようになっている。
軸3の上部外周面には円筒状のロック筒体41が上下一
対の軸受40によって回転自在に設けられている。この
ロック筒体41の上端には、図1おび図3に示すように
フランジ42が設けられ、このフランジ42には径方外
方に向かって4つのア−ム39が周方向に90度間隔で
突設され、各ア−ム39の先端部分にはそれぞれスライ
ド溝36が径方向に沿って形成されている。各スライド
溝36には、嵌合孔37aが形成されたコマ37がスラ
イド自在に設けられている。
43が着脱自在に嵌合される。この係止ピン43はレバ
−44の一端に突設されている。このレバ−44の他端
は上記保持部材11の支軸14の上記回転テ−ブル9の
下面側に突出した下端部に連結固定されている。
矢印で示す時計方向に回転させ、コマ37および係止ピ
ン43を介して上記レバ−44を回動させれば、このレ
バ−44に連結された上記支軸14を介して上記保持部
材11を回動させることができる。
するから、支持ピン16に支持された半導体ウエハ21
の外周面に上記ロックピン17を当接させ、半導体ウエ
ハ21の支持状態をロックできる。つまり、上記ロック
ピン17は、上記支持ピン16に支持された半導体ウエ
ハ21が径方向にずれ動くのを阻止する。
回動させれば、上記ロックピン17による半導体ウエハ
21のロック状態を解除することができる。上記ロック
ピン17による半導体ウエハ21のロックおよびロック
の解除、つまりロック筒体41の回動は解除機構51に
よって行われる。この解除機構51は図4と図5に示す
ように上記回転軸3の外周面に設けられた第1の係止片
52と、上記ロック筒体41の外周面に設けられた第2
の係止片53とを有する。
間にはばね54が張設されている。このばね54は上記
第2の係止片53を介してロック筒体41を第1の係止
片52の方向に付勢している。つまり、ロック筒体41
は図6に矢印で示す反時計方向に付勢されている。した
がって、ばね54はロック筒体41を回動させるから、
係止ピン43およびレバ−44を介して回転テ−ブル9
に設けられた保持部材11が回動させられ、そのロック
ピン17が半導体ウエハ21の外周面に当接するロック
状態になる。
ロック状態の解除は、図4と図5に示すように上記ステ
ップモ−タ6の近傍に配置された上記解除機構51を構
成する第1のシリンダ61と、第2のシリンダ62とに
よって行われる。
ダ61は上記本体ベ−ス1に第1の基板62を介して設
けられている。第1の基板62には第1のシリンダ61
の側方に第1のリニアガイド63によって第1の可動体
64がスライド自在に支持されている。この第1の可動
体64は上記第1のシリンダ61のロッド61aに連結
されている。それによって、第1の可動体64は、上記
第1のシリンダ61が作動することで、上記第1のリニ
アガイド63に沿って往復駆動されるようになってい
る。
対の挟持ロ−ラ65が所定の間隔で設けられている。第
1の可動体64が前進方向に駆動されると、これら挟持
ロ−ラ65は図5に鎖線で示すように所定の回転角度で
停止した回転軸3の第1の係止片52を挟持する。それ
によって、上記第1の可動体64は上記回転軸3が回転
するのを阻止する。
1に第2の基板66を介して取り付けられている。第2
の基板66には第2のシリンダ62の側方に第2のリニ
アガイド67によって第2の可動体68がスライド自在
に設けられている。第2の可動体68の上面先端部には
押圧ロ−ラ69が回転自在に設けられている。したがっ
て、上記押圧ロ−ラ69は第2のシリンダ62によって
進退駆動される。
上記第1の係止片52が上記一対の挟持ロ−ラ65によ
って挟持された状態で、上記第2のシリンダ62が作動
して第2の可動体68が前進方向に駆動されると、図5
に鎖線で示すようにその先端部に設けられた押圧ロ−ラ
69が上記ロック筒体41に設けられた第2の係止片5
3を押圧する。
54の付勢力に抗して回転させられるから、係止ピン4
3およびレバ−44を介して保持部材11がロック時と
は逆方向に回転させられる。したがって、ロックピン1
7が偏心回転して半導体ウエハ21のロック状態を解除
するようになっている。
周面にはドグ71が設けられ、このドグ71はマイクロ
フォトセンサ72によって検知される。このマイクロフ
ォトセンサ72の検知信号で上記ステップモ−タ6によ
る回転軸3の回転角度が制御される。つまり、半導体ウ
エハ21のロック状態を解除するときには、上記解除機
構51の第1、第2のシリンダ61、62に対して第1
の舌片52と第2の舌片53とが所定の位置になるよう
回転軸3の回転角度を制御する。
3の上部が遊挿される通孔75aが形成され内部に上記
回転軸3を収容した下カップ75と、上記保持部材11
に保持された半導体ウエハ21の上面側周辺部を覆う、
上面に開口部76aを有する上カップ76とが設けられ
ている。上カップ76は上下動自在に設けられ、図示し
ない上下駆動シリンダのロッド77が連結されている。
このシリンダが作動することで上カップ76が上下駆動
される。
まで下降させると、その上面開口部から保持部材11の
上部が突出する。したがって、図示しないロボットによ
って上記保持部材11へ未処理の半導体ウエハ21を供
給したり、乾燥処理された半導体ウエハ21を取り出す
ことができるようになっている。さらに、下カップ75
には排出管78が接続されている。この排出管78は下
カップ75内部の洗浄液や雰囲気を排出する。
孔75aの周辺部には、上記回転テ−ブル9の下面周辺
部に対向するリング状の対向部材81が設けられてい
る。この対向部材81の上面周辺部には内周壁82a
と、この内周壁82aよりも背の低い外周壁82bとに
よって環状溝83が形成されている。この環状溝83の
底部には液体Lの供給管84が接続されていて、上記環
状溝83に液体Lを供給するようになっている。環状溝
83を形成する外周壁82bは内周壁82aよりも背が
低いから、上記環状溝83に供給された液体Lは外側へ
オ−バフロ−することになる。
環状溝83に入り込むシ−ル壁85が全周に亘って設け
られている。上記シ−ル壁85が液体Lが収容された環
状溝83に挿入されることで、上記回転テ−ブル9の下
面側と外周側とが気密に遮断される。
ップ75の通孔75a部分から下カップ75内へ流入す
るのが阻止されるとともに、上下のカップ75、76内
に飛散した洗浄液が上記下カップ75の通孔75aから
外部へ流出するのが防止される。
プ75、76や回転テ−ブル9は耐酸性を有する、たと
えば弗素樹脂などの材料によって作られているので、腐
蝕されることはないが、その洗浄液が下カップ75から
外部に流出して金属で作られた他の部品に付着すると、
その部品が腐蝕される虞があり、また軸受部分などの可
動部に浸入すると、その可動部が早期に損傷することが
ある。しかしながら、上述したシ−ル構造によって、下
カップ75内から洗浄液が外部に流出するのが阻止され
ているから、そのような不都合が生じることがない。
3には窒素などの不活性ガスの供給管91が設けられて
いる。この供給管91は上記ブラケット31の上面側と
下部ノズル体26との下面側との第1の空間部92aに
連通している。上記ブラケット31の周壁には、この外
周面と回転軸3の内周面との間の第2の空間部92bに
連通する連通孔93が形成されている。
の空間部92aに供給された不活性ガスは上記連通孔9
3から第2の空間部92bへ流れ、この第2の空間部9
2aから下部ノズル体26の下面側に沿って流出する。
つまり、上記第2の空間部92bは不活性ガスによって
正圧になるから、その圧力で上記第2の空間部92bに
洗浄液が流入するのが防止される。
に支持した支持体2の周壁には図示しない吸引ポンプに
接続される第1の吸引孔95aが穿設されている。上記
回転軸3の周壁の上記第1の吸引孔95aと対向する部
位には第2の吸引孔95bが穿設されている。さらに、
上記回転軸3の周壁の、上記ロック筒体41と対向する
部分には第3の吸引孔95cが穿設されている。
続された吸引ポンプの吸引力により、上記回転軸3を支
持体2に回転自在に支持した軸受4と、上記回転軸3を
ハウジング33に回転自在に支持した軸受29、32
と、上記ロック筒体41を上記回転軸3に回転自在に支
持した軸受40とで発生する塵埃が排出されるから、上
記各軸受で発生した塵埃が周囲に飛散するのが防止され
るようになっている。
て半導体ウエハ21を洗浄する場合について説明する。
まず、半導体ウエハ21を回転テ−ブル9の上面に立設
された4本の保持部材11によって保持する。つまり、
半導体ウエハ21の下面周辺部を支持ピン16によって
支持させるとともに、外周面にロックピン17を当接さ
せることで、上記半導体ウエハ21を回転テ−ブル9に
保持する。上記ロックピン17は逆テ−パ状であるか
ら、半導体ウエハ21を径方向にずれないように保持す
るだけでなく、支持ピン16から浮き上がるのも阻止す
る。
したならば、ステップモ−タ6を作動させて回転軸3と
ともに上記回転テ−ブル9を高速で回転させる。それと
同時に、上部ノズル体38から洗浄液を半導体ウエハ2
1の上面に向けて噴射させるとともに、下部ノズル体2
6のノズル孔27から半導体ウエハ21の下面に向けて
洗浄液を噴射する。高速回転される半導体ウエハ21の
上面と下面との中央部分に洗浄液が供給されることで、
この半導体ウエハ21の上下面が洗浄されることにな
る。
部ノズル体26に形成されたノズル孔27から洗浄液が
供給される。上記下部ノズル体26は、固定軸を形成す
るブラケット31に取り付けられて回転軸3の上端側、
つまり回転テ−ブル9の上面側に突出して設けられてい
る。
孔27から半導体ウエハ21の下面に向けて噴射される
洗浄液は、高速回転する上記回転テ−ブル9によって遮
られることなく半導体ウエハ21の下面を洗浄するか
ら、この半導体ウエハ21の下面を効率よく確実に洗浄
することができるばかりか、洗浄液が回転テ−ブル9に
衝突して飛散するということもない。
部26bとに分割され、傘部26bは回転軸3の上端面
を覆っている。そのため、半導体ウエハ21の下面に噴
射されて落下する洗浄液は上記傘部26bによって回転
軸3と、この回転軸3の上端部内に回転自在に支持され
たブラケット31との間の第2の空間部92bに流入す
るのが阻止される。
の周辺部には第1のシ−ル壁20aが突設され、上記傘
部26bの下面には上記第1のシ−ル壁20aに対向す
る第2のシ−ル壁20bが垂設されているから、これら
のシ−ル壁によっても洗浄液が上記第2の空間部92b
へ浸入するのを阻止する。
33に設けられた供給管91から第1の空間部92aに
供給された不活性ガスがブラケット31に形成された連
通孔93を通じて流入し、その上端の開放端から流出す
る。そのため、上記第2の空間部92bは不活性ガスに
よって正圧になるから、その圧力によっても上記第2の
空間部92bへ洗浄液が流入するのが阻止されることに
なる。
浄液が流入するのが阻止されれば、回転軸3を回転自在
に支持した軸受29などが洗浄液によって早期に腐蝕さ
せられるようなことがなくなる。とくに、洗浄液の酸性
度が高い場合には早期腐蝕を防ぐために非常に有効であ
る。
持される半導体ウエハ21のサイズが変更になる場合、
上記回転テ−ブル9は、変更される半導体ウエハ21を
支持できる間隔で上記保持部材11が設けられた回転テ
−ブル9に交換される。
ず、下部ノズル体26の傘部26bを中心部26aから
取り外す。この中心部26aは回転テ−ブル9の中心部
に形成された通孔40よりも小径に設定されている。そ
のため、下部ノズル体26の傘部26bが回転テ−ブル
9を回転軸3に固定したねじ9aを覆い隠していても、
上記傘部26bを中心部26aから取り外すことで、上
記ねじ9aを露出させることができる。それによって、
このねじ9aを緩めて上記回転テ−ブル9を回転軸3か
ら取り外すことができる。
ズ変更に応じた新たな回転テ−ブル9を、取り外し時と
は逆の手順で上記回転軸3に取り付ければよい。回転テ
−ブル9を異なるサイズのものに交換しても、図3に示
す回転軸3の中心からレバ−44の一端に設けられた係
止ピン43までの距離Aと、この係止ピン43から保持
部材11の回転中心までの距離Bとの比が一定になるよ
う、上記レバ−44の長さが設定されている。
筒体41を介してばね54によりロック方向に回転させ
られる角度や解除機構51によって解除方向に回動させ
られる角度を一定にすることができる。
壁85を設け、このシ−ル壁85を液体Lが収容された
環状溝83に収容することで、上記回転テ−ブル9の下
面周辺部を気密にシ−ルしている。
75aから塵埃を含む外気が下カップ内に流入するのが
阻止されるから、洗浄された半導体ウエハ21が汚染さ
れることがない。また、逆に下カップ75内に飛散する
洗浄液が回転テ−ブル9の下面側から上記通孔75aを
通って外部に流出するのも防止できるから、とくに、洗
浄液が酸性度の高い薬品である場合には有効である。
理された半導体ウエハ21を高速回転させることで、そ
の半導体ウエハ21に付着した洗浄液を乾燥させること
ができる。乾燥処理に際し、上記回転テ−ブ9の下面周
辺部が上述したごとくシ−ルされていることで、乾燥時
にも下カップ75内に外気が流入するのが阻止される。
そのため、乾燥処理時にも、上記半導体ウエハ21に外
気に含まれる塵埃が付着するのを防止できる。
ば、回転テ−ブルを回転駆動する回転軸の内部に固定軸
を収容し、この固定軸に、上記回転テ−ブルに保持され
たワ−クの裏面に洗浄液を噴射するノズル孔を有するノ
ズル体を設けた。
浄液は高速回転する回転テ−ブルで遮られることなく上
記ワ−クの裏面に到達するから、このワ−クの裏面を効
率よく確実に洗浄することができる。しかも、洗浄液が
回転テ−ブルに衝突することがないため、洗浄液が周囲
に飛散するのを防止することもできる。
軸と回転軸との隙間を覆うノズル体を設け、このノズル
体にワ−クの下面に向けて洗浄液を噴射するノズル孔を
形成した。
ズル孔から噴射されてワ−クの裏面で反射した洗浄液が
固定軸と回転軸との隙間に浸入するのを防止できるか
ら、洗浄液によって回転軸を回転自在に支持した軸受が
早期に損傷したり、回転軸や固定軸が早期に腐蝕される
などのことが防止される。
間に不活性ガスを供給し、この隙間を正圧に保つように
した。そのため、不活性ガスの圧力によって上記固定軸
と回転軸との隙間に洗浄液が浸入するのを防止すること
ができる。
図。
説明図。
Claims (3)
- 【請求項1】 回転されるワ−クに洗浄液を噴射してこ
のワ−クを洗浄するスピン洗浄処理装置において、 固定軸と、 この固定軸を内部に収容するとともにこの固定軸に対し
て回転自在に設けられた回転軸と、 この回転軸を回転駆動する駆動手段と、 上記回転軸の上部に設けられた回転テ−ブルと、 この回転テ−ブルの上面に設けられ上記ワ−クを着脱自
在に保持する保持手段と、 上記固定軸に設けられ上記保持手段に保持されるワ−ク
の下面に向けて洗浄液を噴射するノズル孔を有するノズ
ル体とを具備したことを特徴とするスピン洗浄処理装
置。 - 【請求項2】 上記ノズル体は上記固定軸の上端に設け
られているとともに、上記固定軸と回転軸との隙間を覆
う大きさに設定されていることを特徴とする請求項1記
載のスピン洗浄処理装置。 - 【請求項3】 上記固定軸には、この固定軸と回転軸と
の隙間に、この隙間を正圧にするための不活性ガスを供
給する供給手段が設けられていることを特徴とする請求
項1記載のスピン洗浄処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13515096A JP3045665B2 (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | スピン洗浄処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13515096A JP3045665B2 (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | スピン洗浄処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09321012A true JPH09321012A (ja) | 1997-12-12 |
JP3045665B2 JP3045665B2 (ja) | 2000-05-29 |
Family
ID=15144990
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13515096A Expired - Fee Related JP3045665B2 (ja) | 1996-05-29 | 1996-05-29 | スピン洗浄処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3045665B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002192053A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-10 | Shibaura Mechatronics Corp | スピン処理装置 |
-
1996
- 1996-05-29 JP JP13515096A patent/JP3045665B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002192053A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-10 | Shibaura Mechatronics Corp | スピン処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3045665B2 (ja) | 2000-05-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100212023B1 (ko) | 레지스트 도포장치 | |
US5947136A (en) | Catch cup cleaning system | |
JP4327304B2 (ja) | スピン処理装置 | |
CN114093788A (zh) | 基板处理装置 | |
JPH0929189A (ja) | 洗浄装置 | |
KR100509800B1 (ko) | 스핀 처리 장치 및 스핀 처리 방법 | |
JP3616725B2 (ja) | 基板の処理方法及び処理装置 | |
JP4579354B2 (ja) | スピン処理装置 | |
JPH09321012A (ja) | スピン洗浄処理装置 | |
JP2883851B2 (ja) | スピン洗浄処理装置 | |
JP2000252252A (ja) | スピン処理用支持ピン及びスピン処理装置 | |
JP2726809B2 (ja) | スピン乾燥処理装置 | |
JP2000070874A (ja) | スピン処理装置及びその方法 | |
JP2866825B2 (ja) | スピン処理装置 | |
JP2010283393A (ja) | 基板処理装置、ブラシ洗浄装置 | |
JP2008211253A (ja) | 基板の処理装置、ブラシ洗浄装置 | |
JP4440354B2 (ja) | スピン処理装置 | |
JPH11102883A (ja) | スピン処理装置 | |
JPH07263325A (ja) | 吸引チャック式基板回転処理装置 | |
JPH11314063A (ja) | 回転式塗布装置 | |
JP4727080B2 (ja) | スピン処理装置 | |
JPH10172880A (ja) | フォトレジスト現像装置 | |
JP3380126B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2920855B2 (ja) | 洗浄処理装置 | |
JPH1050645A (ja) | 基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080317 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090317 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100317 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100317 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110317 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120317 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130317 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130317 Year of fee payment: 13 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |