JPH09320463A - シャドーマスク等に用いる超微少多孔性薄板成形方法及び超微少多孔性薄板 - Google Patents
シャドーマスク等に用いる超微少多孔性薄板成形方法及び超微少多孔性薄板Info
- Publication number
- JPH09320463A JPH09320463A JP16238296A JP16238296A JPH09320463A JP H09320463 A JPH09320463 A JP H09320463A JP 16238296 A JP16238296 A JP 16238296A JP 16238296 A JP16238296 A JP 16238296A JP H09320463 A JPH09320463 A JP H09320463A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、超微少孔を多数形成したシャドー
マスクを高価な金属薄板をエッチング加工することな
く、安価なメッシュシートを用い金属メッキにより高精
度、高能率に成形することを目的としている。 【解決手段】 メッシュシート又は多孔性シートに感光
樹脂を塗布し、多孔パターンを露光・現像し、パターン
部に金属メッキを施したシャドーマスク等に用いる超微
少多孔性薄板成形方法及びメッシュシート又は多孔性シ
ートに感光樹脂を塗布し、多孔パターンを形成し、金属
メッキを施した超微少多孔性薄板を特徴とする。
マスクを高価な金属薄板をエッチング加工することな
く、安価なメッシュシートを用い金属メッキにより高精
度、高能率に成形することを目的としている。 【解決手段】 メッシュシート又は多孔性シートに感光
樹脂を塗布し、多孔パターンを露光・現像し、パターン
部に金属メッキを施したシャドーマスク等に用いる超微
少多孔性薄板成形方法及びメッシュシート又は多孔性シ
ートに感光樹脂を塗布し、多孔パターンを形成し、金属
メッキを施した超微少多孔性薄板を特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種繊維を編んだ
メッシュシート又は多孔性シートを用いパターンを形成
し、メッキを施すようにしたシャドーマスク又はフイル
ターに用いる超微少多孔性薄板の成形方法及び超微少多
孔性薄板に関する。
メッシュシート又は多孔性シートを用いパターンを形成
し、メッキを施すようにしたシャドーマスク又はフイル
ターに用いる超微少多孔性薄板の成形方法及び超微少多
孔性薄板に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、テレビのシャドーマスクは図５、
図６、図７の如く、薄い金属板３０に感光樹脂３１を塗
布し、多孔パターンを露光し、現像液３２により現像
し、次いで、感光樹脂の透孔３３にエッチング液３４を
塗布して金属板３０に透孔３５を形成するようになって
いた。シャドーマスクの場合、この透孔３５は径１００
ミクロン、間隔３０ミクロン程度が要求される。
図６、図７の如く、薄い金属板３０に感光樹脂３１を塗
布し、多孔パターンを露光し、現像液３２により現像
し、次いで、感光樹脂の透孔３３にエッチング液３４を
塗布して金属板３０に透孔３５を形成するようになって
いた。シャドーマスクの場合、この透孔３５は径１００
ミクロン、間隔３０ミクロン程度が要求される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に於て
は、現像時、現像液３２が金属板３０ではね返り、現像
が不充分であると孔底部両側が３３ａの如く丸くなり、
現像オーバーであると３３ｂの如くえぐられ、透孔両側
がパターンの形状に沿った垂直壁とならないで不揃いに
なるという問題点があった。又、感光樹脂３１がレジス
トとしてエッチング液に耐えるためには透孔間の巾Ｃに
限度があり、超微少孔の形成が困難となり、レジストが
剥離してエッチング作用が円滑に行われず、現像液、レ
ジスト液の温度管理、塗布条件に熟練を要するという問
題点があった。この方法は現像・エッチングと２度スプ
レー工程があり、超微少孔（１００ミクロン以下）の形
成は極めて困難であった。特に、エッチング工程はエッ
チング液の性質上アンダーカットや金属板の板厚が厚い
と両面からのエッチングを行う必要があり、作業が非常
に困難であり厚み方向のエッチングに限界があるという
問題点があった。
は、現像時、現像液３２が金属板３０ではね返り、現像
が不充分であると孔底部両側が３３ａの如く丸くなり、
現像オーバーであると３３ｂの如くえぐられ、透孔両側
がパターンの形状に沿った垂直壁とならないで不揃いに
なるという問題点があった。又、感光樹脂３１がレジス
トとしてエッチング液に耐えるためには透孔間の巾Ｃに
限度があり、超微少孔の形成が困難となり、レジストが
剥離してエッチング作用が円滑に行われず、現像液、レ
ジスト液の温度管理、塗布条件に熟練を要するという問
題点があった。この方法は現像・エッチングと２度スプ
レー工程があり、超微少孔（１００ミクロン以下）の形
成は極めて困難であった。特に、エッチング工程はエッ
チング液の性質上アンダーカットや金属板の板厚が厚い
と両面からのエッチングを行う必要があり、作業が非常
に困難であり厚み方向のエッチングに限界があるという
問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決することを目的とし、メッシュシート又は多孔性シー
トに感光樹脂を塗布し、多孔パターンを露光・現像し、
パターン部に金属メッキを施したシャドーマスク等に用
いる超微少多孔性薄板成形方法及びメッシュシート又は
多孔性シートに感光樹脂を塗布し、多孔パターンを形成
し、金属メッキを施した超微少多孔性薄板を特徴とす
る。
決することを目的とし、メッシュシート又は多孔性シー
トに感光樹脂を塗布し、多孔パターンを露光・現像し、
パターン部に金属メッキを施したシャドーマスク等に用
いる超微少多孔性薄板成形方法及びメッシュシート又は
多孔性シートに感光樹脂を塗布し、多孔パターンを形成
し、金属メッキを施した超微少多孔性薄板を特徴とす
る。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図示した実
施例に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の第１実
施例である。１は合成樹脂繊維、天然繊維等をシート状
に編んだメッシュシートで、メッシュシート又は多孔性
シートに感光樹脂２を塗布する。
施例に基づいて詳細に説明する。図１は本発明の第１実
施例である。１は合成樹脂繊維、天然繊維等をシート状
に編んだメッシュシートで、メッシュシート又は多孔性
シートに感光樹脂２を塗布する。
【０００６】次いで図４のようなシャドーマスクのパタ
ーン３をの如く露光・現像する。光の当った部分３ａ
は透孔部となる。
ーン３をの如く露光・現像する。光の当った部分３ａ
は透孔部となる。
【０００７】この場合、現像液は図３の如く、透孔部３
ａを通過するのではね返りがなく透孔部３ａの両側は垂
直となる。光の当らなかった部分３ｂは不透部となる。
この不透部３ｂにの如く、金属メッキ層３ｃを形成
し、透孔部３ａのメッシュ不用のときは溶解等により除
去する。このようにして図３のパターン３を有するシャ
ドーマスク４が形成される。
ａを通過するのではね返りがなく透孔部３ａの両側は垂
直となる。光の当らなかった部分３ｂは不透部となる。
この不透部３ｂにの如く、金属メッキ層３ｃを形成
し、透孔部３ａのメッシュ不用のときは溶解等により除
去する。このようにして図３のパターン３を有するシャ
ドーマスク４が形成される。
【０００８】図２は本発明の第２実施例である。１は合
成樹脂繊維、天然繊維等、導電性のない繊維をシート状
に編んだメッシュシートで、この上にの如く金属メッ
キ１ａを施し導電性とする。最初から金属メッシュを使
用することもある。次いで、この上にの如く感光樹脂
２を塗布する。次いで、図３のようなシャドーマスクの
パターン３をの如く露光・現像する。光の当った部分
３ａは透孔部となる。光の当らなかった部分３ｂは不透
部となる。次いでの如く、金属メッキを施すと導電性
繊維のある透孔部３ａにメッキ層３ｃが施される。次い
で、の如く光の当らなかった不透部３ｂを除去する。
そして、透孔部３ａのメッシュシート１を溶解等により
除去すると、の如く図３のパターン３を有するシャド
ーマスク４が形成される。
成樹脂繊維、天然繊維等、導電性のない繊維をシート状
に編んだメッシュシートで、この上にの如く金属メッ
キ１ａを施し導電性とする。最初から金属メッシュを使
用することもある。次いで、この上にの如く感光樹脂
２を塗布する。次いで、図３のようなシャドーマスクの
パターン３をの如く露光・現像する。光の当った部分
３ａは透孔部となる。光の当らなかった部分３ｂは不透
部となる。次いでの如く、金属メッキを施すと導電性
繊維のある透孔部３ａにメッキ層３ｃが施される。次い
で、の如く光の当らなかった不透部３ｂを除去する。
そして、透孔部３ａのメッシュシート１を溶解等により
除去すると、の如く図３のパターン３を有するシャド
ーマスク４が形成される。
【０００９】
【発明の効果】本発明によると、従来のように高価な金
属板にスプレーでエッチング液をかけて超微少孔をあけ
るのではなく、現像液が通り抜けるメッシュシートを用
いているので現像液のはね返りがなく、現像液の特性の
限度まで対応でき、通孔両側壁を垂直に形成でき透孔部
にメッキを施しているので、超微少孔の形成が極めて高
精度に容易に行え、安価に製作できる。なお、メッシュ
シートの代りに多孔性シートを用いてもよく、本発明は
シャドーマスク以外にも超微少孔を有するフイルターに
もそのまゝ用いることができる。
属板にスプレーでエッチング液をかけて超微少孔をあけ
るのではなく、現像液が通り抜けるメッシュシートを用
いているので現像液のはね返りがなく、現像液の特性の
限度まで対応でき、通孔両側壁を垂直に形成でき透孔部
にメッキを施しているので、超微少孔の形成が極めて高
精度に容易に行え、安価に製作できる。なお、メッシュ
シートの代りに多孔性シートを用いてもよく、本発明は
シャドーマスク以外にも超微少孔を有するフイルターに
もそのまゝ用いることができる。
【図１】本発明の第１実施例成形方法を順次示す正面図
である。
である。
【図２】本発明の第２実施例成形方法を順次示す正面図
である。
である。
【図３】本発明方法による現像時正断面図である。
【図４】本発明方法により成形されたシャドーマスクの
平面部分図である。
平面部分図である。
【図５】従来方法の現像時正断面図である。
【図６】従来方法のエッチング時正断面図である。
【図７】図５の金属板がエッチング液により通孔された
時の正面図である。
時の正面図である。
１ メッシュシート １ａ 金属メッキ ２ 感光樹脂 ３ シャドーマスクのパターン ３ａ 透孔部 ３ｂ 不透部 ３ｃ メッキ層 ４ シャドーマスク
Claims (4)
- 【請求項１】 メッシュシート又は多孔性シートに感光
樹脂を塗布し、多孔パターンを露光・現像し、パターン
部に金属メッキを施したシャドーマスク等に用いる超微
少多孔性薄板成形方法。 - 【請求項２】 メッシュシート又は多孔性シートに感光
樹脂を塗布し、多孔パターンを露光・現像し、感光樹脂
部に金属メッキを施した請求項１記載のシャドーマスク
等に用いる超微少多孔性薄板成形方法。 - 【請求項３】 最初から金属メッシュを使用するか、不
導体の場合は金属メッキを先に施し導通をとったメッシ
ュシート又は多孔性シートに感光樹脂を塗布し、多孔パ
ターンを露光・現像し、感光樹脂部をレジストとして透
孔部に金属メッキを施し、感光樹脂を除去する如くした
請求項１記載のシャドーマスク等に用いる超微少多孔性
薄板成形方法。 - 【請求項４】 メッシュシート又は多孔性シートに感光
樹脂を塗布し、多孔パターンを形成し、金属メッキを施
したシャドーマスク等に用いる超微少多孔性薄板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16238296A JPH09320463A (ja) | 1996-06-03 | 1996-06-03 | シャドーマスク等に用いる超微少多孔性薄板成形方法及び超微少多孔性薄板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16238296A JPH09320463A (ja) | 1996-06-03 | 1996-06-03 | シャドーマスク等に用いる超微少多孔性薄板成形方法及び超微少多孔性薄板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09320463A true JPH09320463A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15753524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16238296A Pending JPH09320463A (ja) | 1996-06-03 | 1996-06-03 | シャドーマスク等に用いる超微少多孔性薄板成形方法及び超微少多孔性薄板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09320463A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6465742B1 (en) | 1999-09-16 | 2002-10-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Three dimensional structure and method of manufacturing the same |
| KR20150131466A (ko) * | 2014-05-14 | 2015-11-25 | 광운대학교 산학협력단 | Bto 미세 패턴 형성 방법 |
-
1996
- 1996-06-03 JP JP16238296A patent/JPH09320463A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6465742B1 (en) | 1999-09-16 | 2002-10-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Three dimensional structure and method of manufacturing the same |
| KR20150131466A (ko) * | 2014-05-14 | 2015-11-25 | 광운대학교 산학협력단 | Bto 미세 패턴 형성 방법 |
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