JPS5931543A - シヤドウマスクの製造方法 - Google Patents
シヤドウマスクの製造方法Info
- Publication number
- JPS5931543A JPS5931543A JP14164582A JP14164582A JPS5931543A JP S5931543 A JPS5931543 A JP S5931543A JP 14164582 A JP14164582 A JP 14164582A JP 14164582 A JP14164582 A JP 14164582A JP S5931543 A JPS5931543 A JP S5931543A
- Authority
- JP
- Japan
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- hole
- shadow mask
- small hole
- forming
- small
- Prior art date
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/14—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes
- H01J9/142—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes of shadow-masks for colour television tubes
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はカラーブラウン管(二使用されるシャドウマス
クの製造方法に関するものである。
クの製造方法に関するものである。
〔発明の技9I:j的背景と七の1日]題点〕カラーブ
ラウン管に使用されるシャドウマスクは土として写A製
版法によって多く一造嘔れている。そしてこの写真製版
法は大別1−るとシャドウマスク累月の両主面≦二感ブ
L液を塗布する4Ω元C夜堕布工程、この感光液ケ成膜
化して感光j俣とする乾燥工程、にル光工程、現像工程
、バー二ング工程。
ラウン管に使用されるシャドウマスクは土として写A製
版法によって多く一造嘔れている。そしてこの写真製版
法は大別1−るとシャドウマスク累月の両主面≦二感ブ
L液を塗布する4Ω元C夜堕布工程、この感光液ケ成膜
化して感光j俣とする乾燥工程、にル光工程、現像工程
、バー二ング工程。
及び腐一工程などから構成されている。
一方、カラー受像管は一般用、モニターやディスプレイ
ル」などその川越か多岐にわたってνυ、このシち一収
ホ誕用は別としてモニターやディスプレイ用のカラーブ
ラウン管は極めて倣卸1な1仰。
ル」などその川越か多岐にわたってνυ、このシち一収
ホ誕用は別としてモニターやディスプレイ用のカラーブ
ラウン管は極めて倣卸1な1仰。
が要求されでいるため、これら(二使用するシャドウマ
スクの電子ビーム遍孔部は篩棺度で且つ似創なものが要
求されている。
スクの電子ビーム遍孔部は篩棺度で且つ似創なものが要
求されている。
次に本発明のシャドウマスクの膜端方法(二級も近い従
来例でめる特開111:151 9034%公報(二よ
るシャドウマスクの製造方法を第1図乃至第4図しよシ
説明すると、先ず第1図のようにシャドウマスク累月(
1)の両土面に感光膜(2)を形成したのち、大孔用ネ
ガパターン、小孔用ネガパターンを有1−るネガ原板を
密接させたのち、廠元、机像し、直径(a+)の小孔形
成部と、直径(d2)の大孔形成部の感光膜(2)を除
去し仄(1弟2図のよう(二両面からl腐蝕液なスプレ
イカ法により吠きつけ小孔部(3)の開口部径(DI)
を二なる迄蝕刻する。勿論この場合(二は大孔形成部
からも所蔵深さの大孔部(4)が蝕刻される。
来例でめる特開111:151 9034%公報(二よ
るシャドウマスクの製造方法を第1図乃至第4図しよシ
説明すると、先ず第1図のようにシャドウマスク累月(
1)の両土面に感光膜(2)を形成したのち、大孔用ネ
ガパターン、小孔用ネガパターンを有1−るネガ原板を
密接させたのち、廠元、机像し、直径(a+)の小孔形
成部と、直径(d2)の大孔形成部の感光膜(2)を除
去し仄(1弟2図のよう(二両面からl腐蝕液なスプレ
イカ法により吠きつけ小孔部(3)の開口部径(DI)
を二なる迄蝕刻する。勿論この場合(二は大孔形成部
からも所蔵深さの大孔部(4)が蝕刻される。
次に第3図のよう(二小孔部(3)円も含めて感光膜(
2)上に腐蝕液の抵抗層(6)を被着形成したのち、第
4凶(二示すよう(二土として大孔部(4)側より腐蝕
液をスプレィ方法(二より吹きつけ、小孔部(3〕(二
被着形成された腐蝕液の抵抗層(5)(二達し、かつ小
孔部(3)の開口部径(Dl)を乱すことがないよう(
二人孔部(4)を拡大し、大孔部(4)の開口部往(D
2) l二なる迄腐蝕し、水洗・乾燥後、腐蝕液の抵抗
層(6)及び感光膜(2)を除去し、第5図(−示すシ
ャドウマスク (実際(二は〆ラットマスク)を完成す
る。
2)上に腐蝕液の抵抗層(6)を被着形成したのち、第
4凶(二示すよう(二土として大孔部(4)側より腐蝕
液をスプレィ方法(二より吹きつけ、小孔部(3〕(二
被着形成された腐蝕液の抵抗層(5)(二達し、かつ小
孔部(3)の開口部径(Dl)を乱すことがないよう(
二人孔部(4)を拡大し、大孔部(4)の開口部往(D
2) l二なる迄腐蝕し、水洗・乾燥後、腐蝕液の抵抗
層(6)及び感光膜(2)を除去し、第5図(−示すシ
ャドウマスク (実際(二は〆ラットマスク)を完成す
る。
このようなシャドウマスクの製造方法(=よると電子ビ
ーム通孔部の断面形状が安定し、また小孔部(3)の開
口部の直径(DI)も列えは140±5μmのばらつき
しかなく、また小孔部(31の深さくtりも安定し、更
に小孔部(3)のサイドエツチング量も約加〜(9)μ
inと少なく、良好な電子ビーム辿孔部ケ形成すること
が可能であるか、鳥蝕欣の抵抗層(6)を小孔部(3)
内に被着形成するため、この充填かしく二くいし、゛ま
だ充填をしてもピンホールや?包などが発生しやすく、
このためこれらピンホールや市など(二よる電子ビーム
通孔部の欠陥が起シ易いという問題点がある。
ーム通孔部の断面形状が安定し、また小孔部(3)の開
口部の直径(DI)も列えは140±5μmのばらつき
しかなく、また小孔部(31の深さくtりも安定し、更
に小孔部(3)のサイドエツチング量も約加〜(9)μ
inと少なく、良好な電子ビーム辿孔部ケ形成すること
が可能であるか、鳥蝕欣の抵抗層(6)を小孔部(3)
内に被着形成するため、この充填かしく二くいし、゛ま
だ充填をしてもピンホールや?包などが発生しやすく、
このためこれらピンホールや市など(二よる電子ビーム
通孔部の欠陥が起シ易いという問題点がある。
本発明は前述した従来の問題点(二亀みな看れたもので
あり、予め大孔部の開口部の通径が所定の直径(=なる
まで大孔部のみを腐蝕形成したのち、この大孔部の少く
とも底部(二腐蝕液の抵抗層を直接または下地を介して
被着形成したのち、小孔部の開口部の直径を所定径にな
るよう(=/14ifi’l−ること(二よシ1.挑め
て良好な電子ビーム通孔部を#設することが可能なシャ
ドウマスクの製造方法な提供することを目的としている
。
あり、予め大孔部の開口部の通径が所定の直径(=なる
まで大孔部のみを腐蝕形成したのち、この大孔部の少く
とも底部(二腐蝕液の抵抗層を直接または下地を介して
被着形成したのち、小孔部の開口部の直径を所定径にな
るよう(=/14ifi’l−ること(二よシ1.挑め
て良好な電子ビーム通孔部を#設することが可能なシャ
ドウマスクの製造方法な提供することを目的としている
。
即ち、本発明はシャドウマスク素材の両王面(二感光膜
を形成する工程と感光面上(二それぞれ大孔用ネガパタ
ーン、小孔用ネガパターンを有するネが原板なM供させ
て露光する工程と、現1家(二よp大孔及び小孔形成部
の感光膜を除去する工程と、大孔形成部のみから腐蝕に
よシ所定深さの大孔部を形成する弗lの腐蝕工程と、少
くともAil記大孔大孔部部し直接または下地を介して
腐蝕液の抵抗ノーを*W形成3−る工程と、小孔形成部
のみから腐蝕)二よシH[定の開口11μ径を有し、か
つ腐ii!lI液の抵抗層(=達する小孔部を形成する
第2のj^蝕工程と、腐蝕液の抵抗層及び感光膜を除去
する工程とを具備することを特徴とするシャドウマスク
の製造方法である。
を形成する工程と感光面上(二それぞれ大孔用ネガパタ
ーン、小孔用ネガパターンを有するネが原板なM供させ
て露光する工程と、現1家(二よp大孔及び小孔形成部
の感光膜を除去する工程と、大孔形成部のみから腐蝕に
よシ所定深さの大孔部を形成する弗lの腐蝕工程と、少
くともAil記大孔大孔部部し直接または下地を介して
腐蝕液の抵抗ノーを*W形成3−る工程と、小孔形成部
のみから腐蝕)二よシH[定の開口11μ径を有し、か
つ腐ii!lI液の抵抗層(=達する小孔部を形成する
第2のj^蝕工程と、腐蝕液の抵抗層及び感光膜を除去
する工程とを具備することを特徴とするシャドウマスク
の製造方法である。
〔づ6明の実施例〕
次雇二本兄明のシャドウマスクの製造方法を工程順に′
14′36図乃至第1O図によシ祝明する。
14′36図乃至第1O図によシ祝明する。
先ず第6図のようにシャドウマスク素材aυの両主面)
二感光膜(I7Jを形成したのち、大孔用ネガノ(ター
ン、小孔用ネガパターンを有するネガ原板を密接させた
のち、露光、現像し、1に径(d3)の小孔形成部と、
直径(d4)の大孔形成部の感光族u′4を除去し、次
に第7図のよう(二手孔形成部及び感光膜0り上(二腐
蝕液の影響を受けないよう(=ポリエステルフィルム0
四で遮蔽し、大孔形成部のみを腐Ii!It液のスプレ
ィ方法(皿上シ開口部径(D4)の大孔部(14)を形
成する。この場合大孔部(1荀の深さはシャドウマスク
素材0υの材質、厚さ、腐蝕時間(−よっても異なるが
小形形成部からの厚さくt2)かが[望1区(二なるよ
う(二選択する。またポリエステルフィルレム凸は腐蝕
装置の工夫で不用(ユすることもできる。
二感光膜(I7Jを形成したのち、大孔用ネガノ(ター
ン、小孔用ネガパターンを有するネガ原板を密接させた
のち、露光、現像し、1に径(d3)の小孔形成部と、
直径(d4)の大孔形成部の感光族u′4を除去し、次
に第7図のよう(二手孔形成部及び感光膜0り上(二腐
蝕液の影響を受けないよう(=ポリエステルフィルム0
四で遮蔽し、大孔形成部のみを腐Ii!It液のスプレ
ィ方法(皿上シ開口部径(D4)の大孔部(14)を形
成する。この場合大孔部(1荀の深さはシャドウマスク
素材0υの材質、厚さ、腐蝕時間(−よっても異なるが
小形形成部からの厚さくt2)かが[望1区(二なるよ
う(二選択する。またポリエステルフィルレム凸は腐蝕
装置の工夫で不用(ユすることもできる。
次にポリエステルフィルム(19を除去し、洗浄。
乾燥後例えば富士薬品工業(株)製の牛乳カゼインTS
−5と重クロム酸アンモニウムを貞i%て約100
: 1とし、水で稀釈して比重を1.0300 にした
腐蝕液の抵抗層(16)’に第8図(二示すよう(二人
孔部tt41内部から感光膜d21を覆うように被着形
成し、ベーキング処理を行なう。
−5と重クロム酸アンモニウムを貞i%て約100
: 1とし、水で稀釈して比重を1.0300 にした
腐蝕液の抵抗層(16)’に第8図(二示すよう(二人
孔部tt41内部から感光膜d21を覆うように被着形
成し、ベーキング処理を行なう。
次C″−弗9図に示すよう(二手孔形成部のみから所定
の開口部径(Dりを有する小孔部(IJを形成する。
の開口部径(Dりを有する小孔部(IJを形成する。
次(二腐蝕液の抵抗層u6)、感光膜u4を除去し、大
孔部(1勺及び小孔II〜03)からなる電子ビーム荊
孔部を有する?i1410図に示1−ようなシャドウマ
スクを完成する。
孔部(1勺及び小孔II〜03)からなる電子ビーム荊
孔部を有する?i1410図に示1−ようなシャドウマ
スクを完成する。
本実施例のシャドウマスクの製造方法によれば電子ビー
ム通孔部の断面形状が安定し、また小孔部(13)の開
口部径(D3)も例えば140±5μmのばらつきしか
なく、また小孔部μ3)の深さくt2)も安定し、更に
小孔HBualのサイドエツチング量も約加〜加μmと
少なく、良好な電子ビーム通孔部な形成することが可能
であるのは従来の製造方法とほぼ同様であるが、本実施
例では大孔部τI11から例えば水浴性感光層などの腐
蝕液の抵抗層を被着形成するので作業的にも極めて容易
てありかつピンホール、泡などが発生い二くいため、こ
れらピンホール、泡など(二よる゛電子ビーム通孔部の
欠陥が起シにくいし、更(=最終旧(二電子ビーム通孔
部として最も重要な小孔部Q31を形成するため、この
小孔部(13)の開口部径(D3)を制御することがロ
エ能となる。
ム通孔部の断面形状が安定し、また小孔部(13)の開
口部径(D3)も例えば140±5μmのばらつきしか
なく、また小孔部μ3)の深さくt2)も安定し、更に
小孔HBualのサイドエツチング量も約加〜加μmと
少なく、良好な電子ビーム通孔部な形成することが可能
であるのは従来の製造方法とほぼ同様であるが、本実施
例では大孔部τI11から例えば水浴性感光層などの腐
蝕液の抵抗層を被着形成するので作業的にも極めて容易
てありかつピンホール、泡などが発生い二くいため、こ
れらピンホール、泡など(二よる゛電子ビーム通孔部の
欠陥が起シにくいし、更(=最終旧(二電子ビーム通孔
部として最も重要な小孔部Q31を形成するため、この
小孔部(13)の開口部径(D3)を制御することがロ
エ能となる。
前記実施例では腐蝕液の抵抗JvI叫を大孔部圓から感
光膜(12)を績うよう(二設けたが、これは第111
Aに示すよう(二大孔郡(14Jの低部に小孔部(1〜
を設ける部分より広め(二被宥形成してもよい。この理
由としては従来例のよう(二手孔部(3) f(11に
腐蝕液の抵抗層(6)を充填する場合は光全(二冗填し
ないと後半の腐蝕工程の際(=影響を受けて欠陥となり
易い。つt、b小孔部U■はシャドウマスクの電子ビー
ム径そのものを決定すると同時(二手孔部0:3)その
ものが、シャドウマスクの孔径となるが、本発明のよう
に大孔部(−腐蝕7にの抵抗層−を被雲形成するのはシ
ャドウマスクの電子ビーム径を決める(二は従的なもの
であり、小孔部側はど重要でないからである。
光膜(12)を績うよう(二設けたが、これは第111
Aに示すよう(二大孔郡(14Jの低部に小孔部(1〜
を設ける部分より広め(二被宥形成してもよい。この理
由としては従来例のよう(二手孔部(3) f(11に
腐蝕液の抵抗層(6)を充填する場合は光全(二冗填し
ないと後半の腐蝕工程の際(=影響を受けて欠陥となり
易い。つt、b小孔部U■はシャドウマスクの電子ビー
ム径そのものを決定すると同時(二手孔部0:3)その
ものが、シャドウマスクの孔径となるが、本発明のよう
に大孔部(−腐蝕7にの抵抗層−を被雲形成するのはシ
ャドウマスクの電子ビーム径を決める(二は従的なもの
であり、小孔部側はど重要でないからである。
次に、本発明の他の実施例(二使用する腐蝕液の抵抗層
の被着形成方法を説明すると、1^蝕液の抵抗層として
例えば富士薬品工栗(株)製カゼインTS−5と重クロ
ム酸アンそニウムを重撤チで約100 : 1とし水で
稀釈して比重を1.0300に調量したもの、または例
えば和信化学工業(株) gLaquerNo18クリ
ーヤーとNo 3000 シンナーを重isで約1=
2に調製したものを準備し、夫々の溶媒、即し、MiJ
者は水、陵者はシンナーを用いて大孔部の形成されたシ
ャドウマスク累月にスプレィ方法またはゲップ方法て溶
媒を残存させる。即ち、このm媒は下地(二なる。その
後、腐蝕液の抵抗層をスプレィまたはディップて被着形
成する。このよう(二下地を設けることζ二よυ、腐i
I!lL液の抵抗層はそれぞれ下地の1に分散、mmし
て容易(ニなじみ、約150°02分間の乾燥体シャド
ウマスク素材と大孔部との境界−1にピンホール、泡な
どを全く発生することなく、最終的区二鳥蝕敵の抵抗層
は大孔部内(二、しっかりと固着し、脱洛現象も生じる
ことがなく(ムめて良好なシャドウマスクを形成するこ
とが可能である。
の被着形成方法を説明すると、1^蝕液の抵抗層として
例えば富士薬品工栗(株)製カゼインTS−5と重クロ
ム酸アンそニウムを重撤チで約100 : 1とし水で
稀釈して比重を1.0300に調量したもの、または例
えば和信化学工業(株) gLaquerNo18クリ
ーヤーとNo 3000 シンナーを重isで約1=
2に調製したものを準備し、夫々の溶媒、即し、MiJ
者は水、陵者はシンナーを用いて大孔部の形成されたシ
ャドウマスク累月にスプレィ方法またはゲップ方法て溶
媒を残存させる。即ち、このm媒は下地(二なる。その
後、腐蝕液の抵抗層をスプレィまたはディップて被着形
成する。このよう(二下地を設けることζ二よυ、腐i
I!lL液の抵抗層はそれぞれ下地の1に分散、mmし
て容易(ニなじみ、約150°02分間の乾燥体シャド
ウマスク素材と大孔部との境界−1にピンホール、泡な
どを全く発生することなく、最終的区二鳥蝕敵の抵抗層
は大孔部内(二、しっかりと固着し、脱洛現象も生じる
ことがなく(ムめて良好なシャドウマスクを形成するこ
とが可能である。
前述のよう(二本発明のシャドウマスクの製造方法(=
よれば極めて良好な電子ビーム通孔部をMするシャドウ
マスクを得ることができるのでその工業的価値は極めて
大である。
よれば極めて良好な電子ビーム通孔部をMするシャドウ
マスクを得ることができるのでその工業的価値は極めて
大である。
第1図乃至第5図は従来のシャドウマスクの製造方法を
工程順に示す直明用断凹図、第6図乃主第10図は本発
明のシャドウマスクの製造方法の一実施例を工程fil
(i二本す説明用断面図、弔11凶は局独mの逃抗ノー
の他の被着形成状態を示す欣明用H]「面図である。 1.11・・・シャドウマスク素材 2.12・・・感
光膜3.13・・・小孔tk’iI 4,1
4・・・大孔部6、16.1G、・−・腐蝕液の抵抗ノ
ー15・・・ポリエステルフィルム 代理人 弁理士 井 上 −男 第を図 第 2 図 第4図 第5図 第6図
工程順に示す直明用断凹図、第6図乃主第10図は本発
明のシャドウマスクの製造方法の一実施例を工程fil
(i二本す説明用断面図、弔11凶は局独mの逃抗ノー
の他の被着形成状態を示す欣明用H]「面図である。 1.11・・・シャドウマスク素材 2.12・・・感
光膜3.13・・・小孔tk’iI 4,1
4・・・大孔部6、16.1G、・−・腐蝕液の抵抗ノ
ー15・・・ポリエステルフィルム 代理人 弁理士 井 上 −男 第を図 第 2 図 第4図 第5図 第6図
Claims (1)
- シャドウマスク素材の両王面(二感光膜を形成する工程
ど、前日己感)シ股上(ニヤれぞg大孔用ネガパターン
、小孔ハラネガパターンを4イするネガ原板を密接させ
て路光する工程と、況像(二より大孔及び小孔形成部の
感光族を除去−する工程と、−4肥大孔形成部のみから
腐蝕(二よシ所定深さの大孔部を形成する第1の)H蝕
工程と、少くとも前記大孔部の底部に直jり互たは下地
を介して11に蝕液の処りL崩を被7Iv形成する工程
と、nlJ *己小孔形成部のかからn(蝕によシ〃「
定の開ロ部径ン肩し、かつ削記jλ蝕欲の抵抗層(1達
する小孔部を形成する第2の胸畝工程と、前記腐蝕液の
抵抗層及び前記感光族を瀕去J−る工程とを具’hHi
i−ることを特徴とするシャドウマスクの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14164582A JPS5931543A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | シヤドウマスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14164582A JPS5931543A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | シヤドウマスクの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5931543A true JPS5931543A (ja) | 1984-02-20 |
JPH0429174B2 JPH0429174B2 (ja) | 1992-05-18 |
Family
ID=15296855
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14164582A Granted JPS5931543A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | シヤドウマスクの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5931543A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62215646A (ja) * | 1986-03-17 | 1987-09-22 | Mitsubishi Petrochem Co Ltd | プロピレン重合体組成物 |
JPS62232448A (ja) * | 1986-04-03 | 1987-10-12 | Mitsubishi Petrochem Co Ltd | プロピレン共重合体フイルム |
JPS6386877A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-18 | Toshiba Corp | シヤドウマスクの製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012042720A (ja) | 2010-08-19 | 2012-03-01 | Sony Corp | 画像処理装置および方法、並びにプログラム |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4978478A (ja) * | 1972-11-30 | 1974-07-29 | ||
JPS5726346A (en) * | 1980-07-22 | 1982-02-12 | Kubota Ltd | Hot water feeder |
-
1982
- 1982-08-17 JP JP14164582A patent/JPS5931543A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4978478A (ja) * | 1972-11-30 | 1974-07-29 | ||
JPS5726346A (en) * | 1980-07-22 | 1982-02-12 | Kubota Ltd | Hot water feeder |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62215646A (ja) * | 1986-03-17 | 1987-09-22 | Mitsubishi Petrochem Co Ltd | プロピレン重合体組成物 |
JPH0528262B2 (ja) * | 1986-03-17 | 1993-04-23 | Mitsubishi Petrochemical Co | |
JPS62232448A (ja) * | 1986-04-03 | 1987-10-12 | Mitsubishi Petrochem Co Ltd | プロピレン共重合体フイルム |
JPH0511550B2 (ja) * | 1986-04-03 | 1993-02-15 | Mitsubishi Petrochemical Co | |
JPS6386877A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-18 | Toshiba Corp | シヤドウマスクの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0429174B2 (ja) | 1992-05-18 |
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