JPH09281172A - 電気回路装置及び異常検出方法並びに信号補正方法 - Google Patents
電気回路装置及び異常検出方法並びに信号補正方法Info
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- JPH09281172A JPH09281172A JP8111341A JP11134196A JPH09281172A JP H09281172 A JPH09281172 A JP H09281172A JP 8111341 A JP8111341 A JP 8111341A JP 11134196 A JP11134196 A JP 11134196A JP H09281172 A JPH09281172 A JP H09281172A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は電気回路装置に関し、装置の異常を容
易に検出し得るようにする。 【解決手段】基板毎に異なる電圧値を有する電圧信号
（ＳV1〜ＳVN）を発生する電圧信号発生手段を各回路基
板に設けると共に、電圧信号をそれぞれ監視することに
よつて装置の異常を検出する信号監視手段（１３）を主
回路基板に設けるようにしたことにより、ケーブル異常
や電源電圧異常等といつた装置の異常を容易に検出し
得、装置の異常動作を未然に回避し得る。
易に検出し得るようにする。 【解決手段】基板毎に異なる電圧値を有する電圧信号
（ＳV1〜ＳVN）を発生する電圧信号発生手段を各回路基
板に設けると共に、電圧信号をそれぞれ監視することに
よつて装置の異常を検出する信号監視手段（１３）を主
回路基板に設けるようにしたことにより、ケーブル異常
や電源電圧異常等といつた装置の異常を容易に検出し
得、装置の異常動作を未然に回避し得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電気回路装置及び異
常検出方法並びに信号補正方法に関し、例えば露光装置
等に利用される位置決め装置の信号処理ユニツトに適用
して好適なものである。
常検出方法並びに信号補正方法に関し、例えば露光装置
等に利用される位置決め装置の信号処理ユニツトに適用
して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、マスクに形成された原画パターン
を投影光学系によつて感光基板に露光する際には、位置
決め装置によつて、感光基板に付されているアライメン
ト用の位置決めマークを検出して感光基板の位置を決め
ている。この位置決め装置は、ステージ上に載置された
感光基板に付されたアライメント用の位置決めマークの
像を検出光学系を介して結像する位置検出センサ（例え
ばテレビカメラ）と、この像に応じた画像信号を信号処
理して位置決めマークの画像内での位置を求める信号処
理ユニツトとによつて構成されている。この位置決め装
置の信号処理ユニツト内には、種々の信号処理回路が実
装された回路基板が何枚も収納されており、その回路基
板がそれぞれコネクタ付きのケーブルを介して接続さ
れ、デイジタル信号やアナログ信号等、種々の信号の受
け渡しを行つている。
を投影光学系によつて感光基板に露光する際には、位置
決め装置によつて、感光基板に付されているアライメン
ト用の位置決めマークを検出して感光基板の位置を決め
ている。この位置決め装置は、ステージ上に載置された
感光基板に付されたアライメント用の位置決めマークの
像を検出光学系を介して結像する位置検出センサ（例え
ばテレビカメラ）と、この像に応じた画像信号を信号処
理して位置決めマークの画像内での位置を求める信号処
理ユニツトとによつて構成されている。この位置決め装
置の信号処理ユニツト内には、種々の信号処理回路が実
装された回路基板が何枚も収納されており、その回路基
板がそれぞれコネクタ付きのケーブルを介して接続さ
れ、デイジタル信号やアナログ信号等、種々の信号の受
け渡しを行つている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところでこのような信
号処理ユニツトは、回路基板の枚数が多いため製造時に
ケーブルの誤配線が起きるおそれがある。そのため初め
て電源を入れて運用する場合には（以下、これを初期運
用時と呼ぶ）、ケーブル誤配線がなく正常に動作するか
否か検査する必要がある。
号処理ユニツトは、回路基板の枚数が多いため製造時に
ケーブルの誤配線が起きるおそれがある。そのため初め
て電源を入れて運用する場合には（以下、これを初期運
用時と呼ぶ）、ケーブル誤配線がなく正常に動作するか
否か検査する必要がある。
【０００４】そこで従来の場合には、ＧＰＩＢ（Genera
l Purpose Interface Bus ）等のインターフエイスを持
つた測定器を信号処理ユニツトに接続し、これによつて
ハンドシエイクといつた接続試験を行うことにより、ケ
ーブル誤配線を検出するようにしている。但し、このよ
うな試験を行うためには信号処理ユニツト側にもＧＰＩ
Ｂ等のインターフエイスを備えている必要がある。その
ためそのようなインターフエイスを備えていない場合に
は、図７に示すように、信号処理ユニツト１に対してダ
ミーケーブル２及びダミー回路基板３を接続して折り返
し試験を行うことにより、ケーブル誤配線を検出するよ
うにしている。
l Purpose Interface Bus ）等のインターフエイスを持
つた測定器を信号処理ユニツトに接続し、これによつて
ハンドシエイクといつた接続試験を行うことにより、ケ
ーブル誤配線を検出するようにしている。但し、このよ
うな試験を行うためには信号処理ユニツト側にもＧＰＩ
Ｂ等のインターフエイスを備えている必要がある。その
ためそのようなインターフエイスを備えていない場合に
は、図７に示すように、信号処理ユニツト１に対してダ
ミーケーブル２及びダミー回路基板３を接続して折り返
し試験を行うことにより、ケーブル誤配線を検出するよ
うにしている。
【０００５】ところが上述のような試験方法の場合に
は、基本的にソフトウエアの動作によつてケーブル誤配
線を検出しているため、そのような試験用のソフトウエ
アが信号処理ユニツトに用意されていなければケーブル
誤配線を検出できないといつた不都合がある。またその
ソフトウエアにバグがある場合にもケーブル誤配線を検
出ができないといつた不都合がある。また上述のような
試験方法では、ケーブル誤配線を検出できたとしても、
電源電圧の変動等といつたその他の異常については検出
できないといつた不都合もある。さらに上述のような試
験方法では、初期運用時にはケーブル誤配線を検出でき
たとしても、運用途中で発生したケーブル異常（例えば
ケーブルが外れる等）はそもそも検出できないといつた
不都合もある。
は、基本的にソフトウエアの動作によつてケーブル誤配
線を検出しているため、そのような試験用のソフトウエ
アが信号処理ユニツトに用意されていなければケーブル
誤配線を検出できないといつた不都合がある。またその
ソフトウエアにバグがある場合にもケーブル誤配線を検
出ができないといつた不都合がある。また上述のような
試験方法では、ケーブル誤配線を検出できたとしても、
電源電圧の変動等といつたその他の異常については検出
できないといつた不都合もある。さらに上述のような試
験方法では、初期運用時にはケーブル誤配線を検出でき
たとしても、運用途中で発生したケーブル異常（例えば
ケーブルが外れる等）はそもそも検出できないといつた
不都合もある。
【０００６】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、装置の異常を容易に検出し得る電気回路装置及びそ
の異常検出方法並びにレベル変動が生じたアナログ信号
を容易に補正し得る信号補正方法を提案しようとするも
のである。
で、装置の異常を容易に検出し得る電気回路装置及びそ
の異常検出方法並びにレベル変動が生じたアナログ信号
を容易に補正し得る信号補正方法を提案しようとするも
のである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、基板毎に異なる電圧値を有する電
圧信号（ＳV1〜ＳVN）を発生する電圧信号発生手段（１
２）を各回路基板（１１Ａ1 〜１１ＡN ）に対してそれ
ぞれ設けると共に、回路基板からケーブル（ＣＢ1 〜Ｃ
ＢN ）を介して供給される電圧信号をそれぞれ監視する
ことによつて装置の異常を検出する信号監視手段（１
３）を主回路基板（１１Ｂ）に設けるようにした。この
ように電圧信号発生手段によつて発生した電圧信号を信
号監視手段によつて監視して装置の異常を検出するよう
にしたことにより、装置の異常を容易に検出し得、装置
の異常動作を未然に回避し得る。
め本発明においては、基板毎に異なる電圧値を有する電
圧信号（ＳV1〜ＳVN）を発生する電圧信号発生手段（１
２）を各回路基板（１１Ａ1 〜１１ＡN ）に対してそれ
ぞれ設けると共に、回路基板からケーブル（ＣＢ1 〜Ｃ
ＢN ）を介して供給される電圧信号をそれぞれ監視する
ことによつて装置の異常を検出する信号監視手段（１
３）を主回路基板（１１Ｂ）に設けるようにした。この
ように電圧信号発生手段によつて発生した電圧信号を信
号監視手段によつて監視して装置の異常を検出するよう
にしたことにより、装置の異常を容易に検出し得、装置
の異常動作を未然に回避し得る。
【０００８】また本発明においては、基板毎に異なる電
圧値を有する電圧信号（ＳV1〜ＳVN）を発生する電圧信
号発生手段（１２）を各回路基板（１１Ａ1 〜１１
ＡN ）に対してそれぞれ設けると共に、電圧信号をそれ
ぞれ監視する信号監視手段（１３）を主回路基板に対し
て設け、初期運用時、信号監視手段によつて電圧信号の
電圧値がそれぞれ設定電圧値と一致するか否か監視し、
設定電圧値と一致しなければケーブル誤配線又は電源電
圧異常があると判定してオペレータに警告通知するよう
にした。このようにして電圧信号の電圧値と設定電圧値
と比較監視して異常を検出するようにしたことにより、
初期運用時、ケーブル誤配線又は電源電圧異常を容易に
検出し得る。
圧値を有する電圧信号（ＳV1〜ＳVN）を発生する電圧信
号発生手段（１２）を各回路基板（１１Ａ1 〜１１
ＡN ）に対してそれぞれ設けると共に、電圧信号をそれ
ぞれ監視する信号監視手段（１３）を主回路基板に対し
て設け、初期運用時、信号監視手段によつて電圧信号の
電圧値がそれぞれ設定電圧値と一致するか否か監視し、
設定電圧値と一致しなければケーブル誤配線又は電源電
圧異常があると判定してオペレータに警告通知するよう
にした。このようにして電圧信号の電圧値と設定電圧値
と比較監視して異常を検出するようにしたことにより、
初期運用時、ケーブル誤配線又は電源電圧異常を容易に
検出し得る。
【０００９】さらに本発明においては、初期運用時に信
号監視手段（１３）によつて電圧信号（ＳV1〜ＳVN）の
電圧値を初期電圧値としてそれぞれ記憶しておき、通常
運用時には信号監視手段によつて所定時間間隔で電圧信
号の電圧値がそれぞれ初期電圧値と一致するか否か監視
し、所定の規格範囲を越えて初期電圧値と一致しなけれ
ばケーブル異常又は電源電圧異常が発生したと判定して
オペレータに警告通知するようにした。これにより、通
常運用時にもケーブル異常又は電源電圧異常といつた装
置の異常を容易に検出し得、装置の異常動作を未然に回
避し得る。
号監視手段（１３）によつて電圧信号（ＳV1〜ＳVN）の
電圧値を初期電圧値としてそれぞれ記憶しておき、通常
運用時には信号監視手段によつて所定時間間隔で電圧信
号の電圧値がそれぞれ初期電圧値と一致するか否か監視
し、所定の規格範囲を越えて初期電圧値と一致しなけれ
ばケーブル異常又は電源電圧異常が発生したと判定して
オペレータに警告通知するようにした。これにより、通
常運用時にもケーブル異常又は電源電圧異常といつた装
置の異常を容易に検出し得、装置の異常動作を未然に回
避し得る。
【００１０】また本発明においては、基板毎に異なる電
圧値を有する電圧信号（ＳV1〜ＳVN）を発生する電圧信
号発生手段（１２）を各回路基板（１１Ａ1 〜１１
ＡN ）に対してそれぞれ設けると共に、電圧信号をそれ
ぞれ監視する信号監視手段（１３）を主回路基板（１１
Ｂ）に対して設け、初期運用時に信号監視手段によつて
電圧信号の電圧値を初期電圧値としてそれぞれ記憶して
おき、通常運用時には信号監視手段によつて所定時間間
隔で電圧信号の電圧値がそれぞれ初期電圧値と一致する
か否か監視し、所定の規格範囲内で初期電圧値と一致し
なければ電源電圧変動が発生したと判定し、初期電圧値
との差を基に回路基板からケーブルを介して供給される
アナログ信号の信号レベルに補正を施すようにした。こ
のようにして初期電圧値との差を基にアナログ信号に補
正を施すようにしたことにより、アナログ信号から電源
電圧の変動による影響を除去することができ、電源電圧
の変動によつて引き起される装置精度の劣化を未然に回
避し得る。
圧値を有する電圧信号（ＳV1〜ＳVN）を発生する電圧信
号発生手段（１２）を各回路基板（１１Ａ1 〜１１
ＡN ）に対してそれぞれ設けると共に、電圧信号をそれ
ぞれ監視する信号監視手段（１３）を主回路基板（１１
Ｂ）に対して設け、初期運用時に信号監視手段によつて
電圧信号の電圧値を初期電圧値としてそれぞれ記憶して
おき、通常運用時には信号監視手段によつて所定時間間
隔で電圧信号の電圧値がそれぞれ初期電圧値と一致する
か否か監視し、所定の規格範囲内で初期電圧値と一致し
なければ電源電圧変動が発生したと判定し、初期電圧値
との差を基に回路基板からケーブルを介して供給される
アナログ信号の信号レベルに補正を施すようにした。こ
のようにして初期電圧値との差を基にアナログ信号に補
正を施すようにしたことにより、アナログ信号から電源
電圧の変動による影響を除去することができ、電源電圧
の変動によつて引き起される装置精度の劣化を未然に回
避し得る。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施例を詳述する。
施例を詳述する。
【００１２】図１において、１０は全体として本発明を
適用した信号処理ユニツトを示し、その内部には複数の
回路基板１１Ａ1 〜１１ＡN と主回路基板１１Ｂが収納
されている。この場合、回路基板１１Ａ1 〜１１ＡN は
それぞれコネクタ付きのケーブルＣＢ1 〜ＣＢN を介し
て主回路基板１１Ｂに接続されており、デイジタル信号
やアナログ信号等、種々の信号の受け渡しを主回路基板
１１Ｂと行つている。
適用した信号処理ユニツトを示し、その内部には複数の
回路基板１１Ａ1 〜１１ＡN と主回路基板１１Ｂが収納
されている。この場合、回路基板１１Ａ1 〜１１ＡN は
それぞれコネクタ付きのケーブルＣＢ1 〜ＣＢN を介し
て主回路基板１１Ｂに接続されており、デイジタル信号
やアナログ信号等、種々の信号の受け渡しを主回路基板
１１Ｂと行つている。
【００１３】ここで回路基板１１Ａ1 〜１１ＡN には図
２に示すような電圧発生回路１２がそれぞれ設けられて
いる。この電圧発生回路１２は、＋１５〔Ｖ〕の電源電
圧を２つの抵抗Ｒ１、Ｒ２で分圧することにより所定電
圧値の電圧信号ＳV を発生し得るようになされている。
この場合、各回路基板毎にこの２つの抵抗Ｒ１、Ｒ２の
抵抗値を変えることにより、各回路基板毎に異なる電圧
値の電圧信号ＳV1〜ＳVNを発生するようになされてい
る。この電圧信号ＳV1〜ＳVNはそれぞれ各回路基板１１
Ａ1 〜１１ＡN のコネクタピンに供給され、ケーブルＣ
Ｂ1 〜ＣＢN を介してそれぞれ主回路基板１１Ｂに供給
される。なお、以下、この電圧信号ＳV1〜ＳVNを基板Ｉ
Ｄ信号と呼ぶことにする。
２に示すような電圧発生回路１２がそれぞれ設けられて
いる。この電圧発生回路１２は、＋１５〔Ｖ〕の電源電
圧を２つの抵抗Ｒ１、Ｒ２で分圧することにより所定電
圧値の電圧信号ＳV を発生し得るようになされている。
この場合、各回路基板毎にこの２つの抵抗Ｒ１、Ｒ２の
抵抗値を変えることにより、各回路基板毎に異なる電圧
値の電圧信号ＳV1〜ＳVNを発生するようになされてい
る。この電圧信号ＳV1〜ＳVNはそれぞれ各回路基板１１
Ａ1 〜１１ＡN のコネクタピンに供給され、ケーブルＣ
Ｂ1 〜ＣＢN を介してそれぞれ主回路基板１１Ｂに供給
される。なお、以下、この電圧信号ＳV1〜ＳVNを基板Ｉ
Ｄ信号と呼ぶことにする。
【００１４】一方、主回路基板１１Ｂには図３に示すよ
うな信号監視回路１３が設けられている。回路基板１１
Ａ1 〜１１ＡN からケーブルＣＢ1 〜ＣＢN を介して供
給される各信号はまず主回路基板１１Ｂに設けられたコ
ネクタＰ1 〜ＰN にそれぞれ供給される。この信号の中
には勿論上述した基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNが含まれてい
る。供給された各信号のうち基板ＩＤ信号ＳV1〜Ｓ
VNは、それぞれアナログバツフアＢ11〜Ｂ1Nを介してア
ナログマルチプレクサ１４に供給される。
うな信号監視回路１３が設けられている。回路基板１１
Ａ1 〜１１ＡN からケーブルＣＢ1 〜ＣＢN を介して供
給される各信号はまず主回路基板１１Ｂに設けられたコ
ネクタＰ1 〜ＰN にそれぞれ供給される。この信号の中
には勿論上述した基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNが含まれてい
る。供給された各信号のうち基板ＩＤ信号ＳV1〜Ｓ
VNは、それぞれアナログバツフアＢ11〜Ｂ1Nを介してア
ナログマルチプレクサ１４に供給される。
【００１５】このアナログマルチプレクサ１４はＭＰＵ
（Microprocessor Unit ）１５からのセレクト信号Ｓ１
に基づいて入力された基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNを選択し
得るようになされており、その選択した基板ＩＤ信号Ｓ
VX（但し、Ｘ＝１〜Ｎ）をアナログデイジタル変換器
（Ａ／Ｄ）１６に供給する。アナログデイジタル変換器
１６は入力された基板ＩＤ信号ＳVXを所定のサンプリン
グ周波数に基づいてアナログデイジタル変換する。この
場合、アナログデイジタル変換器１６としては、入力電
圧範囲が０〜＋５〔Ｖ〕対応で、かつ８ビツト出力のも
のが用いられている。このアナログデイジタル変換器１
６によつて変換されたデイジタル信号は、バツフア１７
を介してＭＰＵ１５に供給され、当該ＭＰＵ１５によつ
て読み込まれる。このようにして回路基板１１Ａ1 〜１
１ＡN で発生した基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNはＭＰＵ１５
によつて監視される。
（Microprocessor Unit ）１５からのセレクト信号Ｓ１
に基づいて入力された基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNを選択し
得るようになされており、その選択した基板ＩＤ信号Ｓ
VX（但し、Ｘ＝１〜Ｎ）をアナログデイジタル変換器
（Ａ／Ｄ）１６に供給する。アナログデイジタル変換器
１６は入力された基板ＩＤ信号ＳVXを所定のサンプリン
グ周波数に基づいてアナログデイジタル変換する。この
場合、アナログデイジタル変換器１６としては、入力電
圧範囲が０〜＋５〔Ｖ〕対応で、かつ８ビツト出力のも
のが用いられている。このアナログデイジタル変換器１
６によつて変換されたデイジタル信号は、バツフア１７
を介してＭＰＵ１５に供給され、当該ＭＰＵ１５によつ
て読み込まれる。このようにして回路基板１１Ａ1 〜１
１ＡN で発生した基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNはＭＰＵ１５
によつて監視される。
【００１６】これに対して回路基板１１Ａ1 〜１１ＡN
から供給された各信号のうちアナログ信号ＳA1〜Ｓ
ANは、それぞれアナログバツフアＢ21〜Ｂ2Nを介してア
ナログマルチプレクサ１８に供給される。アナログマル
チプレクサ１８はＭＰＵ１５からのセレクト信号Ｓ２に
基づいて入力されたアナログ信号ＳA1〜ＳANを選択し得
るようになされており、その選択したアナログ信号ＳAX
（但し、Ｘ＝１〜Ｎ）をアナログデイジタル変換器（Ａ
／Ｄ）１９に供給する。アナログデイジタル変換器１９
は入力されたアナログ信号ＳAXを所定のサンプリング周
波数に基づいてアナログデイジタル変換する。このアナ
ログデイジタル変換器１９によつて変換されたデイジタ
ル信号は、バツフア２０を介してＭＰＵ１５に供給さ
れ、当該ＭＰＵ１５によつて読み込まれる。なお、ＭＰ
Ｕ１５はこのアナログ信号ＳAXを基に位置決め等を行
う。
から供給された各信号のうちアナログ信号ＳA1〜Ｓ
ANは、それぞれアナログバツフアＢ21〜Ｂ2Nを介してア
ナログマルチプレクサ１８に供給される。アナログマル
チプレクサ１８はＭＰＵ１５からのセレクト信号Ｓ２に
基づいて入力されたアナログ信号ＳA1〜ＳANを選択し得
るようになされており、その選択したアナログ信号ＳAX
（但し、Ｘ＝１〜Ｎ）をアナログデイジタル変換器（Ａ
／Ｄ）１９に供給する。アナログデイジタル変換器１９
は入力されたアナログ信号ＳAXを所定のサンプリング周
波数に基づいてアナログデイジタル変換する。このアナ
ログデイジタル変換器１９によつて変換されたデイジタ
ル信号は、バツフア２０を介してＭＰＵ１５に供給さ
れ、当該ＭＰＵ１５によつて読み込まれる。なお、ＭＰ
Ｕ１５はこのアナログ信号ＳAXを基に位置決め等を行
う。
【００１７】ここで回路基板１１Ａ1 〜１１ＡN の枚数
を「５」とし、以下にＭＰＵ１５による異常検出方法を
説明する。まず回路基板１１Ａ1 〜１１Ａ5 に設けられ
た電圧発生回路１２によつて発生する基板ＩＤ信号ＳV1
〜ＳV5の電圧値を図４に示すように設定する。すなわち
回路基板１１Ａ1 の基板ＩＤ信号ＳV1を 0.5〔Ｖ〕、回
路基板１１Ａ2 の基板ＩＤ信号ＳV2を 1.5〔Ｖ〕、回路
基板１１Ａ3 の基板ＩＤ信号ＳV3を 2.5〔Ｖ〕、回路基
板１１Ａ4 の基板ＩＤ信号ＳV4を 3.5〔Ｖ〕、回路基板
１１Ａ5 の基板ＩＤ信号ＳV5を 4.5〔Ｖ〕に設定する。
なお、図中示されるデイジタル変換後の値は、基板ＩＤ
信号ＳVXをデイジタル変換した後の値であり、16進数
（HEX ）で表されている。またこの異常検出方法では、
この設定電圧値に対する許容値を± 5（HEX ）、異常判
定の基準となる基準規格値を±10（HEX ）とし、この許
容値及び基準規格値を用いて基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳV5を
監視して異常検出を行う。
を「５」とし、以下にＭＰＵ１５による異常検出方法を
説明する。まず回路基板１１Ａ1 〜１１Ａ5 に設けられ
た電圧発生回路１２によつて発生する基板ＩＤ信号ＳV1
〜ＳV5の電圧値を図４に示すように設定する。すなわち
回路基板１１Ａ1 の基板ＩＤ信号ＳV1を 0.5〔Ｖ〕、回
路基板１１Ａ2 の基板ＩＤ信号ＳV2を 1.5〔Ｖ〕、回路
基板１１Ａ3 の基板ＩＤ信号ＳV3を 2.5〔Ｖ〕、回路基
板１１Ａ4 の基板ＩＤ信号ＳV4を 3.5〔Ｖ〕、回路基板
１１Ａ5 の基板ＩＤ信号ＳV5を 4.5〔Ｖ〕に設定する。
なお、図中示されるデイジタル変換後の値は、基板ＩＤ
信号ＳVXをデイジタル変換した後の値であり、16進数
（HEX ）で表されている。またこの異常検出方法では、
この設定電圧値に対する許容値を± 5（HEX ）、異常判
定の基準となる基準規格値を±10（HEX ）とし、この許
容値及び基準規格値を用いて基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳV5を
監視して異常検出を行う。
【００１８】まず初期運用時、すなわち初めて電源を入
れて運用する場合の検出動作について説明する。まずＭ
ＰＵ１５はアナログマルチプレクサ１４の選択動作を制
御することにより全回路基板１１Ａ1 〜１１Ａ5 の基板
ＩＤ信号ＳV1〜ＳV5を読み込み、設定値と比較する。こ
の場合、ＭＰＵ１５は、基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳV5のデイ
ジタル変換後の電圧値と図４に示したデイジタル変換後
の設定電圧値とを比較する。その結果、全回路基板１１
Ａ1 〜１１Ａ5 について読み込んだ値と設定電圧値とが
一致していればケーブル誤配線や電源電圧の異常もな
く、正常であると判断して検出動作を終了する。このと
き読み込んだ基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳV5の電圧値を初期電
圧値として内部のメモリ等に記憶しておく。
れて運用する場合の検出動作について説明する。まずＭ
ＰＵ１５はアナログマルチプレクサ１４の選択動作を制
御することにより全回路基板１１Ａ1 〜１１Ａ5 の基板
ＩＤ信号ＳV1〜ＳV5を読み込み、設定値と比較する。こ
の場合、ＭＰＵ１５は、基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳV5のデイ
ジタル変換後の電圧値と図４に示したデイジタル変換後
の設定電圧値とを比較する。その結果、全回路基板１１
Ａ1 〜１１Ａ5 について読み込んだ値と設定電圧値とが
一致していればケーブル誤配線や電源電圧の異常もな
く、正常であると判断して検出動作を終了する。このと
き読み込んだ基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳV5の電圧値を初期電
圧値として内部のメモリ等に記憶しておく。
【００１９】一方、読み込んだ値と設定電圧値とが一致
していなければ、ＭＰＵ１５はケーブル誤配線又は電源
電圧の異常があると判断し、例えばデイスプレイ等の所
定表示手段（図示せず）に警告を表示すると共に、以降
のシーケンスを実行するか否かを表示してオペレータに
問い合わせる。
していなければ、ＭＰＵ１５はケーブル誤配線又は電源
電圧の異常があると判断し、例えばデイスプレイ等の所
定表示手段（図示せず）に警告を表示すると共に、以降
のシーケンスを実行するか否かを表示してオペレータに
問い合わせる。
【００２０】次に通常運用時の場合の検出動作について
説明する。この場合、ＭＰＵ１５は、アナログマルチプ
レクサ１４の選択動作を制御し、所定時間間隔で全回路
基板１１Ａ1 〜１１Ａ5 の基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳV5の電
圧値を監視する。具体的には、所定時間間隔で全回路基
板１１Ａ1 〜１１Ａ5 の基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳV5を読み
込み、その結果得た電圧値と初期運用時で記憶しておい
た初期電圧値とを比較することによつて電圧値を監視す
る。その結果、読み込んだ電圧値と初期電圧値との差が
許容値以内であれば（すなわちその差が± 5（HEX ）以
内であれば）、コネクタの接触不良や電源電圧の変動は
殆どないと判断する。また電源電圧の変動によつて発生
するアナログ信号ＳA1〜ＳA5のレベル変動も微小である
と判断し、当該アナログ信号ＳA1〜ＳA5に対する信号補
正も行わない。
説明する。この場合、ＭＰＵ１５は、アナログマルチプ
レクサ１４の選択動作を制御し、所定時間間隔で全回路
基板１１Ａ1 〜１１Ａ5 の基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳV5の電
圧値を監視する。具体的には、所定時間間隔で全回路基
板１１Ａ1 〜１１Ａ5 の基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳV5を読み
込み、その結果得た電圧値と初期運用時で記憶しておい
た初期電圧値とを比較することによつて電圧値を監視す
る。その結果、読み込んだ電圧値と初期電圧値との差が
許容値以内であれば（すなわちその差が± 5（HEX ）以
内であれば）、コネクタの接触不良や電源電圧の変動は
殆どないと判断する。また電源電圧の変動によつて発生
するアナログ信号ＳA1〜ＳA5のレベル変動も微小である
と判断し、当該アナログ信号ＳA1〜ＳA5に対する信号補
正も行わない。
【００２１】これに対して初期電圧値との差が許容値以
上で、かつ基準規格値未満であれば（すなわちその差が
± 5（HEX ）以上、かつ±10（HEX ）未満であれば）、
電源電圧に変動があると判断する。通常、アナログ回路
の場合には、電源電圧に変動が発生すると、その電源電
圧の変動が直接的にアナログ信号の出力に影響を及ぼ
し、その結果、位置決め精度等、装置として要求されて
いる精度が劣化するおそれがある。そのためこの場合に
は、電源電圧の変動によつて発生したアナログ信号のレ
ベル変動を補正し、これによつて装置としての精度を向
上する。
上で、かつ基準規格値未満であれば（すなわちその差が
± 5（HEX ）以上、かつ±10（HEX ）未満であれば）、
電源電圧に変動があると判断する。通常、アナログ回路
の場合には、電源電圧に変動が発生すると、その電源電
圧の変動が直接的にアナログ信号の出力に影響を及ぼ
し、その結果、位置決め精度等、装置として要求されて
いる精度が劣化するおそれがある。そのためこの場合に
は、電源電圧の変動によつて発生したアナログ信号のレ
ベル変動を補正し、これによつて装置としての精度を向
上する。
【００２２】この補正方法について以下に具体的に説明
する。例えば所定の電気回路に対して入力される入力電
圧をＶIN、電源電圧をＶP とすると、その電気回路の出
力電圧ＶO は、次式
する。例えば所定の電気回路に対して入力される入力電
圧をＶIN、電源電圧をＶP とすると、その電気回路の出
力電圧ＶO は、次式
【数１】 に示すように、入力電圧ＶINと電源電圧ＶP との関数に
よつて表される。この（１）式を電源電圧ＶP で偏微分
すると、次式
よつて表される。この（１）式を電源電圧ＶP で偏微分
すると、次式
【数２】 に示すように、電源電圧ＶP が変動したときの出力電圧
ＶO の変動分ΔＶO が得られる。なお、（２）式中にお
けるΔＶP は電源電圧の初期値と現在値との差を表して
いる。
ＶO の変動分ΔＶO が得られる。なお、（２）式中にお
けるΔＶP は電源電圧の初期値と現在値との差を表して
いる。
【００２３】これを基板ＩＤ信号Ｓvxに対して当ては
め、まず電源電圧の変動を求める。例えば回路基板１１
Ａ3 から得た基板ＩＤ信号ＳV3の電圧値が「87(HEX) 」
とすると、設定値が「80(HEX) 」であるからその差は
「7(HEX)」になる。これをボルト単位で表すと、アナロ
グデイジタル変換器１６のＬＳＢ（いわゆる最下位ビツ
ト）が19.53 〔ｍＶ〕であるから、電圧値の差は136.72
〔ｍＶ〕になる。このとき回路基板１１Ａ3 の電圧発生
回路１２は、図５に示すように構成されているため、電
源電圧変動の１／６が基板ＩＤ信号ＳV3に現れることに
なる。従つてこの場合には、電源電圧の変動は、次式
め、まず電源電圧の変動を求める。例えば回路基板１１
Ａ3 から得た基板ＩＤ信号ＳV3の電圧値が「87(HEX) 」
とすると、設定値が「80(HEX) 」であるからその差は
「7(HEX)」になる。これをボルト単位で表すと、アナロ
グデイジタル変換器１６のＬＳＢ（いわゆる最下位ビツ
ト）が19.53 〔ｍＶ〕であるから、電圧値の差は136.72
〔ｍＶ〕になる。このとき回路基板１１Ａ3 の電圧発生
回路１２は、図５に示すように構成されているため、電
源電圧変動の１／６が基板ＩＤ信号ＳV3に現れることに
なる。従つてこの場合には、電源電圧の変動は、次式
【数３】 に示すように、820.32〔ｍＶ〕になる。
【００２４】ここではこの検出した電源電圧の変動が各
電気回路の出力に及ぼす影響を計算し、その値を補正値
として用いてアナログ信号を補正する。その際、各電気
回路によつて補正方法が異なるため、ここでは一例を上
げて説明する。まず電気回路がオペアンプ等のアナログ
ＩＣを用いて構成されている場合について説明する。こ
の場合、オペアンプ等には電源ノイズ除去の機能がある
ため、電源電圧の変動によつて発生する出力電圧の変動
分ΔＶO は、次式
電気回路の出力に及ぼす影響を計算し、その値を補正値
として用いてアナログ信号を補正する。その際、各電気
回路によつて補正方法が異なるため、ここでは一例を上
げて説明する。まず電気回路がオペアンプ等のアナログ
ＩＣを用いて構成されている場合について説明する。こ
の場合、オペアンプ等には電源ノイズ除去の機能がある
ため、電源電圧の変動によつて発生する出力電圧の変動
分ΔＶO は、次式
【数４】 に示すように、殆ど零である。従つてこの場合には、ア
ナログ信号のレベル変動はなく、補正する必要はない。
ナログ信号のレベル変動はなく、補正する必要はない。
【００２５】次に電気回路が図６に示すようなエミツタ
接地回路で構成されている場合について説明する。この
場合、出力電圧ＶO は、コレクタ抵抗をＲC 、トランジ
スタの電流増幅率をｈfe、入力インピーダンスをｈieと
すると、次式
接地回路で構成されている場合について説明する。この
場合、出力電圧ＶO は、コレクタ抵抗をＲC 、トランジ
スタの電流増幅率をｈfe、入力インピーダンスをｈieと
すると、次式
【数５】 に示すように表される。この（５）式により、電源電圧
の変動によつて発生する出力電圧の変動分ΔＶO は、次
式
の変動によつて発生する出力電圧の変動分ΔＶO は、次
式
【数６】 に示すように、電源の変動分ΔＶP となる。従つてこの
場合には、アナログ信号に対してこの電源変動分ΔＶP
を加算（又は減算）してレベル変動を補正する。
場合には、アナログ信号に対してこの電源変動分ΔＶP
を加算（又は減算）してレベル変動を補正する。
【００２６】このようにしてこの実施例の場合には、基
板ＩＤ信号ＳVXと初期電圧値との差を基に電源電圧の変
動分ΔＶP を検出し、検出した電源の変動分ΔＶP を基
に出力電圧の変動分ΔＶO を算出する。そして次式
板ＩＤ信号ＳVXと初期電圧値との差を基に電源電圧の変
動分ΔＶP を検出し、検出した電源の変動分ΔＶP を基
に出力電圧の変動分ΔＶO を算出する。そして次式
【数７】 に示すように、算出した変動分ΔＶO を、監視している
アナログ信号ＳAXの電圧値ＶS ′に加算（又は減算）
し、これを補正電圧値ＶS として用いる。このようにこ
の実施例の場合には、電源電圧の変動によつて発生した
アナログ信号のレベル変動を補正し、これによつて装置
として要求されている精度を向上する。
アナログ信号ＳAXの電圧値ＶS ′に加算（又は減算）
し、これを補正電圧値ＶS として用いる。このようにこ
の実施例の場合には、電源電圧の変動によつて発生した
アナログ信号のレベル変動を補正し、これによつて装置
として要求されている精度を向上する。
【００２７】一方、読み込んだ電圧値と初期電圧値との
差が基準規格値以上であれば（すなわちその差が±10(H
EX) 以上であれば）、次のような異常が発生したと判断
する。すなわちケーブルが外れているとか、或いは基板
に供給されている電源電圧が大きく変動したといつた異
常である。この場合には、１枚でもそのような回路基板
が存在すると、装置動作に重大な支障をきたし、異常動
作するおそれがある。そのためこの場合には、次に説明
するような手順に基づいて装置の動作を終了する。
差が基準規格値以上であれば（すなわちその差が±10(H
EX) 以上であれば）、次のような異常が発生したと判断
する。すなわちケーブルが外れているとか、或いは基板
に供給されている電源電圧が大きく変動したといつた異
常である。この場合には、１枚でもそのような回路基板
が存在すると、装置動作に重大な支障をきたし、異常動
作するおそれがある。そのためこの場合には、次に説明
するような手順に基づいて装置の動作を終了する。
【００２８】まず最初に装置内の駆動部分を停止する。
次に現在の駆動部分の状態や、センサ情報（この場合に
は位置決め情報等）、或いはソフトウエア上の各種変数
の内容を表示手段に表示すると共に、エラーが発生した
ことを示すエラーコードを表示し、異常が発生したこと
をオペレータに警告通知する。そしてその後、装置の動
作を停止する。このようにしてこの実施例の場合には、
読み込んだ基板ＩＤ信号Ｓvxの値と初期電圧値との差が
基準規格値以上の場合には、ケーブルが外れていると
か、或いは基板に供給されている電源電圧が大きく変動
したといつた異常が起きていると判断し、警告を発した
上で装置動作を停止する。
次に現在の駆動部分の状態や、センサ情報（この場合に
は位置決め情報等）、或いはソフトウエア上の各種変数
の内容を表示手段に表示すると共に、エラーが発生した
ことを示すエラーコードを表示し、異常が発生したこと
をオペレータに警告通知する。そしてその後、装置の動
作を停止する。このようにしてこの実施例の場合には、
読み込んだ基板ＩＤ信号Ｓvxの値と初期電圧値との差が
基準規格値以上の場合には、ケーブルが外れていると
か、或いは基板に供給されている電源電圧が大きく変動
したといつた異常が起きていると判断し、警告を発した
上で装置動作を停止する。
【００２９】以上の構成において、この実施例の場合に
は、各回路基板１１Ａ1 〜１１ＡNに対して電圧発生回
路１２を設け、この電圧発生回路１２で発生した基板毎
に異なる電圧値を有する基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNを信号
監視回路１３で監視し、これにより装置の異常を検出す
る。
は、各回路基板１１Ａ1 〜１１ＡNに対して電圧発生回
路１２を設け、この電圧発生回路１２で発生した基板毎
に異なる電圧値を有する基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNを信号
監視回路１３で監視し、これにより装置の異常を検出す
る。
【００３０】例えば初期運用時には、読み込んだ基板Ｉ
Ｄ信号ＳV1〜ＳVNの電圧値を設定電圧値と比較し、一致
するか否か調べる。その結果、一致していれば異常がな
いと判断し、一致していなければケーブル誤配線又は電
源電圧の変動があると判断し、その旨を表示手段に表示
してオペレータに警告を発する。このようにしてこの実
施例の場合には、初期運用時にケーブル誤配線や電源電
圧の変動によつて発生した装置の異常を検出する。
Ｄ信号ＳV1〜ＳVNの電圧値を設定電圧値と比較し、一致
するか否か調べる。その結果、一致していれば異常がな
いと判断し、一致していなければケーブル誤配線又は電
源電圧の変動があると判断し、その旨を表示手段に表示
してオペレータに警告を発する。このようにしてこの実
施例の場合には、初期運用時にケーブル誤配線や電源電
圧の変動によつて発生した装置の異常を検出する。
【００３１】一方、通常運用時には、所定時間間隔で基
板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNを読み込み、その基板ＩＤ信号Ｓ
V1〜ＳVNの電圧値を初期運用時に記憶しておいた初期電
圧値と比較し、一致するか否か調べる。その結果、初期
電圧値との差が許容値未満であれば特に異常は発生して
いないと判断し、初期電圧値との差が許容値以上かつ基
準規格値未満であれば電源電圧の変動があると判断し、
その回路基板から供給されるアナログ信号に補正を施
す。
板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNを読み込み、その基板ＩＤ信号Ｓ
V1〜ＳVNの電圧値を初期運用時に記憶しておいた初期電
圧値と比較し、一致するか否か調べる。その結果、初期
電圧値との差が許容値未満であれば特に異常は発生して
いないと判断し、初期電圧値との差が許容値以上かつ基
準規格値未満であれば電源電圧の変動があると判断し、
その回路基板から供給されるアナログ信号に補正を施
す。
【００３２】補正する場合には、まず初期電圧値との差
を基に電源電圧の変動（ΔＶP ）を算出する。そして算
出した電源電圧の変動（ΔＶP ）を基にアナログ信号の
レベル変動分（ΔＶO ）を求め、その求めたレベル変動
分（ΔＶO ）をアナログ信号に加算（又は減算）して補
正を施す。このようにしてこの実施例の場合には、若干
の電源電圧の変動があつた場合には、供給されるアナロ
グ信号のレベルを補正することにより、電源電圧の変動
によつて引き起こされる装置精度の劣化を回避し、装置
精度を向上する。また初期電圧値との差が基準規格値以
上であればケーブルが外れたとか、或いは電源電圧が大
きく変動したといつた異常が起きていると判断し、オペ
レータにエラー発生を警告通知すると共に、装置動作を
停止する。
を基に電源電圧の変動（ΔＶP ）を算出する。そして算
出した電源電圧の変動（ΔＶP ）を基にアナログ信号の
レベル変動分（ΔＶO ）を求め、その求めたレベル変動
分（ΔＶO ）をアナログ信号に加算（又は減算）して補
正を施す。このようにしてこの実施例の場合には、若干
の電源電圧の変動があつた場合には、供給されるアナロ
グ信号のレベルを補正することにより、電源電圧の変動
によつて引き起こされる装置精度の劣化を回避し、装置
精度を向上する。また初期電圧値との差が基準規格値以
上であればケーブルが外れたとか、或いは電源電圧が大
きく変動したといつた異常が起きていると判断し、オペ
レータにエラー発生を警告通知すると共に、装置動作を
停止する。
【００３３】このようにしてこの実施例の場合には、基
板毎に異なる電圧値を有する基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNを
発生する電圧発生回路１２を各回路基板１１Ａ1 〜１１
ＡNに設け、その基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNを主回路基板
１１Ｂに設けた信号監視回路１３によつて監視し、基板
間を接続するケーブルの異常や電源電圧の変動といつた
装置の異常を検出する。これにより従来のような試験用
ソフトウエアがなくても、装置の異常を容易に検出する
ことができ、装置が異常動作することを未然に回避でき
る。
板毎に異なる電圧値を有する基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNを
発生する電圧発生回路１２を各回路基板１１Ａ1 〜１１
ＡNに設け、その基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNを主回路基板
１１Ｂに設けた信号監視回路１３によつて監視し、基板
間を接続するケーブルの異常や電源電圧の変動といつた
装置の異常を検出する。これにより従来のような試験用
ソフトウエアがなくても、装置の異常を容易に検出する
ことができ、装置が異常動作することを未然に回避でき
る。
【００３４】またこの実施例の場合には、基準規格値と
いつた規格範囲を設け、通常運用時にその規格範囲を基
に装置の異常を検出する。具体的には、基板ＩＤ信号Ｓ
V1〜ＳVNの電圧値と初期運用時に記憶しておいた初期電
圧値とがその規格範囲内で一致していなければ電源電圧
の変動があると判断し、その電源電圧の変動によつて生
じるアナログ信号のレベル変動を補正する。これにより
電源電圧の変動によつて生じる装置精度の劣化を未然に
回避し得る。また測定電圧値との差が規格範囲を越えて
一致していなければケーブル異常や電源電圧異常が発生
したと判断し、その旨をオペレータに警告通知すると共
に、装置動作を停止する。これにより運用中に発生した
ケーブル異常や電源電圧異常によつて引き起こされる装
置の異常動作を未然に回避し得ると共に、装置が危険状
態に陥ることを未然に回避し得る。
いつた規格範囲を設け、通常運用時にその規格範囲を基
に装置の異常を検出する。具体的には、基板ＩＤ信号Ｓ
V1〜ＳVNの電圧値と初期運用時に記憶しておいた初期電
圧値とがその規格範囲内で一致していなければ電源電圧
の変動があると判断し、その電源電圧の変動によつて生
じるアナログ信号のレベル変動を補正する。これにより
電源電圧の変動によつて生じる装置精度の劣化を未然に
回避し得る。また測定電圧値との差が規格範囲を越えて
一致していなければケーブル異常や電源電圧異常が発生
したと判断し、その旨をオペレータに警告通知すると共
に、装置動作を停止する。これにより運用中に発生した
ケーブル異常や電源電圧異常によつて引き起こされる装
置の異常動作を未然に回避し得ると共に、装置が危険状
態に陥ることを未然に回避し得る。
【００３５】以上の構成によれば、基板毎に異なる電圧
値を有する基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNを発生する電圧発生
回路１２を各回路基板１１Ａ1 〜１１ＡN に設けると共
に、その基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNを監視して装置の異常
を検出する信号監視回路１３を主回路基板１１Ｂに設け
るようにしたことにより、ケーブル異常や電源電圧異常
といつた装置の異常を容易に検出し得、装置が異常動作
することを未然に回避し得る。
値を有する基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNを発生する電圧発生
回路１２を各回路基板１１Ａ1 〜１１ＡN に設けると共
に、その基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNを監視して装置の異常
を検出する信号監視回路１３を主回路基板１１Ｂに設け
るようにしたことにより、ケーブル異常や電源電圧異常
といつた装置の異常を容易に検出し得、装置が異常動作
することを未然に回避し得る。
【００３６】また以上の構成によれば、初期運用時に基
板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNの初期電圧値を記憶しておき、通
常運用時には所定時間間隔で基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNの
電圧値が初期電圧値と一致するか否か監視し、規格範囲
内で初期電圧値と一致していなければ電源電圧が変動し
たと判断して供給されるアナログ信号ＳA1〜ＳANに補正
を施し、規格範囲を越えて一致していなければケーブル
異常又は電源電圧異常が発生したと判断して装置動作を
停止すると共に、その旨をオペレータに警告通知するよ
うにしたことにより、電源電圧の変動によつて生じる装
置精度の劣化を未然に回避し得ると共に、通常運用中に
も装置の異常を検出して装置が異常動作することを未然
に回避し得る。
板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNの初期電圧値を記憶しておき、通
常運用時には所定時間間隔で基板ＩＤ信号ＳV1〜ＳVNの
電圧値が初期電圧値と一致するか否か監視し、規格範囲
内で初期電圧値と一致していなければ電源電圧が変動し
たと判断して供給されるアナログ信号ＳA1〜ＳANに補正
を施し、規格範囲を越えて一致していなければケーブル
異常又は電源電圧異常が発生したと判断して装置動作を
停止すると共に、その旨をオペレータに警告通知するよ
うにしたことにより、電源電圧の変動によつて生じる装
置精度の劣化を未然に回避し得ると共に、通常運用中に
も装置の異常を検出して装置が異常動作することを未然
に回避し得る。
【００３７】なお、上述の実施例においては、位置決め
装置の信号処理ユニツトに本発明を適用した場合につい
て述べたが、本発明はこれに限らず、露光装置の制御装
置や、コンピユータ装置、或いは光デイスク装置におい
て光ピツクアツプから得たＲＦ信号を信号処理する信号
処理装置等、種々の電気回路装置に適用し得る。要する
に、本発明は複数の回路基板によつて構成される電気回
路装置に広く適用することができる。
装置の信号処理ユニツトに本発明を適用した場合につい
て述べたが、本発明はこれに限らず、露光装置の制御装
置や、コンピユータ装置、或いは光デイスク装置におい
て光ピツクアツプから得たＲＦ信号を信号処理する信号
処理装置等、種々の電気回路装置に適用し得る。要する
に、本発明は複数の回路基板によつて構成される電気回
路装置に広く適用することができる。
【００３８】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、基板毎に
異なる電圧値を有する電圧信号を発生する電圧信号発生
手段を各回路基板に設けると共に、電圧信号をそれぞれ
監視することによつて装置の異常を検出する信号監視手
段を主回路基板に設けるようにしたことにより、装置の
異常を容易に検出し得、装置の異常動作を未然に回避し
得る。
異なる電圧値を有する電圧信号を発生する電圧信号発生
手段を各回路基板に設けると共に、電圧信号をそれぞれ
監視することによつて装置の異常を検出する信号監視手
段を主回路基板に設けるようにしたことにより、装置の
異常を容易に検出し得、装置の異常動作を未然に回避し
得る。
【００３９】また本発明によれば、初期運用時、信号監
視手段によつて電圧信号の電圧値がそれぞれ設定電圧値
と一致するか否か監視し、設定電圧値と一致しなければ
ケーブル誤配線又は電源電圧異常があると判定してオペ
レータに警告通知するようにしたことにより、初期運用
時、ケーブル誤配線又は電源電圧異常を容易に検出し得
る。
視手段によつて電圧信号の電圧値がそれぞれ設定電圧値
と一致するか否か監視し、設定電圧値と一致しなければ
ケーブル誤配線又は電源電圧異常があると判定してオペ
レータに警告通知するようにしたことにより、初期運用
時、ケーブル誤配線又は電源電圧異常を容易に検出し得
る。
【００４０】さらに本発明によれば、初期運用時に信号
監視手段によつて電圧信号の電圧値を初期電圧値として
それぞれ記憶しておき、通常運用時には信号監視手段に
よつて所定時間間隔で電圧信号の電圧値がそれぞれ初期
電圧値と一致するか否か監視し、所定の規格範囲を越え
て初期電圧値と一致しなければケーブル異常又は電源電
圧異常が発生したと判定してオペレータに警告通知する
ようにしたことにより、通常運用時にもケーブル異常又
は電源電圧異常といつた装置の異常を容易に検出し得、
装置の異常動作を未然に回避し得る。
監視手段によつて電圧信号の電圧値を初期電圧値として
それぞれ記憶しておき、通常運用時には信号監視手段に
よつて所定時間間隔で電圧信号の電圧値がそれぞれ初期
電圧値と一致するか否か監視し、所定の規格範囲を越え
て初期電圧値と一致しなければケーブル異常又は電源電
圧異常が発生したと判定してオペレータに警告通知する
ようにしたことにより、通常運用時にもケーブル異常又
は電源電圧異常といつた装置の異常を容易に検出し得、
装置の異常動作を未然に回避し得る。
【００４１】また本発明によれば、初期運用時に信号監
視手段によつて電圧信号の電圧値を初期電圧値としてそ
れぞれ記憶しておき、通常運用時には信号監視手段によ
つて所定時間間隔で電圧信号の電圧値がそれぞれ初期電
圧値と一致するか否か監視し、所定の規格範囲内で初期
電圧値と一致しなければ電源電圧変動が発生したと判定
し、初期電圧値との差を基に回路基板からケーブルを介
して供給されるアナログ信号の信号レベルに補正を施す
ようにしたことにより、電源電圧の変動によつて生じる
装置精度の劣化を未然に回避し得る。
視手段によつて電圧信号の電圧値を初期電圧値としてそ
れぞれ記憶しておき、通常運用時には信号監視手段によ
つて所定時間間隔で電圧信号の電圧値がそれぞれ初期電
圧値と一致するか否か監視し、所定の規格範囲内で初期
電圧値と一致しなければ電源電圧変動が発生したと判定
し、初期電圧値との差を基に回路基板からケーブルを介
して供給されるアナログ信号の信号レベルに補正を施す
ようにしたことにより、電源電圧の変動によつて生じる
装置精度の劣化を未然に回避し得る。
【図１】本発明を適用する信号処理ユニツト内の基板構
成を示す略線図である。
成を示す略線図である。
【図２】各回路基板に設けられた電圧発生回路の構成を
示す接続図である。
示す接続図である。
【図３】主回路基板に設けられた信号監視回路の構成を
示すブロツク図である。
示すブロツク図である。
【図４】基板ＩＤ信号の設定値を示す図表である。
【図５】アナログ信号のレベル変動を補正するときの説
明に供する電圧発生回路の接続図である。
明に供する電圧発生回路の接続図である。
【図６】アナログ信号のレベル変動を補正するときの説
明に供するエミツタ接地回路の接続図である。
明に供するエミツタ接地回路の接続図である。
【図７】従来の折り返し試験による異常検出を示す略線
図である。
図である。
１……信号処理ユニツト、２……ダミーケーブル、３…
…ダミー回路基板、１０……信号処理ユニツト、１１Ａ
1 〜１１ＡN ……回路基板、１１Ｂ……主回路基板、１
２……電圧発生回路、１３……信号監視回路、１４、１
８……アナログマルチプレクサ、１６、１９……アナロ
グデイジタル変換器、１７、２０……バツフア、１５…
…ＭＰＵ、ＣＢ1 〜ＣＢN ……ケーブル、Ｂ11〜Ｂ1N、
Ｂ21〜Ｂ2N……アナログバツフア。
…ダミー回路基板、１０……信号処理ユニツト、１１Ａ
1 〜１１ＡN ……回路基板、１１Ｂ……主回路基板、１
２……電圧発生回路、１３……信号監視回路、１４、１
８……アナログマルチプレクサ、１６、１９……アナロ
グデイジタル変換器、１７、２０……バツフア、１５…
…ＭＰＵ、ＣＢ1 〜ＣＢN ……ケーブル、Ｂ11〜Ｂ1N、
Ｂ21〜Ｂ2N……アナログバツフア。
Claims (6)
- 【請求項１】少なくとも１つ以上の回路基板と、前記回
路基板それぞれに対してケーブルを介して接続される主
回路基板とでなる電気回路装置において、 前記回路基板に対してそれぞれ設けられ、基板毎に異な
る電圧値を有する電圧信号を発生する電圧信号発生手段
と、 前記主回路基板に設けられ、前記回路基板から前記ケー
ブルを介して供給される前記電圧信号をそれぞれ監視す
ることによつて装置の異常を検出する信号監視手段とを
具えることを特徴とする電気回路装置。 - 【請求項２】前記信号監視手段は、 初期運用時、前記電圧信号の電圧値がそれぞれ設定電圧
値と一致するか否か監視し、設定電圧値と一致しなけれ
ばケーブル誤配線又は電源電圧異常があると判定してオ
ペレータに警告通知することを特徴とする請求項１に記
載の電気回路装置。 - 【請求項３】前記信号監視手段は、 初期運用時に前記電圧信号の電圧値を初期電圧値として
それぞれ記憶しておき、通常運用時には所定時間間隔で
前記電圧信号の電圧値がそれぞれ前記初期電圧値と一致
するか否か監視し、所定の規格範囲内で前記初期電圧値
と一致しなければ該初期電圧値との差を基に前記回路基
板から前記ケーブルを介して供給されるアナログ信号の
信号レベルに補正を施し、前記規格範囲を越えて前記初
期電圧値と一致しなければケーブル異常又は電源電圧異
常が発生したと判定して装置動作を停止すると共に、オ
ペレータに対して警告通知することを特徴とする請求項
１に記載の電気回路装置。 - 【請求項４】少なくとも１つ以上の回路基板と、前記回
路基板それぞれに対してケーブルを介して接続される主
回路基板とでなる電気回路装置で発生する異常を検出す
る異常検出方法において、 基板毎に異なる電圧値を有する電圧信号を発生する電圧
信号発生手段を前記回路基板に対してそれぞれ設けると
共に、該電圧信号をそれぞれ前記ケーブルを介して前記
主回路基板に供給し、 前記電圧信号をそれぞれ監視する信号監視手段を前記主
回路基板に対して設け、初期運用時、前記信号監視手段
によつて前記電圧信号の電圧値がそれぞれ設定電圧値と
一致するか否か監視し、設定電圧値と一致しなければケ
ーブル誤配線又は電源電圧異常があると判定してオペレ
ータに警告通知することを特徴とする異常検出方法。 - 【請求項５】初期運用時に前記信号監視手段によつて前
記電圧信号の電圧値を初期電圧値としてそれぞれ記憶し
ておき、通常運用時には前記信号監視手段によつて所定
時間間隔で前記電圧信号の電圧値がそれぞれ前記初期電
圧値と一致するか否か監視し、所定の規格範囲を越えて
前記初期電圧値と一致しなければケーブル異常又は電源
電圧異常が発生したと判定してオペレータに警告通知す
ることを特徴とする請求項４に記載の異常検出方法。 - 【請求項６】少なくとも１つ以上の回路基板と、前記回
路基板それぞれに対してケーブルを介して接続される主
回路基板とでなる電気回路装置で発生したアナログ信号
のレベル変動を補正する信号補正方法において、 基板毎に異なる電圧値を有する電圧信号を発生する電圧
信号発生手段を前記回路基板に対してそれぞれ設けると
共に、該電圧信号をそれぞれ前記ケーブルを介して前記
主回路基板に供給し、 前記電圧信号をそれぞれ監視する信号監視手段を前記主
回路基板に対して設け、初期運用時に前記信号監視手段
によつて前記電圧信号の電圧値を初期電圧値としてそれ
ぞれ記憶しておき、通常運用時には前記信号監視手段に
よつて所定時間間隔で前記電圧信号の電圧値がそれぞれ
前記初期電圧値と一致するか否か監視し、所定の規格範
囲内で前記初期電圧値と一致しなければ電源電圧変動が
発生したと判定し、前記初期電圧値との差を基に前記回
路基板から前記ケーブルを介して供給されるアナログ信
号の信号レベルに補正を施すことを特徴とする信号補正
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8111341A JPH09281172A (ja) | 1996-04-08 | 1996-04-08 | 電気回路装置及び異常検出方法並びに信号補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8111341A JPH09281172A (ja) | 1996-04-08 | 1996-04-08 | 電気回路装置及び異常検出方法並びに信号補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09281172A true JPH09281172A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=14558747
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8111341A Pending JPH09281172A (ja) | 1996-04-08 | 1996-04-08 | 電気回路装置及び異常検出方法並びに信号補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09281172A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005201669A (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Fanuc Ltd | モータ駆動装置 |
-
1996
- 1996-04-08 JP JP8111341A patent/JPH09281172A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005201669A (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Fanuc Ltd | モータ駆動装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050201 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050301 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050927 |