JPH09270960A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPH09270960A
JPH09270960A JP8079087A JP7908796A JPH09270960A JP H09270960 A JPH09270960 A JP H09270960A JP 8079087 A JP8079087 A JP 8079087A JP 7908796 A JP7908796 A JP 7908796A JP H09270960 A JPH09270960 A JP H09270960A
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洋夫 山本
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高精度かつ高速で撮像が可能な固体撮像装置
を提供する。 【解決手段】 受光素子120i,jに応じたスイッチ素
子260が「ON」となることにより、容量素子250
の出力端子とデータ出力回路280の入力端子とが接続
されるが、容量素子250の出力端子の電位は、前回の
スイッチ素子260の開放時の電位、すなわち、データ
出力回路280の入力端子の初期電位である基準電位V
refのままなので、データ出力回路280の入力端子
の電位は変動せず安定したままであり、受光素子120
i,jに応じたスイッチ素子260が「ON」となった瞬
間でノイズが発生しない。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、入力した2次元光像を
撮像する固体撮像装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電荷結合素子(CCD)に代表される固
体撮像素子を使用した撮像装置は、家庭用ビデオをはじ
め様々な分野で使用されている。しかし、比較的大きな
受光面積を有するフォトダイオード電荷を取り扱う場合
には、CCDでは電荷転送効率が低いので、電荷の転送
をしきれないという問題を生じる。そこで、特定の分野
では、固体撮像装置の内で、電荷転送効率の問題が生じ
ないMOS型イメージセンサが使用される。
【0003】一方、従来のMOS型イメージセンサは、
CCDに比べて電荷の駆動スピードが遅いという欠点を
有している。そこで、電荷の駆動スピードの向上を図る
提案がなされている。「N.Ricquier et al., SPIE, Vo
l.2172, pp.2-10」は、こうした提案の代表的な例(以
後、単に従来例と呼ぶ)である。
【0004】図5は、従来例のMOS型イメージセンサ
の構成図である。図5に示すように、この装置は、
(a)入力光信号を電流信号に変換する光電変換素子9
13と、光電変換素子913の信号出力端子に第1の端
子が接続され、垂直走査信号に応じて第2の端子から光
電変換素子913で発生した電流信号を流出するスイッ
チ素子914とを1組の受光素子912として、第1の
方向(以後、垂直方向と呼ぶ)に沿ってM個配列される
とともに、夫々のスイッチ素子914の第2の端子と互
いに電気的に接続された信号出力端子を有する垂直受光
部911が、第2の方向(以後、水平方向と呼ぶ)に沿
ってN個配列された受光部910と、(b)夫々の垂直
受光部911jから出力を夫々個別に入力し、リセット
指示信号KRSに応じて垂直受光部から出力された電流
信号を入出力端子間に接続された容量素子922に積分
または非積分の動作をするN個の積分回路920と、
(c)夫々の積分回路から出力された信号を夫々入力
し、交流成分を出力するN個の容量素子930と、
(d)夫々の容量素子930から出力された信号を入力
するとともに、指示された容量素子930から信号を出
力するN個のスイッチ素子940と、(e)水平走査信
号RSjに応じて択一的に容量素子930から出力され
た信号を入力して、出力データ信号を出力するととも
に、初期電位指示信号GRSの指示に応じて、初期電位
指示信号GRSが有意の期間にわたって入力電位値およ
び出力電位値を夫々の初期値である基準電位Vrefに
設定するデータ信号出力回路950と、(f)初期電位
指示信号GRS、リセット指示信号KRS、垂直走査信
号VSi、および水平走査信号RSjを出力するタイミ
ング制御部960とを備える。
【0005】この装置では、以下のようにして、受光部
910に入力した光が形成する光像を撮像する。図6
は、図5の装置の動作を説明するタイミングチャートで
ある。
【0006】まず、読み出しの実行に先立って、タイミ
ング制御部960が積分回路リセット指示信号KRSを
有意とし、積分回路の出力を初期値である基準電位Vr
efとする。
【0007】また、読み出しの実行に先立って、初期電
位設定指示信号GRSを有意とする。この結果、データ
出力回路の入出力端子が初期電位である基準電位Vre
fに設定される。
【0008】次に、タイミング制御部960が積分回路
リセット指示信号KRSと初期電位設定指示信号GRS
とを非有意としたのち、各垂直受光部911jの垂直走
査における第1番目の受光素子のスイッチ素子912
1,jのみを「ON」とする垂直走査信号VS1を有意に
して出力する。スイッチ914が「ON」となると、そ
れまでの受光によって光電変換素子913に蓄積された
電荷が電流信号となって受光部910から出力される。
そして、積分回路920によって瞬時にその帰還容量素
子に蓄積され電圧として出力される。積分回路920か
ら出力された信号は、容量素子930に入力する。この
結果、容量素子930の信号入力端子および信号出力端
子は受光素子9121,jでの受光量に応じた電位とな
る。
【0009】次いで、水平走査信号の設定により、垂直
方向の第1番目の受光素子9121, jに関するデータの
読み出しを開始する。
【0010】タイミング制御部960が、水平方向の第
1番目の受光素子9121,1に応じたスイッチ素子94
0のみの選択を指示する水平走査信号RS1を有意と
し、第1番目の受光素子9121,1に応じたスイッチ素
子940のみを「ON」とする。
【0011】スイッチ素子940を介した信号はデータ
出力回路950に入力し、水平方向の第1番目の受光素
子9121,1に入射した光量に応じた出力データ信号と
して出力される。
【0012】引き続き、水平方向の第1番目の受光素子
9121,1に応じたスイッチ素子940のみの選択を指
示する水平走査信号RS1を非有意として、水平方向の
第1番目の受光素子9121,1に関するデータ読み出し
を終了する。
【0013】次に、水平方向の第1番目の受光素子91
1,1と同様にして、水平方向の第2番目以降の受光素
子9121,jに関するデータ読み出しを実行する。
【0014】次いで、タイミング制御部960が積分回
路リセット指示信号KRSおよび初期電位設定指示信号
を有意とし、積分回路の出力を初期値に都度設定しなが
ら、各垂直受光部911jの垂直走査における第2番目
以降の受光素子9121,jに関するデータ読み出しを実
行する。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】提案されている固体撮
像装置は上記のように構成されるので、水平読み出し動
作において、スイッチ素子940が「ON」となる前
は、スイッチ素子940の一方の端子と他方の端子との
電位は一般に異なるので、スイッチ素子940が「O
N」となった瞬間、スイッチ素子940の他方の端子、
すなわち、データ出力回路950の入力端子の電位は不
安定な状態となる。
【0016】この結果、データ出力回路950の出力は
安定せず、装置としての精度が低下する。
【0017】本発明は、上記を鑑みてなされたものであ
り、高精度かつ高速で撮像が可能な固体撮像装置を提供
することを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】請求項1の固体撮像装置
は、入力した2次元光像を撮像する固体撮像装置であっ
て、(a)入力光信号を電流信号に変換する光電変換素
子と、光電変換素子の信号出力端子に第1の端子が接続
され、垂直走査信号に応じて第2の端子から光電変換素
子で発生した電流信号を流出する第1のスイッチ素子と
を1組の受光素子として、第1の方向に沿って第1の数
だけ配列されるとともに、夫々の第1のスイッチ素子の
第2の端子と互いに電気的に接続された信号出力端子を
有する垂直受光部が、第2の方向に沿って第2の数だけ
配列された受光部と、(b)夫々の垂直受光部から出力
を夫々個別に入力し、リセット指示信号に応じて垂直受
光部から出力された電流信号を入出力端子間に接続され
た第1の容量素子に積分または非積分の動作をする第2
の数の積分回路と、(c)夫々の積分回路から出力され
た信号を夫々入力し、クランプ指示信号に応じてクラン
プ処理する第2の数のクランプ回路と、(d)夫々のク
ランプ回路から出力された信号を夫々入力し、サンプル
指示信号に応じてサンプル動作またはホールド動作を行
う第2の数のサンプルホールド回路と、(e)夫々のサ
ンプルホールド回路から出力された信号を入力し、交流
成分を出力する第2の数の第2の容量素子と、(f)夫
々の第2の容量素子から出力された信号を入力するとと
もに、指示された第2の容量素子から信号を出力する第
2の数の第2のスイッチ素子と、(g)水平走査信号に
応じて択一的に第2の容量素子から出力された信号を入
力して、出力データ信号を出力するとともに、初期電位
指示信号の指示に応じて、初期電位指示信号が有意の期
間にわたって入力電位値および出力電位値を夫々の初期
値に設定するデータ信号出力回路と、(h)垂直走査信
号、全クランプ指示信号と個別クランプ指示信号との論
理和であるクランプ指示信号、リセット指示信号、全サ
ンプル指示信号と個別サンプル指示信号との論理和であ
るサンプル指示信号、水平指示信号、および初期電位設
定指示信号を出力するとともに、垂直走査信号の出力に
先立って、リセット指示信号、および、全クランプ指示
信号を一時的に有意とするとともに、垂直走査信号が有
意の期間にわたって全サンプル指示信号と全ての信号出
力ラインに応じた水平走査信号を有意とし、かつ、垂直
走査信号が非有意の場合の夫々の信号出力ラインに応じ
た水平走査信号の有意期間の後半でクランプ指示信号お
よび個別サンプル指示信号を一時的に有意とするタイミ
ング制御部とを備えることを特徴とする。
【0019】請求項1の固体撮像装置では、受光部が入
射した光が形成する光像を入力し、受光部の光電変換素
子に受光量に応じた電荷が蓄積される。そして、所定の
受光期間の経過後に各受光素子に蓄積された電荷量を以
下のようにして読み出す。
【0020】まず、読み出しの実行に先立って、タイミ
ング制御部が全クランプ指示信号と積分回路リセット指
示信号を有意とし、クランプ回路の出力と積分回路の出
力を初期値とする。
【0021】また、読み出しの実行に先立って、全ての
信号出力ラインに応じた水平走査信号および初期電位設
定指示信号を有意とする。この結果、全ての第2のスイ
ッチ素子がONとなり、第2の容量素子の出力がデータ
出力回路の初期電位に設定される。
【0022】次に、タイミング制御部が全クランプ指示
信号と積分回路リセット指示信号を非有意とするととも
に、全ての信号出力ラインに応じた水平走査信号および
初期電位設定指示信号を有意としたままで、各垂直受光
部の垂直走査における第1番目の受光素子のスイッチ素
子のみを「ON」とする垂直走査信号および全ての信号
出力ラインに応じたサンプル指示信号を有意にして出力
する。スイッチ素子が「ON」となると、それまでの受
光によって光電変換素子に蓄積された電荷が電流信号と
なって受光部から出力される。そして、積分回路によっ
て瞬時にその帰還容量である第1の容量素子に蓄積され
電圧として出力される。積分回路から出力された信号
は、クランプ回路、サンプルホールド回路を介して第2
の容量素子に入力する。この結果、第2の容量素子の信
号入力端子は受光素子での受光量に応じた電圧が印加さ
れる。
【0023】次いで、全ての信号出力ラインに応じた水
平走査信号および初期電位設定指示信号を非有意とした
後、水平走査信号の設定により、水平方向の第1番目の
受光素子に関するデータの読み出しを開始する。
【0024】タイミング制御部が、水平方向の第1番目
の受光素子に応じた第2のスイッチ素子のみの選択を指
示する水平走査信号が有意とし、第1番目の受光素子に
応じた第2のスイッチ素子のみを「ON」とするととも
に、初期電位設定指示信号が一時的に有意となり、デー
タ出力回路の入力電位が初期値に設定される。
【0025】第1番目の受光素子に応じた第2のスイッ
チ素子が「ON」となることにより、第2の容量素子の
出力端子とデータ出力回路の入力端子とが接続される
が、第2の容量素子の出力端子の電位は、前回の第2の
スイッチの開放時の電位、すなわち、データ出力回路の
入力端子の初期電位のままなので、データ出力回路の入
力端子の電位は変動せず安定したままである。
【0026】次に、水平方向の第1番目の受光素子に応
じたクランプ指示信号とサンプル指示信号とを有意とす
る。この結果、クランプ回路の出力はクランプ電位に変
化し、この変化がサンプルホールド回路、第2の容量素
子、およびデータ出力回路を介して、水平方向の第1番
目の受光素子に入射した光量に応じた出力データ信号と
して出力される。
【0027】引き続き、水平方向の第1番目の受光素子
に応じた第2のスイッチ素子のみの選択を指示する水平
走査信号、水平方向の第1番目の受光素子に応じたクラ
ンプ指示信号、およびサンプル指示信号を非有意とし
て、水平方向の第1番目の受光素子に関するデータ読み
出しを終了する。
【0028】次に、水平方向の第1番目の受光素子と同
様にして、水平方向の第2番目以降の受光素子に関する
データ読み出しを実行する。
【0029】次いで、タイミング制御部が全クランプ指
示信号と積分回路リセット指示信号を有意とし、クラン
プ回路の出力と積分回路の出力を初期値に都度設定しな
がら、各垂直受光部の垂直走査における第2番目以降の
受光素子に関するデータ読み出しを実行する。
【0030】請求項2の固体撮像装置は、請求項1の固
体撮像装置において、データ信号出力回路が、(i)水
平走査信号に応じて択一的に第2の容量素子から出力さ
れた信号を入力して増幅する増幅器と、(ii)電荷増幅
器の入出力端子間に接続された第3の容量素子と、(ii
i)第3の容量素子と並列に電荷増幅器の入出力端子間
に接続され、初期電位設定指示信号が有意な期間に閉塞
する第3のスイッチ素子とを備えることを特徴とする。
【0031】請求項2の固体撮像装置では、初期電位設
定指示信号を有意し、第3のスイッチ素子を「ON」と
することにより、データ信号出力回路の入力端子と出力
端子とを同一の初期電位に設定する。
【0032】請求項3の固体撮像装置は、請求項2の固
体撮像装置において、データ信号出力回路が、(i)増
幅器の入力端子に第1の端子が接続され、第2の端子が
基準電位に設定され、初期電位設定指示信号が有意な期
間に閉塞する第4のスイッチ素子と、(ii)増幅器の出
力端子に第1の端子が接続され、第2の端子が前記基準
電位に設定され、初期電位設定指示信号が有意な期間に
閉塞する第5のスイッチ素子とを更に備えることを特徴
とする。
【0033】請求項3の固体撮像装置では、初期電位設
定指示信号を有意することにより、第3のスイッチ素子
に加えて、第4のスイッチ素子および第5のスイッチ素
子も「ON」となり、迅速に初期電位である基準電位に
設定される。
【0034】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の固体撮像装置の実施形態を説明する。なお、図面の説
明にあたって同一の要素には同一の符号を付し、重複す
る説明を省略する。
【0035】(第1実施形態)図1は、本発明の第1実
施形態の固体撮像装置の構成図である。図1に示すよう
に、この装置は、(a)入力光信号を電流信号に変換す
る光電変換素子130と、光電変換素子130の信号出
力端子に接続され、垂直走査信号VSi(i=1〜M)
に応じて光電変換素子130で発生した電流信号を流出
するスイッチ素子140とを1組の受光素子120とし
て、第1の方向(以後、垂直方向と呼ぶ)に沿ってM個
配列され、夫々のスイッチ素子140の信号出力端子が
電気的に接続された垂直受光部110が、第2の方向
(以後、水平方向と呼ぶ)に沿ってN個配列された受光
部100と、(b)垂直受光部110j(j=1〜N)
からの出力信号を夫々個別に入力し、信号処理後に水平
走査信号(RSj)に応じて択一的に信号を出力する水
平信号処理部210jと、水平信号処理部210jから出
力された信号を入力し、装置としての出力データ信号を
出力するデータ信号出力回路280とを備える信号処理
部200と、(c)受光部100および信号処理部20
0に動作タイミングの指示信号を通知するタイミング制
御部300とを備える。
【0036】水平信号処理部210jは、(i)垂直受光
部110jからの出力信号を入力し、リセット指示信号
KRSに応じて垂直受光部110jから出力された電流
信号を入出力端子間に接続された容量素子222に積分
(リセット指示信号KRSが非有意の場合)、または非
積分(リセット指示信号KRSが有意の場合)の動作を
する積分回路220と、(ii)積分回路220から出力
された信号を入力し、クランプ指示信号CPjに応じて
入力信号をクランプするクランプ回路230と、(ii
i)クランプ回路230から出力された信号を入力し、
サンプル指示信号SPjに応じてサンプルホールド動作
を行うサンプルホールド回路240と、(iv)サンプル
ホールド回路240から出力された信号を入力し、交流
成分を出力する容量素子250と、(v)容量素子25
0から出力された信号を入力し、水平走査信号RSjに
応じて開閉するスイッチ素子260と、(vi)スイッチ
素子260を介した信号を入力し、装置としての出力デ
ータ信号を出力するデータ信号出力回路280とを備え
る。
【0037】積分回路220は、(i)垂直受光部11
jからの出力信号を入力し、入力した電流信号の電荷
を増幅する電荷増幅器221と、(ii)電荷増幅器22
1の入力端子に一方の端子が接続され、電荷増幅器22
1の出力端子に他方の端子が接続された容量素子222
と、(iii)電荷増幅器221の入力端子に一方の端子
が接続され、電荷増幅器221の出力端子に他方の端子
が接続され、リセット指示信号KRSが有意の場合には
「ON」状態となり、リセット指示信号KRSが非有意
の場合には「OFF」状態となるスイッチ素子223と
を備える。
【0038】クランプ回路230は、(i)積分回路2
20から出力された信号を入力し、交流成分を出力する
容量素子231と、(ii)容量素子231を介した信号
を入力し、増幅して出力する増幅器232と、(iii)
増幅器232の入力端子に一方の端子が接続され、増幅
器232の出力端子に他方の端子が接続された容量素子
233と、(iv)増幅器232の入力端子に一方の端子
が接続され、増幅器232の出力端子に他方の端子が接
続され、クランプ指示信号CPjが有意の場合には「O
N」状態となり、クランプ指示信号CPjが非有意の場
合には「OFF」状態となるスイッチ素子234とを備
える。
【0039】サンプルホールド回路240は、(i)ク
ランプ回路230から出力された信号を一方の端子に入
力するとともに、サンプル指示信号SPjが非有意の場
合には「OFF」のホールド状態となり、サンプル指示
信号SPjが有意の場合には「ON」のサンプル状態と
なるスイッチ素子241と、(ii)スイッチ素子241
を介した信号電荷を蓄積する容量素子242と、(ii
i)スイッチ素子241の他方の端子から出力された電
圧信号を入力し、インピーダンス変換して出力するバッ
ファ増幅器243とを備える。
【0040】データ信号出力回路280は、(i)水平
信号処理部210jから出力された信号を入力し、入力
した電流信号の電荷を増幅する電荷増幅器281と、
(ii)電荷増幅器281の入力端子に一方の端子が接続
され、電荷増幅器281の出力端子に他方の端子が接続
された容量素子282と、(iii)電荷増幅器281の
入力端子に一方の端子が接続され、電荷増幅器281の
出力端子に他方の端子が接続され、初期電位設定指示信
号GRSが有意の場合には「ON」状態となり、初期電
位設定指示信号GRSが非有意の場合には「OFF」状
態となるスイッチ素子283とを備える。
【0041】図2は、タイミング制御部300の回路構
成図である。図2に示すように、タイミング制御部30
0は、(i)データの読み出し動作の基本タイミングを
発生する基本タイミング生成部310と、(ii)基本タ
イミング生成部310から出力された基本タイミング信
号に同期して、垂直走査信号VSiを出力する垂直シフ
トレジスタ320と、(iii)基本タイミング生成部3
10から出力された基本タイミング信号に同期して、水
平選択信号HSjを出力する水平シフトレジスタ330
と、(iv)基本タイミング生成部310から出力された
基本タイミング信号に同期して、リセット指示信号KR
S、初期電位設定指示信号GRS、全水平ライン選択指
示信号AHS、個別クランプ/サンプル指示信号IC
S、全サンプル指示信号ASP、および全クランプ指示
信号を生成する制御信号生成部340と、(v)全水平
ライン選択指示信号AHS、個別クランプ/サンプル指
示信号ICS、全サンプル指示信号ASP、全クランプ
指示信号、および水平選択信号HSjを入力して、水平
走査信号RSj、サンプル指示信号SPj、およびクラ
ンプ指示信号CPjを生成する制御信号部350とを備
える。
【0042】本実施形態の装置は、以下のようにして、
受光部100に入力した光像データを収集する。図3
は、本実施形態の装置の動作を説明するタイミングチャ
ートである。
【0043】本実施形態の固体撮像装置では、受光部1
00が入射した光が形成する光像を入力し、受光部10
0の光電変換素子130に受光量に応じた電荷が蓄積さ
れる。そして、所定の受光期間の経過後に夫々の光電変
換素子130に蓄積された電荷量を以下のようにして読
み出す。
【0044】まず、読み出しの実行に先立って、タイミ
ング制御部300が全クランプ指示信号ACPを有意と
することにより全てのクランプ指示信号CPjを有意す
るとともに、積分回路リセット指示信号KRSを有意と
し、クランプ回路230の出力と積分回路220の出力
を基準電位Vrefとする。
【0045】また、読み出しの実行に先立って、全水平
ライン選択指示信号AHSを有意とすることにより全て
の信号出力ラインに応じた水平走査信号RSjおよび初
期電位設定指示信号GRSを有意とする。この結果、全
ての第2のスイッチ素子260がONとなり、全ての容
量素子250の出力がデータ出力回路280の初期電位
である基準電位Vrefに設定される。
【0046】次に、タイミング制御部300が全クラン
プ指示信号ACPを非有意にして全てのクランプ指示信
号CPjを非有意とし、積分回路リセット指示信号KR
Sを非有意とするとともに、全ての信号出力ラインに応
じた水平走査信号RSjおよび初期電位設定指示信号G
RSを有意としたままで、各垂直受光部110jの垂直
走査における第1番目の受光素子1201,jのスイッチ
素子140のみを「ON」とする垂直走査信号VSiを
有意とするとともに、全サンプル指示信号ASPを有意
とすることにより全ての信号出力ラインに応じたサンプ
ル指示信号SPjを有意にする。スイッチ素子140が
「ON」となると、それまでの受光によって光電変換素
子130に蓄積された電荷が電流信号となって受光部1
00から出力される。そして、積分回路220によって
瞬時にその帰還容量である容量素子222に蓄積され電
圧として出力される。積分回路220から出力された信
号は、クランプ回路230、サンプルホールド回路24
0を介して容量素子250に入力する。この結果、容量
素子250の信号入力端子は受光素子130での受光量
に応じた電圧が印加される。
【0047】次いで、全ての信号出力ラインに応じた水
平走査信号RSjおよび初期電位設定指示信号GRSを
非有意とした後、水平走査信号RSjの設定により、垂
直方向の第1番目の受光素子1201,jに関するデータ
の読み出しを開始する。
【0048】タイミング制御部300が、水平選択信号
HS1を有意とすることにより水平方向の第1番目の受
光素子1201,1に応じたスイッチ素子260のみの
「ON」を指示する水平走査信号RS1を有意とし、第
1番目の受光素子1201,1に応じたスイッチ素子26
0のみを「ON」とするとともに、初期電位設定指示信
号GRSが一時的に有意となり、データ出力回路280
の入力電位が基準電位Vrefに設定される。
【0049】第1番目の受光素子1201,1に応じたス
イッチ素子260が「ON」となることにより、容量素
子250の出力端子とデータ出力回路280の入力端子
とが接続されるが、容量素子250の出力端子の電位
は、前回のスイッチ素子260の開放時の電位、すなわ
ち、データ出力回路280の入力端子の初期電位である
基準電位Vrefのままなので、データ出力回路280
の入力端子の電位は変動せず安定したままである。
【0050】次に、水平方向の第1番目の受光素子12
1,1に応じたクランプ指示信号CP1とサンプル指示
信号SP1とを有意とする。この結果、クランプ回路2
30の出力はクランプ電位である基準電位Vrefに変
化し、この変化がサンプルホールド回路240、容量素
子250、およびデータ出力回路280を介して、水平
方向の第1番目の受光素子1201,1に入射した光量に
応じた出力データ信号Voとして出力される。
【0051】引き続き、水平方向の第1番目の受光素子
1201,1に応じたスイッチ素子260のみの選択を指
示する水平走査信号RS1、水平方向の第1番目の受光
素子1201,1に応じたクランプ指示信号CP1、およ
びサンプル指示信号SP1を非有意として、水平方向の
第1番目の受光素子1201,1に関するデータ読み出し
を終了する。
【0052】次に、水平方向の第1番目の受光素子12
1,1と同様にして、水平方向の第2番目以降の受光素
子1201,jに関するデータ読み出しを実行する。
【0053】次いで、タイミング制御部300が全クラ
ンプ指示信号ACPと積分回路リセット指示信号KRS
を有意とし、クランプ回路230の出力と積分回路22
0の出力を基準電位Vrefに都度設定しながら、各垂
直受光部110jの垂直走査における第2番目以降の受
光素子120i,jに関するデータ読み出しを実行する。
【0054】こうして、受光部100に入力した光の形
成する光像を撮像し、撮像データを得る。
【0055】(第2実施形態)図4は、本発明の第2実
施形態の固体撮像装置の構成図である。図4に示すよう
に、本実施形態の装置は、第1実施形態の装置と比べ
て、データ出力回路290が上記のデータ出力回路28
0に対して、(i)電荷増幅器281の入力端子に第1
の端子が接続され、第2の端子が基準電位Vrefに設
定され、初期電位設定指示信号GRSが有意な期間に閉
塞するスイッチ素子294と、(ii)電荷増幅器281
の出力端子に第1の端子が接続され、第2の端子が基準
電位Vrefに設定され、初期電位設定指示信号GRS
が有意な期間に閉塞するスイッチ素子295とを更に備
える点のみが異なる。
【0056】本実施形態の装置は、第1実施形態の装置
と同様のタイミングで動作するが、本実施形態の装置に
よれば、初期電位設定指示信号GRSの有意設定によ
り、スイッチ素子283と入力端子間でのイマジナリシ
ョートによる入出力端子の基準電位Vrefへの設定の
みならず、スイッチ素子294およびスイッチ素子29
5を介しても強制的に入出力端子の基準電位Vrefへ
の設定が行われるので、初期電位設定指示信号GRSの
有意設定によるデータ出力回路290の入出力端子の基
準電位Vrefへの設定が迅速に行われ、精度の向上が
可能となる。
【0057】
【発明の効果】以上、詳細に説明した通り、本発明の固
体撮像装置によれば、受光素子での受光量に応じた信号
の読み出しにあたって、各受光素子の選択時に、データ
出力回路の入力端子が変動しない構成としたので、高精
度かつ高速で撮像が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態の固体撮像装置の回路構
成図である。
【図2】本発明の第1実施形態の固体撮像装置のタイミ
ング制御部の回路構成図である。
【図3】本発明の実施例の固体撮像装置の動作を説明す
るタイミングチャートである。
【図4】本発明の第2実施形態の固体撮像装置の回路構
成図である。
【図5】従来の固体撮像装置の回路構成図である。
【図6】従来の固体撮像装置の動作を説明するタイミン
グチャートである。
【符号の説明】
100…受光部、110…垂直受光部、120…受光素
子、130…光電変換素子、140…スイッチ素子、2
00…信号処理部、210…水平信号処理部、220…
積分回路、221…電荷増幅器、222…容量素子、2
23…スイッチ素子、230…クランプ回路、231…
容量素子、232…増幅器、233…容量素子、234
…スイッチ素子、240…サンプルホールド回路、24
1…スイッチ素子、242…容量素子、243…バッフ
ァ増幅器、250…容量素子、260…スイッチ素子、
280,290…データ出力回路、281…電荷増幅
器、282…容量素子、283,294,295…スイ
ッチ素子、300…タイミング制御部、310…基本タ
イミング部、320…垂直シフトレジスタ、330…水
平シフトレジスタ、340…制御信号部。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入力した2次元光像を撮像する固体撮像
    装置であって、 入力光信号を電流信号に変換する光電変換素子と、前記
    光電変換素子の信号出力端子に第1の端子が接続され、
    垂直走査信号に応じて第2の端子から前記光電変換素子
    で発生した電流信号を流出する第1のスイッチ素子とを
    1組の受光素子として、第1の方向に沿って第1の数だ
    け配列されるとともに、夫々の前記第1のスイッチ素子
    の第2の端子と互いに電気的に接続された信号出力端子
    を有する垂直受光部が、第2の方向に沿って第2の数だ
    け配列された受光部と、 夫々の前記垂直受光部から出力を夫々個別に入力し、リ
    セット指示信号に応じて前記垂直受光部から出力された
    電流信号を入出力端子間に接続された第1の容量素子に
    積分または非積分の動作をする前記第2の数の積分回路
    と、 夫々の前記積分回路から出力された信号を夫々入力し、
    クランプ指示信号に応じてクランプ処理する第2の数の
    クランプ回路と、 夫々の前記クランプ回路から出力された信号を夫々入力
    し、サンプル指示信号に応じてサンプル動作またはホー
    ルド動作を行う第2の数のサンプルホールド回路と、 夫々の前記サンプルホールド回路から出力された信号を
    入力し、交流成分を出力する前記第2の数の第2の容量
    素子と、 夫々の前記第2の容量素子から出力された信号を入力す
    るとともに、指示された前記第2の容量素子から信号を
    出力する前記第2の数の第2のスイッチ素子と、 水平走査信号に応じて択一的に前記第2の容量素子から
    出力された信号を入力して、出力データ信号を出力する
    とともに、初期電位指示信号の指示に応じて、初期電位
    指示信号が有意の期間にわたって入力電位値および出力
    電位値を夫々の初期値に設定するデータ信号出力回路
    と、 前記垂直走査信号、全クランプ指示信号と個別クランプ
    指示信号との論理和である前記クランプ指示信号、前記
    リセット指示信号、全サンプル指示信号と個別サンプル
    指示信号との論理和である前記サンプル指示信号、前記
    水平走査信号、および初期電位設定指示信号を出力する
    とともに、前記垂直走査信号の出力に先立って、前記リ
    セット指示信号、および、全クランプ指示信号を一時的
    に有意とするとともに、前記垂直走査信号が有意の期間
    にわたって前記全サンプル指示信号と全ての信号出力ラ
    インに応じた前記水平走査信号を有意とし、かつ、前記
    垂直走査信号が非有意の場合の夫々の信号出力ラインに
    応じた前記水平走査信号の有意期間の後半で前記個別ク
    ランプ指示信号、および、前記個別サンプル指示信号を
    一時的に有意とするタイミング制御部と、 を備えることを特徴とする固体撮像装置。
  2. 【請求項2】 前記データ信号出力回路は、 前記水平走査信号に応じて択一的に前記第2の容量素子
    から出力された信号を入力して増幅する増幅器と、 前記電荷増幅器の入出力端子間に接続された第3の容量
    素子と、 前記第3の容量素子と並列に前記電荷増幅器の入出力端
    子間に接続され、前記初期電位設定指示信号が有意な期
    間に閉塞する第3のスイッチ素子と、 を備えることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装
    置。
  3. 【請求項3】 前記データ信号出力回路は、 前記第3の容量の第1の端子に第1の端子が接続され、
    第2の端子が基準電位に設定され、前記初期電位設定指
    示信号が有意な期間に閉塞する第4のスイッチ素子と、 前記第3の容量の第2の端子に第1の端子が接続され、
    第2の端子が前記基準電位に設定され、前記初期電位設
    定指示信号が有意な期間に閉塞する第5のスイッチ素子
    と、 を更に備えることを特徴とする請求項2記載の固体撮像
    装置。
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