JP2000032357A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JP2000032357A
JP2000032357A JP10193039A JP19303998A JP2000032357A JP 2000032357 A JP2000032357 A JP 2000032357A JP 10193039 A JP10193039 A JP 10193039A JP 19303998 A JP19303998 A JP 19303998A JP 2000032357 A JP2000032357 A JP 2000032357A
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light
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Tatsuji Kushima
竜次 久嶋
Harumichi Mori
治通 森
Akinaga Yamamoto
晃永 山本
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Hamamatsu Photonics KK
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 受光部に配列された受光素子の数が多い場合
であっても高速にデータ信号を出力することができる固
体撮像装置を提供する。 【解決手段】 複数の受光素子が配列された受光部10
0は、第1の受光領域101および第2の受光領域10
2に2分割されている。第1の信号処理部201は、第
1の受光領域101に配された各受光素子の受光量に応
じたデータ信号を順次に出力し、これとは異なるタイミ
ングで、第2の信号処理部202は、第2の受光領域1
02に配された各受光素子の受光量に応じたデータ信号
を順次に出力する。多重化部400は、第1の信号処理
部201および第2の信号処理部202それぞれから出
力されたデータ信号を多重化して1信号として出力す
る。タイミング制御部300は、受光部100、第1の
信号処理部201、第2の信号処理部202および多重
化部400それぞれの動作のタイミングを制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、入力した2次元光
像を撮像する固体撮像装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電荷結合素子(CCD)に代表される固
体撮像素子を使用した固体撮像装置は、家庭用ビデオを
はじめ様々な分野で使用されている。しかし、比較的大
きな受光面積を有するフォトダイオード電荷を取り扱う
場合には、CCDでは電荷転送効率が低いので、電荷の
転送をしきれないという問題を生じる。そこで、特定の
分野では、固体撮像装置のうちで、電荷転送効率の問題
が生じないMOS型のイメージセンサが使用される。
【0003】例えば、特開平9−270960号公報に
開示されたMOS型の固体撮像装置は、光電変換素子と
スイッチ素子とからなる受光素子を2次元配列して受光
部とし、この受光部の各列毎に対応して積分回路、クラ
ンプ回路、サンプルホールド回路、容量素子およびスイ
ッチ素子からなる信号処理回路を設け、各信号処理回路
から出力されたデータ信号を1つのデータラインに出力
し、このデータ信号をデータ信号出力回路によりオフセ
ット除去するとともに積分して出力する。このMOS型
の固体撮像装置は、このように構成されることにより、
一般にCCDと比べて電荷転送速度が遅いという問題点
を解決している。
【0004】ところで、近年、MOS型の固体撮像装置
の画素(受光素子)数の増大への要求が高まっている。
また、動画像を撮像するため全受光素子からのデータ信
号をテレビレート(1フレームを1/30秒)で読み出
すことも要求されている。上記のMOS型の固体撮像装
置は、画素数が少ない場合にはテレビレートで読み出す
ことが可能である。しかし、例えば65536画素(2
56行256列)等の多数の画素のデータ信号をテレビ
レートで読み出すことは困難である。何故なら、オフセ
ット除去等の為に設けられたデータ信号出力回路の入力
端子に接続されたデータラインには多数の信号処理回路
が接続されていることから、このデータラインの長さが
長く配線容量が大きくなり、それ故、データ信号出力回
路の高速化が困難であるからである。
【0005】この問題を解決するためには、データ信号
出力回路に接続される信号処理回路の数を減らし、デー
タラインを短くし容量を低減することが有効であると考
えられる。例えば、特開平9−326479号公報に開
示された固体撮像装置は、受光部を2つの受光領域に区
分するとともに、受光部の各受光領域毎に対応してデー
タ信号出力回路を設けたものである。この方式を前述の
特開平9−270960号公報に開示されたMOS型の
固体撮像装置に適用すると、その固体撮像装置は、受光
部を2つの受光領域に区分し、受光部の各列毎に対応し
て上記信号処理回路を設け、受光部の各受光領域毎に対
応してデータ信号出力回路を設けたものとなる。このよ
うに構成すれば、各データ信号出力回路の入力端子に接
続されたデータラインに接続される信号処理回路の数が
低減され、このデータラインが短くなり容量も低減さ
れ、それ故、データ信号出力回路が高速化されることが
期待される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、固体撮
像装置から出力されたデータ信号をフレームグラバ等に
取り込んだ後の信号処理の簡略化を考慮すると、固体撮
像装置は、受光部の一方の受光領域からのデータ信号を
初めに出力し、続いて他方の受光領域からのデータ信号
を出力する必要がある。したがって、受光部の全画素の
データ信号を出力するのに要する時間は、2つの受光領
域それぞれからのデータ信号を出力するのに要する時間
の和でしかなく、データ信号出力の高速化は実現できな
い。
【0007】また、2つの受光領域それぞれからのデー
タ信号を並列して出力することも考えられる。この場合
には、受光部の全画素のデータ信号を出力するのに要す
る時間が半減することは明らかである。しかし、固体撮
像装置から出力されたデータ信号を入力するフレームグ
ラバ等は、入力チャンネルおよびA/D変換器それぞれ
を2つ必要とすることとなり、コストアップにつなが
る。また、受光領域を多数に分割して並列処理を行う場
合には、これと同数の入力チャンネルおよびA/D変換
器が必要となり、このことは非現実的である。
【0008】本発明は、上記問題点を解消する為になさ
れたものであり、受光部に配列された受光素子の数が多
い場合であっても高速にデータ信号を出力することがで
きる固体撮像装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明に係る固体撮像装
置は、(1) 入力した光信号を電荷に変換する光電変換素
子と該電荷を走査信号に基づいて出力端子に流出するス
イッチ素子とを含んで1組の受光素子とし、複数の受光
領域それぞれに複数の受光素子が配列された受光部と、
(2) 複数の受光領域それぞれに個別に対応して設けら
れ、受光部の対応する受光領域に配列された複数の受光
素子それぞれの出力端子から流出した電荷を積分して電
圧信号とし、互いに異なるタイミングで該電圧信号を順
次に出力する複数の信号処理部と、(3) 複数の信号処理
部それぞれから出力された電圧信号を入力し、これらの
電圧信号を多重化して1つの電圧信号として出力する多
重化部と、(4) 受光部の電荷流出動作、信号処理部の積
分動作および電圧信号出力動作ならびに多重化部の多重
化動作それぞれを制御するタイミング制御部と、を備え
ることを特徴とする。
【0010】この固体撮像装置によれば、受光部は複数
の受光領域からなり、各受光領域は光電変換素子および
スイッチ素子を含む受光素子が配列されている。受光部
の複数の受光領域それぞれに配列された各受光素子の出
力端子から流出した電荷は、その受光領域に個別に対応
して設けられた信号処理部により積分されて電圧信号と
され、各信号処理部から互いに異なるタイミングで順次
に出力される。そして、各信号処理部から出力された電
圧信号は、多重化部により多重化されて1つの電圧信号
として出力される。以上の動作はタイミング制御部によ
り制御される。
【0011】また、本発明に係る固体撮像装置では、
(1) 複数の受光領域それぞれは、受光素子が第1の方向
に配列されるとともに各々のスイッチ素子の出力端子が
互いに接続され共通の信号出力端子とされて垂直受光部
とされ、その垂直受光部が第2の方向に配列されてお
り、(2) 複数の信号処理部それぞれは、受光部の対応す
る受光領域に配列された垂直受光部毎に、その垂直受光
部の共通の出力端子から流出した電荷を積分して電圧信
号を出力する積分回路と、積分回路から出力された電圧
信号を入力しクランプ動作を行うクランプ回路と、クラ
ンプ回路から出力された信号を入力し保持するサンプル
ホールド回路と、サンプルホールド回路から出力された
信号を入力し交流成分の電圧信号を出力する容量素子
と、容量素子から出力された電圧信号を入力し出力端子
に出力するスイッチ素子とを備え、垂直受光部毎に備え
られたスイッチ素子それぞれの出力端子から出力された
電圧信号を入力してこれらの電圧信号を順次に出力する
データ信号出力回路を備える、ことを特徴とする。
【0012】この場合には、垂直受光部は、受光素子が
第1の方向に配列されるとともに各々のスイッチ素子の
出力端子が互いに接続され共通の信号出力端子とされた
ものであり、受光部の各受光領域は、この垂直受光部が
第2の方向に配列されてなる。各垂直受光部の共通の信
号出力端子から流出した電荷は、その垂直受光部に個別
に対応して設けられた積分回路により積分されて電圧信
号とされ、その電圧信号は、クランプ回路によりクラン
プされ、サンプルホールド回路により保持される。サン
プルホールド回路から出力された信号のうち交流成分の
電圧信号が容量素子から出力され、スイッチ素子を介し
てデータ信号出力回路に入力する。垂直受光部毎に備え
られたスイッチ素子それぞれの出力端子から出力された
電圧信号は、データ信号出力回路に入力し、データ信号
出力回路から順次に出力される。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施の形態を詳細に説明する。尚、図面の説明におい
て同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省
略する。
【0014】(第1の実施形態)先ず、本発明に係る固
体撮像装置の第1の実施形態について説明する。図1
は、第1の実施形態に係る固体撮像装置の概略構成図で
ある。本実施形態に係る固体撮像装置は、第1の受光領
域101および第2の受光領域102に区分された受光
部100、第1の信号処理部201および第2の信号処
理部202、タイミング制御部300ならびに多重化部
400を備える。受光部100は、第1の受光領域10
1および第2の受光領域102それぞれに複数の受光素
子が配列されたものである。なお、ここでは、受光部1
00に受光素子がM行2N列だけ配列されているものと
し、これが2等分されて、第1の受光領域101および
第2の受光領域102それぞれに受光素子がM行N列だ
け配列されているものとする。
【0015】第1の信号処理部201は、受光部100
の第1の受光領域101に対応して設けられたものであ
り、第1の受光領域101に配列された複数の受光素子
それぞれの出力端子から流出した電荷を積分し電圧信号
として出力する。同様に、第2の信号処理部202は、
受光部100の第2の受光領域102に対応して設けら
れたものであり、第2の受光領域102に配列された複
数の受光素子それぞれの出力端子から流出した電荷を積
分し電圧信号として出力する。第1の信号処理部201
および第2の信号処理部202は、互いに異なるタイミ
ングで電圧信号を順次に繰り返して出力する。
【0016】多重化部400は、第1の信号処理部20
1および第2の信号処理部202それぞれから出力され
た電圧信号を入力し、これらの電圧信号を多重化して1
信号として出力する。タイミング制御部300は、受光
部100の電荷流出動作、第1の信号処理部201およ
び第2の信号処理部202それぞれの積分動作および信
号出力動作、ならびに多重化部400の多重化動作のタ
イミングを制御する。
【0017】図2は、受光部100の第1の受光領域1
01および第1の信号処理部201それぞれの構成図で
ある。この図には、タイミング制御部300も示されて
いる。なお、受光部100の第2の受光領域102およ
び第2の信号処理部202それぞれの構成も同様であ
る。
【0018】第1の受光領域101には、受光素子12
i,j (i=1〜M、j=1〜N)が2次元配列されて
いる。各受光素子120それぞれは、入力した光信号を
電荷に変換する光電変換素子(例えばフォトダイオー
ド)130と、光電変換素子130の信号出力端子に接
続され光電変換素子130で発生した電流信号を垂直走
査信号VSi(i=1〜M)に応じて流出させるスイッ
チ素子140とからなる。また、垂直受光部110j
(j=1〜N)は、受光素子120i,j (i=1〜M)
が垂直方向に沿って配列され、夫々のスイッチ素子14
0の信号出力端子が電気的に接続されたものであり、こ
れらが水平方向に配列されている。同様に、第2の受光
領域102は、受光素子120i,j (i=1〜M、j=
N+1〜2N)が2次元配列されている。
【0019】第1の信号処理部201は、水平信号処理
部210j (j=1〜N)とデータ信号出力回路290
とを備える。水平信号処理部210j (j=1〜N)そ
れぞれは、対応する垂直受光部110j からの出力信号
を夫々個別に入力し、信号処理後に水平走査信号RSj
に応じて択一的にその信号を1つのデータライン上へ出
力する。データ信号出力回路290は、水平信号処理部
210j (j=1〜N)それぞれから出力されたデータ
信号を、1つのデータラインを介して入力し、オフセッ
ト除去するとともに積分して出力する。同様に、第2の
信号処理部202は、水平信号処理部210j (j=N
+1〜2N)とデータ信号出力回路290とを備える。
【0020】水平信号処理部210j (j=1〜2N)
それぞれは、積分回路220、クランプ回路230、サ
ンプルホールド回路240、容量素子250およびスイ
ッチ素子260を備える。積分回路220は、水平信号
処理部210j に対応する垂直受光部110j からの出
力信号を入力し、リセット指示信号KRSに応じて、垂
直受光部110j から出力された電流信号を入出力端子
間に接続された容量素子222に積分(リセット指示信
号KRSが非有意の場合)、または非積分(リセット指
示信号KRSが有意の場合)の動作をする。クランプ回
路230は、積分回路220から出力された信号を入力
し、クランプ指示信号CPjに応じて入力信号をクラン
プする。サンプルホールド回路240は、クランプ回路
230から出力された信号を入力し、サンプル指示信号
SPjに応じてサンプルホールド動作を行う。容量素子
250は、サンプルホールド回路240から出力された
信号を入力し、その信号のうちの交流成分を出力する。
スイッチ素子260は、容量素子250から出力された
信号を入力し、水平走査信号RSjに応じて開閉する。
【0021】積分回路220は、電荷増幅器221、容
量素子222およびスイッチ素子223を備える。電荷
増幅器221は、基準電位Vrefに+入力端子が設定
され、垂直受光部110j からの出力信号を−入力端子
に入力し、その入力した電流信号の電荷を増幅する。容
量素子222は、電荷増幅器221の−入力端子に一方
の端子が接続され、電荷増幅器221の出力端子に他方
の端子が接続されている。スイッチ素子223は、電荷
増幅器221の−入力端子に一方の端子が接続され、電
荷増幅器221の出力端子に他方の端子が接続され、リ
セット指示信号KRSが有意の場合には「ON」状態と
なり、リセット指示信号KRSが非有意の場合には「O
FF」状態となる。
【0022】クランプ回路230は、容量素子231、
増幅器232、容量素子233およびスイッチ素子23
4を備える。容量素子231は、積分回路220から出
力された信号を入力し、その入力した信号のうち交流成
分を出力する。増幅器232は、容量素子231を介し
た交流成分の信号を入力し、その信号を増幅して出力す
る。容量素子233は、増幅器232の入力端子に一方
の端子が接続され、増幅器232の出力端子に他方の端
子が接続されている。スイッチ素子234は、増幅器2
32の入力端子に一方の端子が接続され、増幅器232
の出力端子に他方の端子が接続され、クランプ指示信号
CPjが有意の場合には「ON」状態となり、クランプ
指示信号CPjが非有意の場合には「OFF」状態とな
る。
【0023】サンプルホールド回路240は、スイッチ
素子241、容量素子242およびバッファ増幅器24
3を備える。スイッチ素子241は、クランプ回路23
0から出力された信号を一方の端子に入力するととも
に、サンプル指示信号SPjが非有意の場合には「OF
F」のホールド状態となり、サンプル指示信号SPjが
有意の場合には「ON」のサンプル状態となる。容量素
子242は、スイッチ素子241の他方の端子と接地と
の間に設けられ、スイッチ素子241を介した信号電荷
を蓄積する。バッファ増幅器243は、スイッチ素子2
41の他方の端子から出力された電圧信号を入力し、イ
ンピーダンス変換して出力する。
【0024】データ信号出力回路290は、電荷増幅器
281、容量素子282、スイッチ素子283、スイッ
チ素子294およびスイッチ素子295を備える。電荷
増幅器281は、基準電位Vrefに+入力端子が設定
され、水平信号処理部210j (j=1〜N)それぞれ
から出力された信号を1つのデータラインを介して−入
力端子に入力し、その入力した電流信号の電荷を増幅す
る。容量素子282は、電荷増幅器281の−入力端子
に一方の端子が接続され、電荷増幅器281の出力端子
に他方の端子が接続されている。スイッチ素子283
は、電荷増幅器281の−入力端子に一方の端子が接続
され、電荷増幅器281の出力端子に他方の端子が接続
され、初期電位設定指示信号GRSが有意の場合には
「ON」状態となり、初期電位設定指示信号GRSが非
有意の場合には「OFF」状態となる。スイッチ素子2
94は、電荷増幅器281の−入力端子に第1の端子が
接続され、第2の端子が基準電位Vrefに設定され、
初期電位設定指示信号GRSが有意な期間に閉じる。ス
イッチ素子295は、電荷増幅器281の出力端子に第
1の端子が接続され、第2の端子が基準電位Vrefに
設定され、初期電位設定指示信号GRSが有意な期間に
閉じる。
【0025】初期電位設定指示信号GRSの有意設定に
より、スイッチ素子283と入力端子間でのイマジナリ
ショートによる入出力端子の基準電位Vrefへの設定
のみならず、スイッチ素子294およびスイッチ素子2
95を介しても強制的に入出力端子の基準電位Vref
への設定が行われるので、初期電位設定指示信号GRS
の有意設定によるデータ信号出力回路290の入出力端
子の基準電位Vrefへの設定が迅速に行われ、精度の
向上が可能となる。
【0026】図3は、多重化部400の構成図である。
多重化部400は、インピーダンス変換器410および
420、反転差動増幅器430および440、ならびに
マルチプレクサ450を備える。
【0027】インピーダンス変換器410は、差動増幅
器411および抵抗器412を備える。差動増幅器41
1は、第1の信号処理部201から出力された信号を+
入力端子に入力する。抵抗器412は、差動増幅器41
1の出力端子と−入力端子との間に設けられている。イ
ンピーダンス変換器410は、第1の信号処理部201
から出力された信号をインピーダンス変換して出力す
る。
【0028】同様に、インピーダンス変換器420は、
差動増幅器421および抵抗器422を備える。差動増
幅器421は、第2の信号処理部202から出力された
信号を+入力端子に入力する。抵抗器422は、差動増
幅器421の出力端子と−入力端子との間に設けられて
いる。インピーダンス変換器420は、第2の信号処理
部202から出力された信号をインピーダンス変換して
出力する。
【0029】反転差動増幅器430は、差動増幅器43
1および抵抗器432〜435を備える。差動増幅器4
31は、インピーダンス変換器410から出力され抵抗
器432を介して到達した信号を−入力端子に入力し、
+入力端子が抵抗器435を介して接地されている。抵
抗器433は、差動増幅器431の−入力端子と出力端
子との間に設けられている。抵抗器434は、差動増幅
器431の+入力端子と基準電位Vrefとの間に設け
られている。反転差動増幅器430は、インピーダンス
変換器410から出力された信号と基準電位Vrefと
の差を反転増幅して出力する。
【0030】同様に、反転差動増幅器440は、差動増
幅器441および抵抗器442〜445を備える。差動
増幅器441は、インピーダンス変換器420から出力
され抵抗器442を介して到達した信号を−入力端子に
入力し、+入力端子が抵抗器445を介して接地されて
いる。抵抗器443は、差動増幅器441の−入力端子
と出力端子との間に設けられている。抵抗器444は、
差動増幅器441の+入力端子と基準電位Vrefとの
間に設けられている。反転差動増幅器440は、インピ
ーダンス変換器420から出力された信号と基準電位V
refとの差を反転増幅して出力する。
【0031】マルチプレクサ450は、増幅器451お
よび452ならびにスイッチ素子453および454を
備える。増幅器451は、反転差動増幅器430から出
力された信号を入力し増幅する。増幅器452は、反転
差動増幅器440から出力された信号を入力し増幅す
る。スイッチ素子453は、増幅器451の出力端子に
第1の端子が接続されマルチプレクス信号MUX1に基
づいて開閉する。スイッチ素子454は、増幅器452
の出力端子に第1の端子が接続されマルチプレクス信号
MUX2に基づいて開閉する。また、スイッチ素子45
3および454それぞれの第2の端子が互いに接続され
て、フレームグラバ等の画像入力装置の入力部とのイン
ピーダンスマッチングをとる為に設けられている抵抗器
460を介して、装置としての出力データ信号を出力す
る出力端子となっている。
【0032】このように、多重化部400は、入力端子
に接続される回路の数が少なく、構成も簡易であるの
で、高速な動作が可能である。
【0033】図4は、タイミング制御部300の構成図
である。図4に示すように、タイミング制御部300
は、基本タイミング生成部310、垂直シフトレジスタ
320、水平シフトレジスタ330、制御信号生成部3
40および制御信号部350とを備える。タイミング制
御部300は、1画素毎に同期をとる為のクロック信号
と、1行分の画像データ毎に同期をとる為のライン同期
信号と、1画面分の画像データ毎に同期をとる為のフレ
ーム同期信号とを入力し、これらの同期信号に基づいて
各種のタイミング指示信号を生成し出力する。
【0034】基本タイミング生成部310は、データ信
号の読み出し動作の基本タイミングを発生する。垂直シ
フトレジスタ320は、基本タイミング生成部310か
ら出力された基本タイミング信号に同期して垂直走査信
号VSiを出力する。水平シフトレジスタ330は、基
本タイミング生成部310から出力された基本タイミン
グ信号に同期して水平選択信号HSjを出力する。
【0035】制御信号生成部340は、基本タイミング
生成部310から出力された基本タイミング信号に基づ
いて、リセット指示信号KRS、初期電位設定指示信号
GRS、全水平ライン選択指示信号AHS、個別クラン
プ/サンプル指示信号ICS、全サンプル指示信号AS
Pおよび全クランプ指示信号ACPを生成する。制御信
号部350は、全水平ライン選択指示信号AHS、個別
クランプ/サンプル指示信号ICS、全サンプル指示信
号ASP、全クランプ指示信号ACPおよび水平選択信
号HSjを入力して、水平走査信号RSj、サンプル指
示信号SPjおよびクランプ指示信号CPjを生成す
る。
【0036】タイミング制御部300は、上述の各種の
タイミング指示信号のうち、受光部100の第1の受光
領域101および第2の受光領域102それぞれに対し
て与えるべきものを互いに同一のタイミングで出力し、
第1の信号処理部201および第2の信号処理部202
それぞれに対して与えるべきものを互いに異なるタイミ
ングで出力する。
【0037】ここで、「互いに異なるタイミング」と
は、後に説明する図6に示すように、第1の信号処理部
201および第2の信号処理部202それぞれに与えら
れる信号(初期電位設定指示信号GRS、個別クランプ
/サンプル指示信号ICS、水平選択信号HSj、クラ
ンプ指示信号CPj、サンプル指示信号SPjおよび水
平走査信号RSj)について、1画素毎のデータ信号の
読み出し期間を1周期として、その半周期分だけ一方が
他方に対しシフトしていることを意味する。
【0038】タイミング制御部300は、第1の信号処
理部201に与えられる信号のタイミングに同期して、
多重化部400のスイッチ素子453の開閉を指示する
マルチプレクス信号MUX1を出力し、第2の信号処理
部202に与えられる信号のタイミングに同期して、多
重化部400のスイッチ素子454の開閉を指示するマ
ルチプレクス信号MUX2を出力する。したがって、マ
ルチプレクス信号MUX1およびMUX2についても、
1画素毎のデータ信号の読み出し期間を1周期として、
その半周期分だけ一方が他方に対しシフトしている。
【0039】次に、本実施形態に係る固体撮像装置の動
作について説明する、図5および図6は、本実施形態に
係る固体撮像装置の動作を説明するタイミングチャート
である。図5は、受光部100の第1の受光領域101
および第1の信号処理部201の動作を説明するもので
ある。図6は、第1の信号処理部201、第2の信号処
理部202および多重化部400の動作を説明するもの
である。
【0040】本実施形態に係る固体撮像装置では、受光
部100の第1の受光領域101および第2の受光領域
102に入射した光を受光し、受光部100の受光素子
120i,j (i=1〜M、j=1〜2N)それぞれの光
電変換素子130に受光量に応じた電荷が蓄積される。
そして、所定の受光期間の経過後に夫々の光電変換素子
130に蓄積された電荷量を以下のようにして読み出
す。
【0041】まず、読み出しの実行に先立って、タイミ
ング制御部300は、全クランプ指示信号ACPを有意
とすることにより全てのクランプ指示信号CPjを有意
するとともに、積分回路リセット指示信号KRSを有意
とし、これにより、クランプ回路230の出力および積
分回路220の出力それぞれを基準電位Vrefとす
る。
【0042】また、読み出しの実行に先立って、全水平
ライン選択指示信号AHSを有意とすることにより、全
ての信号出力ラインに応じた水平走査信号RSjおよび
初期電位設定指示信号GRSを有意とする。この結果、
全てのスイッチ素子260が「ON」となり、全ての容
量素子250の出力がデータ信号出力回路290の初期
電位である基準電位Vrefに設定される。
【0043】次に、タイミング制御部300が全クラン
プ指示信号ACPを非有意にして全てのクランプ指示信
号CPjを非有意とし、積分回路リセット指示信号KR
Sを非有意とするとともに、全ての信号出力ラインに応
じた水平走査信号RSjおよび初期電位設定指示信号G
RSを有意としたままで、各垂直受光部110jの垂直
走査における第1番目の受光素子1201,j (j=1〜
2N)のスイッチ素子140のみを「ON」とする垂直
走査信号VSiを有意とするとともに、全サンプル指示
信号ASPを有意とすることにより全ての信号出力ライ
ンに応じたサンプル指示信号SPjを有意にする。
【0044】各垂直受光部110jの垂直走査における
第1番目の受光素子1201,j (j=1〜2N)のスイ
ッチ素子140が「ON」となると、それまでの受光に
よって光電変換素子130に蓄積された電荷が電流信号
となって受光部100から出力される。そして、積分回
路220によって瞬時にその帰還容量である容量素子2
22に蓄積され電圧として出力される。積分回路220
から出力された信号は、クランプ回路230およびサン
プルホールド回路240を介して容量素子250に入力
する。この結果、容量素子250の信号入力端子は受光
素子130での受光量に応じた電圧が印加される。
【0045】次いで、全ての信号出力ラインに応じた水
平走査信号RSjおよび初期電位設定指示信号GRSを
非有意とした後、水平走査信号RSjの設定により、垂
直方向の第1番目の受光素子1201,j (j=1〜2
N)の受光量に応じたデータ信号の読み出しを開始す
る。このデータ信号の読み出しにおいては、第1の受光
領域101および第2の受光領域102それぞれから交
互に、すなわち、j=1,N+1,2,N+2,3,N
+3,…,N−1,2N−1,N,2Nの順に読み出
す。
【0046】初めに、第1の受光領域101の水平方向
の第1番目の受光素子1201,1 に入力した光量に応じ
た出力データ信号を以下のようにして第1の信号処理部
201から出力する。タイミング制御部300が、水平
選択信号HS1を有意として水平信号処理部2101
スイッチ素子260のみの「ON」を指示する水平走査
信号RS1を有意とすることにより、そのスイッチ素子
260のみを「ON」とするとともに、初期電位設定指
示信号GRSが一時的に有意となり、第1の信号処理部
201のデータ信号出力回路290の入力電位が基準電
位Vrefに設定される。
【0047】水平信号処理部2101 において、スイッ
チ素子260が「ON」となることにより、容量素子2
50の出力端子とデータ信号出力回路290の入力端子
とが接続されるが、容量素子250の出力端子の電位
は、前回のスイッチ素子260の開放時の電位、すなわ
ち、データ信号出力回路290の入力端子の初期電位で
ある基準電位Vrefのままなので、データ信号出力回
路290の入力端子の電位は変動せず安定したままであ
る。
【0048】次にクランプ指示信号CP1とサンプル指
示信号SP1とを有意とする。この結果、クランプ回路
230の出力はクランプ電位である基準電位Vrefに
変化し、この変化がサンプルホールド回路240および
容量素子250を介して、受光素子1201,1 に入射し
た光量に応じた出力データ信号Voとしてデータ信号出
力回路290から出力される。そして、スイッチ素子2
60のみの選択を指示する水平走査信号RS1、クラン
プ指示信号CP1およびサンプル指示信号SP1を非有
意として、第1の信号処理部201のデータ信号出力回
路290からの受光素子1201,1 の受光量に応じたデ
ータ信号の出力を終了する。
【0049】続いて、第2の受光領域102の水平方向
の第1番目の受光素子1201,N+1に入力した光量に応
じた出力データ信号を以下のようにして第2の信号処理
部202から出力する。タイミング制御部300が、水
平選択信号HSN+1 を有意として水平信号処理部210
N+1 のスイッチ素子260のみの「ON」を指示する水
平走査信号RSN+1 を有意とすることにより、そのスイ
ッチ素子260のみを「ON」とするとともに、初期電
位設定指示信号GRSが一時的に有意となり、第2の信
号処理部202のデータ信号出力回路290の入力電位
が基準電位Vrefに設定される。
【0050】水平信号処理部210N+1 において、スイ
ッチ素子260が「ON」となることにより、容量素子
250の出力端子とデータ信号出力回路290の入力端
子とが接続されるが、容量素子250の出力端子の電位
は、前回のスイッチ素子260の開放時の電位、すなわ
ち、データ信号出力回路290の入力端子の初期電位で
ある基準電位Vrefのままなので、データ信号出力回
路290の入力端子の電位は変動せず安定したままであ
る。
【0051】次にクランプ指示信号CPN+1 とサンプル
指示信号SPN+1 とを有意とする。この結果、クランプ
回路230の出力はクランプ電位である基準電位Vre
fに変化し、この変化がサンプルホールド回路240お
よび容量素子250を介して、受光素子1201,N+1
入射した光量に応じた出力データ信号Voとしてデータ
信号出力回路290から出力される。そして、水平走査
信号RSN+1 、クランプ指示信号CPN+1 およびサンプ
ル指示信号SPN+1 を非有意として、第2の信号処理部
202のデータ信号出力回路290からの受光素子12
1,N+1 の受光量に応じたデータ信号の出力を終了す
る。
【0052】以降同様にして、第1の信号処理部201
から、受光素子1201,2 ,受光素子1201,3 ,…,
受光素子1201,N-1 ,受光素子1201,N それぞれの
受光量に応じた信号が順次に出力される。同様に、第2
の信号処理部202から、受光素子1201,N+2 ,受光
素子1201,N+3 ,…,受光素子1201,2N-1,受光素
子1201,2Nそれぞれの受光量に応じた信号が順次に出
力される。また、第1の信号処理部201および第2の
信号処理部202から交互に信号が出力される。
【0053】次いで、タイミング制御部300が全クラ
ンプ指示信号ACPと積分回路リセット指示信号KRS
を有意とし、クランプ回路230の出力と積分回路22
0の出力を基準電位Vrefに都度設定しながら、各垂
直受光部110j の垂直走査における第2番目以降の受
光素子120i,j (i=2〜M、j=1〜2N)の受光
量に応じたデータ信号の読み出しを実行する。
【0054】そして、図6に示すように、多重化部40
0では、第1の信号処理部201から受光素子120
i,j (i=1〜M、j=1〜N)の受光量に応じたデー
タ信号の読み出しが行われているときには、マルチプレ
クス信号MUX1によりスイッチ素子453が閉じると
ともに、マルチプレクス信号MUX2によりスイッチ素
子454が開いて、第1の信号処理部201から出力さ
れたデータ信号は、インピーダンス変換器410、反転
増幅器430およびマルチプレクサ450を介して抵抗
器460から出力される。同様に、第2の信号処理部2
02から受光素子120i,j (i=1〜M、j=N+1
〜2N)の受光量に応じたデータ信号の読み出しが行わ
れているときには、マルチプレクス信号MUX1により
スイッチ素子453が開くとともに、マルチプレクス信
号MUX2によりスイッチ素子454が閉じて、第2の
信号処理部202から出力されたデータ信号は、インピ
ーダンス変換器420、反転増幅器440およびマルチ
プレクサ450を介して抵抗器460から出力される。
抵抗器460から出力されたデータ信号は、装置として
の出力データ信号となる。
【0055】以上のように、本実施形態に係る固体撮像
装置では、受光部100が第1の受光領域101および
第2の受光領域102に2分割され、第1の受光領域1
01に配列された各受光素子120i,j (i=1〜M、
j=1〜N)それぞれの受光量に応じたデータ信号が第
1の信号処理部201を介して多重化部400に入力す
るとともに、これとは異なるタイミングで、第2の受光
領域102に配列された各受光素子120i,j (i=1
〜M、j=N+1〜2N)それぞれの受光量に応じたデ
ータ信号が第2の信号処理部202を介して多重化部4
00に入力する。そして、第1の信号処理部201およ
び第2の信号処理部202それぞれから出力されたデー
タ信号は多重化部400により多重化されて1信号とし
て出力される。
【0056】本実施形態に係る固体撮像装置から出力さ
れたデータ信号は、例えば、A/D変換器およびフレー
ムメモリを備えるフレームグラバに入力してデジタル信
号として記憶されるとともに、デジタル信号を高速に処
理することができるDSP(Digital Signal Processo
r)やCPU(Central Processinng Unit)等により再
配置が行われて、受光部100が受光した光像すなわち
撮像データが得られる。
【0057】したがって、本実施形態に係る固体撮像装
置は、第1の信号処理部201および第2の信号処理部
202それぞれに含まれるデータ信号出力回路290の
データラインに接続される水平信号処理部210の数が
従来例と比較して少なくなるので、データラインの長さ
が短く配線容量および接合容量が小さくなり、受光部1
00に配列された各受光素子120i,j (i=1〜M、
j=1〜2N)それぞれの受光量に応じたデータ信号を
高速に出力することができる。また、第1の信号処理部
201および第2の信号処理部202それぞれは互いに
異なるタイミングで並列動作し、第1の信号処理部20
1からj番目のデータ信号が出力された後であってj+
1番目のデータ信号が出力されるまでの期間に、第2の
信号処理部202からN+j番目のデータ信号が出力さ
れ、これらのデータ信号は、多重化部400により多重
化されて出力されるので、この点でもデータ信号を高速
に出力することができる。また、多重化部400から出
力されるデータ信号は1信号であるので、本実施形態に
係る固体撮像装置から出力されたデータ信号に基づいて
撮像データを容易かつ高速に得ることができる。すなわ
ち、本実施形態に係る固体撮像装置を用いれば、受光部
100に配列された受光素子120の数が例えば256
行256列であっても、全受光素子からの信号をテレビ
レート(1フレームを1/30秒)で読み出すことがで
き、動画像を撮像することができる。
【0058】(第2の実施形態)次に、本発明に係る固
体撮像装置の第2の実施形態について説明する。図7
は、第2の実施形態に係る固体撮像装置の概略構成図で
ある。本実施形態に係る固体撮像装置では、第1の実施
形態における受光部100、第1の信号処理部201、
第2の信号処理部202およびタイミング制御部300
それぞれと略同様のものを4組備え、更に、多重化部6
00および制御部700を備える。本実施形態では、受
光部は、受光領域101A,102A,101B,10
2B,101C,102C,101Dおよび102Dに
8分割されている。これら8つの受光領域それぞれは、
第1の実施形態における受光領域101または102と
同様の構成であり、複数の受光素子が配列されている。
【0059】また、受光領域101Aに対応して信号処
理部201Aが設けられ、受光領域102Aに対応して
信号処理部202Aが設けられている。受光領域101
Bに対応して信号処理部201Bが設けられ、受光領域
102Bに対応して信号処理部202Bが設けられてい
る。受光領域101Cに対応して信号処理部201Cが
設けられ、受光領域102Cに対応して信号処理部20
2Cが設けられている。受光領域101Dに対応して信
号処理部201Dが設けられ、受光領域102Dに対応
して信号処理部202Dが設けられている。これら8つ
の信号処理部201A,202A,201B,202
B,201C,202C,201Dおよび202Dそれ
ぞれは、第1の実施形態における信号処理部201また
は202と同様の構成であり、水平信号処理部210お
よびデータ信号出力回路290を備え、互いに異なるタ
イミングでデータ信号を出力する。
【0060】信号処理部201Aから出力されたデータ
信号はバッファ501Aを経て多重化部600に入力
し、信号処理部202Aから出力されたデータ信号はバ
ッファ502Aを経て多重化部600に入力する。信号
処理部201Bから出力されたデータ信号はバッファ5
01Bを経て多重化部600に入力し、信号処理部20
2Bから出力されたデータ信号はバッファ502Bを経
て多重化部600に入力する。信号処理部201Cから
出力されたデータ信号はバッファ501Cを経て多重化
部600に入力し、信号処理部202Cから出力された
データ信号はバッファ502Cを経て多重化部600に
入力する。信号処理部201Dから出力されたデータ信
号はバッファ501Dを経て多重化部600に入力し、
信号処理部202Dから出力されたデータ信号はバッフ
ァ502Dを経て多重化部600に入力する。
【0061】タイミング制御部300Aは、受光領域1
01Aおよび102Aの電荷流出動作、ならびに、信号
処理部201Aおよび202Aそれぞれの積分動作およ
び信号出力動作のタイミングを制御する。タイミング制
御部300Bは、受光領域101Bおよび102Bの電
荷流出動作、ならびに、信号処理部201Bおよび20
2Bそれぞれの積分動作および信号出力のタイミングを
制御する。タイミング制御部300Cは、受光領域10
1Cおよび102Cの電荷流出動作、ならびに、信号処
理部201Cおよび202Cそれぞれの積分動作および
信号出力のタイミングを制御する。タイミング制御部3
00Dは、受光領域101Dおよび102Dの電荷流出
動作、ならびに、信号処理部201Dおよび202Dそ
れぞれの積分動作および信号出力のタイミングを制御す
る。これら4つのタイミング制御部300A,300
B,300Cおよび300Dそれぞれは、第1の実施形
態におけるタイミング制御部300と略同様の構成であ
る。ただし、これら4つのタイミング制御部および多重
化部600を制御する制御部700が別に設けられてい
る点で異なる。
【0062】多重化部600は、8つの信号処理部それ
ぞれから互いに異なるタイミングで到達したデータ信号
を入力し、多重化して1信号として出力する。制御部7
00は、タイミング制御部300A,300B,300
Cおよび300Dならびに多重化部600それぞれを制
御する。なお、本実施形態における「互いに異なるタイ
ミング」とは、8つの信号処理部それぞれに与えれる信
号について、1画素毎のデータ信号の読み出し期間を1
周期として、その1/8周期分ずつ順次にシフトしてい
ることを意味する。
【0063】本実施形態に係る固体撮像装置では、各受
光領域101A,102A,101B,102B,10
1C,102C,101Dおよび102Dそれぞれの各
受光素子の受光量に応じたデータ信号は、対応する信号
処理部を介して互いに異なるタイミング出力され多重化
部600に入力する。そして、各信号処理部それぞれか
ら出力されたデータ信号は、多重化部600により多重
化されて1信号として出力される。
【0064】したがって、本実施形態に係る固体撮像装
置でも、第1の実施形態と同様に、各信号処理部それぞ
れに含まれるデータ信号出力回路290のデータライン
に接続される水平信号処理部210の数が従来例と比較
して少なくなるので、データラインの長さが短く配線容
量および接合容量が小さくなり、受光部に配列された各
受光素子の受光量に応じたデータ信号を高速に出力する
ことができる。また、各信号処理部それぞれは互いに異
なるタイミングで並列動作し、各信号処理部から互いに
異なるタイミングで出力されたデータ信号は多重化部6
00により多重化されて出力されるので、この点でもデ
ータ信号を高速に出力することができる。また、多重化
部600から出力されるデータ信号は1信号であるの
で、本実施形態に係る固体撮像装置から出力されたデー
タ信号に基づいて撮像データを容易かつ高速に得ること
ができる。すなわち、本実施形態に係る固体撮像装置を
用いれば、受光部100A〜100Dそれぞれに配列さ
れた受光素子の数が例えば256行256列であって
も、すなわち、装置全体の受光素子の数が512行51
2列であっても、全受光素子からの信号をテレビレート
(1フレームを1/30秒)で読み出すことができ、動
画像を撮像することができる。
【0065】特に、第1の実施形態では受光部を2分割
したのに対して、本実施形態では受光部を8分割したの
で、第1の実施形態と比較して本実施形態では、各信号
処理部それぞれに含まれるデータ信号出力回路290に
接続される水平信号処理部210の数が更に少なくな
り、受光部に配列された各受光素子の受光量に応じたデ
ータ信号を更に高速に出力することができる。したがっ
て、受光部が更に多数の受光素子が配列されたものであ
っても、全受光素子からの信号をテレビレートで読み出
すことができ、動画像を撮像することができる。
【0066】本発明は、上記実施形態に限定されるもの
ではなく種々の変形が可能である。例えば、一般に、受
光部をn個の受光領域に分割するとともに、各受光領域
に個別に対応したn個の信号処理部を設け、各信号処理
部に与えられる各信号について、1画素毎のデータ信号
の読み出し期間を1周期として、その1/n周期分ずつ
順次にシフトさせてもよい。受光部に配列される受光素
子の数は任意であり、受光部の各受光領域への分割の数
も任意である。受光部の各受光領域への分割の数が多い
ほど、各受光領域に対応する各信号処理部からデータ信
号が高速に出力され、且つ、多重化部からデータ信号が
高速に出力される。
【0067】
【発明の効果】以上、詳細に説明したとおり、本発明に
よれば、受光部は複数の受光領域からなり、各受光領域
は光電変換素子およびスイッチ素子を含む受光素子が配
列されている。受光部の複数の受光領域それぞれに配列
された各受光素子の出力端子から流出した電荷は、その
受光領域に個別に対応して設けられた信号処理部により
積分されて電圧信号とされ、各信号処理部から互いに異
なるタイミングで順次に出力される。そして、各信号処
理部から出力された電圧信号は、多重化部により多重化
されて1つの電圧信号として出力される。以上の動作は
タイミング制御部により制御される。
【0068】したがって、各信号処理部それぞれにおい
て、信号を出力する1つのデータラインに接続される回
路の数が従来例と比較して少なくなるので、データライ
ンの長さが短く配線容量および接合容量が小さくなり、
受光部に配列された各受光素子それぞれの受光量に応じ
たデータ信号を高速に出力することができる。また、多
重化部から出力されるデータ信号は1信号であるので、
本発明に係る固体撮像装置から出力されたデータ信号に
基づいて撮像データを容易かつ高速に得ることができ
る。すなわち、本発明に係る固体撮像装置を用いれば、
受光部に配列された受光素子の数が例えば256行25
6列であっても、全受光素子からの信号をテレビレート
(1フレームを1/30秒)で読み出すことができ、動
画像を撮像することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態に係る固体撮像装置の概略構成
図である。
【図2】受光部の第1の受光領域および第1の信号処理
部それぞれの構成図である。
【図3】多重化部の構成図である。
【図4】タイミング制御部の構成図である。
【図5】第1の実施形態に係る固体撮像装置の動作を説
明するタイミングチャートである。
【図6】第1の実施形態に係る固体撮像装置の動作を説
明するタイミングチャートである。
【図7】第2の実施形態に係る固体撮像装置の概略構成
図である。
【符号の説明】
100…受光部、101…第1の受光領域、102…第
2の受光領域、110…垂直受光部、120…受光素
子、130…光電変換素子、140…スイッチ素子、2
01…第1の信号処理部、202…第2の信号処理部、
210…水平信号処理部、220…積分回路、230…
クランプ回路、240…サンプルホールド回路、250
…容量素子、260…スイッチ素子、290…データ信
号出力回路、300…タイミング制御部、310…基本
タイミング部、320…垂直シフトレジスタ、330…
水平シフトレジスタ、340…制御信号部、400…多
重化部、410,420…インピーダンス変換器、43
0,440…反転増幅器、450…マルチプレクサ、5
60…抵抗器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 晃永 静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松ホ トニクス株式会社内 Fターム(参考) 4M118 AA10 AB01 BA14 CA03 DD09 DD10 DD12 FA06 HA22 5C024 AA01 CA16 FA01 FA11 GA31 HA03 HA06 HA09 HA17 HA20 JA09 JA21 JA32

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入力した光信号を電荷に変換する光電変
    換素子と該電荷を走査信号に基づいて出力端子に流出す
    るスイッチ素子とを含んで1組の受光素子とし、複数の
    受光領域それぞれに複数の受光素子が配列された受光部
    と、 前記複数の受光領域それぞれに個別に対応して設けら
    れ、前記受光部の対応する受光領域に配列された前記複
    数の受光素子それぞれの出力端子から流出した電荷を積
    分して電圧信号とし、互いに異なるタイミングで該電圧
    信号を順次に出力する複数の信号処理部と、 前記複数の信号処理部それぞれから出力された電圧信号
    を入力し、これらの電圧信号を多重化して1つの電圧信
    号として出力する多重化部と、 前記受光部の電荷流出動作、前記信号処理部の積分動作
    および電圧信号出力動作ならびに前記多重化部の多重化
    動作それぞれを制御するタイミング制御部と、 を備えることを特徴とする固体撮像装置。
  2. 【請求項2】 前記複数の受光領域それぞれは、前記受
    光素子が第1の方向に配列されるとともに各々のスイッ
    チ素子の出力端子が互いに接続され共通の信号出力端子
    とされて垂直受光部とされ、その垂直受光部が第2の方
    向に配列されており、 前記複数の信号処理部それぞれは、前記受光部の対応す
    る受光領域に配列された前記垂直受光部毎に、その垂直
    受光部の共通の出力端子から流出した電荷を積分して電
    圧信号を出力する積分回路と、前記積分回路から出力さ
    れた電圧信号を入力しクランプ動作を行うクランプ回路
    と、前記クランプ回路から出力された信号を入力し保持
    するサンプルホールド回路と、前記サンプルホールド回
    路から出力された信号を入力し交流成分の電圧信号を出
    力する容量素子と、前記容量素子から出力された電圧信
    号を入力し出力端子に出力するスイッチ素子とを備え、
    前記垂直受光部毎に備えられた前記スイッチ素子それぞ
    れの出力端子から出力された電圧信号を入力してこれら
    の電圧信号を順次に出力するデータ信号出力回路を備え
    る、 ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
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