JPH09257135A - 真空処理装置の弁体シール装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 シールパッキングの取り付けおよび取り外し
が簡単で弁体より外れることのない弁体シール装置を提
供する。 【解決手段】 真空処理室を閉塞する弁体の弁シール側
の面には環状のパッキング取付溝１７が形成されてい
る。このパッキング取付溝１７には横断面形状がＬ字型
のパッキング２１の一端が挾着され、このパッキング２
１の他端部は真空処理室側の弁封止面に圧接される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は真空処理装置の弁体
シール装置に係り、特に真空処理装置のロードロック室
及び真空処理室のバルブ円板に装着される弁体シール装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にＣＤ等の円盤状の被処理物の表面
に金属の薄膜を形成するために真空処理装置が使用され
る。図４は、この種の従来の真空処理装置の一例を示し
たものであって、平面形状がほぼ八角形のハウジング２
の内側には真空搬送室３が形成され、その上部には図５
に示すように蓋体４が設けられ真空搬送室３は閉塞され
ている。そして、真空搬送室３の底部にはターボ分子ポ
ンプ５が取り付けられており、ターボ分子ポンプ５を作
動させることにより真空搬送室３の内部は真空雰囲気と
なる。

【０００３】一方、真空搬送室３の八角形の一辺には被
処理物Ｗを出し入れするためのロードロック室６が設け
られており、残りの辺にはそれぞれ真空処理室７ａ，７
ｂ，……７ｇが設けられている。また、前記ロードロッ
ク室６及び各真空処理室７の真空搬送室３の側の壁に
は、図５に示すように被処理物Ｗを出し入れするための
開口部８がそれぞれ形成されている。各開口部８には、
バルブ円板９が開閉可能に設けられ、バルブ開閉機構１
０によりバルブ円板９を閉じることにより真空搬送室３
とロードロック室６及び各真空処理室７との間の気密が
保持される。そして、ロードロック室６に搬送されバル
ブ円板９の上に保持された被処理物Ｗは、回転テーブル
１１の回動と、バルブ開閉機構１０によるバルブ円板９
の開閉によって順次各真空処理室７へ搬入され、これら
の各真空処理室７内で被処理物Ｗに対するエッチング、
ベーキング等の薄膜形成に必要な作業が連続して行なわ
れる。なお、図中符号１２はターボ分子ポンプ、１３は
回転テーブル１１の駆動装置を示している。

【０００４】ここで、バルブ円板９の内面の外周縁近く
には、図６から明らかなようにあり溝形状のシール溝１
４が形成されている。このシール溝１４はＯリング１５
が嵌挿され真空搬送室３とロードロック室６及び各真空
処理室７との間の気密が保持される。また、図７に示さ
れた例では、バルブ円板９の内面の外周縁近くには切欠
き段部１６が全周にわたって形成され、この切欠き段部
１６に甲丸パッキング１７が装着され押え板１８を介し
てビス１９で止着されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記図
６に示すシール溝１４にＯリング１５を装着する構造の
ものは、長時間ハウジング２に対してバルブ円板９を閉
じておくとハウジング２にＯリング１５がはりついてバ
ルブ円板９を開いたとき図８に示すようにＯリング１５
がバルブ円板９のシール溝１４からはずれるという問題
があった。また、図７に示す甲丸パッキング１７を押え
板１８でバルブ円板９に装着する構造のものは、甲丸パ
ッキング１７を交換するときに押え板１８をバルブ円板
９に取り付けているビス１９をすべて外す必要があり作
業に時間を要する等の問題があった。

【０００６】本発明は上記従来技術が有する問題を解消
し、パッキングが弁体より外れることがなく、しかも、
パッキングの交換が簡単に行なえる弁体シール装置を提
供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記従来技術の課題を解
決するため本発明は、真空処理室の開口部をバルブ円板
の封止面で閉塞するようにした真空処理装置の弁体シー
ル装置において、前記バルブ円板の弁シール側の面に環
状のパッキング取付溝を形成し、このパッキング取付溝
に横断面形状がＬ字型のシールパッキングの一端を挾着
するとともに、シールパッキングの他端が真空処理室側
の弁封止面に圧接するようにしたことを特徴とするもの
である。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明による真空処理装置
の弁体シール装置の一つの実施の形態を図１〜図３を参
照し、従来技術と同一の部分については同一符号を用い
て説明する。

【０００９】図１は、真空処理装置１の一部を示した縦
断面図であって、真空搬送室３の底部にはターボ分子ポ
ンプ５が設けられ、側部には真空処理室７が設けられて
いる。そして、ハウジング２の内側の真空搬送室３と前
記真空処理室７との境界には開口部８が形成されてお
り、この開口部８にはバルブ開閉機構１０により開閉可
能とされる弁体としてのバルブ円板９が設けられてい
る。なお、図中符号１２は、ターボ分子ポンプを示し、
符号１３は、回転テーブル１１の駆動装置を示してい
る。

【００１０】前記ロードロック室６及び各真空処理室７
と、真空搬送室３との間に設けられるバルブ円板９の内
面の外周には、図２及び図３に示すように、段部１６が
形成され、この段部１６のコーナー部にはパッキン取付
溝１７が全周にわたって形成されている。

【００１１】前記パッキン取付溝１７には、横断面の形
状がＬ字型のシールパッキン２１の一端が挾着されてい
る。このようにシールパッキング２１の一端部が溝１７
内に圧入されているので、シールパッキング２１がハウ
ジング２の側へ引張られてもバルブ円板９から外れるこ
とはない。したがって、真空搬送室３とロードロック室
６及び各真空処理室７との間の気密は完全に保持され
る。また、シールパッキング２１を交換するときは、シ
ールパッキング２１を周方向の外側へ向けて引張ればシ
ールパッキング２１の一端部は凹部２０から外れるの
で、極めて容易に交換が行なえる。なお、本実施の形態
では、真空処理装置の弁体の側にパッキングを装着する
側について説明したが、弁座の側に装着することもでき
る。

【００１２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、弁体弁シール側の面に環状のパッキング取付
溝を形成し、このパッキング取付溝に横断面形状がＬ字
型のパッキングの一端部を挾着するようにしたので、弁
体の加工が簡単であり、弁体に装着されたパッキングが
弁座にはりついて弁座側へ引張られても凹部に一端部が
圧入されているので外れることはない。そして、弁体の
凹部へのパッキングの圧入及び凹部からの取り外しは手
作業により簡単に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による真空処理装置の弁体のシール装置
の一実施形態を示した部分縦断面図。

【図２】本発明にシールパッキングを装着したバルブ円
板を示した縦断面図。

【図３】同バルブ円板を内側から見た平面図。

【図４】真空処理装置の要部を示した斜視図。

【図５】真空搬送室と真空処理室と弁装置を示した縦断
面図。

【図６】従来のバルブ円板の縦断面図。

【図７】従来の他のバルブ円板の縦断面図。

【図８】図６のバルブ円板からパッキングが外れた状態
を示す縦断面図。

【符号の説明】

１ 真空処理装置 ２ ハウジング ３ 真空搬送室 ６ ロードロック室 ７ 真空処理室 ９ バルブ円板 １６ 切欠き段部 ２０ 凹部 ２１ シールパッキング

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空処理室の開口部をバルブ円板の封止面
   で閉塞するようにした真空処理装置の弁体シール装置に
   おいて、前記バルブ円板の弁シール側の面に環状のパッ
   キング取付溝を形成し、このパッキング取付溝に横断面
   形状がＬ字型のシールパッキングの一端を挾着するとと
   もに、シールパッキングの他端が真空処理室側の弁封止
   面に圧接するようにしたことを特徴とする真空処理装置
   の弁体シール装置。